TW594397B - Positive photosensitive resin - Google Patents

Description

594397 玖、發明說明（2 ) 當基板尺寸放大至730mmx 920mm時，為節省單位面 積感光性樹脂材料用量，感光性樹脂之塗佈方式由早期的 「迴轉塗佈」改為「流延-迴轉塗佈」。其中「流延-迴轉塗 佈」方式係以流延塗佈（slit coating)的方式先將感光性樹脂 塗佈於基板上，然後再以迴轉方式讓感光性樹脂均勻分佈 在基板上（即流延-迴轉塗佈法，slit-spin process)。此種塗佈 方式的優點是感光性樹脂材料的使用量可大幅降低，原材 料利用率可由迴轉塗佈之10%以下，提高至約20%，不過 基板邊緣殘留極厚之感光性樹脂（edge bead)之缺點仍無法 改善，需要設置基板周邊清洗製程清洗基板邊緣過厚之感 光性樹脂，所以需增加設備投貢成本及清洗液賭料成本’ 且影響整體產能。 而當液晶顯示器使用之基板尺寸邊長大於1 〇〇〇mm時 ，為降低感光性樹脂材料之使用成本，感光性樹脂之塗佈 方式已確定改採”非迴轉塗佈”，即只以流延塗佈法塗佈感 光性樹脂即可，不須再經迴轉塗佈（即所謂不需迴轉塗佈之 流延塗佈法，以下簡稱流延塗佈法，spinless process)，例 如2002年11月號月刊Display(曰文期刊）第36頁中有提及 以流延塗佈生產大型化第五代彩色濾光片基板之製造技術 及裝置，又如2002年6月號電子材料（曰文期刊）第107頁 中亦有提及流延塗佈裝置應用於平面顯示器之基板的塗佈 生產。前述流延塗佈法不需再經迴轉塗佈，其優點為感光 性樹脂材料之使用效率為100%，感光性樹脂材料之購料成 本可降低，基板邊緣不再殘留極厚之感光性樹脂材料，製 7 594397 玖、發明說明（3 ) 造時不須再加設周邊清洗裝置及購買清洗液，故可有效低 製造成本。 然而採用流延塗佈法，仍有線形殘痕、雲狀殘痕過多 、面内塗佈均勻性不佳、邊緣膜厚偏差值高等問題存在， 特別是最近電視、個人電腦等影像面積增大，此種流延塗 佈方式難以確保大型顯示器之晝質均一性。 【發明内容】 本發明之目的在於提供一種構成無水平及垂直線形殘 痕、無雲狀殘痕、面内塗佈均勻性佳，且邊緣膜厚偏差值 低之正型感光性樹脂組成物，該正型感光性樹脂組成物適 合以流延塗佈法塗佈在液晶顯示器之大型基板上。 本發明中所述之正型感光性樹脂組成物中，係由（A)鹼 可溶性樹脂；（B)鄰萘醌二疊氮磺酸類之酯化物，以及（C) 溶劑所組成。 其中，該感光性樹脂組成物於25°C所測得之黏度介於 2.0〜5.Ocps，固形份含量介於6〜16重量％ ’且該感光性樹脂 組成物與大型基板之接觸角在25度以下。 (A)鹼可溶性樹脂 本發明所使用之鹼可溶性樹脂（A)乃例如：酚醛清漆 (novolac)樹脂、紛酸（resol)樹脂、丙稀酸系（acrylic)樹脂、 聚乙稀醇（polyvinyl alcohol)、苯乙烯-丙稀酸共聚物 (styrene/acrylic acid 之 copolymer)、經基苯乙稀（hydroxy styrene)的聚合體、聚乙稀經基苯酯（polyvinyl hydroxy benzoate)等，其中較佳為驗可溶性驗盤清漆樹脂。 8 594397 玖、發明說明（4 ) 本發明之鹼可溶性酚醛清漆樹脂，一般係由芳香族羥 基化合物及酸（aldehhyde)類縮合而得。其中芳香族觀基化 合物乃例如：苯紛(phenol)、間-甲盼(m-cresol)、對-曱紛(p-cresol)、鄰-甲紛（o-cresol)、2,3-二甲苯紛（2,3-xylenol)、 2,5-二曱苯盼（2,5-xylenol)、3,5-二曱苯紛（3,5-xylenol)、3,4-二甲苯酚（3,4-xylenol)等二甲酚類（xylenol);間-乙基苯酚 (m-ethyl phenol)、對·乙基苯紛(p-ethyl phenol)、鄰-乙基苯 紛（o_ethyl phenol)、2,3,5-三曱基苯紛（2,3,5-trimethyl phenol)、2,3,5-三乙基苯盼（2,3,5-triethyl phenol)、4-第三丁 基苯紛（4-tert-butyl phenol)、3·第三丁 基苯紛（3_tert-butyl phenol)、2-第三丁 基苯紛（2_tert-butyl phenol)、2-第三 丁基-4-甲基苯盼（2_tert_butyl-4-methylphenol)、2-第三丁基-5-甲 基苯齡(2_tert-butyl -5_methylphenol)、6-第三丁基-3-甲基苯 紛（6-tert-butyl_3-methylphenol)等之烧基苯紛類（alkyl phenol);對-甲氧基苯酴(m-methoxy phenol)、間-甲氧基苯 紛（m-methoxy phenol)、對-乙氧基苯紛（p-ethoxy phenol)、 間-乙氧基苯紛(m-ethoxy phenol)、對丙氧基苯紛(p-propoxy phenol)、間-丙氧基苯盼(m-propoxy phenol)等之烧氧基苯紛 類（alkoxy phenol);鄰-異丙稀基苯盼（o-isopropenyl phenol) 、對-異丙浠基苯紛（p-isopropenyl phenol)、2·曱基-4·異丙 浠基苯紛（2-methyl-4-isopropenyl phenol)、2-乙基-4-異丙稀 基苯齡（2-ethyl-4-isopropenyl phenol)等之異丙烯基苯紛類 (isopropenyl phenol);苯基苯驗(phenyl phenol)之芳基苯驗 類（aryl phenol) ; 4,4’-二經基聯苯（4,4’-dihydroxyphenyl)、 9 594397 玖、發明說明（6 ) 该縮合反應所得之樹脂，以貧溶媒加以溶解，其次再 注入水中加以沉澱。所使用之貧溶媒例如··甲醇（methan〇i) 、乙醇（ethanol)等醇類；丙酮、甲乙酮之酮類；乙二醇乙醚 乙酸酯（ethylene glyC〇l monoethyl ether acetate)、四氫呋喃 (tetrahydrofuran)等 本發明之驗可溶性紛酸清漆樹脂的重量平均分子量一 般為2,000〜20,000，較佳為2,500〜12,000，更佳為 3,000〜8,000，該甲基苯甲醛、間酚醛樹脂之分子量調整可 使用單一之紛酸清漆樹脂，亦可使用兩種或兩種以上不同 分子量之酚醛清漆樹脂來達成。 但醌二疊氱碏酴類之酯化物 本發明基本組成之(B)成分的感光性物質，係使用鄰萘 酉昆二疊氮磺酸之酯化物，該酯化物沒有特別的限制，可選 用經常使用者，較佳者有：鄰萘醌二疊氮_5_磺酸、鄰萘醌 二疊氮-4-磺酸、鄰萘醌二疊氮_心磺酸等之鄰萘醌二疊氮磺 酸與羥基化合物的酯化物，更佳者為上述鄰萘醌二疊氮磺 酸與多元羥基化合物的酯化物。上述化合物可完全酯化或 部份_化，前述羥基化合物之種類如下所列。 (一） 經基苯甲酮類，例如：2,3,4-三羥基苯甲酮、 2,4,4’-三羥基苯甲酮、2,4,6_三羥基苯甲酮、2,3,4,4，_四羥基 苯甲酮、2,2’，4,4、四羥基苯甲酮、2,3，，4,4，，6-五羥基苯曱酮 、2,2’，3,4,4’-五羥基苯曱酮、2,2，，3,4,5，-五羥基苯曱酮、 2,3’，4,5,5’-五羥基苯甲酮、2,3,3，，4,4，，5，_六羥基苯曱@同等。 (二) 一般式（I ) 11 594397 玫、發明說明（7 ) R31

上式中R4〜R6為氫原子或低級之烷基（alkyl)，R7〜R12為 氫原子、鹵素原子、低級之烧基、低級之烧氧基（alkoxy)、 低級之脂烯基（alkenyl)以及環烧基（cycloalkyl)，R13及R14 為氳原子、鹵素原子及低級之烷基，X’、y’及z’為1〜3的整 婁丈，η為0或1。上式經基芳基化合物之具體例如：三（4_經 基苯基）甲烷、雙（4-羥基-3,5-二曱基苯基）-4-羥基苯基曱烷 、雙（4-羥基-3,5-二甲基苯基）-3-羥基苯基甲烷、雙（4-羥基- 3.5- 二曱基苯基）-2-羥基苯基甲烷、雙（4-羥基-2,5-二甲基苯 基）-4_經基苯基甲烧、雙（4-¾基-2,5-二曱基苯基）-3-¾基苯 基甲烷、雙（4-羥基-2,5-二甲基苯基）-2-羥基苯基甲烷、雙 (4-羥基-3,5-二甲基苯基）-3,4-二羥基苯基甲烷、雙（4-羥基- 2.5- 二曱基苯基）-3,4-二羥基苯基曱烷、雙（4-羥基-3,5·二甲 基苯基）-2,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二曱基苯基）-2,4-二备基苯基甲烧、雙(4-經基苯基)-3 -甲氧基-4-經基苯基 甲烧、雙（3-¾己基-4-經基苯基）-3-组基苯基甲烧、雙（3-¾ 己基- 4-¾基苯基）-2 -輕基苯基甲烧、雙（3-¾己基- 4-¾基苯 基）-4-羥基苯基甲烷、雙（3-環己基-4-羥基-6-甲基芳基)-2-羥 基苯基曱烧、雙（3-¾己基-4-經基-6-甲基苯基）-3 -經基苯基 12 594397 玖、發明說明（8 ) 甲烷、雙（3-環己基-4-羥基-6-曱基苯基）-4-羥基苯基甲烷、 雙（3-¾己基-4-經基-6_甲基苯基）-3,4-二控基苯基甲烧、雙 (3-¾己基- 6-¾基苯基）-3-¾基苯基甲烧、雙（3-¾己基-6-經 基苯基）-4 -經基苯基甲烧、雙（3-ί哀己基- 6-¾基苯基）-2-¾基 苯基曱烧、雙（3-¾己基-6-經基-4-甲基苯基）-2-¾基苯基甲 烧、雙（3-¾己基- 6-¾基-4-甲基苯基）-4 -經基苯基甲烧、雙 (3-壞己基-6-經基-4-曱基苯基）-3，4 -二控基苯基甲烧、1 -[ 1 _ (4-羥基苯基）異丙基]-4-[1，1·雙（4-羥基苯基）乙基]苯、1_[1-(3 -甲基-4-經基苯基）異丙基]-4-[1，1-雙（3 -曱基-4 -經基苯基) 乙基]苯。 (三）一般式（Π)

R (0Η) CI η (Η0)

R 上式中之R15及R16為氫原子或低級烷基，X”及y”為 1〜3的整數，上式之（羥基苯基）烴類之具體例如：2-(2,3,4-二控基苯基）-2-(2’，3’，4’-二經基苯基）丙烧、2-(2,4-二控基苯 基）-2-(2’，4’-二技基苯基）丙烧、2-(4-¾基苯基）-2-(4’-輕基苯 基）丙烷、雙(2,3,4-三羥基苯基）甲烷、雙（2,4-二羥基苯基）甲 烷等。 (四）其他芳香族羥基化合物類乃例如··苯酚、對-曱氧 基苯酚、二甲基苯酚、對苯二酚、萘酚(naphthol)、鄰苯二 酉分（pyrocatechol)、1，2,3-苯三紛曱醚（pyrogallol monomethyl 13 594397 玖、發明說明（9 ) ether)、1，2,3 -苯三紛-1，3-二曱基醚（pyrogallol-l，3-dimethyl ether)、3，4,5-三經基苯曱酸（gallic acid)、部份酉旨化或部份 醚化之3,4,5-三羥基苯曱酸等。前述羥基化合物以2,3,4-三 羥基二苯甲酮、2,3,4,4’-四羥氧基二苯甲酮為較佳。前述羥 基化合物可單獨使用或混合數種使用。 本發明樹脂組成物中的感光性物質鄰萘醌二疊氮磺酸 類之酯化物（B)可使用含有醌二疊氮基的化合物，例如：鄰 萘醌二疊氮-4(或5)磺酸鹵鹽與上述（一）〜(四）的羥基化合物 經過縮合反應，可完全S旨化或部份酯化而得，前述縮合反 應通常係在二氧雜環己烧（dioxane)、N_吼硌烧酮（N-pyrrolidone)、乙酰胺（acetamide)等有機溶媒中進行，同時 在三乙醇胺（triethanolamine)、驗金屬碳酸鹽或驗金屬碳酸 氳鹽等驗基性縮合劑存在下進行較有利。 此時，相對於羥基化合物中，羥基合計莫爾％而言， 較佳為50莫爾％以上，最佳是在60莫爾％以上與鄰萘醌二 疊氮-4(或5)磺酸鹵鹽縮合而成酯化物，亦即酯化度在50% 以上，最好是在60%以上。 相對於100重量份之鹼可溶性樹脂（A)，本發明之鄰萘 醌二疊氮磺酸類之酯化物（B)的使用量為1〜100重量份，較 佳是在10〜50重量份。 (C)溶劍 本發明所使用之溶劑需選用較易和其他有機成分互相 溶解之有機溶劑。該溶劑於25 °C下飽和蒸氣壓較佳係 5.0mmHg以下，更佳為4.5mmHg以下，最佳為4.0mmHg 14 594397 玖、發明說明（10) 以下。若該溶劑於25 °c下飽和蒸氣壓5.0mmHg以下，則 於大型基板塗佈後，雲狀殘痕較不易生成。 在測定飽和蒸氣壓時，可使用一般常見的許多方法， 就本發明而a ’以条散法（氣體流通法）較能正確測定。 以100重量份驗可溶性樹脂（A)為基準，本發明感光性 樹脂組成物之溶劑（C)的使用量較佳為700-2000重量份，更 佳為900-1800重量份。

本發明之溶劑（C)可選自：醚類系或酯類系，其中醚類 系如：乙二醇glycol monopropyl ether)、二甘 醇二甲醚（diethylene glycol dimethyl ether)、乙二醇曱醚 (ethylene glycol monomethyl ether)、乙二醇乙醚（ethylene glycol monoethyl ether)、二甘醇曱醚（diethylene glycol monomethyl ether)、二甘醇乙鍵（diethylene glycol monoethyl ether)、二甘醇丁醚（diethylene glycol monobutyl ether)。而 酉旨類系如：乙酸甲氧基乙面旨（methyl cellosolve acetate)、乙 酸乙氧基乙酉旨（ethyl cellosolve acetate)、丙二醇單甲醚醋酸 酉旨（propylene glycol monomethyl ether acetate)、丙二醇乙醚 醋酸i旨（propylene glycol ethyl ether acetate)、丙二醇丙醚醋 酸酉旨（propylene glycol propyl ether acetate)以及乳酸乙醋 (ethyl lactate)等。前述溶劑可一種單獨使用或併用2種或2 種以上。前述溶劑中，以丙二醇單甲醚醋酸醋以及乳酸乙 酉旨較佳。 本發明之正型感光性樹脂組成物，可進一步添加芳香 族羥基化合物，以調整組成物之感度或黏度。適合於本發 15 594397 玖、發明說明（11 ) 明之芳香族羥基化合物之具體的實例乃例如··日本本州化 學工業株式會社商品名 TPPA-1000P、TPPA-1100-2C、 TPPA-1100-3C、TPPA_1100-4C、TPPA_1200-24X、TPPA-1200-26X、TPPA-1300-235T、TPPA-1600-3M6C、TPPA-MF 等市售品，其中以商品名TPPA-1600-3M6C、TPPA-MF之 商品為較佳，其可單獨或合併使用。以100重量份之鹼可 溶性樹脂（A)作基準，該芳香族羥基化合物之用量一般為 0〜20重量份，較佳為〇.5〜18重量份，更佳為1.0〜15重量 份。 本發明之正型感光性樹脂組成物，可進一步添加密著 助劑、表面平坦劑、稀釋劑以及相容性佳之染料，其中， 可作為本發明之密著助劑者乃例如：三聚氰胺（melamine)化 合物及矽烷系化合物，作用在於增加正型感光性樹脂組成 物與附著基板間的密著性，其中三聚氰胺之具體實例如： 市售之：Cymel-300,303(三井公司製造）、1^界-30“11、1^\¥-30、MS-11、MS-001、MX-750、MX-706(三和 chemical)等 。而矽烷（silane)系化合物之具體例如：乙烯基三甲氧基矽 烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三（2-甲氧基乙氧基）矽烷 、N-(2-氨基乙基）-3_氨基丙基曱基二甲氧基矽烷、N-(2-氨 基乙基）-3•氨基丙基三曱氧基矽烷、3_氨基丙基三乙氧基矽 烧、3-環氧丙醇丙基三甲氧基矽烷、3_環氧丙醇丙基曱基二 甲氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己基）乙基三甲氧基矽烷、3-氯 丙基甲基二甲氧基矽烷、3-氯丙基三曱氧基矽烷、3-甲基丙 烯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-硫醇基丙基三甲氧基矽烷等 16 594397 玖、發明說明（13) 上述黏度之測定方式，係將正型感光性樹脂組成物置於 5〇ml燒杯中，再將燒杯置於25t：之水浴，恆溫後以震動式黏 度計（山一電機製，型號VM200T3)測定其黏度值。本發明中 ，黏度可藉由鹼可溶性樹脂（A)之分子量以及鹼可溶性樹脂 (A)、溶劑（c)之種類或含量以及其他添加劑等調整之。 本舍明之正型感光性樹脂組成物的固形份範圍為6〜16 重量％，較佳為7〜15重量％，更佳為8〜14重量％。若固形 份小於6重量％，塗佈後易產生雲狀殘痕，且面内塗佈均勻 性不佳；若固形份大於16重量％，塗佈後易生成線形殘痕 。上述固形份的測定方式，係以加熱法測定。本發明中固 形份可藉由溶劑（C)、鄰萘醌二疊氮磺酸類之酯化物、鹼 可溶性樹脂（A)的種類或含量以及添加劑等來調整。 本赉明之正型感光性樹脂組成物與大型基板之接觸角 一般需在25度以下，較佳介於5〜23度，更佳介於7〜21度 。若接觸角大於25度，因塗佈性差，易造成面内塗佈均勻 性變差，邊緣膜厚偏差值過高，尤其是7〜21度之範圍内 ，較不易產生邊緣膜厚偏薄之現象。上述接觸角之測定方 法，係將組成物滴在大型素玻璃基板上，並以接觸計（協和 界面科學股份有限公司製CA—VP150型接觸角計）使用 Sessile Drop Method測定3〇秒後之接觸角。本發明中該接 觸角可藉由溶劑（C)的選擇、驗可溶性樹脂（A)之種類以及添 加適當的界面活性劑或其他添加劑（如稀釋劑）來調整。 在製造時，本發明之正型感光性樹脂組成物的使用方 法，疋將鹼可溶性樹脂（A)、鄰萘醌二疊氮磺酸類之酯化物 18 594397 玖、發明說明（14 ) (B)、溶劑（C)於攪拌器中均勻混合成溶液狀態，必要時可同 時加入密著助劑、界面活性劑、稀釋劑、相容性佳之染料 、可塑劑、t疋劑等。最後以流延塗佈的方式將該組成物 塗佈在大型基板上。塗佈後以預烤（prebake)方式將溶劑去 除而形成感光性組成物層。預烤之條件，依各成分之種類 ，配合比率而異，通常為溫度在90〜11〇。(3間，進行i分鐘_ 10分鐘。預烤後，該感光性樹脂組成物層介於所指定之光 罩（mask)間，以步進機（如Nikon 1755G7A)進行曝光，再於 23士2 C浸潰於顯影液30秒-5分鐘進行顯影，不要之部分除 去而形成圖案。曝光使用之光線：可為g線、h線、丨線等 之紫外線為佳，而紫外線裝置可為（超）高水銀燈及金屬鹵素 燈。 上述大型基板舉例而言係指：用於液晶顯示裝置等之 無驗玻璃、納#5玻璃、硬質玻璃（派勒斯玻璃）、石英玻璃及 於此等玻璃上附著透明導電膜者，或用於固體攝影裝置等 之光電變換裝置基板（如石夕基板）等等。本發明所述之大型基 板係指：基板之至少一邊的邊長為8〇〇釐米或8〇〇釐米以 上，較佳係指至少一邊長為1000釐米或1000釐米以上。 再者’顯影液係使用如0.1〜5重量％之四甲基氫氧化鐘 (tetra methyl ammonium hydroxide)、碳酸鈉（Na2C03)、碳酸 氫鈉（Na2HC03)、氫氧化鈉（NaOH)、氫氧化鉀（KOH)等。且 使用此等鹼性水溶液所構成之顯影液時，一般係於顯像後 再以水洗淨。其次，再以壓縮空氣或壓縮氮氣將圖案風乾 後’再以熱板或烘箱等加熱裝置作最後之加熱處理。所定 19 594397 玖、發明說明（16 ) 11 OOmmx 960mm之大型玻璃基板上，然後在85 °C溫度 下預烤5分鐘，形成預烤塗膜，在鈉燈下，目視檢查是 否有“塗佈雲狀殘痕”之現象。其形狀如圖一所示。 〇：無雲狀殘痕 △:稍微有雲狀殘痕，但不明顯 X:有雲狀殘痕 1100 mm 模頭相對於基板的移動方向 開始端 _^ 雲狀殘痕

圖一 (7)面内塗佈均勻性：以流延塗佈方式將感光性樹脂組成物塗佈 在llOOmmx 960mm之大型玻璃基板上，然後在85 °C溫度 下預烤5分鐘，形成預烤塗膜，再以Tencor α-step觸針式 測定儀量測膜厚，測定點如下列圖二所示。 21 594397 玖、發明說明（17 ) 1100mm 流延塗佈方向

末端 960mm

膜厚 FT(avg)為以下（x，y)=(240,275)，（480,275)，（720,275)， (240,550)，（480,550)，（720,550)，（240,825)，（480,825)， (720,825)共9點膜厚之平均值。 膜厚FT(x，y)max為9點膜厚之最大值。 膜厚FT(x，y)min為9點膜厚之最小值。 面内塗佈均勻性可以下列公式判斷

FT(x，y)max-FT(x，y)min --- χΙΟΟ% 2 xFT(avg) 〇：低於3% △:介於3〜5% X :高於5% (8)邊緣膜厚偏差值：同（7)面内塗佈均勻性操作 〇：| (FT(edge)- FT(avg))/F7(avg) | X 100%<3% 22 594397 玖、發明說明（18) △ : | (FT(edge)- FT(avg))/FT(avg) | X 100% 介於 3〜5% X · | (FT(edge)- FT(avg))/FT(avg) | x 100%>5% FT(edge)基板邊緣膜厚為（x，y)= (10,550)之膜厚 【合成例】鹼可溶性樹脂之合成 合成例a 將間-曱酚及對-甲酚以50 : 50的重量比加以混合，然 後加入曱醛，並以草酸作為觸媒，以常法進行縮合聚合反 應，且調整適當的聚合度，即可得重量平均分子量為5,230 之驗可溶性樹脂a。 合成例b 同合成例a的方法，不同之處乃將間-曱酚及對-曱酚之 重量比調整為30 : 70，即可製得重量平均分子量2，180之 驗可溶性樹脂b。 合成例c 同合成例a的方法，不同之處乃將間-甲酚及對_甲酚之 重量比調整為70 : 30，即可製得重量平均分子量8,450之 驗可溶性樹脂c。 合成例d 將鄰-曱酚、間-甲酚及對-曱酚以5 ·· 45 ·· 50的重量比 加以混合，然後加入甲醛，並以草酸作為觸媒，以常法進 行縮合聚合反應，且調整適當的聚合度，即可得到重量平 均分子量為5,382之鹼可溶性樹脂d。 【實施例及比較例】 實施例1 23 594397 玖、發明說明（20 ) 劑之混合比率及用量，配方及評價結果載於表一。 准以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不 能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專丨 範圍及發明說明書内容所作之簡單的等效變化與修飾，= 應仍屬本發明專利涵蓋之範圍内。 # 表一：本發明各實施例及比較例的組成及評價纟士果 25

Claims (1)

1. 594397

   第92102285號發明申請案之説明書修正頁 拾、申請專利範圔 1、 一種正型感光性樹脂組成物，其係以流延塗佈的方式塗 佈在液晶顯示器大型基板上，包含： (1) 鹼可溶性樹脂（A); (2) 鄰秦酿二豐氮續酸類之|旨化物（B);及 (3) 溶劑（C); 其中’該感光性樹脂組成物於25°C所測得之黏度 介於2.0〜5.〇cps，固形份含量介於6〜16重量％，且該 感光性樹脂組成物與大型基板之接觸角25度以下。 2、 依據^專利範圍第丨項所狀正型感光⑽脂組成物 ’其中，☆劑（C)於25°C之飽和蒸氣壓係 5mm-Hg以下 依據申請專利簕4 y丄、 视固弟1項所述之正型感光性樹脂組成物 /、中該感光性樹脂組成物於25°C所測得之黏度介於 2.2〜4.8cps〇 依據申明專利祀圍第1項所述之正型感光性樹腊組成」 中/、固形份含量介於7〜15重量％。 5、依據申請專利範圚货 &_第1項所述之正型感光性樹脂組成〗 八中°亥感光性樹脂組成物與大型基板之接觸角介; $〜23度。 27