TW594397B - Positive photosensitive resin - Google Patents
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594397 玖、發明說明(2 ) 當基板尺寸放大至730mmx 920mm時,為節省單位面 積感光性樹脂材料用量,感光性樹脂之塗佈方式由早期的 「迴轉塗佈」改為「流延-迴轉塗佈」。其中「流延-迴轉塗 佈」方式係以流延塗佈(slit coating)的方式先將感光性樹脂 塗佈於基板上,然後再以迴轉方式讓感光性樹脂均勻分佈 在基板上(即流延-迴轉塗佈法,slit-spin process)。此種塗佈 方式的優點是感光性樹脂材料的使用量可大幅降低,原材 料利用率可由迴轉塗佈之10%以下,提高至約20%,不過 基板邊緣殘留極厚之感光性樹脂(edge bead)之缺點仍無法 改善,需要設置基板周邊清洗製程清洗基板邊緣過厚之感 光性樹脂,所以需增加設備投貢成本及清洗液賭料成本’ 且影響整體產能。 而當液晶顯示器使用之基板尺寸邊長大於1 〇〇〇mm時 ,為降低感光性樹脂材料之使用成本,感光性樹脂之塗佈 方式已確定改採”非迴轉塗佈”,即只以流延塗佈法塗佈感 光性樹脂即可,不須再經迴轉塗佈(即所謂不需迴轉塗佈之 流延塗佈法,以下簡稱流延塗佈法,spinless process),例 如2002年11月號月刊Display(曰文期刊)第36頁中有提及 以流延塗佈生產大型化第五代彩色濾光片基板之製造技術 及裝置,又如2002年6月號電子材料(曰文期刊)第107頁 中亦有提及流延塗佈裝置應用於平面顯示器之基板的塗佈 生產。前述流延塗佈法不需再經迴轉塗佈,其優點為感光 性樹脂材料之使用效率為100%,感光性樹脂材料之購料成 本可降低,基板邊緣不再殘留極厚之感光性樹脂材料,製 7 594397 玖、發明說明(3 ) 造時不須再加設周邊清洗裝置及購買清洗液,故可有效低 製造成本。 然而採用流延塗佈法,仍有線形殘痕、雲狀殘痕過多 、面内塗佈均勻性不佳、邊緣膜厚偏差值高等問題存在, 特別是最近電視、個人電腦等影像面積增大,此種流延塗 佈方式難以確保大型顯示器之晝質均一性。 【發明内容】 本發明之目的在於提供一種構成無水平及垂直線形殘 痕、無雲狀殘痕、面内塗佈均勻性佳,且邊緣膜厚偏差值 低之正型感光性樹脂組成物,該正型感光性樹脂組成物適 合以流延塗佈法塗佈在液晶顯示器之大型基板上。 本發明中所述之正型感光性樹脂組成物中,係由(A)鹼 可溶性樹脂;(B)鄰萘醌二疊氮磺酸類之酯化物,以及(C) 溶劑所組成。 其中,該感光性樹脂組成物於25°C所測得之黏度介於 2.0〜5.Ocps,固形份含量介於6〜16重量% ’且該感光性樹脂 組成物與大型基板之接觸角在25度以下。 (A)鹼可溶性樹脂 本發明所使用之鹼可溶性樹脂(A)乃例如:酚醛清漆 (novolac)樹脂、紛酸(resol)樹脂、丙稀酸系(acrylic)樹脂、 聚乙稀醇(polyvinyl alcohol)、苯乙烯-丙稀酸共聚物 (styrene/acrylic acid 之 copolymer)、經基苯乙稀(hydroxy styrene)的聚合體、聚乙稀經基苯酯(polyvinyl hydroxy benzoate)等,其中較佳為驗可溶性驗盤清漆樹脂。 8 594397 玖、發明說明(4 ) 本發明之鹼可溶性酚醛清漆樹脂,一般係由芳香族羥 基化合物及酸(aldehhyde)類縮合而得。其中芳香族觀基化 合物乃例如:苯紛(phenol)、間-甲盼(m-cresol)、對-曱紛(p-cresol)、鄰-甲紛(o-cresol)、2,3-二甲苯紛(2,3-xylenol)、 2,5-二曱苯盼(2,5-xylenol)、3,5-二曱苯紛(3,5-xylenol)、3,4-二甲苯酚(3,4-xylenol)等二甲酚類(xylenol);間-乙基苯酚 (m-ethyl phenol)、對·乙基苯紛(p-ethyl phenol)、鄰-乙基苯 紛(o_ethyl phenol)、2,3,5-三曱基苯紛(2,3,5-trimethyl phenol)、2,3,5-三乙基苯盼(2,3,5-triethyl phenol)、4-第三丁 基苯紛(4-tert-butyl phenol)、3·第三丁 基苯紛(3_tert-butyl phenol)、2-第三丁 基苯紛(2_tert-butyl phenol)、2-第三 丁基-4-甲基苯盼(2_tert_butyl-4-methylphenol)、2-第三丁基-5-甲 基苯齡(2_tert-butyl -5_methylphenol)、6-第三丁基-3-甲基苯 紛(6-tert-butyl_3-methylphenol)等之烧基苯紛類(alkyl phenol);對-甲氧基苯酴(m-methoxy phenol)、間-甲氧基苯 紛(m-methoxy phenol)、對-乙氧基苯紛(p-ethoxy phenol)、 間-乙氧基苯紛(m-ethoxy phenol)、對丙氧基苯紛(p-propoxy phenol)、間-丙氧基苯盼(m-propoxy phenol)等之烧氧基苯紛 類(alkoxy phenol);鄰-異丙稀基苯盼(o-isopropenyl phenol) 、對-異丙浠基苯紛(p-isopropenyl phenol)、2·曱基-4·異丙 浠基苯紛(2-methyl-4-isopropenyl phenol)、2-乙基-4-異丙稀 基苯齡(2-ethyl-4-isopropenyl phenol)等之異丙烯基苯紛類 (isopropenyl phenol);苯基苯驗(phenyl phenol)之芳基苯驗 類(aryl phenol) ; 4,4’-二經基聯苯(4,4’-dihydroxyphenyl)、 9 594397 玖、發明說明(6 ) 该縮合反應所得之樹脂,以貧溶媒加以溶解,其次再 注入水中加以沉澱。所使用之貧溶媒例如··甲醇(methan〇i) 、乙醇(ethanol)等醇類;丙酮、甲乙酮之酮類;乙二醇乙醚 乙酸酯(ethylene glyC〇l monoethyl ether acetate)、四氫呋喃 (tetrahydrofuran)等 本發明之驗可溶性紛酸清漆樹脂的重量平均分子量一 般為2,000〜20,000,較佳為2,500〜12,000,更佳為 3,000〜8,000,該甲基苯甲醛、間酚醛樹脂之分子量調整可 使用單一之紛酸清漆樹脂,亦可使用兩種或兩種以上不同 分子量之酚醛清漆樹脂來達成。 但醌二疊氱碏酴類之酯化物 本發明基本組成之(B)成分的感光性物質,係使用鄰萘 酉昆二疊氮磺酸之酯化物,該酯化物沒有特別的限制,可選 用經常使用者,較佳者有:鄰萘醌二疊氮_5_磺酸、鄰萘醌 二疊氮-4-磺酸、鄰萘醌二疊氮_心磺酸等之鄰萘醌二疊氮磺 酸與羥基化合物的酯化物,更佳者為上述鄰萘醌二疊氮磺 酸與多元羥基化合物的酯化物。上述化合物可完全酯化或 部份_化,前述羥基化合物之種類如下所列。 (一) 經基苯甲酮類,例如:2,3,4-三羥基苯甲酮、 2,4,4’-三羥基苯甲酮、2,4,6_三羥基苯甲酮、2,3,4,4,_四羥基 苯甲酮、2,2’,4,4、四羥基苯甲酮、2,3,,4,4,,6-五羥基苯曱酮 、2,2’,3,4,4’-五羥基苯曱酮、2,2,,3,4,5,-五羥基苯曱酮、 2,3’,4,5,5’-五羥基苯甲酮、2,3,3,,4,4,,5,_六羥基苯曱@同等。 (二) 一般式(I ) 11 594397 玫、發明說明(7 ) R31
上式中R4〜R6為氫原子或低級之烷基(alkyl),R7〜R12為 氫原子、鹵素原子、低級之烧基、低級之烧氧基(alkoxy)、 低級之脂烯基(alkenyl)以及環烧基(cycloalkyl),R13及R14 為氳原子、鹵素原子及低級之烷基,X’、y’及z’為1〜3的整 婁丈,η為0或1。上式經基芳基化合物之具體例如:三(4_經 基苯基)甲烷、雙(4-羥基-3,5-二曱基苯基)-4-羥基苯基曱烷 、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基- 3.5- 二曱基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯 基)-4_經基苯基甲烧、雙(4-¾基-2,5-二曱基苯基)-3-¾基苯 基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙 (4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基- 2.5- 二曱基苯基)-3,4-二羥基苯基曱烷、雙(4-羥基-3,5·二甲 基苯基)-2,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二曱基苯基)-2,4-二备基苯基甲烧、雙(4-經基苯基)-3 -甲氧基-4-經基苯基 甲烧、雙(3-¾己基-4-經基苯基)-3-组基苯基甲烧、雙(3-¾ 己基- 4-¾基苯基)-2 -輕基苯基甲烧、雙(3-¾己基- 4-¾基苯 基)-4-羥基苯基甲烷、雙(3-環己基-4-羥基-6-甲基芳基)-2-羥 基苯基曱烧、雙(3-¾己基-4-經基-6-甲基苯基)-3 -經基苯基 12 594397 玖、發明說明(8 ) 甲烷、雙(3-環己基-4-羥基-6-曱基苯基)-4-羥基苯基甲烷、 雙(3-¾己基-4-經基-6_甲基苯基)-3,4-二控基苯基甲烧、雙 (3-¾己基- 6-¾基苯基)-3-¾基苯基甲烧、雙(3-¾己基-6-經 基苯基)-4 -經基苯基甲烧、雙(3-ί哀己基- 6-¾基苯基)-2-¾基 苯基曱烧、雙(3-¾己基-6-經基-4-甲基苯基)-2-¾基苯基甲 烧、雙(3-¾己基- 6-¾基-4-甲基苯基)-4 -經基苯基甲烧、雙 (3-壞己基-6-經基-4-曱基苯基)-3,4 -二控基苯基甲烧、1 -[ 1 _ (4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1·雙(4-羥基苯基)乙基]苯、1_[1-(3 -甲基-4-經基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(3 -曱基-4 -經基苯基) 乙基]苯。 (三)一般式(Π)
R (0Η) CI η (Η0)
R 上式中之R15及R16為氫原子或低級烷基,X”及y”為 1〜3的整數,上式之(羥基苯基)烴類之具體例如:2-(2,3,4-二控基苯基)-2-(2’,3’,4’-二經基苯基)丙烧、2-(2,4-二控基苯 基)-2-(2’,4’-二技基苯基)丙烧、2-(4-¾基苯基)-2-(4’-輕基苯 基)丙烷、雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷、雙(2,4-二羥基苯基)甲 烷等。 (四)其他芳香族羥基化合物類乃例如··苯酚、對-曱氧 基苯酚、二甲基苯酚、對苯二酚、萘酚(naphthol)、鄰苯二 酉分(pyrocatechol)、1,2,3-苯三紛曱醚(pyrogallol monomethyl 13 594397 玖、發明說明(9 ) ether)、1,2,3 -苯三紛-1,3-二曱基醚(pyrogallol-l,3-dimethyl ether)、3,4,5-三經基苯曱酸(gallic acid)、部份酉旨化或部份 醚化之3,4,5-三羥基苯曱酸等。前述羥基化合物以2,3,4-三 羥基二苯甲酮、2,3,4,4’-四羥氧基二苯甲酮為較佳。前述羥 基化合物可單獨使用或混合數種使用。 本發明樹脂組成物中的感光性物質鄰萘醌二疊氮磺酸 類之酯化物(B)可使用含有醌二疊氮基的化合物,例如:鄰 萘醌二疊氮-4(或5)磺酸鹵鹽與上述(一)〜(四)的羥基化合物 經過縮合反應,可完全S旨化或部份酯化而得,前述縮合反 應通常係在二氧雜環己烧(dioxane)、N_吼硌烧酮(N-pyrrolidone)、乙酰胺(acetamide)等有機溶媒中進行,同時 在三乙醇胺(triethanolamine)、驗金屬碳酸鹽或驗金屬碳酸 氳鹽等驗基性縮合劑存在下進行較有利。 此時,相對於羥基化合物中,羥基合計莫爾%而言, 較佳為50莫爾%以上,最佳是在60莫爾%以上與鄰萘醌二 疊氮-4(或5)磺酸鹵鹽縮合而成酯化物,亦即酯化度在50% 以上,最好是在60%以上。 相對於100重量份之鹼可溶性樹脂(A),本發明之鄰萘 醌二疊氮磺酸類之酯化物(B)的使用量為1〜100重量份,較 佳是在10〜50重量份。 (C)溶劍 本發明所使用之溶劑需選用較易和其他有機成分互相 溶解之有機溶劑。該溶劑於25 °C下飽和蒸氣壓較佳係 5.0mmHg以下,更佳為4.5mmHg以下,最佳為4.0mmHg 14 594397 玖、發明說明(10) 以下。若該溶劑於25 °c下飽和蒸氣壓5.0mmHg以下,則 於大型基板塗佈後,雲狀殘痕較不易生成。 在測定飽和蒸氣壓時,可使用一般常見的許多方法, 就本發明而a ’以条散法(氣體流通法)較能正確測定。 以100重量份驗可溶性樹脂(A)為基準,本發明感光性 樹脂組成物之溶劑(C)的使用量較佳為700-2000重量份,更 佳為900-1800重量份。
本發明之溶劑(C)可選自:醚類系或酯類系,其中醚類 系如:乙二醇glycol monopropyl ether)、二甘 醇二甲醚(diethylene glycol dimethyl ether)、乙二醇曱醚 (ethylene glycol monomethyl ether)、乙二醇乙醚(ethylene glycol monoethyl ether)、二甘醇曱醚(diethylene glycol monomethyl ether)、二甘醇乙鍵(diethylene glycol monoethyl ether)、二甘醇丁醚(diethylene glycol monobutyl ether)。而 酉旨類系如:乙酸甲氧基乙面旨(methyl cellosolve acetate)、乙 酸乙氧基乙酉旨(ethyl cellosolve acetate)、丙二醇單甲醚醋酸 酉旨(propylene glycol monomethyl ether acetate)、丙二醇乙醚 醋酸i旨(propylene glycol ethyl ether acetate)、丙二醇丙醚醋 酸酉旨(propylene glycol propyl ether acetate)以及乳酸乙醋 (ethyl lactate)等。前述溶劑可一種單獨使用或併用2種或2 種以上。前述溶劑中,以丙二醇單甲醚醋酸醋以及乳酸乙 酉旨較佳。 本發明之正型感光性樹脂組成物,可進一步添加芳香 族羥基化合物,以調整組成物之感度或黏度。適合於本發 15 594397 玖、發明說明(11 ) 明之芳香族羥基化合物之具體的實例乃例如··日本本州化 學工業株式會社商品名 TPPA-1000P、TPPA-1100-2C、 TPPA-1100-3C、TPPA_1100-4C、TPPA_1200-24X、TPPA-1200-26X、TPPA-1300-235T、TPPA-1600-3M6C、TPPA-MF 等市售品,其中以商品名TPPA-1600-3M6C、TPPA-MF之 商品為較佳,其可單獨或合併使用。以100重量份之鹼可 溶性樹脂(A)作基準,該芳香族羥基化合物之用量一般為 0〜20重量份,較佳為〇.5〜18重量份,更佳為1.0〜15重量 份。 本發明之正型感光性樹脂組成物,可進一步添加密著 助劑、表面平坦劑、稀釋劑以及相容性佳之染料,其中, 可作為本發明之密著助劑者乃例如:三聚氰胺(melamine)化 合物及矽烷系化合物,作用在於增加正型感光性樹脂組成 物與附著基板間的密著性,其中三聚氰胺之具體實例如: 市售之:Cymel-300,303(三井公司製造)、1^界-30“11、1^\¥-30、MS-11、MS-001、MX-750、MX-706(三和 chemical)等 。而矽烷(silane)系化合物之具體例如:乙烯基三甲氧基矽 烷、乙烯基三乙氧基矽烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)矽烷 、N-(2-氨基乙基)-3_氨基丙基曱基二甲氧基矽烷、N-(2-氨 基乙基)-3•氨基丙基三曱氧基矽烷、3_氨基丙基三乙氧基矽 烧、3-環氧丙醇丙基三甲氧基矽烷、3_環氧丙醇丙基曱基二 甲氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷、3-氯 丙基甲基二甲氧基矽烷、3-氯丙基三曱氧基矽烷、3-甲基丙 烯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-硫醇基丙基三甲氧基矽烷等 16 594397 玖、發明說明(13) 上述黏度之測定方式,係將正型感光性樹脂組成物置於 5〇ml燒杯中,再將燒杯置於25t:之水浴,恆溫後以震動式黏 度計(山一電機製,型號VM200T3)測定其黏度值。本發明中 ,黏度可藉由鹼可溶性樹脂(A)之分子量以及鹼可溶性樹脂 (A)、溶劑(c)之種類或含量以及其他添加劑等調整之。 本舍明之正型感光性樹脂組成物的固形份範圍為6〜16 重量%,較佳為7〜15重量%,更佳為8〜14重量%。若固形 份小於6重量%,塗佈後易產生雲狀殘痕,且面内塗佈均勻 性不佳;若固形份大於16重量%,塗佈後易生成線形殘痕 。上述固形份的測定方式,係以加熱法測定。本發明中固 形份可藉由溶劑(C)、鄰萘醌二疊氮磺酸類之酯化物、鹼 可溶性樹脂(A)的種類或含量以及添加劑等來調整。 本赉明之正型感光性樹脂組成物與大型基板之接觸角 一般需在25度以下,較佳介於5〜23度,更佳介於7〜21度 。若接觸角大於25度,因塗佈性差,易造成面内塗佈均勻 性變差,邊緣膜厚偏差值過高,尤其是7〜21度之範圍内 ,較不易產生邊緣膜厚偏薄之現象。上述接觸角之測定方 法,係將組成物滴在大型素玻璃基板上,並以接觸計(協和 界面科學股份有限公司製CA—VP150型接觸角計)使用 Sessile Drop Method測定3〇秒後之接觸角。本發明中該接 觸角可藉由溶劑(C)的選擇、驗可溶性樹脂(A)之種類以及添 加適當的界面活性劑或其他添加劑(如稀釋劑)來調整。 在製造時,本發明之正型感光性樹脂組成物的使用方 法,疋將鹼可溶性樹脂(A)、鄰萘醌二疊氮磺酸類之酯化物 18 594397 玖、發明說明(14 ) (B)、溶劑(C)於攪拌器中均勻混合成溶液狀態,必要時可同 時加入密著助劑、界面活性劑、稀釋劑、相容性佳之染料 、可塑劑、t疋劑等。最後以流延塗佈的方式將該組成物 塗佈在大型基板上。塗佈後以預烤(prebake)方式將溶劑去 除而形成感光性組成物層。預烤之條件,依各成分之種類 ,配合比率而異,通常為溫度在90〜11〇。(3間,進行i分鐘_ 10分鐘。預烤後,該感光性樹脂組成物層介於所指定之光 罩(mask)間,以步進機(如Nikon 1755G7A)進行曝光,再於 23士2 C浸潰於顯影液30秒-5分鐘進行顯影,不要之部分除 去而形成圖案。曝光使用之光線:可為g線、h線、丨線等 之紫外線為佳,而紫外線裝置可為(超)高水銀燈及金屬鹵素 燈。 上述大型基板舉例而言係指:用於液晶顯示裝置等之 無驗玻璃、納#5玻璃、硬質玻璃(派勒斯玻璃)、石英玻璃及 於此等玻璃上附著透明導電膜者,或用於固體攝影裝置等 之光電變換裝置基板(如石夕基板)等等。本發明所述之大型基 板係指:基板之至少一邊的邊長為8〇〇釐米或8〇〇釐米以 上,較佳係指至少一邊長為1000釐米或1000釐米以上。 再者’顯影液係使用如0.1〜5重量%之四甲基氫氧化鐘 (tetra methyl ammonium hydroxide)、碳酸鈉(Na2C03)、碳酸 氫鈉(Na2HC03)、氫氧化鈉(NaOH)、氫氧化鉀(KOH)等。且 使用此等鹼性水溶液所構成之顯影液時,一般係於顯像後 再以水洗淨。其次,再以壓縮空氣或壓縮氮氣將圖案風乾 後’再以熱板或烘箱等加熱裝置作最後之加熱處理。所定 19 594397 玖、發明說明(16 ) 11 OOmmx 960mm之大型玻璃基板上,然後在85 °C溫度 下預烤5分鐘,形成預烤塗膜,在鈉燈下,目視檢查是 否有“塗佈雲狀殘痕”之現象。其形狀如圖一所示。 〇:無雲狀殘痕 △:稍微有雲狀殘痕,但不明顯 X:有雲狀殘痕 1100 mm 模頭相對於基板的移動方向 開始端 _^ 雲狀殘痕
圖一 (7)面内塗佈均勻性:以流延塗佈方式將感光性樹脂組成物塗佈 在llOOmmx 960mm之大型玻璃基板上,然後在85 °C溫度 下預烤5分鐘,形成預烤塗膜,再以Tencor α-step觸針式 測定儀量測膜厚,測定點如下列圖二所示。 21 594397 玖、發明說明(17 ) 1100mm 流延塗佈方向
末端 960mm
膜厚 FT(avg)為以下(x,y)=(240,275),(480,275),(720,275), (240,550),(480,550),(720,550),(240,825),(480,825), (720,825)共9點膜厚之平均值。 膜厚FT(x,y)max為9點膜厚之最大值。 膜厚FT(x,y)min為9點膜厚之最小值。 面内塗佈均勻性可以下列公式判斷
FT(x,y)max-FT(x,y)min --- χΙΟΟ% 2 xFT(avg) 〇:低於3% △:介於3〜5% X :高於5% (8)邊緣膜厚偏差值:同(7)面内塗佈均勻性操作 〇:| (FT(edge)- FT(avg))/F7(avg) | X 100%<3% 22 594397 玖、發明說明(18) △ : | (FT(edge)- FT(avg))/FT(avg) | X 100% 介於 3〜5% X · | (FT(edge)- FT(avg))/FT(avg) | x 100%>5% FT(edge)基板邊緣膜厚為(x,y)= (10,550)之膜厚 【合成例】鹼可溶性樹脂之合成 合成例a 將間-曱酚及對-甲酚以50 : 50的重量比加以混合,然 後加入曱醛,並以草酸作為觸媒,以常法進行縮合聚合反 應,且調整適當的聚合度,即可得重量平均分子量為5,230 之驗可溶性樹脂a。 合成例b 同合成例a的方法,不同之處乃將間-曱酚及對-曱酚之 重量比調整為30 : 70,即可製得重量平均分子量2,180之 驗可溶性樹脂b。 合成例c 同合成例a的方法,不同之處乃將間-甲酚及對_甲酚之 重量比調整為70 : 30,即可製得重量平均分子量8,450之 驗可溶性樹脂c。 合成例d 將鄰-曱酚、間-甲酚及對-曱酚以5 ·· 45 ·· 50的重量比 加以混合,然後加入甲醛,並以草酸作為觸媒,以常法進 行縮合聚合反應,且調整適當的聚合度,即可得到重量平 均分子量為5,382之鹼可溶性樹脂d。 【實施例及比較例】 實施例1 23 594397 玖、發明說明(20 ) 劑之混合比率及用量,配方及評價結果載於表一。 准以上所述者,僅為本發明之較佳實施例而已,當不 能以此限定本發明實施之範圍,即大凡依本發明申請專丨 範圍及發明說明書内容所作之簡單的等效變化與修飾,= 應仍屬本發明專利涵蓋之範圍内。 # 表一:本發明各實施例及比較例的組成及評價纟士果 25
Claims (1)
- 594397第92102285號發明申請案之説明書修正頁 拾、申請專利範圔 1、 一種正型感光性樹脂組成物,其係以流延塗佈的方式塗 佈在液晶顯示器大型基板上,包含: (1) 鹼可溶性樹脂(A); (2) 鄰秦酿二豐氮續酸類之|旨化物(B);及 (3) 溶劑(C); 其中’該感光性樹脂組成物於25°C所測得之黏度 介於2.0〜5.〇cps,固形份含量介於6〜16重量%,且該 感光性樹脂組成物與大型基板之接觸角25度以下。 2、 依據^專利範圍第丨項所狀正型感光⑽脂組成物 ’其中,☆劑(C)於25°C之飽和蒸氣壓係 5mm-Hg以下 依據申請專利簕4 y丄、 视固弟1項所述之正型感光性樹脂組成物 /、中該感光性樹脂組成物於25°C所測得之黏度介於 2.2〜4.8cps〇 依據申明專利祀圍第1項所述之正型感光性樹腊組成」 中/、固形份含量介於7〜15重量%。 5、依據申請專利範圚货 &_第1項所述之正型感光性樹脂組成〗 八中°亥感光性樹脂組成物與大型基板之接觸角介; $〜23度。 27
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