WO1997025638A2 - Anordnung zum optischen ankoppeln eines lichtaussendenden elementes an ein lichtempfangendes element - Google Patents

Anordnung zum optischen ankoppeln eines lichtaussendenden elementes an ein lichtempfangendes element Download PDF

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    • H01S5/183—Surface-emitting [SE] lasers, e.g. having both horizontal and vertical cavities having only vertical cavities, e.g. vertical cavity surface-emitting lasers [VCSEL]

Definitions

  • lateral guides ensure that the first optical part carrying the depression is arranged in a fixed spatial association with the second optical part carrying the laser and the photodiode. This is important because the laser with its light-emitting surface is located opposite one side wall of the depression, so that the light emanating from it is reflected by this side wall and reaches the other side wall. There is a second reflection to the photodiode, which lies opposite the second side wall. A precise spatial assignment of the two optical parts is required so that the laser outgoing light is optimally transmitted to the photodiode due to the two reflections.
  • an arrangement for optically coupling a light-emitting element to a light-receiving element is known from European patent application 0 603 549 A1, in which the coupling body likewise consists of two optical parts.
  • the first optical part carries a first relatively elongated depression which has inclined side walls. Next to this first depression there are two smaller, further depressions which, with their inclined side wall each facing the first depression, form a reflection surface.
  • a light-emitting element and a light-receiving element are located next to one another on an outer surface that faces away from the connecting surface of the two optical parts.
  • a collecting lens is arranged between the two optical parts in the course of the light beams.
  • the light-emitting element is arranged with its light-emitting surface facing the outer surface of the coupling body and thus emits light perpendicularly into the coupling body.
  • This light falls on the reflecting side wall of a first of the two smaller depressions and is reflected from there into the first, elongated depression, where it is guided to the other side wall of the elongated depression by means of a strip waveguide produced in this depression. From there, the light is directed onto the reflecting side wall of the other smaller depression; From this side wall, the light then reaches the light-receiving element through the coupling body.
  • the invention has for its object to provide an arrangement for optically coupling a light-emitting element to a light-receiving element arranged next to this element, which is comparatively easy to manufacture and which ensures optimal optical coupling even at different distances between the two elements.
  • the light-emitting and the light-receiving element are arranged next to one another in front of an outer surface of the coupling body, the coupling body has a reflective recess that tapers inwards from the one outer surface and has side walls that are opposite one another with respect to a base,
  • the light-emitting element is arranged with its light-emitting surface facing the one outer surface of the coupling body and lies in front of the one side wall,
  • the light-receiving element In front of the other side wall of the recess of the coupling body, the light-receiving element is arranged with its light-receiving side, and - The side walls have such an inclination that the light of the light-emitting element reaches the light-receiving element after reflection on one side wall, the floor and the other side wall .
  • Laser is therefore emitted light both against the floor and against the opposite side wall, which is then reflected to the light-receiving element.
  • the known arrangement is therefore only suitable for using edge-emitting lasers.
  • An essential advantage of the arrangement according to the invention is that it is relatively easy to manufacture compared to the arrangements described above because the coupling body is made in one piece.
  • Another essential advantage of the arrangement according to the invention is seen in the fact that the design of the coupling body and the arrangement of the elements in front of the side walls of the recess and an inclination of the side walls in such a way that the light is reflected three times achieves that with the same distance of the light-emitting element from the light-receiving element, even with different positioning of the arrangement of light-emitting and light-receiving element to the coupling body, an optimal coupling is possible, provided only the arrangement with the two elements is arranged in each case opposite the side walls and thus the light can reach the light-receiving element via one side wall, the floor and the other side wall.
  • Another solution to the above problem is an arrangement for optically coupling a light-emitting element to a light-receiving element with a coupling body, in which
  • the light-emitting and the light-receiving element are arranged next to one another in front of an outer surface of the coupling body, the coupling body has a reflecting depression which tapers inwards from the one outer surface and has mutually opposite side walls,
  • the light-emitting element is arranged with its light-emitting surface facing the one outer surface of the coupling body and lies in front of the one side wall,
  • the light receiving element is arranged with its light receiving side in front of the other side wall of the recess of the coupling body, and
  • the side walls meet at the bottom of the recess and have such a hollow contour that the light of the light-emitting element reaches the light-receiving element after reflection on one side wall and the other side wall.
  • a major advantage of this arrangement is that the light coupling takes place with only two reflections and thus with comparatively low light losses; with regard to a different positioning of the arrangement of light-emitting and light-receiving elements here too the advantage of a position-tolerant coupling body, because in this embodiment of the invention the optical coupling remains optimal as long as the two elements are opposite the hollow side walls.
  • the optical coupling is particularly good if, at a distance b between the light-emitting and the light-receiving element, the contour of each side wall is in accordance with the relationship
  • z denotes a height variable from the bottom of the depression to the one outer surface.
  • the light-emitting surface of the light-emitting element is formed by a plurality of transmission areas arranged in a row or in an area
  • the light-receiving side of the light-receiving element is formed by reception areas arranged in a row or in an area.
  • the coupling body can consist of different materials. It is considered advantageous if the coupling body consists of crystalline material or glass. This is because it is possible to bring about a well-defined inclination of the side walls by anisotropic etching. This material - silicon or gallium phosphide - is particularly suitable for a deepening with flat side walls and a floor. When using glass, both coupling bodies with flat side walls and those with hollow side walls can be produced, for example, by casting or pressing.
  • the coupling body is formed from plastic or metal, because coupling materials with the recess can easily be produced when using these materials.
  • the arrangement according to the invention can advantageously be used in an optoelectronic transmission module with at least one transmission element, at least one monitor element and a coupling device which has at least one optical coupling element and at least one reflecting element, with a radiation-sensitive surface of the moni ⁇ gate element and an active surface of the transmission element of the coupling device are facing if, according to the invention, the arrangement of the coupling device, the transmission element formed by the light-emitting element and the monitor element formed by the light-receiving element is designed to one another so that one on a single Section of the active surface on the component side of the transmitting element, both the coupling body and the coupling element are arranged.
  • At least one coupling element and one reflecting element are arranged opposite an active surface, which is located on a single component side of a transmitting element.
  • the coupling element has the function of coupling out part of the radiation emitted by the transmitting element as useful radiation. This can be achieved, for example, by focusing on the end face of an optical waveguide or by collimation of the radiation.
  • the arrangement according to the invention creates a free space (free beam area) which can be used for integrating further optical elements.
  • the coupling body placed in such a free-beam area enables the deflection of at least part of the emitted radiation onto a monitor element. As a result of this deflection, the monitor element can be arranged outside the radiation area of the transmission element.
  • the radiation emitted in one direction from a single surface is used both as a useful signal and for the detection of the radiation intensity.
  • the use of a second radiation direction of the transmission element is no longer necessary.
  • components emitting on one side can also be subjected to active regulation.
  • the arrangement of the coupling element and the coupling body relative to a component side of the transmission element increases the structural freedom and a more compact and denser design can be achieved.
  • the coupling body as well as the optical coupling element are parts of a coupling device, which is generally arranged opposite the transmitting and monitoring element.
  • An arrangement is preferably selected which limits the radiation portion deflected to the monitor element in such a way that reliable regulation of the radiation intensity is possible, but excessive attenuation of the portion urging to the optical coupling element is avoided.
  • the radiation is divided by the coupling body and the coupling element (beam splitter principle).
  • the radiation in the case of transmission modules in which the active surface has a plurality of lasers, can be one Lasers can be used to control the driver current of all lasers.
  • the surface can be subdivided into several active areas or formed by combining several discrete individual lasers.
  • a coupling body and a coupling element are arranged at least opposite a section of the active surface on a single component side - the section can comprise one or more emitting regions or individual lasers.
  • the coupling device can be designed as a solid base body with coupling element and coupling body.
  • Known planar structuring techniques can advantageously be used to integrate the coupling element and the coupling body.
  • the coupling device can be adjusted when the transmitting element is active or inactive. Both adjustment options serve the desired positional alignment of the coupling device and the determination of the control signal.
  • the coupling body and the coupling element can be combined in the coupling device, high accuracies being achieved using high-precision structuring techniques.
  • the reflective recess is present in the coupling device. This applies accordingly to the assembly of the transmission element and monitor element on a common carrier.
  • a monolithic integration of the transmitter and monitor element on a semiconductor chip is also possible due to the selected structure.
  • the coupling device consists of a material which is transparent in the characteristic emission wavelength range of the transmission element, at least part of the radiation emitted by a section of the active surface of the transmission element being flexion is directed in the further training on the monitor element, and another part of the radiation penetrates through the coupling device.
  • the coupling element can be designed as a diffractive and / or refractive element. It is particularly advantageous to use a lens or a lens system or a zone plate which is applied to the side of the coupling unit facing away from the transmitting and monitoring element. The use of an integrated gradient index lens is also conceivable. An arrangement on the side directly facing the electronic components is also possible.
  • a further advantageous embodiment provides that at least part of the radiation emitted by the section is directed onto the monitor element by reflection on the coupling body and another part of the radiation is reflected on the coupling element.
  • the coupling element is advantageously arranged on the side of the coupling device facing the transmission element. For example, by means of a concave mirror, the radiation from the coupling element is coupled into an optical waveguide.
  • spacers can be used between a support supporting the transmission and monitor element and the coupling device.
  • these are provided with reflection-suppressing coatings.
  • Such coatings are particularly important for materials with a high refractive index, for example silicon.
  • Feedback can also be avoided by a suitable tilting of the coupling device with respect to the transmitting element. Possibly reflected radiation no longer reaches the active surface of the transmission element due to the tilting.
  • connection techniques such as soldering and gluing, the coupling device and the electronic components form a compact and durable transmitter assembly. Materials that have the same thermal behavior are preferred.
  • the transmitting and monitoring element are carried directly by the coupling device.
  • the assembly is preferably carried out using flip-chip technology using bumps for contacting, the effect of self-centering also being able to be exploited.
  • soldering surfaces are provided which carry solder balls (bumps) which are caused to melt by the action of heat.
  • the transmitting and monitoring element are connected and aligned with the coupling device.
  • This embodiment is characterized by excellent mechanical and optical stability and can be produced inexpensively.
  • electrical contact options are available either on the carrier side or on the coupling device side.
  • Bondable gold tracks are preferably used on a silicon or glass substrate.
  • the driver current of several transmission areas can be regulated by a monitor element which receives the emitted radiation of a transmission area.
  • a monitor element which receives the emitted radiation of a transmission area.
  • an associated monitor element is used for the individual control of each transmission area needed.
  • One or more coupling bodies reflect a part of the radiation emitted by the respective transmission area onto the corresponding monitor element.
  • the coupling bodies and the coupling elements can be designed in accordance with the materials used.
  • FIG. 1 shows a section through an exemplary embodiment of the arrangement according to the invention in a schematic representation
  • FIG. 2 shows a section through a further exemplary embodiment of the arrangement according to the invention in a likewise schematic representation
  • FIG. 3 shows a perspective illustration of a coupling body shown in the exemplary embodiment according to FIG. 1
  • FIG. 4 shows a perspective illustration of a coupling body shown in the exemplary embodiment according to FIG. 2
  • FIG. 5 shows an application according to the invention in a transmission module in a ten-channel Version with a lens array in 100 silicon material
  • FIG. 6 an embodiment of the transmitter assembly according to the invention with a transmitter and monitor element mounted directly on the coupling device, in
  • FIG. 7 shows a plan view of a transmission module according to the invention and in FIG. 8 the transmission module from FIG. 7 along line A-B.
  • a light-emitting element 1 is attached directly to an outer surface 2a of a coupling body 2.
  • the light-emitting element 1 has on its light-emitting surface 3 three transmission regions 4, 5 and 6 arranged in a row, of which light beams LI, L2 and L3 emit onto a side wall 7 of a reflective depression 8 in the coupling body 2 will because that light-emitting element 1 with its light-emitting surface 3 is arranged opposite the side wall 7.
  • the recess 8 can be easily manufactured by anisotropic etching, in which case the side wall 7, as well as another side wall 9 opposite this, has an inclination ⁇ with respect to a base 10 between the two side walls 7 and 9 has 54.7 °.
  • the light rays LI to L3 incident on the side wall 7 are reflected such that they fall onto the bottom 10 of the depression 8 and are reflected from there onto the other side wall 9.
  • the light beams LI, L2 and L3 are reflected from this side wall 9 in the same order as they are guided onto the one side wall 7 and reach a light-receiving element 11 which has a series of reception areas 12, 13 and 14 on it
  • Light receiving side 15 has.
  • the light-emitting element 1 and the light-receiving element 11 are permanently assigned to one another by means of a base plate 16.
  • FIG. 1 clearly shows that the light beams LI to L3 are transmitted in the same spatial assignment to the light-receiving element 11 as they were emitted by the light-emitting element 1. The order is not interchanged, which is advantageous for the assignment of the transmission and reception areas of elements 1 and 11.
  • Transmitting areas 22, 23 and 24 is held on a coupling body 25 which has hollow side walls 26 and 27 which meet at the bottom of a recess 28.
  • a coupling body 25 which has hollow side walls 26 and 27 which meet at the bottom of a recess 28.
  • the contour of each side wall 26 or 27 is according to the relationship
  • FIG. 4 shows the coupling body 25 according to the exemplary embodiment according to FIG. 2 in a likewise perspective view. lung.
  • reflective layers are marked on the side walls 26 and 27 with thicker lines.
  • FIG. 5 An application of the invention to a transmission module, embodied as a 10-channel arrangement with a lens array in 100 silicon, is shown in FIG. 5.
  • the base body 43 of the coupling device 40 is made of crystalline silicon with the crystallographic 100 orientation to the base body surface.
  • the lenses 53b to 53n which likewise consist of silicon and were produced by planar structuring techniques using anisotropic and isotropic etching techniques or embossing, are aligned with their assigned semiconductor lasers 45b to 45n and focus their radiation 46b to 46n.
  • the semiconductor lasers 45a to 45n are represented by the laser array 41 as a light-emitting element.
  • the emitted radiation 46a of a semiconductor laser 45a is used to regulate the driver current of all semiconductor lasers 45a to 45n.
  • the laser radiation 46a is thrown through a depression 48 on the side of the base body 43 facing the laser array 41 by triple reflection onto the monitor diode 42.
  • the recess 48 is shaped in cross section as a trapezoid with inclined side surfaces 51, 52, as is already shown in FIGS. 1 and 3; the coupling body is thus integrated into the base body 43.
  • the angle formed by the side surfaces 51, 52 with the underside of the base body 43 depends on the crystallographic alignment of the silicon material. With a 100 alignment, anisotropic etching sets an angle of approximately 55 °. If embossing is preferred during production, any angle can in principle be selected.
  • a particularly compact transmitter module is to be explained with reference to FIG. 6.
  • the laser diode array 61 as light-emitting
  • the end element with a row of line-by-line laser diodes 66a to 66b (VCSEL diodes) is fastened directly on the underside of the base body 64 of the coupling unit 60.
  • the contacting of the array 61 takes place using bumps 65.
  • the monitor diode 62 is integrated into the base body 64, as shown in FIG. 5, on the underside of the base body 64 is a trapezoidal depression 68 is provided.
  • Monitor diode 62 and laser diode array 61 are arranged so that exactly one laser diode 66a is connected across the
  • Edge of the recess 68 protrudes and faces an inclined side wall 70.
  • the light-sensitive surface 63 of the monitor diode 62 is arranged opposite another side wall 69 of the recess 68.
  • the emitted laser light 71a of the laser diode 66a is directed onto the monitor diode 62 by triple reflection.
  • the radiation from the laser diode 66b is focused by an assigned lens 67.
  • FIG. 1 A top view of a transmission module that enables individual regulation of each individual laser diode is shown in FIG.
  • a line-like laser diode array 86 is also assigned a line-like monitor diode array 87, the light-sensitive surface of the monitor array 87 and the active surface of the laser diode array 86 each lying in the drawing plane and pointing upwards. Both arrays 86, 87 are fastened on a carrier 81. Spacers 82, 83, which carry the coupling device 80, are attached to the carrier 81 laterally next to both arrays.
  • the dotted line indicates a depression 85 of a coupling body integrated in the coupling device, which is located on the underside of the coupling device 80 and is aligned parallel to the arrays 86, 87.
  • the recess 85 is delimited on two sides by metallized walls 89, 93 which are inclined to one another, the side wall 93 is aligned along the laser diode array 86 and is located above the laser diodes (not shown), but the side wall 89 is aligned along the monitor diodes (also not shown).
  • the inclination of the side walls 89, 93 relative to one another is selected such that at least part of the radiation emitted by each laser diode reaches the associated monitor diode of the monitor diode array 87 by means of double or triple reflection on the side walls 89, 93 and the underside of the recess 85.
  • a lens 88 is mounted vertically above each laser diode on the top of the coupling device 80.
  • the arrangement of the lenses 88 and the side wall 93 is selected such that when the lens 88 and the side wall 93 are projected perpendicularly onto the surface of the laser diode array 86, the lower edge 91 of the side wall 93 projects slightly beyond the edges of each lens 88 .
  • the size of this projection determines the ratio of the portion of the laser radiation reflected by the side wall 93 to the portion of radiation which penetrates through the lens 88.
  • Appropriate tracks 92, 96 are applied to the carrier 81 for the electrical contacting of the arrays 86, 87. Bondable gold tracks on a silicon or glass carrier are preferably used. The bond wires 90, 94 are only indicated schematically.
  • FIG. 8 represents a section through the transmission module of FIG. 7 along line AB.
  • the reference symbols, insofar as they correspond, are identical to those in FIG. 7.
  • the laser diode array 86 and the monitor diode array 87 are fixed at a distance from one another on the carrier 81.
  • Arrays 86, 87 are bonded wires 90, 94 electrically contacted. Due to the spacers 82, 83 which are aligned one after the other in the selected illustration, the coupling device 80 is arranged opposite the arrays 86, 87, the recess 85 on the underside of the base body 84 facing the arrays 86, 87.
  • the inclined side wall 93 extends with its lower edge 91 slightly into the beam cone 100 of a laser diode 106 and thus cuts a part 102 of the emitted radiation out of the cone 100.
  • This radiation component 102 is reflected on the side wall 93, the underside 110 of the recess 85 and the side wall 89 onto a monitor diode 108.
  • the majority of the emitted radiation 100 is focused by the lens 88.
  • This embodiment advantageously allows the compact structure of the coupling device 80 to be connected to the individual driver current control of each laser diode. Thermally and mechanically stable connection techniques when fixing the coupling device 80 on the spacers 82, 83 and aligning the coupling device 80 with respect to the arrays 86, 87 ensure a long service life of the transmitter assembly.

Abstract

Bei einer Anordnung zum optischen Ankoppeln eines lichtaussendenden Elementes (1) an ein daneben angeordnetes lichtempfangendes Element (11) ist ein Koppelkörper (2) vorgesehen, der eine sich von einer Außenfläche (3) nach innen verjüngende, reflektierende Vertiefung (8) aufweist. Vor einer Seitenwand (7) der Vertiefung (8) ist das lichtaussendende Element (1) mit seiner lichtemittierenden Oberfläche angeordnet. Vor der anderen Seitenwand (9) der Vertiefung (8) ist das lichtempfangende Element (11) angeordnet. Die Seitenwände (7, 9) weisen eine derartige Neigung (α), daß das Licht nach Reflexion an der einen Seitenwand, dem Boden und der anderen Seitenwand zum lichtempfangenden Element (11) gelangt.

Description

Beschreibung
Anordnung zum optischen Ankoppeln eines lichtaussendenden Elementes an ein lichtempfangendes Element
Aus der europäischen Patentanmeldung EP 0 652 454 AI ist eine Anordnung zum Ankoppeln eines von einem Laser gebildeten lichtaussendenden Elementes an ein von einer Fotodiode gebil¬ detes lichtempfangendes Element bekannt, bei der ein Koppel- körper verwendet wird, der aus einem ersten optischen Teil und aus einem zweiten optischen Teil besteht. In dem ersten optischen Teil ist eine Vertiefung vorgesehen, die einander gegenüberliegende geneigte Seitenwände und einen dazwischen sich erstreckenden, parallel zur Oberfläche des Teils verlau- fenden Boden aufweist. Die Seitenwände der Vertiefung sind verspiegelt . Oberhalb des ersten optischen Teils der bekann¬ ten Anordnung befindet sich das zweite optische Teil, auf dessen freier Oberfläche der Laser und daneben die Fotodiode angeordnet sind. Das zweite optische Teil ist aus lichtdurch- lässigem Material hergestellt und damit in der Lage, von dem Laser ausgesandtes Licht hindurchzuleiten.
Bei der bekannten Anordnung wird durch seitliche Führungen sichergestellt, daß das die Vertiefung tragende erste opti- sehe Teil in einer festen räumlichen Zuordnung zu dem den La¬ ser und die Fotodiode tragenden zweiten optischen Teil ange¬ ordnet ist. Dies ist deshalb von Bedeutung, weil der Laser mit seiner lichtemittierenden Oberfläche sich der einen Sei¬ tenwand der Vertiefung gegenüberliegend befindet, so daß das von ihm ausgehende Licht von dieser Seitenwand reflektiert wird und zur anderen Seitenwand gelangt. Dort erfolgt eine zweite Reflexion zur Fotodiode, die der zweiten Seitenwand gegenüberliegt. Eine genaue räumliche Zuordnung der beiden optischen Teile ist erforderlich, damit das von dem Laser ausgehende Licht infolge der beiden Reflexionen optimal zur Fotodiode übertragen wird.
Ferner ist aus der europäischen Patentanmeldung 0 603 549 AI eine Anordnung zum optischen Ankoppeln eines lichtaussenden¬ den Elementes an ein lichtempfangendes Element bekannt, bei dem der Koppelkörper ebenfalls aus zwei optischen Teilen be¬ steht. Das erste optische Teil trägt eine erste relativ lang¬ gestreckte Vertiefung, die geneigte Seitenwände aufweist. Ne- ben dieser ersten Vertiefung befinden sich jeweils zwei klei¬ ner bemessene weitere Vertiefungen, die mit ihrer jeweils der ersten Vertiefung zugewandten geneigten Seitenwand eine Re¬ flexionsfläche bilden. Auf dem zweiten optischen Teil dieser bekannten Anordnung befinden sich ein lichtaussendendes Ele- ment sowie ein lichtempfangendes Element nebeneinander auf einer Außenfläche, die zur Verbindungsfläche der beiden opti¬ schen Teile abgewandt liegt. Zwischen beiden optischen Teilen ist im Zuge der Lichtstrahlen jeweils eine Sammellinse ange¬ ordnet.
Bei dieser bekannten Anordnung ist das lichtaussendende Ele¬ ment mit seiner lichtemittierenden Oberfläche der Außenfläche des Koppelkörpers zugewandt angeordnet und gibt damit Licht senkrecht in den Koppelkörper hinein ab. Dieses Licht fällt auf die reflektierende Seitenwand einer ersten der beiden kleineren Vertiefungen und wird von dort in die erste, lang¬ gestreckte Vertiefung reflektiert, wo es mittels eines in dieser Vertiefung erzeugten Streifenwellenleiters zur anderen Seitenwand der langgestreckten Vertiefung geleitet wird. Von dort wird das Licht auf die reflektierende Seitenwand der an¬ deren kleineren Vertiefung gelenkt; von dieser Seitenwand ge¬ langt das Licht dann durch den Koppelkörper in das lichtemp¬ fangende Element. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zum optischen Ankoppeln eines lichtaussendenden Elementes an ein neben diesem Element angeordnetes lichtempfangendes Element vorzuschlagen, die sich vergleichsweise einfach herstellen läßt und die auch bei unterschiedlichen Abständen der beiden Elemente eine optimale optische Ankopplung gewährleistet.
Die Lösung dieser Aufgabe besteht erfindungsgemäß in einer Anordnung zum optischen Ankoppeln eines lichtaussendenden Elementes an ein lichtempfangendes Element mit einem Koppel¬ körper, bei der
- vor einer Außenfläche des Koppelkörpers das lichtaussen¬ dende und das lichtempfangende Element nebeneinander ange¬ ordnet sind, - der Koppelkörper eine sich von der einen Außenfläche nach innen verjüngende, spiegelnde Vertiefung mit hinsichtlich eines Bodens einander gegenüberliegenden Seitenwänden auf¬ weist,
- das lichtaussendende Element mit seiner lichtemittierenden Oberfläche der einen Außenfläche deε Koppelkörpers zuge¬ wandt angeordnet ist und vor der einen Seitenwand liegt,
- vor der anderen Seitenwand der Vertiefung des Koppelkörpers das lichtempfangende Element mit seiner Lichtempfangsseite angeordnet ist, und - die Seitenwände eine derartige Neigung aufweisen, daß das Licht des lichtaussendenden Elements nach Reflexion an der einen Seitenwand, dem Boden und der anderen Seitenwand zum lichtempfangenden Element gelangt.
Es ist zwar aus der europäischen Patentanmeldung 0 622 874 AI eine Anordnung zur Ankopplung eines optoelektronischen Emp¬ fangselementes an ein optoelektronisches Sendeelement be¬ kannt, bei der ein Koppelkörper mit einer Vertiefung versehen ist, die einen Boden und beiderseits des Bodens verlaufende schräge Seitenwände aufweist, die wie der Boden verspiegelt sind, jedoch ist bei dieser bekannten Anordnung das lichtaus¬ sendende Element von einem kantenemittierenden Laser gebil¬ det, der so angeordnet ist, daß seine eine lichtemittierende Kante an einer äußeren Kante der Vertiefung liegt. Von dem
Laser wird daher Licht sowohl gegen den Boden, als auch gegen die gegenüberliegende Seitenwand gestrahlt, das dann zum lichtempfangenden Element reflektiert wird. Die bekannte An¬ ordnung ist daher nur zur Verwendung von kantenemittierenden Lasern geeignet.
Ein wesentlicher Vorteil der erfindungsgemäßen Anordnung be¬ steht darin, daß sie im Vergleich zu den eingangs beschriebe¬ nen Anordnungen verhältnismäßig einfach herstellbar ist, weil der Koppelkörper einteilig ausgebildet ist. Ein weiterer we¬ sentlicher Vorteil der erfindungsgemäßen Anordnung wird darin gesehen, daß durch die Ausgestaltung des Koppelkörpers und der Anordnung der Elemente vor den Seitenwänden der Vertie¬ fung und durch eine Neigung der Seitenwände derart, daß das Licht dreimal reflektiert wird, erreicht ist, daß bei glei¬ chem Abstand des lichtaussendenden Elementes von dem licht¬ empfangenden Element auch bei unterschiedlicher Positionie¬ rung der Anordnung aus lichtaussendendem und lichtempfangen¬ dem Element zu dem Koppelkörper eine optimale Ankopplung er- möglicht ist, sofern nur die Anordnung mit den beiden Elemen¬ ten jeweils den Seitenwänden gegenüberliegend angeordnet ist und damit das Licht über die eine Seitenwand, den Boden und die andere Seitenwand zu dem lichtempfangenden Element ge¬ langen kann.
Bei der erfindungsgemaßen Anordnung kann der Koppelkόrper hinsichtlich seiner Vertiefung unterschiedlich ausgebildet sein,* als besonders vorteilhaft wird es angesehen, wenn bei einem vorgegebenem Abstand a des lichtaussendenden von dem lichtempfangenden Element und einer Neigung oc der Seitenwände zwischen 45 und 90° der Boden der Vertiefung eine Querer¬ streckung d aufweist, die sich gemäß der Formel d = a/2.sin2α ergibt. Bei einer derartigen Bemessung der Ver¬ tiefung ist nämlich eine optimale optische Ankopplung des lichtempfangenden Elementes an das lichtaussendende Element erreichbar.
Eine andere Lösung der oben aufgeführten Aufgabe besteht er¬ findungsgemäß in einer Anordnung zum optischen Ankoppeln eines lichtaussendenden Elementes an ein lichtempfangendes Element mit einem Koppelkörper, bei der
- vor einer Außenfläche des Koppelkörpers das lichtaussen¬ dende und das lichtempfangende Element nebeneinander ange¬ ordnet sind, - der Koppelkörper eine sich von der einen Außenfläche nach innen verjüngende, spiegelnde Vertiefung mit einander ge¬ genüberliegenden Seitenwänden aufweist,
- das lichtaussendende Element mit seiner lichtemittierenden Oberfläche der einen Außenfläche des Koppelkörpers zuge- wandt angeordnet ist und vor der einen Seitenwand liegt,
- vor der anderen Seitenwand der Vertiefung des Koppelkörpers das lichtempfangende Element mit seiner Lichtempfangsseite angeordnet ist, und
- die Seitenwände im Grunde der Vertiefung aneinander stoßen und eine derartige hohle Kontur aufweisen, daß das Licht des lichtaussendenden Elements nach Reflexion an der einen Seitenwand und der anderen Seitenwand zum lichtempfangenden Element gelangt.
Ein wesentlicher Vorteil dieser Anordnung besteht darin, daß die Lichtankopplung mit nur zwei Reflexionen und damit mit vergleichsweise geringen Lichtverlusten erfolgt; hinsichtlich einer unterschiedlichen Positionierung der Anordnung aus lichtaussendenden und lichtempfangenden Elementen ergibt sich auch hier der Vorteil eines positionstoleranten Koppelkör¬ pers, weil auch bei dieser Ausführungsform der Erfindung die optische Kopplung solange optimal bleibt, wie sich die beiden Elemente den hohlen Seitenwänden gegenüber befinden.
Besonders gut ist die optische Kopplung dann, wenn bei einem Abstand b des lichtaussendenden von dem lichtempfangenden Element die Kontur jeder Seitenwand gemäß der Beziehung
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gestaltet ist, in der mit z eine vom Grunde der Ver- tiefung zu der einen Außenflächen zählende Höhenvariable be¬ zeichnet ist.
Bei einer besonders vorteilhaften Ausführungsform der erfin¬ dungsgemäßen Anordnung ist die lichtemittierende Oberfläche des lichtaussendenden Elementes von mehreren in einer Reihe oder in einer Fläche angeordneten Sendebereichen und die Lichtempfangsseite des lichtempfangenden Elementes von in einer Reihe oder in einer Fläche angeordneten Empfangsberei¬ chen gebildet. Durch den Koppelkörper wird nämlich bei einer derartigen Ausgestaltung des lichtaussendenden und des licht¬ empfangenden Elementes dafür gesorgt, daß auf der Sende- und der Empfangsseite dieselbe räumliche Zuordnung der Bereiche möglich ist; so gelangt beispielsweise bei in einer Reihe liegenden Sendebereichen das Licht des ersten Sendebereichs zum ersten Empfangsbereich, ohne daß eine Vertauschung der Reihenfolge eintritt.
Der Koppelkörper kann bei der erfindungsgemäßen Anordnung aus unterschiedlichen Materialien bestehen. Als vorteilhaft wird es angesehen, wenn der Koppelkörper aus kristallinem Material oder aus Glas besteht. Damit ist nämlich die Möglichkeit ge¬ geben, durch anisotropes Ätzen eine wohldefinierte Neigung der Seitenwände herbeizuführen. Geeignet ist dieses Material - Silizium oder Galliumphosphid - insbesondere für eine Ver- tiefung mit ebenen Seitenwänden und einem Boden. Bei einer Verwendung von Glas lassen sich beispielsweise durch Gießen oder Pressen sowohl Koppelkörper mit ebenen Seitenwänden als auch solche mit hohlen Seitenwänden herstellen.
Unter Umständen kann es auch vorteilhaft sein, wenn der Kop¬ pelkörper aus Kunststoff oder Metall gebildet ist, weil sich bei Verwendung dieser Materialien leicht Koppelkörper mit der Vertiefung herstellen lassen.
Die erfindungsgemäße Anordnung läßt vorteilhaft bei einer op¬ toelektronischen Sendebaugruppe mit mindestens einem Sendee¬ lement, mindestens einem Monitorelement und einer Kopplungs¬ vorrichtung anwenden, welche mindestens ein optisches Kop- pelelement und mindestens ein reflektierendes Element auf¬ weist, wobei eine strahlungsempfindliche Oberfläche des Moni¬ torelementes und eine aktive Oberfläche des Sendeelementes der Kopplungsvorrichtung zugewandt sind, wenn erfindungsgemäß die Anordnung der Kopplungsvorrichtung, des von dem 1ichtaus- sendenden Element gebildeten Sendeelements und des von dem lichtempfangenden Element gebildeten Monitorelements zueinan¬ der so gestaltet ist, daß gegenüber einem auf einer einzigen Bauteilseite des Sendelements befindlichen Abschnitt der ak¬ tiven Oberfläche sowohl der Koppelkörper als auch das Kop- pelelement angeordnet sind.
Gegenüber einer aktiven Oberfläche, die sich auf einer einzi¬ gen Bauteilseite eines Sendeelements befindet, sind minde¬ stens ein Koppelelement und ein reflektierendes Element an- geordnet. Das Koppelelement hat die Funktion, einen Teil der von dem Sendeelement emittierten Strahlung als Nutzstrahlung auszukoppeln. Dies kann beispielsweise durch die Fokussierung auf die Stirnfläche eines Lichtwellenleiters oder durch Kol- limation der Strahlung realisiert sein. Gleichzeitig wird durch die erfindungsgemäße Anordnung ein Freiraum (Frei- strahlbereich) geschaffen, der zur Integration weiterer op¬ tischer Elemente verwendet werden kann. Beispielsweise ge¬ stattet das in einem solchen Freistrahlbereich plazierte Kop- pelkörper die Umlenkung zumindest eines Teils der emittierten Strahlung auf ein Monitorelement. Durch diese Umlenkung kann das Monitorelement außerhalb des Abstrahlungsgebiets des Sendeelements angeordnet sein. Unerwünschte Abschattungen der Strahlung durch ein unmittelbar in das direkte Abεtrah- lungsgebiet eingebrachtes Monitorelement werden vermieden. Erfindungsgemäß wird die in eine Richtung ausgesandte Strahlung einer einzigen Oberfläche sowohl als Nutzεignal, als auch für die Detektion der Strahlungsintensität verwen¬ det. Die Ausnutzung einer zweiten Abstrahlungsrichtung des Sendeelements ist nicht mehr erforderlich. Dadurch können auch einseitig emittierende Bauelemente einer aktiven Rege¬ lung unterworfen werden. Durch die Anordnung des Koppelele¬ ments und des Koppelkörpers gegenüber einer Bauteilseite des Sendeelements wird die Baufreiheit erhöht und es kann eine kompaktere und dichtere Bauweise erreicht werden. Der Koppel- körper wie auch das optische Koppelelement sind Teile einer Kopplungsvorrichtung, die im Regelfall dem Sende- und Moni¬ torelement gegenüber angeordnet ist.
Vorzugsweise wird eine Anordnung gewählt, die den zum Moni¬ torelement umgelenkten Strahlungsanteil so begrenzt, daß eine sichere Regelung der Strahlungsintensität möglich ist, eine zu starke Schwächung des zum optischen Koppelelement drin¬ genden Anteils jedoch vermieden ist. Für Sendebaugruppen mit Einzellasern wird durch den Koppelkörper und das Koppelele¬ ment die Strahlung geteilt (Strahlteilerprinzip) .
Im Gegensatz dazu kann bei Sendebaugruppen, bei denen die ak¬ tive Oberfläche mehrere Laser aufweist, die Strahlung eines Lasers zur Regelung des Treiberstroms aller Laser ausgenutzt werden. Die Oberfläche kann dabei in mehrere aktive Bereiche unterteilt sein oder durch Zusammenfasεen von mehreren dis- kreten Einzellasern gebildet werden. Wenigstens gegenüber einem Abschnitt der aktiven Oberfläche auf einer einzigen Bauteilseite - der Abschnitt kann dabei einen oder mehrere emittierende Bereiche oder Einzellaser umfassen - ist ein Koppelkörper und ein Koppelelement angeordnet .
Die Kopplungsvorrichtung kann als massiver Grundkörper mit Koppelelement und Koppelkörper ausgebildet sein. Bekannte planare Strukturierungstechniken können in vorteilhafter Weise zur Integration des Koppelelementε und deε Koppelkör¬ pers herangezogen werden. Die Justage der Kopplungεvorrich- tung kann bei aktivem oder inaktivem Sendeelement erfolgen. Beide Juεtagemöglichkeiten dienen der gewünεchten Lageaus¬ richtung der Kopplungsvorrichtung und dem Festlegen des Regelsignals.
Im Gegensatz zu üblichen Sendebaugruppen können der Koppel- körper und das Koppelelement in der Kopplungsvorrichtung zusammengefaßt werden, wobei unter Ausnutzung hochpräziser Strukturierungstechniken hohe Genauigkeiten erreicht werden. In diesem Fall ist die spiegelnde Vertiefung in der Kopplungsvorrichtung vorhanden. Dies gilt entsprechend für die Montage von Sendeelement und Monitorelement auf einem ge¬ meinsamen Träger. Durch den gewählten Aufbau ist auch eine monolithische Integration von Sende- und Monitorelement auf einem Halbleiter-Chip möglich.
In einer vorteilhaften Ausführungsform besteht die Koppelvor¬ richtung aus einem im charakteristischen Emisεionswellenlän- genbereich des Sendeelements transparenten Material, wobei wenigεtenε ein Teil der von einem Abschnitt der aktiven Oberfläche des Sendeelements emittierten Strahlung durch Re- flexion in der Weiterbildung auf das Monitorelement gelenkt wird, und ein weiterer Teil der Strahlung durch die Koppel¬ vorrichtung dringt. Das Koppelelement kann dabei als dif¬ fraktives und/oder refraktives Element ausgelegt sein. Be- εonderε vorteilhaft ist die Verwendung einer Linse bzw. eines Linsensystems oder einer Zonenplatte, die auf der dem Sende- und Monitorelement abgewandten Seite der Kopplungseinheit aufgebracht ist. Es ist auch die Verwendung einer integrierten Gradientenindexlinse denkbar. Eine Anordnung auf der den elektronischen Bauelementen unmittelbar zugewandten Seite ist ebenfalls möglich.
Eine weitere vorteilhafte Ausführungsform sieht vor, daß we¬ nigstens ein Teil der von dem Abschnitt emittierten Strahlung durch Reflexion am Koppelkörper auf das Monitorelement ge¬ lenkt wird und ein anderer Teil der Strahlung am Koppelele¬ ment reflektiert wird. Das Koppelelement ist vorteilhaft an der dem Sendeelement zugewandten Seite der Kopplungsvorrich¬ tung angeordnet. Beispielsweise mittels eines Hohlspiegels wird die Strahlung von dem Koppelelement in einen Lichtwel¬ lenleiter eingekoppelt.
Zur Beabstandung und optischen Ausrichtung können Distanz¬ stücke zwischen einem sende- und monitorelementunterstützen- den Träger und der Kopplungsvorrichtung eingesetzt werden. Zur Vermeidung störender, auf das Emissionssignal rückkop¬ pelnder Reflexionen an der Kopplungsvorrichtung und dem Kop¬ pelelement werden diese mit reflektionsunterdrückenden Be¬ schichtungen versehen. Besondere Bedeutung kommt derartigen Beschichtungen bei Materialien mit hohem Brechungsindex, bei¬ spielsweise Silizium, zu. Rückkopplungen können aber auch durch ein geeignetes Verkippen der Kopplungsvorrichtung ge¬ genüber dem Sendeelement vermieden werden. Eventuell reflek¬ tierte Strahlung gelangt durch die Verkippung nicht mehr auf die aktive Oberfläche des Sendeelements. Unter Anwendung bekannter Verbindungstechniken wie Löten und Kleben wird aus der Kopplungsvorrichtung und den elektroni¬ schen Bauelementen eine kompakte und dauerhafte Sendebau- gruppe gebildet. Materialien, die ein gleiches thermischeε Verhalten aufweiεen, εind zu bevorzugen.
Zur Erhöhung des Integrationsgrades werden in einer weiteren bevorzugten Ausführungsform Sende- und Monitorelement unmit- telbar von der Kopplungsvorrichtung getragen. Die Montage er¬ folgt bevorzugt mit der Flip-Chip-Technik unter Verwendung von Bumps zur Kontaktierung, wobei der Effekt der Selbstzen¬ trierung zusätzlich ausgenutzt werden kann. Dazu sind auf den zueinanderweisenden Oberflächen von Sende- und Monitorelement einerseits und Kopplungsvorrichtung andererseitε Lötflächen vorgesehen, die Lötkügelchen (Bumps) tragen, welche durch Wärmeeinwirkung zum Schmelzen gebracht werden. Dadurch werden Sende- und Monitorelement mit der Kopplungsvorrichtung ver¬ bunden und ausgerichtet. Diese Ausführungsform ist durch eine hervorragende mechanische und optische Stabilität gekenn¬ zeichnet und kann kostengünstig hergestellt werden.
Entsprechend der bevorzugten Ausführungsformen sind elektri¬ sche Kontaktmöglichkeiten entweder trägerseitig oder kopp- lungsvorrichtungsseitig vorhanden. Vorzugsweise werden bond¬ bare Goldbahnen auf einen Silizium- oder Glasträger verwen¬ det.
Bei einer von stahlungsaktiven Sendebereichen gebildeten ak- tiven Oberfläche des Sendeelements, bei dem die Bereiche in einer Reihe oder in einer Fläche angeordnet sind, läßt sich der Treiberstrom mehrerer Sendebereiche durch ein Monitore¬ lement regeln, welches die emittierte Strahlung eines Sende¬ bereichs empfängt. Für die individuelle Regelung jedes Sende- bereichs hingegen wird jeweils ein zugehöriges Monitorelement benötigt. Ein oder mehrere Koppelkörper reflektieren einen Teil der von dem jeweiligen Sendebereich emittierten Strahlung auf daε entεprechende Monitorelement. Die Ausge¬ staltung der Koppelkörper und der Koppelelemente kann ent- sprechend den verwendeten Materialien erfolgen.
Zur Erläuterung der Erfindung iεt in
Figur 1 ein Schnitt durch ein Auεführungsbeispiel der erfin¬ dungsgemäßen Anordnung in schematischer Darstellung, in Figur 2 ein Schnitt durch ein weiteres Auεführungεbeispiel der erfindungsgemäßen Anordnung in ebenfalls schematischer Darstellung, in
Figur 3 eine perspektivische Darstellung eines im Ausfüh¬ rungsbeispiel nach Figur 1 gezeigten Koppelkörpers, in Figur 4 ein perεpektivische Darstellung eines im Ausführungs- beispiel nach Figur 2 wiedergegebenen Koppelkörpers, in Figur 5 eine erfindungsgemäße Anwendung in einer Sendebau¬ gruppe in einer Zehn-Kanal-Ausführung mit Linsenarray in 100- Siliziummaterial, in Figur 6 eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Sendebau¬ gruppe mit unmittelbar auf der Kopplungsvorrichtung montier¬ tem Sende- und Monitorelement, in
Figur 7 eine Draufsicht auf eine erfindungsgemäße Sendebau¬ gruppe und in Figur 8 die Sendebaugruppe aus Figur 7 entlang der Linie A-B wiedergegeben.
Bei dem Ausführungεbeiεpiel nach Figur 1 iεt ein lichtauεsen- dendes Element 1 unmittelbar an einer Außenfläche 2a eines Koppelkörpers 2 angebracht. Das lichtaussendende Element 1 weist in dem dargestellten Ausführungsbeispiel an seiner lichtemittierenden Oberfläche 3 drei in einer Reihe angeord¬ nete Sendebereiche 4, 5 und 6 auf, von denen Lichtstrahlen LI, L2 und L3 auf eine Seitenwand 7 einer reflektierenden Vertiefung 8 in dem Koppelkörper 2 abgegeben wird, weil das lichtausεendende Element 1 mit seiner lichtemittierenden Oberfläche 3 der Seitenwand 7 gegenüber angeordnet ist.
Ist der Koppelkörper 2 aus Silizium hergeεtellt, dann läßt εich die Vertiefung 8 leicht durch aniεotropes Ätzen herstel¬ len, wobei dann die Seitenwand 7 wie auch eine dieser gegen¬ überliegende andere Seitenwand 9 eine Neigung α gegenüber einem Boden 10 zwiεchen den beiden Seitenwänden 7 und 9 auf¬ weist, die 54,7° beträgt. Demzufolge werden die auf die Sei- tenwand 7 einfallenden Lichtstrahlen LI bis L3 so reflek¬ tiert, daß sie auf den Boden 10 der Vertiefung 8 fallen und von dort auf die andere Seitenwand 9 reflektiert werden. Von dieser Seitenwand 9 werden die Lichtstrahlen LI, L2 und L3 in derselben Reihenfolge wie sie auf die eine Seitenwand 7 ge- führt sind, reflektiert und gelangen zu einem lichtempfangen¬ den Element 11, das eine Reihe von Empfangsbereichen 12, 13 und 14 an seiner Lichtempfangsseite 15 aufweiεt. Das licht¬ aussendende Element 1 und das lichtempfangende Element 11 sind mittels einer Grundplatte 16 einander fest zugeordnet.
Die Figur 1 läßt deutlich erkennen, daß die Lichtstrahlen LI bis L3 in derselben räumlichen Zuordnung zum lichtempfangen¬ den Element 11 übertragen werden, wie sie von dem lichtaus- εendenden Element 1 abgegeben worden sind. Eine Vertauschung der Reihenfolge findet also nicht statt, was für die Zuord¬ nung der Sende- und Empfangsbereiche der Elemente 1 und 11 vorteilhaft ist. Außerdem zeigt die Figur 1 deutlich, daß durch eine unterschiedliche Positionierung deε Koppelkörperε 2 zu den Elementen 1 und 11 bzw. den Sendebereichen 4 biε 6 und den zugeordneten Empfangsbereichen 12 bis 14 auf der Grundplatte 16 die optische Kopplung nicht beeinträchtigt wird, wenn die Längserstreckung d des Bodens 10 in Abhängig¬ keit von dem Abstand a gemäß der nachstehenden Formel d = a/2.sin2α gewählt ist. Dies ist auf die dreifache Reflexion an den Sei¬ tenwänden 7 und 9 und an dem Boden 10 zurückzuführen.
Ähnlich vorteilhaft iεt die Auεführung nach Figur 2, in der wiederum εchematiεch ein lichtausεendendes Element 21 mit
Sendebereichen 22, 23 und 24 an einem Koppelkörper 25 gehal¬ ten ist, der hohle Seitenwände 26 und 27 aufweist, die am Grunde einer Vertiefung 28 zusammenstoßen. Ist nämlich die Kontur jeder Seitenwand 26 bzw. 27 gemäß der Beziehung
z =e® gewählt - mit z alε vom Grund der Vertiefung 28 zählender Hö¬ henvariabler und b alε Abstand zwischen dem lichtaussendenden Element 21 und einem lichtempfangenden Element 29 bzw. den den zugeordneten Sendebereichen 22 bis 24 und Empfangsberei- chen 30 bis 32 -, dann läßt εich erreichen, daß von den Sen¬ debereichen 22 bis 24 ausgeεandte Lichtεtrahlen L21, L22 und L23 zu dem ebenfallε an dem Koppelkörper 25 gehaltenen Licht- empfangεelement 29 mit den Empfangεbereichen 30, 31 und 32 in derεelben räumlichen Zuordnung übertragen werden, wie εie auεgesandt worden sind. Auch bei diesem Ausführungsbeispiel gehen beispielsweise toleranzbedingte Positionierungsände¬ rungen zwischen dem Koppelkörper 25 und der Anordnung mit den Elementen 21 und 29 auf einer Grundplatte 32 nicht in die Qualität der optischen Ankopplung ein.
In Figur 3 ist nur der Koppelkörper 2 des Ausfuhrungsbei¬ spiels nach Figur 1 perspektivisch dargestellt. Es sind hier deutlich die geneigten Seitenwände 7 und 9 und der Boden 10 dargestellt. Die stärker angezogenen Linien sollen spiegelnde Schichten verdeutlichen.
Figur 4 zeigt den Koppelkörper 25 nach dem Ausführungsbei¬ spiel gemäß Figur 2 in ebenfalls perspektiviεcher Darεtel- lung. Auch hier sind mit dickeren Linien spiegelnde Schichten auf den Seitenwänden 26 und 27 gekennzeichnet.
Eine Anwendung der Erfindung bei einer Sendebaugruppe, ausge- führt als 10-Kanal-Anordnung mit Linsenarray in 100-Silizium, ist in Figur 5 gezeigt. Hierbei besteht der Grundkörper 43 der Kopplungεvorrichtung 40 auε kriεtallinem Silizium mit der kristallographischen 100-Ausrichtung zur Grundkörperoberflä¬ che. Die Linsen 53b bis 53n, die ebenfalls aus Silizium be- stehen und durch planare Strukturierungstechniken unter Aus¬ nutzung anisotroper und isotroper Ätztechniken bzw. Prägen hergestellt wurden, sind ihren zugeordneten Halbleiterlasern 45b biε 45n gegenüber auεgerichtet und fokuεεieren deren Strahlung 46b biε 46n. Die Halbleiterlaser 45a bis 45n werden durch das Laserarray 41 als lichtaussendendes Element repräsentiert.
Die emittierte Strahlung 46a eines Halbleiterlasers 45a wird zur Regelung des Treiberstroms aller Halbleiterlaser 45a bis 45n ausgenutzt. Die Laserεtrahlung 46a wird durch eine Ver¬ tiefung 48 an der dem Laεerarray 41 zugewandten Seite deε Grundkörperε 43 durch dreifache Reflexion auf die Monitor¬ diode 42 geworfen. Die Vertiefung 48 iεt im Querschnitt als Trapez mit geneigten Seitenflächen 51, 52 geformt, wie dies bereits in den Figuren 1 und 3 dargestellt ist; der Koppel¬ körper ist hier also in den Grundkörper 43 integriert. Der Winkel, der von den Seitenflächen 51, 52 mit der Unterseite des Grundkörpers 43 gebildet wird, hängt von der kriεtallo- graphischen Ausrichtung des Siliziummaterials ab. Bei einer 100-Auεrichtung wird bei anisotropem Ätzen ein Winkel von ca. 55° eingestellt. Wird Prägen bei der Herstellung bevorzugt, kann prinzipiell jeder beliebige Winkel gewählt werden.
Eine besonderε kompakte Sendebaugruppe εoll anhand der Figur 6 erläutert werden. Daε Laεerdiodenarray 61 alε lichtausεen- dendeε Element mit einer Reihe von zeilenweise angeordneten Laserdioden 66a bis 66b (VCSEL-Dioden) ist unmittelbar auf der Unterseite des Grundkörpers 64 der Kopplungseinheit 60 befestigt. Die Kontaktierung des Arrays 61 erfolgt unter Ausnutzung von Bumps 65. Gleicheε gilt für die Monitordiode 62. Auch hier ist der Koppelkörper in den Grundkörper 64 in¬ tegriert, indem an der Unterseite deε Grundkörpers 64 ist wie bereits in Figur 5 dargestellt eine trapezförmige Vertiefung 68 vorgesehen ist. Monitordiode 62 und Laserdiodenarray 61 εind so angeordnet, daß genau eine Laserdiode 66a über den
Rand der Vertiefung 68 ragt und einer geneigten Seitenwand 70 gegenübersteht. Auf der anderen Seite der Vertiefung 68 iεt die lichtempfindliche Fläche 63 der Monitordiode 62 einer anderen Seitenwand 69 der Vertiefung 68 gegenüber angeordnet. Daε emittierte Laεerlicht 71a der Laεerdiode 66a wird durch dreifache Reflexion auf die Monitordiode 62 gelenkt. Die Strahlung der Laserdiode 66b wird wie bereits in Figur 5 beschrieben durch eine zugeordnete Linse 67 fokusεiert.
Eine Sendebaugruppe, die eine individuelle Regelung jeder einzelnen Laεerdiode ermöglicht, ist in Figur 7 in einer Draufsicht gezeichnet. Einem zeilenartigen Laserdiodenarray 86 ist ein ebenfalls zeilenartiges Monitordiodenarray 87 zu¬ geordnet, wobei die lichtempfindliche Oberfläche des Monitor- arrays 87 und die aktive Oberfläche des Laserdiodenarrayε 86 jeweils in Zeichenblattebene liegen und nach oben weisen. Beide Arrays 86, 87 sind auf einem Träger 81 befestigt. Seit¬ lich neben beiden Arrays sind Distanzstücke 82, 83 auf dem Träger 81 angebracht, die die Kopplungsvorrichtung 80 tragen. Die gepunktete Linie deutet eine Vertiefung 85 eines in die Koppelvorrichtung integrierten Koppelkörpers an, die sich an der Unterseite der Kopplungsvorrichtung 80 befindet und parallel zu den Arrays 86, 87 auεgerichtet iεt. Die Vertie¬ fung 85 wird an zwei Seiten von zueinander geneigten und me- tallisierten Wänden 89, 93 begrenzt, wobei die Seitenwand 93 entlang deε Laεerdiodenarrays 86 ausgerichtet ist und sich oberhalb der Laserdioden (nicht dargestellt) befindet, die Seitenwand 89 jedoch entlang der Monitordioden (ebenfalls nicht dargestellt) ausgerichtet ist. Die Neigung der Seiten¬ wände 89, 93 zueinander ist so gewählt, daß mindestenε ein Teil der emittierten Strahlung jeder Laεerdiode durch zwei- oder dreifache Reflexion an den Seitenwänden 89, 93 und der Unterεeite der Vertiefung 85 auf die zugeordnete Monitordiode deε Monitordiodenarrays 87 gelangt.
Senkrecht oberhalb jeder Laserdiode ist eine Linse 88 auf der Oberseite der Kopplungsvorrichtung 80 angebracht. Dabei ist die Anordnung der Linsen 88 und der Seitenwand 93 so gewählt, daß bei senkrechter Projektion der Linse 88 und der Seiten- wand 93 auf die Oberfläche des Laserdiodenarrays 86 die un¬ tere Kante 91 der Seitenwand 93 über die Berandung jeder Linse 88 leicht übersteht. Die Größe dieseε Überstandes be¬ stimmt bei voller Ausleuchtung der Linse 88 durch die von ei¬ ner Laserdiode emittierte Strahlung das Verhältnis des durch die Seitenwand 93 reflektierten Anteils der Laserεtrahlung zum Strahlungεanteil, welcher durch die Linse 88 dringt.
Zur elektriεchen Kontaktierung der Arrays 86, 87 sind geeig¬ nete Bahnen 92, 96 auf dem Träger 81 aufgebracht. Bevorzugt werden bondbare Goldbahnen auf einem Silizium- oder Glasträ¬ ger verwendet. Nur schematisch sind die Bonddrähte 90, 94 an¬ gedeutet.
Zum besseren Verεtändniε deε in Figur 7 dargeεtellten Sach- Verhalts wird auf die Figur 8 verwiesen, die einen Schnitt durch die Sendebaugruppe der Figur 7 entlang der Linie A-B darstellt. Die Bezugszeichen, soweit korreεpondierend, εind mit denen der Figur 7 identisch. Auf dem Träger 81 sind zu¬ einander beabstandet das Laserdiodenarray 86 und das Monitor- diodenarray 87 fixiert. Die Arrays 86, 87 werden durch Bond- drahte 90, 94 elektrisch kontaktiert. Durch die in der ge¬ wählten Darstellung hintereinander in Flucht stehenden Di¬ stanzstücke 82, 83 ist die Kopplungsvorrichtung 80 den Arrays 86, 87 gegenüber angeordnet, wobei die Vertiefung 85 auf der Unterseite des Grundkörpers 84 den Arrays 86, 87 zugewandt ist. Die geneigte Seitenwand 93 reicht mit ihrer Unterkante 91 leicht in den Strahlenkegel 100 einer Laserdiode 106 hin¬ ein und schneidet so einen Teil 102 der emittierten Strahlung auε dem Kegel 100 herauε. Dieser Strahlungsanteil 102 wird an der Seitenwand 93, der Unterseite 110 der Vertiefung 85 und der Seitenwand 89 auf eine Monitordiode 108 reflektiert. Der überwiegende Teil der emittierten Strahlung 100 wird dagegen von der Linse 88 fokussiert.
Diese Ausführungεform geεtattet es in vorteilhafter Weise den kompakten Aufbau der Kopplungεvorrichtung 80 mit der indivi¬ duellen Treiberstromregelung jeder Laserdiode zu verbinden. Thermisch und mechanisch stabile Verbindungstechniken beim Fixieren der Kopplungsvorrichtung 80 auf den Diεtanzstücken 82, 83 und dem Ausrichten der Kopplungsvorrichtung 80 bezüg¬ lich der Arrays 86, 87 gewährleisten eine hohe Lebensdauer der Sendebaugruppe.

Claims

Patentansprüche
1. Anordnung zum optischen Ankoppeln eines lichtaussendenden Elementes (1) an ein lichtempfangendes Element (1) mit einem Koppelkörper (2), bei der
- vor einer Außenfläche (2a) des Koppelkörpers (2) das lichtauεεendende und daε lichtempfangende Element (1; 11) nebeneinander angeordnet εind,
- der Koppelkörper (2) eine εich von der einen Außenfläche (2a) nach innen verjüngende, reflektierende Vertiefung (8) mit hinsichtlich eines Bodens (10) einander gegenüberliegenden Seitenwänden (7, 9) aufweist,
- das lichtaussendende Element (1) mit seiner licht¬ emittierenden Oberfläche (3) der einen Außenfläche (2a) des Koppelkörpers (2) zugewandt angeordnet ist und vor der einen Seitenwand (7) liegt,
- vor der anderen Seitenwand (9) der Vertiefung (8) des Koppelkörpers (2) das lichtempfangende Element (11) mit seiner Lichtempfangεεeite (15) angeordnet ist, und - die Seitenwände (7, 9) eine derartige Neigung (2) aufweisen, daß das Licht des lichtauεεendenden Elements (1) nach Reflexion an der einen Seitenwand (7) , dem Boden (10) und der anderen Seitenwand (9) zum lichtempfangenden Element (11) gelangt.
2. Anordnung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- bei einem Abstand a des lichtaussendenden von dem lichtempfangenden Element (1; 11) und einer Neigung α der Seitenwände zwischen 45 und 90° der Boden (10) der
Vertiefung (8) eine Quererstreckung d aufweist, die sich gemäß der Formel d=a/2.sin2α ergibt.
3. Anordnung zum optiεchen Ankoppeln eines lichtaussendenden Elementes (21) an ein lichtempfangendes Element (29) mit einem Koppelkörper (25), bei der
- vor einer Außenfläche des Koppelkörpers (25) das lichtausεendende und daε lichtempfangende Element (21; 29) nebeneinander angeordnet εind,
- der Koppelkörper (25) eine εich von der einen Außenfläche nach innen verjüngende, spiegelnde Vertiefung mit einander gegenüberliegenden Seitenwänden (26, 27) aufweist, - daε lichtauεsendende Element (21) mit seiner licht¬ emittierenden Oberfläche der einen Außenfläche des Koppelkörpers (25) zugewandt angeordnet ist und vor der einen Seitenwand (26) liegt,
- vor der anderen Seitenwand (27) der Vertiefung (28) des Koppelkörpers (25) das lichtempfangende Element (21) mit seiner Lichtempfangsseite angeordnet ist, und
- die Seitenwände (26, 27) im Grunde der Vertiefung (28) aneinander stoßen und eine derartige hohle Kontur aufweisen, daß das Licht des lichtaussendenden Elements (21) nach Reflexion an der einen Seitenwand (26) und der anderen Seitenwand (27) zum lichtempfangenden Element (29) gelangt.
4. Anordnung nach Anspruch 3, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- bei einem Abstand b deε lichtaussendenden von dem lichtempfangenden Element (21; 29) die Kontur jeder
-1
Seitenwand (26, 27) gemäß der Beziehung z=e|ZI gestaltet ist, in der mit z eine vom Grunde der Vertiefung (28) zu der einen Außenfläche zählende Höhenvariable bezeichnet ist.
5. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß - die lichtemittierende Oberfläche (3) deε lichtauεεendenden Elementeε (1) von mehreren in einer Reihe oder in einer Fläche angeordneten Sendebereichen (4, 5, 6) und die Lichtempfangεεeite (15) deε lichtempfangenden Elementeε
(11) von in einer Reihe oder in einer Fläche angeordneten Empfangεbereichen (12, 13, 14) gebildet ist.
6. Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß
- der Koppelkörper (2) aus kristallinem Material oder aus Glas besteht.
7. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, - der Koppelkörper (2) aus Kunstεtoff oder Metall gebildet ist.
8. Anwendung der Anordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche bei einer optoelektronischen Sendebaugruppe mit mindestenε einem lichtauεεendenden Element (41), mindeεtens einem Monitorelement (42) und einer Kopplungsvorrichtung (40) , welche mindeεtens ein optisches Koppelelement (53b bis 53nl) und mindestens ein reflektierendes Element (48) aufweist, wobei eine strahlungsempfindliche Oberfläche des Monitorelements (42) und eine aktive Oberfläche (46a bis 46nl) des Sendeelements (41) der Kopplungsvorrichtung (40) zugewandt sind, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Anordnung der Kopplungsvorrichtung (40) , des lichtausεendenden Element (41) und des von dem lichtempfangenden Element gebildeten Monitorelements (42) zueinander so gestaltet ist, daß gegenüber einem auf einer einzigen Bauteilseite des lichtaussendenden Elements (41) befindlichen Abschnitt (46a) der aktiven Oberfläche (46a bis 46b) sowohl die spiegelnde Vertiefung (48) als auch das Koppelelement (53b) angeordnet sind.
9. Anwendung der Optoelektronischen Sendebaugruppe nach Anspruch 8, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß die Kopplungsvorrichtung (40) aus einem im charakteristischen Emissionswellenlängenbereich des lichtaussenden Elements (41) transparenten Material besteht, daß wenigstenε ein Teil der vom Abεchnitt (46a) emittierten Strahlung durch Reflexion in der Vertiefung (48) auf daε Monitorelement (42) gelenkt wird, und ein weiterer Teil der Strahlung durch die Kopplungsvorrichtung (40) dringt.
10. Anwendung der optoelektronischen Sendebaugruppe nach Anspruch 8, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß wenigstens ein Teil der vom Abschnitt emittierten Strahlung durch Reflexion in der Vertiefung auf das Monitorelement gelenkt wird, und ein weiterer Teil der Strahlung am Koppelelement reflektiert wird.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000039616A1 (en) * 1998-12-23 2000-07-06 Telefonaktiebolaget Lm Ericsson (Publ) A device for reflecting light
WO2002103426A2 (en) * 2000-12-26 2002-12-27 Emcore Corporation Optical power control system
EP1329755A2 (de) * 2002-01-22 2003-07-23 Agilent Technologies Inc. (a Delaware Corporation) Passiv ausgerichtete optoelektronische Bauteile für optische Parallelverbindungen
DE19836541B4 (de) * 1998-08-06 2004-05-27 Infineon Technologies Ag Verfahren zum gleichzeitigen Herstellen mehrerer elektrooptischer Baugruppen
DE10319901A1 (de) * 2003-04-29 2004-11-25 Infineon Technologies Ag Optische Anordnung mit mindestens einem Sendebauelement und einem dem Sendebauelement jeweils zugeordneten Monitorbauelement

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6799902B2 (en) 2000-12-26 2004-10-05 Emcore Corporation Optoelectronic mounting structure

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2162335A (en) * 1984-07-25 1986-01-29 Magnetic Controls Co Fibre optic coupler
US4732446A (en) * 1985-10-02 1988-03-22 Lamar Gipson Electrical circuit and optical data buss
US5282080A (en) * 1991-12-09 1994-01-25 Sdl, Inc. Surface coupled optical amplifier
EP0622874A1 (de) * 1993-04-24 1994-11-02 Robert Bosch Gmbh Anordnung zur Ankopplung eines optoelektronischen Empfangselementes an ein optoelektronisches Sendeelement
EP0652454A1 (de) * 1993-11-05 1995-05-10 Motorola, Inc. Optisches Modul mit einem Reflexionswellenleiter

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5925282A (ja) * 1982-08-02 1984-02-09 Fujitsu Ltd 光伝送路付光半導体パツケ−ジ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2162335A (en) * 1984-07-25 1986-01-29 Magnetic Controls Co Fibre optic coupler
US4732446A (en) * 1985-10-02 1988-03-22 Lamar Gipson Electrical circuit and optical data buss
US5282080A (en) * 1991-12-09 1994-01-25 Sdl, Inc. Surface coupled optical amplifier
EP0622874A1 (de) * 1993-04-24 1994-11-02 Robert Bosch Gmbh Anordnung zur Ankopplung eines optoelektronischen Empfangselementes an ein optoelektronisches Sendeelement
EP0652454A1 (de) * 1993-11-05 1995-05-10 Motorola, Inc. Optisches Modul mit einem Reflexionswellenleiter

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 008, no. 111 (E-246), 24.Mai 1984 & JP 59 025282 A (FUJITSU KK), 9.Februar 1984, *

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19836541B4 (de) * 1998-08-06 2004-05-27 Infineon Technologies Ag Verfahren zum gleichzeitigen Herstellen mehrerer elektrooptischer Baugruppen
WO2000039616A1 (en) * 1998-12-23 2000-07-06 Telefonaktiebolaget Lm Ericsson (Publ) A device for reflecting light
US6421482B1 (en) 1998-12-23 2002-07-16 Telefonaktiebolaget Lm Ericsson (Publ) Device for reflecting light
WO2002103426A2 (en) * 2000-12-26 2002-12-27 Emcore Corporation Optical power control system
WO2002103426A3 (en) * 2000-12-26 2003-05-22 Emcore Corp Optical power control system
EP1329755A2 (de) * 2002-01-22 2003-07-23 Agilent Technologies Inc. (a Delaware Corporation) Passiv ausgerichtete optoelektronische Bauteile für optische Parallelverbindungen
JP2003218447A (ja) * 2002-01-22 2003-07-31 Agilent Technol Inc パラレル光学系接続装置用の位置決め方法
EP1329755A3 (de) * 2002-01-22 2004-07-21 Agilent Technologies Inc. (a Delaware Corporation) Passiv ausgerichtete optoelektronische Bauteile für optische Parallelverbindungen
DE10319901A1 (de) * 2003-04-29 2004-11-25 Infineon Technologies Ag Optische Anordnung mit mindestens einem Sendebauelement und einem dem Sendebauelement jeweils zugeordneten Monitorbauelement

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Publication number Publication date
WO1997025638A3 (de) 1997-10-02

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