TWD198004S - 晶圓容器載置台 - Google Patents
晶圓容器載置台Info
- Publication number
- TWD198004S TWD198004S TW107304640F TW107304640F TWD198004S TW D198004 S TWD198004 S TW D198004S TW 107304640 F TW107304640 F TW 107304640F TW 107304640 F TW107304640 F TW 107304640F TW D198004 S TWD198004 S TW D198004S
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- mounting table
- wafer container
- container mounting
- article
- design
- Prior art date
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract 1
Abstract
【物品用途】;本設計物品晶圓容器載置台，可用於將搬運容器內的晶圓等材料進出半導體製造裝置。;【設計說明】;省略之
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW107304640F TWD198004S (zh) | 2018-08-10 | 2018-08-10 | 晶圓容器載置台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW107304640F TWD198004S (zh) | 2018-08-10 | 2018-08-10 | 晶圓容器載置台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWD198004S true TWD198004S (zh) | 2019-06-11 |
Family
ID=89032909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW107304640F TWD198004S (zh) | 2018-08-10 | 2018-08-10 | 晶圓容器載置台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| TW (1) | TWD198004S (zh) |
-
2018
- 2018-08-10 TW TW107304640F patent/TWD198004S/zh unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWD153878S1 (zh) | 基板運送用固持構件 | |
| TWD179672S (zh) | 基板保持環之部分 | |
| TWD147586S (zh) | 基板運送用固持具 | |
| TWD187175S (zh) | 圖案化石英晶圓 | |
| TWD183002S (zh) | 圖案化石英晶圓 | |
| TWD198004S (zh) | 晶圓容器載置台 | |
| TWD147587S (zh) | 基板運送用固持具 | |
| JP1643942S (ja) | 基板保持リング | |
| TWD186397S (zh) | 電漿處理裝置用放電腔室 | |
| JP1630673S (ja) | 半導体ウェハ | |
| TWD203976S (zh) | 電子元件保持器 | |
| JP1639752S (ja) | 基板保持リング | |
| JP1630292S (ja) | 半導体ウェハ | |
| JP1630672S (ja) | 半導体ウェハ | |
| JP1630671S (ja) | 半導体ウェハ | |
| TWD168373S (zh) | 半導體晶圓硏磨裝置用彈性膜之部分 | |
| JP1741175S (ja) | サセプタ | |
| JP1711119S (ja) | サセプタリング | |
| JP1741176S (ja) | サセプタ用カバーベース | |
| JP1746405S (ja) | サセプタカバー | |
| JP1741172S (ja) | サセプタカバー | |
| JP1711120S (ja) | サセプタカバー | |
| JP1746408S (ja) | サセプタ | |
| JP1745873S (ja) | サセプタ | |
| JP1645741S (ja) | 基板保持リング |