KR20030005011A - 유체 제어 장치 - Google Patents

Abstract

적어도 하나의 라인의 양측에 좌우 테이프 히터(11)가 배치되어 있고, 이들 좌우 테이프 히터(11)가 복수 개의 클립(12)에 의해서 대응하는 조인트 부재에 유지되어 있다. 각 클립(12)은 소정 간격을 두고 대향하는 한 쌍의 측벽(13)과, 양 측벽(13)의 상부에 이들을 접근시키는 방향의 힘이 부여되었을 때에 각 측벽(13)의 하부끼리가 서로 떨어지고, 또 힘이 제거되었을 때에 양측벽(13)이 원래대로 복귀하도록 각 측벽(13) 상하의 중간부끼리를 연결하는 연결벽(14)으로 이루어진다.

Description

유체 제어 장치 {FLUID CONTROL APPARATUS}

본 발명은 반도체 제조 장치 등에 사용되는 유체 제어 장치에 관한 것으로, 특히 가열 가능한 유체 제어 장치에 관한 것이다.

반도체 제조 장치에 사용되는 유체 제어 장치는, 여러 가지 유체 제어 기기가 복수 열로 배치되는 동시에, 이웃하는 열의 유체 제어 기기의 유로끼리 소정 부위에서 기기 접속 수단에 의해 접속됨으로써 구성되어 있는데, 최근, 이런 유형의 유체 제어 장치에서는 질량 유량 제어기나 개폐 밸브 등을 튜브를 통하지 않고서 접속하는 집적화가 진행되고 있다(예컨대, 일본 특허 공개 평9-29996호 공보 참조). 도 4는 그 일례를 도시한 평면도이며, 이 유체 제어 장치는 바이패스 통로 없는 5개의 라인(P1, P2, P3, P4, P5)과, 바이패스 통로 있는 3개의 라인(Q1, Q2, Q3)의 총 8개의 라인을 갖고 있다. 바이패스 통로 없는 라인(P1, P2, P3, P4, P5)은 질량 유량 제어기(91)와, 그 입구측에 필터(93)를 통해 마련된 개폐 밸브(92)와, 그 출구측에 마련된 개폐 밸브(94)를 구비하고 있고, 바이패스 통로 있는 라인(Q1, Q2, Q3)은 질량 유량 제어기(91)와, 그 입구측에 필터(93)를 통해 마련된 2개의 개폐 밸브(95, 96)와, 그 출구측에 설치된 2개의 개폐 밸브(97, 98)와, 질량 유량 제어기(91)의 입구측 접속부와 출구측 접속부를 접속하는 개폐 밸브(99a)를 지닌 바이패스 배관(99)을 구비하고 있다. 이 유체 제어 장치는 1장의 기판(100)에, 우선 블록 조인트 등의 조인트 부재(도면에는 나타내지 않았음)를 나사로 부착하고, 이어서 이들 조인트 부재에 걸치도록 하여 질량 유량 제어기, 필터, 개폐밸브 등의 유체 제어 기기(91, 92, 93, 94, 95, 96, 97, 98)를 부착함으로써 조립되어 있다.

한편, 결로 방지 및 상온에서는 액체인 유체를 가스화하여 흐르게 할 때의 재액화(再液化) 방지 등을 목적으로 하여, 이런 유형의 유체 제어 장치에 설치되는 가열 장치로서, 일본 특허 공개 평10-246356호에는, 라인의 좌우 양측의 적어도 일측에 배치된 테이프 히터와, 나사에 의해 기판에 고정되는 바닥벽 및 테이프 히터를 각 유체 제어 기기에 맞닿게 하는 측벽으로 이루어지는 복수 개의 브래킷으로 이루어지고, 각 브래킷의 바닥벽에 나사 삽입 관통용 구멍이 형성되어, 각 브래킷이 위치 조정이 가능하게 기판에 부착되어 있는 것이 개시되어 있다.

상기 종래의 유체 제어 장치용 가열 장치에서는, 유체 제어 장치의 측면에 평면에서 보아 요철이 있는 경우라도, 테이프 히터를 각 유체 제어 기기에 따르게 할 수 있어, 요철의 영향을 받지 않고서 유체 제어 기기를 균일하게 가열할 수 있다고 하는 이점을 갖고 있다. 그러나, 브래킷의 바닥벽을 부착하기 위한 부분이 기판에 필요하게 되므로, 이 가열 장치를 사용하기 위해서는 기판을 따라서 유체 제어 장치의 설치 면적을 넓힐 필요가 있다. 한편, 유체 제어 장치의 집적화를 위해서는, 그 설치 면적의 증가는 바람직하지 못하며, 가열 장치를 설치함에 따른 설치 면적의 증가는 최대한 억제해야 된다고 하는 과제가 있다. 또, 집적화된 유체 제어 장치에서는, 라인과 라인 사이가 좁기 때문에, 종래의 가열 장치에서는 브래킷을 위치 조정하여 이것을 기판에 나사 고정하는 작업이 매우 번거롭다고 하는 문제도 있었다.

본 발명의 목적은 가열 장치를 부가함에 따른 설치 면적의 증가를 억제할 수 있는 가열 장치를 구비한 유체 제어 장치를 제공하는 것이다.

도 1은 본 발명에 따른 유체 제어 장치를 도시한 사시도.

도 2는 클립의 정면도.

도 3은 클립의 측면도.

도 4는 종래의 제어 장치를 도시한 평면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 가열 장치

11 : 테이프 히터

12 : 클립

13 : 측벽

14 : 연결벽

14a : 본체부

14b : 굴곡부

15 : 테이프 히터 누름부

16 : 상방 돌출부

17 : 손잡이부

본 발명에 따른 유체 제어 장치는, 하나의 라인이, 상단에 배치된 복수 개의 유체 제어 기기와, 하단에 배치된 복수 개의 블록형 조인트 부재에 의해 형성되어, 복수 개의 라인이 베이스 부재에 병렬형으로 배치되어 있는 유체 제어 장치에 있어서, 적어도 하나의 라인의 양측에 좌우 테이프 히터가 배치되어 있고, 이들 좌우 테이프 히터가 복수 개의 클립에 의해서 대응하는 조인트 부재에 유지되어 있으며, 각 클립은 소정 간격을 두고 대향하는 한 쌍의 측벽과, 양측벽의 상부에 이들을 접근시키는 방향의 힘이 부여되었을 때에 양측벽의 하부끼리가 서로 떨어지고, 또 힘이 제거되었을 때에 양측벽이 원래대로 복귀하도록 각 측벽의 상하 중간부끼리를 연결하는 연결벽으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 것이다.

연결벽은 직선형으로 되어 있어도 좋고, 중간부에 적어도 하나의 요철을 갖고 있어도 좋다. 연결벽과 측벽은, 연결벽이 측벽에 대하여 변형하기 쉽게 결합되는 동시에, 결합 부분의 중심이 측벽의 양면의 중심을 지나는 선 위에 위치하는 것이 바람직하며, 이에 따라, 양측벽의 상부가 접근하게 됨에 따라서 양측벽의 하부끼리가 서로 떨어지게 된다.

본 발명의 유체 제어 장치에 따르면, 가열을 필요로 하는 라인의 양측에 테이프 히터를 배치하는 동시에, 클립의 측벽의 상부를 손에 쥐고서 이들을 접근시키는 방향의 힘을 부여하면서, 각 라인의 소요 위치에서 상방으로부터 클립을 끼워 넣고, 이어서 클립으로부터 손을 떼어 양측 벽을 원래대로 복귀시킴으로써, 클립을 대응하는 조인트 부재에 유지시킨다. 이렇게 해서, 필요한 라인을 가열할 수 있게 된다. 따라서, 테이프 히터를 누르는 브래킷을 나사로 기판에 부착할 필요가 없기 때문에, 작업이 매우 간단하며, 게다가 설치 면적의 증가도 매우 적게 된다. 또, 조작을 라인의 상방에서 행할 수 있기 때문에, 라인 사이의 간극이 좁은 경우라도 가열 장치를 용이하게 설치할 수 있다.

각 측벽은 대략 사각형으로 테이프 히터와 맞닿는 테이프 히터 누름부와, 이 테이프 히터 누름부의 상면 중앙으로부터 상방으로 뻗어나가는 상방 돌출부와, 이 상방 돌출부의 중간 부분에 마련된 대략 L자형의 손잡이부로 이루어져, 상방 돌출부의 선단부끼리가 연결벽에 의해 연결되어 있는 경우가 있다. 측벽끼리는 외력이 작용하지 않는 때에 서로 평행하게 되도록 연결벽에 의해 연결되고, 또한 상방 돌출부의 선단부와의 연결 부분은 상대적으로 좁은 면적이 된다. 이에 따라, 손잡이부를 손가락으로 잡으면, 테이프 히터 누름부끼리 ハ자형으로 열리는 동시에, 이 열린 상태를 원래대로 복귀시키기 위한 탄성력이 생기고, 손잡이부를 떼내면 테이프 히터 누름부가 테이프 히터를 조인트 부재로 압박한다. 따라서, 손잡이부를 유체 제어 기기와 간섭하지 않는 위치로 용이하게 거둘 수 있어, 클립의 손잡이부를 손가락으로 잡는 것도 용이하게 된다.

각 클립은 금속 박판으로 일체로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 각 측벽을 상기한 구성으로 함으로써, 클립을 한 장의 금속 박판으로 제작할 수 있다. 이에 따라 부품 개수를 줄일 수 있다.

연결벽은, 수평으로 뻗어나가는 본체부와, 이 본체부의 양단에 마련된 굴곡부를 갖고 있고, 이 굴곡부의 선단과 돌출부의 선단이 결합되어 있는 경우가 있다. 이와 같이 하면, 손잡이부를 손가락으로 잡았을 때에, 테이프 히터 누름부끼리가 ハ자형으로 열리기 쉽고, 또한 이 열린 상태를 원래대로 복귀시키기 위한 탄성력도 생기기 쉽게 된다.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면을 참조하여 설명한다.

본 발명에 따른 유체 제어 장치는, 그 일례를 도 4에 도시한 바와 같이, 복수 개의 라인이 기판에 병렬형으로 배치됨으로써 형성되는 것으로, 복수 개의 라인 중의 적어도 하나에, 도 1에 도시한 바와 같은 가열 장치(10)가 마련되어 있다. 도 1에서, 도면 부호 21은 질량 유량 제어기를 나타내고, 도면 부호 22 및 23은 그 입구 또는 출구에 마련되는 개폐 밸브 등을 나타내며, 도면 부호 24는 질량 유량 제어기, 개폐 밸브, 그 밖의 유체 제어 기기(21, 22, 23)끼리를 연결하여 통하게 하는 블록형 조인트 부재를 나타내고 있다.

가열 장치(10)는 하나의 라인의 양측에 배치된 좌우 테이프 히터(11)와, 이들 좌우 테이프 히터(11)를 조인트 부재에 유지시키기 위한 복수 개의 클립(12)을 구비하고 있다.

각 클립(12)은 금속 박판으로 일체로 형성된 것으로, 소정 간격을 두고 대향하는 한 쌍의 측벽(13)과, 양측벽(13)의 상부에 이들을 접근시키는 방향의 힘이 부여되었을 때에 양측벽(13)의 하부끼리가 서로 떨어지고, 또 힘이 제거될 때에 양측벽(13)이 원래대로 복귀하도록 측벽(13)끼리를 연결하는 연결 수단으로서의 연결벽(14)으로 이루어진다.

각 측벽(13)은 대략 사각형으로 테이프 히터(11)와 맞닿는 테이프 히터 누름부(15)와, 이 테이프 히터 누름부(15)의 상면 중앙으로부터 상방으로 뻗어나가는 상방 돌출부(16)와, 이 상방 돌출부(16)의 중간 부분에 마련된 대략 L자형의 손잡이부(17)로 이루어진다.

도 2 및 도 3에 확대하여 도시한 바와 같이, 손잡이부(17)는 상방 돌출부(16)의 중간 부분으로부터 전후 어느 한 방향으로 뻗어나가는 수평부(17a)와, 이 수평부(17a)의 선단부로부터 상방으로 뻗어나가는 수직부(17b)로 이루어진다. 수평부(17a)의 길이는, 수직부(17b)가 테이프 히터 누름부(15)보다 밖으로 나가지 않도록, 또 수직부(17b)의 상단은 상방 돌출부(16)보다 위쪽에 있도록 설정되어 있다.

연결벽(14)은 수평으로 뻗어나가는 본체부(14a)와, 이 본체부(14a)의 양단에 마련된 예각의 굴곡부(14b)를 구비하고 있으며, 굴곡부(14b)의 선단과 상방 돌출부(16)의 선단이 결합되어 있다.

본 발명에 따르면, 유체 제어 장치에 있어서 가열 장치를 부가함에 따른 설치 면적의 증가를 억제할 수 있다.

Claims (3)

1. 하나의 라인이, 상단에 배치된 복수 개의 유체 제어 기기(21, 22, 23)와, 하단에 배치된 복수 개의 블록형 조인트 부재(24)에 의해서 형성되어, 복수 개의 라인이 베이스 부재에 병렬형으로 배치되어 있는 유체 제어 장치에 있어서,

   적어도 하나의 라인의 양측에 좌우 테이프 히터(11)가 배치되어 있고, 이들 좌우 테이프 히터(11)가 복수 개의 클립(12)에 의해서 대응하는 조인트 부재에 유지되어 있으며, 각 클립(12)은, 소정 간격을 두고 대향하는 한 쌍의 측벽(13)과, 양측벽(13)의 상부에 이들을 접근시키는 방향의 힘이 부여되었을 때에 각 측벽(13)의 하부끼리가 서로 떨어지고, 또 힘이 제거되었을 때에 양측벽(13)이 원래대로 복귀하도록 각 측벽(13)의 상하의 중간부끼리를 연결하는 연결벽(14)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
2. 제1항에 있어서, 각 측벽(13)은 대략 사각형으로 테이프 히터(11)와 맞닿는 테이프 히터 누름부(15)와, 이 테이프 히터 누름부(15)의 상면 중앙으로부터 상방으로 뻗어나가는 상방 돌출부(16)와, 이 상방 돌출부(16)의 중간 부분에 마련된 대략 L자형의 손잡이부(17)로 이루어지며, 각 상방 돌출부(16)의 선단부끼리가 연결벽(14)에 의해서 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 연결벽(14)은 수평으로 뻗어나가는 본체부(14a)와, 이본체부(14a)의 양단에 마련된 굴곡부(14b)를 구비하며, 굴곡부(14b)의 선단과 상방 돌출부(16)의 선단이 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어 장치.