TW556189B - Vacuum processing apparatus and method for producing an object to be processed - Google Patents

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556189 A7 B7 五、發明説明（Ρ 【發明所屬之技術領域】 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係關於對於被處理物的表面，在真空下，用來 進行規定的處理的真空處理裝置。 【習知技術】 以往，例如在光碟的製造過程、或是液晶顯示面板的 製造過程等之中，對於被處理物，爲了在真空下進行濺鍍 、蝕刻、烘烤或是灰化等的表面處理，廣泛地使用具備複 數個真空處理室的真空處理裝置（例如日本特開平 2000-313959)。 在第5圖以及第6圖中，模式地表示習知的真空處理 裝置的一例。第5圖爲橫剖面、第6圖爲縱剖面，分別地 加以表示。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此真空處理裝置2，具備：真空搬送室（chamber) 4、 對於被處理物即碟片6 ( 6 A〜6 D )在減壓下進行規定 的表面處理（成膜）的真空處理室8 (8A〜8C)、以 及在外部1〇和真空搬送室4之間進行碟片6之裝入與取 出的負載室（加載互鎖真空室，load-lock chamber) 1 2。 前述真空搬送室4，藉由第1泵14，其內部可以被 維持在真空狀態或是減壓狀態（以下通稱爲減壓狀態）。 作爲第1泵14，一般係使用渦輪式分子泵（TMP)等 ，確保真空搬送室4內的1 〇-4P a程度的高真空P 1。 前述真空處理室8 (8A〜8C),與真空搬送室4 可以連通、隔離地相鄰配置複數個（圖示的例子中爲3個 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -4 - 556189 A7 B7 五、發明説明（2) );在此處，對於被處理物即碟片6，在減壓下，實行濺 鍍等的規定的表面處理。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 前述負載室12，係藉由第2泵16，作成其內部的 壓力可以從大氣壓往下減壓。第2泵1 6，一般係使用從 大氣壓的壓力下便可以使用的油迴轉泵等，將負載室1 2 內的壓力從大氣壓減壓至數P a程度的減壓狀態（中真空 )P 2。 在真空搬送室4內，設置用來搬送被處理物即碟片6 的搬送機構2 2。此搬送機構2 2，主要係由：旋轉台 24 ;以及進退移動自如地被安裝在該旋轉台2 4上，可 以將碟片6加以保持、搬送的碟片搬送體2 6所構成。碟 片搬送體2 6，兼作爲：負載室1 2以及各真空處理室8 (8 A〜8 C )、與前述真空搬送室4之間的開閉閥。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 當碟片6從外部10被搬入負載室12內的時候，在 閉塞真空搬送室4側的第1開口部1 2 A的狀態下，使外 部1 0側的第2開口部1 2 B開啓，將碟片6從外部1 0 搬入負載室1 2內。被搬入的碟片6 ,藉由未圖示出來的 旋轉機構來改變其方向，而被直接保持在碟片搬送體2 6 上。 再者，在此期間，第2泵1 6持續地運轉，空氣開閉 閥2 0則遮斷空氣流路1 8。 然後，外部1 0側的第2開口部1 2 B被閉塞，同時 空氣開閉閥2 0則被開啓，於是負載室1 2內的壓力從大 氣壓降壓至規定的減壓狀態（中真空）P 2。一旦減壓完 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5- 556189 A7 B7 五、發明説明（3) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 成，全部的碟片搬送體2 6後退至旋轉台2 4側，在該狀 懸、下，旋轉台2 4往水平方向旋轉9 0。。旋轉後，若使 各碟片搬送體26前進，（在所保持的碟片6分別移動到 鄰室的狀態下）負載室12以及各真空處理室8再度從真 空搬送室4被遮斷（隔離）起來。遮斷後，空氣開閉閥 20被關閉，藉由負載室12內的旋轉機構，處理完畢的 碟片6 (從6 D旋轉到6 A的碟片）被排出至外部1 〇， 而換上新的未處理的碟片6 ( 6 A )則被安置在碟片搬送 體2 6上。 結果，可以在維持真空處理室8內的減壓狀態（高真 空）P 1的狀態下，經由負載室1 2，進行將碟片6搬入 、搬出真空搬送室4內的動作。 【發明所欲解決之課題】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 對於此種習知的真空處理裝置2，係僅藉由第2泵 1 6，花費較長的時間（T 1 ),將負載室1 2的壓力減 壓至規定的減壓狀態P 2 ,在此階段，使碟片搬送體2 6 後退，來使第1開口部1 2 A開口，藉以搬送碟片6。 此規定的減壓狀態P 2 ,與真空搬送室的壓力P 1相 比，由於仍相當高，所以一旦第1開口部1 2 A開口，則 真空搬送室4以及與其連結的各真空處理室8的壓力，也 會上升。 因此，在各真空處理室8中，特別是由於處理後的壓 力上升而有可能會對品質產生不良的影響，所以碟片搬送 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇χ297公釐） -6 - 556189 A7 B7 五、發明説明（4) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 體2 6在後退到旋轉台2 4側的狀態下，或是在處理室開 始處理之前，需要待機（等待，stand-by)。因此，需要相當 長的循環時間。 一般而言，對於此種真空處理裝置，爲了確保被處理 物的表面處理的品質，需要：（1)將真空處理室的壓力維持 在低壓；（2)圓滑地進行殘餘氣體的排氣；（3)又，爲了防 止表面處理之後不久的被處理物的品質降低，在真空搬送 室，也必須儘量避免前述壓力上升；（4)另一方面，循環 時間的縮短也爲重要的課題。 提高泵的基本性能，對於上述任一課題，雖然可以看 到相對應的效果，但是成本會直接的增加。使用相同的泵 的情況，若將排氣時間設定較長，關於前述（1)〜（3 )，雖然 可以看到效果，但是與循環時間的縮短課題相違背。 關於（3)之課題，在使負載室和真空搬送室連通之前， 預先使負載室1 2減壓至接近真空搬送室的減壓狀態，是 有效的，但是此也會有具體的問題。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 亦即，此種真空處理裝置，其構成上，負載室的壓力 ，在每一次循環不得不暫時地成爲大氣壓，但是，就現況 而言，要在數秒程度的短時間內，從大氣壓降壓至真空搬 送室所要求的程度的減壓狀態，且利用一台就可以達成減 壓之廣範圍的泵，尙未開發出來。因此，即使如何地長時 間減壓，由於泵的性能限制，無法減壓至真空搬送室所要 求的程度的減壓狀態。 因此，爲了將負載室的壓力下降至真空搬送室所要求 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 556189 A7 B7 五、發明説明（5) 程度的減壓狀態，目前至少需要2種（2個）的第2泵， 無法避免成本的大幅增加以及佔有面積的增大。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 而且，在此仍要考慮前述（2)之殘留氣體的排氣的圓滑 性之課題，而使問題更爲複雜化。 所謂的「殘留氣體」，係從真空處理室以及真空搬送 室的壁面、或是被處理物之基板或是所形成的成膜層等處 所產生的釋氣（outgas)等的總稱；狹義上，係專指這些釋氣 之中，對於表面處理的品質會產生不良影響的「惡性殘留 成分」。殘留氣體，定性上，藉由使壓力降低可以減少， 但是僅就壓力的控制，便未必能圓滑地降低。一旦殘留氣 體增加，結果將導致製品的品質的變差。近年來，對於此 種裝置，成爲最重要的問題之一。 本發明係爲了解決習知的上述問題而發明出來，其目 的爲提供一種真空處理裝置，成本的增加不會過大，便可 以將真空搬送室的壓力維持在非常低的狀態，殘留氣體的 排氣（掃氣）性能高，且能夠縮短各處理的循環時間。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 【解決課題所用的手段】 本發明係藉由硏究出關於以下（1 )之構成的真空處 理裝置，來解決上述問題。 (1)一種真空處理裝置，係針對具備： 其內部係被作成可以維持在真空狀態或是減壓狀態的 真空搬送室； 被相鄰配置成可以與該真空搬送室連通、隔離，對於 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -8 - 556189 A7 B7 五、發明説明（6) 被處理物，在真空狀態或是減壓狀態下，進行規定的處理 之複數個真空處理室； (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其內部係被作成可以從大氣壓開始被減壓，在外部以 及前述真空搬送室之間，進行被處理物的裝入與取出的負 載室；以及 被設置在前述真空搬送室內，從負載室接收被處理物 ，隨著將被處理物搬送到前述複數個真空處理室內；同時 將進行規定的處理之後的被處理物，搬出至前述負載室內 的搬送機構之形態的真空處理裝置，其特徵爲： 具備：連結前述真空搬送室和負載室的旁通管路； 使該旁通管路開啓、遮斷的旁通閥； 使前述負載室和真空搬送室之間開啓、遮斷的第1開 閉閥；以及 使前述真空搬送室和前述真空搬送室之間開啓、遮斷 的第2開閉閥； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在使前述第1開閉閥關閉的狀態下，當前述負載室從 大氣壓進行減壓到規定的階段時，在藉由前述第2開閉閥 使前述真空處理室從前述真空搬送室隔開的狀態下，藉由 前述旁通閥以及旁通管路，作成使該負載室和真空搬送室 可以連通。 本發明，藉由使負載室和真空搬送室作成可以連通， 來促進負載室的減壓。 此構成，不需要新的泵系統；又，也不需要高性能的 泵，能夠抑制成本的上升。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9- 556189 A7 B7 五、發明説明（7) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，真空搬送室的減壓狀態，由於在極短的時間內便 可以被傳達到負載室，能夠大幅地縮短該負載室的減壓所 需的時間。真空搬送室用的泵，由於比負載室用的泵的容 量高，所以使真空搬送室用的泵能從較早時期便加以使用 ，也能夠縮短全體的循環時間。 又，不需要準備2種泵，便可以使負載室的壓力降低 至低壓力，壓力差變小，真空搬送室的減壓狀態的安定度 也提高。 由於旁通管路之連通所導致的真空搬送室的壓力上升 ，不會影響到真空處理室側（由於真空處理室8與真空搬 送室隔離）。因此，在真空處理室中，可以在減壓狀態下 持續地進行表面處理。 進而，藉由旁通管路連通，由於能夠使比以往更大量 空氣流入真空搬送室內，能夠有效率地將流入的空氣隨同 殘留氣體排氣（詳如後述）。 再者，作爲本發明的變化，考慮以下的構成。詳如後 述。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (2)如（1 )所述的真空處理裝置，其中在使前述 旁通閥開啓之後，在前述負載室到達前述真空搬送室所被 要求的壓力的階段，使前述第2開閉閥開啓，來解除使前 述真空處理室從前述真空搬送室隔離的狀態。 (3 )如（1 )所述的真空處理裝置，其中在使前述 旁通閥開啓之後，在經過預想前述負載室到達前述真空搬 送室所被要求的壓力所需經過的時間的階段，使前述第2 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -10- 556189 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（8) 開閉閥開啓，來解除使前述真空處理室從前述真空搬送室 隔離的狀態。 (4) 如（1 )所述的真空處理裝置，其中在使前述 旁通閥開啓之後，在前述真空處理室中之規定的處理剛完 成之後，使前述第2開閉閥開啓，來解除使前述真空處理 室從前述真空搬送室隔離的狀態。 (5) 如（1)所述的真空處理裝置，其中在使前述 旁通閥開啓之後，在經過預想前述真空處理室中之規定的 處理完成所需的時間經過之後，使前述第2開閉閥開啓， 來解除使前述真空處理室從前述真空搬送室隔離的狀態。 (6) 如（1)、 （2)、 （3)、 （4)或（5) 所述的真空處理裝置，其中前述搬送機構，主要係由：旋 轉台；以及進退移動自如地被安裝在該旋轉台上，可以將 被處理物加以保持、搬送的複數個搬送體所構成；而且， 該搬送體兼作爲前述第1以及第2開閉閥。 (7) 如（1)、（2)、（3)、（4)、（5) 或（6)所述的真空處理裝置，其中更具備： 將前述複數個真空處理室之中的特定的真空處理室和 前述負載室連結起來的第2旁通管路；以及 使該第2旁通管路開啓、遮斷的第2旁通閥； 而且，在前述旁通管路開啓之後，使前述第2旁通閥 開啓，作成使前述第2旁通管路可以連通到負載室。 (8) 如（1)、（2)、（3)、（4)、（5) 、（6)或（7)所述的真空處理裝置，其中在前述負載 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -11 - 556189 A7 B7 五、發明説明（9) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 室和用來使該負載室減壓的泵之間的空氣流路中，配置使 該空氣流路開啓、遮斷的開閉閥；而且，在該開閉閥的栗 側之空氣流路上，配置可以蓄積負壓的蓄壓器。 (9)一種真空處理裝置，係針對具備： 其內部係被作成可以維持在真空狀態或是減壓狀態的 真空搬送室； 被相鄰配置成可以與該真空搬送室連通、隔離，對於 被處理物，在真空狀態或是減壓狀態下，進行規定的處理 之複數個真空處理室； 其內部係被作成可以從大氣壓開始被減壓，在外部以 及前述真空搬送室之間，進行被處理物的裝入與取出的負 載室；以及 被設置在前述真空搬送室內，從負載室接收被處理物 ，隨著將被處理物搬送到前述複數個真空處理室內；同時 將進行規定的處理之後的被處理物，搬出至前述負載室內 的搬送機構之形態的真空處理裝置，其特徵爲： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 將蓄壓機構附設在前述負載室12上；該蓄壓機構， 至少具有一個以上之被作成可以維持在真空狀態或是減壓 狀態的蓄壓室，在前述負載室的內部減壓的過程中，作成 可以藉由該蓄壓室的負壓，來促進負載室的減壓。 (1 0)如（9)所述的真空處理裝置，其中前述蓄 壓室的容積，作成爲前述負載室容積的0·5倍〜3倍。 (1 1 ) 一種被處理物之製造方法，係針對使用具備 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12- 556189 A7 B7 五、發明説明（以 其內部係被作成可以維持在真空狀態或是減壓狀態的 真空搬送室； (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 被相鄰配置成可以與該真空搬送室連通、隔離，對於 被處理物，進行規定的處理之複數個真空處理室； 其內部係被作成可以從大氣壓開始被減壓，在外部以 及前述真空搬送室之間，進行被處理物的裝入與取出的負 載室；以及 被設置在前述真空搬送室內，從負載室接收被處理物 ，隨著將被處理物搬送到前述複數個真空處理室內；同時 將進行規定的處理之後的被處理物，搬出至前述負載室內 的搬送機構之形態的真空處理裝置；而在真空狀態或是減 壓狀態下，進行規定的處理的被處理物之製造方法，其特 徵爲： 具備：連結前述真空搬送室和負載室的旁通管路；以 及使該旁通管路開啓、遮斷的旁通閥；而且 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 包含：當前述負載室從大氣壓開始進行減壓到規定的 階段時，在使前述真空處理室從前述真空搬送室隔離的狀 態下，使該負載室和真空搬送室連通的過程。 (1 2) —種被處理物之製造方法，係針對： 從其內部被作成可以維持在真空狀態或是減壓狀態的 真空搬送室開始； 將被處理物搬入或是搬出被相鄰配置成可以與該真空 搬送室連通、隔離，對於被處理物，進行規定的處理之複 數個真空處理室； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- 556189 A7 B7 五、發明説明（u 然後，經由其內部係被作成可以從大氣壓開始被減壓 的負載室，在外部以及前述真空搬送室之間，進行被處理 物的裝入、取出； 藉由被設置在前述真空搬送室內的搬送機構，來進行 前述被處理物的搬送或是搬出；使前述負載室，當與外部 進行前述被處理物之裝入、取出之際，與真空搬送室之間 隔離、並開放大氣，當與真空搬送室之間進行裝入、取出 之際，遮斷真空搬送室以及大氣之間、並減壓，使前述複 數個真空處理室內成爲真空狀態，對被處理物進行規定的 處理之後，將被處理物搬出前述負載室的被處理物之製造 方法，其特徵爲： 當前述負載室從大氣壓開始進行減壓到達規定的階段 時，在使前述真空處理室從前述真空搬送室隔離的狀態下 ，使該負載室和真空搬送室旁通。 (13)如（12)所述的被處理物之製造方法，其 中在前述旁通狀態下，在前述負載室到達前述真空搬送室 所被要求的壓力的階段，解除使前述真空處理室從前述真 空搬送室隔離的狀態。 (1 4 )如（1 2 )所述的被處理物之製造方法，其 中在前述旁通狀態下，在經過預想前述負載室到達前述真 空搬送室所被要求的壓力所需經過的時間的階段，解除使 前述真空處理室從前述真空搬送室隔離的狀態。 (15)如（12)所述的被處理物之製造方法，其 中在前述旁通狀態下，在前述真空處理室中之規定的處理 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 0 fn mat emh _ -14- 556189 A7 B7 五、發明説明（^ 剛完成之後，解除使前述真空處理室從前述真空搬送室隔 離的狀態。 (1 6 )如（1 2 )所述的被處理物之製造方法，其 中在前述旁通狀態下，在經過預想前述真空處理室中之規 定的處理完成所需的時間經過之後的階段，解除使前述真 空處理室從前述真空搬送室隔離的狀態。 (17) 如（12)、（13)、（14)、（15 )或（1 6)所述的被處理物之製造方法，其中在與前述 旁通狀態的開始同時或是之後，使前述複數個真空處理室 之中的至少一部份的真空處理室與前述負載室旁通。 (18) 如（12)、（13)、（14)、（15 )或（1 6)所述的被處理物之製造方法，其中在前述負 載室減壓之際，將從可以蓄積負壓的蓄壓器來的負壓，施 加在負載室。 【本發明之實施形態】 以下，根據圖面來詳細地說明本發明之實施形態的例 第1圖係表示本發明的第1實施形態。 關於此第1實施形態的真空處理裝置5 0，除了關於 負載室以及真空搬送室的減壓之設備以外，與前述習知的 真空處理裝置2相較，並無特別的改變。因此，在圖中對 於相同或是類似的部分，標上相同的符號，而省略重複的 說明；在此，主要係針對與習知的真空處理裝置2相異之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） I!------f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15- 556189 A7 B7 五、發明説明（d 處作詳細的說明。關於以下的實施形態，也是如此。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在真空搬送室4和負載室1 2之間，形成旁通管路 5 2。又，在此旁通管路5 2中，配置用來使該旁通管路 5 2開啓、遮斷的旁通閥5 4。 亦即，在此第1實施形態中，真空搬送室4本身，可 以說是被作爲蓄壓室來使用。 旁通閥54，當藉由第2泵16，將負載室12從大 氣壓開始減壓，進行到不會損傷第1泵1 4的程度之階段 (到達規定的壓力P 3的階段、或是經過與此對應的時間 T 2的階段），被「開啓」。前述旁通閥5 4的開閉，係 藉由控制裝置5 6 (參照第2圖）來進行控制。又，此控 制裝置56，也控制前述第1泵14、第2泵16、空氣 開閉閥20、以及搬送機構22 (包含旋轉台24、搬送 體2 6)，而且，內裝有後述之閥開閉用的定時器。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 再者，關於使處於隔離狀態的真空搬送室4和真空處 理室8連通的時期（使碟片搬送體（保持體）2 6開始後 退的時期），根據目的，在設計上可以選擇2個代表的時 點（詳如後述）。 接著，說明藉由此構成所能夠得到的作用。亦即，說 明藉由控制裝置5 6的控制過程。再者，碟片搬送體2 6 ，在使負載室1 2和真空搬送室4之間開啓、遮斷的情況 ，稱爲第1開閉閥；而在使真空搬送室4和真空處理室8 之間開啓、遮斷的情況，則稱爲第2開閉閥。 將負載室1 2從大氣壓開始減壓，進行相當程度（到 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -16- 556189 A7 B7

五、發明説明（U (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 達壓力P 3、或是經過與此對應的時間T 2 )，旁通閥 5 4被「開啓」。從「開啓」的瞬間開始，相當於真空搬 送室4側之高真空程度P 1的減壓狀態被移轉，於是負載 室12的壓力，一口氣地下降至遠比習知的壓力P2低的 壓力P 4。因此，僅藉由第2泵1 6的性能，與習知將負 載室1 2減壓的構成相比，能夠大幅地縮短該負載室1 2 之減壓所需的時間。 又，真空搬送室4用的第1泵14，由於其容量比第 2泵1 6大，只要使第1泵1 4從較早時期便開始使用， 能夠縮短全體的循環時間。若爲相同的循環時間，則可以 達成高真空環境。 此構成，不需要任何新的泵系統；又，也不需要更高 性能的泵，由於大多數的構件可以沿用以往的構件，所以 能夠將成本的增加控制在最小限度內。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 藉由旁通閥5 4，當使旁通管路5 2成爲「開啓」之 後不久的真空搬送室4的壓力P4，比P1稍微高出相當 於移轉到負載室1 2側之減壓狀態的量的程度；但是，各 真空處理室8，由於藉由兼作爲開閉閥的碟片搬送體26 ，被維持在氣密狀態，所以真空處理室8的壓力，不會從 P1上升。因此，在該真空處理室8中的處理，不會由於 真空搬送室4之壓力的上升而受到不良的影響。 又，真空搬送室4以及與該真空搬送室4連結的負載 室1 2，在從P 4回復到規定的壓力p 1爲止的期間，由 於第1開閉閥開啓，在真空搬送室4內，（由於P3< 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -17- 556189 A7 B7 五、發明説明（d (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) P 2，所以有比以往更多的流入空氣的存在）藉由第1泵 1 4，由於以快速有效率地實行排氣，所以殘留氣體的排 氣（掃氣）也圓滑地進行。此作用由於爲本實施形態的最 重要的作用之一，所以稍加詳細地說明。 一般而言，負載室12的壓力，若從習知的P 2下降 到P4，爲了碟片6的搬入、搬出，而使負載室12的第 1開口部1 2 A開啓時的真空搬送室4的壓力的上升（ P1 - P4)變小，真空搬送室4的壓力會更加地安定。 這情況本身是理想的。 但是，另一方面，「泵的排氣速度」，由於會有越靠 近該泵的可達壓力（真空度）排氣速度越小的特性，所以 在被維持在此安定的壓力的情況下，會出現殘留氣體的排 氣無法圓滑地進行的問題。亦即，對於真空搬送室4而言 ，在高真空狀態下之不太變化的環境，關於真空搬送室4 之殘留氣體的排氣（真空搬送室4的淸潔化）之點，並不 一定可以稱爲是最佳的環境。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 然而，在本實施形態中，負載室1 2之壓力的降低（ P2-P4)，並不是藉由第2泵16的功能的增強來達 成，而係藉由使真空搬送室4和負載室12經由旁通管路 5 2連通之手段來達成。因此，藉由此旁通管路5 2的連 通，根據比習知的壓力差P 1 - P 2大的壓力差P 1 -P3,大量的空氣可以流入真空搬送室4內，然後藉由第 1泵1 4 ,能夠將所流入的空氣包含殘留氣體（效率比以 往更佳），加以排氣。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ：Ζ97公釐） -18- 556189 A7 B7 五、發明説明（4 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 再者，當要設定使處於隔離狀態的真空搬送室4和真 空處理室8連通的時期（使作爲第2開閉閥之碟片搬送體 2 6開始後退的時期）之際，根據前述的目的，可以選擇 2個時期，分別可以得到以下的作用。 適合被選擇的時期之一爲「作成連通狀態之負載室 1 2以及真空搬送室4的壓力程度（初期値P 4)，當到 達該真空搬送室4所要求的高真空的壓力P 1時（或是經 過預想到達該壓力P 1所需經過的時間）」：另一個適合 的時期爲「連通後，在真空處理室8中的表面處理剛完成 之後（或是經過預想完成所需經過的時間之後不久）」。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 開啓第2開閉閥，當使處於隔離狀態的真空搬送室4 和真空處理室8連通的時期，設定在「負載室1 2以及真 空搬送室4的壓力到達壓力P 1的時期」的時候，在此狀 態下，即使使第1開口部1 2 A開啓，由於真空搬送室4 和負載室1 2的壓力一同到達P 1，所以真空搬送室4的 壓力不會從P1上升，當然，真空處理室8的壓力也不會 從P1上升。因此，碟片6，包含在處理中以及搬送中， 一直被置於壓力P1的環境下。 結果，整體來說，能夠一邊縮短循環時間（週期）， 一邊實行高品質的處理。 另一方面，當使處於隔離狀態的真空搬送室4和真空 處理室8連通的時期，設定在「連通後，在真空處理室8 中的表面處理剛完成之後」，亦即，設定在負載室1 2以 及真空搬送室4的壓力，尙未到達壓力P 1以前（或是經 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -19- 556189 經濟部智慧財產^員工消費合作社印製 A7 _B7五、發明説明（^ 過預想到達壓力P 1所需經過的時間以前）的時候，可以 利用旋轉台2 4旋轉9 0 °的時間，將壓力回復到規定的 P 1程度。因此，在此情況中，可以更加地縮短循環時間 〇 又，在表面處理後（搬送中），不僅是真空搬送室4 ，由於也能夠使負載室12的空氣流入真空處理室8內， 所以包含真空處理室8 ,能夠更有效率地進行殘留氣體的 排氣（掃氣）。 再者，旁通閥5 4，在規定的處理結束而使碟片搬送 體2 6開始後退之後，一直到再度使作爲第1開閉閥的碟 片搬送體2 6前進，而負載室1 2之第1開口部1 2A被 關閉爲止的任意的時期中，被「關閉」。 接著，說明關於在第3圖中所示之本發明的第2實施 形態。 在第2實施形態中的真空處理裝置6 0，係考慮使排 氣（掃氣）效率提高而發展出來；例如，在某些特定的真 空處理室8 (圖示的例子爲8 C )中，特別是考慮惡性的 殘留氣體發生量多的情況，如第3圖所示，係將連結該真 空處理室8 C和負載室1 2的第2旁通管路5 5以及開啓 、遮斷該管路的第2旁通閥5 7，與先前的實施形態的旁 通管路5 2 (在第3圖中省略圖示），合倂設置。此第2 旁通管路5 5，係構成可以與旁通管路5 2的開啓同時或 是稍微延遲地與負載室12連通。 藉由此手段，經由旁通管路5 2和第2旁通管路5 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I!------·1, (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -20- 556189 A7 B7 五、發明説明（d (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 兩者，將真空處理室8 C，從表面處理中（或是剛表面處 理之後）的任意時期開始，能夠比其他的真空處理室8 A 、8 B更早與負載室1 2 (或是與負載室1 2連結的真空 搬送室4 )連通，能夠作成可以將該真空處理室8 C的殘 留氣體，比其他的真空處理室8A、8B，優先地排氣（ 掃氣）。 此構成，在該真空處理室8 C的殘留氣體之滞留所產 生的不良影響大時，是有效的。再者，所連結的真空處理 室8，也可以爲複數個。 接著，說明關於第4圖所示之本發明的第3實施形態 〇 關於此第3實施形態的真空處理裝置7 0，係在上述 真空處理裝置5 0 (或是6 0 )中，在空氣流路1 8的空 氣開閉閥2 0的第2泵1 6側，設置蓄壓室7 2。 在此第3實施形態中，藉由空氣流路1 8的空氣開閉 閥2 0和蓄壓室7 2，來構成蓄壓機構。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 蓄壓室72的容積，一般而言，容積越大越能提高作 爲蓄壓器的功能；但是，若容積過大，則不僅是所佔空間 變大，由於在規定的時間內也無法將該蓄壓室7 2的減壓 狀態充分地達成，所以負載室1 2之促進減壓的功能反而 下降。因此，理想爲負載室12的實質內容積的〇.5倍 〜3倍的程度。 藉由設置蓄壓室7 2，可以得到以下的作用。 亦即，對於上述真空處理裝置50、6 0，第1開口 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -21 - 556189 Α7 Β7 五、發明説明（β (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 部12Α被閉塞，在大氣壓下，交換處理完畢的碟片6和 未處理的碟片6之間，僅空氣流路1 8的空氣開閉閥2 0 被關閉，第2泵1 6並沒有停止而持續運轉。這是因爲 使在每個循環重複第2泵1 6的旋轉、停止的指令，由於 反應性的關係，無法在計劃的時期內，將負載室1 2良好 地減壓。 此情況，換言之，第2泵1 6除了對於負載室1 2的 減壓有貢獻的時間以外，其餘的時間僅是無用的持續運轉 而已。 相對於此，在此第3實施形態的構成中，利用以往無 用的運轉期間，藉由第2泵1 6的運轉，來使蓄壓室7 2 減壓。因此，當使空氣開閉閥2 0開啓不久之後，便可以 將負載室1 2減壓至可以使前述旁通閥5 4「開啓」之程 度的減壓狀態。 再者，此構成，若只考慮負載室1 2之減壓促進的效 果，與旁通管路5 2的形成無關，而僅實施此部份的構成 ，也可以得到該減壓促進效果。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 關於此第3實施形態的構成，負載室1 2的減壓開始 之後，由於可以在極短的時間內完成該負載室1 2的減壓 ，能夠更加地縮短循環時間。 【發明之效果】 若根據本發明，可以得到一種真空處理裝置，利用簡 單的構成，不會大幅地增加成本，便能夠一邊經常將真空 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -22- 556189 A7 B7 五、發明説明（ 搬送室以及真空處理室的壓力維持在低壓，一邊縮短各處 理的循環時間，而且，殘留氣體的排氣效率高。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 【圖面之簡單說明】 第1圖係模式地表示關於本發明的第1實施形態的真 空處理裝置的槪要縱剖面圖。 第2圖係表示該真空處理裝置的控制系統的方塊圖。 第3圖係模式地表示關於本發明的第2實施形態的真 空處理裝置的槪要縱剖面圖。 第4圖係模式地表示關於本發明的第3實施形態的真 空處理裝置的槪要縱剖面圖。 第5圖係模式地表示習知的真空處理裝置的槪要橫咅[j 面圖。 第6圖係上述習知的真空處理裝置的槪要縱剖面圖。 【符號說明】 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2、5 0、6 0、7 0 :真空處理裝置 4 :真空搬送室 6 ··碟片（被處理物） 8 :真空處理室 1 0 :外部 1 2 :負載室 1 2 A :第1開口部 1 2 B :第2開口部 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -23- 556189 A7 B7 五、發明説明（ 1 4 :第1泵 1 6 :第2泵 18:空氣流路 2 0 :空氣開閉閥 2 2 :搬送機構 2 4 :旋轉台 2 6 :碟片搬送體 5 2 :旁通管路 5 4 :旁通閥 55:第2旁通管路 5 7 :第2旁通閥 7 2 :蓄壓室 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -24-

Claims (1)

1. 556189 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 1 . 一種真空處理裝置，係針對具備·· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 其內部係被作成可以維持在真空狀態或是減壓狀態的 真空搬送室； 被相鄰配置成可以與該真空搬送室連通、隔離，對於 被處理物，在真空狀態或是減壓狀態下，進行規定的處理 之複數個真空處理室； 其內部係被作成可以從大氣壓開始被減壓，在外部以 及前述真空搬送室之間，進行被處理物的裝入與取出的負 載室；以及 被設置在前述真空搬送室內，從負載室接收被處理物 ，隨著將被處理物搬送到前述複數個真空處理室內；同時 將進行規定的處理之後的被處理物，搬出至前述負載室內 的搬送機構之形態的真空處理裝置，其特徵爲： 具備：連結前述真空搬送室和負載室的旁通管路； 使該旁通管路開啓、遮斷的旁通閥； 使前述負載室和真空搬送室之間開啓、遮斷的第1開 閉閥；以及 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使前述真空搬送室和前述真空搬送室之間開啓、遮斷 的第2開閉閥； 在使前述第1開閉閥關閉的狀態下，當前.述負載室從 大氣壓進行減壓到規定的階段時，在藉由前述第2開閉閥 使前述真空處理室從前述真空搬送室隔開的狀態下，藉由 前述旁通閥以及旁通管路，作成使該負載室和真空搬送室 可以連通。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -25 - 556189 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 ·如申請專利範圍第1項所述的真空處理裝置，其 中在使前述旁通閥開啓之後，在前述負載室到達前述真空 搬送室所被要求的壓力的階段，使前述第2開閉閥開啓， 來解除使前述真空處理室從前述真空搬送室隔離的狀態。 3 .如申請專利範圍第1項所述的真空處理裝置，其 中在使前述旁通閥開啓之後，在經過預想前述負載室到達 前述真空搬送室所被要求的壓力所需經過的時間的階段， 使前述第2開閉閥開啓，來解除使前述真空處理室從前述 真空搬送室隔離的狀態。 4 ·如申請專利範圍第1項所述的真空處理裝置，其 中在使前述旁通閥開啓之後，在前述真空處理室中之規定 的處理剛完成之後，使前述第2開閉閥開啓，來解除使前 述真空處理室從前述真空搬送室隔離的狀態。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 .如申請專利範圍第1項所述的真空處理裝置，其 中在使前述旁通閥開啓之後，在經過預想前述真空處理室 中之規定的處理完成所需的時間經過之後，使前述第2開 閉閥開啓，來解除使前述真空處理室從前述真空搬送室隔 離的狀態。 6 ·如申請專利範圍第1、2、3、4或5項所述的 真空處理裝置，其中則述搬送機構，.主要係由：旋轉台； 以及進退移動自如地被安裝在該旋轉台上，可以將被處理 物加以保持、搬送的複數個搬送體所構成；而且，該搬送 體兼作爲前述第1以及第2開閉閥。 7 ·如申請專利範圍第1、2、3、4或5項所述的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） _ 26 _ 556189 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 3 真空處理裝置，其中更具備·· 將前述複數個真空處理室之中的特定的真空處理室和 前述負載室連結起來的第2旁通管路；以及 使該第2旁通管路開啓、遮斷的第2旁通閥； 而且，在前述旁通管路開啓之後，使前述第2旁通閥 開啓，作成使前述第2旁通管路可以連通到負載室。 8 ·如申請專利範圍第6項所述的真空處理裝置，其 中更具備： 將前述複數個真空處理室之中的特定的真空處理室和 前述負載室連結起來的第2旁通管路；以及 使該第2旁通管路開啓、遮斷的第2旁通閥； 而且，在前述旁通管路開啓之後，使前述第2旁通閥 開啓，作成使前述第2旁通管路可以連通到負載室。 9 ·如申請專利範圍第1、2、3、4或5項所述的 真空處理裝置，其中在前述負載室和用來使該負載室減壓 的泵之間的空氣流路中，配置使該空氣流路開啓、遮斷的 開閉閥；而且，在該開閉閥的泵側之空氣流路上，配置可 以蓄積負壓的蓄壓器。 1 〇 ·如申請專利範圍第7項所述的真空處理裝置， 其中在前述負載室和用來使該負載室減壓的泵.之間的空氣 流路中，配置使該空氣流路開啓、遮斷的開閉閥；而且， 在該開閉閥的泵側之空氣流路上，配置可以蓄積負壓的蓄 壓器。 · 11.一種真空處理裝置，係針對具備： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 27 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 556189 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 4 其內部係被作成可以維持在真空狀態或是減壓狀態的 真空搬送室； (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 被相鄰配置成可以與該真空搬送室連通、隔離，對於 被處理物，在真空狀態或是減壓狀態下，進行規定的處理 之複數個真空處理室； 其內部係被作成可以從大氣壓開始被減壓，在外部以 及前述真空搬送室之間，進行被處理物的裝入與取出的負 載室；以及 被設置在前述真空搬送室內，從負載室接收被處理物 ，隨著將被處理物搬送到前述複數個真空處理室內；同時 將進行規定的處理之後的被處理物，搬出至前述負載室內 的搬送機構之形態的真空處理裝置，其特徵爲： 將蓄壓機構附設在前述負載室12上；該蓄壓機構， 至少具有一個以上之被作成可以維持在真空狀態或是減壓 狀態的蓄壓室，在前述負載室的內部減壓的過程中，作成 可以藉由該蓄壓室的負壓，來促進負載室的減壓。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 2 .如申請專利範圍第1 1項所述的真空處理裝置 ，其中前述蓄壓室的容積，作成爲前述負載室容積的 0 . 5倍〜3倍。 1 3 · —種被處理物之製造方法，係針對使用具備： 其內部係被作成可以維持在真空狀態或是減壓狀態的 真空搬送室； 被相鄰配置成可以與該真空搬送室連通、隔離，對於 被處理物，進行規定的處理之複數個真空處理室； -28- 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 556189 A8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 5 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其內部係被作成可以從大氣壓開始被減壓，在外部以 及前述真空搬送室之間，進行被處理物的裝入與取出的負 載室；以及 被設置在前述真空搬送室內，從負載室接收被處理物 ，隨著將被.處理物搬送到前述複數個真空處理室內；同時 將進行規定的處理之後的被處理物，搬出至前述負載室內 的搬送機構之形態的真空處理裝置；而在真空狀態或是減 壓狀態下，進行規定的處理的被處理物之製造方法，其特 徵爲= 具備：連結前述真空搬送室和負載室的旁通管路；以 及使該旁通管路開啓、遮斷的旁通閥；而且 包含：當前述負載室從大氣壓開始進行減壓到規定的 階段時，在使前述真空處理室從前述真空搬送室隔離的狀 態下，使該負載室和真空搬送室連通的過程。 14·一種被處理物之製造方法，係針對： 從其內部被作成可以維持在真空狀態或是減壓狀態的 真空搬送室開始； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 將被處理物搬入或是搬出被相鄰配置成可以與該真空 搬送室連通、隔離，對於被處理物，進行規定的處理之複 數個真空處理室； > 然後，經由其內部係被作成可以從大氣壓開始被減壓 的負載室，在外部以及前述真空搬送室之間，進行被處理 物的裝入、取出； · 藉由被設置在前述真空搬送室內的搬送機構，來進行 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） 556189 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 6 前述被處理物的搬送或是搬出；使前述負載室，當與外部 進行前述被處理物之裝入、取出之際，與真空搬送室之間 隔離、並開放大氣，當與真空搬送室之間進行裝入、取出 之際，遮斷真空搬送室以及大氣之間、並減壓，使前述複 數個真空處理室內成爲真空狀態，對被處理物進行規定的 處理之後，將被處理物搬出前述負載室的被處理物之製造 方法，其特徵爲： 當前述負載室從大氣壓開始進行減壓到達規定的階段 時，在使前述真空處理室從前述真空搬送室隔離的狀態下 ，使該負載室和真空搬送室旁通。 1 5 ·如申請專利範圍第1 4項所述的被處理物之製 造方法，其中在前述旁通狀態下，在前述負載室到達前述 真空搬送室所被要求的壓力的階段，解除使前述真空處理 室從前述真空搬送室隔離的狀態。 1 6 .如申請專利範圍第1 4項所述的被處理物之製 造方法，其中在前述旁通狀態下，在經過預想前述負載室 到達前述真空搬送室所被要求的壓力所需經過的時間的階 段，解除使前述真空處理室從前述真空搬送室隔離的狀態 〇 1 7 ·如申請專利範圍第1 4項所述的被處理物之製 造方法，其中在前述旁通狀態下，在前述真空處理室中之 規定的處理剛完成之後，解除使前述真空處理室從前述真 空搬送室隔離的狀態。 1 8 .如申請專利範圍第1 4項所述的被處理物之製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 3〇 - (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 556189 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 7 造方法，其中在前述旁通狀態下，在經過預想前述真空處 理室中之規定的處理完成所需的時間經過之後的階段，解 除使前述真空處理室從前述真空搬送室隔離的狀態。 1 9 .如申請專利範圍第1 4、1 5、1 6、1 7或 1 8項所述的被處理物之製造方法，其中在與前述旁通狀 態的開始同時或是之後，使前述複數個真空處理室之中的 至少一部份的真空處理室與前述負載室旁通。 20 ·如申請專利範圍第14、15、16、17或 1 8項所述的被處理物之製造方法，其中在前述負載室減 壓之際，將從可以蓄積負壓的蓄壓器來的負壓，施加在負 載室。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -31 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）