TWI225466B - Method of recovering enriched gaseous oxygen - Google Patents

Description

1225466 五、發明說明（1) 技術領^ 本發明係關於笋由 .

法）將含有氧 稽田啁壓（Pressure swing)吸附法（PSA 法。3 之原料氣體中之該當氧濃縮加以回收之方 背景技術 經由P S A法所p 須要求氧氣的：二將，濃化之濃縮氧氣’廣泛地利用於 處理氧氣曝氣、；=，例如，電爐製鋼、水 焚化技術方面 水冻白、臭氧產生裝置等。近年來，於 NOx化、化學焚燒爐殘餘物的熔融化、排出氣體的低 Γ二:用反Λ的高效率化等為目的，代之以在空氣^ 夕吐π Μ古品^礼乱甲t;兀之做法。再者，於發酵等 之生化子方面，濃縮氧氣亦日益廣受利用。 於PSA法中，通常係使用具備有2 置。多塔式PSA法巾，係於各吸附拔“。及附塔之瓜 ^ m ^ 曰Ρ Η 糸、各及附。反覆進行吸附步驟、 脫附步驟、幵壓步驟等。此算步驟 而、隹一 ga ^ 係於吸附塔間錯開時 間而進>[丁。關於多塔式p S A法；5 JL张# m 良-亩姑”、容二 使用之裝置之各種改 良直被旨试者。例如，於日本專利特開平8_239204號公 報中’揭不著將吸附步驟終了後之吸 他吸附塔的昇壓利用之方法。 J i刀供興其 另-方面’就裝置整體的小型化及精“，及起 (initial cost)之降低等的觀點考量，而使用只具備丨炫 之吸附塔的裝置的早塔式PSA法’亦為眾所周 此單塔式PSA法及其所利用之裝置，就所得之成品之：氣 的量及純度等的觀點之各種改良亦—直被嘗試者。例如， 1225466 五、發明說明（2) 於曰本專利特開平9-29044號公報中，揭示著藉由將吸附 步驟終了後之吸附在吸附塔之滯留氣體回收到另外設置之 回收槽中，於脫附步驟終了後將該回收氣體再度導入吸附 塔中，以進行吸附塔的洗淨之方法。 然則，此等公報中所記述之方法及其他的單塔式PSA法 中，濃縮氧氣的產出率並不理想，尚有加以改善之餘地。 本發明乃有鑑於此而研究提出者，其目的為，在藉由單 塔式PSA法製得濃縮氧氣之情況，提高濃縮氧氣的產出 率〇 發明之揭示 依據本發明之第1範疇，在於提供一種濃縮氧氣的回收 方法，其係藉由用填充有吸附劑之單一的吸附塔的調壓吸 附法，將含於原料氣體之氣體狀的氧濃縮進行回收者。此 方法中，係包含，反覆施行含有下述諸步驟之循環製程： 將原料氣體導入吸附塔中，使含於原料氣體中之不要成分 吸附於吸附劑中之後，再自吸附塔導出氧濃化氣體之吸附 步驟；藉由使吸附塔内的壓力降低，使吸附於吸附劑之不 要成分自吸附劑脫附之脫附步驟；將洗淨氣體導入吸附塔 中，排出殘留在吸附塔内之殘留氣體之洗淨步驟；使吸附 塔内的壓力上昇之昇壓步驟。脫附步驟，包含於吸附步驟 終了後將存在於吸附塔内之準氧濃化氣體回收保存於回收 槽中之回收步驟；洗淨步驟，包含將保存於回收槽中之準 氧濃化氣體的一部份作為洗淨氣體導入吸附塔中，並同時 將殘留於吸附塔内之殘留氣體排出之步驟；昇壓步驟，包

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έ藉由將保 塔中，使吸 較佳者為 脫附步驟， 收槽之同時 狀的不要成 較佳者為 份作為上述 上述吸附塔 較佳者為 的量與昇壓 分配比，換 佳者為，所 7 5 ·· 2 5 〜9 3 ·· 7 存於回 附塔内 吸附塔 係通過 ，通過 分排出 ，洗淨 洗淨氣 内之殘 ，洗淨 步驟中 鼻為標 述分配 依據本 方法，其 附法，將 方法，係 程：將原 成分吸附 吸附步驟 濃化氣體 壓力降低 吸附塔排 發明之 係藉由 含於原 包含， 料氣體 於吸附 ;於吸 回收保 ，使吸 出之第 收槽中之殘留的準氧濃化氣體導入吸附 的壓力上昇之步驟。 、 ’須具有原料氣體及成品氣體出口，於 成品氣體出口將準氧濃化氣體回收到回 原料氣體入口可將自吸附劑脫附之氣體 〇 步驟，係包含將上述氧濃化氣體的一部 體導入上述吸附塔中，並同時將殘留在 留氣體排出之步驟。 步驟中之導入吸附塔中之準氧濃化氣體 之導入吸附塔中之準氧濃化氣體的量之 準狀態之容積基準為65:35〜97: 3。更 比，換算為標準狀態之容積基準為 第2範疇，在於提供一種濃縮氧氣的回收 用填充有吸附劑之單一的吸附塔的調壓吸 料氣體之氣體狀的氧濃縮進行回收者。此 反覆施行含有下述諸步驟之1循環之製 導入吸附塔中，使含於原料氣體中之不要 後，再自吸附塔導出氧漠化氣體之 二乂驟終了後’將存在於吸附塔内之準氧 存於回收槽中，祐円 μ 羊^ 亚同日可猎由使吸附塔 附於吸附劑之不要点八 ,^ 要成分自吸附劑脫附，自 1脫附步驟；藉由尤土 h 目 猎由在未施行準氧濃化氣體

1225466 五、發明說明（4) 的回收之下，使吸附塔内的壓力降低，使吸附於吸附劑中 之不要成分自吸附劑脫附由吸附塔排出之第2脫附步驟； 將洗淨氣體導入吸附塔，並同時將殘留在吸附塔内之殘留 氣體排出之第1洗淨步驟；將保存於回收槽中之準氧濃化 氣體的一部份導入吸附塔中，並同時將殘留在吸附塔内之 殘留氣體排出之第2洗淨步驟；藉由將保存於回收槽之殘 餘的準氧濃化氣體導入吸附塔中，使吸附塔内的壓力上昇 之昇壓步驟。 於本發明之濃縮氧氣的回收方法中，將於吸附步驟終了 後存在於吸附塔内之準氧濃化氣體回收，將此氣體利用於 吸附塔内的洗淨及昇壓之雙方。依於這樣的構成，較之於 將回收之準氧濃化氣體單只用於吸附塔内的洗淨之情況或 單只用於吸附塔内的昇壓之情況，可使最終得到之濃縮氧 氣的產出率得以提高，此事實業經本發明者等之確認。 洗淨步驟中之導入上述吸附塔中之上述準氧濃化氣體的 量與上述昇壓步驟中之導入上述吸附塔中之上述準氧濃化 氣體的量之分配比，換算為標準狀態之容積基準為6 5 : 35〜97:3，或為更佳之75:25〜93:7之情況下，尤其可達成 高產出率，此事實亦經本發明者等之確認。 用以實施發明之最佳形態 以下，就本發明之較佳的實施形態參照圖式具體地加以 說明。 圖1，表示用以實現本發明之濃縮氧氣的回收方法之PS A 分離裝置X的概略構成。PSA分離裝置X，具有吸附塔1、成

90131317.ptd 第7頁 1225466 五、發明說明（5) 品氣體緩衝槽2、及回收槽3。 吸附塔1，具有成品氣體出口 1 a與原料氣體入口丨b，其 内部填充有吸附劑。作為吸附劑，可使用L i -X型沸石分子 篩、Ca-X型沸石分子篩、Ca-A型沸石分子篩等。 吸附塔1的成品氣體出口 1 a，通過成品氣體回收用的第1 配管4a及成品氣體供給用的第2配管4b連接到成品氣體緩 衝槽2，並通過後述之準氧濃化氣體用的第3配管4c連接到 回收槽3。 吸附塔1的原料氣體入口 1 b，通過共用的第4配管4d、原 料氣體供給用的第5配管4e及第6配管4f連接到原料氣體供 給部7，並通過第4配管4d、脫附氣體排出用的第7配管4g 及第8配管4h連接到脫附氣體回收部8。 成品氣體缓衝槽2，通過成品氣體回收用的第9配管4丨連 接到成品氣體回收部9。 於成品氣體回收用的第1配管4a處，設置有自動閥5a， 於成品氣體供給兩的第2配管4b處，設置有自動閥5b及流 量調節閥6a。於準氧濃化氣體用的第3配管4c處，設置有 自動閥5 c及流量調節閥6 b。於原料氣體供給用的第5配管 4e及第6配管4f ’以及脫附氣體排出用的第7配管4g及第8 配管4 h處’分別没置自動閥5 d、5 e、5 f、5 g。於共用的第 4配管4d處，設置有抽風泵（Bi〇we:r Pump)BP。 於第1〜第9配管4 a〜4 i之氣體流向狀態，可藉由各自動閥 5 a〜5 g的開閉狀態調節。於吸附塔1中，因應於自動閥 5a〜5g之切換狀態’可使吸附步驟、脫附步驟、洗淨步

C:\2D-C0DE\91-03\90131317.ptd 第8頁 1225466 五、發明說明（6) 驟、及昇壓步驟之一連串的步驟作所定次數之 步驟，係以使不要氣體為吸附劑所吸附為目的吸附 下進行。脫附步驟，係以使不要氣體自吸附劑脫附:向壓 的，係於低壓下進行。洗淨步驟，可將滯留在级二目 氣體排出。昇壓步驟，可使吸附塔}的内部壓力°門曰的脫附 隨後之吸附步驟之準備。 上汁作為 於本實施形態中，用如上述般構成之PSA分離 料氣體中將不要成分除去，得到氧濃化之氣體1自^ =於吸附糾中，以圖2所示般的步驟卜 二縮 反後進行這樣的循環。圖2中’亦顯示各步驟之循％， =g的開閉狀態。圖3A〜3F，分別表示對應於自動閥々 月豆k向圖。氣體流向以粗線箭頭表示。 乂 ^之軋 ^步’^ ’係如圖2所示般地選擇各自動㈣ 狀二成為圖3Α所示般的氣體流 ？開閉 7為連通狀Γ /及附塔1，係與原料氣體供給部 品氣體回收部9 =、車二=二1。，通過成品氣體緩衝槽2與成 部γ之原料氣^? ^三因此，準備於原料氣體供給 配管4e、第4配工乳^猎由抽風泵ΒΡ之驅動，通過第5 入吸附塔1中-〇官士、及第6配管4f，自原料氣體入口 lb導 30〜100kPa( _ 日守，吸附塔1的内部壓力，係作成例如 體中所含有2里（gauge)壓）。於吸附塔1的内部，原料氣 結果，氧不要成分（例如氮氣）可藉由吸附劑除去。其 體出口 la道ΐ度高的氣體，亦即氧濃化氣體，通過成品氣 出到吸附塔1的外部為成品氣體。此成品氣 1225466 五、發明說明（7) 體’通過第1配管4a送到成品氣體緩衝槽2中。成品氣體一 旦滞留於成品氣體緩衝槽2中後，可繼而通過第9配管4丨被 回收到成品氣體回收部9中。於本步驟終了時，成品氣體 的一部份仍然滯留在成品氣體緩衝槽2中。 於步驟2，係如圖2所示般地選擇各自動閥5&〜5§的開閉 狀態，成為圖3B所示般的氣體流向狀態，進行脫附步驟。 &如圖1及圖3B所示般，吸附塔丄，與回收槽3為連通狀 態。吸附塔1，由於先前進行吸附步驟之故，其内部壓力 增高至例如30〜100kPa(測量壓）。相對於此，回收槽/的内 部壓力，於本步驟的初期狀態下，為例如-8〇一1〇^ $壓）一，維持於相對的低值。因此，吸附塔丨所存在之 度較向的氣體’亦即準氧濃化氣體，因於吸附塔ι斑回收 ，間：壓力差，而通過第3配管4c往回收槽3流動？此氣 肽，由於在吸附步驟終了時係存在於吸附塔，故要 成刀=被相§私度地除去，故氧濃度比較高。回收栌3 内部壓力，最後係做成為例如_5〇〜7〇kPa(測量壓）。曰、 於步称2中’吸附塔！係亦與脫附氣體回收 態0因此，藉由m β曲力 丨0❺逆逋狀 ^πη 軋甶羊虱/辰化氣體之往回收槽3流動以及拙涵 ::驅動’可使吸附塔ι的内部減壓。藉此 成分自吸附劑脫附，致吸附塔1内的不要氣體濃度=要 此：要亂巧，错由抽風泵Bp之驅動，通過第7配 配官4d及第8配管4h被回收到脫附氣體回收部8中。 ^ 驟3中如圖2所示般地選擇各自動閥5 a〜5的 狀L則成圖3g所不般的流向狀態，繼續進行脫附步驟。 麵

C:\2D-C0DE\91-03\90131317.ptd 第10頁 1225466 五、發明說明（8) 如圖1及圖3 c所表示般地，吸附塔1只與脫附氣體回收部 8為連通狀態，藉由抽風泵BP自步驟2起的驅動之繼續，可 使吸附塔1的内部減壓，進行脫附氣體的回收。 於步驟2及3之脫附步驟中，吸附塔1内的最低壓力，係 作成為例如-9 0 — 2 0 k P a (測量壓）。 於步驟4中，如圖2所示般地選擇各自動閥5a〜5g的開閉 狀態，成為圖3 D所示般的流向狀態，進行洗淨步驟。 如圖1及圖3D所示般，吸附塔1與成品氣體緩衝槽2及脫 附氣體回收部8為連通狀態。吸附塔1的内部，完成了前面 的脫附步驟而成為相對的低壓狀態。相對於此，成品氣體 緩衝槽2内，由於有經由吸附步驟所得之成品氣體滯留， 而成為相對的高壓狀態。因此，自成品氣體緩衝槽2，通 過第2配管4b，使成品氣體自成品氣體出口 1 a導入吸附塔1 作為洗淨氣體。此時，藉由抽風泵BP的驅動，吸附塔1内 的氣體即被吸引。藉此，可幫助成品氣體之自成品氣體緩 衝槽2往吸附塔1之流動。自成品氣體緩衝槽2的成品氣體 的流量以至於壓力，可藉由流量調節閥6 a調節。 通過成品氣體出口 1 a受到來自吸附塔1所吸引之氣體， 通過第7配管4 g、第4配管4 d、及第8配管4 h被回收到脫附 氣體回收部8中。藉由抽風泵BP的驅動吸引吸附塔1内的氣 體，可幫助殘留氣體的回收。此時，吸附塔1内受到減壓 將不要氣體排出，使得吸附塔1内的不要氣體及分壓變 小。其結果，亦可促進不要成分自吸附劑之脫附。 又，本洗淨步驟中之吸附塔1内的壓力，若利用藉由抽

90131317.ptd 第11頁 五 發明說明（9) 風系^ B P之明p丨 - 90〜？作用，則可例如與脫附步賢η揭从# 9U —20kPa(測量壓）。 少姝冋樣地成為 日日0日方、步驟5，係如圖2所示般地選摁 開閉狀態，成A 、擇各自動閥5a〜5g的 淨步驟。成為關所不般的氣體流向狀態，繼續^洗 如圖1及圖3E所示般，吸附塔1，盥θ ^收部8為連通狀態。如上述般，回^槽3及脫附氣體 為例如-50〜70kPa(測量塵）。相=^曹3的内部壓力，成 力，例如經由抽風系BP而減壓，成、’吸附塔1的内部廢 力更低之-90〜—2〇kPa(測量壓較回收槽3的内部壓 附塔1間的壓力差，回因於回收槽3與吸 氣體出口la通過第3配管4c 丰虱/辰化氣體，會自成品 槽3的準氧濃化氣體的流量以^，塔1。此時，出自回收 閥6b調節。殘留在吸附狄丨主&壓力，可藉由流量調節 氧濃化氣體的導入及自：：氣體，ϋ由自回收槽3的準 lb排出’其通過第7配管$ 的吸引而自原料氣體入口 回收到脫附氣體回收部&8、第4配管4d、及第8配管4h被 此時，自回收槽3導入吸 作成為自脫附步驟（步驟2)寸塔1之準氧濃化氣體的量，係 體量的例如65〜97%(以換v"及附塔1所回收之準氧濃化氣 以75〜93%為更佳。於本并鼻為標準狀態之容積基準計算）而 係作成例如-80〜-l〇〇kP ,、 τ，吸附塔1内的最終壓力， 壓力作成為例如-70〜〇kPa(、夏壓），並使回收槽3内的最終 於步驟6，係如圖2所 1壓）。 、又地選擇各自動閥5 a〜5 g的開閉

1225466 五、發明說明（10) 狀悲’成為圖3 F所示般的氣體流向狀態，進行昇壓步驟。 如圖1及圖3 F所示般，吸附塔1為與回收槽3及原料氣體 供給部7為連通狀態。對吸附塔丨，延續自步驟5，自回收 槽3通過第3配管4c繼續使準氧濃化氣體導入。與此同時 ，，對吸附塔1，藉由抽風泵BP的驅動，通過第5配管4e、 第4配官4d、及第β配管4 f，自原料氣體供給部7供給原料 氣體。目&，吸附塔1的内部，被昇壓成為例如 60〜10kPa 〇 又^自回收槽3的準氧濃化氣體的流量以至於壓力， 可ί = 節閥6b調節。自回收槽3導入吸附塔1之準氧濃 化氣體，係作成為自脫附步驟（步驟2)之吸附塔1所回 收之準氧，化氣體量的例如3〜35%(以換算為標準狀態之容 算）而以7〜25%為更佳。又，回收槽3的内部被減 壓成-80〜-l〇kPa(測量壓）。 而且，藉由在PSA分離裝置χ中反覆進行上述所說明之步 驟、可自_原料氣體製得氧氣經濃縮之成品。 方、上述之灵％形態中，步驟6的昇壓 濃化氣體及原料氣體的導入之雙方而進行^曰由丰乳 ;;此；= 成，亦可只導入準氧濃化氣體來進行。“ 阳的吸附步驟中，藉由將原料氣體供給到吸 、合 ；ϋ附步驟的過程中，可使吸附塔1内的壓力上昇 到最終的最高壓力。 Π日]i刀上幵 於步驟6與步驟1之間，亦可含入藉由將保存於成口 氣體緩衝槽2之成σ名娜道Λ成糾γ ]如 竹你仔於成口口 成u口軋脱V入及附i合1内，使吸附塔1内再

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iiB 第13頁 1225466 五、發明說明（11) 昇壓之步驟。 其次，就本發明之實施例，併同比較例加以說明。 實施例1〜5，比較例1及2 於各實施例及各比較例中，用如圖1所示般的PSA分離裝 置X，於圖4中所揭示的條件下，藉由反覆進行由圖2所示 之步驟所構成之循環，試圖自原料氣體回收濃縮氧氣。其 結果，一併揭示於圖4之外，並以圖5的曲線顯示。圖5的 曲線之橫坐標，係表示對於在脫附步驟所回收之準氧濃化 氣體的總量之在洗淨步驟所使用之準氧濃化氣體的量之比 率，縱坐標，係表示以實施例1的成品氣體產出率為1時的 數值。 又，於各實施例及各比較例中，差異之處在於，步驟2 中回收槽3中所回收之準氧濃化氣體之中，其於步驟5的洗 淨步驟中導入吸附塔1之準氧濃化氣體的量，與於步驟6的 昇壓步驟中導入吸附塔1之準氧濃化氣體的量之分配比使 其相異之外，其餘係作為相同的條件。惟，因於分配比之 相異，步驟5的洗淨步驟終了後及步驟6的昇壓步驟終了後 之吸附塔1的内部壓力、步驟5的洗淨步驟終了後的回收槽 3的内部壓力，係各為相異。 分配比，換算為標準狀態之容積基準下，於實施例1為 8 5 : 1 5，於實施例2為7 8 : 2 2，於實施例3為9 0 : 1 0，於實施 例4為6 0 : 4 0，於實施例5為9 5 : 5，於比較例1為1 0 0 ·· 0，於 比較例2為0 : 1 0 0。於比較例1中，在脫附步驟（步驟2 )所回 收之準氧濃化氣體，係完全使用於洗淨步驟（步驟5)，未

Η» C:\2D-C0DE\91-03\90131317.ptd 第14頁 1225466 五、發明說明（12) 使用於昇壓步驟（步驟6 )中。在比較例2中，在脫附步驟 (步驟2 )所回收之準氧濃化氣體，係完全使用於昇壓步驟 (步驟6 )，未使用於洗淨步驟（步驟5 )中。 依於圖4及圖5，可明白··藉由將分配比作成為換算為標 準狀態之容積基準下為6 5 : 3 5〜9 7 : 3，成品氣體（濃縮氧氣 體）的產出率可成為較高。進而，藉由將分配比作成為換 算為標準狀態之容積基準下為75:2 5〜93:7，成品氣體的產 出率可成為特別高。 如上述般，依據本發明，將在脫附步驟中所回收之吸附 塔内的氣體使用於脫附步驟終了後的吸附塔内的洗淨及壓 力回復之兩方，可提高成品氣體之產出率。 元件編號說明 1 吸 附 塔 la 成 品 氣 體 出 Π la lb 原 料 氣 體 入 V lb 2 成 品 氣 體 緩 衝 槽 3 回 收 槽 4a， -4i 第 1至第9 配 管 5 a - ^ 5g 動 閥 6a， 6b 流 量 調 /r/r 即 閥 7 原 料 氣 體 供 給 部 8 脫 附 氣 體 回 收 部 9 成 品 氣 體 回 收 部 %

C:\2D-C0DE\91-03\90131317.ptd 第15頁 1225466 圖式簡單說明 圖1為表示用以實現本發明之濃縮氧氣的回收方法之PSA 分離裝置的概略構成。 圖2為表示本發明之濃縮氧氣的回收方法之各步驟中之 圖1的PSA分離裝置的各自動閥的開閉狀態之表。 圖3A〜3F為對應於各步驟之氣體流向圖。 圖4為揭示實施例及比較例之諸條件及數據之表。 圖5為表示實施例及比較例的結果之曲線圖。

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Claims (1)

1225466 案號 90131317 修正 6r IS替換本、 六、申請專利範圍 回收方法，其係藉由用填充有吸附劑 (pressure sw i ng)吸附法，將含於 氧濃縮進行回收者；其特徵在於，係 之單一 原料氣 包含： 反覆 吸附 上述原 自上述 脫附 上述吸 洗淨 上述吸 使上 上述 塔的上 塔的上 保存於 了後， 述吸附 驟， 上述 述洗淨 留於上 步驟， 種濃縮 的吸附 體之氣 施行含 步驟， 料氣體 吸附塔 步驟， 附劑之 步驟， 附塔内 述吸附 脫附步 述入口 述出口 回收槽 在將上 塔的上 洗淨步 氣體從 述吸附 和將保 氧氣的 塔的調 體狀的 有下述 將上述 中之不 導出氧 藉由使 上述不 將洗淨 之殘留 塔内的 驟，包 將不需 將存在 中之第 述吸附 述入口 驟，包 上述出 塔内的 存於上 諸步驟 原料氣 要成分 濃化氣 上述吸 要成分 氣體導 氣體； 壓力上 含上述 要成分 於上述 一脫附 塔的上 將不需 之循環製程： 體導入上述吸附 吸附於上述吸附 體； 附塔内的壓力降 自上述吸附劑脫 入上述吸附塔中 塔中，使含於 劑中之後，再 低，使吸附於 附； ，排出殘留在 昇之昇壓步驟； 吸附步驟終了後 減壓排出的同時 吸附塔内之準氧 步驟，和在該第一脫附步驟終 述出口關閉的狀 要成分減壓排出 從上述吸附 從上述吸附 濃化氣體回收 態之下，從上 的第二脫附步 含將上述氧濃化氣體的一部分做為上 口導入至上述吸附塔的同時，並將殘 殘留氣體從上述入口排出的第1洗淨 述回收槽中之上述準氧濃化氣體的一

C:\ 總檔\90\9()13]3]7\90】3]3]7(替換）-〗.ptc 第17頁 1225466 _，案號90131317_年月曰 修正_ 六、申請專利範圍 部份作為上述洗淨氣體導入上述吸附塔中，並同時將殘留 於上述吸附塔内之殘留氣體從上述出口排出之第2洗淨步 驟， 上述昇壓步驟，包含藉由將保存於上述回收槽中之殘留 的上述準氧濃化氣體導入上述吸附塔中，使上述吸附塔内 的壓力上昇之步驟。 2. 如申請專利範圍第1項之濃縮氧氣的回收方法，其 中，於上述洗淨步驟中之導入上述吸附塔中之上述準氧濃 化氣體的量與上述昇壓步驟中之導入上述吸附塔中之上述 準氧濃化氣體的量之分配比，換算為標準狀態之容積基準 為65 : 35〜97 : 3。 3. 如申請專利範圍第2項之濃縮氧氣的回收方法，其 中，上述分配比，換算為標準狀態之容積基準為7 5 : 2 5 〜93 : 7。 4. 一種濃縮氧氣的回收方法，其係藉由用填充有吸附劑 之單一的吸附塔的調壓吸附法，將含於原料氣體之氣體狀 的氧濃縮進行回收者；其特徵在於，係包含： 反覆施行含有下述諸步驟之1循環之製程： 吸附步驟，將上述原料氣體導入上述吸附塔中，使含於 上述原料氣體中之不要成分吸附於上述吸附劑中之後，再 自上述吸附塔導出氧濃化氣體； 第1脫附步驟：於上述吸附步驟終了後，將存在於上述 吸附塔内之準氧濃化氣體回收保存於回收槽中，並同時藉 由使上述吸附塔内的壓力降低，使吸附於上述吸附劑之上

C:\ 總檔\90\9ϋ]31317\901313Π(替換）-].ptc 第18頁 1225466 案號 90131317 年 月 曰 修正 六、申請專利範圍 述不要成分自上 第2脫附步驟： 之下，使上述吸 中之上述不要成 出； 第1洗淨步驟： 殘留在上述吸附 第2洗淨步驟： 氣體的一部份導 附塔内之 昇壓步 濃化氣體 昇。 5 ·如申 中，於上 化氣體的 準氧濃化 為6 5 : 3 5〜 6.如申 中，上述 〜93 : 7 。 殘留氣 驟：藉 導入上 請專利 述洗淨 量與上 氣體的 97:3。 請專利 分酉己比 述吸附劑脫附，自上述吸附塔排出； 藉由在未施行上述準氧濃化氣體的回收 附塔内的壓力降低，使吸附於上述吸附劑 分自上述吸附劑脫附，由上述吸附塔排 將洗淨氣體導入上述吸附塔，並同時將 塔内之殘留氣體排出； 將保存於上述回收槽中之上述準氧濃化 入上述吸附塔中，並同時將殘留在上述吸 體排出； 由將保存於上述回收槽之殘餘的上述準氧 述吸附塔中，使上述吸附塔内的壓力上 範圍第4項之濃縮氧氣的回收方法，其 步驟中之導入上述吸附塔中之上述準氧濃 述昇壓步驟中之導入上述吸附塔中之上述 量之分配比，換算為標準狀態之容積基準 範圍第5項之濃縮氧氣的回收方法，其 ，換算為標準狀態之容積基準為75 : 25 m ___ (：:\總檔\90\90]31317\9013]3Π(替換)-l.ptc 第19頁