TW592866B - Method of calibrating marking in laser marking system - Google Patents

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Description

592866 五、發明說明（1) 發明所屬之技術領域 本發明是有關於一種使用視像攝影機的雷射標記系統 之標記校準方法’且較特別的是，有關於一種攝影標記 物件時，會考慮先前所儲存的標記誤差的雷射標記系統 之標記校準方法。 先前技#ί 第1圖繪示一個習知的引線框晶片條（lead frame s t r i p )的平面圖。請參考第1圖，在晶片條丨〇上裝配有複 數個晶片1 2，而且字符和/或數字被標記在每一該些晶片 1 2的表面上，用以根據產品批號區別該些晶片1 2。接下 來要說明的使用雷射光束的雷射標記器，被用來當成一 種標記設備使用。其中的識別標籤1 4是用來排列晶片條 10。 使用雷射標記器在晶片條1 〇上標記的標記處理是一個 包含處理晶片條10以改善標記效率的自動處理。 第2圖繪示一個習知的雷射標記系統的示意圖。請參 考第2圖，一個雷射標記系統包括一個包含複數個晶片條 1 0的晶片條供應匣（s t r i p s u ρ ρ 1 y m a g a z i n e ) 2 0 ; —個承 載器（loader)30 ，該承載器30從該供應E20中取出一個 晶片條1 0，並且將該晶片條1 〇載入到一個水平移動台 (horizontal transfer table)22 ; —個用來測量晶片條 10對準狀態（aligned state)的預視攝影機（pre-vision c a m e r· a Μ 0 ;—個將晶片條1 〇在水平移動台2 2上以一方向 移動的步進馬達5 0 ; —個用來將在其下移動的晶片條1 0
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第10頁 592866 五、發明說明（2) 上的複數個晶片標記字符的雷射標記器6 〇 ; 一個用來攝 衫δ玄已標s己晶片條1 〇上的該標記的後視攝影機 (post - vision camera)70 ;以及一個卸載器 (u η 1 〇 a d e r ) 8 0 ，該卸載器8 0將該已標記晶片條丨〇卸載到 一個晶片條收集 E(strip collection magazine)90 。 預視攝影機4 0攝影由承載器3 0放置在水平移動台2 2上 的晶片條1 0。一個本身是一個條片（s t r i p )或是蝕刻線 (e t c h i n g 1 i n e )的識別標籤會成形在晶片條1 〇的一邊 上’以方便識別對準狀恶。預視攝影機4 〇只會導引已對 準晶片條到下一標記處理，並且會跳過未對準晶片條， 以使其可以重新載入到晶片條供應g 2 0或於其上配置。 步進馬達5 0正確地驅動一個驅動臂（a r m ) 5 2，以將晶 片條1 0定位在水平移動台2 2的一個設定位置上，也就是 定位在預視攝影機4 0、雷射標記器6 〇、和後視攝影機7 〇 下方。 第3圖繪示一個雷射標記器的結構圖。請參考第3圖， 笛射4示5己器6 0包括一個雷射震盘器6 1 ; 一個電掃瞒器° 掃 個 (galvano scanner)63，在一預定區域上以χ —γ方向 描雷射光束；以及一個高速掃描導光系統聚焦鏡 (f-theta lens)64，用來在整個標記區域中，成形 入射雷射光束的相同聚焦距離。其中的x反射鏡（χ mirr〇r)63a和y反射鏡（y mirror)63b反射入射的雷射光 束。χ反射鏡63a和y反射鏡6 3b連接到一個驅動驅動器 (driving driver)(未繪示），以根據一個輸入命令變換
592866 五、發明說明（3) 角度。 在下一步驟中，由雷射標記器6 0標記字符的晶片條 1 0，會在後視攝影機7 0下方移動。藉由攝影該晶片條 1 0，後視攝影機7 0會判定標記品質，以跳過不正確標記 的晶片條，並且將正確標記的晶片條藉由卸載器8 0 ，重 新載入晶片條收集匣9 0。 第4圖繪示一個習知的托盤（tray)16和配置在其上的 晶片c的示意圖。請參考第4圖，托盤1 6被分割成數個用 來安置晶片c的小方格（c e 1 1 )，以在其上安置複數個晶片 c。因為每個小方格的尺寸比晶片還大很多，所以當托盤 1 6移動時，晶片會在每個小方格中移動。因此，當晶片 還未對準，而雷射標記器正在標記托盤1 6中的每一該些 晶片c時，每一晶片的標記位置會不同。因此，如果標記 ‘置不固定，則使用者就無法信賴晶片的品質。 當對在晶片條上的晶片執行標記時，藉由使用預視攝 影機，觀察未對準的晶片條，可以提供良好標記。然 而，當使用上述方法標記在托盤中並未與每一該些小方 格對準的晶片時，標記的品質會嚴重惡化。 發明内容 為解決上述和其他問題，本發明提供一種雷射標記系 統之標記校準方法。該方法藉由偵測每一晶片之對準誤 差，以及考慮每一晶片之標記誤差位置以執行標記。 根據本發明的一方面，本發明提供一種雷射標記系統 之標記校準方法。該雷射標記系統包括一個雷射標記
11289pif.ptd 第12頁 592866 五、發明說明（4) 器，當使用複數個視像攝影機觀察在托盤的小方格上的 晶片時，用來執行標記工作，以及一個用來偵測標記誤 差的後視攝影機。該方法包括下列步驟：（a) 指派一個 相關的視像攝影機給每個將觀察的晶片；（b )將視像攝影 機的座標對準雷射標記器的座標；（c )在晶片上或是在一 個與晶片相關的位置上，標記一個預定的第一符號，使 用相關的視像攝影機，觀察選定的第一符號，並且將該 第一符號的一點，學習當成一個參考點；（d )使用相對應 的視像攝影機，觀察該晶片的第一符號和該參考點，並 且相對該參考點，在該晶片上標記一個第二符號；（e )觀 察在一選定晶片上的該第二符號，並且將該第二符號的 一點學習當成一個比較點；以及（f )從晶片上的參考點， 偾測該比較點的位置，並且計算在每一個小方格的標記 誤、差。 步驟（a )更加包括下列子步驟：（a 1 )將一個標記紙 (marking paper)貼在該托盤，或一個與該托盤具有相同 形狀的板子（plate)的表面上，並且將該托盤或板子安置 在視像攝影機下方；（a 2 )使用雷射標記器在每一個小單 位上標記一個點；以及（a 3 )使用視像攝影機搜尋該點， 並且決定觀察每一個小方格的視像攝影機。 該點是每一個小方格的中心點。 步驟（b )更加包括下列子步驟：（b 1 )使用雷射標記器 標記在一個相對應的小單位區域中，相對於該中心點的 複數個角落點（c 〇 r n e r ρ 〇 i n t s );以及（b 2 )使用一個相對
11289pif.ptd 第13頁 592866 五、發明說明（5) 應的視像攝影機，偵測該些角落點的位置，並且將雷射 標記器的座標系統對準相對應的視像攝影機的座標系 統。 在步驟（c )中，當經由一個連接到視像攝影機的顯示 器監視該第一符號時，該第一符號的角落是藉由一個指 向裝置（pointing device)所定位。 在步驟（e )中，當經由一個連接到後視攝影機的顯示 器監視該第二符號時，該第二符號的角落是由一個指向 裝置所定位。 該方法更加包括下列步驟：（g )將包含即將被標記晶 片的托盤，安置在該些視像攝影機下方；（h )使用相對應 的視像攝影機，觀察一個選定晶片，並且學習將該晶片 上的一點當成一個標記參考點；（i )使用相對應的視像攝 影^幾，攝影每個晶片，並且計算每個晶片的對準誤差； 以及（j )藉由相對於每個晶片的標記參考點，修正標記誤 差和對準誤差，而執行標記動作。 在步驟（h )中，當經由一個連接到視像攝影機的顯示 器監視該晶片時，該晶片的角落是由一個指向裝置所定 位。 步驟（i )更加包括下列子步驟：（i 1 )攝影該晶片；以 及（i 2 )測量被攝影影像的標記參考點，與參考影像的標 記參考點之間的X和y偏差（d e v i a t i ο η )，和被攝影影像與 參考影像之間的夾角（inclination)。 為讓本發明之上述和其他目的、特徵、和優點能明顯
11289pif.ptd 第14頁 592866 五、發明說明（6) 易懂，下文特舉一較佳實施例，並配合所附圖式，作詳 細說明如下。 實施方式： 第5圖繪示一個根據本發明一較佳實施例採用一個標 記校準方法的一個雷射標記系統的結構圖。在該圖中， 與習知技藝中所用元件相同的元件使用與其相同的名 稱，而且其詳細說明在此將於省略。 雷射標記系統1 6 0包括一個包含複數個托盤1 1 0的托盤 供應匣1 2 0 ; —個承載器1 3 0，該承載器1 3 0從托盤供應匣 1 2 0中抽取該些托盤1 1 0的其中之一，並且將所收取的托 盤110放在一個水平移動台122上對準；一個步進馬達 1 5 0，該步進馬達1 5 0將托盤1 1 0在水平移動台1 2 2上，以 一方向移動；一個雷射標記器1 6 0，該雷射標記器1 6 0將 在'其下移動的該托盤1 1 〇的一小方格中的每個晶片，標記 一個字符；一個攝影在該已標記托盤1 1 0上的一個標記的 後視攝影機1 7 0 ;以及一個卸載器1 8 0，該卸載器1 8 0將該 已標記托盤1 1 0卸載到一個托盤收集匣1 9 0。此外，該雷 射標記系統更加包括一個控制器1 0 0，用來控制承載器 1 3 0、步進馬達1 5 0、雷射標記器1 6 0、後視攝影機1 7 0、 和卸載器1 8 0。 後視攝影機1 70是一個CCD攝影機。CCD(電荷耦合裝 置）是一個可以將光訊號轉換成電訊號的光電轉換感測 器。入射到後視攝影機1 7 0透鏡的光的強度，首先被記錄 在CCD上。所攝影影像的光會由連接到該CCD的一個RGB色
11289pif.ptd 第15頁 592866 五、發明說明（7) 彩濾波器，分離成不同的顏色。該些分離的顏色會透過 數十萬個對應到每個像素（P i X e 1 )的光電檢測器 (photodetectors)所組成的CCD，轉換成一個電訊號。從 C C D所輸出的類比訊號被轉換成一個0和1所組成的數位訊 號，藉以輸出影像訊號。後視攝影機1 7 0接收來自托盤 110的光，並且產生一個電影像（electric image)訊號。 後視攝影機1 7 0所攝影的影像訊號接下來被傳送到控制器 100 〇 第6圖繪示一個第5圖的雷射標記器的結構圖。請參考 第6圖，雷射標記器160包括一個雷射震盪器161 ; —個電 掃瞄器1 6 3 ; —個高速掃描導光系統聚焦鏡（f — t h e t a 1 e n s ) 1 6 4 ; —個視像攝影機1 6 5，藉由接收來自托盤1 1 〇 中即將被標記的複數個晶片c的光線，以產生一個電影像 訊號；一個光源（1 i gh t) 1 6 7，照射光線到該托盤1 1 〇上； 一個控制器（未繪示），根據從視像攝影機丨6 5所輸出的有 關晶片位置的資訊，控制電掃瞄器丨63的X反射鏡丨63a和7 反射鏡1 6 3 b。 電掃猫器163包括X反射鏡i63a、反射鏡163b、和一個 驅動X反射鏡163a和反射鏡I63b的馬達（未繪示），並且藉 由調整X反射鏡163a和反射鏡i63b的位置，在一預定區域 上，以X - Y方向掃描雷射光束。 南速知描導光系統聚焦鏡（^一 theta lens)164是用來 成形在托盤1 1 0的整個位置中的入射雷射光束的一個相同 聚焦距離。
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第16頁 592866 五、發明說明（8) 視像攝影機1 6 5使用一個像是後視攝影機1 7 0所用的 C C D攝影機。最好可以配置一個或多個視像攝影機1 6 5來 攝影托盤110在與其移動方向相垂直方向上的整個長度。 因此，即將使用的視像攝影機1 6 5的個數是根據托盤1 1 0 的大小和攝影機的視角所決定。舉例來說，當沿著托盤 110移動方向的托盤110的長邊長度是320 mm，與該長邊 垂直方向的短邊長度是150 mm，而且該些視像攝影機165 的視野是1 0 0 X 1 0 0 m m時，如果兩個視像攝影機被配置到 與托盤移動相垂直的方向，則托盤1 1 0藉由步進馬達1 5 0 連續移動四次，就可以使得托盤1 1 0的整個表面被該些攝 影機所攝影。如果沿著移動方向，以2 X 2的方式配置四個 視像攝影機，則藉由步進馬達1 5 0將托盤1 1 0連續移動四 次，就可以覆蓋托盤1 1 0的整個表面。 '當沿著與托盤1 1 〇移動方向相垂直的方向移動時，最 好可以配置一個單一的視像攝影機，來觀察標記狀態。 以下將說明根據本發明使用雷射標記系統的雷射標記 系統之標記校準方法。 第7 A圖和第7 B圖繪示流程圖，用來說明一個根據本發 明的雷射標記系統之標記校準方法。 首先，檢查是否已算出每一個小方格的標記誤差（步 驟1 0 )。當在步驟1 0中判定已算出標記誤差時，使用複數 個視像攝影機1 6 5，例如是四個視像攝影機1 6 5，將被觀 察的晶片指派到該些視像攝影機1 6 5 (步驟1 1 )。 第8圖繪示一個流程圖，用來說明第7 A圖中所示的步
11289pif.ptd 第17頁 592866 五、發明說明（9) 驟1 1的一個較佳實施例1 1 A。 請參考第8圖，一個標記紙被貼在該托盤1 1 0，或與該 托盤1 1 0具有相同形狀的板子的表面上，並且將該托盤 1 1 0或板子安置在視像攝影機1 6 5下方（步驟3 0 )。該標記 紙可以使用其上列印黑色墨水的白紙。最好可以將標記 紙的表面安置在f-theta聚焦鏡164的聚焦長度上。 接下來，雷射標記器1 6 0標記一個點，舉例來說，標 記每一個小方格的中心點（步驟3 2 )。用來觀察每一個小 方格的視像攝影機1 6 5是藉由使用視像攝影機1 6 5搜尋該 中心點所決定（步驟3 4 )。 在步驟1 1之後，將每一該些視像攝影機1 6 5的座標系 統對準雷射標記器1 6 0的座標系統（步驟1 2 )。在上述的對 準步驟中，因為視像攝影機1 6 5所看到的座標單位與雷射 標‘記器1 6 0所看到的座標不同，所以需要對準其座標系 統。 第9圖繪示一個流程圖，用來說明第7 A圖中所示的步 驟1 2的一個較佳實施例1 2 A。 請參考第9圖，雷射標記器1 6 0在一個長方形區域的角 落上標記點，其中該區域對應於該雷射標記器1 6 0的座標 系統在步驟32中相對應中心點的小方格（步驟40 )。 接下來，視像攝影機1 6 5偵測一個選定小方格角落點 的位置，而且在步驟4 2中，視像攝影機1 5 0的座標系統會 對齊雷射標記器1 6 0的座標系統（步驟4 2 )。 在步驟1 2之後，一個預定的第一符號S 1會標記在對應
11289pif.ptd 第18頁 592866 五、發明說明（ίο) 於每一晶片的一位置上。連接到視像攝 不器（未緣示）上的一個相對應的視像‘ := :個=晶”第一符號S1，而且4:==察 ，，會由一個指向裝置（未繪示）定位 θ = “請參考第10圖）。也就是讓該相對應的；V攝 〜械1 6 5學習该參考點P J (步驟1 3 )。 接下來’當該相對應的視像攝影機1 6 5觀察每一個f Γί U由ί尋該第一符號si和該參考點ρι ’對應於 口只多考點P 1 ，才示呂己一個第二符號S 2 (步驟J 4 ) 〇 執行上述標記處理的托盤丨丨〇或板子是在後視攝影機 下方移動’並且由與托盤移動方向相垂直方向移 4視攝影機1/ 0觀察，而且最好可以是一個小方格一個小 、格地依次觀察。操作員在顯示器上觀察該些晶片的其 ，一、’使用指向裝置定位該第二符號s 2的一點，並且 =遠後視攝影機1 7 0學習一個比較點P 2 (步驟丨5 )。 p 接下來’後視攝影機1 7 0偵測每一個小方格的參考點 差和比較點P2 ’以測量比較點p2與參考點pl之間的偏 。接下來’藉由比較所測量的偏差與參考點p丨與比較 二2，卩j的偏差’計算出一個標記誤差，並且將其存在 士 j記憶體（未綠示）中（步驟丨6 )。儲存在記憶體中的標 1°$广差1皮用來修正電掃瞄器1 63的X反射鏡1 63a和丫反射鏡 的調整值’以藉由此修正標記誤差執行標記動作。 般標記誤差計算處理可以應用到晶片是正常地排列在托 现1 1 〇的每一個小方格中，或晶片是成形在一個晶片條上
592866 五、發明說明（11) 的範例。然而，當在托盤1 1 0中的晶片移動時，必須測量 及修正每個晶片的對準誤差。 接下來，在其小方格中包含晶片的托盤1 1 0會被排列 在與步驟3 0相同的位置上（步驟1 7 )。接下來判定是否要 新指派一個標記參考點（步驟1 8 )。當在步驟1 0中判定要 使用先前儲存在記憶體中的每個小方格的標記誤差時’ 執行步驟1 7。 當在步驟1 8中，判定已經指派一個新的標記參考點給 監視被相對應的視像攝影機1 6 5所選出的該晶片時，則指 向裝置會定位該晶片的一點，舉例來說，一個角落點 P 3，以讓將該相對應的視像攝影機1 6 5學習到一個標記參 考點P 3 (步驟1 9 )(請參考第1 1圖）。 接下來，使用相對應的視像攝影機1 6 5攝影每個晶 片x，以計算每一晶片的對準誤差（步驟20)。當在步驟18 中判定要使用先前所儲存的標記參考點P 3時，執行步驟 20 〇 第1 2圖繪示一個流程圖，用來說明第7 B圖中所示的步 驟2 0的一個較佳實施例2 0 A。請參考第1 2圖，視像攝影機 1 6 5攝影每一晶片的位置（步驟5 0 )。 接下來，藉由比較該晶片的一個參考影像（由第1 1圖 中的虛線代表）與所測量的每一晶片的一個影像（由第1 1 圖中的實線代表），測量標記參考點P 3與相對應於標記參 考點P 3的參考影像的一個點P 0的X和y偏差d X和d y，以及 該晶片的一個夾角（9 (步驟5 2 )。
11289pif.ptd 第20頁 592866 五、發明說明（12) 在步驟2 0之後，藉由修正在步驟1 6中所計算的相對應 小方格的標記誤差’和在步驟5 2中所計鼻的母一晶片相 對於每一晶片的標記參考點P 3的對準誤差，執行標記動 作（步驟2 1 )。也就是考慮上述誤差，調整電掃瞄器1 6 3的 X反射鏡1 6 3 a和y反射鏡1 6 3 b，以標記每個晶片。 雖然上述最佳實施例的方法僅說明標記在托盤中小方 格的晶片，本發明同時也可以應用到當成形在晶片條上 的相對應晶片已經標記時，藉由偵測每一晶片的標記誤 差，所執行的標記校準方法。 同時，雖然上述較佳實施例的標記系統的標記校準方 法是使用複數個視像攝影機，本發明也可以應用到使用 單一視像攝影機觀察托盤或晶片條寬度的範例。 如上所述，在根據本發明的雷射標記系統的標記校準 方'法中，在每一個小方格的標記誤差和每一個晶片中的 對準誤差會被測量，而且會控制電掃瞄器，以修正該些 誤差，藉以改善標記品質。 雖然本發明已以一較佳實施例揭露如上，然其並非用 以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之 精神與範圍内，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明 之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
11289pif.ptd 第21頁 592866 圖式簡單說明 第1 圖 繪 示 一 個 習知的引 線框 晶 片 條的平 面圖 。 第2 圖 繪 示 一 個 習知的雷 k射標 記 系 統的示 意圖。 第3 圖 繪 示 一 個 第2圖的 雷射標記 器 的結構圖。 第4 圖 繪 示 一 個 習知的托 >盤和 配 置 在其上 的晶片 的示 意 圖。 第5 圖 繪 不 -- 個 根據本發 ‘明一 較 佳 實施例 採用一 •個標 記 校準 方 法 的 一 個 雷射標記 k糸統 的 結 構圖。 第6 圖 繪 示 一 個 第5圖的 雷射標記 器 的結構圖。 第7 A圖和第7 B圖繪示流 程圖 ，用 來 說明- -個根 據本發 明 的雷 射 標 記 系 統 之標記校 .準方 法 〇 第8 圖 繪 示 一 個 流程圖， 用來 說 明 第7A圖 中所牙 :的步 驟 1 1的 — 個 較 佳 實 施例。 第9 圖 繪 示 —— 個 流程圖， 用來 說 明 第7A圖 中所斥 :的步 驟, i 2的 一 個 較 佳 實 施例。 第1 0 ί 圖繪不- -個用來說 明如何測 量 每一小方格 中的標 記 誤差 的 示 意 圖 〇 第1 1 ί 圖繪示- -個用來說 明如何測 量 在一個晶片 中的對 準 誤差 的 示 意 圖 〇 第1 2 I 圖繪示- -個流程圖 ，用來說 明 第7 B圖中所 示的步 驟2 0的 一 個 較 佳 實 施例。 圖 式標 記 說 明 • 10 •晶 片 條 12 •晶 片 14 :識 別 標 籤
11289pif.ptd 第22頁 592866 圖式簡單說明 1 6，1 1 0 :托盤 2 0 :晶片條供應匣 2 2，1 2 2 :水平移動台 3 0，1 3 0 :承載器 4 0 :預視攝影機 50, 150:步進馬達 5 2 :驅動臂 6 0，1 6 0 :雷射標記器 6 1，1 6 1 :雷射震盪器 6 3，1 6 3 :電掃瞄器 63a，163a :x 反射鏡 63b，163b :y 反射鏡 64,164 :高速掃描導光系統聚焦鏡（f-theta lens) 7 〇\ 1 7 0 :後視攝影機 8 0，1 8 0 :卸載器 9 0 :晶片條收集匣 1 0 0 :控制器 1 2 0 :托盤供應匣 1 6 5 :視像攝影機 1 6 7 :光源 1 9 0 :托盤收集匣 步驟1 0〜1 7 :根據本發明的雷射標記系統之標記校準方法 的步驟 步驟1 8〜2 1 :根據本發明的雷射標記系統之標記校準方法
11289pif.ptd 第23頁 592866 圖式簡單說明 的步驟 步驟3 0〜3 4 :步驟1 1的一個較佳實施例1 1 A的步驟 步驟4 0〜4 2 :步驟1 2的一個較佳實施例1 2 A的步驟 步驟5 0〜5 2 :步驟2 0的一個較佳實施例2 Ο A的步驟 11289pif.ptd 第24頁

Claims (1)

  1. 592866 六、申請專利範圍 1 . 一種雷射標記系統之標記校準方法，其中該雷射標 記系統包括一雷射標記器，在使用複數個視像攝影機， 觀察包含在一托盤中的複數個小方格中的複數個晶片 時，用來執行標記，和一用來债測一標記誤差的後視攝 影機，該方法包括下列步驟： (a )指派一相對應的視像攝影機給將接受觀察的每一 晶片 ， (b )對準該視像攝影機的一座標與該雷射標記器的一 座標； (c )標記一預定的第一符號在一晶片或是在相對應於 該晶片的一位置上，使用該相對應的視像攝影機觀察一 選定的第一符號，並且學習將該第一符號的一點當成一 參考點； >(d )使用該相對應的視像攝影機，觀察該晶片的該第 一符號和該參考點，並且在該晶片上對應於該參考點的 位置，標記一第二符號； (e )觀察在一選定晶片上的該第二符號，並且學習將 該第二符號的一點當成一比較點；以及 (f )從該晶片的該參考點，偵測該比較點的一位置， 並且計算在每一晶片中的該標記誤差。 2 .如申請專利範圍第1項所述之方法，其中該步驟（a) 包括下列子步驟： (a 1 )將一標記紙貼在該托盤或一與該托盤具有相同形 狀的板子的一表面上，並且將該托盤或板子安置在該些
    11289pif.ptd 第25頁 592866 六、申請專利範圍 視像攝影機下方； (a 2 )使用該雷射標記器在每一小單位上標記一點；以 及 (a 3 )使用該些視像攝影機搜尋該點，並且決定觀察每 一小方格的該視像攝影機。 3 .如申請專利範圍第2項所述之方法，其中該點是每 一小方格的一中心點。 4 .如申請專利範圍第3項所述之方法，其中該步驟（b ) 包括下列子步驟： (b 1 )使用該雷射標記器標記在一相對應的小單位區域 中，相對於該中心點的複數個角落點；以及 (b 2 )使用一相對應的視像攝影機，偵測該些角落點的 複、數個位置，並且將該雷射標記器的一座標系統對準該 相>對應的視像攝影機的一座標系統。 5. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中在該步驟 (c)中，當經由一連接到該些視像攝影機的顯示器監視該 第一符號時，該第一符號的一角落是由一指向裝置所定 位。 6. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中在該步驟 (e)中，當經由一連接到該後視攝影機的顯示器監視該第 二符號時，該第二符號的一角落是由一指向裝置所定 位。 7. 如申請專利範圍第4項所述之方法，更加包括下列 步驟：
    11289pif.ptd 第26頁 592866 六、申請專利範圍 (g)將包含該些即將被標記晶片的該托盤，安置在該 些視像攝影機下方； (h )使用該相對應的視像攝影機，觀察一選定的晶 片，並且學習將該晶片上的一點當成一標記參考點； (i )使用該相對應的視像攝影機，攝影每一晶片，並 且計算每一晶片的一對準誤差；以及 (j )藉由相對於每一晶片的該標記參考點，修正該標 記誤差和該對準誤差，而執行標記動作。 8 .如申請專利範圍第7項所述之方法，其中在該步驟 (g )中，該托盤是安置在該步驟（a 1 )中的該板子的一位 置。 9.如申請專利範圍第7項所述之方法，其中在該步驟 (h)中，當經由一連接到該些視像攝影機的顯示器監視該 晶、時，該晶片的一角落是由一指向裝置所定位。 1 0 .如申請專利範圍第7項所述之方法，其中該步驟 (i )包括下列子步驟： (i 1 )攝影該晶片，以及 (i 2 )測量該被攝影影像的該標記參考點，與一參考影 像的該標記參考點之間的X和y偏差，和該被攝影影像與 該參考影像之間的一夾角。
    11289pif.ptd 第27頁
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