TW594720B - Manufacturing method and apparatus for optical information medium - Google Patents

Description

594720 --- 9110flnQ4 五、發明說明（1) 年 月 曰 修正 本發明係關於光資訊媒體之製造方法者。 1景拮% 近年來，對於光碟之高密度化及大容量化的要求日益殷 切。現今，具有相當於通常的光碟的約7倍之單面約4. 7GB 的記錄容量之DVD(Digita 1 Versatile Disk :數位多用途 碟片）已市售中，而可記錄更多的資訊之技術的開發仍在 蓬勃地進行中。

作為提高光碟的記錄容量之技術，可列舉例如：記錄/ 再生光束的短波長化、記錄/再生照射光學系統之物鏡的 高“（11111116]^〇^1叩61^111^:數值孔徑）化、資訊記錄層的 多層化、多量記錄等。此等之中，經由資訊記錄層的多層 化之3次元記錄，較短波長化及高NA化，可在低成本下極 大幅度地高容量化。施行3次元記錄的多層光資訊媒體， 於例如特開平9- 1 6 1 329號公報、特開平9 —63 1 22號公報、 特開平1 0 - 3 0 2 3 1 5號公報中曾有揭示。

於多層光資訊媒體（以下亦稱為多層媒體）中，如上述各 公報中所示般，通常係將複數個資訊記錄層作成為包夾著 由透明樹脂所成之中間層所積層而成的構造。具體而古， 係在基板上形成第1資訊記錄層，於其上形成在表面°凹 凸圖案的中間層，再於其上形成第2資訊記錄層， 上述凹凸圖案轉寫到第2資訊記錄層上。作為上述^凸圖 案，可列舉例如：用以保存數據、分軌資訊（Trackin information)、位址資訊等之孔槽（pre_pit)及凹槽

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(groove)(導弓丨槽) 所記述般，通常係 2P(Photo Polymer 於多層媒體中， 性’須要求相鄰的 參差很小。亦即， 度為均一的。又， 擠壓以轉寫凹凸圖 壓’其結果，容易 外線固化型樹脂等 化型樹脂所構成之 中間層固化之時會 生轉寫的缺陷。 。此凹凸圖案之形成， 使用將樹脂層以沖壓模 izat i〇n :光聚合）法。 為確保聚焦伺服（focus 資訊記錄層間的距離於 设置於記錄層間之中間 若中間層的厚度參差大 案之時，沖壓模不易將 發生轉寫的缺陷。又， 之活性能量線固化型樹 情況下，若中間層的厚 產生固化不均一的情形 如上述各公報中 (stamp)擠壓之 serve 媒體面 層，須 ，則在 中間層 若中間 脂或由 度參差 ，因此 )的安定 内方向之 要求其厚 用沖壓模 均一地擠 層為由紫 放射線固 大，則於 ，容易發 於中間層形成時 凸圖案為正相，若沖壓m沖壓模轉寫到中間層之凹 亦即脫模性差，則中間芦的一立間層剝離之時不易剝離， 致產生缺陷。0而，對：用Τ 4分會與沖壓模-起剝離， 沖壓模有良好的脫模性。、又Μ構成中間層的樹脂須要求與 型樹脂構成，且在對紫外線太中間層為例如由紫外線固化 中間層之情況下，必須讓用:不透明的資訊記錄層上形成 射到中間層，故沖壓楔< ，固化的紫外線通過沖壓模照 成。 1由對紫外線為透明的材質所構 於通常的旋轉塗佈法中， 面供給樹脂，使基板旋榦f對固定於旋轉台之基板的表 轉错由離心力使樹脂延展。於基

修正 曰 五、發明說明（3) 於形成有在將光碟裝到驅動器(drive :二自：二能將/脂供、給到旋轉中心(基板的中 離地作環狀的供給。然而， ==二為厚，’於==== 層的。厚；故錄 #昱合罗扯，+ ^ 纟考增多’故中間層的厚度 束即；來。其結果’於碟片外周部，記錄/再生光 L再λ /入射到基板’⑨資訊記錄層表面所反射之記 (pick m會與基板垂直’其結果，折回到光檢取 盘外月：處的光量會變少。因此，會導致於碟片内周部 與外周部之再生輸出相異。 n 1 之：ΐΐ”Γ:1 61 329號公報中，提出在基板與沖麼模 夾者液體樹脂之狀態下’、經由將基板與沖壓模一體 佑、ί ί液體樹脂展延之步驟的提案。於通常的旋轉塗 轉使：r =碟ίΐ基板表面供給樹脂後，藉由使基板旋 Γ ί 寺，於基板外圍邊緣附近，因於表面張 厚。起，致使在基板外圍邊緣附近樹脂層會變 :美：=同公報所記述的方法中，由於係在包夾 板Γ卜之間的狀態下使樹脂延展，故可抑制在基 Ϊ1!邊，‘附近之樹脂層變厚的情形。惟，於同公報中， 有；荖:中[模構成材料之記述，亦未就沖壓模的脫模性 射。土又於同公報中，係通過基板施行紫外線照 第8頁 C:\ 總檔\91\91109094\91109094(替換）-1.Ptc 594720 修正 曰 五 t 號 91109094 生 ^ 發明說明（4^ ' ' 在上述特開平9-63 1 22號公報的 = PhaSepit所構成之第i再生專用資訊面上在 石夕與：氮化物的化合物所構成之半透明中間層，在=由 2叹置有紫外線固化樹脂層。此紫外線固化樹脂声 夕楚9係為藉由沖壓模的轉寫所形成之（Phase pit)所^ 、再生專用資訊面。此實施例中，係使用由塑膠 成之透明沖壓模，紫外線係通過沖壓模入射。同公報 有關將存在於相鄰的資訊面間之樹脂層的厚度作成均一方 面，未有著墨，且有關沖壓模的脫模性方面，亦未有# 墨0 f 於上述特開平1 0 _ 3 0 2 3 1 5號公報的實施例中，係將光固 化性樹脂滴下至透明沖壓模上，在其上載置基板後、，藉由 將透明沖壓模以旋轉速度2 0 0 0rpm旋轉使光固化性樹脂曰延 展’然後’通過透明沖壓模施以紫外線照射，使樹脂固 化。上述透明沖壓模，係由對厚5mm的透明塑膠圓板與形 成有凹凸圖案的鎳製沖壓模之間以光固化性樹脂填充 由紫外線燈使其固化之後，藉由將鎳製沖壓模剝離而形、’ 成。於此實施例中，由於透明沖壓模表面係由光固化性樹 脂所構成，且延展對象的樹脂為光固化性樹脂，故沖壓模 的脫模性差。又，於同公報中，透明沖壓模表面的光固化 性樹脂及延展對象的光固化性樹脂，任一者皆為紫外線固 化型樹脂。紫外線固化型樹脂，由於聚合起始劑於固化後 亦會殘存者’故會吸收紫外線。因而，同公報中所用之透 明沖壓模，對於紫外線的透明性低，故非良好。

594720 —_—案號丄 五、發明說明（5) ‘然而’於只 出成形來製作 f圖案是通ΐ等之要求高精 剛性、冑W 案之透明樹脂 於此透明樹脂同樣地，係以 本發明之目 施行複數個資 有保持資訊之 述透明中間層 凸圖案的母模 又’為因應 須提高線記錄 成更小，或將 須正確地形成 本發明之目 面上有凹槽及 錄層的光資訊 度，並且將沖 到透明中間層 此等目的

有1層資訊記錄層之光資訊媒體中，經由射 樹脂基板之時，同時形成凹槽及孔槽等的凹 的。惟，於例如於基準碟（reference disk) 度的光碟基板中，係在由玻璃等所構成之高 的平滑基板的表面1，形成具有上 層，在此透明樹脂層上亦形成資訊記錄層。 層，與上述多層光資訊媒體中之上述中間層 沖壓模的擠壓來形成上述凹凸圖案。 的在於， 訊記錄層 凹凸圖案 形成為均 圖案正確 對於光碟 密度及軌 凹槽間距 微細的孔 的亦在於 孔槽等之 媒體之製 壓模之上 上。 可藉由下 在隔著 之積層 的多層 一的厚 地轉寫 之高密 道密度 作成更 槽及凹 ，於含 凹凸圖 造時， 述凹凸 由樹脂 之於透 光資訊 度，並 到透明 度化及 °因此 狹窄。 槽的母 有放射 案的中 將中間 圖案的 所構成 明中間 媒體之 且將沖 中間層 大容量 之故， 因此， 模圖案 線固化 間層上 層形成 母模圖 之透明中間層 層的表面存在 製造時，將上 壓模之上述凹 上。 化的要求，必 必須將孔槽作 於沖壓模上必 正確地形成。 型樹脂之在表 形成有資訊記 為均一的厚 案正確地轉寫 述（1)〜（20)之本發明來達成

第10頁 II C:\ 總檔\91\91109094\91109094(替換)-l.pt c 594720 曰 案號 91109094 五、發明說明（6) (1 ) 一種光資訊媒體之製造方法，其係用以樂』造〆種在 基板上隔著透明中間層設置有分別的資訊記錄區威之複數 個資訊記錄層的光資訊媒體之方法；其特徵在於，係設置 有： 、 在形成有至少1層的實訊記錄層之基板的上述資訊記錄 層形成面上，形成含有活性能量線固化型樹脂之樹脂層之 後，使其與可透過上述活性能量線且在表面有凹凸圖案之 樹脂層表面接觸，然後，通過沖壓模以上述活性能量線對 J脂層施以照射，然後，藉由將沖壓模剝離，以形成轉寫 有上述凹凸圖案的透明中間層諸步驟；且 作為々述沖壓模’至少其形成有上述凹凸圖案之表面係 使用由聚烯烴系樹脂或氟樹脂所構成者， /、 係以使資訊記錄區域上之透明中門 it ^ ^ ^ ^ 1 η 延乃甲間層的最大厚度與最小 尽度的差作成10 _以下之方式來形成透明 (2) 如上述（1)之光資訊媒體之製造方法，i曰 上述基板係有中心孔之碟片狀， ，、甲’ 上述基板係載置於旋轉台上， 係作成以具有圓板部與於圓板部一 閉塞機構將上述中心孔阻塞之狀態，-之支撐軸所成的 並設置有形成樹脂層之步驟，其 固化型樹脂之塗佈液供給至上述支撐細⑼3有活性能量線 由使上述基板與上述閉塞機構一起旋、周面之後，藉 上述資訊記錄層上延展以形成樹脂層者 上述塗佈液在 (3) 如上述（1)或（2)之光資訊媒體曰造 衣坆方法，其係於 594720

_ 案號 91109fHU 發明說明（7) _ 使上述樹脂層與沖壓模接觸之 μ 量二之照射使上述樹脂層部分固化错由上述活性能 (4) 如上述（3)之光資訊媒體之 板旋轉，使含有上述活性能量線〜抖八係错由使基 形成上述樹脂層之後，*由於 J :对脂，塗佈液延展 低’一邊以上述活性能量線照射二^的，轉速度降 固化。 、 使上述樹脂層部分地 (5) 如上述（4)之光資訊媒體之 脂層形成時，藉由將自基板的^央*八係於上述樹 之至少一部份刮除，然後 出之上述塗佈液 使上述樹脂層部分地固化者。 述活性能量線之照射以 (6) 如上述（1)〜（5)中任一項之光資訊 其係於減壓環境下使上述沖壓 述;：：：造方法’ 者。 〃上迷树脂層表面接觸 (7) 如上述（1)〜（6)中任—項 其係以使上述資訊記綠區域上之平二〉蚁體之製造方法， 方式來形成上述透明中間層者。：旱度成為5〜50/ζπι的 (8) —種光資訊媒體之製造方法，其 基板上隔著透明中間層設置有分別 ” 衣造一種在 個資訊記錄層的光資訊媒體之方沬.、訊記錄區域之複數 有： 方法，其特徵在於，係設置 對形成有至少 - 一 ' ，、» 層形成面，供給含有活性能量線9固化'二的卢述資訊記錄 後，使上述可透過活性能量線且.^树脂之塗佈液之 表面上有凹凸圖案之

修正 曰 _ 案號 91iOQfHM 五、發明說明（8) 述塗佈液接觸，然後，藉由使沖麼模與基板-起 壓模以上$塗佈液延展而形成樹脂層’然|，藉由通過沖 ::乂上述活性能量線對樹脂層施以照射，以形成： 上述凹凸圖案的透明中間層諸步驟；且 ·、、、有 使：2 n:壓f l至f其形成有上述凹凸圖案之表面係 由XK烯fe系樹脂或氟樹脂所構成。 ’、 (9)如上述（8)之光資訊媒體之 壓模的厚度為O.L^nnn。 八中上达沖 減(二) = =):?)之光資訊媒體之製造方法，其係於 減反兄下使上述沖壓模與上述塗佈液接觸。 (11):上述(1)〜(10)中任一項之光資訊媒體之製造方 次，其中，上述沖壓模係用後即棄者。 (:2) 一種光資訊媒體之製造方法，戶斤述光資訊媒體係在 土板上至〉、有1層的資訊記錄層，纟資訊記錄層與基板之 二押及/或’在相鄰2層的資訊記錄層㈤，有放射線固化型 对曰之中間層者；其特徵在於，係設置有： f表面之有凹凸圖案之沖壓模與基板之間，作成包夾 樹脂之樹脂層之狀態，然後’以放射線 f J 2月曰層細以照射’然I，藉由將沖壓模剝離，以形 成轉寫有上述凹凸圖案的透明中間層諸步驟；且 作為上述沖壓模，至少其形成有上述凹凸圖案之表面係 使用由環狀聚烯烴或聚苯乙烯系樹脂所構成者。 (13)如上述（12)之光資訊媒體之製造方法，i 上述沖壓模，至少其形成有上述凹凸圖案之表面係使用由 第13頁 C:\ 總檔\91\91109094\91109094(替換）-1.ptc 594720 月 修正 曰 案號 91109094 五、發明說明（9) 非晶質環狀聚烯烴所構成者。 (14)=上述（1 2)或（1 3)之光資訊媒體之製造方法，苴 中，上述凹凸圖案的排列間距為〇· 7 以下。 (1 5)光資訊媒體之製造裝置，其係用以製 基板上隔著透明中問居母署古、 種在 伽吹層置有分別的資訊記錄區域之游齡 個貝Λ圮錄層的光資訊媒體二是數 具有·· 衣1^忒罝，具特徵在於，係 m成部’為在形成有至釣層的資訊記錄層 ，述=貝讯記錄層形成面上，以形成含有活性土 型樹脂之樹脂層者， 沿成3有活丨生此罝線固化 /中壓模接觸部，為使沖壓槿 沖壓模為，扃矣品：與树層表面接觸者，所述 、”、、在表面有凹凸圖案，可讓上述活性能量t 過，且至Φ JL祀氺士，、丄、 月匕里綠透 & 形成有上述凹凸圖案之表面係由聚烯_ 4 β 脂或ιΜ封脂所構成， κk糸樹 層；射邛’為通過沖壓帛，使前述活性能量線照射至樹脂 亲J離σ卩’用以將沖壓模剝離者之諸部分；且 ，以使資訊記錄區域上之透明中間層的最大 厚度的差作成!。㈣下之方式來形成透明中間層V最小 、、（1 6) —種光資訊媒體之製造裝置，其係用以製造在 二孔之碟片狀基板上，隔著透明中間層設置有分別的 ，錄區域之複數個資訊記錄層的光資訊媒體之製造步署°· 其特徵在於，係具有： w裝置， 樹脂形成部’為在形成有至少1層的資訊記錄層之基板 C:\總檔\91\91109094\91 ΙΟ。(替換)]ptc- 第14頁 ：rn720 修正

i 號 911M_ 五、發明說明（10) 己錄層形成面上，形成含有活性能量線固化细 η舳之树知層，上述樹脂層形成部且有 1 二板部及與圓板部-體化之支樓軸，係形成 馬了將上述中央孔閉塞者， 〜成 塗佈液供給部，用以客4 士 佈液供仏至上、f 有活性能量線固化型樹脂之塗 π狀1八、，，口至上述支撐軸的外圍面者， 太 且2部’用以使上述基板與上述閉塞機構-起旋轉者； 述觸與樹:層表面接觸者，所 Η在至少形成有上述:：：案透 糸樹脂或氟樹脂所構成者， 由I烯烴 層^射部，為通過沖壓模，使前述活性能量線照射至樹月旨 剝離部，用以將沖壓模剝離者之諸部分；且 可形成上述透明中間層者。 槿(二)如ΐ ΐ(15)或(16)之光資訊媒體之製造裝置，Α俜 2為>猎由使基板旋轉，使上述含有活性能量線固;匕：

Gif!液延展’形成上述樹腊層，於上述塗佈液延i 時,基板的叙轉速度降低以施行上述展 (⑻如上述(⑺之光資訊媒體之製 ：：： 上述塗佈液的至少一”=述純外圍邊緣渗出之 即代J王少哔伤到除之刮除機構者。 (19)如上述（15)〜（18)中任一項之光資訊媒體之製造裝 画 第15頁 C:\ 總檔\9I\9I109094\91109094(替換）·】.pic 月 曰 一修正 五 ^LElI〇9094 發明說明（11) ΐ層ί:::::可在減壓環境下使上述沖壓模與上述樹 基板上至少^貝:媒，之製造裝s ’所述光資訊媒體係在 戸弓 層的資訊記錄層，在資訊々袢@啟盆4C a 間，及/或，在相！Μ次4 牡貝汛圯錄層與基板之 型樹脂之中間Λ ίΓ 錄層㈤’含有放射線固化 沖焊槿」：其特徵在於，係具有： 構成：於上i ί t:ί由環狀聚烯烴或聚苯乙烯系樹脂所 者 4表面具有排列間距為〇.7心以下的凹凸圖案 著：Κ射Ϊ::!持著在上述沖壓模與上述基板之間包夾 3有放射線固化型樹脂之樹脂層的狀態 放射線照射部， 〜 沖壓模剝離部。 於本發明之第一範疇巾，茲+ — 中間層（於表面具有凹凸圖案曰t ^上形成包夾著透明 製得多層媒體。上述凹凸圖帛=個資訊記錄層，可 ^ί) Λ:Λ的凹凸圖案形成面上形成反射層(含半 逍月層）或圯錄層4以作為資訊記錄層。 上述透明中間層，孫拉ά 人 .係藉由將含有活性能量線固化型樹脂 之树月曰層，用沖壓模（具有上述 r曰 壓來形成。 口囘系的母模圖案者）擠 於本發明之第一範缚中所用 >、、由两& 烴系樹脂或氣樹脂所構成’=;中=;全體皆由聚稀 的表面係由聚烤烴系樹脂或=;旨=:有=母;=

修正 a 五、發明說明（12) f性能量線固化型樹脂的固化物所構戍之透明中間戶之脫 模性良好。 曰 述又’ ϋ ί發明之第一範疇中所用之沖壓模，係可透過上 ^活性能量線者。因此，可通過沖壓模以活性能量線照 =料因而，於存在於基板與透明中間層之間的資訊記錄層 性能量線為不透明之情況下，藉由通過沖壓模以 活性=量線照射，可使樹脂層固化。又，若通過沖壓模以 ^=能量線照射，則樹脂層的固化會由與沖壓模相接的區 s碣始進行。因此，沖壓模的脫模性可更加良好。 而且，由於環狀聚烯烴之紫外線吸收率 ，低之紫外線固化型樹脂當然有較高的透過匕卜使良 對於聚碳酸酯等之其他的樹脂之紫外線透過率亦較高。因 U本發明巾，可通過沖壓模以充分的強度之紫外線對 树^層照射，故可得到充分固化之透明中間層。 2由射出成形可大1生產之樹脂沖壓模，由於明地 :二故：：後即棄。另一方®，由於用其他方法或其 &推二戶ί:把之冲塵換為昂貴的’而須反覆使用，且於每 2ίϊ ’必須將附著於表面之樹脂洗淨。相對於此，用 後即丟棄之沖壓模，由於佶用尨 岐使用後不H淨，故可顯著地提 N媒體的生產性，而可顯著地降低媒體的生產成本。 樣本發明之第一範疇含下述說明之第!態樣及第2態 成:厚樣/ 士於形成由活性能量、線固化型樹脂所構 成m後’使沖μ模與樹脂層表面接觸，然後，藉由 594720 案號 91lf)QnQzi 發明說明（13) 曰 五 修正 ΪΠΓ莫以活性能量線對樹脂層照射使其固&，形成透 在第1態樣中，4以#膝：卜w 前，蚀# & @ a 、於將上述枒脂層以沖壓模擠壓之 下，使：月:；：ί ?固&，然後’於以沖壓模擠壓之狀態 於二l;=t地固化形成透明中間層為佳。藉由 化，可杏現^之日守’ 5史置部分固化步驟施行2 ?皆段固 J貝現下述之效果。 藉由設置部分固化步驟$繁！ # I ^ 械特性1分固Ξ;樹：；可效在果：為可提高媒體的機 卟。+ Β ί月曰廣 了在固化步驟中完全地固 全固：：产：Γ ί分為2次施行。此情況下，與以1次即完 的機械層的收縮量會變小1此，媒體 於ii置=設置：分固化步驟之第2效果加以說明。 於未-置部分固化的情況下，由於樹脂兄 脂層形成步驟與沖壓模擠壓步驟 2八^ ⑴velllng) ’於樹脂層的面内會產生厚度 且，在使沖壓模與樹脂層接觸時，予薄为 與樹脂層接觸會有困難…匕，沖壓；c面同： 的，分接觸。此時若樹脂層有流與樹月旨層 壓杈最初接觸之部分流動，故於樹脂層在复：知會朝° 7 士的厚薄分布。因m，若不設置部分；化；内會產生： 定地形成均一的有既定的厚度之透明中間屌”。，則難=女 藉由設置部分固化步驟而可消除。 a 。此等問題， 其次，就藉由設置部分固化步驟之第3 双果加以說明。

止樹脂層與 。然而，若 發成分在減 沖壓模間， 設置有部分 壓度，故幾 步驟之情況 由於一邊使 層之後，_ ’使上述樹 脂層的外周 一邊以活性 分固化之時 樹脂層之厚 曰 Μ 9110〇πο^ 五、發明說明（14) 沖壓模擠壓步驟，為防 在減壓環境下施行為佳 則樹脂層中所含有的揮 發。因此，於樹脂層與 之氣泡會容易混入。若 問題，且可更加提高減 分以外的氣體之混入。 又，於設置部分固化 塗佈來形成之時，以藉 在表面上延展形成樹脂 一邊以活性能量線照射 方疋轉塗佈時，延展之樹 地降低基板的旋轉速度 可得以抑制。又，於部 離心力平順地減少，故 易發生。 修正 沖壓模間混入氣泡，以 未設置部分固化步驟， 壓環境下會變得容易揮 由上述揮發成分所構成 固化步驟，則可消除此 乎可完全地防止揮發成 ’於將樹脂層經由旋轉 基板旋轉一邊使塗佈液 邊降低基板的旋轉速度 脂層部分固化為佳。於 容易隆起，惟藉由徐徐 能量線照射，上述隆起 ’由於對樹脂層作用之 度及物性之不均情形不 又’藉由於一邊使基板的 性能量線照射使樹脂層部分 射之前，將自基板外圍邊緣 除為佳。藉此，自基板外圍 圓周可得以均一化。因此， 中間層後，不須再做刮除。 基板外圍邊緣滲出之塗佈液 會回到基板側’其結果，於 方疋轉速度徐徐地降低一邊以活 固化之時，以在活性能量線照 滲出之塗佈液之至少一部份刮 邊緣滲出之塗佈液的量，於全 於樹脂層完全地固化作成透明 又’於未施行到除之情況，自 ’在旋轉停止後因於表面張力 樹脂層的外圍邊緣附近會形成

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594720 __案號 91109094 年月日_||i____ 五、發明說明（15) 環狀凸部，而於其内側形成環狀凹部。對此狀態的樹脂層 以沖壓模疊覆使樹脂層固化，則會在透明中間層中形成起 因於上述環狀凹部之空間。 第1態樣中，於形成樹脂層之時，以使用下述所說明之 閉塞機構為佳。此閉塞機構’具有圓板部與在此圓板部中 央一體化形成之支撐軸。於第1態樣中，將具有中心孔之 碟片狀的基板載置於旋轉台上，做成為以閉塞機構將基板 的中心孔阻塞之狀態，將含有活性能量線固化型樹脂之塗 佈液供給到閉塞機構的支撐軸表面後，經由使基板與閉塞 機構一體地旋轉，使塗佈液延展，形成樹脂層。 於通常的旋轉塗佈法中，係將樹脂供給到固定於旋轉台 之基板的表面，使基板旋轉，藉由離心力使樹脂延展。於 基板中，由於形成有在裝填到光碟驅動器之時所利用的中 心孔，故無法將樹脂供給到旋轉中心（基板的中央）處，而 成為離旋轉中心等距離之環狀地供給。然而，樹脂供給位 置愈遠離旋轉中心，與碟片内周部相比，碟片外周部會成 為愈厚。亦即，沿透明中間層的半徑方向的厚度會愈往外 周愈厚。於夕層光資訊媒體中，隨著資訊記錄層的積層數 之增多’透明中間層的層數亦跟著增加，故透明中間層的 厚度不均情形會累積上來。其結果，於碟片外周部，^使 δ己錄/再生光束係對基板垂直地入射，於資訊記錄層表面 所反射之§己錄/再生光束並不會垂直於基板，其結果，返 回光檢取（pick-up)的光量會變少。因此，會導致於碟片 内周部與外周部之再生輸出相異。

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附；广二此鏟φ若利用；述閉塞機構，將樹脂供給到其中央 附近(即奴轉中心附近）’則可減輕在 二: 之厚度的增大。 丁门漕旳外周部 —然而，將碟片的中心孔以板狀材料、圓板部、閉夷 蓋等之閉合機構阻塞，將樹脂供給到此閉； 近（即旋轉中心附近）施行旋轉塗佈，係眾所周H中特央附 平 1 0-320850 號公報、同 10_249264 號公報、同 1〇_2894 = 號公報、同1 1 - 1 95250號公報、同u_1 9525l號公報）， 惟’其並非用於多層媒體者。 然而，在此等各公報中所記述之閉塞機構中，有下 說明之問題點。 4 一於上述特開平10一32〇85〇號公報、同1 0 — 249264號公報、 同1 1 -1 9 5 2 5 0號公報中，並未記述有關將作為閉塞機構之 板狀材料乃至將遮蓋於旋轉塗佈後卸下之方法，故於工業 的利用上會有困難。 於上述特開平1 〇 - 2 8 9 4 8 9號公報中，記述著於旋轉塗佈 後’將作為閉塞機構之圓板部打穿或藉由用磁石吸著取下 後 邊使碟片基板旋轉一邊使樹脂層固化。然而，於打 穿及用磁石將閉塞機構取下之時，會對閉塞機構施加大的 加速度’故易對樹脂塗膜造成侵害。 於上述特開平1 1 -1 9525 1號公報中，記述著使圓形的蓋 的中央處之支撐體一體化的構造之閉塞機構。同公報中， 記述著藉由此支撐體之設置可使閉塞機構的裝卸或位置校 準容易。此支撐體，係為至少有1個孔的中空筒狀者，或

c:\總檔呢911_物咖％(替換μ. 第21頁 594720 修正

j號 91109094 五、發明說明（17) 為複數個棒狀體。將樹脂注入以 狀所包圍之區域之後，藉由 I，的内部或複數個棒 轉，可在碟片基板上形成樹脂層。“塞機構-起旋 塞機構的卸下變得容易。在同公 *閉塞機構，閉 構自基板離開後，在使碟片基板成：止使閉塞機 層固化。 $止的狀恕下，使樹脂 於同公報中，係自設置於閉塞機構的中空 接的棒㈣’使樹脂流出，施行旋轉 樹： 被擋，支撐體的壁(孔以外的區域)或棒狀體處。又树：： 住的树脂，會有在無法預知的時點，一下子就流田 上的情形。因&，塗膜易產生不均的情形。又：此閉ς : 構，由於與樹脂的接觸面的形狀複雜，且與樹脂的接^面 積大，故閉塞機構的洗淨是困難的。於閉塞機構的表面若 殘存有樹脂，則於塗膜上易產生不均的情形。又，於同公 報的表1中，作了有關中空筒的外徑為4〜16_的情況之^ 膜厚度的變動情形之查察，由其結果可知：塗膜的厚声不 均情形係依存於中空筒的外徑，外徑愈大，則厚度不均的 情形愈大。亦即，據推斷認定為，即使對中空筒的内部供 給樹脂，塗佈開始位置並不與旋轉中心一致，而中空&白^ 外周位置才是塗佈的開始位置。又，若就樹脂的濃度較高 來考量，則中空筒的外徑若未滿4mm則會有困難，因此， 以同公報中所記述的方法，欲顯著地減小樹脂塗膜的厚产 不均情形有其困難。 & 相對於上述般之習知的閉塞機構，如圖2所示般之使用

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本务月之第一範，之閉塞機構3 〇 〇，由於係在圓板部3 〇 1設 f f撐軸302，故媒體製造步驟中之閉塞機構3〇〇的裝卸變 2容易，尤其是，於旋轉塗佈後之閉塞機構3〇〇的卸下變 得容易。 #在上述特開平u_ 1 9525 1號公報中，藉由支撐體的壁或 藉由棒狀體來擋住樹脂，故如上述般，塗膜不均的情形容 易發生。相對於此，於圖2中所示之閉塞機構，由於係將 塗佈液供給到支撐軸的外周面而施行旋轉塗佈，故塗膜不 句的，形不易發生。又，於圖2所示之閉塞機構中，由於 树脂係附著於支撐軸的外周面，故與上述特開平丨i 一 1 95 25 1號公報相比，閉塞機構的洗淨較容易。又，於上述 特開平1 1 -1 9525 1號公報中，由於係將塗佈液供給到中空 筒狀的支撐體的内部，為了確保黏度比較高的塗佈液之流 動性，支撐體的外徑不能作成太小，因此，塗佈開始位置 =離旋轉中心比較遠。相對於此，於圖2所示之閉塞機 ，與同公報相比，支撐軸的外徑可顯著地作成較小， 故可顯著地減低塗膜的厚度不均的情形。 -ί Ϊ ’就本發明之第一範疇的第2態樣加以說明。於第2 =’在將含有活性能量線固化型樹脂之塗佈液供給到 二f上之後，使沖壓模與此塗佈液接觸，然後，藉由使沖 =Μ，基板作一體的旋轉使塗佈液延展以形成樹脂層，然 U由通過沖ΐ模以活性能量線對樹脂層施以照射形成 =中間層。於第2態樣中，由於係使塗佈液於 成 板與沖壓模間的狀態下使其延展，故可形成比較均一的厚

594720 修正

案號 911Mfl?U 五、發明說明（19) 度之樹脂層。 Μ io’-ϋ發明之第一範疇的第2態樣同樣地，於上述特 1. ,„ “ 29唬公報及上述特開平1 0-3023 1 5號公報中， m在包夾於基板與沖壓模間的狀態下使 t法右：二如上述般’於上述特開平9-161 329號公ί的 模性方® 1 ΐ ϊ ί構成材料並未揭示，且有關沖壓模的脫 ' 有著墨。又，同公報中，係通過基板施行紫 卜線'日、、、射，亦未記述由透明材質來構成沖壓模。另一方表 二ΪΪΪ特開平1〇_30231 5號公報的實施例中，由於透 r亦ί:π Γ係由光固化性樹脂所構成’且延展對象的樹 生樹脂’故沖壓模的脫模性差，且紫外線的 特門承而，用上述特開平9_1 6 1 329號公報及上述 寺開平1 0-3023 1 5號公報中所分別記述之方法，並無法 到與本發明之第一範疇的第2態樣同等的效果。μ #: 2： 1 285040 5虎公報中’記述著：於沖壓模的表面 、 主W細仏科在其上將光碟用基板壓接後， :二ί i Ϊ射’然後，#由將沖壓模與光碟用基板剝離， 將沖麼模表面的圖案轉寫到光碟表面之方法。$公報中記 ΓΓΙ月丄壓模係由婦烴樹脂所構成的方面，係與本 :之乾彆相同。然而’於同公報中’並未提及多層 媒體。又，於同公報Φ，古關pa 別t 〃 〒有關用於圖案轉寫之放射線固化 i树Ιθ層的厚度的均一性亦未有所著墨。 問其ΐ/’々本發明之第二範疇，係於基板與資訊記錄層之 ’及/或相鄰的2 κ資訊記錄| ’設置在表面形成有

594720 -----MM 91109094_年月日 #正 五、發明說明（20) ' " ' 圖案之中間層。上述凹凸圖案，係孔槽或凹槽，於中 的凹凸圖案形成面上形成反射層（包含半透明層）或記 錄層等’作成資訊記錄層。 、上述中間層，係藉由將含有放射線固化型樹脂之樹脂層 j具有上述凹凸圖案之母模圖案之沖壓模施行擠壓而形 苯乙烯 面係由 由放射 模性， 本發明 線者。 由通過 ’即使 的資訊 若通過 沖壓模 好。 範疇中 系樹脂 環狀聚 線固化 尤以環 之第二 因此， 沖壓模 基板為 記錄層 沖壓模 相接的 本發明 烯烴或聚 圖案之表 此，對於 良好的脫 又，於 上述放射 因此’藉 化。因而 有不透明 題。又， 化會自與 會更為良 所用之沖 所構成， 烯烴或聚 型樹脂的 狀聚烯烴 範疇中所 可通過沖 施行放射 不透明， 的情況， 施行放射 區域開始 或至少其 苯乙烯系 固化物所 特別良好 用的沖壓 壓模施行 線之照射 或基板與 樹脂層的 線之照射 。因此， 全體係由環狀驾 形成有上述母指 樹脂所構成。g 構成之中間層孝 〇 模，係為可透廷 放射線之照射。 ，可使樹脂層g 中間層之間存名 固化亦不會有沒 ’則樹脂層的g 沖壓模的脫模伯

而且，由於環狀 透過率低之紫外線 對於聚碳酸酯等之 而，於本發明之第 备、外線對樹脂層照 聚烯烴之紫外線吸 固化型樹脂當然有 其他的樹脂之紫外 二範疇，可通過沖 射，故可得到充分

收率高，故較紫外線 較高的透過率，即使 線透過率亦較高。因 壓模以充分的強度之 固化之透明中間層。

594720 案號 91109094 五、發明說明（21) 耩由射出成形可大量生產之樹脂沖壓模，由於明顯地較 便宜’故可用後即丟棄。另一方面，由於用其他方法或豆 他材質所製造之沖壓模為昂貴的，而被反覆使用著，於每 次使用時，必須將附著於表面之樹脂洗淨。相對於此，用 f即丟棄之沖壓模’由於使用後不須洗淨，故可顯著地提 高媒體的生產性，而可顯著地降低媒體的生產成本。 然而，於特開平卜285040號公報中，記述著··於沖壓模 的表面使放射線固化型樹脂供料，在其上將光碟用基板壓 接後，以放射線照射，然後，藉由將沖壓模與光碟用基板 剝離，將沖壓模表面的圖案轉寫到光碟表面之方法。同公 報中記述的發明，其沖壓模係由烯烴樹脂所構成的方面， 係與本發明之第二範轉相同。然而，於同公報中，並未有 使用環狀聚烯烴作為烯烴樹脂之記述。於同公報的實施例 中，係使用結晶性的現狀烯烴樹脂之聚甲基戊烯來製作沖 壓模。又，於同公報中，有關用以轉寫圖案之放射線固化 型樹脂層的厚度均一性方面並未有所著墨。又，同公報 中，亦未記述到多層媒體。 如上述般，為了因應光資訊媒體的高密度化及大容量化 的需求，須在沖壓模上正確地形成微細的母模圖案。於將 沖壓模經由射出成形來形成之時，因於冷卻時樹脂之收縮 會導致容易產生脫模不均。亦即，即使將凹凸圖案正確地 轉寫到樹脂上，於冷卻時因於樹脂之收縮會產生圖案之偏 移。這樣的圖案偏移，即使偏移量相同，圖案的排列間隔 愈小其影響愈大。

594720 一修正 曰 i號 9nnq_ 五、發明說明（22) 基：i述二:1.2曰το號公㈣^ 卻時，會發生的線狀稀煙’故於射出成形時的冷 偏移。於同公報中二一 ？大收鈿。因& ’會發生大的圖案 惟最近之製造狹窄的軌道間距媒= ί ^ 土戊烯，則圖案偏移會超過容許範圍。又由於 iΪ性脆’若作成為沖壓模般的薄板狀體，合有容易 丹考依據本發明者等的研究，恭：p目·^ y土 甲J戊：成則沖壓模的變形(反曲或扭轉)“變I。用聚 故i=lTn旨；中由於聚乙稀及聚丙稀亦有結晶性， 又著圖案偏移及容易刮傷之問題。 ^乙席及1丙烯，並無適用於以 y 的圖案的比較低分子量的等級，故射出成带』來形成微細 地提高樹脂熔融溫度，#結果，由於在1模：=著 出之時的溫度會變高，故沖壓模易 ^槟自权具取 轉）。 土文彤c反曲及扭 相對於此，本發明之第二範疇中 常係非晶質，且聚苯乙稀系樹脂亦為非晶（ 偏移會變小，且沖壓模的變形也會變小。卢 ^上述圖案 狀聚烯烴，由於其沖壓模的圖案偏移及變：：，非晶質環 且不易刮傷，是較佳者。 ^«顯著地變小 欲於射出成形之時將微細的圖案正確地 ^ 脂熔融溫度為佳。環狀聚烯烴由於具有严 舄，以提高樹 高。因此，身ί出成形時的樹脂炫融溫度$ ^，造故财熱性 又j知尚，故可將微 C:\ 總檔\91\91109094\91109094(替換）-l.ptc 第27頁 '-------- 594720 月 曰 修正 羞號,^11^094 五、發明說明（23) 細的圖案正確地鏟 融溫度設定於J寫；：且’即使將射出成形時的樹脂炼 TB^皿，沖壓模的變形亦小。 本^明者等發現，藉由於將 之時的樹脂熔融π谇从Λ、& ^ 竹衣狀挲烯烃射出成形 高的溫度，可使；較向來之通常所使用的溫度更 可抑制於沒有問題之範圍内。 …具的文形里亦 發明之實施 馇·!以—下/就本發明之實施形態詳細地加以說明。 第1實施形熊 Μ Λ η 光資訊嫫體 2 /f tfl ^ ^ ^ 含再生專用層或圮纾> /中之貝汛記錄層，係至少包 仵持記錚資斤謂再生專用層，係存在有用以 槽等之凹凸圖案，並可將至少-部份的 色素等之記錄材料所；;己；係含有相變化材料及有機 記錄層中，為了預先格式：：°己的覆寫及寫入的層。於 following serv〇)等，1二讯的保持及尋軌伺服（hack 又，本翊明蚩°又置有凹槽及孔槽等的凹凸圖案。 錚層、且存&二广^戶^明多層媒體，係具有複數個資訊記 先;來資訊記錄層之記錄/再生 訊記錄層,1，存在有可二貝己;= 錄層之媒體。於相鄰之資 層。 T m δ己錄/再生光束透過之透明中間 圖1係顯示依據本實施形態所製造之多層媒體的構成

594720 i號9110如叫 五、發明說明（24) 例。圖1中所示之媒餺 資訊記錄層IL]，於此次係在碟片狀的基板別上，設置第1 戶TL積声有第2次食Λ貝汛記錄層IL_1上，隔著透明中間 曰 、曰 貝δ己錄層IL - 2。於第1資κ 士？絲μ τ ϊ -1芬 第2資訊記錄層IL-2，分別m / 錄層卜1及 凹凸圖案。於第2資訊；=有9:凹槽及孔槽所構成之 U T # Μ / 錄層L_2上，形成有保護層PL。 以下就此媒體的各部之構成加以說明。 基板SB、保讜層ρτ 样=Λ Γ之:、體中’記錄/再生並非自基板s b側而係自 為透明。基板SB的厚度，通當A〇 2 1 /丹生”不須 、 卞又 遇吊為〜1.8mm，而以作成〇 4 〜1.2錢為佳。基板SB，與通常的光資訊媒體的基板同樣 地由樹脂構成即可。此情況下，第！資訊記錄層il-i所必 須的基板SB表面之凹凸圖案，可經由射出成形來形成。 惟，亦可在玻璃板或樹脂板、金屬板等的剛性基板的表面 藉由2P法來形成上述凹凸圖案，以作為基板邡。 保護層PL，為了可讓記錄/再生光束透過，係且有透光 性。於保護層PL，可使用與基板SB同等厚度的樹脂板或玻 璃板。惟’為了因應記錄/再生光束照射光學系統之高na 化之高記錄密度，以使保護層PL薄型化為佳。此情況9下之 保邊層PL的厚度’以在30〜300 //in的範圍内選擇為佳 保 護層PL若太薄，附著在保護層PL表面之塵埃所造成的光學 上的影響會變大。另一方面，保護層PL若太厚，則高 會有困難。 於使保護層PL薄型化之時，例如，可將由透光性樹脂所

594720 月 曰 修正 i號9】】nQDQ/[ 五、發明說明（25) 構成的片材藉由各籀桩牮 或以透光性樹月旨塗佈作成=層占/L劑貼合作為保護層PL 又，於圖〗所示之構造的媒 基板SB再入射到資訊記錄 凸=== 案η二2，’形成有孔槽或凹槽等之凹 之凹凸圖荦轉芎而^忠，、=由將形成於透明中間層TL表面 0 口茶轉寫而形成。惟，自記錄/再峰 看之存在於最深處之資訊圮 先束入射側來 SB上的凹凸圖案之轉寫所形成：由設置於基板 再生專用層或記錄層。 貝戒d錄層，係至少含有 再生專用層，由於必須將 训將大部分反二 之含Λ金义介電體多層膜所構成之二再生 寻用媒肢之貝訊δ己錄層，通當孫 -^ „ m ；逋吊係由反射層所單獨構成。 »己錄層，可為用相變化型記錄 :讀多次型_者、用光磁性記錄材 m素作為記錄材料之寫一次讀等之中的 其他的記錄材料。•，就與其他的記錄 ’型記錄材料之透光性較高，因此，記 ，層=積層數可作成較多層，故為較佳者。於記錄媒體 二汛5己錄層可由記錄層所單獨構成，必要時，亦可設 置反射層及介電體層等之其他的層。 例如於相變化型記錄媒體中之；訊記錄層，通常係作成 •C1 ΥΛ _1 第30頁 C:\總檔\91\91109094\91109094(替換）-1 .ptc 594720 案號 91109(HU 五、發明說明（26) 记錄層的兩側設置有介電體的，^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ 束入射側來看之存在於最、、菜^ = 自。己錄/再生先 ,,,, 子隹於竑冰處之資訊記錄層IL-1，通常係 作成為自圖1之下側起佑成i = m ^人 ^依序為反射層、介電體層、相變化 i 3己錄層、介電體声$搞》思^致、& ,^ " 之積層構造。於資訊記錄層IL-2中， 由於必須能使記錄/再生光炭读^ 層，惟必要砗n上透 故通常不設置反射 “ϊίΓ 置對於記錄/再生光束為半透明的 反射層，作成與IL-1同樣的構造。 本發明中所用之相蠻介刑 ^ ^ 々交化型圯錄材料的組成並無特別限 疋，惟以至少含有S b及T e去Α杜 «π ^ ^ ^ 者為佳。早只由Sb及Te所構成之 ^己錄層’由於結晶化溫度偏低為130t，故保存可靠性不 ’故以：力:其他的凡素為佳。作為此情況下之添 素’以π素Μ(元素Μ為選擇|In、Ag，、Bi、〜、αι、 P、Ge、H、Si、C、V、W、Ta、Zn、Ti、Ce、Tb、Sn

Pb、Pd及γ中之至少丨種的元素）為佳。此 s揾a 保存可靠性效果較高來看，尤以以為特佳專 就棱南 么么將記錄層構成元素的原子比以 式 I SbaTebMc 表示。 於a+b+c=l時，以 a=0.2 〜0·85 、 b = 0. 1 〜〇. 6、 c = 0 〜〇_ 25 為佳，而以 c = 0. 01 -〇. 25

C:\總檔\91\91109094\91109094(替換）-1.ptc 第31頁 594720 ----MM 91109094 年月日__修正 五、發明說明（27) 更佳。Sb含有量若太少，則由於結晶化速度不夠快，於覆 寫會有困難。另一方面，Sb含有量若過多，則結晶化速度 過快’於非晶質記錄標記之形成會有困難。Μ含有量若過 少’則Μ的添加效果不彰，Μ含有量若過多，則隨著相變化 產生之反射率變化變小，難以得到充分的變化度。Te含有 里若太少’則非晶質化變得困難，致記錄標記之形成亦變 得困難。反之，Te含有量若過多，則結晶化速度變慢，覆 寫會有困難。 於夕層媒體中’由於如上述般的使記錄層多層重疊，記 錄/再生光束的光量損失會變大。因此，在不損及作為記 錄層的機能的範圍内，記錄層以儘可能地薄為佳。惟若太 4 ’則會損及作為記錄層的機能。因此，記錄層的厚度宜 為2〜50nm，而以作成為4〜20nm為佳。 又 於使用相變化型記錄層之 的將$錄層以一對的介電體 中，記錄層及各介電體層， 介電體層中所用之介電體， Zn、A1、稀土類元素等之中 合物為佳。作為化合物，以 化物為佳，亦可使用含有此 物。各介電體層的厚度以J 〇 透明中問居 情況，資訊記錄層，以上述般 包夾著之構造為佳。此構造 以藉由濺鍍法形成為佳。作為 以含有選自例如，S i、g e、 至少1種的金屬成分之各種化 氧化物、氮化物、硫化物或氣 等化合物之2種以上的混合 〜500nm為佳。 透明中間層TL，係 固化型樹脂的固化物 由紫外線固化型樹脂等之活性能量線 、且對於記錄/再生光束之透過率高

修正 月 五 曰 窟號红[09094 、發明說明（28) 的材料所構成。 吃伴j中間層的厚度並無特別限定，只要以使相都夕-欠二 定即可，r-talk)收斂於容許範圍内之方式設 若太薄，則^ΓΛ佳而以10〜5Mra更佳。透明中間層 度不均情形：二： 反之’透明中間層若太厚，則厚 厚度會G ;所；内部應力也易增大，並且媒體的全 區域上之最大晟庚盘：之上述的平均厚度’係指資訊記錄 所碩_貝訊記錄區域，係於再生專 月曰中之 覆寫的資訊圮样爲十Λ再生專用貝汛s己錄層及可WORM或 ]貝己錄層之中，形成孔槽及凹 身訊的區域。亦即，可記錄之軌道存 =持“己錄)者 ^錄之軌道中’除了記錄數據之軌道（通/的 外，亦包含試寫入用軌道。 ’。己錄軌道)之 如上述般，藉由通常的旋轉塗佈法來 情況’由於沿透明中間層的半徑方向之厚以：γ之 故於内周部與外周部之再生輸出容易相異，且自4广脾 容易產生轉寫不均的情形。資訊記：區域 上之透明中間層的最大厚度與最小厚度的 _ 下為佳’而以以下更佳，尤以3"m : ”；以由 使透明中間層的厚度分布如此般地料，可抑制再生= 的變動。又，於第1態樣中，係在以旋轉塗’^ 層後，將樹脂層以沖壓模擠壓來轉寫凹凸圖案7因而梦月曰 1態樣中之透明中間層的厚度不均情形若較大'，。而’第 沖壓模對固化前的透明中間層（樹脂層）施以均一的擠/壓，

C:\ 總檔\91\9I109094\91109094(替換）-1.ptc 第33頁 594720 修正 _案號911Q恥CM 五、發明說明（29) 因此，容易產生轉寫缺陷。因此之故，於第i態樣中，特 別是以使透明中間層的最大厚度與最小厚度的差作成於上 述範圍内為佳。 透明中間層的最大厚度與最小厚度的差，以愈小愈佳， 惟於使用旋轉塗佈法的情況下，欲將上述的差作成零是有 困難的。又’上述的差若充分小，則對於再生輸出之影響 亦小。因而’並無必要將其縮小至1 # m以内。 方法（第1熊^^ 其次’就本實施形態之第1態樣之製造方法之使用於圖1 所示之媒體的製造之情況加以說明。於第1態樣中，為了 使透明中間層的厚度分布縮小，以使用上述閉塞機構來形 成透明中間層為佳。於本實施形態的製造方法中，設置有 後述之塗佈步驟、固化步驟、剝離步驟及積層步驟。 又’以下雖係以使用紫外線固化型樹脂作為活性能量線 固化型樹脂之情況為例所做的說明，惟藉由電子束等之其 他的活性能量線來固化之樹脂亦可使用。 塗佈步驟 首先，如圖2及圖3所示般，在旋轉台200上，載置具有 中心孔CH之基板SB。在基板SB上，已形成有第1資訊記錄 層IL-1。基板SB，其中心孔CH係嵌合於旋轉台2〇〇的環狀 的突起2 0 1上而固定住。又，此等圖式為截面圖，故只顯 示出截面上可顯現的側面，至於縱深方向的圖示則予以省 略。後述的截面圖中亦同。 然後，以閉塞機構3 00將中心孔CH阻塞，此閉塞機構

594720 ---—案號9〗109094 年月日 鉻π _ 五、發明說明（30厂 " —"'"—'~ 3 0 0 ’具有用以阻塞中心孔c η的圓板部3 0 1、於其中央處一 體化形成之支撐軸3〇2、與在與中心孔CH反向側之一體化 於圓板部301上之凸部303。藉由將凸部3〇3嵌合於突起2〇1 的内周部，可使閉塞機構3 0 0固定於旋轉台200，並可進行 基板SB與閉塞機構3〇〇的位置對準。然而，基板邡與閉塞 機構30 0之對旋轉台20 0的固定方法並無特別限定，例如&， 在基板SB與閉塞機構3〇〇嵌合之狀態下，將閉塞機構300嵌 合至旋轉台2〇〇亦可。 入 其次，如圖4所示般，將由樹脂或樹脂溶液所構成之塗 佈液500，經由供料機構之喷嘴400供料，將塗佈液500供 給至支撐軸302的外周面。此時，係使旋轉台2〇〇以比較低 速（以20〜l〇〇rpm為佳）旋轉，以使塗佈液在圓板部3〇ι上均 一地塗佈之方式為之。 八人如圖5所示般，藉由使旋轉台2 〇 〇以比較高速旋 使塗佈液5GG延展。藉此，可在基板SB上形成樹脂層 之ί: 3 1延展條件，i無特別限定。於將旋轉塗佈法中 度以外之條件作成同-之情況下，理論上， : 黏度的平方根成比例，是公知者。另-方 I# ί大且旋轉時間愈長，則塗膜愈薄。因而， 既定二严声2，速度及旋轉時間，以使樹脂層1^成為 可。、子又 ^、’因應塗佈液的黏度而做適當的決定即 於塗佈步驟中 α %上述般地用紫外線照射來使樹脂層

第35頁 594720 - 案號 911Q9Q94_____ 年月日 修正 五、發明說明（31)^ " ' " ' " RL部分固化為佳。藉由部分固化步驟的設置，可實現上述 的效果。 於此部分固化之時，在形成樹脂層RL後，可將閉塞機構 3 0 0自基板SB取下，再施以紫外線照射。而本實施形態 中，以於圖5中樹脂層RL形成後，如圖6所示般在旋轉塗佈 T之基板SB的旋轉速度減速過程中施行紫外線照射為佳。 i外線照射’以於減速開始時算起減速時間經過3〇%之内 開始施行’且至少持續進行至減速時間經過8〇%為佳。照 射開始若太遲’則於樹脂層的外周側容易隆起。又，照射 開始若太遲，則在比較低的旋轉速度内，樹脂無法固化， 其結果，由於在未固化之狀態下，離心力減弱，故外周部 的隆起易增大。紫外線照射之停止時點若太快，則樹脂層 易產生不均的情形。基板SB的旋轉速度的減低曲線並無特 別限定，於初期起到停止為止之間，單位時間之旋轉速度 減低量（減速率）可作成固定或做平順地變化。亦即，減速 率可為f亙疋，亦可為漸減或漸增，通常以設定為恆定為 佳。 此部分固化步驟之樹脂層RL的固化程度，係樹脂層孔之 :巧殘存的程度。部分固化成殘存有若干黏著性之樹脂 層，藉由沖壓模的擠壓可行圖案轉寫，且實質上不具有流 ί 二為達到部分固化所必要的紫外線照射量，雖依樹脂 層構成材料而異，以10〜200mJ/cm2為佳，而以3〇〜1〇〇 m J / c m2 更佳 〇 於一邊將旋轉速度減速使樹脂層固化之方法中，係於將 五、發明說明（32) 閉塞機構30 0填塞於基板SB之狀態下以紫外線照射。此 日τ ’若亦對閉塞機構3 〇 〇表面的塗佈液以紫外線照射，| 於固化後將閉塞機構30 0自基板SB卸下之時，樹脂層的 周邊緣會產生毛邊，或毛邊的碎片會飛散，非良好者'。、 了防止此等毛邊的發生，以對閉塞機構3〇〇附近除外為 分用紫外線照射為佳。亦即，紫外線照射區域的内徑，、 將照射範圍控制於較閉塞機構3 〇 〇的圓板部3 〇 i的外秤= 為佳。又，於塗佈液延展時，塗佈液會自基板邡的i t 向外作放射狀地飛散1其以紫外線照射，則飛散之k 液，谷易於自基板外周緣向外作放射狀地延展之狀熊下 化。為防止此情形，以使紫外線照射區域的外周緣g SB的外周緣大致一致的方式來控制照射範圍為佳。、"· 照射範® ’例如’可藉由在紫外線源與基板 置既”狀的遮罩以阻斷紫外線來控制…亦可二:己 施行精猎的圖案照射之投影曝来媳 冰，口要异可斟姐—, 先機又，於投影曝光機以 照射裝置亦可。作為這樣的裝置 f，外線 (股）製的聚焦UV照射裝置及多重 Λ J如夬希歐電氣 中，在光纖單元的前源；照射裝置 狀。例如，將昭射二tfi透鏡，可調整照射區域的形 狀1夕" 、、耵^域作成長方形，於一邊佶其#撾 之下施以照射，則可對枬炉主I ^ 透使基板SB叙轉 丄夕去， 對树月曰表面作環狀的照射。又，於使 用上述多重光源之情況下，以並用上述遮罩1佳，於使 於施行樹脂層的部分固化之味 、、、 成時，以將滲出自基板SB 2般，在樹脂層形 J外周緣之塗佈液的至少一部份 第37頁 C: \總檔\91\911〇卯94\91丨09094(替換）-1 .ptc 594720

刮除為佳。具體而言，以使用具有刀刃般的薄板狀之部位 的刮除機構使其接近基板SB的外周側面將塗佈液刮除為 〜然後，將閉塞機構300自基板SB離開，作成圖7所示之狀 態後’如圖8般，使沖壓模1 0 0與樹脂層RL接觸。在沖壓模 1 〇 〇的下面，由於形成有凹槽的母模圖案，經由其轉寫，、 於樹脂層RL的上面形成凹槽圖案。此時，可由沖壓模丨〇 〇 本身的重量對樹脂層RL擠壓，亦可藉由自外部對沖壓模 1 0 0施加荷重對樹脂層r L擠壓。藉由沖壓模之擠壓壓力及 擠壓時間，以可使沖壓模1〇〇表面的母模圖案正確地轉寫 到樹脂層RL上的方式來作適當的決定。通常，以〇. 5 χ ” 1〇5〜5 X i〇5pa施以〇· 1〜5秒之擠壓為佳。 沖壓模100與樹脂層RL的接觸，以在減壓環境中進行為 佳。上述減壓環境的壓力，以30KPa以下為佳，而以^Kpa 以下更佳。藉由在減壓環境中使沖壓模與樹脂層接觸，可 防止在兩者間的氣泡混入。又，擠壓並非一定要在減壓環 境中施行。因而，藉由將環境壓力增高來進行擠壓亦〇 , 里化步驟、剝離步驟、積層步驟 於固化步驟中，如圖9所示般，藉由通過沖壓模1〇〇施行 备、外線照射’將樹脂層RL固化作成透明中間声又 亦 可於一邊將基板SB旋轉下一邊施行紫外線照射。固化後’，' 於圖10之剝離步驟中，將沖壓模1〇〇自透明中間層tl剝’ 離。然後，於圖11所示之積層步驟中，在透明0中胃間層TL 上，藉由濺鍍法或塗佈法形成第2資訊記錄層IL — 2a。曰

594720 _ 案號 91109094 五、發明說明（34) 閉塞機才冓 於第1態樣中使用之閉宾她姐 ^ 成，口要日呈古η 4閉塞機構，並不限於圖2所示之構 成，、要疋具有®板部與支撐軸者即可。圖2 機構30 0，係具有圓錐Α 丄圖2所不之閉塞 3。2，惟除此之外，亦；與圓柱狀的支撐軸 示之構成的閉塞機構。使用如圖12(Α)〜圖12⑻所分別顯 圖1 2 (A)所示之閉塞機構， 的圓板部3〇1與逆圓錐台二面挖空之圓錐台狀 IB雜二&，π # 支撐軸302。將支撐軸作成逆 .I ^液的開始塗佈位置更接近圓板部3 〇 1 可更為減低塗膜的厚度不均情形。而且’V將 支撐軸302的全體作成較細之情況相異者、 ^302 „ .. M ^ 〇 x , ^ ^ # |i3〇2 , ^ Λ HL’I由於不f掉落，故於閉塞機構的裝卸及移送之 “父為有利。X ’支撐轴302的全體並非必要為 么 H_3Q2的至少—部份為朝向圓板部3()1二 径漸減之圓錐台狀，且較接近圓板部的區 徑不要變大即可。 又得軸的直 圖12(B)中所示之閉塞機構，圓板部3〇1的截面形狀 圖12(A)相異。為了使在圓板部3〇1上之塗佈液均句地延” 展，亦愈往外周部之圓板部301的厚度漸次減小為佳。 情況下’在圓板部3 (Π的截面，塗佈液之延展的上緣的 狀’可為圖12(A)所示般的直線狀，亦可為圖12(β)所示如 的曲線狀。又，如圖12(C)所示般，圓板部3〇1的外周:= 為垂直面。惟圖12(C)中之圓板部3 〇1的外周處之厚度

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:〇有4:難以下又為佳“厚度1若太大，則欲均-地塗佈樹㈣ =難：又’如，(D)所示般，將圓板部3 : 成為均一亦可。 v f心if /一於閉塞機構中，在圓板部3()1近旁的支撐軸⑽的最小直 徑，以未滿4mm為佳，而以未滿2mm更佳。圓板部3〇1近旁 之支撐軸302的直徑若過大，則塗佈開始位置會偏離圓板 部301的中央，樹脂層礼的沿半徑方性向之厚度不均會增 大。而，圓板部301近旁之支撐轴3 02的直徑若過小，則曰 撐軸3 02的機械強度不充分，故上述最小直徑以〇 5mm以上 為佳，而以0· 7mm以上更佳。支撐軸3〇2的長度，並無特別 限定’只要以對外周面的塗佈液之供給容易的方式，且對 夾持時之操作容易性加以考量而作決定即可，以作成5〜 1 0mm為佳’而以1 〇〜3〇mm更隹。支撐軸3〇2若過短，則對 外周面之塗佈液的供給變得困難，且難以夾持。反之，支 撐軸3 0 2若過長，則在操作方面會不方便。 圓板部30 1的直徑，須較基板SB的中心孔CH的直徑大， 且較第1資訊記錄層IL-1的内徑小。然而，塗佈液5〇〇由於 會自圓板部30 1的下面滲入而污染基板SB的内周面，故圓 板部30 1的直徑，以較中心孔CH的直徑大4mm以上為佳，尤 以大8mm以上更佳。又，於將圓板部301卸下時，容易使得 其近旁的樹脂層的形狀受到影響，故圓板部3 0 1的直徑， 以較第1資訊記錄層I L-1的内徑小3 mm以上為佳，尤以小 5mm以上更佳。具體的尺寸，雖依於中心孔的直徑及資訊 記錄層的内徑而異，通常，在適用於直徑為60〜130 mm的

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光碟之製造的情況下，圓板部3〇1的直徑以作成2〇〜4〇mm 為佳，尤以25〜38mm的範圍更佳。 閉基機構的構成材料，並無特別限定，可為金屬、樹 月曰/陶竞等之任一者’亦可為使用此等之2種以上之複合 材料。又’圓板部301與支撐軸3〇2亦可由相異的材料構 成。惟，就機械強度、耐久性、尺寸精度良好的考量，閉 塞機構以由金屬構成為佳。作為此等金屬，以例如不銹鋼 合金、鋁、鋁合金為佳。 閉塞機構30 0表面，尤其是圓板部3〇1的全表面，以較塗 佈液之表面張力低為佳。閉塞機構3〇〇的表面對於塗佈液 愈Z易漂濕’則附著於閉塞機構的表面之塗佈液的洗淨可 車乂合易。表面張力的控制，可藉由適當地選擇閉塞機構 構成材料來達到，惟以對欲降低表面張力的區域施以 月i加工等之防水、防油處理為佳。 _製造方法（第2熊樣） 其次，就本發明之第2態樣加以說明。於第2態 σ 有塗佈步驟與第1態樣相異。 /、 士於第2態樣之塗佈步驟中，如圖13所示般，將由樹 ^脂溶液所構成之塗佈液500，自供料機構 供 料，供給到基板SB的第〗資訊記錄層IL] 7 :。此時，藉由使旋轉台2。。以比較低的速度至二 =附 圈，形成塗佈液500的環狀積液。 轉1 然後’如圖14般，使沖麼模1〇〇與塗佈液5〇〇接觸 時’可由沖壓模100本身的重量對塗佈液5〇。擠壓，亦可藉 第41頁 C: \總檔\91\91109094\91109094(替換）-1. 594720 修正

Ml 91109094 五、發明說明（37) 麼模uo施加荷重對塗佈液500擠壓，惟為了 播谭為彳t。、的變形，以藉由沖壓模1 〇 〇本身的重量施行 板S;及/ 、φ又厂’並非僅限於此方&，例如，亦可預先對基 板SB及/或沖壓模100以樹脂塗佈。 如i tί圖15所示般’藉由使基板SB與沖壓模100以比 、=7 、、仃一體地旋轉，使基板SB與沖壓模100間之塗佈 =^延展而形成樹脂層RL。由於樹脂層RL的厚度及均一 性係依存於塗佈液的黏度、延展時的旋轉速度及旋轉時 間，故須以可得到所要的目標厚度的樹脂層以且使立厚度 的均-性高之方式，將其等作適當的設定。具體而；，以 分塗佈液的黏度作為5〇〜1〇〇〇cp、旋轉速度作為5〇〇 〜600〇rpm、旋轉時間作為1〜1〇秒為佳。 冲C杈1 0 0與塗佈液5 〇 〇之接觸，以在減壓環境中施行為 佳。上述減，環境的壓力，以3〇kPa以下為佳，而以i〇kpa 以下更佳。藉，可防止氣泡混入樹脂層RL中。又，塗佈 液5 0 0的延展亦以在減壓環境下施行為佳。 其後，與第1態樣同樣地，進行樹脂層RL的固化、將沖 壓模100自樹脂層RL剝離、及第2資訊記錄層IL — 22形成。 -第1態樣與第2態樣共通的事j酉 其次，就第1與第2態樣之共通事項加以說明。 於本實施形態中，沖壓模丨00的至少其與樹脂層RL接觸 的面，須由聚烯烴系樹脂或氟樹脂所構成。所用之樹脂， 只要是對於樹脂層RL的固化時使用之紫外線有高的透明性 即可。作為聚烯煙系樹脂，可自例如聚乙烯、聚丙婦、聚

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案號 91109094 五、發明說明（38) 甲基戊烯之^中一適宜地選擇。又，作為氟樹脂，可自聚四氟 乙烯、聚（氯二氟乙烯）、聚過氟鏈烯基乙烯基醚之 地選擇。 τ、且

沖壓模1 0 0的製造方法並無特別限定，惟，於沖壓模係 由聚烯烴系樹脂所構成之情況，以經由射出成形法製造為 佳。又,，於沖壓模係由氟樹脂所構成之情況，可依於氟樹 脂的種類，、自加壓成形培燒法、擠壓成形法、壓縮成形 法、射出成形法等之中選擇適宜的製造方法。設置於沖壓 模1 0 0表面之母模圖案，可於成形時同時形成。惟，亦可 在由對於活性能量線透明性高的材f (樹脂或玻璃等）所構 成之比較剛性的基板上，將具有上述母模圖案之聚烯烴系 樹脂或氟樹脂，經由2P法（光聚合法）形成，以製造沖壓模 沖壓模的形f與尺寸並無特別限定，通常，係與㈣> =Π f裱狀，其外徑及内徑，可分別作成與樹脂> ^ 同。惟，右將沖壓模1 0 0的外徑設 疋為較基板SB的外經稍大，目丨|户在丨私 丨让明大，則在剝離步驟中自透明中間} T L將沖壓模1 〇 〇剝離可輕交总 A ^ J 1又谷易。又，沖壓模100的厚度，i 吊以0 · 3〜3 ra m的範圍内兔社 、士威，上

^ .挪固η為佳。沖壓模1 00若太薄，則沖壓 杈的成形較為困難，故欲左沛厭捃 π π也人丄 奴在/中壓模的全面上形成均一的1 凸圖案會有困難。反之，沖懕提]η Λ — 一 斤反模10 0右太厚，沖壓模的剛 性會太咼，故於沖壓模合古供r六 ,,η ^ θ有、艾形存在。輕度的變形，與：

沖壓杈進彳丁擠壓之時可A 一日1A 士 加以續正’而若沖壓模的剛性太 咼，則端正會有困難。m i ,, _ 因此，沖壓模若太厚，則沖屋模!

594720 9Π0ΑΠ94

五、發明說明（39) 變形會同樣地轉寫到透明中間層上，使 不均變大。 1更透明中間層的厚度 :第2態樣中，藉由在基板與沖壓模之間包爽著樹脂的 狀悲下使兩者旋轉使樹脂延展。此時，田 心力，有續正沖壓模的反曲的功二=所產生的離

^ 馬有效地利用此功 能，以將沖壓模作成比較地薄為佳，I 秀體而言，沖懕握的 厚度以作成0.3〜1.8mm為佳，尤其是〇·3〜i 4_ 、 於透明中間層的厚度不均、轉寫缺 面，會受到紫外線照射的時點、职射^=脫模性方 響。因此，於本實施形態中，以;射強度的影 如下述說明般作控制為佳。於第/能φ、夕線照射之條件 模與樹脂層之間的氣泡使兩者完全地 隹除去& F i+。於楚9 &样士 ^ 王地接觸後，施行紫外線 π射於第2悲樣中’為了使將沖壓 透明中間層剝離，須使透明中間層為大自口化 ^的 將沖壓模剝離。又，若固=有=著性’故難以 度會不充分，故於沖壓模剝離：么明間層的機械強 的情況…使透明中間=;:二會”明中間層破損 分固化步驟之情況，部分固:第牛2樣二’ f置有上述部 佳。 7 σ计，以定為1 J/cm2以上為 (實施例） 實施例1 (第2熊樣）

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，由射出成形製作成在表面設置有凹槽之外徑丨2〇mn]、 2徑（中心孔的直徑）l5mm、厚丨· 2mm的碟片狀基板SB(聚碳 馱s曰製）。並經由射出成形製作成在表面設置有凹槽的母 模圖案之直徑120mm、厚〇· 6mm的透明的沖壓模1〇〇(聚甲基 戊烯製）。在基板及沖壓模中，凹槽的排列間距作成〇· 6 ，凹槽深度作成&4〇nm。在上述基板的凹槽圖案形成 面，經由濺鍍法依序形成反射層、介電體層、相變化型記 錄層及介電體層，作成第1資訊記錄層丨L — j。

然後，將基板載置於旋轉台上，一邊以低速旋轉，一邊 將备、外線固化型樹脂滴下到基板的内周附近約繞j圈。 然後，於旋轉停止後，將沖壓模1〇〇載置於滴下有紫外線 固化型樹脂上，並大致同時地使基板^與沖壓模1〇〇 一體 地旋轉，藉由使旋轉速度於2 〇 〇 〇 rp m保持約2秒，使紫外線 固化型樹脂延展，形成樹脂層RL後，停止旋轉。 然後，藉由通過沖壓模1〇0以紫外線對樹脂層RL照射使 其固化，作成透明中間層TL。紫外線照射量定為1J/cm2。 然後，將沖壓模1〇〇自透明中間層TL剝離。在剝離之沖壓 模1 0 0上未附著有紫外線固化型樹脂，沖壓模丨〇 〇的脫模性 良好得以確認。 '

然後，於透明中間層TL上，經由濺鍍法形成作為第2資 訊記錄層IL-2的厚度6〇nm的Au薄膜，以之作為評價用試 料。 # 對此評價用試料的Au薄膜表面以掃描式電子顯微鏡進行 照相。此照相如圖16所示。由圖16可知：沒有轉寫缺陷存

在，凹槽圖案得以正確地轉寫。 又’藉由在透明中間層Ti矣& μ ^ 離，使透明中間層TL自黏貼黏著膠帶將其外拉剝 TL , ^ ^ 料剝離’對剝離之透明中間層 1 L ’稭由接觸式高低差測定穿 塔克3)測定沿半徑方向迭克塔克公司製之迭克 圄1 7邮- , 又、交動。結果如圖1 7所示。於 圖1 7所不之曲線，橫坐標為透 由圖17可知，此透明中間=二間層之離中心的距離。 呈骑品_ I玲之、/σ半徑方向的厚度變動小。 :月中二’在資訊記錄區域（半徑25〜55mm的範圍）上之透 —中間層的最大厚度與最小厚度的差為以下。 在實施例1所用之基板SB上，以與實施例i同樣的做法， 形成第1資訊記錄層IL-1。 、然後，如圖2〜8所示般，藉著使用閉塞機構3〇〇的方法， 以下述的順序形成透明中間層几。所用之閉塞機構3〇Q， 係由不銹鋼合金所構成，為圖2所示之形狀者，圓板部3 〇工 之直徑為38mm、支撐軸302之直徑為lmi„、長為2〇mm。首 先’將基板SB載置於旋轉台上，以閉塞機構3〇〇阻塞住基 板SB的中心孔CH之後，一邊使旋轉台以6〇rpm旋轉，一邊 將紫外線固化型樹脂（日本化藥公司製之MPZ2〇3，於25艺 之黏度為9 0 m P a s)供給到支樓軸3 0 2的外周面，然後，經由 使旋轉台以2000rpm旋轉3秒使樹脂延展，形成樹脂層rl。 使閉塞機構300自基板SB離開後，將實施例1中所用之沖壓 模1 0 0載置於樹脂層RL上，藉由高壓爸對沖壓模1 〇 〇的全面 均一地擠壓。於解除壓力之後，經由通過沖壓模丨0 〇以紫·

594720 _案號 91109094 _^—月 B_Hi_ —— 五、發明說明（42) 外線照射使樹脂層RL固化，作成透明中間層TL。紫外線照 射量係與實施例1相同。然後，將沖壓模1 〇 〇自透明中間層 TL剝離。在剝離之沖壓模1 〇 〇上，未附著有紫外線固化型 樹脂，沖壓模1 0 0的脫模性良好得以確認。 然後，在透明中間層TL上，以與實施例1同樣的做法， 形成第2資訊記錄層IL-2，作成評價用試料。對此評價用 試料的第2資訊記錄層IL-2以掃描式電子顯微鏡觀察之 下，得以確認無轉寫缺陷存在，且凹槽圖案正確地轉寫 著。 又，就透明中間層的半徑方向之厚度變動，以與實施例 1同樣的做法做了測定。結果示如表1。又，在表1中，△ τ 係資訊記錄區域（半徑2 5〜5 5 m m的範圍）上之透明中間層的 最大厚度與最小厚度的差，TM為透明中間層的平均厚度。 產i (實施例2) 半徑方向位置(mm) 25 30 35 40 45 55 TM ΔΤ furrA 透明中間層厚度(#ηι) 18.9 19.6 20.3 20.8 213 20,5 Vr4,114/ 20.1 νμιιι; 2.4 如表1所示般，此透明中間層的△ T為2. 4 // m，厚度均一 性良好。 比較例1 於實施例1所用之基板上，以與實施例1同樣的做法， 成第1資訊記錄層IL-1。 ^

594720 案號 91109094 曰 修正 五、發明說明（43) 然後，將基板載置於旋轉台上，一邊以低速旋轉，一邊 將务' 外線固化型樹脂滴下到基板SB的内周附近約繞1圈。 然後，提高旋轉速度，藉由使旋轉速度保持於2〇〇〇rpm約2 秒’使紫外線固化型樹脂延展後，停止旋轉。於確認在基 板的全面形成著樹脂層RL之後，將實施例1中所用之沖壓 模100載置於樹脂層RL上，藉由高壓釜對沖壓模1〇〇的全面 均一地擠壓。於解除壓力之後，經由通過沖壓模1〇〇以紫 外，照射使樹脂層RL固化，作成透明中間層η。紫外線照 射量係與實施例1相同。然後，將沖壓模丨〇 〇自透明中間層 TL剝離。在剝離之沖壓模1〇〇上，未附著有紫外線固化型曰 樹月曰’沖壓模1 〇 〇的脫模性良好得以確認。 然後’在透明中間層TL上，以與實施^例】同樣的做法， 形成第2資訊記錄層IL-2，作成評價用試料。對此砰價用 試料的第2資訊記錄層IL-2以掃描式電子顯微鏡觀察之 下，處處可發現有轉寫缺陷。 又’就透明中間層的半徑方向之厚度變動，以與實施例 1同樣的做法做了測定。結果示如圖17。由圖17可知，此 透明中間層TL之沿半徑方向的厚度變動大。具體而言，資 訊記錄區域（半徑25〜55mm的範圍）上之透明中 几的、 大厚度與最小厚度的差超過1Mm。彡明中間層二厚度不 二匕Γ兄，據推測認為係由於在固：前的樹脂 以 5=的 以上之厚度不均情形，故無法』 2 L模10。施以均一地擠壓，其結果’導致轉寫缺陷的產

594720 修正

由此比較例1與上述實施例1及實施例2的比較可知，使 用第2態樣之效果及第1態樣中之使用上述閉塞機構之效果 是很明白的。 實施例3 (第1態樣） 於壓力5kPa的環境中使沖壓模1〇〇載置於樹脂層RL上， 除此之外，其餘與實施例2同樣的做法，形成透明中間層 TL。此透明中間層TL，經確認在全面上完全沒有氣泡的現 入0 以與實施例1同樣的做法，測定此透明中間層TL的厚度 不均情形。結果示如表2。 表2 (實施例3) 半徑方向位置(mm) 25 30 35 40 45 II TM 55 (μηι) ΔΤ Cum) 透明中間層渾度(/im) 18.6 19.4 20.5 21.3 21.0 20.4 20.0 2.7 如表2所示般，此透明中間層TL的△ T為2 · 7 // m，厚度均 一性良好。 膏施例4(第1態樣） 在實施例1所用之基板SB上，以與實施例1同樣的做法， 形成第1資訊記錄層IL-1。 然後，藉著使用閉塞機構300的方法，以下述的順序形 成透明中間層TL。首先，將基板SB載置於旋轉台上，以閉 塞機構300阻塞住基板SB的中心孔CH之後，一邊使旋轉台 以6 0 rpm旋轉，一邊將實施例2中所用之紫外線固化型樹脂

(：:\總檔\91\91109094\91109094(替換）-1.口1。 第49頁 594720

=:二=,外脂周延面展。然後’經由使旋轉台以 於此树脂延展之時，於延展大致完成之經過 點’使薄板狀的刮除機構接近到基板別的 ζ 板SB的外周緣滲ί^樹脂於除^彳 將由基 板SB移開，並同時開始旋轉台的減速，於減速開/的^ 秒後，以強度16〇mW/Cm2的紫外線照射〇. 5秒。此時， 線的照射量為80mJ/Cm2 ’藉此可形成部分固化的樹脂層 RL。又，將自減速開始至旋轉停止的時間設定為i秒。曰紫 外線照射設備係使用目白精密（股）製造之uv Cure BHG-250/以能夠對基板SB的全面施行紫外線照射的方式 將照射範圍設定為120min的圓形。惟，於閉塞機構3〇〇上， 配置直徑40mm的遮罩以使紫外線照射不到。 然後，在壓力5kPa的環境中，使實施例i中所用之沖壓 模100載置於樹脂層RL上，以2 X 105Pa的壓力沖壓〇.5秒 之後，將壓力解除，然後，藉由通過沖壓模丨〇 〇以紫外線 施以照射，使樹脂層RL完全地固化，作成透明中間層TL。 紫外線照射設備係使用吳希歐電氣（股）的高壓水銀燈 (4kW)對基板SB的全面施以照射。此時的紫外線照射量， 係以和上述部分固化時的照射量80mJ/cm2之合計s1J/cm2 的方式作设定。此透明中間層T L，經確認在全面上沒有氣 泡的混入。 然後’將沖壓模1 00自透明中間層TL剝離。在剝離之沖 壓模1 0 0上未附著有紫外線固化型樹脂，沖壓模丨〇 〇的脫模

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一 ·_案號 91109094 五、發明說明（46) 性良好得以確認。 然後’在透明中間層TL上，以與實施例1同樣的做法， 形成第2資訊記錄層I l-2，作成評價用試料。對此評價用 试料的第2資訊記錄層I l-2以掃描式電子顯微鏡觀察之 :’得以確認無轉寫缺陷存在，且凹槽圖案正確地轉寫 又’就透明中間層的半徑方向之厚度變動，以奇恩斯 (股）製造之雷射定焦移位計LT801 0作測定。結果示如表 3。又，此試料之資訊記錄區域為半徑23〜58mm的範圍。 盘J (實施例4)

於表3中’△ T極小，為2 · 1 v m。由此結果可清楚得知於 沖壓模擠壓之前使樹脂層部分固化之效果。 又，於此試料中，在透明中間層TL中未有空間存在。然 而’在除了在樹脂形成時未將基板SB外周緣所滲出的樹脂 刮除之外其餘皆與實施例1同樣的做法製作成之比較試料 中，於資訊記錄區域外周緣f付近，透明中間層T l中有空間 存在著。 比較例2 在實施例1所用之基板SB上，以與實施例1同樣的做法，

C:\ 總檔\91\91109094\91109094(替換）-l.ptc 第51頁 594720 _室盤91109094 玍 弓 日 修正_ 五、發明說明（47) 形成第1資訊記錄層IL-1。 然後，將基板SB載置於旋轉台上，一邊以6〇rpm旋轉， 一邊將實施例4中使用之紫外線固化型樹脂滴下到離基板 SB的中心20mm的位置約繞1圈。然後，提高旋轉速度，藉 由使紅轉速度保持於2 0 〇 〇 r p m約3秒，使紫外線固化型樹脂 延展後’停止旋轉。於確認在基板的全面形成著樹脂層礼 之後，以與實施例4同樣的條件，進行藉由沖壓模丨〇 〇對樹 脂層RL的擠壓並施行紫外線照射（照射量丨J/cm2)，形成透 明中間層TL。 然後’以與實施例4同樣的做法，在透明中間層TL上形 成第2資訊記錄層IL-2，製作成評價用試料，對此評價用 試料進行與實施例4同樣的測定。結果示如表4。 表4 (比較例2) 半徑方向位置(mni) 23 25 30 35 40 45 50 55 58 τΜ furrA △T (1 ιτη^ 透明中間層厚度(//m): 13.4 15.8 18.6 20.3 21.4 22.2 22.8 23.3 23.5 18.5 10.1 光碟試料的機械特性評僧 在實施例4及比較例2所分別製作之評價用試料的第2資 訊記錄層IL-2上，將紫外線固化型樹脂（於25 °C之黏度為 5, OOOcP)經由旋轉塗佈法（於2〇〇〇rpin下施行10秒的甩出塗 佈）塗佈’經由紫外線照射而固化，形成保護層PL，作成 光碟試料。於旋轉塗佈之時，與於形成透明中間層TL時同

594720 修正

號 911〇遍/1 、發明說明（48) 樣塞機構300，期使保護層的厚度均-化。 ' it 、"碟s式料的機械特 以阿茲 測定機DCM0HC作測《。結果示如表5…表械精度 R形S^ew係於半徑方向之變形，T_skew係於圓周方向之變 表5 實施例4; 比較例2_ 面變形量反曲量 R-Skew T-Skew ^ i± (JS) (度) 242 58.4 308 95.3 0.32 0.44 0.25 0.34 由表5可知，藉由在透明中間層形成之時設置部 步驟’可提高光碟的機械特性。 又’使用經由過氨鏈烯基乙烯基醚（旭硝子（股）1 塞脫普）之射出成形所製造的沖壓模1〇〇，來代替上\ = 模，除此之外其餘與上述各實施例同樣的做法進行每驗二 下，得到與上述各實施例同等的結果。 κ铖之 第2實施形態 本實施形態所適用之光資訊媒體，具有至少丨層之資訊 記錄層。 ' 於本說明書中之資訊記錄層中，至少含有再生專用層或 記錄層。所謂之再生專用層，係存在有用以保持記錄資訊 之孔槽4的凹凸圖案，並可將再生光束的至少一部份反射 反射的層；所謂記錄層，係含有相變化盤材料及有機色素

C :\總檔\91\91109094\91109094(替換）-1. ptc 594720 曰 i號 91inQDQ4 五、發明說明（49) =錄=， 標記的覆寫與 記 4 了預先格式化資訊的保持及尋執词服 (tracking servo)等，設置有凹梯$丨搞 又，太邙又置,凹槽及孔槽等的凹凸圖案。 個資m纪舒#曰甘r:t多層媒體’係存在有：具有複數 資之媒體。於相鄰的 之中的多声婵f:I J; 據本貫施形態所製造的媒體 的基板SB上，依序有第！中間層 之糸在碟片狀 IL-1、第2中間層TL_2、第 丄貝讯記錄層 各層。又，圖19所示之媒體貝=== 呆護層PL之 序有第！資訊記錄層^、中二在TL碟片第狀2的穴基板SB上，依 及保護層PL。圖20，係顯干於/ 第^貝矾記錄層1L_2 20所示之媒體，係在層媒體的構成例。圖 tL、資訊記錄層IL及保基板別上，依序有中間層 在此等各媒體之資訊兮 成有由凹槽及孔槽所構：：曰、卜1、IL-2中’分別形 體，係自圖18所；又，圖㈠所示之媒 此，係在基板SB的上面 ：第1中間層几-1者。因 凸圖案。 形成有由凹槽及孔槽所構成之凹 以下，就此等媒體之各 基板SB、棍键細 各^刀的構成加以說明。 C: \總檔 \ 91 \91109094 \91109094(替換）· 1.

Ptc 第54頁 594720 案號 9110Qf)Q4 五、發明說明（50) 此等媒體中，記錄/再生並非自基板SB側而係自保護層 PL側入射。因而，基板SB對於記錄/再生光束不須為透 明。基板SB的厚度，通常為〇· 2〜丨.8min，而以作成〇· 4〜 h 2mm為佳。圖1 9之基板sb，與通常的光資訊媒體的基板 同樣地由樹脂構成即可。此情況下，第1資訊記錄層jLd 所必須的基板SB表面之凹凸圖案，可經由射出成形來形 成。=一方面，圖18及圖20之基板SB，係由玻璃、樹脂或 金屬4所構成之高剛性的平滑之基板，在其上，設置有經 由2P法（光聚合法）形成上述凹凸圖案之中間層几-丨或几。 保濩層PL，為了可讓記錄/再生光束透過，係具有透光 性。於保護層PL，可使用與基板SB同等厚度的樹脂板或玻 璃板惟，為了因應記錄/再生光束照射光學系統之高NA 化之高記錄密度，以使保護層PL薄型化為佳。此情況下之 度’以在3◦〜300 _的範圍内選擇為佳。保 護層PL右太薄，附著在保護層孔表面之塵 上的影響會變大。另一方面，保護> /2^5子 於使保護f PL薄型化之時’例如，可將由透光 構成的片# H纟各種接著劑或黏合劑貼合作為保護#曰 或以透光性樹脂塗佈作成保護層p L。 ’' 9 又，分別顯示於圖18〜圖20之構造的媒體， =錄匕生光束通過基板SB再入射到資訊記錄層IL成為 資訊記錄層 C:\ 總檔\91\91109094\91109094(替換）-l.ptc 第55頁 594720

於資汛記錄層IL、IL-l、il-2中，形成有孔槽或凹槽等 之凹凸圖案。此凹凸圖案，係經由將形成於中間層TL、 一1、TL-2或基板SB表面之凹凸圖案轉寫而形成。資訊記 錄層，係至少含有再生專用層或記錄層。 —再生專用層，由於必須將再生光束的一部份反射（資訊 ，錄層IL_2)或將大部分反射（資訊記錄層IL、IL-1)，故 須用由金屬膜（含合金）或介電體多層膜所構成之反射層。 再生專用媒體之資訊記錄層，通常係由反射層所單獨構 成0 曰己錄層’可為用相變化型記錄材料之可覆寫型者或㈣ 者、用光磁性記錄材料之可覆寫型者、用以有機色素作為 屺I彔材料之Worm者等之中的任一者，亦可使用其他的記錄 =料。惟，就與其他的記錄材料相比，以相變化型記錄材 料之透光性較高，因此，記錄層的積層數可作成較多層， 故為較佳者。於記錄媒體中，資訊記錄層可由記錄層所單 獨構成，必要時，亦可設置反射層及介電體層等之其他 層。 ^例如於相變化型記錄媒體中之資訊記錄層，通常係作成 屺錄層的兩側設置有介電體的構造。又，自記錄/再生光 束入射側來看之存在於最课處之資訊記錄層]^“，通常係 2乍成圖中之自下側起依序為反射層、介電體層、相變化型 。己錄層、介電體層之積層構造。於資訊記錄層IL 2中，由 於必須肖b使s己錄/再生光束透過，故通常不設置反射層， 准必要日才’亦可設置對於記錄/再生光束為半透明的反射

594720 —--$S__9H〇9〇94 年月日 絛正 五、發明說明（52) "" " " "—~ 層’作成與I L- 1同樣的構造。 中間層 中fj層TL、TL-1、Tl-2，係由紫外線固化型樹脂等之活 性能量線固化型樹脂的固化物、且對於記錄/再生光束之 透過率高的材料所構成。惟，於圖1 8及圖2 0中，存在於基 板別與資訊記錄層IL-1、IL-2間之中間層TL、TL-1，並不 須為對記錄/再生光束為透明者。 存在於相鄰2層的資訊記錄層間之中間層的厚度並無特 別限定’於多層媒體的情況下，只要以使相鄭之資訊記錄 層間的串音（cross-talk)收斂於容許範圍内之方式設定即 可’以5〜50/ζιη為佳而以1〇〜5〇//111更佳。另一方面，存在 於基板與資訊記錄層間的中間層的厚度，通常以卜丨〇从m 為佳。 其次’就於製造如圖2 〇所示之媒體之時於基板“上形成 中間，TL之方法加以說明。又，以下，係以使用紫外線固 化型樹脂作為放射線固化型樹脂的情況所作之說明，除此 之外’亦可使用藉由電子線等其他的放射線進行固化的樹 首先’在有凹槽及孔槽的母模圖案之凹凸圖案的沖壓模 與基板Sj之間’作成包夾著含有放射線固化型樹脂之樹脂 層的狀怨二此時’藉由自外部對沖壓模施加力量來擠壓樹 月曰層丄或藉由沖壓模本身的重力來擠壓樹脂層。在此狀態 下，藉由通過沖壓模以紫外線照射使上述樹脂固化，作成 中間層TL。然後，使沖壓模自中間層TL剝離。其後，形成

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594720 案號 91109094 曰 五、發明說明（53) 資Λ 3己錄層IL及保護層p l，得到圖2 0所示之構造的媒體。 為了作成在沖壓模與基板SB間包夾著樹脂層之狀態，可 用下述2種方法中之任一者。第！方法為，在基板邡上經由 旋轉塗佈法形成樹脂層後，將沖壓模載置於樹脂層上施以 擠壓。第2方法為，將樹脂供給到基板SB的内周部，藉由 在其上載置著沖壓模的狀態下使基板別與沖一 轉進行旋轉㈣，使㈣在純SB與沖壓;=展體地& 形態中’沖壓模之至少與樹脂層接觸的表面，係 由％狀聚烯烴或聚苯乙烯系樹脂所構成，依於上 由，以由非晶質環狀聚烯烴所構成為佳。所用之 口 要是對樹脂層固化所用之紫外線的$ π曰八 紫外線透過性優異之非晶質環者即可。作為烯(—e)系化合物為開始物“ ： 而會熱性。 此寺具有優異的 具體而言，以具有由下式（η 之非晶質環狀聚烯烴為佳。 之重複的構造單位 【化1】 -ch2> 一 ch5 r2 (1) 於上式（1)中 q為U〜4的餐叙* 子、鹵素原子、曱基、乙基、丙美2，分別表示氫原 羧基、氰基或吡啶基。 土 丁基、乙叉基、曱氧 C:\ 總檔\91\91109094\91109094(替換）-l.ptc 第58頁 594720

又，R!與匕亦 可互相結合形

Ri與Rz可為相同，亦可相異。 成環。 本實施形態中所用之非晶質環狀聚烯烴， (1)所表示之反覆構造單位之中的同一單雖以八由上式 聚合物為佳，，，由Rl 個以上d 類的重複構造單位所構成之共聚物亦可。又，、/複數種 構造單位之外並含有其他的構造單位（例如乙n二=㊁ 物亦可。本實施形態中所用之非晶質環狀聚❹，以&量 平均分子量為5千〜10萬為佳’尤以i萬〜4萬為特佳。 又，式（1)中之鹵素原子、酯基、腈基、咣σ定基， 的說明中係稱為極性基。 土’在 此等非晶質環狀聚烯烴，係使用下述中之單體，以公知 的開環聚合方法進行開環聚合，將所得之開環聚合=二由° 通常的加氫法進行加氫所製造之飽和聚合物。七 J 彳乍為所迷之 單體為例如：降冰片烯及其烷基及/或次烷基 (alkylidene)取代物，例如5-曱基-2 -降冰片稀、5 6一二 曱基-2 -降冰片烯、5-乙基-2-降冰片稀、5 - 丁基一 2_降冰 片細、5 -次乙基-2_降冰片稀等，二壤戊二稀、2 3—-氫 二環戊二烯、此等之曱基、乙基、丙基、丁基等之炫基取 代物，及鹵素等之極性基取代物：二甲橋八氫萘、其炫基 及/次烷取代物，及鹵素等之極性基取代物，例如，6 _曱 基 -1，4:5, 8-二曱橋-1，4, 4a，5, 6, 7, 8, 8a-八氫萘、6一乙基 -1，4:5, 8 -二曱橋-1，4, 4a， 5, 6, 7, 8, 8a-八氫萘、6 一乙叉 基 -1，4:5, 8 - 二曱橋-1，4, 4a，5, 6, 7, 8, 8a-八氫萘、6一氯

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案號 91109094 五、發明說明（55) 6-氰基 6 -咄啶基 甲氧羧 -1，4:5,8-二曱橋-1，4,43,5,6,7,8,88_八 -l,4:5,8-.f^-l,4,4a,5,6,7,8>8a_A|LJ —1，4 : 5, 8-二甲橋一 1，4, 4a，5, 6, 7 8 β 、 基—二甲橋—7 氫” 二烯的3〜4量體，例如，4, 9, 5, 8〜八氫萘等；環戊 8a，9, 9a-八氫-1H-苯并許、4, 11 :5 7 广疒公4, 4a，5, 8, 4a，5, 5a，6, 9, 9a，10, l〇a，11，lia〜^ ~ 三甲橋一3a，4, 又有關此等環狀聚烯烴，曾揭示於—氣1 裱五蔥等。 報、特開昭60-26024號公報等中。；、開平3一22334 1號公 於使用非晶質環狀聚烯烴之情汉，7， 5-8 1 66 9號公報中所揭示般，對非B ?r°在特開平 I缩聚物混合亦可。 非…狀聚稀烴以烧基 本實施形態中，可使用市售之北日肪w 市售之非晶質環狀聚烯烴，可列舉：η 3烯烴。作為 歐諾亞（皆為日本杰翁（股）製）、阿·一“、、ε人尼克斯及杰 卜阿東股）製）等。阿東及化學（股）製 烯系單體進行開環聚合’再進行加氫係、以降冰片 可疋ΤΓ刀口虱所成者。 乙=.四f十二稀共聚物KC2H4V(Ci2Hi6)n}。此等之中，” =杰歐尼克斯、杰歐諾亞及阿貝魯為佳， 斯、杰歐諾亞更佳，尤以杰歐尼克斯為特佳 ^斯^e_ = R?eonex職為佳，作為杰：諾 亞，以Zeonor 1 060R 及 Zeonor 142〇R為佳。Ze〇n 及Zeonex 280R具有以上述式（1)表示之反覆的構造單位。 樹脂沖壓模，係經由射出成形法製造。於射出成形法

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中’使形成在由鎳等所構成之金屬沖壓模上之圖 樹脂上，以製作樹脂沖壓模。環狀聚烯烴，尤复^ 1 杰歐尼克斯的射出成形之時，以不超過所用之樹 J ，之範圍内，儘可能將樹脂熔融溫度（缸溫）設定於較高了 藉此，可容易地將微細的圖案正確地自金屬模具（金屬1 壓模）轉寫到樹脂上。具體而言，以將樹脂熔融溫度設定 為3+20 \以上為佳，尤以35(TC以上更佳。$，樹脂炼融溫 度若過高，則會促進樹脂的分解，非為良好，又，由於 生之分解物之附著於金屬沖壓模的表面，會使樹脂沖壓模 的表面性狀變差’故非為良好。因此之故，樹脂熔融溫度 以設定為400 °C以下為佳，尤其是3 80 °c以下更佳。 又 沖壓模的形狀及尺寸，並無特別限定，通常，係作成與 欲轉寫圖案之樹脂層大致相同的形狀，其外徑與内徑，亦 分別與樹脂層的外徑與内徑大致相同即可。惟，若將沖壓 模的外徑設定為較基板SB的外徑稍大，則沖壓模自中間声 的剝離可較為容易。又，沖壓模的厚度，通常以〇· 3〜3mm 的範圍為佳。沖壓模若太薄，則沖壓模的成形會有困難， 故難以在沖壓模的全面上形成均一的凹凸圖案。反之 '，沖 壓模若太厚’則沖壓模的剛性會變成太高。由於欲製造完 全沒有反曲等之變形的沖壓模是困難的，故沖壓模中存在 有變形的情形。輕度的變形，於將沖壓模擠壓之時可矯 正’但沖壓模的剛性若高，則不易矯正。因此之故，沖壓 板若過厚’則會將沖壓模的變形原原本本地轉寫到中間層 上’致使中間層的厚度不均加大。 胃

C: \總檔\91\91109094\91109094(替換）-1.ptc 第61頁 五、發明說明（57) 又’在藉由在基板SB與沖壓模之門々十* 使兩者旋轉使樹脂延展的方法中，狀態下 以將沖堡模作成較薄為佳，具體而ί ==此功用， 作成u〜u㈣為佳，尤以;、3體=，以將沖壓模的厚度 太者妗為丨^ 尤以0· 3〜1 · 4mm更佳。 本男知例，於須將微細而正確 至中間層的情況特別有&。 凸圖案自沖壓模轉寫 距，亦即凹槽的排列間距心描二吕’凹凸圖案的排列間 將:等微別有效，吏用本實施形 的排列間距若太狹：圖；二也=中間層。惟，圖案 i "以上的凹凸圖案之形成來適用本實施形態為 Μ 孔7 Γ用以保持資訊的再生專用媒體中，孔槽列之 媒體中，軌道間距愈於凹槽記錄方式的光記錄 於陸地、凹槽記錄；=列：距係為相同。另-方面’ 間距的丨/2倍。例如式二先媒體中’軌道間距為排列 間距及凹槽排列間距皆於二^^ 式之DVD-RAM中，軌道門,於陸地、凹槽記錄方 列間距則為h 22 _。為較狹窄的G. 61 而凹槽排 士貝由特疋的樹脂來構成沖壓模為特徵，藉此 LH:: ί ί果。因而’有關用沖壓模來形成中間層時 、八、；、 條件，並無特別限定。亦即，不管上述順 594720

序及條件為何，只要是使用本實施形態所限定之沖壓模， 皆較在同樣的條件下使用習知的沖壓模之情況，可得到優 異的效果。 (實施例） 將厚度0· 3mm，外徑1 50mm的鎳沖壓模組裝到模具上，經 由射出成形連續成形出厚度〇 · 6mm、外徑1 2 0mm的樹脂沖壓 模。形成於樹脂沖壓模上的凹凸圖案，為寬〇· 1 6 # m、排 列間距0· 32 、深25nm之凹槽圖案。使用之樹脂如下述 表6所不。射出成形時的樹脂熔融溫度及模具溫度，於

Zeonex E28R中，分別定為36〇°c及180°C，於其他的樹脂 中，亦以使樹脂沖壓模的圖案偏移及變形成為最小的方 式，因應個別的樹脂作最適化。 於藉由連續成形製得之多數個樹脂沖壓模之中取出i 〇 件，經由目視檢查以查察發生圖案偏移及裂痕之片數。 又’藉由小野測器（股）的機械精度測定器（LM—丨2 〇 〇 )測定 樹脂沖壓模的面接觸量。其等結果如表6所示。 然後’於厚度1 · 1 mm的平滑的聚碳酸酯基板與樹脂沖壓 模之間，包夾著紫外線固化型樹脂，經由旋轉塗佈使樹脂 延展之後，藉由通過樹脂沖壓模以紫外線照射使樹脂固 化，形成中間層。然後，將樹脂沖壓模自中間層剝離。在 此一連串的操作後，就有否附著紫外線固化樹脂及樹脂沖 壓模的變形情形進行查察。此測定，係就表6所示之各樹 脂沖壓模分別測定1 0片。附著有樹脂及發生變形之樹脂沖 壓模的片數示如表6。

C:\總檔\91 \91109094\91109094(替換M .ptc 第63頁 594720 ___案號 91109094 _年月日_ 五、發明說明（59) 表6 樹脂 沖Κ模 No. 構成 材料 成形性評僙 轉寫性評僎 圖案偏移 成形時 之裂痕 面變形量 (m m) 剝離後之 樹脂附著 剝離後之 變形 1 Zeonex £28H 0/10 0/10 60 0/10 0/10 2 阿貝魯 0/10 0/10 90 0/10 0/10 3 聚苯乙烯 0/10 5/10 100 6/10 裂痕 4 (比較） 聚甲基戊烯： 10/10 6/10 150 0/10 0/10 5(比較） 聚丙烯 10/10 0/10 240 0/10 0/10 6《比較） 聚碳酸酯 0/10 0/10 50 10/】0 破壞 7(比_) PMMA 0/10 3/10 90 10/10 破壞 由表6可清楚得知本實施形態的效果。在由非晶質聚烯 烴系樹脂所構成之樹脂沖壓模Ν〇· 1、No· 2中，在成形性與 轉寫性方面皆可得到極為優異的結果。相對於此，由結^ 性的線狀烯烴樹脂之聚曱基戊烯所構成的沖壓模N〇. 4，= 於圖案偏移，且面變形增大，故不適於用以在中間層形成 微細的圖案，是可了解的。面變形若大，則無法形成厚度 均一的中間層，故在形成於中間層上之資訊記錄層會產= 反曲及變形，致使聚焦伺服（f〇cus serv〇)及尋執词"服不 安定。又，此情況下之面變形量的容許值為1〇〇/^m以下。 又，在由聚苯乙烯所構成之樹脂沖壓模―· 3中，雖 中間層剝離開來，但有裂痕產生。另一方面，在由聚舻 酯樹脂所構成之樹脂沖壓模Ν〇· 6及由pMMA(聚甲基丙稀 甲酯）所構成之樹脂沖壓模Ν〇· 7中，由於對紫外線固化^ 樹脂之密接性高，故於自中間層剝離之時，會使樹脂沖壓

594720 案號 91109094 曰 修正 五、發明說明（60) 模及聚碳酸酯基板破壞《 元件編號之說明 SB 基板 PL 保護層 RL 樹脂層 透明中間層 資訊記錄層 沖壓模 旋轉台 突起 閉塞機構 圓板部 支撐軸 凸部 喷嘴 塗佈液 TL，TL-1，TL-2 IL-l， IL-2 100 200 201 300 301 302 303 400 500

C: \ 總檔\91\91109094\91109094(替換 M.ptc 第65頁 594720 ----案號 91109094 _年月日_修正____ 圖式簡單說明 圖1為顯示依據本發明之第1實施形態所製造之光資訊媒 體的構成例之部分截面圖。 圖2為用以說明第1實施形態的第1態樣之塗佈步驟的一 部份之截面圖。 圖3為用以說明第1實施形態的第丨態樣之塗佈步驟的一 部份之截面圖。 圖4為用以說明第1實施形態的第1態樣之塗佈步驊的一 部份之截面圖。 圖5為用以說明第i實施形態的第1態樣之塗佈步驟的一 部份之截面圖。 圖6為用以說明第i實施形態的第1態樣之塗佈步驟的一 部份之截面圖。 圖7為用以說明第1實施形態的第1態樣之塗佈步驟的一 部份之戴面圖。 圖8為用以說明第1實施形態的第1態樣之塗佈步驟的一 部份之截面圖。 圖9為用以說明固化步驟之截面圖。 圖1 0為用以說明剝離步驟之截面圖。 圖11為用以說明積層步驟之截面圖。 閉 圖12(A)〜（D)為顯示第1實施形態的第1態樣中所用之才 塞機構的構成例之截面圖。 ^ 圖1 3為用以說明第1實施形態的第2態樣之塗佈步驟的 部份之戴面圖。 圖1 4為用以說明第1實施形態的第2態樣之塗佈步鄉的

C:\總檔\91\911〇9〇94\91109094(替換)-l.ptc 第 66 頁 594720 —__案號 91109094 年月日 圖式簡單說明 j1 多正 部份之截面圖。 圖1 5為用以說明第1實施形態的第2態樣之塗#少 部份之截面圖。 圖1 6為在基板上形成之微細的圖案之代替圖式^ 其係顯示形成於透明中間層的表面之凹槽圖案之杯 子顯微鏡照相。 中 媒 媒 媒 圖1 7為顯示碟片的沿半徑方向位置、與於該仪ί 間層的厚度之關係的曲線圖。 ，， 圖1 8為顯示依據本發明之第2實施形態所製造么光 體的構成例之部分載面圖。 圖1 9為顯示依據本發明之第2實 體的構成例之部分截面圖。貝 圖2 0為顯示依據本發明之第2實施形態所製造之 體的構成例之部分截面圖。

第67頁

Claims (1)

1. 594720

   594720 _ 案號 91109094 年月日 修正 _ 六、申請專利範圍 3 ·如申請專利範圍第1項之光資訊媒體之製造方法，其 係於使上述樹脂層與沖壓模接觸之前，設置有藉由上述活 性能量線之照射使上述樹脂層部分固化之步驟。 4 ·如申請專利範圍第2項之光資訊媒體之製造方法，其 係於使上述樹脂層與沖壓模接觸之前，設置有藉由上述活 性能量線之照射使上述樹脂層部分固化之步驟。 ^ 5〕如申請專利範圍第3項之光資訊媒體之製造方法，其 係藉由使基板旋轉，使含有上述含有活性能量線固化型樹 月曰之塗佈液延展，形成上述樹脂層之後，藉由於一邊使基 板的旋轉速度降低，一邊以上述活性能量線照射使上述樹 脂層部分地固化。 ^ 6三如申請專利範圍第4項之光資訊媒體之製造方法，其 係藉由使基板旋轉，使含有上述含有活性能量線固化型樹 脂之塗佈液延展，形成上述樹脂層之後，藉由於一邊使基 板的旋轉速度降低，一邊以上述活性能量線照射使上述樹 脂層部分地固化。 ^ 7·如申請專利範圍第5項之光資訊媒體之製造方法，其 係於上述樹脂層形成時，藉由將自基板的外圍邊緣滲出之 上述塗佈液之至少一部份到除，然後，藉由上述活性能量 線之照射使上述樹脂層部分地固化。 ^8.如申請專利範圍第6項之光資訊媒體之製造方法，其 係於上述树月曰層形成時，藉由將自基板的外圍邊緣滲出之 上述塗佈液之至少一部份到&，然後，藉由上述活性能量 線之照射使上述樹脂層部分地固化。

   C:\ 總檔\91\91109094\91109094(替換）-1 .ptc 第69頁 594720 案號 91109094 六、申請專利範圍 9·如申請專利範圍第！至8項中任一項之光資訊 造方法，其係於減壓環境下使上述沖壓模與上料 面接觸者。 何細席衣 10·如申請專利範圍第1至8項中任一項之光資訊 製造方法，其係以使上述資訊記錄區域上之平、 5〜50#ra的方式來形成上述透明中間層者。 11 ·如申請專利範圍第9項之光資訊媒體之製造方法，其 係以使上述資訊記錄區域上之平均厚度成為5〜5 〇 的方 式來形成上述透明中間層者。 '

   1 2· —種光資訊媒體之製造方法，其係用以製造一種在 基板上隔著透明中間層設置有分別的資訊記錄區域之複數 個資訊記錄層的光資訊媒體之方法；其特徵在於，係設置 有： 、

   對形成有至少1層的資訊記錄層之基板的上述資訊記錄 層形成面，供給含有活性能量線固化型樹脂之塗佈液之 後，使上述可透過活性能量線且在表面上有凹凸圖案之沖 壓模與上述塗佈液接觸，然後，藉由使沖壓模與基板一起 旋轉使上述塗佈液延展而形成樹脂層，然後，藉由通過沖 壓模以上述活性能量線對樹脂層施以照射，形成轉寫有上 述凹凸圖案的透明中間層諸步驟；且 作為上述沖壓模，至少其形成有上述凹凸圖案之表面係 使用由聚烯烴系樹脂或氟樹脂所構成。 1 3 ·如申請專利範圍第丨2項之光資訊媒體之製造方法， 其中，上述沖壓模的厚度為〇· 3〜1 · 8mm。

   C:\ 總檔\9]\911〇9〇94\91109094(替換）-1.ptc

   594720

   甘1申請專利範圍第12項之光資訊媒體之製造方法， 〃係於減壓環境下使上述沖壓模與上述塗佈液接觸。 1 5 ·如申巧專利範圍第〗3項之光資訊媒體之製造方法， 〃糸於減壓％境下使上述沖壓模與上述塗佈液接觸。 16·如申請專利範圍第1至8及12至15項中任一項之 汛二體之製造方法，其中，上述沖壓模係用後即棄者。 •如申凊專利範圍第9項之光資訊媒體之製造方法，其 中’上述沖壓模係用後即棄者。

   1^ ·如申凊專利範圍第丨〇項之光資訊媒體之製造方法， 其中，上述沖壓模係用後即棄者。 ·如申凊專利範圍第丨丨項之光資訊媒體之製造方法， 〃中’上述沖壓模係用後即棄者。 2〇. —種光資訊媒體之製造方法，所述光資訊媒體係在 土反上至J/有1層的資訊記錄層，在資訊記錄層與基板之 間，及/或，在相鄰2層的資訊記錄層間，有含有放射線固 化型樹脂之中間層者；其特徵在於，係設置有：

   在表面之有凹凸圖案之沖壓模與基板之間，作成包夾著 3有放射線固化型樹脂之樹脂層之狀態，然後，以放射線 對上述樹脂層施以照射，然後，藉由將沖壓模剝離，以形 成轉寫有上述凹凸圖案的透明中間層諸步驟；且 作為上述冲壓模，至少其形成有上述凹凸圖案之表面係 使用由環狀聚烯烴或聚苯乙烯系樹脂所構成者了 21·如申請專利範圍第2〇項之光資訊媒體之製造方法， 其中，作為上述沖壓模，至少其形成有上述凹凸圖案之表

   月 曰 修正 S 由1非曰曰曰質環狀聚稀煙所構成者。 法，請專利範圍第20或21項之光資訊媒體之製造方 23種上述凹凸圖案的排列間距為"心以下 基板上隔著裝置’其係用以製造-種在 個資訊記錄Ϊ = I間層5又置有分別的資訊記錄區域之複數 具有：’、θ的光資訊媒體之製造裝置；其特徵在於，係 樹脂形成部，Α/游#女s _ 的上述資訊印棘: 、 父1層的負訊記錄層之基板 型樹脂之樹脂層7形成面上’以形成含有活性能量線固化 沖壓樵技奋g仓 沖壓模為，在J 2使冲壓模與樹脂層表面接觸者，所述 過，且至少案’可讓上述活性能量線透 脂或氟樹脂所構成· 圖案之表面係由聚烯燐系扣十 照射部，為通過沖壓模，使 層者； 史⑴述活性能量線照射奚樹月曰 到離。卩，用以將沖屢模剝離 係以使資訊記錄區域上之透：：一分；i 厚度的差作成i 0 " m以下之方中間層的最大厚度與最小 24· —種光資訊媒體之製造^番形成透明中間層者。 心孔之碟片狀基板上，隔著透X ’其係用以製造在有中 記錄區域之複數個資訊記錄層的“間層設置有分別的資$· 其特徵在於，係且有·· 、光 > 訊媒體之製造装置’ 樹脂形成部，為在形成有至 1層的資訊記錄層之基板

   C: \總檔\91\91109094\91109094(替換）·1 .ptc 修正 —SS_JH〇909£ 六、申請專利範圍 的上述資訊記錄層形成面上，形 樹脂之樹脂層，上述 3有活性能量線固化型 p日皆A 上4树知層形成部具有 閉塞⑷，有圓板部及與圓板部一體化之 ^ 為可將上述中央孔閉塞者， 支撐軸，係形成 塗佈液供給部，用以將含有旦 佈液供給至上述支律轴的外圍面篁線固化型樹脂之塗 且;·Γ，用以使上述基板與上述閉塞機構-起旋轉者； 沖逐模接觸部，為可使沖壓 述沖壓模為，在表面有凹凸圖宏对月曰層表面接觸者，所 夺朽月4〉、形成有上述凹凸圖案之上述表面係由聚烯烴 糸树脂或氟樹脂所構成者， ^ 層^射部，為通過沖壓模，使前述活性能量線照射至樹脂 剝離部，用以將沖壓模剝離者 可形成上述透明中間層者。…’且 5 · 士申印專利範圍第2 3項之光資訊媒體之製造裝置， 係構成為：藉由使基板旋轉，使上述含有活性能量線固 化a樹脂之塗佈液延展，形成上述樹脂層，於上述塗佈液 延展時使基板的旋轉速度降低以施行上述活性能量線之昭 身i 〇 ”、、 26·如申請專利範圍第24項之光資訊媒體之製造裝置， 其係構成為··藉由使基板旋轉，使上述含有活性能量線固 化型樹脂之塗佈液延展，形成上述樹脂層，於上述塗佈液

   第73頁 C:\總檔\91\91109094\91109094(替換）-1.卩1〇 594720 曰 案號 91109M4 修正 六、申請專利範圍 延展時使基板的旋轉速度降低以施彳 射。 丁上逃活性能量線之照 27·如申請專利範圍第25項之光資訊 其係具有··於上述塗佈液延展時，用以_ — I造裝置， 邊緣滲出之上述塗佈液的至少一部份字自上述基板外圍 28·如申請專利範圍第26項之光資y除之到除， 其係具有··於上述塗佈液延展時，用、_ 1造裝置， 邊緣滲出之上述塗佈液的至少一部 W自上述基板外圍 2 9·如申請專利範圍第23至28項中一承之到除機構者。 之製造裝置，其係構成為··可在減一項之光資訊媒體 與上述樹脂層表面接觸者。 、兄下使上述沖壓模 30· —種光資訊媒體之製造裝置， 二 基板上至少有1層的資^ g > ’L光貝汛媒體係在 化型樹脂之中間層者；其特徵在；且：含有放射線固 構成，於上述表面具有 ^工或聚苯乙稀系樹脂所 者， F〜间距马υ· 7众m以下的凹凸圖案 保持邛，係可保持著在、^ 著含有放射線固化型护丨^ ϋ t褀與上述基板之間包夾 放射線照射部柯月曰之樹脂層的狀態者， 沖壓模剝離部。 C:\ 總檔\91\91109094\91109094(替換卜】 ptc 第74頁