TW561288B - Passively aligned fiber optical engine for parallel optics interconnect devices - Google Patents

Description

561288 A7 -------— B7__ 五、發明説明（i ) 背景 技術領域 本發明大體上是有關於平行光學互連裝置，及特別是 有關於光纖引擎。 習知技術 在以光纖來作信號傳輸中，其必需要轉換由光或光子 所組成的光學信號成為電子信號及將電子信號轉換成光學 信號。 現今在市場上的大多數的產品為了達成光學信號及電 子k號之間的轉換利用了多種個別元件的組合。該等個別 元件包括有主動及被動元件。傳送器的主動元件使用了分 離光傳送裝置來轉換電子信號成為光學信號，該等分離光 傳送裝置可以疋發光二極體或雷射。通常，該等雷射可以 是邊緣發射或表面發射特性的半導體雷射。接收器的主動 元件使用光偵測器來轉換光學信號回到電子信號。被動元 件是分離透鏡元件，其可以包括有傳統的折射或繞射光學 元件。在光纖光學中，該等透鏡元件是因為使用電腦來產 生非常複雜的特性，及典型地被稱為“電腦產生 (computer-generated)”光學。除此之外，複雜的電子結構是 需要的，通常是以積體電路的型式，其再一次具有主動及 被動元件。 因為現今的設計是眾多分離元件的總集合，其具有包 含有不同元件的多重包裝。此進一步引起因該等包裝所導 入的寄生電感及電容的問題。 4 2t先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 561288 A7 B7 五、發明説明（2 所有的元件必需以非常精密的方式組合成為模組。典 型地，所有的元件需要在大量生產的環境中被對齊成一直 線及置放在優於幾微米的精密度。因此，此等模組的製造 及設計是特別困難且耗費時間以及低產能的。 現今光纖技術的領導者是在一單一連續通道中每秒中 傳送10個十億位元（gigabites)。其需要非常昂貴且特殊設計 及在大量生產時不能被修改。 近來，一種被稱為平行光學的市場已經被開發出，其 是在單一光纖光學模組中包含有多通道的光學路徑。所有 的現今產品是在單一模組中作單通道只接收，單通道只傳 送，或單通道接收及傳送。新的平行光學需要在與一單一 通道模組相同的實體空間中多到十二個通通。此出現一主 要的障礙是因為傳統設計及製造技術已經被發現在維持大 量生生產時其並不能符合實體空間要求。產能低是代表終 端產品成本是相當南的。 此等問題的解決方案已經被長期的探索，且長期困擾 著熟習相關技術者。 本發明之揭露 本發明提供一種具有一光學元件之光纖引擎及其製造 方法，該光學元件具有一光學基體及光學單元（optics)。在 光學信號及電子信號之間轉換的一光電元件被緊置於該光 學基體，及其被動地與該光學單元對齊成一直線。用來控 制該光電元件之一積體電路被緊置於該光學基體。一電性 基體被緊置於該光學元件。該光纖引擎可以在高達數十億 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 5 -----------------------裝------------------、可------------------線. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 561288 A7 --------- B7 五、發明説明（3 ) ' --- =茲__率操作，而其是使用市場上可取得的材料， δ又被及大量生產程序來被加以製造。該其也可被製造成遠 小於傳統的系統且需要較少的對齊工作。 本發明之實施例具有除了上述之其他優點。 該等優點 熟❹關技術人士由參考後_式對後料細描述的 閱讀可以變得更加明白。 圖式之簡要描述 圖疋本發明之一光纖引擎的最後組合型式的等角 圖； 第2圖本發明之光學元件的等角圖； 第3圖疋根據本發發明在組合的中間步驟中元件的一 圖式； 第4圖是配置連結根據本發明之一變化實施例之元件 的一圖式； 第5圖是配置連結在本發明之一變化實施例之元件的 另一圖式； 第6圖是根據本發明之一組合光纖引擎的概要截面 圖；及 第7圖是本發明另一實施例之光纖引擎的最後組合型 式的截面圖。 實施本發明的最佳模式 現請參考第1圖所示，其中顯示本發明之一光纖引擎1〇 的最終組合型式的等角圖。該光纖引擎10包括有一光學元 件12, 一積體電路，傳送器，接收器，或收發器14，一光 本紙張尺度適用中國國家標準（CTS) Α4規格（2】〇χ297公釐） 6 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝— 561288 A7 B7 五、發明説明（4 ) 電元件16, 一電性基體18,及一熱基體20。該光學元件12， 該積體電路14，及該光電元件16是“被動對齊成一條線”， 其意為該等元件在組裝期間被對齊以在該光纖引擎10的不 同元件之間提供適當對齊的光通道22至26。該用語“被動對 齊成一條線”與“主動對齊成一條線”相反，主動對齊是讓該 等元件在組裝之後機械性地或電子性的對齊成。 當組裝之後，該等光通道22至26定義該光學通道，其 描述光子由該光電元件16進入該光學元件12之通道。該光 束被分成二路徑23及24，其中一個撞擊該光電元件16，及 另一個反射狀擊該積體電路14。此允許一完整光學通道之 形成，而其允許藉由該積體電路14對該光電元件16之行為 的控制，此是在傳統的設計及製造方法尚無法達成的。 現請參考第2圖所示，其中顯示本發明之光學元件12 之等角圖。該光學元件包括有一透明光學基體30,該透明 光學基體30具有頂水平表面32及底水平表面34。 該用語“水平”在本應用中是被定義為平行於該透明光 學基體30之傳統平面或表面的一平面，而不管該基體的方 向為何。該用語“垂直”指的是垂直於該定義的水平的一方 向。像是“在上面（on)”，“側邊（side)”，“較高於（higher)’’， ‘‘較低於（lower)”，及“在下面（under)”等用語是對於在該透 明光學基體30之的上表面之上的傳統平面或表面，而不管 該基體的方向為何。為了容易瞭解起見，每一實施例獨立 作為本發明的範例。 在該透明基體30之頂水平表面32之上是光學單元 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） -----------------------裝------------------、矸_-----------------線. (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 561288 A7 B7 五、發明説明（5 ) (optics)36及一頂鏡子38。在該底水平表面34是一底鏡子 40。再者，在該底水平表面上是低共熔焊接墊42至47。該 焊接墊43及44是藉由導電積體電路執道50所連接，及該焊 接墊45及47是藉由導電積體電路軌道52所連接。 該透明光學基體30可以是光的波長可以通過使該光纖 引擎可以與其一起操作的任何材質，像是玻璃，石英，藍 寶石，或矽。該頂鏡子38及該底鏡子40可以使用類似於半 導體晶圓製程來加以蝕刻或沉積。類似地，該光學單元36 可以被蝕刻進或沉澱於該透明光學基體30之上。用來形成 鏡子及光學單元的多種技術在此技術領域中是為人所熟知 的。例如，反射或繞射透鏡及堆疊的透鏡可以被形成在該 頂水平表面32及該底水平表面34之上。再者，該頂鏡子38 及該底鏡子40也可以形成為反射透鏡，以提供對該光通道 22之改良的控制。 現請參考第3圖，其顯示根據本發明組合的中間階段的 許多元件。該光學元件12是讓該底水平表面34面朝上的方 式來加以呈現。 該光電元件16是位在要被結合至該焊接墊42及43的位 置。該光電元件16可以依據該光纖引擎10的特定應用而有 許多不同的型式。其可以是為光傳送元件或者光接收元 件，或是具有二者的型式。該等功能被簡要地說明為在該 光電元件16中的一光發射裝置54及一光接收裝置56。該光 發射裝置54可以是一陣列的發光二極體或表面發射或是邊 緣發射實體狀態雷射。該光接收裝置56可以是一光二極 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 8 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .許丨 線- 561288 A7 B7 五、發明説明（6 )

zP 體，像是一 P/N接面。基本上，該光發射裝置54轉換電子 信號成為光學信號如該傳送器部份，及該光接收裝置56轉 換光學信號成為電子信號如該接收部份。 該光學單元36是一特別設計的繞射光學元件，但此技 術在光學領域中是為人所熟知的。該光學單元36是一繞射 元件，其分離該光束讓其一通過該主通道。該能量的一小 部份是被轉向回而進入該基體。其經由該等鏡子被折射回 去。其可能折射超過一次。除此之外，頂鏡子38及底鏡子 40可以一起用來聚焦透鏡，其可以避免在當其傳送經過該 透明光學基體30時避免該光束分散。其最終達到該監視器 二極體陣列15，該監視器二極體陣列15可以是整合至該積 體電路14的一 P/N接面，在此點，光子被轉換成電子。此 形成被用來控制該傳送器或光發設裝置54的行為。此迴路 依據該光子的被監視密度或該光學能讓來允許改變該驅動 信號振幅，其持續時間及其振幅。 該監視器一極體陣列15可以被整合入該積體電路μ中 如圖所示，或是可以是獨立的一分離元件，其可以其自己 的積體電路執道被分離地連結至該透明光學基體3〇。 在上述實施例中，該光電元件16的連結及該積體電路 14至該光學元件12之鏈結是經由在該等元件上的接觸塾及 在該透明光學基體上的低共熔焊接墊的自我對正來被完 成。當該組合是在一回流烘烤器中進行，其中該焊接塾42 至47是被加熱到超過它們的熔點，該被熔解的焊接的表面 張力拉引著該光電元件16及該積體電路14而與該透明光學 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事项再填寫本頁) ，裝丨 訂| :線丨 561288 A7 B7 五、發明説明（7 ) 基體作正確的對齊。 現請參考第4圖，其顯示根據本發明之一變化實施例中 鏈結時該等元件的所在位置。一層的各向異性導電黏著物 (anisotropocally conductive adhesive ^ ACA)是形成在該透 明光學基體30之上。該各向異性導電黏著物可以被印模或 作為一個被撞擊的薄膜來形成各向異性導電黏著物48及 49，其是被置放該焊接墊42及43之間形成該光電元件16， 或者置放在該焊接墊44至47間形成於該積體電路14的外 圍。該各向異性導電黏著物48及49而後依具特定型式的各 向異性導電黏著物材質藉由曝露於熱或紫外線光來加以處 理。因為不同元件的不同的熱擴張係數，在當該室溫處理 相較於熱處理導入較小的光學偏離，使得紫外線處理是較 受歡迎的。 在本實施例中的對齊是藉由框標（fiducials)(傳統的半 導體對齊結構，圖中未示）所達成的，其被置放在要被對齊 的該等元件的表面。一負載而後在當該各向異性導電黏著 物48及49被處理之時被加入。 現請參考第5圖，其顯示在本發明的另一實施例中該等 元件被配置鏈結在一起。其中顯示一光學元件12’，一積體 電路14’，及一光電元件16’。 該積體電路14’及該光電元件16’具有形成它的光學元 件近側邊上的導線墊60至63。該等導線墊60至63藉由將由 球鍵結取出該等尾線^切除所有的尾線’及將該尾線弄平 坦來形成該等導線墊16’的程序來被加以形成。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 10 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝丨 訂— :線丨 561288 A7 _B7_ 五、發明説明（8 ) 在該透明光學基體30的底水平表面上，一紫外線或熱 處理黏著層被施加。該黏著層包括有一黏著長條66，橫越 過該積體電路佈線50之一端的一黏著長條66，及橫越過該 積體電路佈線50另一端及該積體電路佈線52的一黏著長條 68 〇 在製造期間，該積體電路14及該光電元件16是附著及 置入保持在該透明光學積體中的翻轉晶片（flip chip)。該積 體電路14及該光電元件16對於該透明光學基體30的對齊是 藉由在該匹配表面上的框準對齊光罩或結構來加以完成。 該黏著長條66及68及該黏著壁70的處理在當該等元件都被 保持在一起時發生的。處理時該黏著處的收縮迫使該等導 線墊接觸在該透明光學基體30上的積體電路執道。 現請參考第6圖所示，其顯示根據本發明的第1圖中該 組合的光纖引擎10之概要截面圖。 具有該積體電路14及被結合於其中的該光電元件16之 該光學元件12被緊置於該電性基體18，其可以是具有印刷 導電執道於其上的一彈性帶。該光學元件12藉由一可改變 各向異性導電黏著物74被緊置於該電性基體18上，其是被 佈圖在該電性基體18上以在該光學元件12之範圍之下。 該熱基體20被緊置於該電性基體18而與該積體電路14 及該光電元件16接觸，以移除被產生的熱以及冷卻該等元 件。 在操作時，信號是由該導電軌道72上所接收及經由該 各向異性導電黏著物或經由焊接墊74被傳導至該積體電路 11 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) :線丨 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 561288 A7 -_____B7_ 五、發明説明（9 ) 執道52。該等信號而後經由該積體電路軌道52經不同的焊 接墊45至47被傳導至該積體電路14。該等信號在該積體電 路14中被加以處理及經由該等焊接墊44，該等積體電路執 道50，及其他焊接墊43被提供至該光電元件16中，其中當 作為一傳輸器時，其沿著在該透平光學基體30之光通道22 轉換電性信號成為光學信號。 在該光學單元36上，主要的光線跟隨著該光通道23及 少部份的沿著該光通道34反射至該底面鏡子40。該底面鏡 子40沿著該光通道25反射該光線至該頂面鏡子38，該等面 鏡子38沿著該光通道26反射光線至在該積體電路14中的該 監視器二極體陣列15。該監視器二極體陣列15藉由該光電 元件16之積體電路14而允許回饋控制。 由一光纖纜線入射該光纖引擎10的光將經由該光學單 元36進入及依尋著該光通道22至該光電元件16，該光電元 件16作用為一接收器來轉換光信號成為電性信號以通過該 等焊接墊43，該等積體電路執道50，及該等焊接墊44。該 等"(§说是在該積體電路14中被加以處理，而後經由該焊接 塾45至47被送出至該積體電路軌道52。由該積體電路軌道 52 ’該各向異性導電黏著物74傳送該等信號至在該電性基 體18上的導電軌道72。 該積體電路14經由該監視器二極體陣列15連續地調整 多數通道的光電元件的光輸出。該透明光學基體30之頂面 鏡子38及底面鏡子40之使用藉由轉向一部份光束由該光電 元件16至該監視器二極體陣列15來促進該信號回饋。 衣紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 12 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝， •訂- :線丨 561288 A7 _B7_ 五、發明説明（10 ) 如同熟習相關技術者可顯而易知，由焊接墊取代連結 導線所形成的較短連接可以產生在該連結導線之間較小的 寄生電容及允許該光纖引擎在高數十億荷茲（gigahertz)速 度下操作；亦即，當連結導線不出現時，電磁輻射會被壓 抑。 本發明之主要優點是所有關鍵元件之對齊成一直線可 以被動地被達成。被使用的所有設備及材料是可以在市面 上購得。類似地，該組合程序被廣泛地使用。 對於熟習相關技術者也可以顯而易知，該光電元件16 及該積體電路14可以被執行在一晶圓規格的透明光學積體 30。此晶圓規格製造將在製造期間提供較高的產能。 最後地，一較低成本的終端產品可以在仍然是晶圓層 次時該光纖引擎的預先測試性來產生。該光纖引擎10的燒 燬是可能發生且只有好的成品可以被使用來製造該最終光 纖產品。 在一實施例的一製造環境中，元件是由光學元件12開 始連續地被附加至以熱基體20結束。 首先，所謂的進行填充（under-filling)程序或黏結 (glue-down)程序被使用以聚合物基底黏著物被沿著該積 體電路14及該光電元件16之邊緣分佈以緊置於該光學元件 12上。 其次，該積體電路14及該光學元件16藉由一翻動晶片 (flip chip)程序或緊附著在該光學元件之上來被連結。 第三，該積體電路14,該光電元件16,及該光學元件 13 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 561288 A7 B7 五、發明説明（11 ) 12之組合結構而後使用該異向性傳導黏著物74緊附著在該 電I*生基體18上，該電性基體18可以是一印刷電路板，彈性 薄片，陶磁材質，或導電軌道可以被配置來傳導電子由該 組合結構至該外部世界的任何基體。 第四，該熱基體20被附加至該積體電路14及該光電元 件16作為熱管理方法。 本發明優於現存方法的優點是··丨）高效率；2)佔據較 小體積；3)只有二對齊；亦即需要被完成的光學對齊，包 括有組合該光電元件16至該光學元件，其緊接該積體電路 14之組合或緊黏附。此皆在微米位準精確度下完，其產生 非長高的分配精確性，而最終可以有非常低的成本。 該光電元件16不僅可以是線性陣列，也可以是多維陣 列的發光裝置，其可以在相同或不同的頻率下工作。 組合可以在晶圓位準下被完成❶亦即，一晶圓規格的 光學元件12在該晶圓層次下被使用及緊附該半導體元件， 封裝，及在晶圓層次下測試，晝出壞的區域，而後視其為 一標準晶圓，切單（singulate)而後進入後續的組合步驟。 現請參考第7圖所示，其顯示本發明之另一實施例之一 光纖引擎100之最終組合型式。該光纖引擎1〇〇包括有一光 學元件102, 一積體電路104, 一光電元件1〇6, 一電路基體 U2, 一電性基體18,及一熱基體120。該電路基體112，該 積體電路104，及該光電元件106是“被動對齊成一直線”， 其意為在當與該光學元件102對齊時，該等元件在組合期間 被對齊使得可以在該光纖引擎100之不同元件之間提供正 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

• .T. 線丨 一 _ B7 __ 五、發明説明（l2 ) 確對齊光通道22至26。 該電路基體112可以是石夕，藍寶石，或陶磁製成。該電 路基體112包括有電性軌道，其可讓光的波長經由該等光學 通道22至26通過。如果該電路基體材料112不能讓光的波長 經該等光學通道22至26通過，選擇性的開口 113藉由機械程 序，化學乾或濕蝕刻來被產生穿過該電路基體112。該積體 電路104及該光電元件106與如被動元件之其他元件114一 起被組合至該電路基體112上。而後，該透明光學基體3〇 被對齊成一直線及連結至該電路基體112。這種方法的一個 優點是該透明光學基體之製造設計變得較為簡單，因為如 在第3-5圖中所示的該等焊接墊42至47及該等積體電路執 道50及52不再需要了。 該電路基體112可以是一標準矽晶圓，其將以附著墊來 提供多層連接，以及除了元件積體電路1〇4之外之主動及被 動元件。例如，濾波器，電荷唧筒，電壓調節器等可以與 該電路基體112—起使用作為一共同電性基體。其結果，該 光纖引擎100是一完整的光纖系統，其在功能上可以獨立自 我實現及可以在晶圓規格層次下被加以製造。 該光電元件106(傳送器，接收器，及/或收發器）可以 使用一傳送器，其是為一邊緣發射光源1〇8而不是一表面發 射光源。該邊緣發射光源108也將已相同的方式被附加如同 一表面元件但使用一稜鏡或一鏡子11〇,其將折射光束9〇 度而允許較大範圍變化的發光裝置被使用。該鏡子11()可以 疋在該透平光學基體30上或該電路基體112上的一聚合物 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公|) 15 ......裝------------------1T------------------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 561288 A7 B7 五、發明説明（l3 ) 或一直接餘刻鏡子。 除此之外，像是可移動及/或可調整靜子之微米機構元 件可以被整合進入或該電路基體12其中或其上，以允許該 光學通道22之主動移動在即時使用光學回饋，或電性調整 來改變該光線相對於該光纖的對齊及補償任何的不對齊， 或被移動鏡子可以被使用來移動光線由一光纖至另一光 纖，像是該光纖引擎100也可以被使用來作為一開關。 當本發明已經以最佳型式被加以描述，其可以瞭解對 於許多改變，修飾，及變化對於熟習前述光學領域的相關 技術者將是可以瞭解的。據此，本發明是包含在所附申請 專利範圍之精神及範圍之内的此等改變，修飾，及變化。 在此所有的說明及相關圖式是用來說明而不是限制。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂- :泉丨 矣'' 16 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 561288 A7 B7 五、發明説明（Η ) 元件標號對照 1〇，1〇〇…光纖引擎 42〜47…焊接墊 12，12’，102…光學元件 50,52…導電積體電路軌道 14，14’，104…積體電路 54…光發射裝置 16，16’，106···光電元件 56…光接收裝置 18…電性基體 48,49,74…各向異性導電 20，120…熱基體 黏著物 22〜26···光通道 60〜63…導線墊 30…光學基體 6 6，6 8…黏者長條 32…頂水平表面 70…黏著壁 3 4…底水平表面 72…導電執道 36…光學單元 112···電路基體 38…頂鏡子 113…開口 40…底鏡子 114…元件 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公嫠） 17

Claims (1)

1. 561288 申請專利 範圍 1. 種製造光纖引擎的方法，包括有： 提供一光學元件，具有-光學基體及光學單元； 提供一光電元件，用轉換光及電子信號； 提供一積體電路，用以控制該光電元件； 被動對齊該光電元件與該光學單元； 緊置該光電元件於該光學基體； 緊置該積體電路至該光學基體； 提供一電性基體；及 緊置該電性基體及該光學元件。 如申請專利範圍第1項所述之方法，包括有： 被動地對齊該積體電路與該光學單元。 3·如申請專利範圍第1項所述之方法，其中：提供該光學元件包括有設置具有鏡子之該光學基 體與該光學單元對齊成一直線；及 &供該積體電路包括有設置有光感裝置以提供回 饋來控制該光電元件。 4·如申請專利範圍第1項所述之方法，其中： 提供該光學元件包括有形成導電執道及墊體於該 電性基體上以被動對齊成一直線來連接該光電元件及 該積體電路於該光學元件。 5·如申請專利範圍第1項所述之方法，其中： 提供該光電元件包括有形成導線墊體於其上；及 提供該積體電路包括有形成塾體於其上；及 提供該光學元件包括有形成軌道在該光學基體上 2 M氏汝又度適用甲國國家標準（CNS) A4規格1210X297公釐 18 裝 訂 線 561288 A8 B8 C8

   六、申請專利範圍

   以被動對齊成一直線方式連接該光 電元件及該積體電 路至該光學元件。 6·如申請專利範圍第丨項所述之方法，其中： 緊置該光電元件及該積體電路至該光學元件，包括 有： 沉殿一異向性導電紫外線或熱改變黏著物於該光 學基體上； 配置該光電元件與該積體電路至該光學元件用以 組裝；及 作用該異向性導電紫外線或熱改變黏著物。 7·如申請專利範圍第1項所述之方法，其中： 提供該電性基體包括有提供該電性基體長於該光 學疋件，及在當該光學元件被緊置於該電性元件時，形 成導電執道於其上且延伸超過該光學元件；及 緊置該電性基體及該光學元件，包括有： 沉澱一紫外線或熱改變黏著物於該光學基體上； 配置該光電元件與該積體電路至該光學元件用以 組裝；及 作用該異向性導電紫外線或熱改變黏著物。 8·如申請專利範圍第1項所述之方法，包括有： 提供一熱基體與該光電元件及該積體電路接觸。 9·如申請專利範圍第丨項所述之方法，包括有： 提供一電路基體與該光電元件及該積體電路接觸 及具有由導電軌道，濾波器，電荷唧筒，電壓調節器， 屮國國家標準（CNS) A4規格〔210X297公釐） -19 - 裝 訂 線 六、申請專利範圍 鏡子，稜鏡，微機構元件，主動元件，被動元件，及其 組合所構成的-群組中所選擇出與其相關的元件。 10. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中： 提供光學元件提供該光學基體作為一晶圓；及 緊置該光電元件及積體電路包括有緊置多數個光 電70件及多數個積體電路於該光學基體以作為一晶圓； 及包括有； 測試在該光學基體作為一晶圓上的多數個光電元 件及多數個積體電路；及 切單（singulating)該光學基體。 11. 一種光纖引擎，包括有： 一光學元件’具有一光學基體及光學單元； 一光電元件，轉換光及電信號，該光電元件緊置於 該光學基體及與該光學單元被動地對齊； 一積體電路，控制該光電元件，該積體電路緊置於 該光學基體；及 一電性基體，緊置於該光學元件。 12·如申請專利範圍第U項所述之光纖引擎，其中： 該積體電路被動地對齊成一直線於該光學單元。 13 ·如申請專利範圍第11項所述之光纖引擎，其中： 該光電元件包括有具有與該光學單元對齊成一直 線之鏡子之光學基體；及 該積體電路包括有光感裝置於其中，以提供控制該 光電元件之回饋。 ^ ?氏浪尺度適用中國國家標準（CMS) A4規格、210X297公釐] I—^一\ ' I561288 Λ 8 Β8 C8

   六、申請專利範圍

   14·如申請專利範圍第11項所述之光纖引擎，其中·· 該光學元件包括有導電執道及墊體用以被動對齊 成一直線來連接該光電元件及該積體電路至該光學元 件。 15·如申請專利範圍第11項所述之光纖引擎，其中： 該光電元件包括有導線墊體於其上； 該積體電路包括有墊體於其上；及 該光學元件包括有在該光學基體上的導電執道用 以被動對齊成一直線來連接該光電元件及該積體電路 至該光學元件。 16·如申請專利範圍第11項所述之光纖引擎，包括： 一異向導電紫外線或熱改變黏著物於該光學基體 上’以緊置該光電元件及該積體電路於該光學元件上。 17.如申請專利範圍第η項所述之光纖引擎，其中·· 該電性基體長於該光學元件及包括有導電執道於 其上延伸超過具有將該光學元件緊置於該電性元件之 光學元件之外； 及包括： 一異向導電紫外線或熱改變黏著物於該光學基體 上，以緊置該光電元件及該積體電路於該光學元件上。 18·如申請專利範圍第丨丨項所述之光纖引擎，包括有： 一熱基體與該光電元件及該積體電路接觸。 19·如申請專利範圍第丨丨項所述之光纖引擎，包括有： 一電路積體與該光電元件及該積體電路接觸及具 I I 裝 訂 線

   561288 Λ8 B8 C8

   7T、申請專利範圍 有由導電執道，濾波器，電荷唧筒，電壓調節器，鏡子， 稜鏡，微機構元件，主動元件，被動元件，及其組合所 構成的一群组中所選擇出與其相關的元件。 20·如申請專利範圍第u項所述之光纖引擎，包括有： 一電路基體，具有透明導電執道於其上；及 該電路基體包括有由包括有矽，藍寶石，及陶瓷之 材料群中選擇該電路基體。 22 卩紙朱又度適用中因國家標準（CNS ) A4規格(210X297公麥