CN1236440C - 光信息媒体的制造方法及制造装置 - Google Patents

Abstract

具有通过在信息记录层上形成树脂层后，使可透过紫外线的模子与树脂层表面接触，接着通过模子向树脂层照射紫外线，接着剥离下模子，形成复制了凹凸图形的透明中间层的工序，形成凹凸图形的表面至少是用由聚烯烃系树脂或氟树脂构成的模子，在信息记录区上形成透明中间层，透明中间层的最大厚度和最小厚度之差在10μm以下。

Description

光信息媒体的制造方法及制造装置

技术领域

本发明是关于光信息媒体的制造方法。

背景技术

近年来，对于光盘的高密度化和大容量化要求越来越高。虽然当前出售的DVD(Digital Versatile Disk)单面的记录容量已有约4.7GB，相当于约7倍的小型光盘，但是仍广泛开发研制能记录更多信息的技术。

作为提高光盘记录容量的技术，有记录/再生光束的短波长化、记录/再生光束照射光学体系中的物镜高NA(开口数)化、信息记录层的多层化、多值记录等。这些中，利用信息记录层多层化形成的三元记录，与短波长化和高NA化相比，能以低成本获得极大的高容量化。形成3元记录的多层光信息媒体，例如已记载在特开平9-161329号公报、特开平9-63122号公报、特开平10-302315号公报中。

在多层光信息媒体中(以下也称多层媒体)，如上述各公报中开示的，一般是夹持透明树脂形成的中间层，使数个信息记录层形成层叠的结构。具体讲，是在基板上形成第1信息记录层，在其上形成表面具有凹凸图形的中间层、再在其上形成第2信息记录层，使上述凹凸图形复制在第2信息记录层上。作为上述凹凸图形，例如有保持数据、跟踪信息、地址信息等的预置凹坑(prepit)或沟槽(groove)(导向沟槽)。在这种凹凸图形的形成中，如上述各公报中记载的，一般是利用模子对树脂层进行挤压的2P(Photo polymerigation光聚合)法。

在多层媒体中，为了确保焦点伺服(focws servo)的稳定性，要求相邻接信息记录层之间的距离在媒体面内方向上的偏差要小。即，设在记录层之间的中间层，要求厚度必须均匀。当中间层的厚度不均性很大，在用模子挤压复制凹凸图形时，模子难以将中间层挤压均匀，结果很容易产生复制缺陷。中间层是在由紫外线固化型树脂等活性能射线固化型树脂或放射线固化型树脂构成时，中间层的厚度不均过大，使中间层固化时很容易产生固化不均，由此也很容易产生复制缺陷。

在形成中间层时，即使能由模子准确地向中间层复制凹凸图形，如果模子从中间层脱离时难以脱开，即起模性很差，一部分中间层会连同模子一起剥离下来，产生缺陷。因此，对于构成中间层的树脂，要求模子的起模性要好。例如，由紫外线固化型树脂构成中间层，而且在对紫外线不透明的信息记录层上形成中间层时，由于要求用于固化的紫外线通过模子照射到中间层上，所以模子必须由对紫外线呈透明的材质构成。

在通常的旋转涂敷法中，将树脂供给到固定在旋转台上的基板表面上，使基板旋转，依靠离心力使树脂扩展。为了在基板上形成安装驱动光盘时使用的中心孔，所以不能将树脂供给到旋转中心(基板中央处)，从旋转中心以等距离地进行环状供给。然而，树脂供给位置越远离旋转中心，盘外周部分的树脂层厚度比盘内周部分厚。即，中间层在半径方向上存在着厚度不均现象。在多层信息媒体中随着信息记录层的层叠数增多，中间层的数也增加，中间层的厚度不均形成累积。其结果，在盘的外周部，即使记录/再生光束垂直向基板入射，由信息记录层表面反射的记录/再生光束不能与基板形成垂直，其结果，向拾光器(pick-up)返回的光量减少。因此，在盘的内周部分和外周部分形成不同的再生输出。

在上述特开平9-161329号公报中提出一种方案，即，设置的工序是在基板和模子之间夹有液体树脂的状态下，使基板和模子一起旋转，使液体树脂在基板和模子之间扩展。在通常的旋转涂敷法中，是将树脂供给到盘状基板表面上后，通过旋转基板使树脂扩展。这时，在基板外周缘附近，由于表面张力引起树脂膨起，最终导致基板外周缘附近树脂层变厚。与其相反，在该公报记载的方法中，由于树脂是在基板和模子之间呈夹持状态下扩展，所以能抑制基板外周附近树脂层变厚。在同一公报中，对于模子的构成材料没有记载，对于模子的起模性也没有注意到。在同一公报中都记载了通过基板照射紫外线。

在上述特开平9-63122号公报中的实施例1中，在由保持数据的位相槽形成的第1再生专用信息面上，形成由硅和硅氮化物的混合物组成的半透明中间层，再在其上设置紫外线固化树脂层。该紫外线固化树脂层的表面，为由利用模子的复制形成的位相槽组成第2再生专用信息面。在该实施例中，使用了由塑料形成的透明模子，通过模子射入紫外线。在同一公报中，对于使存在于相邻信息面之间的树脂层的厚度均匀没有引起注意，关于模子的起模性也没有引起关注。

在上述特开平10-302315号公报的实施例中，将光固化性树脂滴在透明模子上，在其上载置基板后，以2000rpm的旋转速度旋转透明模子，使光固化性树脂扩展，接着，通过透明模子照射紫外线，使树脂固化。上述透明模子是通过在5mm厚的透明塑料圆板和形成凹凸图形的Ni制模子之间，填充光固化性树脂，用紫外线灯照射固化后，剥离Ni制模子而形成的。在该实施例中，透明模子表面由光固化性树脂构成，而且，延展对象的树脂是光固化性树脂，所以模子的起模性很差。在该公报中，透明模子表面的光固化性树脂和延展对象的光固化性树脂都是紫外线固化型树脂。紫外线固化型树脂，固化后仍存在残余聚合引发剂吸收紫外线。因此，在该公报中使用的透明模子对紫外线的透明性很低，很不理想。

然而，在只有1层信息记录层的光信息媒体中，利用注塑成型制作树脂基板时，一般是同时形成沟槽或予置凹坑等凹凸图形。但是，例如，在基准盘等要求高精度的光板基板中，在由玻璃等形成的高刚性、高精度的平滑基板表面上，形成具有上述凹凸图形的透明树脂层，在该透明树脂层上也可形成信息记录层。在该透明树脂层上，和多层光信息媒体中的中间层一样，通过用模子的挤压形成上述凹凸图形。

发明内容

本发明的目的是在制造通过由树脂形成的透明中间层使数个信息记录层层叠，在透明中间层的表面上存在保持信息的凹凸图形的多层光信息媒体时，使上述透明中间层形成均匀的厚度，同时使模子具有的、上述凹凸图形的母体图形准确地复制到透明中间层上。

对于光盘，为满足高密度化和大容量化的要求，需要提高线记录密度和磁道密度。为此，需要减少预置凹坑，使沟距更狭窄。由此，在模子冲上需要准确形成细微的预置凹坑和沟槽的母体图形。

本发明的目的是在含有放射固化型树脂的、表面上具有沟和预槽和预制凹坑等凹凸图形的中间层上形成信号记录层，制造这样的光信息媒体时，形成均匀厚度的中间层，同时使模子具有的上述凹凸图形的母体图形准确地复制到中间层上。

这些目的，根据下述(1)～(20)的本发明即可达到。

(1)一种光信息媒体的制造方法，是分别通过透明中间层将具有信息记录区的数个信息记录层设在基板上，制造光信息媒体的方法，

设有以下工序，即在至少形成1层的信息记录层的基板的上述信息记录层形成面上，形成含有紫外线固化型树脂的树脂层后，使上述紫外线是可通过的、而且表面具有凹凸图形的模子与树脂层表面接触，接着通过模子向树脂层照射上述紫外线，接着剥离模子，形成复制上述凹凸图形的透明中间层，

作为上述模子，至少形成上述凹凸图形的表面，是用聚烯烃系树脂或氟系树脂构成的、

形成透明中间层，使在信息记录区上的透明中间层的最大厚度和最小厚度的差小于10μm。

(2)上述(1)的光信息媒体制造方法，

上述基板为具有中心孔的盘状，

将上述基板载置在旋转台上，使用具有圆板部和在该圆板部中央形成一体的支撑轴的闭塞装置，形成堵塞中心孔的状态，

设有以下工序，即将含有紫外线固化型树脂的涂敷液供给到上述支撑轴的外周面以后，通过使上述基板与上述闭塞装置一起旋转，使上述涂敷液在上述信息记录层上延展，形成上述树脂层。

(3)上述(1)或(2)的光信息媒体的制造方法，设有在使模子与上述树脂层接触前，通过照射上述紫外线使上述树脂层不完全固化的工序。

(4)上述(3)的光信息媒体制造方法，通过旋转基板，使含有上述紫外线固化型树脂的涂敷液延展并形成上述树脂层后，一边降低基板的旋转速度一边照射上述紫外线，使上述树脂层不完全固化。

(5)上述(4)的光信息媒体制造方法，在上述树脂层形成时至少削去一部分从基板外周缘溢出的涂敷液，随后照射上述紫外线，使上述树脂层不完全固化。

(6)上述(1)～(5)中任意一项光信息媒体制造方法，在减压环境中使上述模子与上述树脂层表面接触。

(7)上述(1)～(6)中任意一项光信息媒体制造方法，在上述信息记录区上形成平均厚度为5～50μm的上述透明中间层。

(8)一种光信息媒体的制造方法，是在基板上，分别通过透明中间层设置具有信息记录区的数个信息记录层的光信息媒体制造方法，设有以下工序，即向至少形成1层信息记录层的基板的上述信息记录形成面上供给含有紫外线固化型树脂的涂敷液后，上述紫外线是可通过的，而且使表面具有凹凸图形的模子与上述涂敷液接触，接着使模子与基板一起旋转，延展上述涂敷液形成树脂层，接着，通过模子向树脂层照射紫外线，形成复制了凹凸图形的透明中间层、

作为上述模子，形成上述凹凸图形的表面至少是用由聚烯烃系树脂或氟树脂构成的。

(9)上述(8)的光信息媒体制造方法，上述模子的厚度为0.3～1.8mm。

(10)上述(8)或(9)的光信息媒体制造方法，在减压环境中使上述模子与上述涂敷液接触。

(11)上述(1)～(10)中任意一项光信息媒体制造方法，上述模子用完后舍弃。

(12)一种光信息媒体的制造方法，是在基板上至少具有1层信息记录层，在信息记录层和基板之间，和/或相邻接2层的信息记录层之间，具有含有紫外线固化型树脂的中间层的光信息媒体制造方法。设有下述工序，

即，在表面具有凹凸图形的模子和基板之间，形成夹持含有紫外线固化型树脂的树脂层的状态，接着，向上述树脂层照射紫外线，接着剥离模子，形成复制上述凹凸图形的中间层，

作为上述模子，形成上述凹凸图形的表面是用由环状聚烯烃或聚苯乙烯系树脂构成的模子。

(13)上述(12)的光信息媒体制造方法，作为上述模子，形成上述凹凸图形的表面至少是用由非晶质环状聚烯烃构成的模子。

(14)上述(12)或(13)的光信息媒体制造方法，上述凹凸图形的配置间距为0.7μm以下。

(15)一种光信息媒体的制造装置，是制造在基板上分别通过透明中间层设置具有信息记录区的数个信息记录层的光信息媒体的制造装置、具有以下各部，

树脂形成部，在至少形成1层信息记录层的基板的上述信息记录层形成面上形成含有紫外线固化型树脂的树脂层；

模子接触部，使表面具有凹凸图形的、上述紫外线可透过的、而且至少形成上述凹凸图形的表面由聚烯烃系树脂或氟树脂构成的模子，与树脂层表面接触；

照射部，通过模子向树脂层照射上述紫外线；

剥离部，剥离掉模子；

在信息记录区上形成透明中间层的最大厚度和最小厚度之差在10μm以下。

(16)一种光信息媒体的制造装置，是在具有中心孔的盘状基板上，分别通过透明中间层设置具有信息记录区的数个信息记录层的制造光信息媒体的制造装置。

具有树脂层形成部，至少形成1层信息记录层的基板的上述信息记录层形成面上形成含有紫外线固化型树脂的树脂层，

上述树脂层形成部分具有闭塞装置、涂敷液供给部和旋转部，

上述闭塞装置具有圆板部和与该圆板部中央形成一体的支撑轴，可将上述中央孔形成闭塞；

上述涂敷液供给部是将含有紫外线固化型树脂的涂敷液供到上述支撑轴的外周面上；

上述旋转部使上述基板与上述闭塞装置部一起进行旋转。

进而具有模子接触部、照射部和剥离部，

上述模子接触部，是将表面具有凹凸图形的、上述紫外线可透过的、至少形成凹凸图形的上述表面由聚烯烃系树脂或氟树脂构成的模子，与树脂层表面接触，

上述照射部通过模子向树脂层照射上述紫外线，

上述剥离部将模子剥离掉。

(17)上述(15)或(16)记载的光信息媒体制造装置，通过旋转基板，使含有上述紫外线固化型树脂的涂敷液延展，形成上述树脂层，从上述涂敷液延展时降低基板的旋转速度，形成可照射上述紫外线的结构。

(18)上述(17)的光信息媒体制造装置，还具有削除装置，在上述涂敷液延展时，至少削除一部分从上述基板外围溢出的涂敷液。

(19)上述(15)～(18)中任意一项光信息媒体制造装置，其构成是在减压环境中可使上述模子与上述树脂层表面接触。

(20)一种光信息媒体的制造装置，是在基板上，制造至少具有1层信息记录层，在信息记录层和基板之间，和/或相邻接2层的信息记录层之间，具有含紫外线固化型树的中间层的该光信息媒体的制造装置，具有以下部分；

模子，表面由环状聚烯烃或聚苯乙烯系树脂构成，上述表面具有配置间距0.7μm以下的凹凸图形，

保持部，在上述模子和上述基板之间以夹持状态可保持含有紫外线固化型树脂的树脂层；

紫外线照射部；

模子剥离部。

本发明的第一个方面，在基板上通过夹持表面具有凹凸图形的透明中间层形成数个信息记录层，得到多层媒体。上述凹凸图形如前所述，是预置凹坑和沟槽，在透明中间层的凹凸图形形成面上，形成反射层(包括半透明层)和记录层等，构成信息记录层。

上述透明中间层是将含有紫外线固化型树脂的树脂层，用具有上述凹凸图形母体图形的模子进行挤压而形成的。

本发明第一个方面使用的模子，整体是由聚烯烃系树脂或氟树脂构成，或者形成上述母体图形的表面至少是由聚烯烃系树脂或氟树脂构成。由此，对由紫外线固化型树脂的固化物组成的透明中间层，起模性很好。

本发明第一个方面使用的模子是上述紫外线可透过的。由此，通过模子可照射紫外线。从而，存在于基板和透明中间层之间的信息记录层，对紫外线是不透明的情况下，通过模子照射紫外线，可使树脂层固化。若通过模子照射紫外线，树脂层固化从与模子接触区域开始。由此，模子可获得更好的起模性。

然而，聚烯烃系树脂和氟树脂由于紫外线吸收率很高，其透过率很低，相对于紫外线固化型树脂，无需多说，聚碳酸酯等其他树脂对于紫外线的透过率更高。因此，本发明中，通过模子向树脂层照射足够强度的紫外线，可获得充分固化的透明中间层。

利用注塑成型大量生产的树脂制模子，由于价格很便宜，所以用后可以舍弃。另一方面，利用其他方法和其他材质制造的模子，由于价格很高，所以必须反复使用，每次使用时，附着在表面上的树脂必须洗掉。与其相反，用后舍弃的模子，用后也就不必洗涤，所以显著提高了媒体的生产效率，并能显著降低媒体的生产成本。

本发明的第一个方面，包括以下说明的第1种形态和第2种形态；

第1种形态中，在由紫外线固化型树脂组成树脂层后，使模子与该树脂层表面接触，接着，通过模子向树脂层照射紫外线使其固化，形成透明中间层。

第1种形态中，在用模子挤压上述树脂层之前，最好是使树脂层不完全固化，接着，在由模子挤压的状态下，使树脂层几乎完全固化，形成透明中间层。在形成透明中间层时，设有不完全固化工序，通过进行2阶段固化，可实现以下效果。

设置不完全固化工序产生的第1个效果，是提高了媒体的机械特性。不完全固化的树脂层在固化工序可完全固化。即，分成2次固化。这种情况，同1次完全固化相比，树脂层的收缩量变小。由此，媒体能获得良好的机械特性。

以下说明设置不完全固化工序产生的第2个效果。未设置不完全固化工序时，树脂层由于具有流动性，在树脂层形成工序和模子挤压工序之间，树脂层往往呈水平均匀，树脂层上其面内会产生厚度分布。在模子与树脂层接触时，整个模子的面难以同时与树脂层接触。由此，模子首先与一部分树脂层接触。这时，当树脂层具有流动性时，由于树脂会流向模子最初接触的部分，所以在树脂层上，往往其面内会产生厚度分布。因此，未设置不完全固化工序时，很难稳定形成具有均匀规定厚度的透明中间层。这些问题，通过设置不完全固化工序即可解除。

以下说明设置不完全固化工序产生的第3个效果。模子挤压工序，为防止树脂层和压模之间混入气泡，最好在减压环境中进行。然而，当未设不完全固化工序时，树脂层中所含的挥发成分在减压环境中很容易挥发。为此，在树脂层和压模之间很容易混入上述挥发成分构成的气泡。若设置了不完全固化工序，此问题即可消除，由于可形成更高的减压度，所以几乎完全可以防止由挥发成分以外的气体引起的气泡混入。

设置不完全固化工序，利用旋转涂敷形成树脂层时，一边旋转基板，一边在其表面上延展涂敷液并形成树脂层后，最好一边降低基板的旋转速度。一边照射紫外线，使上述树脂层不完全固化。旋转涂敷时，延展的树脂层外周很容易隆起，但通过慢慢降低基板的旋转速度并照射紫外线，即可抑制上述隆起。在不完全固化时，由于对树脂层起作用的离心力平滑地减少，所以树脂层上很难产生厚度和物性不均。

在一边慢慢降低基板的旋转速度一边照射紫外线进行不完全树脂层固化时，在紫外线照射之前，最好至少削除一部分由基板外围溢出的涂敷液。这样，由基板外围溢出的涂敷液量在遍及整个圆周方向上会形成均匀化。由此，在树脂层完全固化形成透明中间层后，不必再进行削除。不进行削除时，由基板外围溢出的涂敷液，在旋转停止后，因表面张力而返回基板一侧，结果在树脂层外围附近形成环状凸部，在其内侧形成环状凹部。这种状态的树脂层上重叠模子使树脂层固化时，在上述环状凹部引起的空间会在透明中间层上形成。

第1种形态中，形成树脂层时，最好采用以下说明的闭塞装置。该闭塞装置具有圆板部分和与该圆板部分中央形成一体的支撑轴。在第1种形态中，将具有中心孔的盘状基板载置在旋转台上，由闭塞装置将基板中心孔形成堵塞状态，将含有紫外线固化型树脂的涂敷液供给到闭塞装置的支撑轴表面后，通过使基板和闭塞装置一起旋转，使涂敷液延展形成树脂层。

在通常的旋转涂敷法中，将树脂供给到固定在旋转台上的基板表面上，旋转基板利用离心力使树脂延展。基板上由于形成安装驱动光盘时可用的中心孔，所以不能将树脂供给到旋转中心(基板中央)，形成由旋转中心以等距离地进行环状供给。然而，树脂供给位置越远离旋转中心，盘外周部比盘内周部形成的越厚。即，透明中间层沿半径方向上的厚度不均变大。在多层信息媒体中，随着信息记录层的层叠数增多，透明中间层数也增加，所以透明中间层的厚度不均形成积累。结果是，在盘的外周部分，即使垂直基板入射记录/再生光束，由信息记录层表面反射的记录/再生光束也不会形成与基板垂直，结果向拾光器(pick-up)返回的光量减少。由此，在盘的内周部分和外周部分上形成不同的再生输出。

与其相反，利用上述闭塞装置，若将树脂供给到其中央附近，即旋转中心附近，可使透明中间层的外周部分的厚度增加减轻。

已知有，虽不是多层媒体，但盘基板的中心孔是由板状构件、圆板部、闭塞板、盖等闭塞装置堵塞住、将树脂供到该闭塞装置的中央附近、即旋转中心附近，进行旋转涂敷(特开平10-320850号公报、同10-249264号公报、同10-289489号公报、同11-195250号公报、同11-195251号公报)。

然而，上述各公报中记载的闭塞装置，存在以下说明的问题。

在上述特开平10-320850号公报、特开平10-249264号公报、特开平11-195250号公报中，没有记载在旋转涂敷后取出闭塞装置的板状构件乃至盖的方法，所以难以被工业利用。

上述特开平10-289489号公报中，记载了旋转涂敷后，将闭塞装置的圆板部通过冲孔或用电磁铁吸附取出后，再一边旋转盘基板一边使树脂层固化。然而，在通过冲孔和用电磁铁取出闭塞装置时，由于对闭塞装置加上了很大的加速度，所以树脂涂膜上很容易产生紊乱。

上述特开平11-195251号公报中记载了一种使支撑体与圆形状盖子的中央形成一体化结构的闭塞装置。该公报中还记载了通过设置该支撑体，使闭塞装置的拆装和位置吻合易于形成的事项。该支撑体是至少具有1个孔的中空筒状物，或者是数个棒状体。将树脂注入中空筒的内部或以数个棒状体包围的区域内后，盘基板和闭塞装置一起旋转，在盘基板上形成树脂层。若使用这种闭塞装置，闭塞装置很容易取出。同一公报中还记载了使闭塞装置脱离开盘基板后，使盘基板处于静止状态下，使树脂层固化。

同一公报中记载了树脂从设在闭塞装置的中空筒上的孔或相邻棒状体之间流出，进行旋转涂敷。然而，由支撑体的壁(孔以外区域)或棒状体堵住树脂流动。被堵住的树脂在无法预测的一定时内，会一下子流到盘基板上。由此，很容易产生涂膜不均。这种闭塞装置，与树脂接触面的形状很复杂，而且，与树脂接触面积很大，所以很难将闭塞装置洗干净。当闭塞装置表面上残留树脂时，涂膜很容易产生不均。在该公报的表1中，关于中空筒外径为4～16mm时，对涂膜厚度的变动作了研究，但从其结果可知，涂膜厚度不均取决于中空筒的外径，外径越大，厚度不均也越大。即，即使将树脂供到中空筒内部，认为涂敷开始位置与旋转中心不一致，中空筒的外周位置形成了涂敷开始的位置。考虑到树脂粘度比较高时，由于很难使中空筒外径小于4mm，所以使用该公报记载的方法，很难显著减小树脂涂膜厚度的不均。

对于这种以前的闭塞装置，如图2所示，本发明第一个方面中使用的闭塞装置300，由在圆板部分301上设有支撑轴302，所以媒体制造工序中的闭塞装置300很容易安装，特别是旋转涂敷后，闭塞装置300很容易取出。

上述特开平11-195251号公报中记载，由支撑体的壁或棒状体堵住树脂，如前所述涂膜很容易产生不均。与其相反，使用图2所示的闭塞装置，由于将涂敷液供到支撑轴的外围上进行旋转涂敷，所以涂膜很难产生不均。使用图2所示的闭塞装置，附着树脂的是支撑轴的外周面，与上述特开平11-195251号公报中记载的相比，闭塞装置很容易洗干净。在上述特开平11-195251号公报中，由于将涂敷液供到中空筒状的支撑体内部，为了确保粘度较高的涂敷液流动性，不能将支撑体的外径形成的很小，由此，涂敷开始位置离旋转中心较远。与其相反，使用图2所示闭塞装置，与同一公报相比，由于能显著减小支撑轴的外径，所以能显著减小涂膜厚度的不均。

以下对本发明第一个方面的第2种形态进行说明。第2种形态中，将含有紫外线固化型树脂的涂敷液供到基板上后，使模子与该涂敷液接触，接着，使模子与基板一起旋转，延展涂敷液后形成树脂层，接着通过模子向树脂层照射紫外线，形成透明中间层。第2种形态中，由于涂敷液是夹持在基板和冲压模之间的状态下延展，所以能形成厚度比较均匀的树脂层。

和本发明第一个方面的第2种形态一样，在上述特开平9-161329号公报和上述特开平10-302315号公报中公开了一种将树脂夹持在基板和模子之间的状态下进行延展的方法。然而，如前所述，在上述特开平9-161329号公报中，没有公开模子的构成材料，更没有关注模子的起模性。在同一公报中，通过基板照射紫外线，对于由透明材质构成模子没有记载。另一方面，在上述特开平10-302315号公报的实施例中透明模子表面是由光固化性树脂构成，而且，延展对象的树脂也是光固化性树脂，所以模子的起模性很差，模子的紫外线透过率很低。因此，使用上述特开平9-161329号公报和特开平10-302315号公报中分别记载的方法，不能获得和本发明第一方面中第2种形态相同的效果。

特开平1-285040号公报中记载了一种方法，即，将紫外线固化型树脂喷吐到模子的表面上，在其上压接上光盘用基板后，照射紫外线，接着将模子和光盘用基板进行剥离，在模子表面的图形复制到光盘表面上的方法。同一公报记载的发明，就模子由烯烃树脂构成这一点来说与本发明的第一个方面一样。然而，同一公报中没有记载多层媒体。同一公报中也没有着眼于复制图形的紫外线固化型树脂层厚度的均匀性。

在本发明的第二个方面中，形成在基板和信息记录层之间、和/或相邻2层的信息记录层之间设置的表面具有凹凸图形的中间层。上述凹凸图形是预置凹坑和沟槽，在中间层的凹凸图形的形成面上形成反射层(包括半透明层)和记录层等，成为信息记录层。

上述中间层是通过用具有上述凹凸图形母体图形的模子对含有紫外线固化型树脂进行挤压形成。

本发明第二个方面中使用的模子，整体由环状聚烯烃或聚苯乙烯系树脂构成，或者至少是形成上述母体图形的表面由环状聚烯烃或聚苯乙烯系树脂构成。由此，对于由紫外线固化型树脂的固化物形成的中间层，起模性良好，环状聚烯烃更好。

本发明第二个方面中使用的模子是可透过紫外线的。由此，可通过模子照射紫外线。由此，通过模子照射紫外线可使树脂层固化。因此基板是不透明的，在基板和中间层之间存在不透明的信息记录层时，并不妨碍树脂层固化。通过模子照射紫外线时，树脂层的固化是从与模子相接的区域开始。由此，模子的起模性更好。

而且，由于环状聚烯烃的紫外线吸收率很高，所以对于其透过率很低的紫外线固化型树脂，不用说，对于聚碳酸酯等其他树脂，对紫外线的透过率也很高。因此，本发明的第二个方面，通过模子向树脂层照射足够强度的紫外线，会得到充分固化的中间层。

利用注塑成型大量生产的树脂模子，由于价格很低，所以可用后舍弃。另一方面，用其他方法和其他材质制造的模子价格很高，虽然可反复使用，但每次使用时，必须清洗附着在表面上的树脂。与其相反，用后舍弃的模子，用后不必清洗，所以显著地提高了媒体的生产效率，并显著降低了媒体的生产成本。

然而，特开平1-285040号公报中记载了将紫外线固化型树脂喷吐到模子表面上，在其上压接光盘用基板后，照射紫外线，接着将模子和光盘用基板进行剥离，使模子表面的图形复制到光盘表面上的方法。同一公报中记载的发明，就模子由烯烃树脂构成这一点讲，与本发明的第二个方面一样。然而，在同一公报中没有记载，也没有暗示作为烯烃树脂而使用环状聚烯烃。在同一公报的实施例中，使用了结晶性线状烯烃树脂的聚甲基戊烯制作模子。在同一公报中并没有着眼于复制图形的紫外线固化型树脂层厚度的均匀性。同一公报中也没有记载多层媒体。

如前所述，为了满足光信息媒体高密度化和大容量化的要求，必须在模子上准确形成细微的母体图形。在利用注塑成型形成模子时，冷却时，由于树脂收缩，很容易产生起模性不均。即，作为由金属模子向树脂准确复制凹凸图形，冷却时，由于树脂收缩，图形产生偏移。这种图形偏移，即使偏移量相同，图形的配置间距越小，影响越大。

在上述特开平1-285040号公报的实施例中使用的聚甲基戊烯，由于是结晶性的线状烯烃树脂，所以注塑成型后冷却时，不同方向上收缩很大。由此，会产生很大的图形偏移。同一公报的实施例形成的沟槽间距为1.6μm宽，最近在制造窄磁道间距媒体时，使用聚甲基戊烯时，图形偏移超出了容许范围。由于聚甲基戊烯很脆弱，当形成像模子那样很薄的板状体时，存在易碎裂的问题。进而根据本发明者们的研究知道，使用聚甲基戊烯时，模子的变形(翘曲或扭曲)很容易变大。

烯烃树脂中聚乙烯和聚丙烯也具有结晶性，所以和聚甲基戊烯一样，存在图形偏移和易碎裂的问题。聚乙烯和聚丙烯由于没有适宜用注射模塑成型形成的细微图形的比较低的分子量级的品种，所以注塑成型时，需要显著提高树脂的熔融温度，结果，从金属模中取出模子时的温度也很高，所以模子很容易变形(翘曲或扭曲)。

与其相反，本发明第二个方面中使用的环状聚烯烃，通常形成非晶质，聚苯乙烯系树脂由于是非晶质，所以上述图形偏移很小，模子变形很小。特别是非晶质环状聚烯烃，模子的图形偏移和变形显著变小，又由于难以碎裂所以最为理想。

注塑成型时，为了准确地复制细微的图形，最好提高树脂熔融温度。环状聚烯烃由于具有环状结构，所以耐热性很高。由此，可提高注塑成型时的树脂熔融温度，所以能准确地复制细微的图形。而且，注塑成型时，即使将树脂熔融温度设定在高温，模子变形也很小。

进而，本发明者们发现，通过将环状聚烯烃注塑成型时的树脂熔融温度设定在比以前使用的温度更高的高温，可使图形偏移极小，而且，模子的变形量抑制在无任何问题的范围内。

本发明还包括：

一种光信息媒体的制造方法，是在基板上分别通过透明中间层设置具有信息记录区的数个信息记录层的光信息媒体制造方法，其特征是设有如下工序，即，向至少形成1层信息记录层的基板上的上述信息记录层形成面上，供给含有紫外线固化型树脂的涂敷液后，使可透过上述紫外线的、而且表面具有凹凸图形的模子与上述涂敷液接触，接着，使基板与模子一起旋转，延展上述涂敷液，形成树脂层，接着，通过模子向树脂层照射上述紫外线，形成复制了上述凹凸图形的透明中间层，

作为上述模子，形成上述凹凸图形的表面至少是用由聚烯烃系树脂或氟树脂构成，

在使模子与上述树脂层接触之前，设有通过照射上述紫外线使上述树脂层不完全固化；

上述透明中间层的最大厚度及最小厚度之差在10μ以下。

一种光信息媒体的制造装置，是制造在基板上分别通过透明中间层设置具有信息记录区的数个信息记录层的光信息媒体制造装置，其特征是具有如下部分，即：

树脂形成部分，在至少形成1层信息记录层的基板的上述信息记录层形成面上，形成含有紫外线固化型树脂的树脂层、

模子接触部分，使表面具有凹凸图形的，可透过上述紫外线，而且，形成凹凸图形的表面至少是用由聚烯烃系树脂或氟树脂构成的模子与树脂层表面接触，

照射部分，通过模子向树脂层照射上述紫外线，

剥离部分，剥离下模子，

在信息记录区上形成的透明中间层，最大厚度和最小厚度之差在10μm以下；

其构成是通过旋转基板，使含有上述紫外线固化型树脂的涂敷液延展，并形成上述树脂层，在涂敷液扩展时，降低基板的旋转速度，并能照射上述紫外线；

上述透明中间层的最大厚度及最小厚度之差在10μ以下。

一种光信息媒体的制造装置，是制造在基板上分别通过透明中间层设置具有信息记录区的数个信息记录层的光信息媒体制造装置，其特征是具有如下部分，即：

树脂形成部分，在至少形成1层信息记录层的基板的上述信息记录层形成面上，形成含有紫外线固化型树脂的树脂层、

模子接触部分，使表面具有凹凸图形的，可透过上述紫外线，而且，形成凹凸图形的表面至少是用由聚烯烃系树脂或氟树脂构成的模子与树脂层表面接触，

照射部分，通过模子向树脂层照射上述紫外线，

剥离部分，剥离下模子，

在信息记录区上形成的透明中间层，最大厚度和最小厚度之差在10μm以下；

其构成是通过旋转基板，使含有上述紫外线固化型树脂的涂敷液延展，并形成上述树脂层，在涂敷液扩展时，降低基板的旋转速度，并能照射上述紫外线；

上述透明中间层的最大厚度及最小厚度之差在10μ以下。

一种光信息媒体的制造装置，是在具有中心孔的盘状基板上，分别通过透明中间层制造设置具有信息记录区的数个信息记录层的光信息媒体的制造装置，其特征是，

具有树脂层形成部分，在至少形成1层信息记录层的基板上的上述信息记录层形成面上，形成含有紫外线固化型树脂的树脂层，

上述树脂层形成部分具有如下部分，即，具有圆板部分和与该圆板中央处成一体的支撑轴并可对上述中央孔形成闭塞的闭塞部分，将含有紫外线固化型树脂的涂敷液供到上述支撑轴外周面上的涂敷液供给部分，使上述基板与上述闭塞装置一起旋转的旋转部分，

进而具有：接触部分，使表面具有凹凸图形并可透过上述紫外线而且形成凹凸图形的表面至少是用由聚烯烃系树脂或氟树脂构成的模子与树脂层表面接触，照射部分，通过模子向树脂层照射紫外线，

和剥离模子的剥离部分，这些可形成上述透明中间层；

其构成是通过旋转基板，使含有上述紫外线固化型树脂的涂敷液延展，并形成上述树脂层，在涂敷液扩展时，降低基板的旋转速度，并能照射上述紫外线；

上述透明中间层的最大厚度及最小厚度之差在10μ以下。

附图说明

图1是表示根据本发明的第1种实施形态制造的光信息媒体构成例的部分剖面图。

图2是说明第1种实施形态的第1种形式中的涂敷工序部分的剖面图。

图3是说明第1种实施形态的第1种形式中的涂敷工序部分的剖面图。

图4是说明第1种实施形态的第1种形式中的涂敷工序部分的剖面图。

图5是说明第1种实施形态的第1种形式中的涂敷工序部分的剖面图。

图6是说明第1种实施形态的第1种形式中的涂敷工序部分的剖面图。

图7是说明第1种实施形态的第1种形式中的涂敷工序部分的剖面图。

图8是说明第1种实施形态的第1种形式中的涂敷工序部分的剖面图。

图9是说明固化工序的剖面图。

图10是说明剥离工序的剖面图。

图11是说明层叠工序的剖面图。

图12(A)～(D)是表示第1种实施形态的第1种形式中所用闭塞装置构成例的断面图。

图13是说明第1种实施形态的第2种形式中的涂敷工序的部分断面图。

图14是说明第1种实施形态的第2种形式中的涂敷工序的部分断面图。

图15是说明第1种实施形态的第2种形式中的涂敷工序的部分断面图。

图16是表示在基板上形成细微图形的图面代用照片，是表示在透明中间层表面上形成的沟槽图形的扫描型电子显微镜照片。

图17是表示盘的半径方向位置和该位置处的透明中间层厚度关系的曲线图。

图18是表示利用本发明的第2种实施形态制造的光信息媒体构成例的部分断面图。

图19是表示利用本发明的第2种实施形态制造的光信息媒体构成例的部分断面图。

图20是表示利用本发明的第2种实施形态制造的光信息媒体构成例的部分断面图。

具体实施方式

以下详细说明本发明的实施形态。

第1种实施形态

光信息媒体

本实施形态适用的光信息媒体，信息记录层具有至少2层层叠的构造。本说明书中的信息记录层至少含有再生专用层或记录层。所谓再生专用层是存在保持记录信息的预置凹坑等凹凸图形的、至少反射一部分再生光束的层，所谓记录层是含有相变化材料和有机色素等记录材料的、可改写和追记记录标识的层。在记录层上，为保持和跟踪伺服预格式化信息等，而设置沟槽和预置凹坑等凹凸图形。

本说明书中的所谓多层媒体，是具有数个信息记录层的，而且，存在利用透过其他信息记录层的记录/再生光束，进行记录或再生的信息记录层的媒体。在相邻接的信息记录层之间存在能透过记录/再生光束的透明中间层。

图1表示根据本实施形态制造的多层媒体构成例。图1所示媒体是在盘状的基板SB上设置第1信息记录层IL-1，在该信息记录层IL-1上通过透明中间层TL层叠第2信息记录层IL-2。在第1信息记录层IL-1和第2信息记录层IL-2上，分别形成由沟槽和预置凹坑构成的凹凸图形。在第2信息记录层IL-2上形成保护层PL。以下对该媒体的各部分构成进行说明。

基板SB、保护层PL

在图1所示媒体中，记录/再生光束不是从基板SB侧，而是从保护层PL侧射入。因此，基板SB对于记录/再生光束不必是透明的。基板SB的厚度通常为0.2～1.8mm，最好为0.4～1.2mm。基板SB和通常的光信息媒体的基板一样，可由树脂构成。这时，第1信息记录层IL-1所需要的基板SB表面的凹凸图形可利用注塑成型形成。但是，玻璃板和树脂板、金属板等刚性基板的表面可利用2P法形成凹凸图形，也可以形成基板SB。

保护层PL具有透过记录/再生光束的透光性。对于保护层PL，亦可使用与基板SB同等厚度的树脂板或玻璃板。但是，将记录/再生光束照射光学体系作为高NA化，为与高记录密度相对应，最好使保护层PL薄型化。这时保护层PL的厚度最好从30～300μm范围内选取。保护层PL过薄时，附着在保护层PL表面上的尘埃会产生很大的光学影响。另一方面，保护层过厚时，难以形成高NA化。

在使保护层PL薄型化时，例如，可以将透光性树脂组成的片利用各种粘接剂或粘合剂贴合在一起形成保护层PL，亦可涂敷透光性树脂形成保护层PL。

在图1所示构造的媒体中，也可以是通过基板SB向信息记录层IL-1、IL-2射入记录/再生光束而构成。

信息记录层

在信息记录层IL-1、IL-2上形成预置凹坑和沟槽等凹凸图形。这种凹凸图形通过将透明中间层TL表面上形成的凹凸图形进行复制形成。但是，从记录/再生光束入射侧看最深处存在的信息记录层IL-1，通过设在基板SB上的凹凸图形的复制形成。信息记录层至少含有再生专用层或记录层。

再生专用层由于需要反射一部分再生光束(信息记录层IL-2)或者反射大部分(信息记录层IL-1)，所以形成由金属(包括合金)膜或电介质多层膜形成的反射层。再生专用媒体中的信息记录层，通常只由反射层构成。

记录层可以是下列中的任意一种，使用相变化型记录材料的可重写型的或追记型的、使用光磁记录材料可改写型的、将有机色素用作记录材料追记型的，也可以使用其他的记录材料。但是，与其他记录材料相比，光透过率很高，为此，由于可将记录层的层叠数增多，最好使用相变化型记录材料。在记录媒体中，虽然可只由记录层构成信息记录层，但根据需要，也可设置反射层和电介质层等其他的层。

例如，相变化型记录媒体中的信息记录层，通常的构造是在记录层的两侧设置电介质层。从记录/再生光束射入侧看存在于最深处的信息记录层IL-1，通常的构造是图1中从下侧由反射层、电介质层、相变化型记录层、电介质层依次形成层叠。对于信息记录层IL-2，因为需要透过记录/再生光束，通常不设反射层，但根据需要，可设置对记录/再生光束呈半透明的反射层，也可形成与IL-1一样的构造。

本发明中所用相变化型记录材料的组成没有特殊限定，至少最好含有Sb和Te。只由Sb和Te形成的记录层，结晶化温度可低到130℃左右，因保存可靠性不充分，所以最好添加其他元素。作为这时的添加元素最好是元素M(元素M是从In、Ag、Au、Bi、Se、Al、P、Ge、H、Si、C、V、W、Ta、Zn、Ti、Ce、Tb、Sn、Pb、Pd和Y中选出的至少1种元素)。这些中，从提高保存可靠性的效果考虑，最好是Ge。

构成记录层元素的原子比以式I SbaTebMc表示，当a+b+c＝1时，理想的是a＝0.2～0.85、b＝0.1～0.6、c＝0～0.25更为理想的是c＝0.01～0.25。

Sb含量过少时，结晶化速度不足够迅速，改写困难。另一方面，Sb含量过多时，结晶化速度过快，难以形成非晶质记录标识。M含量过少时，添加M的效果不充分，M含量过多时，伴随着相变化，反射率变化很小，难以获得充分的变调度。Te含量过少时，难以非晶质化，并难以形成记录标识。另一方面，而Te含量过多时，结晶化速度缓慢，改写困难。

在多层媒体中，如上所述，由于数个记录层重叠，记录/再生光束的光量损失增大。由此，作为记录层在不损害功能的范围内，使记录层尽可能地薄。但过薄时，作为记录层会损害功能。为此，记录层的厚度理想的为2～50nm、最为理想的是4～20nm。

使用相变化型记录层时，信息记录层，如前所述，最好用一对电介质层形成夹持记录层的构造。在该构造中，最好利用喷溅法形成记录层和各电介层。作为电介质层中使用的电介质，例如最好是从含有Si、Ge、Zn、Al稀土元素等中选出的至少1种金属成分的各种化合物。作为化合物最好是氧化物、氮化物、硫化物或氟化物，也可使用含有这些化合物中2种以上的混合物。各电介质层的厚度最好为10～500nm。

透明中间层

透明中间层TL是紫外线固化型树脂等活性能线固化型树脂的固化物，而且是由对记录/再生光束透过率高的材料构成。

透明中间层的厚度没有特殊限定，将相邻信息记录层之间的交调失真设定在允许范围内，好的为5～50μm、更好10～50μm。透明中间层过薄时，交调失真过大。而透明中间层过厚时，厚度不均很容易增大、内部应力也容易增大，整个媒体的厚度也会增大。上述所说的平均厚度是指信息记录区内的最大厚度和最小厚度相加的平均。本说明书中的所谓信息记录区，是再生专用的信息记录层和追记或可改写的信息记录层之中，形成预置凹坑和沟槽的，并可保持记录信息的区域。即，是存在能记录磁道的区域。上述可记录磁道中，除了记录数据的磁道(通常的记录磁道)外，也含有试写用的磁道。

如前所述，利用通常的旋转涂敷法形成透明中间层时，在透明中间层的半径方向上，由于厚度不均增大，在内周部和外周部的再生输出很容易产生差异，在从模子复制图形时很容易产生复制不均。在信息记录区域上，透明中间层的最大厚度和最小厚度之差，一般要小于10μm，更好小于6μm，最好在3μm以下。通过使透明中间层形成如此小的厚度分布，即可控制再生输出变动。在第1种形态中，利用旋转涂敷法形成树脂层后，用模子挤压树脂层复制凹凸图形。然而，第1种形态中，透明中间层的厚度不均很大时，由于对固化前的透明中间层(树脂层)不能用模子均匀挤压，所以很容易产生复制缺陷。为此，第1种形态中，最好使透明中间层的最大厚度和最小厚度之差在上述范围内。

透明中间层的最大厚度和最小厚度之差越小越好，但使用旋转涂敷法时，很难使上述之差达到零。只要上述之差足够小，对再生输出变动的影响就很小。因此，上述之差没有必要小到1μm以下。

制造方法(第1种形态)

以下对本实施形态的第1种形态制造方法适用于制造图1所示媒体的情况进行说明。在第1种形态中，为了减小透明中间层的厚度分布，最好使用上述闭塞装置形成透明中间层。在本实施形态的制造方法中，设有以下说明的涂敷工序、固化工序、剥离工序和层叠工序。

以下列举实例对作为活性能线固化型树脂使用紫外线固化型树脂的情况进行说明，此外，也可使用由电子线等其他活性能线进行固化的树脂。

涂敷工序

如图2和图3所示，首先将具有中心孔CH的基板SB载置在旋转台200上。在基板SB上形成第1信息记录层IL-1。将基板SB的中心孔CH插入旋转台200的环状突起201，固定住。这些图是剖面图，只表示出了呈现剖面的端面，深度方向的图示省略。这以后的剖面图也一样。

接着，利用闭塞装置300堵塞住中心孔CH。该闭塞装置300具有堵塞中心孔CH的圆板部301、与其中央形成一体的支撑轴302、和在与中心孔CH相对一侧的圆板部301上形成一体的凸部303。通过使凸部303与突起201的内周部分形成嵌合，可将闭塞装置300固定在旋转台200上，同时也能确定基板SB和闭塞装置300的位置。但是，基板SB和闭塞装置300向旋转台200上固定的方法，没有特殊限定，例如，也可以在使基板SB和闭塞装置300嵌合的状态下，再使闭塞装置300与旋转台200嵌合。

以下，如图4所示，由喷吐装置的喷嘴400喷吐出由树脂或树脂溶液形成的涂敷液500，将涂敷液500供到支撑轴302的外周面上。这时，使旋转台200最好以以20～100rpm比较低的速度旋转，使涂敷液均匀地遍及到圆板部分301上。

接着，如图5所示，通过使旋转台200以较高速度旋转，使涂敷液500延展。这样，在基板SB上形成树脂层RL。

涂敷液的延展条件没有限定。在旋转涂敷法中，除涂敷液的粘度外，其他条件相同的情况下，从理论方面说，涂膜的厚度与涂敷液粘度的平方根成比例。另一方面，旋转速度越大，旋转时间越长，涂膜越薄。因此要想使树脂层RL形成规定的厚度，旋转涂敷时的旋转速度和旋转时间可根据涂敷液的粘度适当确定。

在涂敷工序中，如前所述，最好照射紫外线使树脂层RL不完全固化。通过设置不完全固化工序，可实现上述效果。

在不完全固化时，也可在形成树脂层RL后，将闭塞装置300从基板SB上取下后，再照射紫外线。但在本实施形态中，图5中形成树脂层RL后，如图6所示，在旋转涂敷中最好是在降低基板SB旋转速度的过程中照射紫外线。在从开始减速时，到经过减速时间的30％期间开始照射紫外线，并且，至少继续到经过减速时间的80％。照射开始较迟时，树脂层很容易堆积在外周侧。在照射开始较迟时，直到较低的旋转区域内树脂不会固化，结果，在未固化的状态下，由于离心力变得很弱，所以很容易增大外周部分的隆起。使停止紫外线照射的定时过早时，树脂层很容易产生不均。基板SB旋转速度的降低曲线没有特殊限制，在开始到停止期间内，最好是每单位时间内的旋转速度降低量(减速率)恒定，或平稳地进行变化。即，减速率可以恒定，也可以逐渐减小或逐渐增加，最好是设定恒定。

在不完全固化工序中树脂层RL的固化程度，是树脂层RL上残存粘接性的程度。残存有粘接性的不完全固化树脂层，利用模子挤压，可进行图形复制，实际上是没有流动性的。用于不完全固化所需紫外线的照射量，根据树脂层构成材料而定，好的是10～200mJ/cm²，更好是30～100mJ/cm²。

在边降低旋转速度边使树脂层固化的方法中，在将闭塞装置300装入基板SB中的状态下照射紫外线。这时，闭塞装置300表面的涂敷液也照射紫外线时，固化后，从基板SB中取出闭塞装置300时，有时树脂层的内周缘会或产生毛刺，或毛刺碎片形成飞散，很不理想。为了防止这种毛刺产生，闭塞装置300附近最好不照射紫外线。即，最好是控制照射范围，使紫外线照射区域的内径稍稍大于闭塞装置300的圆板部分301的外径。涂敷液扩展时，涂敷液从基板SB的外周缘形成放射状飞散，当对此照射紫外线时，飞散的涂敷液从基板外周缘呈放射状延伸态，很容易固化。为防此现象发生，最好控制照射范围，使紫外线照射区域的外周缘与基板SB的外周缘大致一致。

照射范围，例如，可通过在紫外线源和基板SB之间设置规定形状的罩，遮断紫外线，即可控制。也可以使用能照射精密图形的投影曝光机来控制。除了投影曝光机之外，也可是能有选择地照射特定区域型的紫外线照射装置。作为这种装置，例如有ウシオ电器(株)制的点式UV照射装置和多式灯。点式UV照射装置中，光纤单元的端部安装透镜，可调整照射区域的形状。例如，设照射区域为长方形，一边旋转基板SB一边照射，可使树脂层表面形成环状照射。使用上述多式灯时，最好与上述罩子并用。

在树脂层进行不完全固化时，如前所述，在形成树脂层时，最好削除一部分从基板SB外围溢出的涂敷液。具体讲，最好使用具有像刀刃一样的薄板状部分的切削装置，使其靠近基板SB的外周侧面地削除涂敷液。

接着，使闭塞装置300脱离开基板SB，形成图7所示的状态后，如图8所示，使模子100与树脂层RL接触。在模子100的下面，由于形成了沟槽的母体图形，所以通过其复制，即可在树脂层RL上面形成沟槽的图形。这时，可以利用模子100的自重挤压树脂层RL，也可以对模子100从外部施加荷重，挤压树脂层RL。只要适当确定模子的挤压力和挤压时间，就能准确地将模子100表面的母体图形复制到树脂层RL上，通常，最好以0.5×10⁵～5×10⁵Pa进行挤压0.1～5秒钟。

模子100和树脂层RL的接触，最好在减压环境中进行。上述减压环境的压力在30Kpa以下为好，更好在10Kpa以下。通过在减压环境中使模子和树脂层接触，可防止两者间混入气泡。挤压没有必要在减压环境中进行。因此，可以通过提高环境压力进行挤压。

固化工序、剥离工序、层叠工序

在固化工序中，如图9所示，通过模子100照射紫外线，使树脂层RL固化形成透明中间层TL。也可以一边旋转基板5B一边照射紫外线。固化后，在图10所示剥离工序中，从透明中间层TL上剥离模子100。接着在图11所示的层叠工序中，利用喷涂法和涂敷法，在透明中间层TL上形成第2信息记录层IL-2。

闭塞装置

第1种形态中使用的闭塞装置，并不限于图2所示结构，只要是具有圆板部分和支撑轴的就可以。图2所示闭塞装置300具有圆锥台状的圆板部分301，和圆柱状的支撑轴302，除此之外，也可以使用其他结构的闭塞装置，例如分别由图12(A)～图12(D)所示。

图12(A)所示闭塞装置，具有下面呈收缩的圆锥台状的圆板部分301，和倒圆锥台状的支撑轴302。将支撑轴形成倒圆锥台状，既可使涂敷液的涂敷开始位置更靠近圆板部分301的中央处，更能降低涂膜厚度的不均。并且，与将整个支撑轴302形成很细的情况不同，还可抑制支撑轴302机械强度的降低，利用卡子把持着支撑轴302时，由于难以落下，所以在安装拆除和移送闭塞装置时很便利。整个支撑轴302没有必要呈倒圆锥台状。即，是支撑轴302的一部分是向着圆板部分301渐渐减小直径的圆锥台状，而且，在比它更接近圆板部的区域内，支撑轴的直径必须加大。

图12(B)所示的闭塞装置，圆板部分301的断面形状与图12(A)不同。为了使涂敷液均匀地在圆板部分301上延展，最好使圆板部分301的厚度向着外周部分逐渐减小。这时，在圆板部分301的剖面中，涂敷液延展的上缘形状也可以是图12(A)所示的直线状，也可以是图12(B)所示的曲线状。如图12(C)所示，圆板部分301的外周也可以为垂直面。但图12(C)中，圆板部分301的外周厚度t最好在0.4mm以下。当厚度t过大时，难以均匀地涂敷树脂层。如图12(D)所示，也可以将圆板部分301的厚度形成均匀一致。

在闭塞装置中，圆板部分301上的支撑轴302最小直径，好的为小于4mm、更好为小于2mm。圆板部分301上的支撑轴302的直径过大时，涂敷开始位置会偏离圆板部分301的中央处，树脂层RL在径方向上的厚度不均会加大。但，圆板部分301上的支撑轴302直径过小时，支撑轴302的机械强度不够，上述最小直径好的为0.5mm以上，更好0.7mm以上。支撑轴302的长度没有特殊限定，考虑到把持时易于操作等，可适当决定，以便易于向其外周面供给涂敷液，好的是5-100mm，更好是10～30mm。支撑轴302过短时，难以向外周面供给涂敷液，也难以把持住。而支撑轴302过长时，操作使用很麻烦。

圆板部分301的直径最好大于基板SB的中心孔CH直径，而且，比第1信息记录层IL-1的内径小。但是，涂敷液500蔓延到圆板部分301的下面时，会污染基板SB的内周面，所以圆板部分301的直径比中心孔CH的直径要大4mm以上，更好为大8mm以上。由于取出圆板部分301时，其旁边的树脂层形状很容易产生紊乱，所以圆板部分301的直径比第1信息记录层IL-1的内径小3mm以上，更好小5mm以上。具体的尺寸，随中心孔的直径和信息记录层的内径而异，但通常用于制造直径60～130mm的光盘时，圆形板部分301的直径为20～40mm，最好25～38mm的范围内。

闭塞装置的构成材料没有特殊限定，可以是金属、树脂、陶瓷等任何一种，也可以是使用这些中2种以上的复合材料。圆板部分301和支撑轴302可由不同的材料构成。为了具有良好的机械强度、耐久性、尺寸精度，闭塞装置最好由金属构成。作为金属，最好是不锈钢合金、铝、铝合金。

闭塞装置300的表面，特别是圆板部分301的整个表面，最好表面张力比涂敷液低。若闭塞装置300的表面难以被涂敷液湿润，附着在闭塞装置表面上的涂敷液很容易洗净。表面张力的控制，可通过适当选择闭塞装置的构成材料来实现，对要降低表面张力的区域，最好用聚四氟乙烯加工等实施疏水、疏油处理。

制造方法(第2种形态)

以下对本实施形态的第2种形态进行说明。在第2种形态中，只是涂敷工序与第1种形态不同。

在第2种形态的涂敷工序中，如图13所示，由喷吐装置的喷嘴400喷吐出由树脂或树脂溶液形成的涂敷液500，供到基板SB的第1信息记录层IL-1形成面的内周部分附近。这时，将旋转台200以较低的速度至少旋转1次，使涂敷液500形成环状滞溜带。

接着，如图14所示，使模子100与涂敷液500接触。这时，依靠模子100的自重挤压涂敷液500，也可从外部向模子100旋加荷重挤压涂敷液500，为防止模子100变形，最好是依靠冲压模100的自身重量进行挤压。并不仅限于此方法，例如，也可以预先将树脂涂敷到基板SB和/或模子100上。

接着，如图15所示，使基板SB和模子100一起以较高的速度旋转，使涂敷液500在基板SB和冲压模100之间延展，形成树脂层RL。树脂层RL的厚度及其均匀性，依赖于涂敷液的粘度、延展时的旋转速度和旋转时间，为得到所要求厚度的树脂层RL，而且为提高其厚度的均匀性，这些条件可适当设定。具体讲最好分别设定，涂敷液粘度为50～1000cp、旋转速度为500～6000rpm、旋转时间为1～10秒钟。

模子100和涂敷液500的接触最好在减压环境中进行。上述减压环境中的压力好的在30Kpa以下，更好10Kpa以下。这样可防止气泡混入树脂层RL中。涂敷液500的延展也可在减压环境下进行。

之后与第1种形态一样，进行树脂层RL的固化、从树脂层RL上剥离模子100、和形成第2信息层IL-2。

第1种形态和第2种形态的共同之处

以下对第1种形态和第2种形态的共同之处进行说明。

在本实施形态中，使模子100与树脂层RL接触的表面至少是由聚烯烃系树脂或氟树脂构成。所用树脂只要是对树脂层RL固化时所用紫外线透明性高的树脂即可。作为聚烯烃系树脂，例如可从聚乙烯、聚丙烯、聚甲基戊烯中适当选出。作为氟树脂，例如可从聚四氟乙烯、聚(三氟氯乙烯)、聚全氟烯基乙烯醚中适当选出。

模子100的制造方法没有特殊限定，在由聚烯烃系树脂构成模子时，最好利用注塑成型法制造。在由氟树脂构成模子时，可根据氟树脂的种类适当从加压成型烧成法、挤压成型法、压缩成型法、注塑成型法等中选出制造方法。设在模子100表面上的上述母体图形，可在成型时同时形成。但是，在由对活性能线透过性高的材质(树脂或玻璃等)形成刚性较高的基板上，可利用2P法形成具有上述母体图形的聚烯烃系树脂层和氟树脂层，制造模子100。

模子的形状和尺寸没有特殊限定，通常和树脂层RL一样形成环状，其外径和内径与树脂层RL的外径和内径大致相同。但设定时，使模子100的外径稍稍大于基板SB的外径，使在剥离工序中很容易从透明中间层TL上剥离模子100变得容易。模子100的厚度通常最好为0.3～3mm的范围内。模子100过薄时，难以使模子成型，在整个模子面上难以形成均匀的凹凸图形。另一方面，模子100过厚时，模子的刚性过高，难以制造出完全没有扭曲等变形的模子，所以模子存在着变形。轻度变形在挤压模子时可得到矫正，但刚性较高的模子却难以矫正。由此，模子过厚时，模子的变形也会原样地复制到透明中间层上，大大增加了透明中间层厚度的不均。

在第2种形态中，将树脂夹持在基板和模子之间，在此状态下两者同时旋转，使树脂延展。这时在旋转中产生的离心力起到了矫正模子扭曲的作用。为了有效利用这种作用，最好使模子形成较薄些，具体讲模子的厚度以0.3～1.8mm为好，最好0.3～1.4mm。

紫外线照射的定时、照射时间和照射强度，对透明中间层的厚度不均、复制缺陷和模子的起模性也会产生影响。为此，在本实施形态中，最好按以下说明控制紫外线照射的有关条件。在第1种形态中，在排除模子和树脂层之间的气泡使两者完全接触后，照射紫外线。在第2种形态中，延展结束后立刻照射紫外线，使延展的树脂不会超越基板外缘和模子外缘而流出。在第1种形态和第2种形态中，为了易于从固化后的透明中间层上剥离下模子，必须使透明中间层完全固化。固化不充分时，由于透明中间层残留有粘接性，模子难以脱离。固化不充分时，透明中间层的机械强度也不充分，剥离模子时，有时会损伤透明中间层。为了使透明中间层充分固化，紫外线照射量最好取为1J/cm²以上。第1种形态中设有上述不完全固化工序时，不完全固化工序中的紫外线照射量和模子挤压后的紫外线照射量之合计最好为1J/cm²以上。

实施例

实施例1(第2种形态)

利用注塑成型制作表面设有沟槽图形的外径120mm、内径(中心孔直径)15mm、厚度1.2mm的盘状基板SB(聚碳酸酯制)。利用注塑成型制作表面设有沟槽的母体图形的直径120mm、厚度0.6mm的透明模子100(聚甲基戊烯制)。在基板和模子上，将沟槽的配置间距取为0.6μm、沟槽的深度取为40nm。在上述基板的沟槽图形形成面上，利用喷溅法依次形成反射层、电介质层、相变化型记录层和电介质层，并形成第1信息记录层IL-1。

接着，将基板载置在旋转台上，一边以低速旋转，一边在基板SB的内周附近约1周内滴加上紫外线固化型树脂。接着，旋转一旦停止后，在滴加的紫外线固化型树脂上载置模子100，几乎是同时，使基板SB和模子100一起旋转，以旋转速度2000rpm保持2秒钟，使紫外线固化型树脂延展，形成树脂层RL后，停止旋转。

接着，通过模子100向树脂层RL照射紫外线进行固化，形成透明中间层TL。紫外线照射量取为1J/cm²。接着，从透明中间层TL上剥离模子100。剥离下的模子100上没有附着紫外线固化型树脂，可确认模子100的离型性很好。

接着，在透明中间层TL上，利用喷溅法形成60nm厚的Au薄膜，作为第2信息记录层IL-2。制成评价用样品。

对该评价用样品的Au薄膜表面利用扫描型电子显微镜拍摄照片，该照片示于图16。由图16可知，不存在复制缺陷、准确地复制上沟槽状图形。

在透明中间层TL表面上贴上粘接带，通过引导剥离，从样品上剥离下透明中间层TL，对于剥离下的透明中间层TL，利用接触式台阶差测定装置(DEKTAK社制的DEKTAK3)测定半径方向上的厚度变化。结果如图17所示。在图17所示曲线中，横轴为距透明中间层中心的距离。从图17可知，该透明中间层在半径方向上的厚度变化很小。具体讲，在信息记录区(半径25～55mm的范围内)上的透明中间层，最大厚度和最小厚度之差达到6μm以下。

实施例2(第1种形态)

在实施例1中使用的基板SB上，和实施例1一样形成第1信息记录层IL-1。

接着，如图2～图8所示，利用使用闭塞装置300的方法，按以下顺序形成透明中间层TL。所用的用塞装置300由不锈钢合金构成，具有图2所示的形状，圆板部分301的直径为38mm、支撑轴302的直径为1mm、长为20mm。首先将基板SB载置在旋转台上，再将闭塞装置300装入基板SB的中心孔CH中后，一边以60rpm旋转旋转台，一边将紫外线固化型树脂(日本化药社制的MPZ 203，25℃下的粘度为90mPas)供到支撑轴302的外周面上，接着以2000rpm使旋转台旋转3秒钟，使树脂延展，形成树脂层RL。将闭塞装置300从基板SB上脱离开后，将实施例1中使用的模子100载置在树脂层RL上，利用压热器对模子100的整个面进行均匀挤压。解除压力后，通过模子100照射紫外线，使树脂层RL固化，形成透明中间层。紫外线照射量和实施例1相同。接着，从透明中间层TL上剥离模子100。剥离下的模子100上没有附着紫外线固化型树脂，确认模子100的离型性很好。

接着，在透明中间层TL上，和实施例1一样形成第2信息记录层IL-2，作为评价用样品。利用扫描型电子显微镜观察该评价用样品的第2信息记录层IL-2表面时，确认不存在复制印缺陷，准确地复制上沟槽图形。

和实施例1一样测定透明中间层半径方向上的厚度变化，结果示于表1。表1中，ΔT是信息记录区(半径25～55mm的范围)上的透明中间层最大厚度和最小厚度之差，T_M是透明中间层的平均厚度。

表1

                                            表1(实施例2)

半径方向位置(mm)	25	30	35	40	45	55	TM(μm)	ΔT(μm)
									透明中间层厚度(μm)	18.9	19.6	20.3	20.8	21.3	20.5	20.1	2.4

如表1所示，该透明中间层的ΔT为2.4μm，厚度均匀性良好。

比较例1

在实施例1中使用的基板上，和实施例1一样，形成第1信息记录层IL-1。

接着，将基板SB载置在旋转台上，一边以低速旋转，一边在基板SB的内周附近约1周内滴加紫外线固化型树脂。接着，提高旋转速度，以2000rpm的旋转速度保持约2秒钟，使紫外线固化型树脂延展后，停止旋转。确认在整个基板面上形成树脂层RL后，将实施例1中使用的模子100载置在树脂层RL上，利用高压热器对模子100的整个面上进行均匀挤压。解除压力后，通过模子100照射紫外线，使树脂层RL固化，形成透明中间层TL。紫外线照射量和实施例1相同。接着，从透明中间层TL上剥离下模子100。在剥离下的模子100上没有附着紫外线固化型树脂，可以确认模子100的起模性良好。

接着，在透明中间层TL上，和实施例1一样形成第2信息记录层IL-2，作为评价用样品。利用扫描型电子显微镜观察评价用样品的第2信息记录层IL-2表面时，看出到处都存在复制缺陷。

和实施例1一样测定透明中间层TL半径方向上的厚度变化。结果如图17所示。从图17可知该透明中间层TL在半径方向上的厚度变化很大。具体讲，在信息记录区(半径25～55mm的范围)上透明中间层TL的最大厚度和最小厚度之差超过10μm。当透明中间层的厚度不均如此大时，固化前的树脂层RL也会存在与其同等以上的厚度不均，所以模子100不可能形成均匀的挤压，结果，认为也会产生复制缺陷。

通过该比较例1与上述实施例1和实施例2的比较，更加明确第2种形态产生的效果和第1种形态中使用上述闭塞装置产生的效果。

实施例3(第1种形态)

除了在压力为5Kpa的环境中将模子100载置在树脂层RL上之外，其他和实施例2一样，形成透明中间层TL。该透明中间层TL在整个面上根本看不到混入气泡。

和实施例1一样测定该透明中间层TL的厚度不均。结果如表2所示。

表2

                                            表2(实施例3)

半径方向位置(mm)	25	30	35	40	45	55	TM(μm)	ΔT(μm)
									透明中间层厚度(μm)	18.6	19.4	20.5	21.3	21.0	20.4	20.0	2.7

如表2所示，该透明中间层TL的ΔT为2.7μm，厚度均匀性良好。

实施例4(第1种形态)

和实施例1一样，在实施例1中使用的基板SB上形成第1信息记录层IL-1。

接着使用实施例2中使用的闭塞装置300，按以下顺序形成透明中间层TL。首先，将基板SB载置在旋转台上，将闭塞装置300装入基板SB的中心孔CH内后，一边以60rpm旋转旋转台，一边将实施例2中使用的紫外线固化型树脂供到支撑轴302的外周面上，接着，以2000rpm使旋转台旋转3秒钟，延展树脂。

在延展树脂时，在经过2秒钟接近结束延展的时刻，使薄板状削除装置靠近基板SB的外周侧面，对从基板SB外围溢出的树脂削除1秒钟。接着使削除装置离开基板SB，同时开始将旋转台减速，减速开始0.3秒后，照射时间为0.5秒紫外线强度为160mW/cm²。这时的紫外线照射量为80mJ/cm²，由此形成不完全固化的树脂层RL。从减速开始到旋转停止的时间取为1秒钟。对于紫外线照射装置，使用目白プレシジヨン(株)制UV Spot Cure BHG-250，将照射范围设定为直径120mm的圆形，向整个基板SB面上照射紫外线。对于闭塞装置300上，不照射紫外线，配置直径40mm的罩子。

接着，在压力为5Kpa的环境中，将实施例1中使用的模子100载置到树脂层RL上，以2×10⁵Pa的压力下挤压0.5秒钟后，解除压力，接着，通过模子100照射紫外线，使树脂层RL完全固化，形成透明中间层TL。对于紫外线照射装置，使用ウシオ电机(株)制高压水银灯(4KW)，向整个基板SB面照射。这时的紫外线照射量，和上述不完全固化时的照射量80mJ/cm²加在一起设定为1J/cm²。在整个透明中间层TL面上完全没有看出混入气泡。

接着，从透明中间层TL上剥离下模子100。剥离下的模子100上没有附着紫外线固化型树脂，确认模子100的离型性很好。

接着，在透明中间层TL上，和实施例1一样形成第2信息记录层IL-2，作为评价用样品。利用扫描型电子显微镜观察该评价样品的第2信息记录层IL-2表面时，确认不存在复制缺陷，准确地复制上沟槽形图形。

利用(株)キ一エンス制的激光聚焦位移计LT8010测定透明中间层TL的半径方向上的厚度变化，结果示于表3。该样品上的信息记录区半径为23～58mm的范围。

表3

                                    表3(实施例4)

半径方向位置(mm)	23	25	30	35	40	45	50	55	58	TM(μm)	ΔT(μm)
												透明中间层厚度(μm)	19.4	20.1	20.3	20.7	21.0	21.2	21.3	21.5	21.5	20.5	2.1

表3中ΔT极小，为2.1μm。由该结果可知在用模子挤压前利用使树脂层不完全固化产生的效果。

在该样品中，透明中间层TL中不存在空间。然而，除了在树脂层形成时没有削除从基板SB外围溢出的树脂外，其他和该样品一样制作的比较样品中，在信息记录区外围附近的透明中间层TL中存有空间。

比较例2

在实施例1中使用的基板SB上，和实施例1一样，形成第1信息记录层IL-1。

接着，将基板SB载置在旋转台上，一边以60rpm旋转，一边向距基板SB中心20mm处约1周内滴加实施例4中使用的紫外线固化型树脂。接着，提高旋转速度，以2000rpm的旋转速度保持3秒钟，使紫外线固化型树脂延展后，停止旋转。确认在整个基板SB面上形成树脂层RL后，在和实施例4相同的条件下，利用模子100挤压树脂层RL和照射紫外线(照射量1J/cm²)，形成透明中间层TL。

接着，和实施例4一样，在透明中间层TL上形成第2信息记录层IL-2，制成评价用样品，对于该评价用样品进行和实施例4一样的测定，结果如表4所示。

表4

                                        表4(比较例2)

半径方向位置(mm)	23	25	30	35	40	45	50	55	58	TM(μm)	ΔT(μm)
												透明中间层厚度(μm)	13.4	15.8	18.6	20.3	21.4	22.2	22.8	23.3	23.5	18.5	10.1

光盘样品的机械特性评价

在实施例4和比较例2中分别制作的评价用样品的第2信息记录层IL-2上，利用旋转涂敷法(以2000rpm运行10秒钟)涂敷紫外线固化型树脂(25℃下的粘度为5000cp)，照射紫外线进行固化，形成保护层PL作为光盘样品。在旋转涂敷时，和透明中间层TL形成时一样，使用闭塞装置300可获得厚度均匀的保护层。

利用(株)

的机械精度测定机DC-1010C测定这些光盘样品的机械特性，结果如表5所示。表5中R-Skew表示半径方向上的变形，T-Skew表示周方向上的变形。

表5

	表面偏斜量(μ m)	扭曲量(μ m)	R-Skew(deg.)	T-Skew(deg.)
					实施例4比较例2	242308	58.495.3	0.320.44	0.250.34

从表5可知在透明中间层形成时，通过设置不完全固化工序，可提高光盘的机械特性。

利用由聚全氟烯基乙烯醚(旭硝子株式会社制的サイトツプ)注塑成型制造的模子100代替上述模子，除此之外，和上述各实施例一样进行实验，获得与上述各实施例相同的结果。

第2种实施形态

本实施形态适用的光信息媒体，至少有1层信息记录层。

在本说明书中的信息记录层至少含有再生专用层或记录层。所谓再生专用层是存在有保持记录信息的预置凹坑等凹凸图形的、至少反射一部分再生光束的层，所谓记录层是含有相变化材料和有机色素等记录材料的、记录标识可改写和追记的层。对于记录层，为了保持预格式化信息和跟踪伺服等，设置有沟槽和预置凹坑等凹凸图形。

本说明书中的所谓多层媒体，是具有数个信息记录层的、而且存在利用透过其他信息记录层的记录/再生光束进行记录或再生的信息记录层的媒体。在相邻接的信息记录层之间存在可透过记录/再生光束的中间层。

图18和图19中分别示出了根据本实施形态制造媒体中，多层媒体的构成实例。图18所示媒体是在盘状的基板SB上，依次设有第1中间层TL-1、第1信息记录层IL-1、第2中间层TL-2、第2信息记录层IL-2、和保护层PL。图19所示的媒体是在盘状的基板SB上，依次设有第1信息记录层IL-1、中间层TL、第2信息记录层IL-2和保护层PL。图20中示出了根据本实施形态制造的媒体中，只有1层信息记录层的单层媒体构成例。图20所示的媒体是在盘状基板SB上依次设有中间层TL、信息记录层TL和保护层PL。

在这些媒体中，在信息记录层IL、IL-1、IL-2上，分别形成由沟槽和预置凹坑形成的凹凸图形。图19中所示媒体是从图18所示的媒体中省去了第1中间层TL-1。由此，在基板SB上形成由沟槽和预置凹坑构成的凹凸图形。

以下对这些媒体中各部分的构成进行说明。

基板SB、保护层PL

在这些媒体中，记录/再生光束不是从基板SB侧，而是从保护层PL侧入射。因此，基板SB对于记录/再生光束无需是透明的。基板SB的厚度通常为0 2～1.8mm，最好为0.4～1.2mm。图19中的基板SB和通常的光信息媒体的基板一样，可由树脂构成。这种情况，用于信息记录层IL-1的所必需的基板SB表面凹凸图形利用注塑成型形成。另一方面，图18和图20中的基板SB是由玻璃、树脂或金属等制成的刚性高的平滑基板，在其上，利用2p法设置形成上述凹凸图形的中间层TL-1或TL。

保护层PL具有可透过记录/再生光束的透光性。对于保护层PL也可使用与基板SB同等厚度的树脂板和玻璃板。但是，使记录/再生光束照射光学系统高NA化，为与高记录密度相对应，最好使保护层PL薄型化。这时的保护层PL厚度，最好选自30～300μm范围内。保护层PL过薄时，附着在保护层PL表面上的尘埃会产生很大的光学影响。另一方面而保护层PL过厚时，难以形成高NA化。

在使保护层PL薄型化时，例如，用各种粘接剂和粘合剂将透光性树脂组成的片贴合在一起形成保护层PL、也可以涂敷透光性树脂形成保护层PL。

在图18～图20各示结构的媒体中，其构成是通过基板SB使记录/再生光束入射到信息记录层IL、IL-1、IL-2上。

信息记录层

在信息记录层IL、IL-1、IL-2上，形成预置凹坑和沟槽等的凹凸图形。该凹凸图形通过复制中间层TL、TL-1、TL-2或基板SB表面上形成的凹凸图形形成。信息记录层至少含有再生专用层或记录层。

再生专用层，由于需要反射一部分再生光束(信息记录层IL-2)或反射大部分再生光束(信息记录层IL、IL-1)，所以由金属(包括合金)膜或电介质多层膜形成反射层。再生专用媒体中的信息记录层通常只由反射层构成。

记录层可以是以下中的任何一种，即，使用相变化型记录材料的可改写型的、或追记型的、使用光磁记录材料的可改写型的、用有机色素作记录材料的追记型的，等，也可以是利用其他记录材料的。但是，与其他记录材料相比，光透过率很高，为此，记录层的层叠数可以很多，最好使用相变化型记录材料。在记录媒体中，虽然可以只由记录层构成信息记录层，但根据需要，也可以设置反射层或电介质层等其他的层。

例如，相变化型记录媒体中的信息记录层，其结构通常是将电介质层设在记录层的两侧。从记录/再生光束入射侧看，存在于最深处的信息记录层IL-1，其结构通常是从图中的下侧依次由反射层、电介质层、相变化型记录层、电介质层的层叠结构。对于信息记录层IL-2，因为需要透过记录/再生光束，所以通常不设反射层，但根据需要，可设置对记录/再生光束呈半透明的反射层，其结构和IL-1一样。

中间层

中间层TL、TL-1、TL-2是紫外线固化型树脂等放射线固化型树脂的固化物，而且，是由对记录/再生光束透过率很高的材料构成。但是，图18和图20中，存在于基板SB和信息记录层TL、TL-1之间的中间层TL、TL-1不需要对记录/再生束呈透明的。

存在于相邻2层信息记录层之间的中间层厚度，没有特殊限定，多层媒体时，最好将相邻信息记录层之间的交调失真设定在允许范围内，优选是5～50μm，更好是10～50μm。另一方面，存在于基板和信息记录层之间的中间层厚度通常优选为1～100μm。

以下对制造图20所示媒体时，在基板SB上形成中间层TL的方法进行说明。以下列举实例说明作为放射线固化型树脂使用紫外线固化型树脂的情况，除此之外，也可以使用利用电子线等其他放射线固化的树脂。

首先，在具有沟槽和预置凹坑的母体凹凸图形的模子和基板SB之间，形成夹持含有放射线固化型树脂的树脂层的状态。这时，由外部向模子加力挤压树脂层，或者依靠模子自身重量挤压树脂层。在此状态下，通过模子照射紫外线，使上述树脂层固化，形成中间层TL。接着从中间层TL上剥离下模子。之后形成信息记录层IL和保护层PL，得到图20所示结构的媒体。

为了使树脂层在模子和基板SB之间形成夹持状态，可使用以下2种方法中的任何一种。在第1种方法中，利用旋转涂敷法在基板SB上形成树脂层后，将模子载置在树脂层上进行挤压。在第2种方法中，以圆环状将树脂供给到基板SB的内周部分，将模子载置其上，在此状态下，使基板SB和模子一起旋转，通过旋转涂敷使树脂在基板SB和模子之间延展。

在本实施形态中，模子与树脂层接触的表面，至少是由环状聚烯烃或聚苯乙烯系树脂构成，根据上述理由，最好由非晶质环状聚烯烃构成。所用树脂以树脂层固化中使用的对紫外线呈透明性高的为好。作为紫外线透过性优良的非晶质环状聚烯烃，有以降冰片烯系化合物作为起始物质的，这种物质也具有优良的耐热性。

具体讲，最好是具有以下述式(1)表示的重复结构单元的非晶质环状聚烯烃。

[化1]

上述式(1)中，q是0～4的整数，R₁和R₂分别表示氢原子、卤原子、甲基、乙基、丙基、丁基、乙叉基、甲氧羰基、氰基或吡啶基。R₁和R₂可以相同，也可以不同。R₁和R₂也可相互结合形成环。

本实施形态中使用的非晶质环状聚烯烃，最好是只由上述式(1)表示重复结构单元中相同单元形成的均聚物，但也可以是R₁、R₂和q的一个以上不同的多种重复结构单元形成的共聚物。也可以是除了上述重复结构单元外，还含有其他结构单元，如乙烯等的共聚物。本实施形态中使用的非晶质环状聚烯烃，优选数均分子量为5千～10万的，特别优选是1万～4万。

式(1)中的卤原子、酯基、晴基、吡啶基，在以下说明中也称作极性基。

这样的非晶质环状聚烯烃，作为单体可使用如下的，例如，降冰片烯，和它的烷基和/或烷叉基取代物、例如，5-甲基-2-降冰片烯、5，6-二甲基-2-降冰片烯、5-乙基-2-降冰片烯、5-丁基-2-降冰片烯、5-乙叉基-2-降冰片烯等；二环戊二烯、2，3-二氢二环戊二烯、它们的甲基、乙基、丙基，丁基等烷基置换体、和卤素等极性基置换体：二甲叉基八氢化萘、它的烷基和/或烷叉基置换体、和卤素等极性基置换体、例如、6-甲基-1，4：5，8-二甲叉基-1，4，4a，5，6，7，8，8a-八氢化萘、6-乙基-1，4：5，8-二甲叉基-1，4，4a，5，6，7，8，8a-八氢化萘、6-乙叉-1，4：5，8-二甲叉基-1，4，4a，5，6，7，8，8a-八氢化萘、6-氯-1，4：5，8-二甲叉基-1，4，4a，5，6，7，8，8a-八氢化萘、6-氰基-1，4：5，8-二甲叉基-1，4，4a，5，6，7，8，8a-八氢化萘、6-吡啶基-1，4：5，8-二甲叉基-1，4，4a，5，6，7，8，8a-八氢化萘、6-甲氧羰基-1，4：5，8-二甲叉基-1，4，4a，5，6，7，8，8a-八氢化萘等；环戊二烯的3～4聚物，例如，4，9：5，8-二甲叉基-3a，4，4a，5，8，8a，9，9a-八氢-1H-芴、4，11：5，10：6，9-三甲叉基-3a，4，4a，5，5a，6，9，9a，10，10a，11，11a-十二氢-1H-环戊蒽等，利用公知的开环聚合方法，聚合得到的开环聚合物，利用通常的加氢方法，加氢制得的饱和聚合物。

关于这样的环状聚烯烃，在特开平3-223341号公报、特开昭60-26024号公报等中有所记载。

使用非晶质环状聚烯烃时，例如，特开平5-81699号公报中记载的，可将烷基酚缩合物混合到非晶质环状聚烯烃中。

本实施形态中，可使用市售的非晶质环状聚烯烃。作为市售的非晶质环状聚烯烃，有ゼオネツクス和ゼオノア(都由日本ゼオン(株)制)、アペル(三井化学(株)制)、ア一トン(JSR(株)制)等。ア一トン和ゼオネツクス是将降冰片烯系单体开环聚合，加氢的产物。アペル是乙烯·四环十二烯共聚物{(C₂H₄)_m-(C₁₂H₁₆)_n}。这些中好的是ゼオネツクス、ゼオノア和アペル、ゼオネツクス和ゼオノア更好，ゼオネツクス尤其好。作为ゼオネツクス，最好的是Zeonex E28R和Zeonex 280R，作为ゼオノア，最好的是Zeon or 1060R和Zeonor 1420R。Zeonex E28R和Zeonex 280R具有上述式(1)表示的重复结构单元。

树脂模子可利用注塑成型法制造。在注塑成型法中，是将在由Ni等形成金属模子上形成的图形复制到树脂上，制成树脂模子。对环状聚烯烃，特别是上述ゼオネツクス进行注塑成型时，在不超过所用树脂的耐热性范围内，尽可能提高树脂熔融温度(也称作注塑机温度)。通过提高树脂熔融温度，很容易准确地将模子(金属模子)的细微图形复制到树脂上。具体讲，将树脂熔融温度取在320℃以上，最好取在350℃以上。但是，树脂熔融温度过高时，加快了树脂的分解，很不好，生成的分解物附着在金属模子表面上，导致树脂模子的表面性恶化，很不好。为此，树脂熔融温度优选在400℃以下，更好在380℃以下。

模子的形状和尺寸没有特殊限定，通常和复制图形的树脂层形状大致相同，其外径和内径也分别与树脂层的外径和内径大致相同即可。但是，设定时使模子的外径稍稍大于基板SB的外径，这可以很容易地使模子从中间层上剥离下来。模子的厚度通常最好在0.3～3mm的范围内。模子过薄时，模子难以成型，也难以在整个模子面上形成均匀的凹凸图形。而模子厚时，模子的刚性过高，由于难以制造出完全没有扭曲等变形的模子，模子上存在变形，轻度变形，在挤压模子时可得到矫正，但模子的刚性很高时，则难以矫正。为此当模子过厚时，模子的变形会原样地复制到中间层上，并加大了中间层厚度的不均。

在将树脂夹持在基板SB和模子之间的状态下，使两者旋转并延展树脂的方法中，旋转产生的离心力起到了矫正模子扭曲变形的作用，为了有效利用这种作用，最好形成较薄的模子，具体讲，模子的厚度优选为0.3～1.8mm，最好为0.3～1.4mm。

本实施形态对从模子向中间层复制细微、准确的凹凸图形时，特别有效。具体讲，凹凸图形的配置间距，即，沟槽的配置间距或预置凹坑列的配置间距在0.7μm以下，特别是在0.6μm以下，更为有效。若合适使用本实施形态，可准确地将这样的细微图形复制到中间层上。但是，图形配置间距过于狭窄时，则难以准确复制，通常，在形成排列间距0.1μm以上的凹凸图形时，使用本实施形态最为理想。

在保持预置凹坑信息的再生专用媒体中，预置凹坑列的配置间距与磁道间距相同，在沟槽式记录的光记录媒体中，磁道间距和沟槽配置间距相同。另一方面，在凸台·沟槽记录方式的光记录媒体中，磁道间距为沟槽配列间距的1/2倍。例如，在沟槽记录方式的DVD-RW中，磁道间距和沟槽配置间距都是0.74μm，凸台·沟槽记录方式的DVD-RAM中，磁道间距狭窄到0.61μm，沟槽配置间距为1.22μm。

本实施形态的特征是由特定的树脂构成模子，这样可获得上述效果。因此，对于使用模子形成中间层时的具体顺序和条件没有特殊限定。即，不管使用上述的那种顺序和条件，只要使用本实施形态中限定的上述模子，在相同的顺序和条件下，都比使用以前的模子注射模塑获得更优良的效果。

实施例

向金属模上安装0.3mm厚、外形150mm的Ni模子，利用注塑成型，连续形成厚0.6mm、外形120mm的树脂模子。在树脂模子上形成的凹凸图形是宽0.16μm、配置间距0.32μm、深度25nm的沟槽状图形。所用树脂如下表6所示。注塑成型时的树脂熔融温度和金属模温度，以Zenonex E28R时分别为360℃和130℃，使用其他树脂，根据各种树脂形成最佳化，使树脂模子的图形偏移和变形达到最小。

从利用连续成型得到的多个树脂模子中抽取10个，用肉眼检查产生图形偏移和破裂的个数。用(株)小野测器的机械精度测定器(LM-1200)测定树脂模子的面接触量，这些结果示于表6。

接着，在厚度1.1mm的平滑聚碳酸酯基板和树脂模子之间夹持紫外线固化型树脂，利用旋转涂敷使树脂延展后，通过树脂模子照射紫外线，使树脂固化，形成中间层。接着，将树脂模子从中间层上剥离下来。在这一连串操作后，检索有无附着紫外线固化树脂和树脂模子的变形。这种测定，对表6所示各种树脂模子分别每次进行10个。将附着树脂和产生变形的树脂模子个数示于表6。

表6

树脂模子			成型性评价		复制性评价
							No.	构成材料	图形偏移	成形时的破裂	面偏差量(μm)	剥离后附着的树脂	剥离后的变形
123	Zeonex E28Rアベ ル聚苯乙烯	0/100/100/10	0/100/105/10	6090100	0/100/106/10	0/100/10破裂
							4(比较)5(比较)6(比较)7(比较)	聚甲基戊烯聚丙烯聚碳酸酯PMMA	10/1010/100/100/10	6/100/100/103/10	1502405090	0/100/1010/1010/10	0/100/10损坏损坏

从表6可知本实施形态的效果，在由非晶质环状聚烯烃形成的树脂模子No.1、No.2中，成形性和复制性都获得优良结果。与其相反，由结晶性线状烯烃树脂的聚甲基戊烯形成的树脂模子No.4，产生了图形偏移，由于面偏差量很大，不适宜向中间层形成细微图形。当面偏差量很大时，由于不能形成厚度均匀的中间层，所以在中间层上形成的信息记录层产生扭曲和歪斜，导致焦点伺服和跟踪伺服不稳定。这种情况的面偏差量允许值在100μm以下。

在由聚苯乙烯形成的树脂模子No.3中，从中间层上可剥离，但产生破裂。而在由聚碳酸酯形成的树脂模子No.6和由PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯形成的树脂模子No.7中，由于对紫外线固化型树脂的粘合性很高，从中间层上剥离时，树脂模子和聚碳酸酯基板都受到损坏。

Claims (14)

1.一种光信息媒体的制造方法，是在基板上分别通过透明中间层设置具有信息记录区的数个信息记录层的光信息媒体制造方法，其特征是，

设有以下工序，即在至少形成1层信息记录层的基板的上述信息记录层形成面上，形成含有紫外线固化型树脂的树脂层后，使上述紫外线可透过的，而且表面具有凹凸图形的模子与树脂层表面接触，接着，通过模子向树脂层照射上述紫外线，接着剥离下模子，形成复制了上述凹凸图形的透明中间层，

作为上述模子，形成上述凹凸图形的表面，至少是用由聚烯烃系树脂或氟树脂构成的，

在信息记录区上形成的透明中间层，最大厚度和最小厚度之差在10μm以下。

2.根据权利要求1的光信息媒体制造方法，其特征是，上述基板为具有中心孔的盘状、还设有如下工序，即，将上述基板载置在旋转台上，用具有圆板部分和与该圆板部中央处形成一体的支撑轴的闭塞装置，形成堵塞住上述中心孔的状态、将含有紫外线固化型树脂的涂敷液供到支撑轴的外周面后，通过使上述基板与上述闭塞装置一起旋转，使上述涂敷液在上述信息记录层上延展，形成上述树脂层。

3.根据权利要求1的光信息媒体制造方法，其特征是，通过旋转基板，使含有上述紫外线固化型树脂的涂敷液延展形成上述树脂层后，一边降低基板的旋转速度，一边照射紫外线，使上述树脂层形成不完全固化。

4.根据权利要求3的光信息媒体制造方法，其特征是，在上述树脂层形成时，至少削除一部分从基板外围溢出的上述涂敷液，随后，照射上述紫外线，使上述树脂层不完全固化。

5.根据权利要求1的光信息媒体制造方法，其特征是，在减压环境中使上述模子与上述树脂层表面接触。

6.根据权利要求1的光信息媒体制造方法，其特征是，在上述信息记录区上形成的上述透明中间层平均厚度为5～50μm。

7.一种光信息媒体的制造方法，是在基板上分别通过透明中间层设置具有信息记录区的数个信息记录层的光信息媒体制造方法，其特征是，设有如下工序，即，向至少形成1层信息记录层的基板上的上述信息记录层形成面上，供给含有紫外线固化型树脂的涂敷液后，使可透过上述紫外线的、而且表面具有凹凸图形的模子与上述涂敷液接触，接着，使基板与模子一起旋转，延展上述涂敷液，形成树脂层，接着，通过模子向树脂层照射上述紫外线，形成复制了上述凹凸图形的透明中间层，

作为上述模子，形成上述凹凸图形的表面至少是用由聚烯烃系树脂或氟树脂构成，

在使模子与上述树脂层接触之前，设有通过照射上述紫外线使上述树脂层不完全固化；

上述透明中间层的最大厚度及最小厚度之差在10μ以下。

8.根据权利要求7的光信息媒体制造方法，其特征是，上述模子的厚度为0.3～1.8mm。

9.根据权利要求7或8的光信息媒体制造方法，其特征是，在减压环境中使上述模子与上述涂敷液接触。

10.根据权利要求1～9中任意一项光信息媒体制造方法，其特征是，上述模子用后舍弃。

11.一种光信息媒体的制造装置，是制造在基板上分别通过透明中间层设置具有信息记录区的数个信息记录层的光信息媒体制造装置，其特征是，具有如下部分，即：

树脂形成部分，在至少形成1层信息记录层的基板的上述信息记录层形成面上，形成含有紫外线固化型树脂的树脂层、

模子接触部分，使表面具有凹凸图形的，可透过上述紫外线，而且，形成凹凸图形的表面至少是用由聚烯烃系树脂或氟树脂构成的模子与树脂层表面接触，

照射部分，通过模子向树脂层照射上述紫外线，

剥离部分，剥离下模子，

在信息记录区上形成的透明中间层，最大厚度和最小厚度之差在10μm以下；

其构成是通过旋转基板，使含有上述紫外线固化型树脂的涂敷液延展，并形成上述树脂层，在涂敷液扩展时，降低基板的旋转速度，并能照射上述紫外线。

12.一种光信息媒体的制造装置，是在具有中心孔的盘状基板上，分别通过透明中间层制造设置具有信息记录区的数个信息记录层的光信息媒体的制造装置，其特征是，

具有树脂层形成部分，在至少形成1层信息记录层的基板上的上述信息记录层形成面上，形成含有紫外线固化型树脂的树脂层，

上述树脂层形成部分具有如下部分，即，具有圆板部分和与该圆板中央处成一体的支撑轴并可对上述中央孔形成闭塞的闭塞部分，将含有紫外线固化型树脂的涂敷液供到上述支撑轴外周面上的涂敷液供给部分，使上述基板与上述闭塞装置一起旋转的旋转部分，

进而具有：接触部分，使表面具有凹凸图形并可透过上述紫外线而且形成凹凸图形的表面至少是用由聚烯烃系树脂或氟树脂构成的模子与树脂层表面接触，照射部分，通过模子向树脂层照射紫外线，

和剥离模子的剥离部分，这些可形成上述透明中间层；

其构成是通过旋转基板，使含有上述紫外线固化型树脂的涂敷液延展，并形成上述树脂层，在涂敷液扩展时，降低基板的旋转速度，并能照射上述紫外线；

上述透明中间层的最大厚度及最小厚度之差在10μ以下。

13.根据权利要求12的光信息媒体制造装置，其特征是，还具有削除装置，在涂敷液延展时，至少削除一部分从基板外围溢出的涂敷液。

14.根据权利要求11～13中任意一项光信息媒体制造装置，其特征是，其构成是在减压环境中可使上述模子与上述树脂层表面接触。

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