TW557354B - Lens inspection equipment and inspection sheet - Google Patents

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557354 A7 B7 五、發明説明（彳） (發明所屬之技術領域） 本發明是關於一種透鏡檢查裝置及檢查片。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (背景技術） 習知就利用具備：將複數色光隨著畫像資訊每一各色 光地調變的複數液晶屏，及合成在各液晶屏所調變的色光 的交叉分色鏡，及放大投影在該透鏡所合成的光束以形成 投影畫像的投影透鏡的投影機。 使用於該投影機的投影透鏡，是因其製程等的參差不 齊，在畫像淸晰度及色像差等光學特性上會產生參差不齊 的情形。投影透鏡的光學特性的參差不齊，是會影響到藉 由投影機所顯示的畫像的品質之故，因而在透鏡製造廠商 的透鏡出貨前及裝配投入投影機前，須評價透鏡的淸晰度 〇 經濟部智慧財產局w工消費合作社印製 具體而言，在檢查片形成淸晰度測定用測試圖案，並 在該測試圖案照射光，將包含測試圖案的畫像光導入至投 影透鏡，共將投影透鏡所照射的畫像投影在屏上。如此， 以使用C C D ( Charge Coupled Device )等攝影元件的畫像 存取裝置檢測被投影在該屏上的測試圖案的畫像，並將在 該裝置所檢測的畫像藉由在電腦等進行晝像處理來進行投 影透鏡的淸晰度的評價。 又，上述測試圖案是具備所定尺寸的複數小圖案所構 成之故，因而在屏上投影有複數個小圖案。如此，攝影元 件是構成依次移動在被投影在屏上的小圖案畫像，而在各 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -4 - 557354 A7 B7 五、發明説明（2 ) 該部位能進行攝影。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (發明欲解決之課題） 在此，形成於習知的檢查片的測試圖案，是其外形尺 寸爲例如小至10·8mmx14·4mm左右等者。又 ，在此些的測試圖案，如上述地形成有複數個小圖案，該 小圖案的外形尺寸是例如成爲例如7 9 5 // m X 1 〇 7 4 // m等更小者。如此地，檢查片的測試圖案是極微細的構 造之故，因而與半導體製程同樣的順序被製造。亦即，事 先製作形成有所定測試圖案的光罩，首先在玻璃基板上蒸 鍍鉻（C r )。然後，在玻璃基板上的鉻塗布光阻劑（感 光性樹脂）後，經上述光罩將紫外線照射在該光阻劑。然 後，使用所定溶劑，除去光阻劑的紫外線照射部分。之後 ，將該光阻劑作爲光罩，藉由對於鉻施以蝕刻加工，使得 鉻製的測試圖案形成在玻璃基板上。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此種檢查片是配合被使用於投影機的液晶屏的外徑尺 寸成爲需要複數種類。因此，經由此種工程被製造複數種 類的檢查片之故，因而有檢查片所需費用變高的問題。 又，如上述地，在形成於測試圖案的複數個小圖案的 畫像位置移動攝影元件，進行各部位的小圖案的淸晰度評 價値之故，因而攝影元件移動至所定位置加以定位需費時 ，也有無法迅速地進行檢查作業的問題。 本發明的目的，是在於提供一種可簡單且低成本地進 行評價透鏡的清晰度的透鏡檢查裝置及檢查片。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297公釐） -5- 557354 A7 B7 五、發明説明（3 ) (解決課題所用的手段） 本發明的透鏡檢查裝置，屬於爲了評價透鏡的淸晰度 ，將包含淸晰度測定用測試圖案的畫像光，經由上述透鏡 投影在屏上，而在上述屏上顯示上述淸晰度測定用測試圖 案的晝像以進行上述透鏡的檢查的透鏡檢查裝置，其特徵 爲具備：形成有淸晰度測定用測試圖案的檢查片，及 保持該檢查片的檢查片保持具，及在被保持於該檢查 片保持具的檢查片的測試圖案部分導入光束的光源，及包 含攝影經由上述檢查片被投射在上述屏上的畫像的攝影元 件的畫像光檢測部，上述測試圖案是具有能使透過光成爲 所定空間頻率般地，條紋狀地排列線狀遮光部的測定領域 ;上述檢查片保持具是具備：配合上述檢查片的測試圖案 部分形成有透光部，將上述檢查片定位在上述透鏡的焦點 位置的保持具本體，及對於該保持具本體將上述檢查片旋 轉自如地保持在面內的旋轉保持部。 在此，作爲上述攝影元件可採用CCD，MOS ( Metal Oxide Semiconductor)感測器等攝影元件。 上述畫像光檢測部是具備：上述攝影元件，及輸入有 來自該攝影元件的輸出，且變換成電腦用畫像信號的電視 接收台等畫像資料化手段，及處理此些畫像信號的電腦所 構成。在該電腦具備展開於進行該電腦的動作控制的〇S (Operating System)上的程式所構成，在該程式，包含有 用以檢查淸晰度或色像差等者。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -6 - 557354 A7 B7 五、發明説明（4 ) 作爲所定空間頻率是可採用任意數者，惟例如可採用 設定在從2 0支/mm至8 0支/mm左右的範圍者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在本發明的透鏡檢查裝置中，例如能使測試圖案的條 紋狀遮光部的延出方向成爲垂直方向（上下方向）般地， 將檢查片保持在檢查片保持具後，從光源射出光束，則遮 光部的延出方向成爲垂直方向的測試圖案畫像被投射在屏 上。然後，在攝影元件攝影該投影的晝像之後，以畫像檢 測部所檢測，即可評價投影透鏡的淸晰度。 之後，將旋轉保持部對於保持具本體在面內旋轉，而 在遮光部方向成爲與上述方向（垂直方向）不同方向的位 置固定旋轉保持部，俾將旋轉保持部旋轉9 0度，並固定 使遮光部的延出方向成爲水平方向（左右方向）。在該狀 .態下，與上述同樣地，可評價投影透鏡的淸晰度。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如上述地，將測試圖案所形成的檢查片安裝於檢查片 保持具之後，藉由將旋轉保持部在面內旋轉而改變測試圖 案的方向，雖爲一種類的測試圖案，例如將遮光部的延出 方向爲垂直方向及水平方向的兩種類的方向等延出方向的 不同的測試圖案投影在屏上，而可簡單地評價投影透鏡的 淸晰度。如此，可減少準備的檢查片的種類，而可刪減製 作檢查片所需的成本。此時僅將旋轉保持部施以旋轉，可 簡單地切據成不同延出方向的檢查片的淸晰度檢查，並可 縮短檢查時間。亦即可得檢查作業的簡化。 在此，上述檢查片保持具具有保持形成有不相同的空 間頻率的測試圖案的複數檢查片，對於上述保持具本體將 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 557354 A7 B7 五、發明説明（5 ) 上述檢查片滑動自如地保持在面內的滑動保持部者較理想 〇 在此種構成中，在保持形成有不相同的空間頻率的測 試圖案的複數檢查片的狀態下，藉由將滑動保持部進行滑 動，即可從複數檢查片中選擇所期盼的空間頻率的檢查片 。又，如上述地藉由將旋轉保持部進行旋轉，也可選擇各 檢查片的遮光部的延出方向。所以，例如在滑動保持部配 置兩種類的檢查片（測試圖案）時，成爲至少可評價四種 型式的測試圖案的淸晰度。因此，可減少需準備的檢查片 數，而可更刪減在檢查片所需的費用。這時候，雖爲藉由 滑動保持部進行滑動配置的較簡單的構造，也可簡單地更 換檢查片的種類，而可縮短檢查時間。所以檢查作業很簡 單。 在此，作爲未被要求必需以上精密性的通用型投影透 鏡的淸晰度檢查，在測定領域朝水平與垂直方向延伸時， 若檢查測定領域的空間頻率不相同時的四種型式的測試圖 案就足夠。 所以，若在滑動保持部設置保持檢查片的兩件保持框 ，而此些保持框構成藉由滑動保持部進行滑動，同時藉由 旋轉保持部能旋轉兩件保持框，首先將兩種類的檢查片分 別正確地安裝於此些的兩件保持框，然後，僅操作旋轉保 持部及滑動保持部，又不必更換檢查片就可簡單地實施四 種型式的所有測試圖案。因此可簡化檢查作業與縮短檢查 時間。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) *11 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 557354 A7 B7 五、發明説明（6 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，上述畫像光檢測部是具備攝影被投影在上述屏的 畫像的複數攝影元件，這些複數攝影元件是被固定配設在 上述屏較理想。 在此種構成中，事先將檢查片的位置調整在固定配設 的攝影元件進行檢測的位置，成爲測試圖案的畫像正確地 被投影的狀態，則不必如習知地將攝影元件移動至被投影 至屏上的測試圖案晝像的各部位之故，因而可縮短檢查時 在此，使用此種淸晰度評價用的檢查片。也可評價透 鏡的色像差。這時候，爲了評價透鏡的色像差，本發明的 透鏡檢查裝置是作成如下的構成較理想。 亦即，首先在上述透鏡檢查裝置中，具備裝設從上述 光源所射出的光束中僅透過所定範圍頻率的光束的濾色片 的濾色片裝設部所構成者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 作爲此種濾色片的色組合，可採用例如紅（R )、綠 (G)、藍（B)的三原色，或是氰（C)、紫紅（M) 、黃（Y )的三補色等者。又，三原色者具有色再現性上 優異的優點，另一方面，三補色者具有淸晰度上優異的優 點。此些三色是配合目的等適當地變更就可以。 又，濾色片是並不被限定於如上述的三色的組合，作 成四色以上或兩色以下的組合也可以。 在這種構成中，作爲評價透鏡的色像差的順序，有如 下所述。亦即，首先準備如上述的三色濾色片，並將此些 三色濾色片裝設在濾色片裝設部。然後，從三色濾色片中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ：297公釐） -9 - 557354 經濟部智慧財產局W工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（7 ) 選擇任何一色的濾色片，將該濾色片配設在來自光源的光 束的光路上。在該狀態，將來自光源的光束射出至上述濾 色片，使得通過該濾色片的所定範圍的頻率的光束，通過 所定測試圖案，而在屏上投影有測試圖案畫像。然後，以 攝影元件攝影被投影在該屏上的畫像之後，以畫像光檢測 部記憶被攝影的畫像的測試圖案的位置。然後，在光路上 配設其他色的濾色片，與上述同樣地記憶測試圖案位置。 其餘的其他色也同樣地，記憶測試圖案位置。之後，進行 被記憶在此些各色的每一濾色片的測試圖案位置的圖案匹 配處理，俾評價色像差。 構成如此之故，因而在濾色片裝設部安裝濾色片，並 僅將此些濾色片更換配設在來自光源的光束的光路上，就 可簡單地檢查透鏡的色像差。 又，濾色片裝設部是僅將比攝影元件等更低成本的濾 色片，配設在光路上的構成就可以，故可簡單地製作濾色 片裝設部。因此，除了濾色片之外，也可以低成本地製作 濾色片製設部，而可抑制檢查透鏡的色像差所需的費用。 又，第二爲在透鏡檢查裝置中，上述畫像光檢測部是 具備將被投影在上述屏上的晝像光分離或複數色光的稜鏡 ;上述攝影元件是分別配設在該稜鏡的各色光的光出射端 面者。 在此種構成中，作爲評價透鏡的色像差的順序，有如 下所述。亦即，將從光源所射出的光束，不通過如上述的 濾色片，而通過所定測試圖案，並在屏上投影測試圖案畫 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -10- 557354 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（8 ) 像。以稜鏡將該被投影的測試圖案畫像分離成各色光°然 後，以各攝影元件大約同時地攝影此些被分離的每一色光 的畫像，並記憶著以此些各攝影元件所攝影的每一色光的 晝像，而在畫像光檢測部進行圖案匹配處理，俾評價透鏡 的色收差。 如此地，每一色光的畫像以各攝影元件同時地被攝影 之故，因而成爲不需要如使用上述的濾色片時的更換濾色 片的煩雜作業。故可縮短檢查透鏡的色像差所需的時間° 本發明的檢查片，屬於將包含淸晰度測定用測試圖案 的畫像光，經由透鏡投射影在屏上，爲了藉由在上述屏上 顯示上述淸晰度測定用測試圖案的畫像，而評價上述透鏡 的淸晰度，配設在上述透鏡的光路前段，且在表面形成有 淸晰度測定用測試圖案的矩形狀檢查片，其特徵爲：形成 於互相相對向的一對端緣間的複數線狀遮光部，具備條紋 狀地配設的測定領域。 在本發明中，作爲測定領域，在互相相對向的一對端 緣間條紋狀地形成複數線狀的遮光部之故，因而將包含此 些測定領域的測試圖案的外徑尺寸，形成例如與使用在投 影機的液晶面板中最大尺寸相同或該尺寸以上，則不管液 晶面板的外徑尺寸，以相同的檢查片，可兼用外徑尺寸不 相同的複數種類的檢查片，而可抑制檢查片所需的費用。 這時候，可兼用檢查片之故，因而即使隨著更換被檢查的 透鏡也使液晶面板的外徑尺寸有變化時，也不必更換檢查 片仍就可以安裝之故，因而可簡單地縮短檢查時間。亦即 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -11 - 557354 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（9 ) ’可簡化檢查作業。 又’上述測定領域是沿著一對端緣的延伸方向排列複 數’而在互相地鄰接的測定領域之間，形成有上述遮光部 未形成的透光領域較理想。 在此’作爲用以進行透鏡的淸晰度的檢查的淸晰度評 價値’可採用 Μ T F (Modulation Transter Function)値， 將測試圖案畫像中的檢測亮度値的最大値作爲I m a x， 將最小値作爲I m i η，並將未形成有測試圖案的背景部 分的亮度値作爲I 〇時，由以下之數1求得。 〔數1〕 MTF = (Imax-Imin)/(Iox 2-Imax-Imin) 依據此種數1 ，若可測定淸晰度評價値Μ T F，則可 求得除掉上述畫像資料化手段的偏移分量的適當的淸晰度 評價値Μ 丁 F。 因此，依照如上述的構成，在測定領域可檢測亮度値 的最大値與最小値，而在透光領域可檢測背景部分的亮度 値之故，因而依據以數1所表示的式求得淸晰度評價値 Μ T F。所以，不會受到投影機的機種或顯示晝像上的部 位等的影響，可更適當地評價投影透鏡的淸晰度。 (發明的實施形態） (第一實施形態） 以下，依據圖式說明本發明的第一實施形態。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -12- 557354 A7 B7 五、發明説明（1〇 ) 〔1-1·組裝有投影透鏡的投影機的構造〕 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在第1圖，表示組裝有投影透鏡的投影機1 0 〇的構 造。該投影機100是具備：積分照明光學系統110， 色分離光學系統1 2 0，中繼光學系統1 3 0，電氣光學 裝置140，成爲色合成光學系的交叉分色鏡150，及 成爲投影光學系統的投影透鏡1 6 0。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 積分照明光學系統1 1 〇是具備：包含光源燈 1 1 1A及反射鏡1 1 1 B的光源裝置1 1 1，及第一透 鏡陣列1 1 3，及第二透鏡陣列1 1 5，反射鏡1 1 7， 及重疊透鏡1 1 9。從光源燈1 1 1A所射出的光束，是 藉由反射鏡1 1 1 B使射出方向整齊，藉由第一透鏡陣列 1 1 3被分割成複數局部光束，又藉由折回鏡1 1 7折彎 9 0度射出方向之後，在第二透鏡陣列1 1 5的近旁結像 。從第二透鏡陣列1 1 5所射出的各局部光束，是入射成 使其中心軸（主光軸）垂直於後段的重疊透鏡1 1 9的入 射面，又，從重疊透鏡1 1 9所射出的複數局部光束，是 重疊在構成電光學裝置1 4 0的三枚液晶面板1 4 1 R， 141G，141B 上。 色分離光學系統1 2 0是具備兩枚分色鏡1 2 1， 122，及反射鏡123，具有藉由此些鏡121， 1 2 2，1 2 3，將從積分照明光學系統1 1 0所射出的 複數局部光束分離成紅，綠，藍的三色色光的功能。 中繼光學系統1 3 0是具備入射側透鏡1 3 1 ，中繼 透鏡133，及反射鏡135，137 ;具有將在該色分 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- 557354 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（H ) 離光學系統1 2 〇所分離的色光，例如藍色光引導至液晶 面板1 4 1 B的功能。 電光學裝置1 4 0是具備三枚液晶面板1 4 1 R， 1 4 1 G，1 4 1 B ;此些是例如將聚矽TFT使用作爲 交換元件者，在色分離光學系統1 2 0所分離的各色光， 是藉由此些三枚液晶面板141R，141G，141B ，隨著畫像資訊被調變後形成光學像。 成爲色合成光學系統的交叉分色鏡1 5 0，是合成從 三枚液晶面板1 4 1 R，1 4 1 G，1 4 1 B所射出的各 色光分別調變的晝像以形成彩色晝像者。在交叉分色鏡 1 5 0所合成的彩色畫像，是從投影透鏡1 6 0射出後， 被放大投影在屏等。 〔1 一 2 ·投影透鏡檢查裝置〕 第2圖是表示本發明的第一實施形態的投影透鏡檢查 裝置1的圖式。該投影透鏡檢查裝置1是用以檢查使用於 第1圖的投影機1 0 0的投影透鏡1 6 0的裝置。 如第2圖所示，第一實施形態的投影透鏡檢查裝置1 是具備：裝載有檢查對象的投影透鏡1 6 0的投影部 400，及反射鏡5 10，及屏500，及作爲畫像光檢 測部的測定部6 0 0。在該投影透鏡檢查裝置1中，投影 透鏡1 6 1是可拆卸，可容易地更換成其他投影透鏡。 從投影部4 0 0所射出的畫像光（表示畫像的光）， 是在反射鏡5 1 0被反射，之後被投影在屏5 0 0上。屏 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ”14- 557354 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ___ B7__五、發明説明（12 ) 5 0 0是從畫像光被投影的投影面5 0 0 a的背面 5 0 O b側可觀察畫像光的透過型屏。測定部6 0 0是使 用被投影在屏5 0 0上的晝像，進行投影透鏡1 6 0的淸 晰度或色像差等。 又，在以下說明，如第2圖所示，投影透鏡檢查裝置 1是將與屏5 0 0的投影面5 0 0 a平行的面作爲XY平 面的XY Z正交座標系統。又，投影透鏡1 6 0是藉由未 圖示的保持手段，僅對於X Z平面配置成傾斜成所定角度 。所以，在以下所說明，投影部4 0 0以將X Y Z正交座 標系統作爲X軸爲中心僅旋轉上述所定的角度的S T V正 交座標系統表示。 第3圖是表示從+T方向觀看第2圖的投影部4 0 0 時的情形的圖式。如第3圖所示，投影部4 0 0是除了投 影透鏡160之外，還具備：光源裝置410，及第一與 第二反射鏡43 0，431，及檢查片450，及保持檢 查片450，及保持檢查片450的檢查片保持具440 ，及虛擬稜鏡470，及濾色片裝設部490，及被裝設 於該濾色片裝設部4 9 0的濾色片4 9 0 a至4 9 0 c。 在此，如第3圖所示，投影部4 0 0是構成在與第1 圖的投影機1 0 0中投影透鏡1 6 0所使用之情形大約同 樣的光束被入射在投影透鏡1 6 0。亦即，光源裝置 410是對應於第1圖的光源裝置111 ，檢查片450 是對應於第1圖的液晶面板1 4 1 R，1 4 1 G， 1 4 1 B ;虛擬稜鏡4 7 0是對應於第1圖的交叉分色鏡 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公董） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 557354 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（13) 150。使用具備此種投影部400的檢查裝置1，而在 與投影機1 0 0中使用投影透鏡1 6 0的情形相同的環境 ，可檢查投影透鏡160。 光源裝置4 1 0是在檢查片4 5 0導入光束的裝置； 具備：凹面作爲旋轉拋物面形狀的拋物面反射鏡4 1 4， 及既設在該拋物面反射鏡414的旋轉拋物面形狀的焦點 位置近旁的光源燈4 1 2。 在此種光源裝置4 1 0中，從光源燈4 1 2所射出的 光，是在拋物面反射鏡4 1 4被反射之後，成爲大約平行 的光束被射出，如光路L所示地進行。 作爲光源燈4 1 2，使用鹵化物水銀燈或高壓水銀燈 等。 又，作爲拋物面反射鏡4 1 4，例如在玻璃陶瓷所形 成的旋轉拋物體的凹面上，利用介質多層膜或金屬膜等的 反射膜所形成者。 第一及第二反射鏡430，431 ，是反射從光源裝 置4 1 0所射出的光束，並將來自光源裝置4 1 0的光束 經由檢查片4 5 0，用以引導於投影透鏡1 6 0的導光手 段，爲大約矩形狀的反射鏡。作爲此種第一及第二反射鏡 430，43 1 ，可使用如形成有反射所有色光的介質多 層膜的反射鏡或金屬反射鏡等。 如第4圖所示，檢查片4 5 0是以具有玻璃等透光性 的材料所構成，在所定厚度尺寸（例如1 . 1 m m )，且 大約正方形的基材的正面（第4圖中，右側面），形成有 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 τ---i. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16- 557354 A7 ___B7 __ 五、發明説明（14 ) 用以測定投影透鏡1 6 0的淸晰度及色像差的測試圖案P 〇 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 該測試圖案τ P是如第5圖所示地呈大約正方形，其 外形尺寸成爲比構成投影機1 0 0的液晶面板1 4 1 R， 141G，141B的外徑尺寸更大的尺寸。又，該測試 圖案T P的外徑尺寸是使用於投影機的所有機種的液晶面 板中，形成比成爲最大尺寸的液晶面板的外形尺寸更大。 在此，如第5圖所示，作爲檢查片4 5 0，採用測試 圖案TP的形狀不相同的兩種類的檢查片4 5 1 ，4 5 2 。在第一檢查片4 5 1 ，形成有測試圖案Τ P 1 ，在第二 檢查片4 5 2形成有測試圖案Τ P 2。 如第5圖所示，測試圖案Τ P 1 ，是具有朝水平方向 延伸於互相地對向的一對左右的端緣間的直線狀遮光部 PTL，成爲空間頻率5 0條/mm地排列複數個所形成 的條紋狀測定領域P T V 1。又，測定領域P T V 1是隔 著間隔地排列，而在相鄰接的測定領域P T V 1間，形成 有遮光部P T L未形成的透光領域P T S。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如第5圖所示，測試圖案Τ P 2，是具有朝水平方向 延伸於互相地對向的一對左右的端緣間的直線狀遮光部 P T L，成爲空間頻率5 0條/m m地排列複數個所形成 的條紋狀測定領域Ρ Τ V 2。測定領域Ρ Τ V 2也隔著間 隔地排列，而在相鄰接的測定領域Ρ Τ V 2間，形成有透 光領域P T S。 在第3圖中，檢查片保持具4 4 0，是用以將檢查片 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 557354 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（15 ) 4 5 0保持在所定位置者，具有：在內部配設有第二反射 鏡4 3 1的保持具本體4 4 1，及設於該保持具本體 4 4 1的一 U側面（在第3圖中，左側面）的旋轉保持部 442，及安裝於該旋轉保持部442的—U側面，且保 持檢查片4 5 0的滑動保持部4 4 3，及被固定在保持具 本體4 4 1的+ U側面（第3圖中，右側面）的6軸調整 部 4 4 4 〇 保持具本體4 4 1是於+S側面（第3圖中，上側面 )形成有開口部4 4 1 a，而於側面形成有開口部 4 4 1 b的箱型構件。該保持具本體4 4 1是經由開口部 44 1 a ，將來自光源裝置4 1 0的光束被導入在第二反 射鏡4 3 1 ，並將在第二反射鏡4 3 1所反射的光束，經 由開口部4 4 1 b，被導入在被保持在滑動保持部4 4 3 的檢查片4 5 0的測試圖案T P (第4圖）的位置。 又，保持具本體4 4 1的- U側面中，在開口部 4 4 1 a的外側部分，形成有未圖示的複數豎起片，經由 此些豎起片，於保持具本體4 4 1的- U側面安裝有旋轉 保持部4 4 2。 旋轉保持部4 4 2是將保持有檢查片4 5 0的滑動保 持部4 4 3，在面內旋轉自由地保持於保持具本體4 4 1 的保持構件，具備：安裝有滑動保持部4 4 3的旋轉.保持 部本體4 4 5，及雖省略圖示，惟在該旋轉保持部本體 4 4 5中，形成於安裝有滑動保持部4 4 3的面之背面， 且扣合於上述保持具本體4 4 1的豎起片的旋轉保持部扣 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -^___ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18- 557354 A7 ___B7 五、發明説明（16 ) 合片。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 如第5，6圖所示地，滑動保持部本體4 4 5是形成 大約圓板狀，在其圓板的中心部分，形成有隨著檢查片 4 5 0的測試圖案TP部分的矩形狀透光部位4 4 5 a ( 第3圖）。上述旋轉保持部扣合片是扣合於上述保持具本 體4 4 1的豎起片，經由此些扣合，使得包含滑動保持部 443的旋轉保持部本體445，對於保持具本體441 ，成爲朝表示於第6圖箭號D所示的方向僅旋轉9 0度分 量。 又，如申請專利範圍第1項所述的透光部，是除了該 透光部位4 4 5 a之外，還包含保持具本體4 4 1的開口 部4 4 1 b所構成。 如第5圖所示，滑動保持部4 4 3是具備：滑動部 4 4 6，及保持兩件檢查片4 5 1，4 5 2的保持框 447;藉由滑動部446與保持框447之扣合，在旋 轉保持部本體4 4 5的面內將檢查片4 5 1 ，4 5 2滑動 自如地保持在保持具本體4 4 1者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如第5，6圖所示，保持框447是具備：形成同一 形狀，朝滑動方向鄰接配置的第一保持框4 4 8，及第二 保持框4 4 9。 各保持部4 4 8，4 4 9是形成有用以通過來自光源 裝置4 10的光束的矩形開口部（未予圖示），且對於該 開口部，將檢查片4 5 1 ( 4 5 1 ，4 5 2 )的測試圖案 T P ( T P 1，T P 2 )保持在所定位置的構件。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19- 557354 kl ____B7____ 五、發明説明（17 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在第5圖中，各保持框448，449是具備：夾持 未形成有在各檢查片451，452下方與左側TP ( TP1 ，TP2)之部分的固定保持片447 a，及夾持 未形成有在各檢查片4 5 1，4 5 2的右上隅部分的可動 保持部447b。可動保持片447b是成爲可朝圖中的 箭號P的方向可動，而將各檢查片450 (45 1， 4 5 2 )確實地可裝卸於保持框447 (44 8，449 )° 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 滑動部4 4 6是未明確地表示在第5，6圖，惟爲與 正交於保持框4 4 7的滑動方向的方向的端部扣合的軌道 狀豎起部分，藉由保持框4 4 7的端部沿著該豎起部分的 軌道方向而仍扣合之狀態下移動，在旋轉保持部本體 4 4 5的面內，成爲朝箭號C的方向滑動保持框4 4 7。 如此，第一保持框4 4 8及第二保持框4 4 9的任一方， 形成能被固定在透光部位4 4 5 a (第3圖）。亦即，在 透光部位445 a，更換地配置檢查片451 ，452的 任一片。但是，任一檢查片451 ，452，也可形成未 配設在透光部位4 4 5 a的位置。 如上述比旋轉保持部4 4 2是如第6圖的箭號D所示 地可旋轉9 0度分量之故，因而在這時候，隨著該旋轉保 持部442的旋轉90度，配設於各保持框448， 449的檢查片45 1 ，452也成爲旋轉90度。因此 ，如第6圖所示地，在透光部位445 a (第3圖）的位 置中，測試圖案T P 1 ，T P 2的遮光部P T L，成爲從 -20- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） 557354 A7 B7 五、發明説明（18 ) 朝水平方向延伸的狀態變更爲朝垂直方向延伸的狀態。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 由以上，在透光部位4 4 5 a的位置，配設有測試圖 案丁PI ，TP2的遮光部PTL作成水平方向及垂直方 向的二方向狀態的檢查片45 1 ，45 2。具體而言，在 透光部位4 4 5 a的位置，設有兩種類及兩方向的合計四 型式的測試圖案T P。 在第3圖中，6軸調整部4 4 4是如第3圖中組合S 方向，T方向，U方向的平行移動，及以S軸，T軸，U 軸爲中心的可旋轉的6個可動工作台所構成：進行調整被 固定於- U側面的保持具本體4 4 1的空間上的位置。亦 即，藉由6軸調整部4 4 4，而保持具本體4 4 1的空間 上的位置被調整之故，因而被保持在保持具本體4 4 1的 檢查片4 5 0的空間上的位置被調整。由此，檢查片 4 5 0成爲能定位在投影透鏡1 6 0的焦點位置。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，如第3，7圖所示地，濾色片裝設部4 9 0是由 紅色（R )，綠色（G )，藍色（B )的三原色所構成， 且可裝設僅透過所定範圍的頻率的光束的三色濾色片 4 9 0 a至4 9 0 c的平面大約圓形的構件。在該濾色片 裝設部490分別形成有四個方孔49 1 a至49 1 d於 均等位置，而此些四個方孔49 1 a至49 1 d中，在三 個方孔49 1 a至49 1 c，分別裝設有各色的濾色片 490 a至490c ，而下留下的一方孔49 Id ，爲白 色光用並未裝設任何。 又，濾色片裝設部4 9 0是構成四個方孔4 9 1 a至 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 557354 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（19 ) 4 9 1 d中的任一孔配設於從光源裝置4 1 0所射出的光 路L，而能朝以箭號A所示的方向旋轉。所以，朝以箭號 A所示的方向旋轉濾色片裝設部4 9 0，則被裝設於方孔 49 1 a至49 1 c的各濾色片49 0 a至4 9 0 c的任 一濾色片成爲配設在光路L上。又，任何濾色片4 9 0 a 至4 9 0 c也形成配設在光路L上。 虛擬稜鏡4 7 0是設置成用以模擬第1圖的投影機 1 0 0的交叉分色鏡1 5 0。在表示於第1圖的交叉分色 鏡150，爲了合成從三個液晶面板141R，141G ，1 4 1 R所射出的光有^ X」狀薄膜設於內部。但是， 在本檢查裝置中不需該薄膜之故，因而在與交叉分色鏡 1 5 0相同的立方體形狀的玻璃體施以防止反射塗層者， 使用作爲虛擬稜鏡4 7 0。 雖未予圖示，檢查對象的投影透鏡1 6 0是具備投影 透鏡本體，及保持該投影透鏡本體的透鏡保持工模作爲單 元所構成。如此，在投影透鏡檢查裝置1 ，每一單元地更 換而依次被安裝。因此，更換作業變成容易，而可縮短檢 查時間。 藉由以上的投影部4 0 0的構成，如表示於第3圖的 光路L，從光源裝置4 1 0所射出的光束是在第一反射鏡 430被反射之後，通過濾色片裝設部490，而在第二 反射鏡4 3 1再被反射。在第二反射鏡4 3 1所反射的光 ，是藉由通過檢查片450(451，452)，成爲表 示測試圖案T P ( T P 1 ，T P 2，第5圖）的晝像的畫 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22- 557354 A7 _B7__ 五、發明説明（2〇 ) 像光之後被射出。該畫像光是通過虛擬稜鏡4 7 0之後’ 藉由投影透鏡1 6 0被投影在屏5 00 (第2圖）上。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，在濾色片裝設部490，適當地更換著濾色片 49〇a，至 490c 〇 然而，如第2圖所示地，在本實施形態的投影部 4 0 0，投影透鏡1 6 0的中心軸η 1，與通過檢查片 4 5 0的中心的法線η 2，僅偏離所定距離。此乃爲了模 擬投影機1 0 0的「吹動投影」的狀態。投影透鏡1 6 0 是在此種吹動投影狀態中，設計成投影顯示未變形的畫像 。又，一般，投影透鏡1 6 0的中心軸η 1與通過檢查片 4 5 0的中心的法線η 2未一致的投影係稱爲「吹動投影 j ° 表示於第2圖的測定部6 0 0是具備：9具C C D攝 影機620a至620i ，及電氣式地連接於此些9具 CCD攝影機620a至620 i。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 雖未予圖示，在9具CCD攝影機6 2 0 a至 620i ，作爲攝影元件的CCD分別設置一具。各 CCD攝影機620a至620 i是經由投影透鏡160 ，從屏5 0 0的背面5 0 0 b側以上述CCD攝影被投影 在屏500上的畫像。 又，第8圖是表示從+Z方向觀看屏5 0 0時的9台 CCD攝影機620a至620 i的配置情形。如第8圖 所示地9台CCD攝影機620a至620 i是各該間隔 均成爲均等地固定配設於屏5 0 0。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ 557354 A7 B7 五、發明説明（21 ) (請先閱讀背面之注意事項存填寫本頁) 處理部6 1 0是具備未圖示的視頻補捉盤及電腦，將 在9台CCD攝影機620a至620 i所攝影的屏 5 0 〇上的測試圖案TP的畫像，以上述視頻捕捉盤變換 成電腦用畫像信號，之後以電腦處理該晝像信號。 上述電腦是具備C P U (Central Processing Unit)及硬 體的電腦，包含被展開於控制C P U的〇S上的程式所構 成。作爲該程式，包含著處理在上述視頻捕捉盤所變換的 測試圖案T P的畫像信號，同時解析該處理的畫像信號的 程式。藉由該程式，來檢查投影透鏡1 6 0的淸晰度或色 像差。 上述電腦是與投影部4 0 0的6軸調整部4 4 4 一起 被電氣式地連接。又，在上述電腦上的上述程式，也包含 解析藉由C CD攝影機6 2 0 a至6 2 0 i及上述視頻捕 捉盤所得到的畫像信號，並依據該解析結果來控制6軸調 整部4 4 4者。所以，如上所述，藉由上述程式控制6軸 調整部4 4 4，使得檢查片4 5 0的測試圖案T P (第3 圖）的空間上位置被調整，因此成爲調整畫像的焦點狀態 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〇 又，在9台CCD攝影機620a至620 i的各檢 測位置A 1至A 9 (第1 0圖），測試圖案T P 1， TP2正確地設於保持框448，449被投影在屏 5 0 0上時，成爲有測定領域P T V 1，P T V 2。此種 情形，在旋轉保持部4 4 2被操作時也同樣。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -24- 557354 A7 B7 五、發明説明（22 ) 〔1一3·投影透鏡的檢查方法〕 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 以下，說明利用上述投影透鏡檢查裝置1的投影透鏡 1 6 0的淸晰度及色像差的檢查方法。 < 1 — 3 - 1 ·檢查片的準備> 如第5圖所示，首先，作爲事先準備在第一保持框 4 4 8及第二保持框4 4 9，測試圖案TP的遮光部 PTL保持朝水平方向延伸的各檢查片45 1 ，452。 又，在透光部位4 4 5 a (第3圖）的位置配置被保持在 第一保持框4 4 8的第一檢查片4 5 1。 < 1 一 3 - 2 .光學特性檢查的事先調整> 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在依投影透鏡檢查裝置1的光學特性（淸晰度，色像 差）的檢查之前，必須進行屏5 0 0 (第2圖）上的測試 圖案T P ( T P 1 )的調整畫像位置及調整焦點。參照第 2，3圖，該調整畫像位置及調整焦點，是以C C D攝影 機620a至620i攝影隨著檢查片450 (451) 的測試圖案T P ( T P 1 )被形成在屏5 0 0上的畫像， 而在處理部6 1 0進行焦點調整處理及位置調整處理。完 成該調整焦點及調整位置，並在屏5 0 0的所定位置形成 有對焦狀態的畫像，則依據該畫像，進行淸晰度及色像差 的檢查。 < 1 一 3 — 3 ·淸晰度的檢查方法> 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X297公釐） •25- 557354 A7 ____B7 五、發明説明（23 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 淸晰度檢查是依照表示於第9圖的流程圖被實行，具 體而言，依以下順序被進行。又，在檢查淸晰度時，在爐 色片裝設部49 0中，各該濾色片49 0 a至49 0 c均 未設光路L (第3圖所示）。以下一面參照第5，6， 10圖一面進行說明。 首先，如第1 Ο (A)圖所示，爲了去除上述視頻捕 捉盤的偏離分量，經由滑動部4 4 6 (第5圖），稍微移 動被保持在第一保持框4 4 8的第一檢查片4 5 1，並將 第一檢查片4 5 1的測定領域P T V 1朝各C C D攝影機 6 2 0 a至6 2 0 i的檢測位置A 1至A 9的外側偏離， 在該偏離之狀態下，在各檢測位置A 1至A 9，計測成爲 背景部分的透光領域P T S的亮度値，以取得各檢測位置 A1至A9的背景部分的亮度値I 〇 1至I 〇9 (處理 S 1 ) 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 亦即，在各檢測位置A 1至A 9中分別保持背景亮度 値I ο 1至I 〇9，而各該背景亮度値I ο 1至I 〇9是 被儲存在構成處理部6 1 0的上述電腦內的記憶體。又， 下述的淸晰度評價値Μ T F是配合求出的檢測位置A 1至 A 9，使用對應的背景亮度値I ο 1至I 〇 9進行計算。 然後，將被保持在第一保持框4 4 8的第一檢查片 4 5 1恢復至原來位置（透光部位4 4 5 a的位置）時， •則在屏5 0 0上，投影有如第1 0 ( B )圖所示的畫像。 之後，在9台CCD攝影機620a至620 i的各檢測 位置A 1至A 9，取得測定領域P T V 1的亮度値（處理 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -26- 557354 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（24 ) S 2 )。又，本實施形態的處理部6 10的畫像處理，是 以2 5 6色調表現畫像的売度’最暗部分爲〇，而最亮部 分爲作爲2 5 5之値。 更具體而言，在各C CD攝影機6 2 0 a至6 2 0 i 的檢測位置A 1至A 9中，累算在沿著測定領域ρ τ v工 的延伸方向的一像素線被檢測的亮度値，以所累算的像素 數除以該累算値並平均化，作爲沿著測定領域P T V 1的 延伸方向的一像素線的亮度値的代表値。將此重複於測定 領域P T V 1及透光領域P T S的排列方向，亦即重複於 第10(B)圖的Q方向，取得各檢測位置A1至A9的 亮度値的代表値。如此地取得最大亮度値I m a x及最小亮 度値Imin，此些亮度値Imax，Imin是被儲存於構成處 理部6 1 0的上述電腦內的記憶體。 如上所述地，取得背景亮度値I 〇，最大亮度値 I m a X及最小亮度値I m i n，則處理部6 1 0是依據數2 ，算出淸晰度評價値MTF (處理S3)。 〔數2〕 MTF=(Imax-Imin)/(I〇X 2-Imax-Imin) 以下，藉由旋轉保持部4 4 2及滑動保持部4 4 3。 將被設定於透光部位4 4 5 a的位置的測試圖案τ P 1 ( 水平方向），對於作爲其他三種型式的測試圖案T P的情 形（測試圖案T P 1的垂直方向的一種型式與測試圖案 Τ P 2的兩種型式），也以上述同樣的順序，進行淸晰度 評價値MT F的算出。 —0II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) • _= V· I IJ . 訂 — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2ΐ〇χ297公釐） -27- 557354 A7 B7__ 五、發明説明（25 ) 具體而言，在旋轉保持部本體4 4 5的透光部位 4 4 5 a的位置，代替第一保持框4 4 8，經由滑動部 4 4 6滑動配置設有第二檢查片4 5 2的第二保持框 4 4 9。亦即，在透光部位4 4 5 a的位置，在測試圖案 TP 2中，設有遮光部PTL朝水平方向延伸的第二檢查 片4 5 2。在該狀態下，與上述同樣地得到投影透鏡 160的淸晰度評價値MTF(處理S4)。 之後，如第6圖所示，仍在該狀態下將旋轉保持部 4 4 2的旋轉保持部本體4 4 5旋轉9 0度，使得第二檢 查片4 5 2的測試圖案T P 2的遮光部P T L朝垂直方向 延伸。在該狀態下，與上述同樣地得到投影透鏡1 6 0的 淸晰度評價値MTF (處理S5)。 最後，與上述情形同樣地，代替第二保持框4 4 9， 將設有第一檢查片4 5 1的第一保持框4 4 8經由滑動部 4 4 6滑動配置在旋轉保持部本體4 4 5的透光部位 4 4 5 a的位置。亦即，在透光部位4 4 5 a的位置，在 投影透鏡T P 1中，設有遮光部P T L朝垂直方向延伸的 第一檢查片45 1。在這時候，在屏500上，投影有如 第1 0 ( c )圖所示的畫像。在該狀態下，與上述同樣地 得到投影透鏡1 6 0的淸晰度評價値Μ T F (處理S 6 ) 〇 如此地，可得到四種型式的測試圖案TP (ΤΡ1 ， τ Ρ 2 )的投影透鏡1 6 0的淸晰度評價値Μ T F。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） —I- - - - j 1!—- 1·1 - I :*_ - --: I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -28- 557354 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（26 ) <1 一 3 — 4 .色像差的檢查方法> 色像差的檢查是依表示於以下的順序進行。 從被裝設在濾色片裝設部4 9 0的各濾色片4 9 0 a 至4 9 0 c中選擇例如紅色濾色片4 9 0 a的一濾色片， 並將該選擇的紅色濾色片4 9 0 a配置在光路L上，並將 經由該紅色濾色片4 9 0 a的晝像投影在屏5 0 0上。在 該狀態下，在各CCD攝影機6 2 0 a至6 2 0 i的檢測 位置A1至A9攝影該晝像（處理S7)。 之後，朝第3圖的箭號A方向旋轉濾色片裝設部 490，而在光路L上，代替紅色濾色片490a，配置 例如綠色濾色片4 9 0 b作爲其他顏色的濾色片。如此地 ，與上述同樣地，以各CCD攝影機620a至620i 攝影經由綠色濾色片4 9 0 b的畫像（處理S 8 )。 之後，對於剩下的濾色片的藍色濾色片4 9 0 c，也 進行同樣的操作（處理S 9 )。 又，雖以紅色濾色片4 9 0 a，綠色濾色片4 9 0 b ，藍色濾色片4 9 0 c的順序進行處理，惟處理順序並未 特別加以限定' 然後，對於每一濾色片4 9 0 a至4 9 0 c所攝影的 三種畫像，進行圖案匹配處理，算出三種畫像的位置偏離 多少程度（處理S 1 0 )。藉由算出這時候的偏差，進行 色像差的檢查。 又，若在每一各色每一次實施調整焦點而進行再調整 的方式，則檢查精度雖高，惟在作成簡單檢查時，不需每 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公釐） -29- 557354 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（27 ) 一各色地再調整焦點也可以。 (1 一 4 ·第一實施形態的效果） 依照如上述的第一實施形態，具有如下的效果。 (1 )將測試圖案T P所形成的檢查片4 5 0安裝於 保持框4 4 7之後，藉由操作旋轉保持部4 4 2而改變測 試圖案T P的方向，雖以一種類的測試圖案T P，即可將 遮光部P T L的延伸方向爲垂直方向及水平方向的兩種類 方向的測試圖案TP投影在屏5 0 0上，而可評價投影透 鏡1 6 0的淸晰度。所以，可減少需準備的檢查片4 5 0 的種類，並可刪減檢查片4 5 0所需費用。這時候，僅將 旋轉保持部4 4 2進行旋轉，即可簡單地切換成不相同的 延伸方向的檢查片4 5 0的淸晰度檢查，又可縮短檢查時 間。亦即，可簡化檢查作業。 (2 )在第一保持框4 4 8及第二保持框4 4 9保持 種類不相同的檢查片451 ，452，並藉由操作滑動部 446，滑動配置此些保持框448，449之故，因而 雖爲較簡單構造，仍可簡單地切換配置在透光部位 445a的位置的檢查片451 ，452的種類，又可簡 單地縮短檢查時間。亦即，可簡化檢查作業。 (3 )將形成有種類不相同的測試圖案τ P 1， T P 2的檢查片4 5 1，4 5 2分別配設於第一保持框 448及第二保持框449，而僅操作旋轉保持部442 及滑動保持部4 4 3，即可用兩種的測試圖案τ P 1， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公楚） ' ™ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 557354 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _B7_五、發明説明（28 ) T P 2求出四種型式的測試圖案T P 1 ，T P 2 (水平， 垂直）的淸晰度評價値Μ T F。所以可減少需準備的檢查 片45 1，452的數量，又可刪減檢查片451， 4 5 2所需費用。這時候，僅在最初一次正確地安裝檢查 片451 ，452之故，因而不必更換檢查片451 ， 4 5 2，就可簡單地檢查四種型式的所有測試圖案ΤΡ ( Τ Ρ 1 ，Τ Ρ 2 )，可得到簡化檢查作業與縮短檢查時間 〇 (4 )在固定配設的9台CCD攝影機6 2 0 a至 6 2 0 i的檢測位置A 1至A 9事先調整檢查片4 5 0 ( 4 5 1 ，4 5 2 )的位置，使得測試圖案Τ Ρ ( Τ Ρ 1 ， Τ P 2 )的畫像正確地被投影，因此，不必將C C D攝影 機等的攝影元件移動被投影在屏5 0 0上的測試圖案Τ P 的畫像的各檢測位置A 1至A 9，可縮短檢查時間。 (5 )將測試圖案Τ P的外徑尺寸，形成大於被使用 在各種投影機的液晶面板中的最大尺寸之故，因而不管該 液晶面板的大小，以同一檢查片4 5 0兼用外徑尺寸不相 同的複數種類的檢查片4 5 0，可抑制檢查片4 5 0所需 費用。如此地，在各機種可兼用檢查片4 5 0之故，因而 即使隨著更換被檢查的透鏡使液晶面板的外徑有變更時， 也不必更換檢查片4 5 0而仍安裝著，故可簡單地縮短檢 查時間。亦即，可簡化檢查作業。 (6 )又，在測試圖案Τ Ρ 1 ，Τ P 2，具有測定領 域PTV1 ，PTV2，及透光領域PTS之故，因而除 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -31 - 557354 A7 _____B7 五、發明説明（29 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 了測定領域PTV1 ，PTV2的亮度値之外，使用檢查 片4 5 1 ，4 5 2大約同時地還可測定透光領域PTS的 亮度値，而依據以上述數2所示的式，簡單地可得到淸晰 度評價値MT F。此種淸晰度評價値MT F是不受投影機 的機種，顯示畫像上的部位等影響，可更正確地檢查投影 透鏡1 6 0的淸晰度。 (7 )採用配設有三色所形成的濾色片4 9 0 a至 4 9 0 c的濾色片裝設部4 9 0之故，因而在濾色片裝設 部490安裝三色所形成的濾色片490a至490c， 僅將此些濾色片4 9 0 a至4 9 0 c更換配設在光路L上 ，依據每二色光的畫像信號，使用處理部6 1 0就可簡單 地檢查投影透鏡1 6 0的色像差。 又，與三色的每一色光地分別準備攝影元件的情形相 比較，濾色片490a至490c，濾色片裝設部490 均以較低成本可製作之故，因而可抑制檢查透鏡的色像差 所需費用。 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 (8 )又，將檢查片4 5 0或測試圖案T P作成大約 正方形之故，因而與作成長方形的情形相比較，欲將檢查 片4 5 0旋轉9 0度時較方便。 <第二實施形態> 以下，依據圖式說明本發明的第二實施形態。 又，與上述第一實施形態相同或相當構成品賦與相同 記號而省略說明。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -32- 557354 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _B7____五、發明説明（3〇 ) 〔2 - 1 .組裝有投影透鏡的投影機的構造〕 組裝有投影透鏡1 6 0的投影機，是與上述第一實施 形態相同者之故，因而省略說明。 〔2-2.投影透鏡檢查裝置〕 第二實施形態的投影透鏡檢查裝置2，是與表示於第 2圖的第一實施形態的投影透鏡檢查裝置1大約相同。但 是，與第一實施形態相比較，在第一實施形態是爲了檢查 色像差，準備濾色片4 9 0 a至4 9 0 c及濾色片裝設部 4 9 0，惟在第二實施形態是在第一實施形態的9台 CCD攝影機620a至620i採用稜鏡B1 ，及具有 三枚攝影元件的3測試圖案6 3 0 a至6 3 0 i之處不相 同。又，隨著此，處理部6 1 0的處理也局部地不相同。 在此些以外之處，是與第一實施形態共通之故，因而在投 影透鏡檢查裝置2，僅說明與第一實施形態不相同之處。 如第1 1圖，第1 2圖所示，各該9台的3CCD攝 影機630a至630i ，是具備作爲將被投影在屏 5 0 0上的測試圖案T P (第3圖）的畫像分離成紅色光 R，綠色光G，藍色光B的三種不相同色光的稜鏡的色分 離分色鏡8 1。又，在該色分離分色鏡8 1的各該光出射 端面81 1R，81 1G，8 1 1B，設有攝影各色光的 晝像的紅色用攝影元件（F - C C D ) 8 2 R，綠色用攝 影元件（G — CCD) 82G，及藍色用攝影元件（B - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -33- 557354 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（31 ) c C D ) 8 2 B。 如第1 2圖所示，色分離分色鏡8 1是張貼所定形狀 的三枚稜鏡一起所形成者，具有將被入射的畫像光分離成 三種顏色，並將這些朝三方向射出的功能。換言之，被使 用於投影機1 0 0的交叉分色鏡1 5 0，是成爲具有相反 的功能。 各攝影元件8211，82〇，826與處理部6 10 ，是電氣式地被連接，以各攝影元件82R，82G， 8 2 B所攝影的畫像是在處理部6 1 0被處理。 〔2 - 3 ·投影透鏡的評價方法〕 <2 - 3 - 1 .淸晰度檢查方法> 投影透鏡1 6 0的淸晰度檢查是在處理部6 1 0中， 採用以三枚攝影元件82R，82G，82B中的一枚攝 影元件，例如僅採用以攝影元件8 2 R所攝影的畫像以外 ，是與上述第一實施形態大約相同地進行。 亦即，參照第3圖，第1 1圖，來自光源裝置4 1 0 的光束經由各檢查片45 1 ，452 (第5圖），投影透 鏡160前進，而在屏500上被投影檢查片45 1， 4 5 2的測試圖案T P 1 ，T P 2的晝像。使用9台的3 CCD攝影機6 3 0 a至6 3 0 i之攝影該被投影的畫像 ，而在處理部610與上述第一實施形態進行相同處理。 如此地，取得背景亮度値I 〇，最大亮度値I m a X，及最 小亮度値I m i η，依據上述數2，求出淸晰度評價値 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -34- 557354 A7 _B7__ 五、發明説明（32 ) Μ T F。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) <2 — 3 - 2 .色像差檢查方法> 色像差的檢查是以表示於以下的順序進行。 亦即，參照第3圖，第1 1圖，在各3CCD攝影機 630a至630i中，首先，以各攝影元件82R’ 82G，82B大約同時地攝影被投影在屏500上的測 試圖案TP的畫像。之後，在處理部6 1 0，製作此些被 攝影的三種畫像的每一畫像信號，而依據此些的三種畫像 信號，進行與上述相同的圖案匹配處理，與上述同樣地算 出三種畫像的位置偏離那一種程度。如此，檢查投影透鏡 1 6 0的色像差。 又，此種方式是與每一色地再調整上述的焦點的方式 不相同，接近於不需要再調整的方式之故，因而延長檢查 時間，藉由在每一各色進行調整焦點，得到與上述相同程 度的效果。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 〔2 - 4 ·第二實施形態的效果〕 依照第二實施形態，除了上述第一實施形態的（1 ) 至（6) ，（8)的效果之外，還具有如下的效果。 (9)以各3CCD攝影機630a至630i攝影 被投影在屏5 0 0上的測試圖案T P 1 ，T P 2的畫像， 依據此些的各3 CCD攝影機6 3 0 a至6 3 0 i的三枚 攝影元件82R，82G，82B的每一畫像，在短時間 -35- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 557354 A7 B7 五、發明説明（33 ) 內簡單地可檢查投影透鏡1 6 0的色像差。又，每一色光 的畫像以各攝影兀件8 2R ’ 8 2G，8 2B同時地被攝 影之故，因而不需要如上述第一實施形態地在光路上更換 配置濾色片490a至490c，可縮短檢查投影透鏡 1 6 0的色像差所需的時間。 〔第三實施形態〕 以下，依據圖式說明本發明的第三實施形態。 又，與上述第一實施形態相同或相當構成品賦與相同 記號，省略或簡略說明。 〔3 - 1 ·組裝有投影透鏡的投影機的構造〕 組裝有投影透鏡1 6 0的投影機，是與上述第一實施 形態相同者之故，因而省略說明。 〔3 - 2 ·投影透鏡檢查裝置〕 第三實施形態的投影透鏡檢查裝置3，是與表示於第 2圖的第一實施形態的投影透鏡檢查裝置1 ，未使用反射 鏡5 1 〇，將從投影透鏡1 6 0所射出的畫像光直接投影 在屏5 0 〇上之處不相同。 如第1 3圖所示地，投影透鏡檢查裝置3是具備：裝 載有檢查對象的投影透鏡1 6 0的投影部4 0 1，及屏 5 〇 0 ’及測定部6 0 0。在該投影透鏡檢查裝置3是使 從投影部4 0 1所射出的畫像光直接投影在屏5 0 0上， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -— 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -36- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 557354 A7 B7_ 五、發明説明（34 ) 而將該被投影的屏5 0 0上的晝像光測定部6 0 0從屏 5 0 0的背面5 0 0 b側進行攝影及畫像處理，並進行投 影透鏡1 6 0的淸晰度或色像差的檢查。 如第1 3圖所示地，投影部4 0 1是除了檢查對象的 投影透鏡1 6 0之外，還具備：支持該投影透鏡1 6 0， 同時在投影透鏡1 6 0射出所定光束的光學裝置4 0 2， 及該光學裝置4 0 2被固定於上面，且本體也被固定在所 定位置的設置台4 0 3。 在此，經由投影透鏡1 6 0，在進行被投影的畫像光 的調整焦點及調整位置的狀態，使從光學裝置4 0 2被投 影的畫像光正確地投影在屏5 0 0上，而使光學裝置 402固定在設置台403。 如第1 4圖所示，光學裝置4 0 2是具備··光源裝置 410，及檢查片450，及保持檢查片450的檢查片 保持具440A，及虛擬稜鏡470，及濾色片裝設部 4 9 0，及裝設於該濾色片裝設部4 9 0的濾色片 490a 至 490c。 投影部4 0 1是與上述第一實施形態的投影部4 〇 0 ，並不是將來自光源裝置410的光束光路L作成3形狀 ’而是將來自光源裝置4 1 0的光束光路L 1作成直線狀 (直線光學系統）之處不相同。亦即投影部4 〇 1是與投 影部4 0 0，在檢查片保持部4 4 0 A的構成，及光源裝 置4 1 0及濾色片裝設部4 9 0對於檢查片保持部 4 4 0 A側的配置部位不相同。又，此些不同處以外，是 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ϋϋ ϋϋ H ϋϋι —-H elmn mi m* i^i— Hi —^n mi In Hi i^m —ϋ HI —Mu m ϋ^ι —,^ϋ— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -37- 557354 A7 ___B7_ 五、發明説明（35 ) 與上述第一實施形態大約相同。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如第1 4圖所示，光源裝置4 1 0及濾色片裝設部 4 9 0，是對於檢查片保持具4 4 0A側配設成大約直線 狀。亦即，投影透鏡1 6 0及各構成零件4 1 0，4 5 0 ，440A，470，490，490a 至 490c 是配 設成大約直線狀。 又，如第1 4圖所示，檢查片保持具4 4 0A是用以 將檢查片4 5 0保持在所定位置者，具備：保持具本體 44 1，及設置於該保持具本體44 1的+Z側面（第 1 4圖中，右側面）的旋轉保持部4 4 2，及安裝於該旋 轉保持部4 4 2的+ Z側面，保持檢查片4 5 0的滑動保 持部443。但是，在檢查片保持具440A，未設有上 述的6軸調整部4 4 4。 在保持具本體44 1中，在—Z側面（第1 4圖中， 左側面），形成有如上述開口部4 4 1 a的開口部 4 4 1 c。又，在+ Z側面，形成有上述開口部4 4 1 b 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 如第1 4圖的光路L 1所示，藉由以上的投影部 4 0 1的構成，從光源裝置4 1 0所射出的光束，是藉由 依次通過濾色片裝設部490，檢查片450 (45 1， 4 5 2 )，成爲表示測試圖案TP (TP1 ，TP2，第 5圖）的畫像的畫像光被射出。該畫像光是通過虛擬稜鏡 4 7 0之後，從投影透鏡1 6 0被投影，之後被投影在屏 500 (第13圖）上。又，在濾色片裝設部490，濃 -38- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 557354 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（36 ) 色片4 9 0 a至4 9 0 c適當地更換配置於光路L 1上。 又，如第13圖所示，在投影部401 ，與第一實施 形態的投影部4 0 0同樣地進行「吹動投影」。 〔3-3.投影透鏡的評價方法〕 依投影透鏡檢查裝置3的檢查，是與依上述第一實施 形態的投影透鏡檢查裝置1的檢查大約相同的順序進行。 但是，在依投影透鏡檢查裝置3的檢查，是首先投影部 4 0 1被固定在對於屏5 0 0的所定位置，進行調整投影 畫像的位置及調整焦點之故，因而不需要上述第一實施形 態的事先調整的處理的處不相同。此以外的檢查順序是相 同之故，因而省略說明。 〔3 - 4 ·第三實施形態的效果〕 依照第三實施形態，除了上述第一實施形態的（1 ) 至（8 )的效果之外，還有如下的效果。 (1 0 )將投影透鏡檢查裝置3構成作爲直線光學系 統之故，因而不需要反射用反射鏡等，可減少零件數，同 時可作成較簡單的構造。 〔4 ·實施形態的變形〕 又，本發明是並不被限定於上述各實施形態者，可達 成本發明的目的範圍的變形或改良是包含於本發明者。 在上述各實施形態中，將旋轉保持部本體4 4 5的旋 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297公釐） -39- 557354 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（37 ) 轉角度作爲9 0度，惟並未限定於此，例如將旋轉角度作 成4 5度等其他角度也可以。主要爲，可旋轉被保持的檢 查片4 5 0，並可變更投影透鏡TP的遮光部PTL的延 伸方向就可以。 又，檢查片4 5 0及投影透鏡TP的外形是並不被限 定於大約正方形，而包含長方形的矩形狀或圓形等其他形 狀也可以。 在上述各實施形態中，將旋轉保持部4 4 2的旋轉保 持部本體4 4 5作爲圓板狀，惟並不被限定於此，作爲矩 形狀等的其他形狀也可以。主要爲，旋轉保持部4 4 2是 設置檢查片4 5 0而可進行旋轉，其材質或大小，形狀等 是並不被限定。 又，在上述各實施形態中，滑動保持部4 4 3在旋轉 保持部本體4 4 5內進行滑動，惟滑動保持部4 4 3形成 從旋轉保持部本體4 4 5溢出者也可以。滑動保持部 4 4 3的材質或大小，形狀等是並不被限定。 在上述各實施形態中，作爲保持框4 4 7鄰接配置兩 件保持框4 4 8，4 4 9，惟將保持框4 4 7具備三件以 上或作爲一件也可以。主要爲，保持框4 4 7的數量是並 不被加以限定。又，保持框4 4 7是隔著間隔地鄰接配置 也可以。 又，在上述各實施形態中，在保持框4 4 7，爲了保 持檢查片45 1 ，452，構成具備固定保持片447a 與可動保持片447b，惟並不被限定於此，代替可動保 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 --- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -40- 557354 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（38 ) 持片4 4 7 b而採用固定保持片也可以’或是代替固定保 持片4 4 7 a而採用可動保持片也可以。主要爲’可確實 地保持檢查片451 ’ 452 ’其保持手段的構成’是並 未特別加以限定。 在上述各實施形態中，將C CD攝影機6 2 0 a至 620 i或3CCD攝影機630a至630 i對於屏 5 0 0固定配置9台，惟攝影機的配置台數，4台或2 0 台等的其他台數也可以。又，對於屏5 0 0的設置位置， 如上述各實施形態地不是作成均等位置也可以。主要爲， 在對於屏5 0 0的所定位置固定配置複數個也可以。 又，固定配置有所有CCD攝影機6 2 0 a至 620i或3CCD攝影機630a至630i ，惟此些 中的一部分或全部未被固定也可以。 又，在上述各實施形態中，依據表示於數1 (數2 ) 的式求出淸晰度評價値Μ T F，惟並未被限定於此，依據 其他式算出淸晰度評價値MT F也可以。主要爲，可正確 地評價投影透鏡的淸晰度就可以。 在上述各實施形態中，空間頻率採用具有作爲5 0條 /m m，8 0條/m m的測試圖案Τ Ρ 1 ，Τ Ρ 2的兩件 檢查片45 1 ，452，惟並未被限定此，也可採用設定 在其他空間頻率的檢查片。這時候，作爲空間頻率，可作 成2 0條/m m、或6 0條/m m等其他値。 又，在上述各實施形態中，在檢查淸晰度之際，依測 試圖案T P 1的水平方向，測試圖案T P 2的水平方向， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -ϋ IJ · 訂 — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -41 - 557354 A7 ______B7 五、發明説明（39 ) 測試圖案TP 2的垂直方向，測試圖案TP 1的垂直方向 的順序進行檢查，惟此些檢查的順序是並未特別加以限定 。主要爲，進行淸晰度檢查及色像差檢查的所有檢查，則 各檢查項目的檢查時刻是任何時刻均可以。 又，在上述各實施形態中，將檢查對象作爲投影透鏡 160，惟並未被限定於此，作爲構成投影機的其他光學 系統，或使用於投影機以外的電子機器的光學系統也可以 (發明之效果） 依照此些本發明，具有簡單地且低成本地可進行透鏡 的淸晰度的評價的效果。 (圖式的簡單說明） 第1圖是表示本發明的各實施形態中，包含作爲檢查 對象的投影透鏡的投影機的構造的模式圖。 第2圖是表示本發明的第一實施形態的投影透鏡檢查 裝置的構造的模式圖。 第3圖是表示上述第一實施形態的投影透鏡檢查裝置 的構造的模式圖。 第4圖是表示上述各實施形態的檢查片的側視圖。 第5圖是在上述各實施形態中，表示旋轉保持部及滑 動保持部的前視圖。 第6圖是表示在第5圖中將旋轉保持部進行旋轉9 0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 --- 經濟部智慧財產局8工消費合作社印製 -42- 557354 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（40 ) 度的圖式。 第7圖是表示上述第一實施形態的過濾片裝設部的圖 式。 第8圖是在上述各實施形態中，表示C CD攝影機對 於屏的配置位置的圖式。 第9圖是在上述第一實施形態中，表示用以說明投影 透鏡的檢查方法的流程圖。 第1 0圖是在上述各實施形態中，表示被投影於屏的 測試圖案畫像的圖式。 第1 1圖是表示本發明的第二實施形態的投影透鏡檢 查裝置的構造的模式圖。 第1 2圖是表示上述第二實施形態的3 C CD攝影機 的一部分的模式圖。 第1 3圖是表示本發明的第三實施形態的投影透鏡檢 查裝置的構造的模式圖。 第1 4圖是表示上述第三實施形態的投影透鏡檢查裝 置的構造的模式圖。 (記號之說明） 1，2 :作爲透鏡檢查裝置的投影透鏡檢查裝置 81:作爲稜鏡的色分離分色鏡 82R，82G，82B:攝影元件 1 6 0 :作爲透鏡的投影透鏡 410:作爲光源的光源裝置 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -43- 557354 A7 _B7 五、發明説明（47) "" — ^ 420:檢查片保持具 441:保持具本體 4 4 1 b :構成透光部的開口部 4 4 2 :旋轉保持部 445a:構成透光部的透光部位 4 5 0 :檢查片 45 1 ·•第一檢查片 452:第二檢查片 4 9 0 :濾色片裝設部 490a至490c:濾色片 5 0 0 :屏 6 0 0 :作爲畫像光檢測部的測定部 620a至620 i :包含攝影元件的9台crrw l c D攝 影機 630a至630 i :包含攝影元件的9台的3 CCD 攝影機 811R，811G，811B ··光出射端面 L，L 1 :光路 Μ T F :淸晰度評價値 P T L :遮光部 P T S :透光領域 Ρ Τ V ( Ρ Τ V 1，Ρ Τ V 2 ):測定領域 T P ( Τ Ρ 1，Τ Ρ 2 ):測試圖案 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} ---* —^----^---訂-- #. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

Claims (1)

1. 557354 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 1 · 一種透鏡檢查裝置，屬於爲了評價透鏡的淸晰度 ，將包含淸晰度測定用測試圖案的畫像光，經由上述透鏡 投影在屏上，而在上述屏上顯示上述淸晰度測定用測試圖 案的畫像以進行上述透鏡的檢查的透鏡檢查裝置，其特徵 爲具備： 形成有淸晰度測定用測試圖案的檢查片，及 保持該檢查片的檢查片保持具，及 在被保持於該檢查片保持具的檢查片的測試圖案部分 導入光束的光源，及 包含攝影經由上述檢查片被投射在上述屏上的畫像的 攝影元件的畫像光檢測部， 上述測試圖案是具有能使透過光成爲所定空間頻率般 地，條紋狀地排列線狀遮光部的測定領域； 上述檢查片保持具是具備：配合上述檢查片的測試圖 案部分形成有透光部，將上述檢查片定位在上述透鏡的焦 點位置的保持具本體，及對於該保持具本體將上述檢查片 旋轉自如地保持在面內的旋轉保持部。 2 .如申請專利範圍第1項所述的透鏡檢查裝置，其 中，上述檢查片保持具具有保持形成有不相同的空間頻率 的測試圖案的複數檢查片，對於上述保持具本體將上述檢 查片滑動自如地保持在面內的滑動保持部者。 3 ·如申請專利範圍第1項所述的透鏡檢查裝置，其 中，上述畫像光檢測部是具備攝影被投影在上述屏的畫像 的複數攝影元件，這些複數攝影元件是被固定配設在上述 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ------i----- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、?Τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -45- 557354 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 ___D8七、申請專利範圍 2 屏者。 4·如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的 透鏡檢查裝置，其中，具備裝設從上述光源所射出的光束 中僅透過所定範圍頻率的光束的濾色片的濾色片裝設部者 〇 5 ·如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的 透鏡檢查裝置，其中，上述晝像光檢測部是具備將被投影 在上述屏上的畫像光分離成複數色光的稜鏡；上述攝影元 件是分別配設在該棱鏡的各色光的光出射端面者。 6 · —種檢查片，屬於將包含淸晰度測定用測試圖案 的畫像光，經由透鏡投射影在屏上，爲了藉由在上述屏上 顯示上述淸晰度測定用測試圖案的畫像，而評價上述透鏡 的淸晰度，配設在上述透鏡的光路前段，且在表面形成有 淸晰度測定用測試圖案的矩形狀檢查片，其特徵爲： 形成於互相相對向的一對端緣間的複數線狀遮光部， 具備條紋狀地配設的測定領域。 7 .如申請專利範圍第6項所述的檢查片，其中’上 述測定領域是沿著一對端緣的延伸方向排列複數’而在互 相地鄰接的測定領域之間，形成有上述遮光部未形成的透 光領域。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、π 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） -46 -