JP2013077677A - 描画装置およびその焦点調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】観察光学系80のダミー基板801と観察用カメラ803とを一体的に昇降可能とする。ダミー基板801の上面801aをステージ10上の基板Wの表面Sと略同一の高さに設定し、観察用カメラ803により観察されるダミー基板上面801aでの描画光学像が最も小さくなるように、光学ヘッド40aのフォーカシングレンズ431の位置を調整する。このときの光学ヘッド431とダミー基板上面801aとの距離を基準距離として、オートフォーカス部441,442によるオートフォーカス動作を実行する。
【選択図】図4
Description
20 ステージ移動機構(移動手段)
40a,40b 光学ヘッド(描画手段)
41 光照射部(描画手段)
60 アライメントユニット(位置検出手段)
80 観察光学系(観察手段)
412 レーザ発振器(光源、描画手段)
430 投影光学系(収束光学系、描画手段)
432 フォーカス駆動機構(焦点調整手段)
441 照射部(距離検出手段)
442 受光部(距離検出手段)
801a (ダミー基板801の)上面(観察光学面)
802 基準マスクパターン(基準パターン)
806 観察系昇降機構(観察高さ変更手段)
901 フォーカス制御部(焦点調整手段)
920 観察系制御部(観察高さ変更手段)
S 基板表面
S103 基準設定工程
S106 事前焦点調整工程
S107 記憶工程
S201〜S204 描画時焦点調整工程
W 基板
Claims (12)
- 基板を水平状態に載置可能なステージと、
光源からの光を前記基板表面に略鉛直方向から収束させる収束光学系を有し、収束された光ビームにより前記基板表面に描画する描画手段と、
前記描画手段からの前記光ビームの照射位置を、前記ステージに載置される前記基板に対して水平方向に相対移動させる移動手段と、
前記ステージに載置される前記基板上とは異なる位置で前記光ビームを受光する観察受光面を有し、該観察受光面に入射した光学像を観察する観察手段と、
前記観察受光面の鉛直方向位置を変化させる観察高さ変更手段と、
前記観察高さ変更手段により鉛直方向位置が前記ステージに載置される前記基板表面の鉛直方向位置と略等しく設定された前記観察受光面に対して前記描画手段からの前記光ビームが照射された状態で、前記観察手段により観察される光学像に基づいて前記収束光学系の鉛直方向における焦点位置を調整する焦点調整手段と、
焦点位置が調整された前記収束光学系と前記観察受光面との鉛直方向距離を検出し基準距離として記憶するとともに、前記描画手段による前記基板表面への描画の際に前記収束光学系と前記光ビームが照射される前記基板表面との鉛直方向距離を描画時距離として検出する距離検出手段と
を備え、
前記焦点調整手段は、前記描画手段による前記基板表面への描画の際、前記描画時距離と前記基準距離とに基づいて前記収束光学系の鉛直方向における焦点位置を調整する
ことを特徴とする描画装置。 - 前記観察受光面が前記光ビームに対する透過性を有する材料で形成され、前記観察手段は前記観察受光面の前記光学像を前記光ビームの入射方向とは反対側から観察する請求項1に記載の描画装置。
- 前記距離検出手段は、前記光ビームが照射される前記基板表面に、前記光ビームの入射方向とは異なる方向から光を照射する照射部と、該光が前記基板表面で反射してなる反射光学像を受光する受光部とを備え、前記受光部に受光された前記反射光学像の位置に基づいて前記収束光学系と前記基板表面との距離を検出する請求項1または2に記載の描画装置。
- 前記ステージに載置される前記基板表面に設けられた基準部を撮像して前記基板と前記光ビームの照射位置との水平方向における相対位置を検出する位置検出手段を備え、前記位置検出手段の鉛直方向における焦点位置が、前記基準距離が検出された時の前記観察受光面の鉛直方向位置に一致する請求項1ないし3のいずれかに記載の描画装置。
- 前記観察受光面に、前記位置検出手段の焦点位置を調整するための基準パターンが設けられている請求項4に記載の描画装置。
- 前記収束光学系は鉛直方向に移動可能なフォーカシングレンズを備え、前記焦点調整手段は前記フォーカシングレンズの鉛直方向位置を制御する請求項1ないし5のいずれかに記載の描画装置。
- 基板を水平状態に載置可能なステージと、光源からの光を前記基板表面に略鉛直方向から収束させる収束光学系を有し収束された光ビームにより前記基板表面に描画する描画手段と、前記描画手段からの前記光ビームの照射位置を、前記ステージに載置される前記基板に対して水平方向に相対移動させる移動手段とを有する描画装置の焦点調整方法において、
水平方向位置が前記ステージに載置される前記基板上とは異なり、かつ鉛直方向位置が前記ステージに載置される前記基板表面の鉛直方向位置と略等しい位置に観察受光面を設定する基準設定工程と、
前記観察受光面に入射させた前記光ビームの光学像を観察し、該光学像が最も小さくなるように、前記収束光学系の鉛直方向における焦点位置を調整する事前焦点調整工程と、
焦点位置調整後の前記収束光学系と前記観察受光面との鉛直方向距離を基準距離として記憶する記憶工程と、
前記ステージに載置した前記基板の表面に前記光ビームを照射して描画を行うとともに、該光ビームが照射される前記基板表面と前記収束光学系との鉛直方向距離を検出し、その検出結果と前記基準距離とに基づいて、前記収束光学系の焦点位置を前記基板表面に合わせる描画時焦点調整工程と
を備えることを特徴とする焦点調整方法。 - 前記描画時焦点調整工程では、前記事前調整工程で設定した前記焦点位置を、前記検出結果と前記基準距離との差に対応した距離だけ変更した位置に、前記収束光学系の焦点位置を調整する請求項7に記載の焦点調整方法。
- 前記描画装置が前記ステージに載置される前記基板表面に設けられた基準部を撮像して前記基板と前記光ビームの照射位置との水平方向における相対位置を検出する位置検出手段を備えるものであり、
前記位置検出手段の鉛直方向における焦点位置と、前記基準設定工程で設定される前記観察受光面の鉛直方向位置とを一致させる請求項7または8に記載の焦点調整方法。 - 前記観察受光面に基準パターンを設け、前記位置検出手段により前記基準パターンを撮像してその結果に基づき前記位置検出手段の焦点位置を調整する請求項9に記載の焦点調整方法。
- 前記位置検出手段の鉛直方向における焦点位置を前記基準設定工程で設定される前記観察受光面の鉛直方向位置と一致させたときの、前記位置検出手段と前記観察受光面との距離を記憶する請求項9または10に記載の焦点調整方法。
- 第1の基板に対して前記描画手段による描画を行った後、前記第1の基板と異なる第2の基板に対して前記描画手段による描画を行うとき、
前記第1の基板と前記第2の基板が同じ厚さであれば前記第2の基板に対する前記基準設定工程、前記事前焦点調整工程および前記記憶工程を省略し、前記第1の基板における前記基準距離を用いて前記描画時焦点調整工程を実行する一方、
前記第1の基板と前記第2の基板が異なる厚さであれば前記第2の基板に対して前記基準設定工程、前記事前焦点調整工程、前記記憶工程および前記描画時焦点調整工程を実行する請求項7ないし11のいずれかに記載の焦点調整方法。
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