JPS5946728B2 - 放電加工による炭化珪素焼結体の加工方法 - Google Patents
放電加工による炭化珪素焼結体の加工方法Info
- Publication number
- JPS5946728B2 JPS5946728B2 JP17864182A JP17864182A JPS5946728B2 JP S5946728 B2 JPS5946728 B2 JP S5946728B2 JP 17864182 A JP17864182 A JP 17864182A JP 17864182 A JP17864182 A JP 17864182A JP S5946728 B2 JPS5946728 B2 JP S5946728B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon carbide
- discharge machining
- carbide sintered
- sintered body
- electrical discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H9/00—Machining specially adapted for treating particular metal objects or for obtaining special effects or results on metal objects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、放電加工による炭化珪素焼結体の加工方法に
関するものである。
関するものである。
電気抵抗が数十Ω・ ｃｍ以下の炭化珪素焼結体に対し
ては、印加電圧２５０Ｖ以下の金属加工用放電加工機に
より放電加工が可能であることが知られている。
ては、印加電圧２５０Ｖ以下の金属加工用放電加工機に
より放電加工が可能であることが知られている。
このような炭化珪素焼結体は半導体的性質をもつたセラ
ミックスであるが、その製法、添加物等によつて、電気
抵抗がｌｋΩ・ ｃｍを越えるものが多い。
ミックスであるが、その製法、添加物等によつて、電気
抵抗がｌｋΩ・ ｃｍを越えるものが多い。
そして、このような炭化珪素焼結体の放電加工には、印
加電圧を１千り以上にまで上げて加工する装置が必要と
され、形状の自由度もほとんどない。本発明者は、この
ような炭化珪素焼結体の放電加工に際し、放電加工した
被加工材の表面近傍に、加工に伴う加熱前に比べて非常
に電気抵抗の小さい変質層が形成されることを見出し、
これを電気抵抗の大きい炭化珪素焼結体の放電加工に利
用できる点に着目して本発明をなすに至つた。
加電圧を１千り以上にまで上げて加工する装置が必要と
され、形状の自由度もほとんどない。本発明者は、この
ような炭化珪素焼結体の放電加工に際し、放電加工した
被加工材の表面近傍に、加工に伴う加熱前に比べて非常
に電気抵抗の小さい変質層が形成されることを見出し、
これを電気抵抗の大きい炭化珪素焼結体の放電加工に利
用できる点に着目して本発明をなすに至つた。
即ち、本発明の加工方法は、炭化珪素焼結体からなる被
加工材の表面を、電気の良導体である金属等の被膜で被
覆し、その被膜上に加工用電極を対峙させて放電加工す
ることを特徴とするものである。
加工材の表面を、電気の良導体である金属等の被膜で被
覆し、その被膜上に加工用電極を対峙させて放電加工す
ることを特徴とするものである。
このような本発明の加工方法は、例えば金属の高温加工
用の型材として使用するための炭化珪素焼結体被加工物
の型掘り、その他炭化珪素焼結体被加工物の各種加工に
有効に利用できるものである。
用の型材として使用するための炭化珪素焼結体被加工物
の型掘り、その他炭化珪素焼結体被加工物の各種加工に
有効に利用できるものである。
次に、図面を参照して本発明の加工方法をさらに具体的
に説明する。
に説明する。
本発明による加工は、電気抵抗がｌｋΩ・ ｃｍを越え
る程度に大きい炭化珪素焼結体を対象とし、放電加工に
先立つてその炭化珪素焼結体からなる被加工材の表面を
電気の良導体である金属等の被膜で被覆する。
る程度に大きい炭化珪素焼結体を対象とし、放電加工に
先立つてその炭化珪素焼結体からなる被加工材の表面を
電気の良導体である金属等の被膜で被覆する。
この電気良導体の被膜は、被加工材に対して物理蒸着、
化学蒸着、メッキ、その他の方法で被着することができ
、例えばイオンスパッタリングや真空蒸着、または電気
良導体の薄板により被加工材を包み込むなど、任意の方
法で被覆することができる。上記被膜は厚い方が望まし
いが、数μｍ程度でも充分である。炭化珪素焼結体の被
加工材に対する放電加工は、上記被膜を放電用の回路と
電気的に接続した状態で、その被膜上に加工用電極を対
峙させて行うが、その放電加工に伴つて加工用電極に対
面する部分が加熱されると、その表面近傍に加熱前に比
べて非常に電気抵抗の小さい変質層が形成され、その変
質層が上記電気良導体被膜に代るものとなつて放電用回
路に接続されるため、放電加工を継続することができる
。
化学蒸着、メッキ、その他の方法で被着することができ
、例えばイオンスパッタリングや真空蒸着、または電気
良導体の薄板により被加工材を包み込むなど、任意の方
法で被覆することができる。上記被膜は厚い方が望まし
いが、数μｍ程度でも充分である。炭化珪素焼結体の被
加工材に対する放電加工は、上記被膜を放電用の回路と
電気的に接続した状態で、その被膜上に加工用電極を対
峙させて行うが、その放電加工に伴つて加工用電極に対
面する部分が加熱されると、その表面近傍に加熱前に比
べて非常に電気抵抗の小さい変質層が形成され、その変
質層が上記電気良導体被膜に代るものとなつて放電用回
路に接続されるため、放電加工を継続することができる
。
なお、この場合の印加電圧は百数＋Ｖ以下で十分である
。第１図は、上記放電加工を行う状態を示すもので、１
は電源、２は炭化珪素焼結体からなる被膜工材、３は上
記被加工材の固定台、４は放電加工用電極、５は上記電
極を駆動するサーボ機構、６は放電加工に際して被加工
材２の表面に被着した電気良導体の被膜、７は放電加工
に伴う加熱で電気抵抗が大幅に低下した加工変質層であ
る。
。第１図は、上記放電加工を行う状態を示すもので、１
は電源、２は炭化珪素焼結体からなる被膜工材、３は上
記被加工材の固定台、４は放電加工用電極、５は上記電
極を駆動するサーボ機構、６は放電加工に際して被加工
材２の表面に被着した電気良導体の被膜、７は放電加工
に伴う加熱で電気抵抗が大幅に低下した加工変質層であ
る。
このような本発明の方法によれば、高温高強度材として
有効な炭化珪素焼結体を、その放電力江に伴う高温での
変質による電気抵抗の大幅な低下現象を利用して、印加
電圧２００以下の一般的な放電加工機により、任意の形
状に容易に加工することができる。実施例 １ 被加工材として、電気抵抗が約１．４ｋΩ・Ｃｍの炭化
珪素焼結体のプロツクを用い、放電加工に先立つてその
プロツクを厚さ０．１ｍｍの銅の薄板で包み込み、これ
を放電回路に接続して、１５０Ｖの印加電圧で３ｍｍφ
の孔を放電加工により穿設した。
有効な炭化珪素焼結体を、その放電力江に伴う高温での
変質による電気抵抗の大幅な低下現象を利用して、印加
電圧２００以下の一般的な放電加工機により、任意の形
状に容易に加工することができる。実施例 １ 被加工材として、電気抵抗が約１．４ｋΩ・Ｃｍの炭化
珪素焼結体のプロツクを用い、放電加工に先立つてその
プロツクを厚さ０．１ｍｍの銅の薄板で包み込み、これ
を放電回路に接続して、１５０Ｖの印加電圧で３ｍｍφ
の孔を放電加工により穿設した。
なお、加工用電極としては純銅を用い、銅電極を陽極（
＋）、炭化珪素を陰極（一）として加工を行つた。この
放電加工においては、加工の進行に伴つて炭化珪素焼結
体の加工部分に電気抵抗が０．０１Ω・Ｃｍ以下の変質
層が生じ、従つて１５０Ｖの印加電圧で上記孔を深さ４
ｒｆｔｍまで放電加工することができた。
＋）、炭化珪素を陰極（一）として加工を行つた。この
放電加工においては、加工の進行に伴つて炭化珪素焼結
体の加工部分に電気抵抗が０．０１Ω・Ｃｍ以下の変質
層が生じ、従つて１５０Ｖの印加電圧で上記孔を深さ４
ｒｆｔｍまで放電加工することができた。
この際の加工面には熱応力による微視的な割れはあまり
発生しなかつた。な訃、加工に際しては低電極消耗での
加工が可能で、電極消耗比は重量比で数パーセント以下
であつた。
発生しなかつた。な訃、加工に際しては低電極消耗での
加工が可能で、電極消耗比は重量比で数パーセント以下
であつた。
第１図は本発明に基づいて炭化珪素焼結体を加工する態
様を示す構成図である。 ２・・・・・・被加工材、４・・・・・・放電加工用電
極。
様を示す構成図である。 ２・・・・・・被加工材、４・・・・・・放電加工用電
極。
Claims (1)
- １ 炭化珪素焼結体からなる被加工材の表面を、電気の
良導体である金属等の被膜で被覆し、その被膜上に加工
用電極を対峙させて放電加工することを特徴とする放電
加工による炭化珪素焼結体の加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17864182A JPS5946728B2 (ja) | 1982-10-12 | 1982-10-12 | 放電加工による炭化珪素焼結体の加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17864182A JPS5946728B2 (ja) | 1982-10-12 | 1982-10-12 | 放電加工による炭化珪素焼結体の加工方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5969223A JPS5969223A (ja) | 1984-04-19 |
| JPS5946728B2 true JPS5946728B2 (ja) | 1984-11-14 |
Family
ID=16052007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17864182A Expired JPS5946728B2 (ja) | 1982-10-12 | 1982-10-12 | 放電加工による炭化珪素焼結体の加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5946728B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01109034A (ja) * | 1987-10-21 | 1989-04-26 | Nippon Oil & Fats Co Ltd | スローアウェイチップの製造法 |
| JP3241936B2 (ja) * | 1994-06-20 | 2001-12-25 | 科学技術振興事業団 | 絶縁材料の放電加工方法 |
| DE19545198A1 (de) * | 1995-12-05 | 1997-06-12 | Jakob Lach Gmbh & Co Kg | Verfahren zur Bearbeitung von Diamantschichten |
-
1982
- 1982-10-12 JP JP17864182A patent/JPS5946728B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5969223A (ja) | 1984-04-19 |
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