TW591184B - Fluid control apparatus - Google Patents

Description

591184 五、發明說明（1 ) 發明之領域 本發明是關於一種使用於半導體製造裝置中之流體控制 裝置，特別是關於一種$加熱之流體控制裝置。 先前之技術說明 半導體製造裝置所使用之流體控制裝置具有種種之流體 控制機器配置成多數列，而且相鄰列之流體控制機器之各 流路在預定處所上由機器連接手段所連接而構成。近年來 ，此種之流體控制裝置中，質流控制器或開閉閥已朝向不 須要經由管路而連接之積體化方向發展（例如，參照特開 平9 - 299 96號公告）。第4圖爲顯示其一個例子之平面圖· ，此流體控制裝置具有，無旁通通路之5個線（P1)(P2) (P3)(P4)(P5)，以及有旁通通路之3個線（Q1)(Q2)(Q3)總 計有8個線。無旁通通路之5個線（P1)(P2)(P3)(P4)(P5) 具備有：質流控制器（91)，及經由過濾器（93)而設置在其 入口側之開閉閥（92 )，以及設置在同出口側之開閉閥（94 ) ，而具有旁通通路之3個線（Q1)(Q2)(Q3)具備有：質流 控制器（9 1 )，及經由過濾器（93 )而設置在其入口側之二個 開閉閥（95 )( 96 )，以及設置在同出口側之二個開閉閥 (97 )( 98 )，以及連接質流控制器（9 1 )之入口側連接部及出 口側連接部之具有開閉閥（99a )的旁通配管（99 )。此流體 控制裝置首先以螺栓將塊狀接頭等之接頭元件（圖中未顯 示）進行安裝在一片基板（100)上，其次，使質流控制器、 過濾器、開閉閥等之流體控制機器（ 9 1 )( 92 )( 93 )( 94 )( 95 ) 591184 五、發明說明（2) (96 )( 97 )( 98 )跨騎在這些接頭元件而安裝，因而被組合。 另一方面，在特開平1 0 - 2463 56號中揭示有，以防止結 露及使在常溫下爲液體之流體被氣體化而流動時防止其再 液化爲目的，而設置在此種流體控制裝置上之加熱裝置， 其是由在線之左右兩側的至少一側所配置之帶狀加熱器， 及以螺栓固定在基板之底壁及使帶狀加熱器對接到各流體 控制機器之側壁形成之多數個托架所構成，各托架之底壁 上設有螺栓插通用之孔，各托架被安裝成可自在地調整其 位置。 上述先前之流體控制裝置用加熱裝置中，即使流體控制 裝置之側面從平面看有凸凹之時，帶狀加熱器可沿著各流 體控制機器敷設，因而有不受到凹凸之影響而使流體控制 機器可被均勻地加熱之優點。但是，安裝托架底壁所須要 之部分必須設在基板上之故，使用此加熱裝置之時，流體 控制裝置必須隨著基板而擴大其設置面積。另一方面，爲 了流體控制裝置之積體化，並不希望其設置面積增加，因 而在設置加熱裝置時，有必須極力抑制設置面積增加之問 題。而且，在積體化之流體控制裝置中，線與線之間很狹 窄之故，先前技術之加熱裝置中，有托架被調整位置， 而後在基板上以螺栓鎖住之作業非常麻煩之問題。 發明之扼要說明 本發明之目的在提供一種附加有加熱裝置之流體控制裝 置，其可抑制隨著加熱裝置之附加而使設置面積增加。 591184 五、發明說明（3) 本發明之流體控制裝置，其基部元件上並列地配置有多 數個線，每一個線是由配置在上段之流體控制機器，及配 置在下段之多數個塊狀接頭所形成，其特徵爲：至少在一 條線之兩側上配置有左右帶狀加熱器，這些左右帶狀加熱 器被多個夾件固定在對應之接頭元件上。各夾件是由以預 定間隔而成對向之一對側壁，以及與各側壁之上下之中間 部連結的連結壁所形成，此連結壁在施加與兩側壁之上部 接近方向的力之時，使各側壁之下部隔離，並且在力量被 去除之時，使兩側壁可復歸到原來位置。 連結壁可做成直線狀，亦可在中間部具有至少一個凹凸 。連結壁與側壁是使連結壁對側壁容易變形地互相結合， 而且結合部分之中心最好位於通過側壁之兩面之中心的線 上，因而隨著兩側壁之上部接近，使兩側壁之下部可被隔 離。 依照本發明之流體控制裝置之時，必須加熱之線的兩側 上配置有帶狀加熱器，而且夾件之側壁之上部以手握住， 而付予與其接近方向之力，一方面在各線之所要位置上從 上方插入夾件，其次手從夾件離開，使兩側壁復歸到原來 位置，而使夾件在對應之接頭元件上被固定。因而，可達 成所要之線的加熱。從而，將帶狀加熱器壓住之托架孑必 以螺栓安裝到基板上，作業非常簡單，而且設置面積之增 加只需很少就可以。而且，可在線的上方進行操作之故， 即使線間的間隙狹窄之情況下，加熱裝置也很容易可以設 591184 五、發明說明（4) 置。 各側壁是由略成方形且與帶狀加熱器對接之帶狀加熱器 壓住部、以及從帶狀加熱器壓住部之上面中央向上方延伸 之上方突出部、以及設置在上方突出部之中間部份而略成 L字狀之把手部所形成，各上方突出部之前端部由連結壁 而連結。而且，與上方突出部之前端部連結部分成爲相對 狹窄之面積。因而，把手部以指頭握住時，帶狀加熱器壓 住部打開成”八”字狀，而且產生使此打開狀態復歸到 原來位置所需之彈性力，把手離開時，帶狀加熱器壓住部 將帶狀加熱器壓住到接頭元件。從而，把手部可在不與流 體控制機器產生干涉之位置上容易地被收容，以手指頭握 住夾件之把手部變成很容易。 各夾件最好以金屬薄板製成。各側壁以上述構成之時， 夾件可以一片金屬薄板製成。因而，零件之點數可變成很 少。 連結壁具有水平延伸之本體部，以及設置在本體部之兩 端之屈曲部，屈曲部之前端與上方突出部之前端相結合。 如此，把手部以指頭握住時，帶狀加熱器壓住部很容易地 打開成”八”字狀，而且很容易產生使此打開狀態復歸 到原來位置所需之彈性力。 圖面之簡單說明__ 第1圖爲顯示本發明之流體控制裝置之斜視圖； 第2圖爲夾件之正面圖； 591184 五、發明說明（5) 第3圖爲夾件之側面圖； 第4圖爲顯示先前技術之控制裝置之平面圖。 發明之鮫佳實施例之詳細說明 本發明之實施例將參照下面之附圖而說明。 本發明之流體控制裝置，其一個例子如第4圖所示，是 由多數個線在基板上成並列狀配置所形成，多數個線之中 至少有一個設置如第1圖所示之加熱裝置（10)。第1圖中 ，（21)是顯示質流控制器，（22)及（23)是顯示其入口或出 口所設置之開閉閥等，（24 )是表示使質流控制器、開閉閥 、及其他流體控制機器（21 ) (22) (23)連通之塊狀接頭（24) 〇 加熱裝置（1 0 )具備有配置在一個線之兩側上之左右帶狀 加熱器（11)，及使這些左右帶狀加熱器（11)被固定在接頭 元件所用之多數個夾件（1 2 )。 各夾件（12)以金屬薄板一體製成之故，其是由以預定 間隔而成對向之一對側壁（1 3 )，以及與各側壁（1 3 )之上下 之中間部連結的連結壁（1 4 )所形成，此連結壁（1 4 )在施加 與兩側壁（1 3 )之上部接近方向的力之時，使各側壁（1 3 )之 下部隔離，並且在力量被去除之時，使兩側壁（1 3 )可復歸 到原來位置。 各側壁（1 3 )是由略成方形且與帶狀加熱器（1 1 )對接之帶 狀加熱器壓住部（1 5 )、以及從帶狀加熱器壓住部（1 5 )之上 面中央向上方延伸之上方突出部（16)、以及設置在上方突

591184 五、發明說明（6) 出部（1 6 )之中間部份而略成L字狀之把手部（1 7 )所形成。 如第2及3之放大顯示，把手部（17)是由上方突出部 (16)之中間部分向前後任何一方延伸之水平部（17a)，及 從水平部（17a)之前端部向上方延伸之垂直部（17b)所形成 。水平部（1 7 a )之長度被設定成，使垂直部（1 7b )不從帶狀 加熱器壓住部（1 5 )向外伸出，而且垂直部（1 7b )之上端比 上方突出部（16)在更上方。 連結連結壁（1 4 )具有水平延伸之本體部（1 4 a )，以及設 置在本體部（14a)之兩端之屈曲部（Mb)，屈曲部（14b)之 前端與上方突出部（1 6 )之前端相結合° 元件符號對照表 (10) 加熱裝置 (11) 帶狀加熱器 (12) 夾件 (13) 側壁 (14) 連結壁 (14a) 本體部 (14b) 屈曲部 (15) 帶狀加熱器壓住部 (16) 上方突出部 (17) 把手部

Claims (1)

1. 591184 六、申請專利範圍 第9 1 1 1 3 604號「流體控制裝置^_| 曰i#正） 六申請專利範圍 一種流體控制裝置，其基部元件上並列地配置有多數個 線，每一個線是由配置在上段之流體控制機器（2 1 )( 22 ) (23)，及配置在下段之多數個塊狀接頭（24)所形成， 其特徵爲：至少在一條線之兩側上的線長度方向，長且 連續地配置有左右帶狀加熱器（11)，這些之左右帶狀加 熱器（11)被多個夾件（12)固定在對應之接頭元件上，各 夾件（1 2 )是由以預定間隔而成對向之一對側壁（1 3 )，以 及連結各側壁（1 3 )之上下之中間部的連結壁（1 4 )所形成， 在兩側壁（1 3 )之上部施加使其接近之方向的力時，使各 側壁（1 3 )之下部隔離，並且在力量被去除之時，使兩側 壁（1 3 )可復歸到原來位置。 2 .如申請專利範圍第1項之流體控制裝置，其中各側壁 (13) 是由略成方形且與帶狀加熱器（11)對接之帶狀加熱 器壓住部（1 5 )、以及從帶狀加熱器壓住部（1 5 )之上面中 央向上方延伸之上方突出部（16)、以及設置在上方突出 部（1 6 )之中間部份而略成L字狀之把手部（1 7 )所形成’ 各上方突出部（1 6 )之前端部由連結壁（1 4 )所連結。 3 .如申請專利範圍第2項之流體控制裝置，其中連結壁 (14) 具有水平延伸之本體部（14a)，以及設置在本體部 (14a)之兩端之屈曲部（14b)，而屈曲部（14b)之前端與 上方突出部（1 6 )之前端相結合。