DE60223783T2 - Methode zur Herstellung optoelektronischer Bauteile für optische Parallelverbindungen - Google Patents

Methode zur Herstellung optoelektronischer Bauteile für optische Parallelverbindungen Download PDF

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    • G02B6/43Arrangements comprising a plurality of opto-electronic elements and associated optical interconnections

Description

  • HINTERGRUND
  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung betrifft Paralleloptik-Verbindungsbauteile im Allgemeinen und faseroptische Maschinen im Besonderen.
  • TECHNISCHER HINTERGRUND
  • Bei der Übermittlung von Signalen mittels Lichtleiter ist es nötig, das optische Signal, das sich aus Licht oder Photonen zusammensetzt, in elektrische Signale umzuwandeln, und elektrische Signale in optische Signale.
  • Die große Mehrheit von Produkten, die heute am Markt sind, um die Umwandlung zwischen optischen und elektrischen Signalen zu bewerkstelligen, verwenden eine Kombination diskreter Komponenten. Die diskreten Komponenten enthalten aktive und passive Elemente. Aktive Elemente für Sender verwenden Licht emittierende Bauteile, die Licht emittierende Dioden oder Laser sein könnten, um elektrische Signale in optische Signale umzuwandeln. Oft sind die Laser Halbleiterlaser von entweder kantenemittierender oder flächenemittierender Art. Aktive Elemente für Empfänger verwenden Photodetektoren, um optische Signale in elektrische Signale zurückzuwandeln. Passive Elemente sind diskrete Linsenelemente, die konventionelle Brechungsoptiken oder Beugungsoptiken enthalten könnten. Bei Faseroptiken sind die Linsenelemente von sehr komplizierter Art, die mit Hilfe von Computern erzeugt und typisch als „Computer-erzeugte" Optiken bezeichnet werden. Zusätzlich ist komplizierte Elektronik erforderlich, üblicherweise in der Form von integrierten Schaltkreisen, die wiederum aktive und passive Elemente haben.
  • Weil die derzeitigen Gestaltungen eine Ansammlung diskreter Elemente sind, gibt es Mehrfach-Packages, welche die verschiedenen Elemente enthalten. Dies verursacht weitere Probleme in der parasitären Induktivität und Kapazität, die mittels der Gehäuse eingeführt werden, was zu Leistungsbegrenzungen führt.
  • Alle Elemente müssen in sehr präziser Weise in Modulen angeordnet werden. Typischerweise sind alle die Elemente auszurichten und in einem Großserien-Fabrikationsbereich mit einer Genauigkeit von besser als einigen Mikrometern zu platzieren. Daher ist sowohl die Herstellung als auch die Gestaltung dieser Module extrem schwierig und zeitaufwendig, und auch wenig ergiebig.
  • Die äußerste Grenze der Technik für faseroptische Anordnungen ist heute 10 Gigabits pro Sekunde in einem einzelnen seriellen Kanal. Sie erfordert ein sehr aufwendiges und ungewöhnliches Design und ist nicht zugänglich für die Großserienfertigung.
  • Seit kurzem hat sich ein neuer Markt entwickelt, der Parallel-Optik genannt wird, bei der ein einzelnes faseroptisches Modul mehrere Kanäle optischer Pfade enthält. Alle der gegenwärtigen Produkte sind Einzelkanal Nur-Empfänger, Nur-Sender oder Empfänger-und-Sender innerhalb eines einzelnen Moduls. Neue Parallel-Optiken erfordern bis zu zwölf Kanäle in einem gleichen physikalischen Raum wie ein Einzelkanalmodul. Dies stellt eine große Hürde dar, da sich herkömmliche Gestaltungen und Fertigungstechniken als ungeeignet erwiesen haben, die physikalischen Raumerfordernisse unter Beibehaltung eines noch signifikanten Grads von Herstellbarkeit zu erfüllen. Die Ausbeute ist gering, was bedeutet, dass die Kosten des Endprodukts extrem hoch sind.
  • Lösungen für diese Probleme sind lange gesucht worden, blieben aber dem Fachmann des technischen Gebiets lange verwehrt.
  • Dokument WO 97/25638 offenbart eine faseroptische Maschine, aufweisend ein optisches Element, das ein optisches Substrat und Optiken, ein optoelektronisches Element und einen integrierten Schaltkreis aufweisend photoempfindliche Vorrichtungen besitzt, um Rückkopplung zur Steuerung des optoelektronischen Elements bereitzustellen.
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren zur Herstellung einer faseroptischen Maschine gemäß Anspruch 1 bereit. Ein optoelektronisches Element, das zwischen Lichtsignalen und elektrischen Signalen konvertiert, wird an dem optischen Substrat befestigt und wird passiv mit der Optik ausgerichtet. Ein integrierter Schaltkreis zur Steuerung des optoelektronischen Elements wird an dem optischen Substrat befestigt. Ein elektrisches Substrat wird an dem optischen Element befestigt. Die faseroptische Maschine ist zum Einsatz im hohen Giga-Hertz (GHz) Frequenzbereich im Stande, wohingegen sie unter Verwendung handelsüblicher Materialien, Ausrüstung und in Fertigungsprozessen für Großserien hergestellt wird. Die Maschine kann auch kleiner hergestellt werden und erfordert weniger Ausrichtungsarbeit als herkömmliche Systeme.
  • Gewisse Ausführungsformen der Erfindung haben weitere Vorteile zusätzlich zu den oben erwähnten oder anstelle der oben erwähnten. Für den Fachmann werden die Vorteile durch Lektüre der folgenden detaillierten Beschreibung offenbar werden, wenn Bezug auf die beigefügten Figuren genommen wird.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER FIGUREN
  • 1 ist eine isometrische Ansicht der endgültig montierten Form einer exemplarischen faseroptischen Maschine;
  • 2 ist eine isometrische Ansicht des optischen Elements, wie es in der vorliegenden Erfindung verwendet wird;
  • 3 ist eine Ansicht von Komponenten in einem Zwischenstadium der Montage gemäß der vorliegenden Erfindung;
  • 4 ist eine Ansicht von Komponenten, die für die Verbindung gemäß einer alternativen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung räumlich angeordnet sind;
  • 5 ist eine andere Ansicht von Komponenten, die für die Verbindung in einer alternativen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung angeordnet sind;
  • 6 ist eine schematische Schnittdarstellung einer montierten exemplarischen faseroptischen Maschine gemäß der vorliegenden Erfindung; und
  • 7 ist eine Schnittdarstellung der endgültig montierten Form einer faseroptischen Maschine der vorliegenden Erfindung.
  • BESTE FORM ZUR AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
  • Nun wird Bezug auf 1 genommen, darin ist eine isometrische Ansicht der endgültig montierten Form einer exemplarischen faseroptischen Maschine 10 gezeigt. Die faseroptische Maschine 10 enthält ein optisches Element 12, einen integrierten Schaltkreis, Sender, Empfänger oder Transceiver, 14, ein optoelektronisches Element 16, ein elektrisches Substrat 18 und ein thermisches Substrat 20. Das optische Element 12, der integrierte Schaltkreis 14 und das optoelektronische Element 16 sind „passiv ausgerichtet", was heißt, dass die Komponenten während der Montage ausgerichtet werden, um geeignet ausgerichtete Lichtpfade 22 bis 26 zwischen den verschiedenen Komponenten der faseroptischen Maschine 10 bereitzustellen. Der Ausdruck „passiv ausgerichtet" bildet den Gegenbegriff zu „aktiv ausgerichtet", wo die Komponenten mechanisch oder elektrisch nach der Montage ausgerichtet werden.
  • Wenn montiert, definieren die Lichtpfade 22 bis 26 den optischen Pfad, der den Pfad der Photonen beschreibt, die von dem optoelektronischen Element 16 in das optische Element 12 gelangen. Der Strahl wird in zwei Pfade 23 und 24 aufgeteilt, in einen, der das optoelektronische Element 16 trifft und einen anderen, der reflektiert wird, um den integrierten Schaltkreis 14 zu treffen. Dies ermöglicht die Ausbildung eines vollständigen optischen Pfads, der die Steuerung des Verhaltens des optoelektronischen Elements 16 mittels des integrierten Schaltkreises 14 gestattet, was derzeit mit einem herkömmlichen Design und Herstellungsverfahren nicht erreicht werden kann.
  • Nun wird Bezug auf 2 genommen, darin ist eine isometrische Ansicht des optischen Elements 12 der vorliegenden Erfindung gezeigt. Das optische Element 12 enthält ein transparentes optisches Substrat 30, das obere und untere horizontale Flächen 32 bzw. 34 hat.
  • Der in dieser Anmeldung gebrauchte Ausdruck „horizontal" ist definiert als eine Ebene parallel zu der konventionellen Ebene oder Fläche des transparenten optischen Substrats 30, unabhängig von der Orientierung des Substrats. Der Ausdruck „vertikal" bezieht sich auf eine Richtung senkrecht zu der horizontalen, wie soeben definiert. Ausdrücke wie „auf", „seitlich", „höher", „tiefer", „über" und „unter" sind definiert mit Bezug auf die konventionelle Ebene oder Fläche, die auf der oberen Fläche des transparenten optischen Substrats 30 liegt, unabhängig von der Orientierung des Substrats. Zum leichteren Verständnis haben ähnliche Strukturen in verschiedenen Ausführungsformen die gleichen Nummern, obwohl klar sein muss, dass jede Ausführungsform nur für ein Beispiel der vorliegenden Erfindung steht.
  • Auf der oberen horizontalen Fläche 32 des transparenten optischen Substrats 30 befinden sich Optik 36 und ein oberer Spiegel 38. Auf der unteren horizontalen Fläche 34 befindet sich ein unterer Spiegel 40. Weiter sind auf der unteren horizontalen Fläche 34 eutektische Lötbumps 42 bis 47. Die Lötbumps 43 und 44 sind verbunden mittels Integrierte-Schaltkreis-Leiterbahnen 50, und die Lötbumps 45 bis 47 sind verbunden mit Integrierte-Schaltkreis-Leiterbahnen 52.
  • Das transparente optische Substrat 30 kann aus einem beliebigen Material sein, das transparent für die Wellenlänge von Licht ist, mit der die faseroptische Maschine 10 arbeiten wird, wie zum Beispiel Glas, Quarz, Saphir oder Silizium. Die oberen und unteren Spiegel 38 und 40 können entweder geätzt oder abgeschieden sein, unter Verwendung von Prozessen ähnlich wie bei der Verarbeitung von Halbleiterwafern. In ähnlicher Weise könnte die Optik 36 geätzt oder abgeschieden sein, in das bzw. auf das optische Substrat 30. Die verschiedenen Methoden zum Bilden von Spiegeln und Optiken sind im Stand der Technik bekannt. Zum Beispiel können Brechungs- und Beugungslinsen und Stapel von Linsen auf den oberen und unteren horizontalen Flächen 32 und 34 gebildet werden. Die oberen und unteren Spiegel 38 und 40 könnten auch als Reflexionslinsen gebildet werden, um bessere Steuerung über den Lichtpfad 22 zu ermöglichen.
  • Nun wird Bezug auf 3 genommen, darin sind eine Anzahl von Komponenten in einem Zwischenstadium der Montage gemäß der vorliegenden Erfindung gezeigt. Das optische Element 12 ist mit seiner unteren horizontalen Fläche 34 nach oben zeigend dargestellt.
  • Das optoelektronische Element 16 ist in einer Position zur Verbindung mit den Lötbumps 42 und 43. Das optoelektronische Element 16 könnte von einer Anzahl von unterschiedlichen Typen sein, abhängig von der besonderen Anwendung für die faseroptische Maschine 10. Es kann ein Licht übermittelndes und/oder ein Licht empfangendes Bauteil sein. Die Funktionen sind schematisch dargestellt mit einem Licht emittierenden Bauteil 54 und einem Licht empfangenden Bauteil 56 in dem optoelektronischen Element 16. Das Licht emittierende Bauteil 54 könnte eine Anordnung von Licht emittierenden Dioden oder flächenemittierenden oder kantenemittierenden Festkörperlasern sein. Das Licht empfangende Bauteil 56 könnte eine Photodiode sein, wie zum Beispiel ein P/N-Übergang. Im Wesentlichen wandelt das Licht emittierende Bauteil 54 elektrische Signale in Lichtsignale als einen Senderanteil, und das Licht empfangende Bauteil 56 wandelt Lichtsignale in elektronische Signale als den Empfängeranteil.
  • In ähnlicher Weise wird der integrierte Schaltkreis 14 positioniert zur Verbindung mit den Lötbumps 44 bis 47 auf dem transparenten optischen Substrat 30. Der integrierte Schaltkreis 14 kann ein Empfänger, Sender und/oder Steuer Halbleiter-Integrierter-Schaltkreis sein. Auf der Oberseite des integrierten Schaltkreises 14 befindet sich eine Monitor-Diodenanordnung 15 (zu erkennen in 1), wie zum Beispiel P/N-Übergänge, die photosensitiv sind und Photonen in Elektronen konvertieren.
  • Die Optik 36 ist ein speziell gestaltetes beugungsoptisches Element, aber die Gestaltung ist Standardtechnologie. Die Optik 36 ist ein beugungsoptisches Element, das den Strahl aufteilt, einen durch den Hauptpfad. Ein kleiner Anteil dieser Energie wird zurück gelenkt in das Substrat. Er prallt auf Spiegel. Es könnte zu mehr als einem Abprall kommen. Darüber hinaus könnten die oberen und unteren Spiegel 38 und 40 in sich selbst Fokussierungslinsen enthalten, die eine Aufweitung des Strahls bei seinem Durchgang durch das transparente optische Substrat 30 vermeiden würden. Schließlich verläuft er zu der Monitor-Dioden-Anordnung 15, die ein in dem integrierten Schaltkreis 14 enthaltener P/N-Übergang sein könnte, an welcher Stelle Photonen in Elektronen konvertiert werden. Diese Information wird verwendet, um das Verhalten des Senders oder Licht emittierenden Bauteils 54 zu steuern. Diese Rückkopplungsschleife gestattet es, die antreibende Signalamplitude zu ändern, ihre Dauer ebenso wie ihre Amplitude, abhängig von der überwachten Intensität der Photonen oder der optischen Energie.
  • Die Monitor-Diodenanordnung 15 könnte in dem integrierten Schaltkreis 14 enthalten sein, wie dargestellt, oder könnte selbst ein separates Element sein, das getrennt mit dem transparenten optischen Substrat 30 verbunden werden könnte, mit seinen eigenen Integrierte-Schaltkreis-Leiterbahnen.
  • Die Verbindung des optoelektronischen Elements 16 und des integrierten Schaltkreises 14 mit dem optischen Element 12 in der obigen Ausführungsform wird erreicht durch die Selbstausrichtung von Anschlusspads an den Komponenten und den eutektischen Lötbumps auf dem transparenten optischen Substrat 30. Sehr genaue Ausrichtung ist anfangs nicht erforderlich. Wenn die Anordnung in einen Reflow-Ofen eingebracht wird, in dem die Lötbumps 42 bis 47 über ihren Schmelzpunkt gebracht werden, zieht die Oberflächenspannung des geschmolzenen Lötmittels das optoelektronische Element 16 und den integrierten Schaltkreis 14 in korrekte Ausrichtung zu dem transparenten optischen Substrat 30.
  • Nun wird Bezug auf 4 genommen, darin sind die Komponenten in einer Position zur Verbindung gemäß einer alternativen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung gezeigt. Eine Schicht von anisotrop leitfähigem Klebstoff (anisotropically conductive adhesive, ACA) wird auf dem transparenten optischen Substrat 30 gebildet. Der ACA kann mit Schablone aufgebracht werden oder als ausgestanzte Folie, um ACA 48 und 49 zu bilden, platziert zwischen den Lötbumps 42 und 43 in der Form des optoelektronischen Elements 16 oder zwischen den Lötbumps 44 bis 47 in dem Umriss des integrierten Schaltkreises 14. Die ACA 48 und 49 werden dann ausgehärtet, indem sie Wärme oder ultraviolettem Licht ausgesetzt werden, abhängig von dem spezifischen Typ des ACA-Materials. Aushärten durch ultraviolettes Licht ist vorzuziehen, da Härten bei Raumtemperatur weniger optische Fehlausrichtung hervorruft als Härten mittels Wärme, wegen der unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten der verschiedenen Komponenten.
  • Ausrichtung wird in dieser Ausführungsform erreicht mittels Referenzmarken (herkömmliche Halbleiter-Ausrichtungsstrukturen, die nicht dargestellt sind), die auf die Flächen der Komponenten, die auszurichten sind, gesetzt werden. Dann wird ein Druck angewendet, während die ACA 48 und 49 ausgehärtet werden.
  • Nun wird Bezug auf 5 genommen, darin sind die Komponenten, die zur Verbindung in einer alternativen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung angeordnet sind, gezeigt. Darin sind ein optisches Element 12', ein integrierter Schaltkreis 14' und ein optoelektronisches Element 16' gezeigt.
  • Der integrierte Schaltkreis 14' und das optoelektronische Element 16' haben Drahtbumps 60 bis 63, gebildet auf den dem optischen Element zugewandten Seiten. Die Drahtbumps 60 bis 63 werden mittels des Prozesses gebildet, bei dem die Enddrähte von Kugelbonds genommen werden, die Enddrähte abgeschnitten werden und die Enddrähte abgeflacht werden, um die Drahtbumps zu bilden.
  • Auf der unteren horizontalen Fläche 34 des transparenten optischen Substrats 30 wird eine UV- oder wärmehärtbare Klebstoffschicht angebracht. Die Klebstoffschicht besteht aus einem Klebstoffstreifen 66, einem Klebstoffstreifen 68 über einem Ende der IC-Leiterbahnen 50, und einer Klebstoffwand 70 über dem anderen Ende der IC-Leiterbahnen 50 und über den IC-Leiterbahnen 52.
  • Während des Herstellungsprozesses sind der integrierte Schaltkreis 14 und das optoelektronische Element 16 Flip-Chip-verbunden und werden unter Belastung auf dem transparenten optischen Substrat 30 gehalten. Ausrichtung des integrierten Schaltkreises 14 und des optoelektronischen Elements 16 zu dem transparenten optischen Substrat 30 wird erreicht mittels Ausrichtungs-Passermarken oder Strukturen auf den Anschlussflächen. Die Härtung der Klebstoffstreifen 66 und 68 und der Klebstoffwand 70 findet statt, während die Komponenten zusammen gehalten werden. Die Schrumpfung des Klebstoffs bei dem Aushärten führt zwangsläufig zu einer Kontaktbildung der Drahtbumps mit den IC-Leiterbahnen auf dem transparenten optischen Substrat 30.
  • Nun wird Bezug auf 6 genommen, darin ist eine schematische Schnittdarstellung der montierten faseroptischen Maschine 10 von 1 gezeigt.
  • Das optische Element 12 mit dem integrierten Schaltkreis 14 und dem damit verbundenen optoelektronischen Element 16 wird gesichert an dem elektrischen Substrat 18, das ein flexibles Band sein kann, das aufgedruckte Leiterbahnen 72 besitzt. Das optische Element 12 ist gesichert an dem elektrischen Substrat 18 mittels eines härtbaren anisotrop leitfähigen Klebstoffs 74, der auf dem elektrischen Substrat 18 so strukturiert wird, dass er unter dem Umfang des optischen Elements 12 liegt.
  • Das thermische Substrat 20 wird gesichert an dem elektrischen Substrat 18, in Kontakt mit sowohl dem integrierten Schaltkreis 14 als auch dem optoelektronischen Element 16, um entstehende Wärme abzuführen und die Komponenten zu kühlen.
  • Im Betrieb werden Signale an den Leiterbahnen 72 empfangen und durch den anisotrop leitfähigen Klebstoff oder durch Lötbumps 74 zu den IC-Leiterbahnen 52 geleitet. Die Signale werden dann durch die IC-Leiterbahnen 52 durch die verschiedenen Lötbumps 45 bis 47 in den integrierten Schaltkreis 14 hinein geleitet. Die Signale werden in dem integrierten Schaltkreis 14 verarbeitet und über die Lötbumps 44, die IC-Leiterbahnen 50 und die Lötbumps 43 dem optoelektronischen Element 16 zugeführt, das, wenn es als Sender wirkt, die elektrischen Signale in Lichtsignale umwandelt, den Lichtpfad 22 in dem transparenten optischen Substrat 30 entlang.
  • An der Optik 36 folgt der Hauptteil des Lichts dem Lichtpfad 23, und ein kleiner Anteil wird reflektiert, den Lichtpfad 24 entlang zu dem unteren Spiegel 40. Der untere Spiegel 40 reflektiert das Licht den Lichtpfad 25 entlang zu dem oberen Spiegel 38, der das Licht den Lichtpfad 26 entlang zu der Monitor-Diodenanordnung 15 in dem integrierten Schaltkreis 14 reflektiert. Die Monitor-Diodenanordnung 15 ermöglicht Rückkopplungssteuerung mit dem integrierten Schaltkreis 14 des optoelektronischen Elements 16.
  • Licht, das aus einem faseroptischen Kabel kommend auf die faseroptische Maschine 10 trifft, tritt durch die Optik 36 ein und folgt dem Lichtpfad 22 zu dem optoelektronischen Element 16, das als Empfänger wirkt, um Lichtsignale in elektrische Signale zu konvertieren, für den Durchgang durch die Lötbumps 43, die IC-Leiterbahnen 50 und die Lötbumps 44. Die Signale werden in dem integrierten Schaltkreis 14 verarbeitet und dann durch die Lötbumps 45 bis 47 zu dem IC-Leiterbahnen 52 gesandt. Von den IC-Leiterbahnen 52 überträgt der anisotrop leitfähige Klebstoff 74 die Signale zu den Leiterbahnen 72 auf dem elektrischen Substrat 18.
  • Der integrierte Schaltkreis 14 justiert kontinuierlich die Lichtausgabe einer Mehrzahl von Kanälen des optoelektronischen Elements 16 durch die Monitor-Diodenanordnung 15. Die Verwendung der oberen und unteren Spiegel 38 und 40 des transparenten optischen Substrats 30 vereinfacht die Signalrückkopplung, indem sie einen Teil-Lichtstrahl von dem optoelektronischen Element 16 auf die Monitor-Diodenanordnung umlenken.
  • Wie dem Fachmann evident sein wird, führen kürzere Verbindungen, wie sie die Lötbumps anstelle von Verbindungsdrähten bieten, zu geringeren parasitären Kapazitäten zwischen den Verbindungsdrähten und ermöglichen es der faseroptischen Maschine bei hohen Giga-Hertz Geschwindigkeiten zu operieren, das heißt elektromagnetische Strahlung wird unterdrückt, wenn keine Verbindungsdrähte vorhanden sind.
  • Ein großer Vorteil der vorliegenden Erfindung ist, dass die Ausrichtung aller Schlüsselkomponenten passiv erreicht werden kann. Alle verwendete Ausrüstung und Materialien sind kommerziell erhältlich. In ähnlicher Weise sind die Montageverfahren weit verbreitet.
  • Wie dem Fachmann ebenso evident sein würde, könnten das optoelektronische Element 16 und der integrierte Schaltkreis 14 auf einem Wafer-großen transparenten optischen Substrat 30 ausgeführt werden. Diese Fertigung im Wafer-Format würde für eine höhere Durchsatzrate während der Produktion sorgen.
  • Schließlich resultieren geringere Kosten des Endprodukts aus der Vor-Testbarkeit der faseroptischen Maschine 10, während sie noch auf der Stufe des Wafers ist. Das Burn-in der faseroptischen Maschine 10 kann erfolgen, und nur gute Einheiten können verwendet werden, um das endgültige faseroptische Produkt herzustellen.
  • In einem Fabrikationsbereich für eine Ausführungsform werden Teile sequentiell zusammengesetzt, beginnend mit dem optischen Element 12 und endend mit dem thermischen Substrat 20.
  • Erstens wird ein so genanntes Unterfüllungs-Verfahren oder Glue-down-Verfahren verwendet, durch welches Klebstoffe auf der Basis von Polymer entlang der Ränder des integrierten Schaltkreises 14 und des optoelektronischen Elements 16 verteilt werden, um sie auf dem optischen Element 12 zu sichern.
  • Zweitens werden der integrierte Schaltkreis 14 und das optoelektronische Element 16 mittels eines Flip-Chip-Verfahrens verbunden oder an dem optischen Element 12 Chip-befestigt.
  • Drittens wird dann die zusammengesetzte Anordnung des integrierten Schaltkreises 14, des optoelektronischen Elements 16 und des optischen Elements 12 unter Verwendung des anisotrop leitfähigen Klebstoffs 74 auf dem elektrischen Substrat 18 Chip-befestigt, welches ein Substrat ist, das eine PC Platine, flexibles Laminat, keramisches Material oder ein beliebiges Substrat sein könnte, auf dem Leiterbahnen angebracht werden können, um Elektronen aus der zusammengesetzten Anordnung nach außen zu leiten.
  • Viertens wird das thermische Substrat 20 als Mittel für das thermische Management an dem integrierten Schaltkreis 14 und dem optoelektronischen Element 16 befestigt.
  • Die Vorteile der vorliegenden Erfindung gegenüber existierenden Ansätzen sind:
    1) höhere Effizienz; 2) sie beansprucht viel weniger Volumen; 3) es gibt nur zwei Ausrichtungen; das heißt, Schritte zur optischen Ausrichtung, die erforderlich sind, nämlich Montage des optoelektronischen Elements 16 auf dem optischen Element 12, gefolgt von der Montage oder Chip-Befestigung des integrierten Schaltkreises 14. Dies wird alles mit Genauigkeit im Mikrometerbereich ausgeführt, was zu sehr hoher Präzision der Anordnung und letztlich zu sehr geringen Kosten führt.
  • Das optoelektronische Element 16 kann nicht nur eine lineare Anordnung, sondern auch eine mehrdimensionale Anordnung von Licht emittierenden Bauteilen sein, die bei denselben oder verschiedenen Frequenzen arbeiten könnten.
  • Die Montage kann durchgeführt werden auf dem Level des Wafer-Formats. Das heißt, ein Wafer-großes optisches Element 12 wird verwendet, die Halbleiter Komponenten werden auf dem Wafer Level befestigt, es wird eingekapselt, auf dem Wafer Level getestet, die schlechten Stellen werden geinkt, und er wird dann ganz wie ein Standardwafer behandelt, vereinzelt und geht dann durch die nachfolgenden Montageschritte.
  • Nun wird Bezug auf 7 genommen, darin ist eine Schnittdarstellung der endgültig montierten Form einer faseroptischen Maschine 100 der vorliegenden Erfindung gezeigt. Die faseroptische Maschine 100 enthält ein optisches Element 102, einen integrierten Schaltkreis 104, ein optoelektronisches Element 106, ein Schaltkreis-Substrat 112, ein elektrisches Substrat 18 und ein thermisches Substrat 120. Das Schaltkreis-Substrat 112, der integrierte Schaltkreis 104 und das optoelektronische Element 106 sind „passiv-ausgerichtet", was heißt, dass die Komponenten während der Montage so ausgerichtet werden, dass geeignet ausgerichtete Lichtpfade 22 bis 26 zwischen den verschiedenen Komponenten der faseroptischen Maschine 100 bereitgestellt werden können, bei Ausrichtung auf das optische Element 102.
  • Das Schaltkreis-Substrat 112 könnte aus Silizium, Saphir oder Keramik sein. Das Schaltkreis-Substrat 112 enthält elektrische Bahnen, die für die Lichtwellenlängen in den Lichtpfaden 22 bis 26 transparent sind. In Fällen, in denen das Material des Schaltkreis-Substrats 112 nicht für die Lichtwellenlängen in den Lichtpfaden 22 bis 26 transparent sind, werden optische Durchgänge 113 durch das Schaltkreis-Substrat 112 geschaffen, mittels mechanischer Fertigung oder mittels chemischer Nass- oder Trockenätzverfahren. Der integrierte Schaltkreis 104 und das optoelektronische Element 106 werden ebenso wie andere Komponenten 114, zum Beispiel passive Elemente, auf das Schaltkreis-Substrat 112 montiert. Dann wird das transparente optische Substrat 30 ausgerichtet und mit dem Schaltkreis-Substrat 112 verbunden. Ein Vorteil dieses Vorgehens ist, dass das Konzept der Fabrikation des transparenten optischen Substrats 30 viel einfacher wird, weil die Lötbumps 42 bis 47 und die in den 3 bis 5 gezeigten IC-Leiterbahnen 50 und 52 nicht mehr benötigt werden.
  • Das Schaltkreis-Substrat 112 kann ein Standard-Siliziumwafer sein, der, mit Befestigungspads, für mehrfache Verbindungsschichten, ebenso wie für sowohl aktive als auch passive Elemente zusätzlich zu dem Element integrierter Schaltkreis 104 sorgt. Zum Beispiel können Filter, Ladungspumpen, Spannungsregler, usw., enthalten sein, bei Verwendung des Schaltkreis- Substrats 112 als ein gemeinsames elektrisches Substrat. Im Ergebnis ist die faseroptische Maschine 100 ein komplettes faseroptisches System, das für sich allein in seiner Funktionalität autark ist, ebenso wie es dafür geeignet ist, auf dem Level der Skala von Wafern produzierbar zu sein.
  • Das optoelektronische Element 106 (Sender, Empfänger und/oder Transceiver) kann einen Sender verwenden, der eine kantenemittierende Lichtquelle 108 ist anstelle einer flächenemittierenden Lichtquelle. Die kantenemittierende Lichtquelle 108 wird auch auf die gleiche Art und Weise befestigt werden wie ein Flächenelement, aber unter Anwendung eines Prismas oder eines Spiegels 110, der den Strahl unter einem 90-Grad Winkel ablenkt, was die Verwendung einer viel größeren Vielfalt von Licht emittierenden Bauteilen ermöglicht. Der Spiegel 110 könnte ein Polymer sein oder ein direkt geätzter Spiegel auf dem transparenten optischen Substrat 30 oder auf dem Schaltkreis-Substrat 112.
  • Darüber hinaus könnten mikromechanische Elemente 116, wie zum Beispiel bewegbare und/oder einstellbare Spiegel, in oder auf das Schaltkreis-Substrat 112 einbezogen werden, was aktive Bewegung des Lichtpfads 22 erlaubt, um die Ausrichtung zu verändern oder jede Fehlausrichtung des Lichts relativ zu der optischen Faser auf einer Echtzeitbasis unter Verwendung optischer Rückkopplung auszugleichen, oder elektrisch eingestellte oder bewegte Spiegel könnten verwendet werden, um Licht von optischer Faser zu optischer Faser zu bewegen, so dass die faseroptische Maschine 100 auch als Schalter verwendet werden kann.
  • Obwohl die Erfindung in Verbindung mit einer spezifischen besten Betriebsart beschrieben worden ist, ist es selbstverständlich, dass dem Fachmann im Licht der vorhergehenden Beschreibung viele Alternativen, Modifikationen und Variationen offenkundig sein werden. Demgemäß ist beabsichtigt, alle diese Alternativen, Modifikationen und Variationen mit einzubeziehen, die in den Umfang der enthaltenen Ansprüche fallen. Alle Angelegenheiten, die hierin dargelegt oder in den begleitenden Abbildungen gezeigt sind, sind in einem illustrierenden und nicht in einem begrenzenden Sinn auszulegen.

Claims (10)

  1. Verfahren zur Herstellung einer faseroptischen Maschine (10) (100), wobei das Verfahren aufweist: Bereitstellen eines optischen Elements (12) (102), das ein optisches Substrat (30) und eine Optik (36) aufweist; Bereitstellen eines optoelektronischen Elements (16) (106) zum Umwandeln zwischen Licht- und elektronischen Signalen; Bereitstellen eines integrierten Schaltkreises (14) (104) zum Steuern des optoelektronischen Elements (16) (106), wobei das Bereitstellen des integrierten Schaltkreises (14) (104) das Bereitstellen lichtempfindlicher Bauelemente (15) darin beinhaltet, zum Bereitstellen einer Rückkopplung zum Steuern des optoelektronischen Elements (16) (106); Bereitstellen eines mikromechanischen Elements (116) zum Ermöglichen eines aktiven Bewegens eines Lichtweges (22) des Lichts, um die Ausrichtung des Lichts zu ändern oder eine Fehlausrichtung des Lichts zu kompensieren; passives Ausrichten des optoelektronischen Elements (16) (106) auf die Optik (36); Sichern des optoelektronischen Elements (16) (106) an dem optischen Substrat (30); Sichern des integrierten Schaltkreises (14) (104) an dem optischen Substrat (30); Bereitstellen eines elektrischen Substrats (18); und Sichern des elektrischen Substrats (18) und des optischen Elements (12) (102).
  2. Verfahren nach Anspruch 1, welches aufweist: passives Ausrichten des integrierten Schaltkreises (14) (104) auf die Optik (36).
  3. Verfahren nach Anspruch 1, wobei: das Bereitstellen des optischen Elements (12) (102) das Ausstatten des optischen Substrats (30) mit Spiegeln (110) in Ausrichtung auf die Optik (36) beinhaltet.
  4. Verfahren nach Anspruch 1, wobei: das Bereitstellen des optischen Elements (12) (102) beinhaltet, Leiterbahnen (50) (52) (72) und Bumps (4447) auf dem elektrischen Substrat (18) auszubilden, zum Verbinden des optoelektronischen Elements (16) (106) und des integrierten Schaltkreises (14) (104) mit dem optischen Element (12) (102) in passiver Ausrichtung.
  5. Verfahren nach Anspruch 1, wobei: das Bereitstellen des optoelektronischen Elements (16) (106) das Ausbilden von Draht Bumps (60) darauf beinhaltet; das Bereitstellen des integrierten Schaltkreises (14) (104) das Ausbilden von Bumps (4447) darauf beinhaltet; und das Bereitstellen des optischen Elements (12) (102) beinhaltet, Leiterbahnen (72) (72) auf dem optischen Substrat (30) auszubilden, zum Verbinden des optoelektronischen Elements (16) (106) und des integrierten Schaltkreises (14) (104) mit dem optischen Element (12) (102) in passiver Ausrichtung.
  6. Verfahren nach Anspruch 1, wobei: das Sichern des optoelektronischen Elements (16) (106) und des integrierten Schaltkreises (14) (104) an dem optischen Element (12) (102) beinhaltet: Aufbringen eines anisotrop leitfähigen UV- oder wärmehärtbaren Klebstoffs auf dem optischen Substrat (30); Positionieren des optoelektronischen Elements (16) (106) und des integrierten Schaltkreises (14) (104) auf dem optischen Element (12) (102) zur Montage; und Härten des anisotrop leitfähigen UV- oder wärmehärtbaren Klebstoffs (66) (68) (70) (74).
  7. Verfahren nach Anspruch 1, wobei: das Bereitstellen des elektrischen Substrat (18) beinhaltet, das elektrische Substrat (18) länger als das optische Element (12) (102) bereitzustellen und Leiterbahnen (72) (72) darauf auszubilden, die sich über das optische Element (12) (102) hinaus erstrecken, wenn das optische Element (12) (102) an dem elektrischen Element gesichert ist; und das Sichern des elektrischen Substrats (18) und des optischen Elements (12) (102) beinhaltet: Aufbringen eines UV- oder wärmehärtbaren Klebstoffs auf dem optischen Substrat (30); Positionieren des optoelektronischen Elements (16) (106) und des integrierten Schaltkreises (14) (104) auf dem optischen Element (12) (102) zur Montage; und Härten des UV- oder wärmehärtbaren Klebstoffs (66) (68) (70) (74).
  8. Verfahren nach Anspruch 1, das aufweist: Bereitstellen eines thermischen Substrats (20) (120) in Kontakt mit dem optoelektronischen Element (16) (106) und dem integrierten Schaltkreis (14) (104).
  9. Verfahren nach Anspruch 1, das Folgendes beinhaltet: Bereitstellen eines Schaltkreissubstrats (112), das mit dem optoelektronischen Element (16) (106) und dem integrierten Schaltkreis (14) (104) in Kontakt steht und dem Elemente zugeordnet sind, die ausgewählt sind aus einer Gruppe bestehend aus: Leiterbahnen (50) (52) (72), Filtern, Ladungspumpen, Spannungsreglern, Spiegeln (110), Prismen, mikromechanischen Elementen, aktiven Elementen, passiven Elementen und einer Kombination daraus.
  10. Verfahren nach Anspruch 1, wobei: das Bereitstellen des optischen Elements (12) (102) das optische Substrat (30) als einen Wafer bereitstellt; und das Sichern des optoelektronischen Elements (16) (106) und des integrierten Schaltkreises (14) (104) beinhaltet, eine Mehrzahl an optoelektronischen Elementen (16) (106) und eine Mehrzahl an integrierten Schaltkreisen (14) (104) an dem optischen Substrat (30) als einem Wafer zu sichern; und das aufweist: Testen der Mehrzahl an optoelektronischen Elementen (16) (106) und der Mehrzahl an integrierten Schaltkreisen (14) (104) auf dem optischen Substrat (30) als einem Wafer; und Vereinzeln des optischen Substrats (30).
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