TWI225433B - Discharge processing device - Google Patents

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1225433 五、發明說明（2) 被膜的被覆後，於含碳的加工液中進行放 為達到前述導電性被膜進行鍍覆不 σ 。此外， 等的目的，曰本國特開平7_1 36849號：：：處理裝置 9-253935號公報& # f τ $ &及日本國特開平 ⑴且材料所Ϊ:!:有以：之方法：將由絕緣性材料或 问 電阻姑斜所接# > a 田 '吧緣性材料或 材钭所構成之被加工物與導電性 於”之加工液中進行放電加工。材钭接觸固疋後， 第9圖為揭示於日本國特 電”裝置的構成說明圖特：J9中 由t緣性材料或高電阻材料所構成之被加工 1.，、、 為載置被加工物2a的工作台、γ為固令、、Λ 為加工液喷嘴、9aA9b為線導件、1〇為；；、 料、mi :: 液供給用泵、12為導電性材 J σ工電力供給機構。被加工物2 a與導電性材 ί 合之狀態下固定。以未二々 八，廿、、; a定位於被加工物2 a與導電性材料的接合 刀，利用加工電力供給機構13將加工電力提供至杻 性；!:工物2a及導電性材料12之間。如此，首先僅：； 材料12的部分產生放電，接著在最接近被加工物h的 '性材料12之處藉由熱能量進行加工及電極材成分的轉 之後，前述轉移部分亦產生放電，藉由放電的衝擊π :能量進行被加工物2a的加工。隨著加工的進行 八:的加工表面轉移有電極材成分，並且加工液4a進行熱 ，’該加工液“所含的碳以電氣電阻較低的不定形碳^ (結晶性碳）形態附著於被加工物2a而形成導電性被膜。^

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以上述方式形成之導電性被膜產 2 a的加工。 。 以進行被加工物 如上所述，在由習知之絕緣性材 成之被加工物中進行放電加工之杜 /阿電阻材料所構 形成於前述被加工物之導電性被膜 _ =原理，乃通過 的加工。 、進行前述之被加工物 然而’目前有加工不穩定及加工 因此，仍無法達到正式實用化。 買降低的問題， [發明之概述] 本發 供一種可 的加工穩 有關 施加有導 之被加工 高電阻材 加工液中 加工物進 預定時間 前述被加 在前述加 以進行加 明係為 使由絕 定及加 本發明 電性被 物、或 料所構 ’於前 行去除 之時點 工物之 工物加 工 〇 解決上 緣性材 面品 之放電 膜被覆 由與導 成之被 述極間 加工， 的極間 加工的 工面形 I <问 料或高 質提昇 加工方 之絕緣 電性材 加工物 產生脈 其特徵 電壓， 較短放 成導電 M 研創者 電阻材料所 之放電加工 & ’係將加 性材料或高 料接觸固定 與電極的極 衝狀的放電 在：量測自 依照前述量 電脈衝寬度 性被膜之較 ’其目的在於 構成之被加工 方法及裝置。 工電力提供至 電阻材料所構 之絕緣性材料 間，而在含碳 ，藉以對前逑 放電開始到經 測值設定適合 ’或設定適合 長放電脈衝寬 此外’有關本發明之放電加工方法，係將加工電力提 供至由施加有導電性被膜被覆之絕緣性材料或高電阻材料

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所構成之被加工物，或由與導電性材料接觸固定之絕緣性 材料或高電阻材料所構成之被加工物與電極的極間，而在 含碳的加工液中，於前述極間產生脈衝狀的放電，藉以對 前述加工物進行去除加工，其特徵在：量測自放電開始到 經過預定時間之時點的極間電壓，當前述量測 基準電壓小時，設定適於前述被加工物之加」== 脈衝寬度，而當前述量測值較預定之基準電壓大時，則設 定適於在前述被加工物加工面形成導電性被膜的較長放^ 脈衝寬度以進行加工。

此外’有關本發明之放電加工方法，係將加工電力提 供至由施加有導電性被膜被覆之絕緣性材料或高電阻材料 所構成之被加工物’或由與導電性材料接觸固定之絕緣性 材料或高電阻材料所構成之被加工物與電極的極間，而在 含碳的加工液中’於前述極間產生脈衝狀的放電，藉以對 前述被加工物進行去除加工，其特徵在：將小於電源電壓 之至少一個基準電壓與極間電壓進行比較，依照前述比較 結果，設定適合於前述被加工物之加工的較短放電脈衝寬 度，或設定適合於在前述加工物加工面形成導電性被膜之 較長放電脈衝寬度以進行加工。 、

此外，有關本發明之放電加工方法，係將加工電力提 供至由施加有導電性被臈被覆之絕緣性材料或高電阻材料 所構成之被加工物，或由與導電性材料接觸固定之絕 材料或高電阻材料所構成之被加工物與電極的極間，而在 含碳的加工液中，於前述極間產生脈衝狀的放電，藉以對

1225433 五、發明說明（5) 前述被加工物進行去除加工，其特徵在：將在極間電壓低 於設定在電源電壓以下之電源電壓接近值之第1基準電壓 以下的時刻開始至經過預定時間的時點的極間電壓加以量 測，當前述量測值較預定之第2基準電壓小時，設定適於 前述被加工物之加工的較短放電脈衝寬度，而當前述量測 值較預定之第2基準電壓大時，則設定適於在前述被加工 物加工面形成導電性被膜的較長放電脈衝寬度以進行加 有關本發明之放電加工裝置’係具備：將加工電力提 供至由施加有導電性被膜被覆之絕緣性材料或高電阻材料 所構成=被加工物，或由與導電性材料接觸固定之絕緣性 材料或高電阻材料所構成之被加工物與電極的極間之加工 電力供給機構；提供含碳的加工液至前述極間之加工液供 給機構；以及進行前述被加工物與前述電極間相對定位之 m，於前述極間產生脈衝狀的放電，藉以對前述被 加工物進订去除加工之放電加工裝置，其特徵在具備：旦 測自放電開始到經過一定時間的時點的極間電壓^極 = 壓量測機構·，以及依照由前述極間電壓量測機構而μ θ冤 間電壓的量測值，設定適於前述被加工物之加工-極 電脈衝寬度或設定適於在前述被加工物加工面形成^短放 被膜的較長放電脈衝寬度之控制機構。 電性 此外’有關本發明之放電加工裝置，係具備· _ 電力提供至由施加有導電性被膜被覆之絕緣性材=^工 阻材料所構成之被加工物，或由與導電性材料接^ 電

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緣性材料或 加工電力供 液供給機構 位之定位機 前述被加：L 備：量測自 極間電壓量 得之極間電 小時，設定 度’而當前 在前述被加 度之控制機 高電阻材料 給機構；提 ，以及進行 構，而於前 物進行去除 放電開始到 測機構；以 壓的量測值 適於前述被 述量測值較 工物加工面 構。 所構成之被 供含碳的加 前述被加工 述極間產生 加工之放電 經過預定時 及依照由前 ，當前述量 加工物之加 預定之基準 形成導電性 加工物與電 工液至前述 物與前述電 脈衝狀的放 加工裝置， 間之時點的 述極間電壓 測值較預定 工的較短放 電壓大時， 被膜的較長 極的極間之 極間之加工 極間相對定 電，藉以對 其特徵在具 極間電壓之 量測機構而 的基準電壓 電脈衝寬 則設定適於 放電脈衝寬

2外，有關本發明之放電加工裝置，係具備：將加工

徒供至由施有導電性被膜被覆之絕緣性材料或高電阻 材料所構成之被加工物，或由與導電性材料接觸固定之絕 緣性材料或高電阻材料所構成之被加工物與電極的極間之 加工電力供給機構；提供含碳的加工液至前述極間之加工 液供、機構，以及進行前述被加工物與前述電極間相對定 =之疋位機構，而於前述極間產生脈衝狀的放電，藉以對 刖述被加工物進行去除加工，其特徵在具備：量測極間電 壓f極間電壓量測機構；以及前述極間電壓量測機構而得 之里測值（第1量測值）低於設定在電源電壓以下的電源電 壓之f近值之第丨基準電壓以下的時刻開始至經過預定時 間之時點藉前述極間電壓量測機構所獲得之量測值（第2量

313404.ptd 第13頁 1225433 五、發明說明（7) ::)較預定的第2基準電壓小時’設定適於前述被加工物 較Λ放電脈衝寬度’而當前述第2量測值較預定 #ί導\Λ 時’則設定適於在前述被加工物加工面 y導電性被膜的較長放電脈衝寬度之控制機構。 電力ί:,!關本發明之放電加工裝4，係具備：將加工 J料ΐ ί ΐ !有導電性被膜被覆之絕緣性材料或高電阻 材料所#成之被加工㈣電極的極間之 給機構；提供含碳的加工液至前述極間之加工 ==播以及進行前述被加工物與前述電極間相對定 前述ϊ，而於前述極間產生脈衝狀的放電，藉以對 2 電壓與極間電壓進行比較的至少1個比較機 物之^ ·、、、刖述比較機構的比較結果，設定適於前述被加工 物加工2的較短放電脈衝宽度，或設定適於在前述被加工 構。 形成導電性被膜的較長放電脈衝寬度之控制機 電力有關本發明之放電加工裝置，係具備：將加工 阻材料i i由施有導電性被覆膜被覆之絕緣性材料或高電 絕緣性^構成之被加工物，或由與導電性材料接觸固定之 之加工齋料或高電阻材料所構成之被加工物與電極的極間 工液供级2供給機構；提供含碳的加工液至前述極間之加 定位:I機構；以及進行前述被加工物與前述電極間相對 疋位機構，而於前述極間產生脈衝狀的放電，藉以

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第14頁 1225433 五、發明說明（8) 述被加工物進行去除加。’其特徵在具備：將自放電 開始至經過預定時間之時點的極間電壓與預定基準電壓之 比較之比較機構；以及藉由該比較機構的比較二果，當前 述電極電壓較前述基準電壓小時，設定適於前^被加:物 的加工之較短放電脈衝寬度，而當前述極間電壓較前述基 準電壓大時，則設定適於在前述被加工物加工面形成導電 性被膜的較長放電脈衝寬度之控制機構。 此外，有關本發明之放電加工裝置係具備：將加工電 力提供至由施有導雷Μ《由_ #療> μ a 料所構成之被加工Γ =材料或高電阻材 性材料或高電阻材料所構成^如你；Γ接觸固定之絕緣 工電力供給機#，·提供含碳：二二電極的極間之加 供給機構；以及進行前述被加工物與前述電=對定位 之定位機構二而於前述極間產生脈衝狀的放電，藉以對前 述f加工物進灯去除加工，其特徵在具備：將極間電壓與 設定在電源電壓以下之電源電壓接近值的第丨基準電壓進 行比較之第、比較機構；將前述極間電壓與設定在較前述 第1基準電壓為小值的第2基準電壓進行比較之第二比較機 構，以及利用刖述第_比較機構而得之比較結果，自前述 極間電壓低於較前述第1基準電壓的時刻開始至經過預定 時間之時點，利用前述第二比較機構所得之比較結果，自 前述極間電壓低於前述第2基準電壓時，設定適合於前述 被加工物之加工的較短放電脈衝寬度，而當前述極間電極 权刚述第2基準電壓大時，則設定適於在前述被加工物加

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第15頁 1225433 五 發明說明（9) 工 成 工 面形成#電性孝皮膜的長放電脈％寬度 有關本發明之放電加工方法及裝置乃以上構。 ，故有可達成由絕緣性材料或高電阻材料槿=方式構 物的加工之穩定性及加工面的品質提升之威之被加 [發明之最佳實施形態] 、 效。 第1圖為對由絕緣性材料或高電阻材料所 、 工物去除加工之習知之放電加工裝置中的極間 之破加 之說明圖，圖中，t為時間、ν為極間電極、ν◦為愛波形例 壓' Vg為電弧電壓、Vs為放電檢測電壓、τ為_定源電。 脈衝、TpL為較以一定頻率顯現之放電脈衝P寬产疋的放電 電脈衝幅、Tr為停止時間。 又p更長的放 乂彺之去卜丁、π — w % π π仍竹戏雨電阻材料所構 f加工物之放電加工裝置中，其維持固定的玫電能量， 時為獲得粗楗度均一之加工面而設定固定的放電寬 TP以進行加工之情況，在觀察放電加工之狀態時，亦發 到如第1圖所示之較放電脈衝寬度τρ更長的脈“衝寬度？1) 以下將對上述之極間電壓波形之意涵進行研究。

目前一般所使用之放電加工裝置，係如前所述為將放 電脈衝寬度設定為預定的放電脈衝寬度Τρ，而將電源電壓 '以下的預定電壓做為放電檢測電壓vs，自放電檢測電壓 vs下降的時點察覺開始放電並開始量測放電脈衝寬产τ。 但是’在由絕緣性材料或高電阻材料所構成之被加ϋ的 加工上，因前述被加工物表面的電氣電阻較大，因此放電

1225433 五、發明說明（10) 開始後的極間電壓（包含因# 雷厭I u破加工物的電氣電阻所導致的 ’如第1圖之a所示，•管已開始放電 裝置Ιίί 於放電檢測電w，因而導致放電加工 此電的產而產生持續施加電磨的現象。 二U間電壓m慢地下降，“低於放電檢測 n =經過Μ放電脈衝寬度Tp(例如數 夺施加電麼而成為停止時間Tr。如此，即出現實 成數寬:T:r現 工物為對象之ί電：：二：材：：電性材料之被加 述 r象======= ，加工物之加工中扮演了極為阻材料所構成之 述之現象，極端地出現了較原J所”色。亦即，利用前 放電脈衝，H &可加I絕緣性 ς =脈冑寬度較長之 技術所示，在進行由絕緣性材料或以：材料。*習知 2物的加工中於前述被加工物的表面成之被 ::須，行加工’因此根據本發明的發ΪΠ=的 I又疋值之短脈衝寬度的放 # 1研^發 :電脈衝」）有助於導電性被膜的去：及為「短 ^長I;，定值的長脈衝寬度的玫二二物： 被膜。*脈衝」）則於前述被加工物的表面形成導電性

1225433 五 、發明說明（11) 一般而言，在使用油 放電脈衝寬度，將會使彳曰士為加工液的放電加工中，加長 (carbon)附著於一方的二^加工液中所分解出的碳黑 料或高電阻材料所構成θ為眾所周知，但在由絕緣性材 對於加工將具有相當大工物的放電加工中’該現象 衝，則加工液藉由放電：忍義。亦即。當出現長放電脈 所含有的礙產生電氣生的Ϊ而分·，由加工液中 以成為覆盍則述破加工物的放 。嗲） 的表面即可產生通雷，问吐 a 别述被加工物

曰= 生通電同時即可在前述被加工物表面鱼T t之電極間持續產生放電。與一般放電放

ί 2 = 性被，生放電，導電性被膜U ’于、、"、…的衫響下將蝻述被加工物熔融或昇華去除。 如上所述，用以去除加工由絕緣性材 : ::::以：：放電加工裝置中，係在絕緣 利用錯誤動作的現象產生具重要意義之長 於1二“ ί成長放電脈衝的脈衝寬度不穩定，且形成 果會產生本發明所提及之加工不穩定性及 的問題點。 面口口貝降低 第2圖為顯示有關本發明之第i實施形熊 置的構成說明圖，圖中，1為雷 〜 電加工裝 高電阻材料所構成被加工你 a ”、、由絕緣性材料或 流電源，15為開=，16Γ:如絕緣性陶变），14為直 開關70件16為電阻器’ ”為將極間電壓與

第18頁 !225433 五、發明說明（12) ，疋之基準電壓進行比較之比較機構的第一比較器，1 8為 、f間電壓與預定之基準電壓進行比較之比較機構的第1 =較器，19為控制機構。進行電極1與被加工物“之相對 ^ 1立t疋位機構等與習知之放電加工裝置具有一般之構造 、邛刀則省^略。此外，被加工物2 a為日本國特開昭 3 1 5 0 1 0 9號公報所揭示之施加有導電性被膜之被覆者， 2日^國特開平7 — 1 36849號公報及日本國特開平卜MM” #u么報所揭不之與導電性材料接觸固定者。 第3圖為有關本發明之第1實施形態之放電加工裝置中 Γ f Γ 5壓波形例之說明圖，與第1圖相同符號係同一或 目二4刀此外，第3圖中，將來自用以驅動第2圖的開關 ί i之制機構1 9的信號U)、第一比較器1 7的輸出信 t 第二比較器18的輸出信號（c)與極間電壓波形同步 顯示。 第3圖中，τ τ\ & # , / Αρι马適於被加工物2a之加工的較短的放電 =衝寬度，TP2為適於在被加工物2a的加工面形成導電性 二膜Π乂 玫電脈衝寬度，Tq為來白放電開始的預定時 雷懕。:比較器17的基準電壓’ V2為第二比較器18的 雷厭v 比較器17的基準電壓V!係設定接近於電源 m雷a柄而第二比較器18的基準電壓V2係設定為較基 較電弧電壓v ίΐ。此外，將基準電壓^及^同樣設定為 與美準電壓/:鬲之值。第一比較器17係比較極間電壓ν ^ ,而合其淮，當基準電壓Vl低於極間電壓ν時輸出^言 儿 田土，電壓νι高於極間電壓V時則輸出l信號。此

313404.ptd 第19頁 1225433 五、發明說明（13)

外’相同地’第二比輕考1 r後L v ^ Α ^ φ m v , ?乂器18係比較極間電壓v與基準電壓 V2 ’ §基準電壓V 2低於極簡雷薇、x + @ V — A K叫間電壓v時輸出H信號，而當基準 %壓V 2南於極間電壓V日车則於山τ ^ . 於山Α站“、A tx 則輸出L信號。將第一比較器17的 飞" 變換為L的時點判斷為放電開始。 由絕緣性材料或高電阻材料所構成之被加工物2a的表 面的電氣電阻較小時，如第3 ^ ^ ^ β & π 哪乐d圖之短放電脈衝寬度Tpi，因 放電開始後的極間電壓V急速下降，而低於第一比較器17 的基準電壓ντ與第二比較器18的基準電壓^之電壓。相對 於此，被加工物2a的表面的電氣電阻較大時，如第3圖之 長放電脈衝寬度TP? ’放電開始後的極間電壓v並不會產生 急速下降的情形’雖低於較第一比較器丨7的基準電壓L， 但卻較第二比較器1 8的基準電壓為高。 在從放電開始經過預定時間T G的時點（第3圖中的Β的 時點），依照第〆比較器1 7與第二比較器丨8的輸出信號利 用控制機構1 9設疋放電脈衝寬度。亦即，在從開始放電經 過預定時間Τ 〇的时點’被加工物2 a表面的電氣電阻較小 時，利用控制機構1 9設定較短的脈衝寬度Tp!，此外在從 放電開始經過預疋時間Τ〇的時點’被加工物2 a表面的電氣 電阻較大時，則利用控制機構1 9設定較長的脈衝寬度 ΤΡ2。有關上述之短脈衝寬度ΤΡι與長脈衝寬度了02的設定， 說明如下。 如前所述’短放電脈衝（短脈衝寬度Τρ!)有助於導電 性被膜的去除及前述被加工物2 a的加工，而長放電脈衝 (長脈衝寬度TP2)則於前述被加工物2 a的表面形成導電性

3l34〇4.ptd 第20頁 1225433 五、發明說明d4) 被膜。此外，根據本發明人等的研究發現：於 的'電雷開/穿位置完全地形成有導電性被膜時電壓‘ ：ΐ2a ;4ΗΛ ,降將降低(極間電壓變高）。 第4圃為加工由絕緣性材料古 加工物時所產生之放電現象的說明7圖材中枓所：之被 2電 =絕2緣電阻材料所構成之被加；物； 電弧柱2 0為導電性被膜。此外，第4 R f 1主一 3為 被加工物2a上的導電性被膜 =圖的(a)表示形成於 的情形，而第4圖⑻則表: = 產生放電 :膜2〇的電氣電阻較大時產生放電的情形。m性 =%對為應極於門第雷4】之極間電壓波形之說明圖，圖中，二 r第c λ °為電源電壓，、為電弧電壓。此

Lac ^ 弟5圖（b)為表不對應於第4圖（1^之極間電壓波形。 比較：用：2第圖4::之比較器進行極間電壓V與基準電壓的 比較時如弟4圖所不，係觀測電極i與通過導電性被膜20 之被加工物2a侧的電壓。放電中的電壓係如第4圖（㈧所 不，在完全地形成有導電性被膜2〇且電氣電阻較小的情況 了 ♦八與車接測疋電弧柱3的電位差約為等效，極間電壓V ”電弧電壓vg成為同等之20V至3〇v的程度（參照第5圖 另方面’如第4圖（b)所示，導電性被膜2 0變少且 電氣電阻較大時，除了電弧枉3的電位差外，電氣電阻於 較大的放電點附近的電壓降以極間電壓v檢測出，故極間

第21頁 1225433 五、發明說明（15) 電壓V檢測出為較高（參照第5圖（b))。 如上述之說明，藉由放電開始後的電壓，即可判斷放 電開始處所的電氣電阻，亦即，導電性被膜2 0的狀態。 第6圖為依導電性被膜2 0的狀態顯示極間電壓波形的 變化例之說明圖，圖中，t為時間，V為極間電極，為電 源電壓。在第6圖中，放電開始後的極間電壓V的高低，例 如··根據（A )乃至（C )，放電開始部分的電氣電阻係以（A ) 為最大，之後的順序為（B)、（C)，而放電開始處所的導電 性被膜2 0的厚度，則以（C )為最大，之後的順序為（B )、 (A)。 此外，例如如第4圖（b)所示導電性被膜2 0的厚度變薄 時對應於此的適當的放電脈衝寬度係可藉由實驗預先求 得。 亦即，例如第2圖所示，利用比較器由極間電壓V判斷 放電點之導電性被膜2 0的狀態時，可藉由實驗預先求得適 合於較薄的導電性被膜2 0時（自放電開始經過預定時間T〇 時點的極間電壓較高時）之長放電脈衝寬度TP2 ’自放電開 始經過預定時間Τ〇時點的極間電壓7，判斷放電點之導電 性被膜20的狀態，自放電開始經過預定時間Tg時點的極間 電壓較低時（亦即，導電性被膜2 0較厚的情況）設定短放電 脈衝寬度TPl，而自放電開始經過預定時間Tq時點的極間電 壓較高aj (亦即，導電性被膜20較薄的情況）設定長放電脈 衝寬度Tp2，藉此即可進行放電加工及於導電性被膜變薄 的放電處所形成導電性被膜，同時可設定依照導電性被膜

3134〇4.ptd 第22頁 1225433 五、發明說明（16) 2 0之適當的放 因此，可 之被加工物之 不穩度，因而 厚度產生變動 高電阻材料所 質提升。 例如依習 被加工物加工 明之依彫模放 改善至3 // m程 在以上的 比較器，藉由 藉由第二比較 阻之大小，藉 度，但亦可增 脈衝寬度之構 種類以上的放 的附著狀態， 由絕緣性材料 定化，並且可 此外，本 電加工、彫模 此外，如 電脈衝寬度。 解決如去除加工習α 之由、、、邑緣性材料所播# 放電加工裝置所示， 抖所構成 形成於前述被加工物==的脈衝寬度 之問題點，以果物放電面的導電性被膜的 構成之被加工物之士 〜〜 τ ^ 之加工安定化及加工面之品 知技術之彫模放 面的表面粗糙度 電加工裝置之放度。 說明（例如第2圖 第一比較器1 7的 電加工裝置之放電加工中， 約為1 0 // m，但若根據本發 電加工，則可使表面粗糙度 )中， 雖說明了有關裝設2個 器1 8的輸 由前述電 加比較器 成。設定 電脈衝寬 可設定更 或高電阻 使加工面 發明之放 放電加工 上所述， 出信號 氣電阻 的數目 因應如 度時， 高精度 材料所 之品質 電加工 及細孔 本發明 輪出信號判斷放電開始，另 判斷被加工物表面的電氣電 &定2種類的放電脈衝寬 ’且設定3種類以上的放電 上述之極間的電氣電阻之3 视導電性被膜對被加工物的 的放電脈衝寬度，藉此可使 構成之被加工物的加工更安 更提升。 方法及裝置，可適用於線放 加工等。 之放電加工方法及裝置係在

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第23頁 五、發明說明（17) 由絕緣性材料或高電卩 從經由前述被加工物 材料斤構成之被加工物的加工中， 間電壓判斷前述被加^面的電氣電阻產生變化的外表的極 工物變薄的導電性被腺 的狀恶’而為了使前述被加 定成適當的數值，不、加厚形成’可將長放電脈衝寬度設 等所揭示之發明，讀^，例如曰本國特開平3-3722號公報 固定的放電能量以=一明乃為配合極間電壓的檢測值設定 農2實施形態 礎订加工而調整放電脈衝寬度。又疋 第7圖為表示本取 ^

I 構成說明圖，與第丨訾之f ^貝施形態之放電加工 部分。第7圖中，2 1為曰形恶第2圖相同符號係門 置的 制機構丨9之極間電髮為^測極間電壓並將量挪值或相當 的極間電磨小於^基m構二壓計，電H傳送至控 的電源電壓之電壓）二目（汉疋為接近於電、2 1所丨則得 自放電開始經過悔—H為放電開始。 1壓以下 間）的時點，自控制機^^間（例如相當於第以 時點，電壓計21係量測極間電壓。此時4計2/的， 所不由極間的電氣電阻即可判斷導電性$第丨實施讀 視電壓計21所測得之極間電壓的計測值，螟的附著狀~、態 2基準電壓（設定在低於前述第1基準電壓、將讀計挪值$， 壓之電壓）進行比較，前述計測值小於前迷值高於電狐'第 時，利用控制機構1 9設定適於被加工物2 a2基準電壓$ 脈衝寬度（例如第3圖的ΤΡι )，而前述記滴〗值知工的翅故。 基準電壓時，則利用控制機構1 9設定適合大於前述讓電 〜42

313404.ptd 第24頁 1225433 五、發明說明（18) 工面形成導電性被膜之長放電脈衝寬度（例如第3圖的

Tp2)。 採用以上之構成亦可獲得與第1實施形態相同之效 果。 [產業上利用的可能性] 如上所述，本發明之放電加工方法及裝置係適用於由 絕緣性材料或高電阻材料所構成之被加工物的放電加工 上0

313404.ptd 第25頁 1225433 圖式簡單說明 9 a 、9 b 線導件 10 饋電部件 11 加工液供給用泵 12 導電性材料 13 加工電力供給機構 14 直線電源 15 開關元件 16 電阻器 17 第一比較器 18 第二比較器 19 控制機構 20 導電性被膜 21 電壓計 t 時間 ΤΡ 放電脈衝 T PL 放電脈衝寬度 Tr 停止時間 V 極間電壓 V〇 電源電壓 Vi、 v2 基準電壓 Vg 電弧電壓 Vs 放電檢測電壓 313404.ptd 第27頁

Claims (1)

1225433 六、申請專利範圍 1. 一種放電加卫 性被膜被覆之 物，或由與導 阻材料所構成 加工液中，於 述被加工物進 其特徵為 點的極間電壓 工物之較短放 物加工面形成 加工0 2· —種放電加工 性被膜被覆之 工物，或由與 電阻材料所構 的加工液中， 前述被加工物 其特徵為 點的極間電壓 時，設定適於 度，而當前述 適於在前述被 電脈衝寬度以 3 · 一種放電加工 係提供加工 料或高電阻 料接觸固定 工物與電極 間產生脈衝 加工 ， 自放電開始 前述量測值 寬度，或設 被膜之較長 加工 高電 觸固 與電 生脈 開始 值較 之加 之基 形成 由施加 構成之 性材料 ’而在 電’藉 預定時 合於前 於在前 衝寬度 由施加 所構成 緣性材 間’而 放電， 預定時 基準電 短放電 大時， 被膜的 方法， 絕緣性 電性材 之被加 前述極 行去除 :量測 ’依照 電脈衝 導電性 方法， 絕緣性 導電性 成之被 於前述 進行去 :量測 ’當前 前述被 量測值 力口工物 進行加 方法， 係提供 材料或 材料接 加工物 極間產 除加工 自放電 述量測 加工物 較預定 加工面 工 〇 係提供 電力至 材料所 之絶緣 的植pg 狀的玫 到經過 設定適 定適合 放電脈 電力至 P且材料 定之絕 極的極 衡狀的 到經過 預定的 工的較 準電壓 導電性 有導電 被加工 或高電 含碳的 以對前 間之時 述被加 述加工 以進行 有導電 之被加 料或高 在含碳 藉以對 間之時 壓小 脈衝寬 則設定 較長放 加工電力至由施加有導電

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或由*導電:L t ”胃㉟阻材料所#成之被加 料所構成之念f接觸固定之絕緣性材料或高 液中，於寸ΪΓ工物與電極的極間，而在含碳 加工物進生脈衝狀的放電，藉以對 d將小於電源電壓之至少一個基準電壓 加工你仃比較，依照前述比較結果設定適合於 ^、+、1之加工的較短放電脈衝寬度，或設定適 工物加工面形成導電性被膜之較長放電 4· 工物， 電阻材 的加工 前述被 其 與極間 前述被 合於在 脈衝寬 一種放 性被瞑 工物， 電阻# 的加卫 前迷被 度以進行加工。 電加工方法，係提供加工電力至由施加有導電 被覆之絕緣性材料或高電阻材料所構成之被加 或由與導電性材料接觸固定之絕緣性材料或高 料所構成之被加工物與電極的極間，而在含碳 液中，於前述極間產生脈衝狀的放電，藉以對 加工物進行去除加工，

其特徵為：將在極間電壓低於設定在電源電壓以 下之電源電壓接近值之第1基準電壓以下的時刻開始至 經過預定時間的時點的極間電壓加以量測，前述量測 值較預定的第2基準電壓小時，設定適合於前述被加工 物之加工的較短放電脈衝寬度，而當前述量測值較預 定之第2基準電壓大時，則設定適於在前述被加工物加 工面形成導電性被膜的較長放電脈衝寬度以進行加

1225433 六 6· 申請專利範圍 一種放電 加有導電 成之被加 材料或高 加工電力 加工液供 間之相對 的放電， 其特 之時點的 前述極間 定適於前 定適於在 玫電脈衝 一種放電 加有導電 成之被加 材料或高 加工電力 加工液供 間之相對 的放電， 加工裝置， 性被膜被覆 工物，或由 電阻材料所 供給機構； 給機構；以 定位之定位 藉以對前述 徵為具備： 極間電壓之 電壓量測機 述被加工物 前述被加工 寬度之控制 加工裝置， 性被膜被覆 工物’或由 電阻材料所 供給機構； 給機構；以 定位之定位 稽以對前述 徵為具備： 極間電壓之 係具備：將 之絕緣性材 與導電性材 構成之被加 提供含碳的 及進行前迷 機構，而於 被加工物進 量測自放電 極間電壓量 構而得之極 之加工的較 物加工面形 機構。 係具備··將 之絕緣性材 與導電性材 構成之被加 提供含碳的 及進行前述 機構，而於 被加工物進 量測從放電 極間電壓量 加工電 料或高 料接觸 工物與 力口工液 被加工 前述極 行去除 開始到 測機構 間電壓 短放電 成導電 力提供 電阻材 固定之 電極的 至前述 物與前 間產生 加工 ， 經過預 :以及 的量測 脈衝寬 性被臈 至由施 料所構 絕緣性 極間之 極間之 述電極 脈衝狀 定時間 依照由 值，設 度或設 的較長 加工電力 料或高電 料接觸固 工物與電 加工液至 被加工物 前述極間 行去除加 開始到經 測機構； 提供至由施 阻材料所構 定之絕緣性 極的極間之 前述極間之 與前述電極 產生脈衝狀 工 ， 過預定時間 以及依照由 其特 之時點的

313404.ptd 第30頁 1225433 六、申請專利範圍 f述極間電壓量測機構所得之極間電壓的量測值，者 :述量測值較預f的基準電壓小時，設定適於前述： Ϊ =之放電脈衝寬度，而當前述量測值 面形成導電性被膜的較長放電脈衝寬度之控制： 7 _ 加工裝置’係具備：將加工電力提供至由施 加=雪r電材枓所構成之被加工物與電極的極間之 加工；供給機構；提供含碳的加工液至前述極間之 d!機構二以及進行前述被加工物與前述電： 的；ΐ 而於前述極間產生脈衝狀 藉以對刖述被加工物進行去除加工， 構Ϊ為具備：量測極間電壓之極間電壓量測機 (第1量i i利用前述極間電壓量測機構所得之量測值 值之第設定在電源電壓以下的電源電壓接近 點由前遗1準電壓以下的時刻開始至經過預定時間之時 較預定的第Γ其電a壓當量局測機構所得之量測值（第2量測值） 加工姑Γ第基準電小時，設定適於前述被加工物之 之第9就短放電脈衝寬度，而當前述第2量測值較預定 土準電壓大時，則設定適於在前述被加工物加工 8 一種妨導電性被膜的較長放電脈衝寬度之控制機構。 • 孜電加工裝置，係具備：將加工電力提供至由施

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靶固 ，、紐放電脈衝寬度，而當前述極間電壓較前述基準電 β大時’則设疋適於在前述被加工物加工面形成導電 性被膜的較長放電脈衝寬度之控制機構。 :，放電加工裝置，係具備：將加工電力提供至由施 ¥電性被膜被覆之絕緣性材料或高電阻材料所構成 Μ ^加工物，或由與導電性材料接觸固定之絕緣性材 ==高電阻材料所構成之被加工物與電極的極間之加 工：^供給機構；提供含碳的加工液至前述極間之加 之it斜ΐ機構；以及進行前述被加工物與前述電極間 放電，5 IS ::位機構’而於前述極間產生脈衝狀的 复精^對削述被加工物進行去除加工， 下之電Si ^ :將極間電壓與設定在電源電壓以 I;:源電壓接近值的第1基準電壓進行比較之第-比 利用前述第—比較機比，機構’以及 極間電壓變低於前述第Π而：之比較結果，自前述 結果，自前述：間述！二比較機構所得之比較 適於前述被加工物之^工=剛述第2基準電壓時，設定 刖述被加工物加工孕·電I大打，則設定適於在 寬度之控制機構。^ 導電性被膜的較長放電脈衝