TWD167984S - 基板處理裝置用晶舟之部分 - Google Patents
基板處理裝置用晶舟之部分Info
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- Taiwan
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title abstract 5
Abstract
【物品用途】;本設計的物品是基板處理裝置用晶舟，為一種將複數個基板水平的保持在基板處理裝置的反應室內的晶舟，可將基板載置於形成在左右及後方之柱子的突起上。;【設計說明】;圖中以實線所示為「主張設計」之部分，虛線所示為「不主張設計」之部分。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013012266 | 2013-05-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TWD167984S true TWD167984S (zh) | 2015-05-21 |
Family
ID=89709657
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW102307674F TWD167984S (zh) | 2013-05-31 | 2013-11-29 | 基板處理裝置用晶舟之部分 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| TW (1) | TWD167984S (zh) |
-
2013
- 2013-11-29 TW TW102307674F patent/TWD167984S/zh unknown
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