JPS63150109A - 電気絶縁体の加工方法 - Google Patents

電気絶縁体の加工方法

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JPS63150109A
JPS63150109A JP29792886A JP29792886A JPS63150109A JP S63150109 A JPS63150109 A JP S63150109A JP 29792886 A JP29792886 A JP 29792886A JP 29792886 A JP29792886 A JP 29792886A JP S63150109 A JPS63150109 A JP S63150109A
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JP
Japan
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conductive layer
electric
machining
insulator
electric discharge
Prior art date
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Pending
Application number
JP29792886A
Other languages
English (en)
Inventor
Shoji Futamura
昭二 二村
Kazuyoshi Miyano
宮野 和佳
Kazuyoshi Komehana
米花 一好
Seiki Kurihara
栗原 正機
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Institute of Technology Precision Electrical Discharge Works
Original Assignee
Institute of Technology Precision Electrical Discharge Works
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Publication date
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  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
  • Insulating Bodies (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電気絶縁体の加工方法、特に放電加工機を用
いて電気絶縁体に対する加工を行う加工方法であって、
予め加工すべき電気絶縁体の表面に導電体層を形成して
おき、当該導電体層の表面から放電加工を進行せしめる
ことにより、上記導電体層を貫通したのち、上記電気絶
縁体の加工も実施可能なるよ・うにした放電加工方法に
関するものである。
〔従来の技術と発明が解決しようとする問題点〕一般に
良く知られている如く、放電加工方法とは、加工電極と
加工すべき被加工体との間に放電を発生せしめ、当該放
電のエネルギーにより上記被加工体に対する加工を行う
ようにする加工方法である。従って、放電加工方法を用
いて加工可能な被加工体は、事実上導電体に限られてい
た。即ち1例えばセラミックス等のような電気絶縁体を
放電加工機によって加工することは、事実上不可能とさ
れてきた。
言うまでもなく、放電加工の重要な特徴として。
難削素材に対して効率が良くかつ高精度な加工を行うこ
とが可能であることが挙げられる。従って。
難削素材のセラミックスに対しても放電加工方法の適用
が可能赴りせばと考慮する者は、独り本願発明者のみで
はあるまい。しかし、従来の放電加工方法においては、
前述したように、セラミックスのような電気絶縁体を通
常の放電加工機によって加工することは、事実上出来な
いという問題があった。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、上記の如き問題点を解決することを目的とし
ており、そのため9本発明の電気絶縁体の加工方法は、
電気絶縁体の表面に導電体層を形成し、上記導電体層と
加工電極との間に放電を発生せしめて上記導電体層の加
工を行い、上記導電体層の加工によって生じた加工液中
の炭素および上記導電体層の導電体粉が上記電気絶縁体
に付着□ないし含侵せしめられて形成された導電層およ
び/または上記放電により電気絶縁体が高温となること
により形成された導電層と、上記加工電極との間に放電
を発生せしめることにより上記導電層の加工を行い、そ
の後、上記導電層の加工によって生じた加工液中の炭素
および上記導電層の導電粉が上記電気絶縁体に付着ない
し含侵せしめられて導電層が形成される導電層形成およ
び/または上記放電により電気絶縁体が高温となること
により導電層が形成される導電層形成と、当該導電層と
上記加工電極との間に放電を発生せしめて行う導電層加
工とを繰り返し行うことにより電気絶縁体の加工を行う
ようにすることを特徴としている。
以下2図面を参照しつつ説明する。
〔実施例〕
第1図は本発明の一実施例における加工過程を説明する
ための説明図、第2図は電気絶縁体の加工時における加
工電極と電気絶縁体との間の電流および電圧の波形図を
示す。
第1図において2図中の符号1は電気絶縁体。
2は導電体層、3は加工電極、4は導電層を表している
。以下2本発明の加工過程を順を追って説明する。
先ず、第1図(A)に図示されている如く、加工すべき
電気絶縁体1の表面に導電体層2を形成する。導電体層
2は2例えば銅や鉄などの導電体を溶射、蒸着、鍍金等
の手段により上記電気絶縁体1の表面に密着するように
形成されたものである。なお、上記導電体層2の厚さは
0.1mmないし0.5mm程度で良い。
次いで2表面に導電体層2が形成されている電気絶縁体
1を放電加工機の加工テーブル(図示省−4= 略)上に載置し、クランプ治具(図示省略)でもって上
記加工テーブルに固定した上で、第1図(B)に図示さ
れている如く、放電加工を開始する。即ち、上記導電体
層2と加工電極3との間に放電加工用電源装置(図示省
略)からの加工電圧が印加される。なお、当該放電加工
は加工液(例えばケロシン)中で行われる。
上記放電加工の開始により、第1図(C)に図示されて
いる如く、先ず上記導電体層2が加工される。そして、
当該導電体層2の加工終了時には。
上記電気絶縁体10表面に上記加工電極3と対向する部
分があられれ、当該部分に導電層4が形成される。なお
、当該導電層4とは、放電加工によって生じた加工チッ
プ(上記導電体層2の微粒粉)や放電の熱エネルギによ
り析出された上記加工液中の炭素が付着し、更に内部に
浸透することによって形成されたもの、または、上記電
気絶縁体1の表面が放電の熱エネルギにより高温となる
ことによって、導体化されたものであると考えられる。
そして、上記導電層4は、放電加工の進行と共に広がり
を見せ、上記導電体層2の加工が終了した時点において
は、第1図(C)に図示されている如く、当該導電層4
0周縁部分は上記導電体層2と電気的に接続された状態
となる。従って。
導電層4には上記導電体層2を介して電圧が印加される
ことになるため、上記導電層4と加工電極3との間に放
電が発生ずることにより、導電N4即ぢ電気絶縁体1が
加工されることになる。
第1図(D)および(E)は、」二連した電気絶縁体l
の加工の進行状態を示している。当該図より明らかなよ
うに、加工の進行と共に、上記導電層4も順次深部に移
行して行く。本願発明者らの考察によれば、上記電気絶
縁体1の加工の進行過程において、上記導電層4の形成
と当該導電層4に対する放電加工とが繰り返し行われる
ことによって、上記電気絶縁体1に対する加工が進行す
るものとIIL定される。当該推定の根拠は1本願発明
者らが実施した実験(実験内容の詳細については後述す
る)における上記電気絶縁体1の加工の進行過程の極間
電圧および極間電流測定結果(第2図図示)によるもの
である。第2図■に極間電圧波形図、第2図■に極間電
流波形図を示している。
第2図により明らかなように9図示矢印T。。
T、  ・・・は正常な放電加工が行われている時間帯
であり、TI 、TI ・・・はアーク放電発生の時間
帯である。即ち、上記時間帯T’+ 、 TI  ・・
・において前述した導電層4が形成され、上記時間帯T
。、To ・・・において上記導電層4に対する正常な
放電加工が行われているものと考察される。
以上説明した如く、予め加工すべき電気絶縁体1の表面
に導電体層2を形成しておき、当該導電体層2の表面か
ら放電加工を進行せしめることにより、上記電気絶縁体
1に対する加工を実施することが出来る。なお、加工完
了後、使用目的に応じて加工面の仕上げ加工を研磨など
の加工手段を用いて行うようにする。
次に2本願発明者らが実施した実験内容について説明す
る。なお、被加工体即ち第1図図示電気絶縁体1にはジ
ルコニア・セラミックスを用い。
第1図図示導電体層2には銅を用いた。そして。
第1図に関連して説明した加工過程にもとづいて放電加
工を行った結果、下記の如きデータおよび第2図図示電
圧・電流波形が得られた。即ち。
加工速度  2.8 mm’/m1n (0,035mm/mjn ) 但し、放電面積は0.8cm” なお、第2図において、Voは280V、V。
は20〜24V、A、は25A、A、は6Aである。
〔発明の効果〕
以上説明した如く7本発明によれば、従来不可能とされ
てきた放電加工による例えばセラミックスのような電気
絶縁体の加工を容易に行うことが可能となり、特に超難
削素材であるセラミックスの加工分野に対して2画期的
な加工方法を提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例における加工過程を説明する
ための説明図、第2図は電気絶縁体の加工時における加
工電極と電気絶縁体との間の電流および電圧の波形図を
示す。 図中、1は電気絶縁体、2は導電体層、3は加工電極、
4は導電層を表す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 電気絶縁体の加工方法において、 上記電気絶縁体の表面に導電体層を形成し、上記導電体
    層と加工電極との間に放電を発生せしめて上記導電体層
    の加工を行い、 上記導電体層の加工によって生じた加工液中の炭素およ
    び上記導電体層の導電体粉が上記電気絶縁体に付着ない
    し含侵せしめられて形成された導電層および/または上
    記放電により電気絶縁体が高温となることにより形成さ
    れた導電層と、上記加工電極との間に放電を発生せしめ
    ることにより上記導電層の加工を行い、 その後、上記導電層の加工によって生じた加工液中の炭
    素および上記導電層の導電粉が上記電気絶縁体に付着な
    いし含侵せしめられて導電層が形成される導電層形成お
    よび/または上記放電により電気絶縁体が高温となるこ
    とにより導電層が形成される導電層形成と、当該導電層
    と上記加工電極との間に放電を発生せしめて行う導電層
    加工とを繰り返し行うことにより電気絶縁体の加工を行
    うようにする ことを特徴とする電気絶縁体の加工方法。
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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04171118A (ja) * 1990-11-01 1992-06-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体の放電加工方法
DE4102250A1 (de) * 1991-01-23 1992-07-30 Univ Chemnitz Tech Verfahren zum elektroerosiven bearbeiten von elektrisch schwach- oder nichtleitenden werkstuecken
JPH07136849A (ja) * 1993-11-16 1995-05-30 Yasushi Fukuzawa 放電加工方法及びその装置
JPH07266141A (ja) * 1994-03-29 1995-10-17 Sakae Denshi Kogyo Kk 基板材料の小径穴加工方法及び装置
JPH07266142A (ja) * 1994-03-29 1995-10-17 Sakae Denshi Kogyo Kk 小径穴加工装置及びそれを使用する小径穴加工方法
EP0688624A1 (en) * 1994-06-20 1995-12-27 Research Development Corporation Of Japan Electric discharge machining method for insulating material using electroconductive layer formed thereon
EP0781740A2 (de) * 1995-12-05 1997-07-02 JAKOB LACH GMBH & CO. KG Verfahren zur Bearbeitung von elektrisch nicht-leitenden Hartstoffen
WO2003061890A1 (fr) * 2002-01-24 2003-07-31 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Procede et systeme d'usinage par decharge electrique d'un materiau isolant ou d'un materiau haute resistance
EP1837114A1 (de) * 2006-03-24 2007-09-26 Siemens Aktiengesellschaft Dielektrische Flüssigkeit für die funkenerosive Bearbeitung eines elektrisch nichtleitenden Materials
US20100038344A1 (en) * 2006-03-24 2010-02-18 Foerster Ralf Method for Electrical Discharge Machining of Electrically Non-Conductive Material
CN103433576A (zh) * 2013-09-13 2013-12-11 哈尔滨工业大学 一种绝缘陶瓷涂层金属的自诱导-内冲液电火花加工方法
US20140042128A1 (en) * 2012-08-08 2014-02-13 General Electric Company Electric discharge machining process, article for electric discharge machining, and electric discharge coolant
JP2016087786A (ja) * 2014-11-05 2016-05-23 國立台灣科技大學 ワイヤー放電加工を用いた半導体材料又は不導体材料の切断装置及びその方法

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04171118A (ja) * 1990-11-01 1992-06-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体の放電加工方法
DE4102250A1 (de) * 1991-01-23 1992-07-30 Univ Chemnitz Tech Verfahren zum elektroerosiven bearbeiten von elektrisch schwach- oder nichtleitenden werkstuecken
JPH07136849A (ja) * 1993-11-16 1995-05-30 Yasushi Fukuzawa 放電加工方法及びその装置
JPH07266141A (ja) * 1994-03-29 1995-10-17 Sakae Denshi Kogyo Kk 基板材料の小径穴加工方法及び装置
JPH07266142A (ja) * 1994-03-29 1995-10-17 Sakae Denshi Kogyo Kk 小径穴加工装置及びそれを使用する小径穴加工方法
EP0688624A1 (en) * 1994-06-20 1995-12-27 Research Development Corporation Of Japan Electric discharge machining method for insulating material using electroconductive layer formed thereon
US5569394A (en) * 1994-06-20 1996-10-29 Research Development Corporation Of Japan Electric discharge machining method for insulating material using electroconductive layer formed thereon
EP0781740A3 (de) * 1995-12-05 1997-07-23 JAKOB LACH GMBH & CO. KG Verfahren zur Bearbeitung von elektrisch nicht-leitenden Hartstoffen
EP0781740A2 (de) * 1995-12-05 1997-07-02 JAKOB LACH GMBH & CO. KG Verfahren zur Bearbeitung von elektrisch nicht-leitenden Hartstoffen
WO2003061890A1 (fr) * 2002-01-24 2003-07-31 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Procede et systeme d'usinage par decharge electrique d'un materiau isolant ou d'un materiau haute resistance
EP1837114A1 (de) * 2006-03-24 2007-09-26 Siemens Aktiengesellschaft Dielektrische Flüssigkeit für die funkenerosive Bearbeitung eines elektrisch nichtleitenden Materials
WO2007110285A1 (de) * 2006-03-24 2007-10-04 Siemens Aktiengesellschaft Dielektrische flüssigkeit für die funkenerosive bearbeitung eines elektrisch nichtleitenden materials
US20100038344A1 (en) * 2006-03-24 2010-02-18 Foerster Ralf Method for Electrical Discharge Machining of Electrically Non-Conductive Material
US8269132B2 (en) * 2006-03-24 2012-09-18 Siemens Aktiengesellschaft Method for electrical discharge machining of electrically non-conductive material
US20140042128A1 (en) * 2012-08-08 2014-02-13 General Electric Company Electric discharge machining process, article for electric discharge machining, and electric discharge coolant
CN103433576A (zh) * 2013-09-13 2013-12-11 哈尔滨工业大学 一种绝缘陶瓷涂层金属的自诱导-内冲液电火花加工方法
JP2016087786A (ja) * 2014-11-05 2016-05-23 國立台灣科技大學 ワイヤー放電加工を用いた半導体材料又は不導体材料の切断装置及びその方法

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