JPS5878357A - 電子ビ−ム溶接装置 - Google Patents
電子ビ−ム溶接装置Info
- Publication number
- JPS5878357A JPS5878357A JP17522181A JP17522181A JPS5878357A JP S5878357 A JPS5878357 A JP S5878357A JP 17522181 A JP17522181 A JP 17522181A JP 17522181 A JP17522181 A JP 17522181A JP S5878357 A JPS5878357 A JP S5878357A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- vacuum
- pump
- electron
- rotary pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、真空雰囲気中で、数１０キロボルトの高電
圧で加速した電子線の衝撃熱を利用して溶接する電子ビ
ーム溶接装置に関するものである。
圧で加速した電子線の衝撃熱を利用して溶接する電子ビ
ーム溶接装置に関するものである。
一般にこの種電子ビーム溶接装置は、高真空に真空排気
された電子銃室において溶接熱源である電子ビームを発
生させ、比較的低ｌｃ空に排気された真空容器、すなわ
ち真空溶接室内にセットされた被溶接物に上記電子ビー
ムを照射して溶接を行なうようになされているため、上
記電子銃室と真空溶接室とを真空雰囲気にする真空排気
装置は、電子ビーム溶接装置の構成部材の中でも重要な
役割を果している。
された電子銃室において溶接熱源である電子ビームを発
生させ、比較的低ｌｃ空に排気された真空容器、すなわ
ち真空溶接室内にセットされた被溶接物に上記電子ビー
ムを照射して溶接を行なうようになされているため、上
記電子銃室と真空溶接室とを真空雰囲気にする真空排気
装置は、電子ビーム溶接装置の構成部材の中でも重要な
役割を果している。
第１図は電子ビーム溶接装置における従来の真空排気装
置を示す配管図で、一方の電子銃室（１）内は通常５
Ｘ １０ （Ｔｏｒｒ）程度の高真空に維持する必要
がめるため、油拡散ポンプ（５）と油回転ポンプ（ｌｌ
ａ）とが複数のバルブを介して直列に接続されている。
置を示す配管図で、一方の電子銃室（１）内は通常５
Ｘ １０ （Ｔｏｒｒ）程度の高真空に維持する必要
がめるため、油拡散ポンプ（５）と油回転ポンプ（ｌｌ
ａ）とが複数のバルブを介して直列に接続されている。
そして、運転開始当初における電子銃室（１）内の真空
排気は、開放操作した電子銃室ラフバルブ（６）を介し
、油回転ポンプ（ｌｌａ）のみによって真空排気され、
所定の真空圧力まで初明真空引きされたのち、上記電子
銃ラフバルブ（６）を閉止し、次いで閉止されていた電
子銃メインバルブ（４）と、電子銃フォアバルブ（７）
と全それぞれ開放操作し、上記油回転ポンプ（１ｔａ）
と、油拡散ポンプ（５）とを直列運転して電子銃室（υ
内を所定の高真空まで排気するようになされている。
排気は、開放操作した電子銃室ラフバルブ（６）を介し
、油回転ポンプ（ｌｌａ）のみによって真空排気され、
所定の真空圧力まで初明真空引きされたのち、上記電子
銃ラフバルブ（６）を閉止し、次いで閉止されていた電
子銃メインバルブ（４）と、電子銃フォアバルブ（７）
と全それぞれ開放操作し、上記油回転ポンプ（１ｔａ）
と、油拡散ポンプ（５）とを直列運転して電子銃室（υ
内を所定の高真空まで排気するようになされている。
また、他方の真空溶接室（２）内は通常５×１Ｏ−２（
Ｔｏｒｒ） 程度の比較的低真空で使用される場合が
多く、メカニカルブースタポンプ（Ｉｎと、油回転ポン
プ（ｘｌｂ）とが複数のバルブを介して直列に接続され
ている。そして運転開始当初における真空溶接室（２）
内の真壁排気は、開放操作した溶接室メインバルブ（８
）と、調圧弁（９）とを介し、油回転ポンプ（１１ｂ）
のみによって真空排気され、所定の真空圧力まで初期真
空引きされたのち、調圧弁（９）全閉止し、上記油回転
ポンプ（ｌｌｂ）とメカニカルブースタポンプα１とを
直列運転して、真空溶接室（２）内を所定の低真空まで
排気するようになされており、従来の電子ビーム溶接装
置における電子銃室（１）と真空溶接室（２）とには上
述したように、それぞれ別個に全く独立した一対の真空
排気装置を設けるようにしているため、電子ビーム溶接
装置の据え付は時における真空排気装置の占有面積が著
しく大きくなり電子ビーム溶接装置の小形化に限界を有
する欠点がある。また、上述した従来の真空排気装置に
よれば、電子銃室（１）につながる油拡散ポンプ（５）
と、真空溶接室（２）につながるメカニカルブースタポ
ンプ（１０とは、それぞれの補助的ポンプである油回転
ポンプ（ｘｌａＸｌｔｂ）によって電子□銃室（１）と
真空溶接室（２）と全それぞれ個々に所定の真空圧力ま
で初期真空引きしたのち起動させるようにしているため
、同一機能を有する一対の油回転ポンプ（１１ａ）（ｔ
ｘｂ）を必要とし、真空排気装置の高価になる欠点があ
る。さらに、従来の真空排気装置における電子銃室（１
）は、初期に高真′９．まで排気されたあとは、電子ビ
ーム溶接装置を休止させるまで高真空の排気を維持する
ため、一旦高真空まで排気したあとは、電子銃室内でわ
ずかに発生するガス等の排出を行なうのみで、特に油回
転ポンプ（１ｔａ）に大きな排気能力を必要としないが
、他方の油拡散ポンプ（５）の排気側圧力の低下を防ｄ
−するため、常に連続運転させる必要がある欠点も有し
ている。
Ｔｏｒｒ） 程度の比較的低真空で使用される場合が
多く、メカニカルブースタポンプ（Ｉｎと、油回転ポン
プ（ｘｌｂ）とが複数のバルブを介して直列に接続され
ている。そして運転開始当初における真空溶接室（２）
内の真壁排気は、開放操作した溶接室メインバルブ（８
）と、調圧弁（９）とを介し、油回転ポンプ（１１ｂ）
のみによって真空排気され、所定の真空圧力まで初期真
空引きされたのち、調圧弁（９）全閉止し、上記油回転
ポンプ（ｌｌｂ）とメカニカルブースタポンプα１とを
直列運転して、真空溶接室（２）内を所定の低真空まで
排気するようになされており、従来の電子ビーム溶接装
置における電子銃室（１）と真空溶接室（２）とには上
述したように、それぞれ別個に全く独立した一対の真空
排気装置を設けるようにしているため、電子ビーム溶接
装置の据え付は時における真空排気装置の占有面積が著
しく大きくなり電子ビーム溶接装置の小形化に限界を有
する欠点がある。また、上述した従来の真空排気装置に
よれば、電子銃室（１）につながる油拡散ポンプ（５）
と、真空溶接室（２）につながるメカニカルブースタポ
ンプ（１０とは、それぞれの補助的ポンプである油回転
ポンプ（ｘｌａＸｌｔｂ）によって電子□銃室（１）と
真空溶接室（２）と全それぞれ個々に所定の真空圧力ま
で初期真空引きしたのち起動させるようにしているため
、同一機能を有する一対の油回転ポンプ（１１ａ）（ｔ
ｘｂ）を必要とし、真空排気装置の高価になる欠点があ
る。さらに、従来の真空排気装置における電子銃室（１
）は、初期に高真′９．まで排気されたあとは、電子ビ
ーム溶接装置を休止させるまで高真空の排気を維持する
ため、一旦高真空まで排気したあとは、電子銃室内でわ
ずかに発生するガス等の排出を行なうのみで、特に油回
転ポンプ（１ｔａ）に大きな排気能力を必要としないが
、他方の油拡散ポンプ（５）の排気側圧力の低下を防ｄ
−するため、常に連続運転させる必要がある欠点も有し
ている。
この発明はかかる点に着目してなされたもので、従来電
子銃室（１）と真空溶接室（２）とにそれぞれ設けられ
た油回転ポンプを単一の油回転ポンプで共用させること
によって真空排気装置の小形化と、コスト低減を計った
電子ビーム溶接装置を提供しようとするものである。
子銃室（１）と真空溶接室（２）とにそれぞれ設けられ
た油回転ポンプを単一の油回転ポンプで共用させること
によって真空排気装置の小形化と、コスト低減を計った
電子ビーム溶接装置を提供しようとするものである。
すなわち、第２図はこの発明の一実施例を示すものであ
るが、上述した従来のもの（第１図）と同一符号は同一
構成部材につきその説明を省略する。
るが、上述した従来のもの（第１図）と同一符号は同一
構成部材につきその説明を省略する。
ａ２は電子銃メインバルブ（４）を介して電子銃室（１
）につながる油拡散ポンプ（５）と共用油回転ポンプ（
１１）との間に挿入されたアキュームレータで、このア
キュームレータαつは、真空溶接室（２）内に被溶接物
（図示せず）をセットする場合油拡散ポンプ（５）の排
気側圧力の急速な低下を防止するために設けられたもの
で、上記共用油回転ポンプ０１は−に記電子銃室（１）
側のアキュームレータα幡と、真空溶接室（２）側のメ
カニカルブースタポンプ０１とに跨って接続され、運転
開始当初における電子銃室（１）と真壁溶接室（２）と
を上述したように所定の真空圧力まで初期真空引きを行
なうために設けられた共用油回転ポンプである。また、
０３は上記アキュームレータＯａと共用油回転ポンプα
■との間に挿入された切換弁で、この切換弁０１は、被
溶接物（図示せず）を真空溶接室（２）内にセットする
とき、メカニカルブースタポンプ０１と共用油回転ポン
プＱｌ）を停止させ、真空溶接室（２）内の圧力を大気
圧まで戻すときに、真空溶接室（２）から大気の流入を
阻止するために、この時間帯にのみ閉止するようになさ
れている。
）につながる油拡散ポンプ（５）と共用油回転ポンプ（
１１）との間に挿入されたアキュームレータで、このア
キュームレータαつは、真空溶接室（２）内に被溶接物
（図示せず）をセットする場合油拡散ポンプ（５）の排
気側圧力の急速な低下を防止するために設けられたもの
で、上記共用油回転ポンプ０１は−に記電子銃室（１）
側のアキュームレータα幡と、真空溶接室（２）側のメ
カニカルブースタポンプ０１とに跨って接続され、運転
開始当初における電子銃室（１）と真壁溶接室（２）と
を上述したように所定の真空圧力まで初期真空引きを行
なうために設けられた共用油回転ポンプである。また、
０３は上記アキュームレータＯａと共用油回転ポンプα
■との間に挿入された切換弁で、この切換弁０１は、被
溶接物（図示せず）を真空溶接室（２）内にセットする
とき、メカニカルブースタポンプ０１と共用油回転ポン
プＱｌ）を停止させ、真空溶接室（２）内の圧力を大気
圧まで戻すときに、真空溶接室（２）から大気の流入を
阻止するために、この時間帯にのみ閉止するようになさ
れている。
なお、上記電子銃室（１）と真空溶接室（２）とを所定
の真空度にそれぞれ排気する各バルブ等の操作は、上述
した従来の場合と同様につきその説明を省略する。
の真空度にそれぞれ排気する各バルブ等の操作は、上述
した従来の場合と同様につきその説明を省略する。
以上述べたように、この発明によれば電子銃室（１）と
真空溶接室（２）とを所定の真壁圧力まで初期真空引き
するためのポンプを単一の共用油回転ポンプαめによっ
て共用させるようにしたから真空排気装置の占有面積が
小さくなシミ子ビーム溶接装置の小形化とコスト低減に
貢献するばかりでなく、この発明によれば電子銃室（１
）と共用油回転ポンプαυとの間にアキュームレータα
つを挿入するようにしたから、電子銃室（りの排気用と
して常時連続運転していた油回転ポンプが不用となり省
エネルギ対策としての効果も有していることはいうまで
もない。
真空溶接室（２）とを所定の真壁圧力まで初期真空引き
するためのポンプを単一の共用油回転ポンプαめによっ
て共用させるようにしたから真空排気装置の占有面積が
小さくなシミ子ビーム溶接装置の小形化とコスト低減に
貢献するばかりでなく、この発明によれば電子銃室（１
）と共用油回転ポンプαυとの間にアキュームレータα
つを挿入するようにしたから、電子銃室（りの排気用と
して常時連続運転していた油回転ポンプが不用となり省
エネルギ対策としての効果も有していることはいうまで
もない。
第１図は従来の電子ビーム溶接装置における真空排気装
置を示す配管図、第２図はこの発明の一実施例を示す配
管図である。 図面中、（１）は電子銃室、（２）は真空溶接室、（５
）は油拡散ポンプ、（６）は電子銃ラフパルプ、（９）
は調圧弁、（１０はメカニカルブースタポンプ、０］）
は共用油回転ポンプ、Ｑ埠はアキュームレータ、（ハ）
は切換弁である。なお、図中同一符号は同一または相当
部分を示す。 代理人 葛 野 信 − 第１図 第２図
置を示す配管図、第２図はこの発明の一実施例を示す配
管図である。 図面中、（１）は電子銃室、（２）は真空溶接室、（５
）は油拡散ポンプ、（６）は電子銃ラフパルプ、（９）
は調圧弁、（１０はメカニカルブースタポンプ、０］）
は共用油回転ポンプ、Ｑ埠はアキュームレータ、（ハ）
は切換弁である。なお、図中同一符号は同一または相当
部分を示す。 代理人 葛 野 信 − 第１図 第２図
Claims (3)
- （１）アキュームレータを直列接続した油拡散ポンプを
有する電子銃室と、メカニカルブースタポンプを有する
真空溶接室とを所定の真空圧力まで初期真空引きを行な
う共用油回転ポンプを備えたことを特徴とする電子ビー
ム溶接装置。 - （２）被溶接物を真空溶接室内にセットするとき、アキ
ュームレータと共用油回転ポンプとの間に挿入した切換
弁を閉止してメカニカルブースタポンプと共用油回転ポ
ンプの停止時に、真空溶接室からの大気の流入を阻止す
るようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載の電子ビーム溶接装置。 - （３）共用油回転ポンプによって電子銃室と真空溶接室
とを同時に所定の真空圧力まで初期真空引きを行なうと
き、それぞれの油拡散ポンプとメカニカルブースタポン
プとをパイノζスさせる電子銃室ラフパルプと調圧弁を
備えたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電
子ビーム溶接装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17522181A JPS5878357A (ja) | 1981-10-31 | 1981-10-31 | 電子ビ−ム溶接装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17522181A JPS5878357A (ja) | 1981-10-31 | 1981-10-31 | 電子ビ−ム溶接装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5878357A true JPS5878357A (ja) | 1983-05-11 |
Family
ID=15992400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17522181A Pending JPS5878357A (ja) | 1981-10-31 | 1981-10-31 | 電子ビ−ム溶接装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5878357A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6843883B2 (en) * | 2001-08-31 | 2005-01-18 | Tdk Corporation | Vacuum processing apparatus and method for producing an object to be processed |
| GB2514509A (en) * | 2012-04-10 | 2014-11-26 | Alpha Corp | Vehicle handle device |
-
1981
- 1981-10-31 JP JP17522181A patent/JPS5878357A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6843883B2 (en) * | 2001-08-31 | 2005-01-18 | Tdk Corporation | Vacuum processing apparatus and method for producing an object to be processed |
| GB2514509A (en) * | 2012-04-10 | 2014-11-26 | Alpha Corp | Vehicle handle device |
| GB2514509B (en) * | 2012-04-10 | 2019-05-08 | Alpha Corp | Vehicular handle device |
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