TW546545B

TW546545B - Resist compositions and patterning process

Info

Publication number: TW546545B
Application number: TW090106456A
Authority: TW
Inventors: Jun Hatakeyama; Youichi Ohsawa; Tsunehiro Nishi; Jun Watanabe
Original assignee: Shinetsu Chemical Co
Priority date: 2000-03-21
Filing date: 2001-03-20
Publication date: 2003-08-11
Also published as: US20010033990A1; KR20010099651A; KR100499304B1; US6541179B2

Description

546545 A7 ____ B7 五、發明説明（1 ) 【發明之技術領域】本發明係有關（1 ) 一種以含有特定銃鹽作爲酸產生劑爲特徵之可用於波長200nm以下ArF等離子雷射、ρ2等離子雷射、EUV、X線、EB之光阻材料，及，（2 )使用此光阻材料的圖型之形成方法等發明。【先前技術】近年來，隨著LSI之高集積北及高速度化，在尋求圖型線路微細化之中，號稱下一世紀之微細加工技術之遠紫外線蝕刻印刷術爲目前極有望之技術。其中又以使用以ArF 等離子雷射光作爲光源之光餓刻印刷術爲〇. 2 // m以下超微細加工所不可欠缺之技術。使用ArF等離子雷射作爲光源之光蝕刻印刷術，爲防止精密且高價之光學系統材料劣化，而尋求一種可以極少量曝光即可發揮出充分之解像性的高感度光阻材料。於實現高感度材料之對策上，一般而言，各組成物多以選擇在波長193nm下爲高透明度者。例如基礎樹脂中，有提出聚丙烯酸及其衍生物、原菠烯-馬來酸酐交互聚合物、聚原菠烯與複分解開環聚合物等提案，其具有可提高樹脂單體透明性之效果。但，對酸產生劑而言，因透明性提高會造成酸產生效率降低，其結果將會造成低感度，或欠缺熱安定性或保存之安定性，故未能達到實用之地步。例如，特開平7-25846號、特開平7-28237號、特開平 8-27 1 02號公報等提案中所提出之烷基毓鹽，除具有極佳透本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝·

、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546545 A 7 __ B7 五、發明説明（2 ) 明性外，酸產生率並不佳，且熱安定性亦不佳，故仍未達實用之程度。特開平1 0-3 1 958 1號公報中所提出之烷芳基毓鹽，雖兼具較佳之透明性與酸產生效率外亦具有高感度，但欠缺熱安定性與保存安定性。用於Ki*F等離子雷射光之光蝕版印刷術極爲有效之芳基銃鹽，雖具有優良酸產生效率、熱安定性、保存安定性等，但透明性確顯著低落，由曝光-顯像所得之圖型則形成劇烈突起形狀。爲補足其透明性，一般以使其薄膜化爲對策，但此情形中因光阻膜之蝕刻耐性顯著降低，故亦並非適合使用於圖型之形成方法中【發明之目的】本發明係鑑於上述情事，即以提出（1 ) 一種對ArF等離子雷射光具有高感度，且配合具有優良熱安定性、保存安定性之酸產生劑所得之高解像性光阻材料，（2 )使用此光阻材料的圖型之形成方法爲本發明之目的。【發明之內容與發明之實施形態】本發明者們爲達上述之目的經過深入檢討結果，得知具有下式（1)所示硫鹽對ArF等離子雷射光具有局感度，且具有充分熱安定性與保存安定性，故添加此銃鹽所得之光阻材料亦具有高解像性，故極適用於光阻材料之精密性微細之加工。即，本發明提供一種下記之高分子化合物。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） ^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

546545 A7 B7 五、發明説明（3 ) [1 ]、一種光阻材料，其係爲含有基礎樹脂、酸產生劑與溶劑之光阻材料，且其特徵爲酸產生劑係爲下記式（1 )所示之锍鹽；

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，R1爲碳數3至20之1價環狀烴基，亦可爲橋環式之烴基；R2爲羥基、硝基、鹵素原子，或可含有〇、 N、S或鹵素原子之碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之1價烴基；厂爲非親核性對向離子；X爲1或2，y爲〇至3之整數）。 [2] 、如[1 ]記載之光阻材料，其中基礎樹脂係爲含有脂環式構造之高分子化合物。 [3] 、如[1]或[2]之光阻材料，其中基礎樹脂係由聚丙烯酸及其衍生物、原菠烯衍生物-馬來酸酐交互聚合物與聚丙烯酸或其衍生物之3或4元共聚物，四環十二碳烯衍生物-馬來酸酐交互聚合物與聚丙烯酸或其衍生物之3或4元共聚物，原菠烯衍生物-馬來醯亞胺交互聚合物與聚丙烯酸或其衍生物之3或4元共聚物，四環十二碳烯衍生物-馬來醯亞胺交互聚合物與聚丙烯酸或其衍生物之3或4元共聚物，聚原菠烯，與複分解開環聚合物所選出之1種或2種以上的高分子聚合物。 [4] 、如[1]之光阻材料，其中基礎樹脂係爲含有下記式 (2 )所示重複單位之重量平均分子量1，〇〇〇至500,000之 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6- 546545 ^_________ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製、發明説明（4 5分·子化合物 r002 R001 co2r Μ μ a1 丨004 ，a2 HC^R〇t6-^CH CH—CH,hVr016-7ch, i R00^—^ r006 ^007 ,hVr016〆

A7 B7 HQ _p008 ~R008 R〇1〇-^006 ^007 Η H

3018 (2)

00 1 (式中，R I 原子、甲基或C〇2R 狀或環狀之烷基；經基之1價烴基；基或含羥基之1價碳數1至15之直鏈: 互形成環，此情形E I氫原子、甲基或CH2C〇2RQQ3 ; RQQ2爲氫 QQ3 ; RW爲碳數1至15之直鏈狀、支鏈 RQ()4爲氫原子或碳數1至15之羧基或含 R〇Q5至rQQ8中至少1個爲碳數1至μ之羧烴基，其他部分爲各自獨立之氫原子或狀、支鏈狀或環狀烷基；R°°5至R°°8可相丨寺，r〇〇5至r〇〇8中至少1個爲碳數丨至15 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） 546545 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（5 ) 之羧基或含羥基之2價烴基，其他部分爲各自獨立之單鍵或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀伸烷基；R°°9爲碳數3至15之含-c〇2-部分構造之1價烴基，νι()至R°13中至少1個爲碳數2至15之含-C〇2-部分構造之1價烴基’其他部分爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R°1()至R°13可相互形成環，此情形時’ R(H()至 R°13中至少1個爲碳數1至15之含-C〇2-部分構造之2價烴基，其他部分爲各自獨立之單鍵或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀伸烷基；R°14爲碳數7至15之多環式烴基或含有多環式烴基之烷基；R°15爲酸不穩定基；R°16爲伸甲基或氧原子；R°17爲單鍵、或碳數1至10之直鏈狀、支鏈狀或環狀伸烷基，且可再含有雜原子之取代基亦可；R°18爲氫原子或碳數1至10之烷基；k爲0或I;al、a2、a3、bl 、b2、b3、cl、c2、c3、dl、d2、d3、e 爲 0 以上 1 以下之數，且滿足 al+ a2+ a3+ bl+ b2+ b3+ cl+ c2+ c3+ dl + d2+d3+e=l 之數）。 [5] 、一種增強化學型光阻材料，其特徵係含有上記[2] 、[3]或[4]基礎樹脂之不溶或難溶於顯像液、但可因酸作用而對顯像液爲可溶之基礎樹脂與，式（1 )所示之酸產生劑與，溶劑者。 [6] 、如[5]之光阻材料，其尙含有鹼性化合物。 [7] 、一種增強化學型光阻材料，其特徵係含有上記[2] 、[3]或[4]基礎樹脂之可溶解於顯像液、但可因酸作用使交聯劑產生交聯而對顯像液爲不溶之基礎樹脂與，式（1 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂線本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 546545 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（6 ) 所示之酸產生劑與，交聯劑與，溶劑者。 [8] 、如[7]之光阻材料，其尙含有鹼性化合物。 [9] 、一種圖型之形成方法，其特徵係包含將上記[1]至 [8]中任一項之光阻材料塗佈於基板上之步驟與，於加熱處理後介由光罩以波長200nm以下之光進行曝光之步驟與，必要時於加熱處理後使用顯像液進行顯像之步驟。上記式（1 )所示銃鹽，對於ArF等離子雷射光具有極高之感度，只要少許之添加量即可產生充分之酸。因此，添加此銃鹽之光阻材料將具有高感度與高透明性，經曝光-顯像所得之圖型具有較高之矩形狀，因無須薄膜化故於鈾刻上爲極有利。又，亦可消除以往烷基銃鹽或烷芳基銃鹽之缺乏熱安定性、保存安定性等缺點。上式（1 )所示銃鹽，若將透明度作某種程度之犧牲，而導入1個至2個芳基時，可使酸產生率大幅提昇，其結果將可使感度提昇。對於波長193nm光之感度，若將光阻膜之透過率作整體比較時，將較芳基锍鹽提昇3倍。又，對於以往產品所包含之熱安定性與保存安定性等問題，可以選擇環狀烷基之方式克服。又，上記式（1 )所示锍鹽，對200nm以下波長，特別是對ArF等離子雷射光具有高感度，例如使用波長248nm 之KrF等離子雷射之光蝕刻印刷術極爲有用。以下將對本發明做更詳盡之說明。本發明之光阻材料，係爲含有下記式（1 )所示之銃鹽者； ^1^1. - - m f^— ·-11_1 1 -1 m ^^1 ϋ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 546545 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（7 )

(式中，R1爲碳數3至20之1價環狀烴基，亦可爲橋環式之烴基；R2爲羥基、硝基、鹵素原子，或可含有〇、 N、S或鹵素原子之碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之1價烴基；ΙΓ爲非親核性對向離子；X爲1或2，y爲〇至；3之整數）。其中，R1爲碳數3至20之1價環狀烴基之具體例示，如環丙基、環丁基、環戊基、環己基、原菠烯基、金剛院基等；R2爲羥基、硝基、鹵素原子，或可含有0、N、S 或鹵素原子之碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之1價烴基之具體例示，例如甲基、乙基、tert-丁基、環己基等烷基；又，此些基中之氫原子的一部份可被羰基、硝基、氫硫基等含〇、N或S原子之取代基所取代；K-爲非親核性對向離子，具體例示如鹵化物離子、三氟甲酸鹽、1，1，卜三氟乙烷磺酸鹽、全氟丁烷磺酸鹽等氟烷基磺酸鹽、甲苯磺酸鹽、苯磺酸鹽、4-氟苯基磺酸鹽、1，2,3,4,5-五氟苯基磺酸鹽等芳基磺酸鹽，甲磺酸鹽、丁烷磺酸鹽等烷基磺酸鹽等；X爲1或2，y爲0至3，較佳爲0至2 ’更佳爲〇至 1之整數。添加於本發明之光阻材料之上記式（1 )所示銃鹽之具體例如下記內容所示，但並不僅限定於以下內容。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） _ j _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

546545 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） .etal mu ϋ·ϋ m_l— m^i - %. vm ϋ_·ϋ 111 、ν'τ> 線 546545 a7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（9 ) 上記式（1 )銃鹽之添加量’以對基礎樹脂100份（重量份，以下相同）較佳爲ο·1〜15份’更佳爲0·5〜8份。若添加量過低時造成低感度’過多時會使透明性降低而會使解像性能降低。又，本發明中，上記光阻材料之基礎樹脂例如含有下記式（2 )所示重複單位之重量平均分子量1，000〜500,000 ，較佳爲5,000〜100,000之高分子化合物等。 ,002 D001 r002 R001 3〇〇2 r,001 002 D001 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· ι-μ 丫 co2r004 Η Η

〕〇2R b1 ,009 H-

5〇2R d1 015

HC \〜R016〆/

PH

HQ R001

R VR016H ,n〇\^R( _p008 r01Q- (〇〇6 · 007 co2r c1 014 HQ^R〇i6-^pH HQ\_〇i6--;CH R011 R012

HC,p-R〇l6^CH HC^r016-^CH JF

Η H fd2 訂〕02Ru x^pcH2f x^cH2)t yRy,cH2)t hc^r016^ch u 丨HC\〜r016, Λ -R00^ r〇1Q_^ZZ3_r〇13 r0〇£\_

p011 ^012 ^,018 (2) -R001 R00^ JL017 A 丨 014 co2r co2r 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) M規格（21〇><297公釐） -12- 546545 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ___B7_____ ____五、發明説明（1〇 ) 00 1 (式中，R 爲氫原子、甲基或CH2C〇2RQQ3 ; RQQ2爲氫原子、甲基或C〇2R°°3 ; R^3爲碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之院基，具體之例示如曱基、乙基、丙基、異丙基、η-丁基、sec-丁基、tert-丁基、tert-戊基、η-己基、環戊基、環己基、乙基環戊基、丁基環戊基、乙基環己基、丁基環己基、金剛烷基、乙基金剛烷基、丁基金剛烷基等；R°°4爲氫原子或碳數1至15之羧基或含羥基之1價烴基 (較佳爲直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基），其具體之例如羧基乙基、羧基丁基、羧基環戊基、羧基環己基、羧基原菠烯基、羧基金剛基、羥基乙基、羥基丁基、羥基環戊基、羥基環己基、羥基原菠烯基、羥基金剛烷基等。R°°5至R°°8 中至少1個爲氫原子或碳數1至15之羧基或含羥基之1價烴基（較佳爲直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基），其他部分爲各自獨立之氫原子或碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；碳數1至1 5之羧基或含羥基之1價烴基之具體例如羧基、羧基甲基、羧基乙基、羧基丁基、羥基甲基、羥基乙基、羥基丁基、2-羧基乙氧羰基、4-羧基丁氧羰基、2-羥基乙氧羰基、4-羥基丁氧羰基、羧基環戊氧基羰基、羧基環己氧基羰基、羧基原菠烯氧基羰基、羧基金剛烷氧基羰基、羥基環戊氣基羰基、羥基環己氧基羰基、羥基原菠烯氧羰基、羥基金鋼烷氧基羰基等；碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基之具體例如與R°°3所例示之內容相同； 005 〇〇8 0 0 5 008 , R 至R 可相互形成環，此時R 至R 中至少1個爲碳數 1至15之羧基或含羥基之2價烴基（較佳爲直鏈狀、支鏈 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546545 A7 B7 五、發明説明（11 ) 狀或環狀伸烷基），其他爲各自獨立之碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基；碳數1至1 5之羧基或含羥基之2價烴基，其具體例示係如上記羧基或含羥基之1價烴基之例示中去除1個氫原子後所得之取代基；碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基之具體例示係如上記R°°3之例示中去除1個氫原子後所得者等；R°°9爲碳數3至15之含有-C〇2-部分構造之1價烴基，其具體之例示如2-二氧五圜環-3-基、4,4-二甲基-2-二氧五圜環-3-基、4-甲基-2-羰基噁烷-4-基、2-羰基-1，3-二氧五圜環-4-基甲基、5·甲基-2-二氧五圜環-5-基等；11°1°至R°13中至少1個爲碳數2至15之含有-C〇2-部分構造之1價烴基，其他爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；碳數2至15之含有-C〇2-部分構造之1價烴基，其具體例如2_二氧五圜環-3-基氧羰基、4,4-二甲基-2-二氧五圜環-3-基氧羰基、4-甲基-2-羰基噁烷-4-基氧羰基、2-羰基-1,3-二氧五懦環-4-基甲基氧羰基、5-甲基-2-二氧五圜環-5-基氧羰基等；碳數1至 15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，其具體例示例如與R^3 所示之內容相同；RQ1〇至RQ13可相互形成環，此時RQ1Q 至RQ 13中至少1個爲碳數1至15之含有-C〇2-部分構造之2 價烴基，其他爲各自獨立之單鍵或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基；碳數1至15之含有-(：〇2-部分構造之2價烴基，其具體例如1-羰基-2-噁丙烷-1,3-二基、1，3_ 二羰基-2-噁丙烷-1,3-二基、1-羰基-2-噁丁烷-1,4-二基、 1,3-二羰基-2-噁丁烷-M-二基等、及由上記含有-C0 2-部分本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公羡) _彳4: 一 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

546545 A7 _ B7五、發明説明（12) 構造之1價烴基中所例示之取代基中去馀i個氫原子後所得之取代基等；碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀之伸烷基之具體例示例如與R003所示內容中去除1個氫原子之內容相同；R014爲碳數7至15之多環式烴基或含多環式烴基之烷基，具體之例如原菠烯基、二環[3.3.1]壬基、三環 [5·2· 1.02’6]癸基、金剛烷基、乙基金剛烷基、丁基金剛烷基、原菠烷基甲基、金剛烷基甲基等；R°15爲酸不穩定基； RW爲伸甲基或氧原子；R°17爲單鍵、或碳數1至10之直鏈狀、支鏈狀或環狀伸烷基，且可再含有羥基、烷氧基、乙醯基等含雜原子之取代基亦可；R°18爲氫原子或碳數1至10 之院基；k 爲 0 或 1 ; al、a2、a3、bl、b2、b3、cl 、c2、c3、dl、d2、d3、e爲0以上1以下之數，且滿足 al+a2 + a3 + bl+b2 + b3 + cl + c2 + c3 + dl + d2 + d3 + e = 1 之數。 R°15之酸不穩定基，其具體例示如下記（L1 )至（L5 )所示之基、碳數4至20之三級烷基、較佳爲碳數4至15 之三級院基、各院基爲碳數1至6之三院基砂院基、碳數4 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝·

、1T 至經濟部智慧財產局員工消費合作社印製之

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15- 546545 A 7 B7五、發明説明（13 ) 式中，RL()1、RL()2爲氫原子或碳數1至18，較佳爲1 至10之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，具體例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η-丁基、sec-丁基、tert-丁基、環戊基、環己基、2-乙基己基、η-辛基等.；RL03爲碳數1至18，較佳爲1至10之可含有氧原子等雜原子之1價烴基、直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，或其氫原子之一部分可被羥基、烷氧基、羰基、胺基、烷胺基所取代者，其具體例如下記之經取代的烷基等。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-(CH2)4——OH -(CH2)2——Ο——(CH2)3——CH〇 -CH2

ϋϋ m 1^1 ml· - ι_ί il 1 —ϋ ttui ϋϋ ϋϋ

CH2—〇H

-(CH2)6——OH

-(CH2)2—〇—(CH2)2—OH RL01 與 rL02、RL01 與 RL03、RL02 與 RL03 可形成環，形成環時，rL〇1、rL〇2、rL03各自爲碳數1至is、較佳爲1至10之直鏈狀或支鏈狀之伸烷基。 RIO4爲碳數4至20、較佳爲4至15之三級烷基、各烷基爲碳數1至6之三烷基矽烷基、碳數4至20之羰烷基或上記式（L1 )所示之基；三級烷基之具體例如tert-丁基、 tert-戊基、1,1-二乙基丙基、1-乙基環戊基、1-丁基環戊基、1-乙基環己基、1-丁基環己基、1-乙基-2-環戊烯基、1-乙基-2-環己烯基、2-甲基-2-金剛烷基等。三烷基矽烷基之具體例如三甲基矽烷基、三乙基矽烷基、二甲基-ten-丁矽烷基等。羰烷基之具體例如3-羰基環己基、4-甲基-2-羰基訂-------^線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 16- 546545 A7 B7 五、發明説明（14 ) 螺院-4-基、5 -甲基-5- 一·氧五園ί拉-4-基寺。a爲0至6之整數。 RL05爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基或碳數6至20之可被取代之芳基，直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基之具體例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η-丁基、sec-丁基、tert-丁基、tert-戊基、η-戊基、η-己基、環戊基、環己基、環戊甲基、環戊乙基、環己甲基、環己乙基等；可被取代之芳基之具體例示如苯基、甲基苯基、萘基、蒽基、菲基、芘基等。m爲0或1，η爲0、1、2、3中之任一數，且爲滿足2m + m = 2或3之數目。 RLQ6爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基或爲碳數6至20之可被取代之芳基，其具體例如與RW相同內容者。R"°7至R"16爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之可含有雜原子的1價烴基，例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η-丁基、sec-丁基、tert-丁基、tert-戊基、η-戊基、 η-己基、η_辛基、η-壬基、η-癸基、環戊基、環己基、環戊甲基、環戊乙基、環戊丁基、環己甲基、環己乙基、環己丁基等直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基，其氫原子之一部份可被羥基、烷氧基、羧基、烷氧羰基、羰基、胺基、烷基胺基、氰基、氫硫基、烷硫基、磺基等所取代者；RL()7至 rL16可相互形成環（例如，rLG7與、rL07與rLG9 、rL08 與 rLIO、rL09 與 rLIO、rLII 與 rL12、rL13 與 RU4等），此時，其爲碳數1至15之可含有雜原子之2價烴基，或上記1價烴基之例示中去除1個氫原子所得者；又本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） ϋ- —ϋ Hal R^n I iai 111 —ϋ ϋ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546545 A7B7 五、發明説明（15 ) ，rL07至RU0於相鄰接之碳鍵結之原子間可無須夾雜其他原子而直接鍵結，或形成雙鍵（例如rL07與RL09 、

R L09

與R L 1 5、rL 1 3 與 RL 1 5 等）上式（L1 )所示酸不穩定基中，具有直鏈狀或支鏈狀之取代基之具體例如下記之基。 —CHj-〇-CH3 -CH2-〇—(CH2)3—CH3 ch3 -CH-〇-CH3 CH3 I -CH-〇-CH〗-CH3 CH3I -CH-〇—(CH 2) 2 — CH 3 CH3I 一 CH-〇

-CH2-〇——CH2 CH3 ，ch2——0—(CH2)2—ch3 ch3 I ch3 CH 2-Q— I —CH-CH3 ' OH 2* q ' 1 -C——ch3 1 CH3 CH3 CH3 I CH2 1 (CH2)2 -CH— -〇-CH3 -CH— -〇-CH3 ch3 ch3 ch2 I -CH-O-CH?-CH3 ch3 ch2I -CH-〇一(CH〗)〕—CH3 ch3 ;_ I 厂 -CH-0-( (CH2)2 -CH-〇-CH〗-CH3 CH, (CH2)2 -CH-〇一(CH2)2一CH3 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝-------訂--- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ch3I -C-O-CH3 CH, ch3 -c-<I ch3 O——CH2—ch3 上記式（LI )所示酸不穩定基中之環狀取代基之具體例如四氫呋喃-2_基、2-甲基四氫呋喃-2-基、四氫吡喃-2-基、2-甲基四氫吼喃-2-基等。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18- 546545 A7 _ B7 _五、發明説明（16 ) 上記式（L2 )所示酸不穩定基中之具體例如tert-丁氧羰基、tert-丁氧羰甲基、tert-戊氧羰基、tert-戊氧羰甲基、1，1-二乙基丙氧羰基、1,1-二乙基丙氧羰甲基、1-乙基環戊基氧羰基、1-乙基環戊基氧羰甲基、1-乙基-2-環戊烯氧羰基、1-乙基-2-環戊烯氧羰甲基、1-乙氧乙氧羰甲基、2-四氫吡喃氧羰甲基、2-四氫呋喃氧羰’甲基等。上記式（L3 )所示酸不穩定基之具體例示如1-甲基環戊基、卜乙基環戊基、1-n-丙基環戊基、1-異丙基環戊基、1-n-丁基環戊基、Ι-sec-丁基環戊基、1-甲基環己基、l-乙基環己基、3-甲基-l-環戊烯-3-基、3-乙基-l-環戊烯-3-基、3-甲基-1-環己烯-3-基、3-乙基-1-環己烯-3-基等。上記式（L4 )所示酸不穩定基之具體例示如下記所示之基。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ——裝------訂

又，R015之酸不穩定基的三級烷基、三烷基矽烷基、羰烷基等則例如先前例示之內容。 ιϋ_— m ϋϋ I* 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製上記式（L5 )所示酸不穩定基之具體例示如下記所示之基。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -19- 546545 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __ B7 五、發明説明（17 )

又，本發明之光阻材料所使用之高分子化合物，其重量平均分子量爲1，000至500,000，較佳爲3,000至100,000 。若超出此範圍時，會使耐蝕刻極端降低，且不能確保曝光前後之溶解速度差而造成解像度降低。上記高分子化合物並不僅限添加1種亦可添加2種以上。使用多數種高分子化合物基時，可對光阻之性能進行調整。本發明之光阻材料，除上記式（1 )所示銃鹽外，亦可將其他化合物作爲酸產生劑添加使用。本發明所使用之酸產生劑例如： 1、下記式（Pla-1 ) 、（ Pla-2 )或（plb )之鏺鹽， π、下記式（P2 )之二偶氮甲烷衍生物， in、下記式（P3 )之乙二肟衍生物， iv、下記式（P4 )之雙磺酸衍生物， v、下記式（P5 )之N-羥基醯亞胺化合物之磺酸酯，

Vi、 0 -酮磺酸衍生物， vn、二磺酸衍生物， vni、硝基苄基磺酸酯衍生物，本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210 X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

546545 A7 B7 五、發明説明（18 ) IX、磺酸酯衍生物等0

PIa-l Pla-2 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，R101a、R101b、R1()lc各自爲碳數1至12之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基、烯基、羰烷基或羰基烯基，碳數6至20之芳基，或碳數7至12之芳烷基或芳羰烷基等，此些基團中之部份或全部氫原子可被烷氧基等所取代。又，Rl〇lb與r1〇1c可形成環，形成環時，R101b、r1〇1c 各自爲碳數1至6之伸烷基。K_爲非親核性對向離子）。上記R1()la、R1Qlb、R1Qle其相互間可爲相同或不同之基，具體例中，烷基例如甲基、乙基、丙基、異丙基、 η-丁基、sec-丁基、tert-丁基、戊基、己基、庚基、辛基、環戊基、環己基、環庚基、環丙甲基、4-甲基環己基、環己甲基、原菠烷基、金剛烷基等。烯基例如乙烯基、芳基、丙烯基、丁烯基、己烯基、環己烯基等。羰烷基例如2-羰基環戊基、2-羰基環己基等、2-羰基丙基、2-環戊基-2-羰基乙基、2-環己基-2-羰基乙基、2- ( 4-甲基環己基）-2-羰基乙基等；芳基例如苯基、萘基等或，P-甲氧基苯基、 m-甲氧基苯基、〇-甲氧基苯基、乙氧基苯基、p-tert-丁氧基苯基、m-tert-丁氧苯基等烷氧苯基，2-甲基苯基、3-甲基苯基、4-甲基苯基、乙基苯基、4-tert-丁基苯基、4-丁基苯基、二甲基苯基等院苯基’甲基萘基、乙基萘基等院 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 -線_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） 546545 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（19 ) 基萘基，甲氧基萘基、乙氧基萘基等烷氧基萘基，二甲基萘基、二乙基萘基等二烷基萘基，二甲氧基萘基、二乙氧基萘基等二烷基萘基；芳烷基例如苄基、苯基乙基、苯乙基等；芳羰烷基例如2-苯基-2-羰乙基、2- ( 1-萘基）-2-羰乙基、2- ( 2_萘基）-2-羰乙基等2-芳基-2-羰乙基等。K-非親核性對向離子，例如氯化物離子、溴化物離子等鹵化物離子，三氟甲酸鹽、1，1，1 -三氟乙烷磺酸鹽、全氟丁烷磺酸鹽等氟烷基磺酸鹽，甲苯磺酸鹽、苯磺酸鹽、4-氟苯基磺酸鹽、1，2,3,4,5-五氟苯基磺酸鹽等芳基磺酸鹽，甲磺醯鹽、丁烷磺酸鹽等烷基磺酸鹽等。

Rl〇2a R102b R104a__J._RJ〇aji_R1〇4b κ· K·

Plb (式中，R1Q2a、R1Q2b各自爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R103爲碳數1至10之直鏈狀、支鏈狀或環狀伸烷基；R1(Ha、R104b各自爲碳數3至7之2-羰烷基·，K·爲非親核性對向離子）。上記R102a、R102b之具體例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η-丁基、sec-丁基、tert-丁基、戊基、己基、庚基、辛基、環戊基、環己基、環丙甲基、4-甲基環己基、環己基甲基等。r1 之具體例如伸甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基、伸戊基、伸己基、伸庚基、伸辛基、伸壬基、 M-伸環己基、1,2_伸環己基、1，：M申環己基、1,4-伸環辛基、1,4-伸環己二甲基等。R104a、R104b例如2-羰基丙基本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-22- 546545 A7 B7 五、發明説明（20 ) 、2-羰基環戊基、2-羰基環己基、2-羰基環庚基等。κ-與式（Pla-Ι )及（Pla-2 )所說明之內容相同。 Ϊ R10^_s〇2—b—S〇2—R106 P2 (式中，R105、R106爲碳數1至12之直鏈狀、支鏈狀或環狀院基或鹵化院基，碳數6至20之芳基或鹵化芳基或碳數7至1 2之芳烷基）。 r 105、R1 06之烷基例如甲基、乙基、丙基、異丙基、 η-丁基、sec-丁基、tert-丁基、戊基、己基、庚基、辛基、環戊基、環己基、環庚基、原疲院基、金剛院基寺，鹵化烷基例如三氟甲基、三氟乙基、三氯乙基、九氟丁基等；芳基例如苯基、P-甲氧苯基、甲氧苯基、0-甲氧苯基、乙氧苯基、p-tert-丁氧苯基、m-tert-丁氧苯基等烷氧苯基；2-甲基苯基、3-甲基苯基、4-甲基苯基、乙基苯基、4-tert -丁基苯基、4 -丁基苯基、二甲基苯基等院基苯基；芳烷基例如苄基、苯乙基等。

(式中，R107、R108、R109爲碳數1至12之直鏈狀、支鏈狀、環狀烷基或鹵化烷基，碳數6至20之芳基或鹵化芳基或碳數7至12之芳烷基；R108、R109可相互鍵結形成環狀構造，形成環狀構造時，R108、R109各自爲碳數本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝-------訂-----線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546545 A7 __ B7 __ _ 五、發明説明（21 ) 1至6之直鏈狀、支鏈狀之伸烷基。）。 R107、r108、r109之烷基、鹵化烷基、芳基、鹵化芳基、芳烷基之例示與R1Q5、R1Q6之說明內容相同；又， R108、R109之伸烷基則如伸甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基.、伸己基等。

5 I R1013—8—CH2_^__Rioib P4 (式中，R1Qla、R1Qlb具有與上記內容相同之意義。

ί PS (式中，RU〇爲碳數6至10之伸芳基、碳數1至6之伸烷基或碳數2至6之伸烯基，此些取代基中氫原子之一部份或全部可再被碳數1至4之直鏈狀或支鏈狀之烷基或烷氧基、硝基、乙醯基或苯基所取代；R111爲碳數1至8之直鍵狀、支鍵狀或經取代之院基、燃基或院氧院基、苯基、或萘基，此些取代基中氫原子之一部份或全部可再被碳數1 至4之烷基或烷氧基；碳數1至4之烷基、烷氧基、硝基、乙醯基或苯基所取代之苯基；碳數3至5之雜芳基；或氯原子、氟原子所取代亦可。）。其中，R11Q之伸芳基例如1,2-伸苯基、1，8-伸萘基等本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) _以 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

546545 A7 B7 五、發明説明（22 ) ;伸烷基例如伸甲基、伸乙基、1,3-伸丙基、丨，4_伸丁基、 1-苯基-1，2-伸乙基、原菠烯-2,3-二基等；伸烯基例如丨，2_伸乙烯基、1-苯基-1，2-伸乙烯基、5-原菠烯-2,3_二基等。 R111之烷基則與R1()la至R 1Qlc之內容相同，烯基例如乙烯基、1-丙烯基、烯丙基、1-丁烯基、3-丁嫌基、異丁火希基、1-戊烯基、3_戊烯基、4-戊儲基、二甲基烯丙基、l 己烯基、3-己嫌基、5-己儲基、1-庚嫌基、3 -庚烯基、6-庚烯基、7-辛烯基等；烷氧烷基例如、甲氧甲基、乙氧甲基、丙氧甲基、丁氧甲基、戊氧甲基、己氧甲基、庚氧甲基、甲氧乙基、乙氧乙基、丙氧乙基、丁氧乙基、戊氧乙基、己氧乙基、甲氧丙基、乙氧丙基、丙氧丙基、甲氧丁基、乙氧丁基、丙氧丁基、甲氧戊基、乙氧戊基、甲氧己基、甲氧庚基等。又，可再被取代之碳數1至4之烷基，例如甲基、乙基、丙基、異丙基、η-丁基、異丁基、tert-丁基等，碳數1 至4之烷氧基，例如甲氧基、乙氧基、丙氧基、異丙氧基、η-丁氧基、異丁氧基、tert-丁氧基等；碳數1至4之烷基、烷氧基、硝基或乙醯基所取代之苯基，例如苯基、甲苯基、p-tert-丁氧苯基、p-乙醯苯基、p_硝基苯基等；碳數3 至5之雜芳基例如吡啶基、呋喃基等。具體而言，例如三氟甲烷碳酸二苯基碘鏺、三氟甲烷擴酸（p-tert -丁氧苯基）苯基碘鑰、p -甲苯磺酸二苯基碘 _、P -甲苯磺酸（P-tert-丁氧苯基）苯基碘鏺、三氟甲烷磺酸二苯基銃、二每甲院磺酸（p-tert -丁氧苯基）二苯基本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） ----- - ! - — I i I -- ! ϋ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本買) 、1Τ 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -25 546545 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 ____ B7 _五、發明説明（23 ) 銃、三氟甲烷擴酸雙（p-tert-丁氧苯基）苯基銃、三氟甲烷磺酸三（P-ten-丁氧苯基）毓、P-甲苯磺酸三苯基銃、 p-、甲苯磺酸（p-tert-丁氧苯基）二苯基銃、p-甲苯磺酸雙（ p-tert-丁氧苯基）苯基銃、p-甲苯磺酸三（p_tert_ 丁氧苯基 ).銃、九氟丁烷磺酸三苯基銃、丁烷磺酸三苯基銃、三氟甲烷磺酸三甲基銃、p-甲苯磺酸三甲基銃、三氟甲烷磺酸環己甲基（2-羰基環己基）銃、p-甲苯磺酸環己甲基（2_ 羰基環己基）銃、三氟甲烷磺酸二甲基苯基銃、p _甲苯磺酸二甲基苯基毓、三氟甲烷磺酸二環己基苯基銃、p_甲苯磺酸二環己基苯基銃、三氟甲烷磺三萘基銃、三氟甲烷磺酸環己甲基（2-羰基環己基）锍、三氟甲烷磺酸（2_原菠烯基）甲基（2_羰基環己基）銃、乙烯雙〔甲基（2_羰環戊基）銃三氟甲烷磺酸酯〕、1，2’-萘基羰甲基四氫硫鹽三聚物等鏺鹽；雙（苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（p_甲苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（二甲苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙 (環己搞醋基）一偶氮甲院、雙（環戊磺醯基）二偶氮甲烷、雙（η -丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異丁基磺醯基 )二偶氮甲烷、雙（sec-丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（ η-丙基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異丙基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（tert-丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（η_戊基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異戊基磺醯基）二偶氮甲烷、雙 (sec-戊基磺醯基）二偶氮甲院、雙（tert-戊基磺_基）二偶氮甲烷、1-環己基磺醯基-1- ( tert-丁基磺醯基）二偶氮甲烷、1-環己基磺醯基-1- ( tert-戊基磺醯基）二偶氮甲本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝·

、1T 線 -26- 546545 Α7 Β7 五、發明説明（24 ) 垸、卜tert-戊基磺醯基-1 - ( tert-丁基磺酿基）二偶氮甲烷等二偶氮甲烷衍生物；雙-〇·（ p-甲苯磺醯基）-α —二甲基乙二肟、雙-〇-(Ρ -甲苯磺醯基）_α-二苯基乙二肟、雙-〇_ (Ρ-甲苯磺醯基）-α-二環己基乙二肟、雙_〇_( ρ_甲苯擴醯基）-2,3-戊二醇乙二肟、雙-〇-(1)-甲苯磺醯基）-2_甲基 -3,4-戊二酮乙二肟、雙-〇-(!!-丁烷磺醯基）_^-二甲基乙二肟、雙_〇-( η-丁烷磺醯基）-α-二乙基乙二肟、雙_〇_( η-丁烷磺醯基）-α-二環己基乙二肟、雙_〇-(心丁烷磺醯基）-2,3-戊二醇乙二肟、雙-〇-(η-丁烷磺醯基）-2·甲基_ 3,4-戊二醇乙二肟、雙-〇-(甲烷磺醯基）—α —二甲基乙二肟、雙-〇-(三氟甲烷磺醯基）-α -二甲基乙二肟、雙_〇_ ( 三氟乙烷磺醯基）- α-二甲基乙二肟、雙·〇_( tert_ 丁烷磺醯基）- α-二甲基乙二肟、雙-〇-(全氟辛烷磺醯基 )- α-二甲基乙二肟、雙·〇-(環己院磺醯基）二甲基乙二肟、雙-〇-(苯磺醯基）_α-二甲基乙二肟、雙_〇_( ρ_ 氟基苯磺醯基）-α 二甲基乙二肟、雙-〇-(p-tert-丁基苯磺醯）- α-二甲基乙二肟、雙-〇-(二甲苯磺醯基）-甲基乙二肟、雙-〇-(莰烷δ黃醯基）-α -二甲基乙二肟等乙二肟衍生物；雙萘基磺醯甲烷、雙三氟甲基磺醯甲烷、雙甲基磺醯甲烷、雙乙基磺醯甲烷、雙丙基磺醯甲烷、雙異丙基磺醯甲烷、雙-Ρ-甲苯磺醯甲烷、雙苯磺醯甲烷等雙磺醯衍生物；2-環己基羰基-2- ( ρ-甲苯磺醯）丙烷、2-異丙基磺醯基-2- ( ρ-甲苯磺醯基）丙烷等/3 -酮硕衍生物；二苯基二硕、二環己基二硕等二硕衍生物；ρ_甲苯磺酸2,6-二本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝' 、1Τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546545 A7 B7 五、發明説明（25 ) 硝基苯酯、p-甲苯磺酸2,4-二硝基苯酯等硝基苯基磺酸酯衍生物；1，2,3-三（甲烷磺醯基氧）苯、1，2,3-三（三氟甲烷磺醯基氧）苯、1，2,3-三（p-甲苯磺醯氧基）苯等磺酸酯衍生物。N-羥基琥珀醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺乙烷磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺1-丙烷磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺2-丙烷磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺1-戊烷磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺1-辛烷磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺p-甲苯磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺P-甲氧苯基磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺2-氯乙烷磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺苯基磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺-2,4,6-三甲基苯磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺1-萘磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺2-萘磺酸酯、N_羥基-2-苯基琥珀 .醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基馬來醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基馬來醯亞胺乙烷磺酸酯、N-羥基-2-苯基馬來醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基谷氨醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基谷氨醯亞胺苯磺酸酯、N-羥基鄰苯二甲醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基鄰苯二甲醯亞胺苯磺酸酯、N-羥基鄰苯二甲醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、N-羥基鄰苯二甲醯亞胺p-甲苯磺酸酯、N-羥基萘基醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基萘基醯亞胺苯磺酸酯、N-羥基-5-原菠烷基-2,3-二羧基醯亞胺甲烷磺酸酯、N-羥基-5_ 原菠烷基-2,3-二羧基醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、N-羥基-5-原菠烷基-2,3-二羧基醯亞胺p-甲苯磺酸酯等N-羥基醯亞胺之磺酸酯衍生物等；三氟甲烷磺酸三苯基銃、三氟甲烷磺酸 (p-tert-丁氧苯基）二苯基毓、三氟甲烷磺酸三（p-tert-丁本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

546545 A7 Β7 五、發明説明（26 ) 氧苯基）銃、p-甲苯磺酸三苯基銃、卜甲苯磺酸（p_tert_ 丁氧苯基）二苯基銃、P-甲苯磺酸三（p-tert-丁氧苯基）銃、三氟甲烷磺酸三萘基銃、三氟甲烷磺酸環己基甲基（ 2-鐵基環己基）銃、三氟曱烷磺酸（2_原菠烷基）甲基（ 2-羰基環己基）銃、ι，2，_萘羧甲基四氫硫苯鐵三氯甲烷等鑰鹽；雙（苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（p_甲苯磺醯基）二偶氮甲烷、雙（環己基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（心丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（異丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（sec-丁基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（n_丙基磺醯基 )二偶氮甲烷、雙（異丙基磺醯基）二偶氮甲烷、雙（ tert-丁基磺醯基）二偶氮甲烷等二偶氮甲烷衍生物；雙-〇_ (P-甲苯磺醯基）-α -二甲基乙二肟、雙_〇_ ( n-丁烷磺醯基）-α -二甲基乙二肟等乙二肟衍生物；雙萘基磺酸甲烷等雙磺酸衍生物等。又以Ν-羥基琥珀醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν_ 羥基琥珀醯亞胺三氟甲烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺1-丙烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺2-丙烷磺酸酯、N-羥基琥珀醯亞胺1-戊烷磺酸酯、Ν-羥基琥珀醯亞胺ρ-甲苯磺酸酯、 Ν-羥基萘基醯亞胺甲烷磺酸酯、Ν-羥基萘基醯亞胺苯磺酸酯等Ν-羥基亞胺化合物之酯衍生物爲較佳。又，上記酸產生劑可單獨1種或將2種以上組合使用。鐵鹽有提高矩形性之優良效果，二偶氮甲烷衍生物及乙二肟衍生物具有優良之降低定在波之效果，兩者之組合可對圖型外形進行微調整。上記酸產生劑之添加量，以上記式（1 )之锍言之合 ϋϋ ill ϋϋ a—ϋ ϋ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 29- 546545 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（27) 計量而言，對基礎樹脂100份較佳爲0.1〜15份，更佳爲〇·5〜8份。若低於0.1份時會有感度惡化之情形產生，高於1 5份時會使透明性降低，而使光阻材料產生解像性惡化之情形。本發明所使用之有機溶劑，只要是可以溶解基礎樹脂、酸產生劑、其他添加劑等之有機溶媒皆可以使用。此有機溶劑例如，環己酮、甲基-2-n-戊酮等酮類；3-甲氧基丁醇、3-甲基-3-甲氧基丁醇、1-甲氧基-2-丙醇、1-乙氧基-2-丙醇等醇類；丙二醇單甲基醚、乙二醇單曱基醚、丙二醇單乙基醚、乙二醇單乙基醚、丙二醇二甲基醚、二乙二醇二甲基醚等醚類；丙二醇單甲基醚乙酸酯、丙二醇單乙基醚乙酸酯、乳酸乙酯、丙酮酸乙酯、乙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酸tert-丁酯、丙酸tert-丁酯、丙酸乙二醇-單-tert-丁醚乙酸酯等酯類，其可單獨使用1種或將2種以上混合使用，且不限定於上述化合物。本發明中，此些溶劑中對光阻成份中酸產生劑之溶解性最優良的除二乙二醇二甲基醚或1-乙氧基-2-丙醇以外，其他如作爲安全溶劑之丙二醇單甲基醚乙酸酯及其他混合溶劑皆可以配合使用。有機溶劑之使用量，以對基礎樹脂100份爲200至 1,000份，又以400至800份爲更佳。本發明之光阻材料，可再添加溶解控制劑。溶解控制劑爲平均分子量100〜1，〇〇〇，更佳爲150〜800之分子內具有2個以上苯酚性羥基之化合物，且該苯酚性羥基中之 --- m urn— I —ϋϋ 11 I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 546545 A7 _ B7 _ 五、發明説明（28 ) 氫原子受酸不穩定基以全體平均之0〜100莫耳％的比例取代所得之化合物，或分子內具有羧基之化合物且其羧基中之氫原子受酸不穩定基以全體平均之80至100莫耳％之比例取代的化合物。 .又，苯酚性羥基中氫原子受酸不穩定基取代之取代率，平均而言係對苯酚性羥基全體爲0莫耳％以上，較佳爲 30莫耳％以上，其上限爲100莫耳％，較佳爲80莫耳％。此時，上記具有2個以上苯酚性羥基之化合物或具有羧基之化合物，例如下式（D1 )〜（D14 )所示化合物。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 546545 Α7 Β7 五、發明説明（29

d〇H)r D9 1； /"、(叫 P2。、·

_ »201 R201/ R J DIO (〇H)p

R201, Dll (〇H)t· R201s.

、COOH

(9H2)nCOOH

D13 D12

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (式中，R201、R2 02各自爲氫原子、或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基；R203爲氫原子、或碳數1至 8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基、或-(R207 ) hCOOH ; R204爲- (CH2) i-(i = 2至10)、碳數6至10之伸芳基、羰基、磺醯基、氧原子或硫原子；R2Q5爲碳數1至10之伸烷基、碳數6至10之伸芳基、羰基、磺醯基、氧原子或硫原子；R2Q6爲氫原子、碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基、烯基、或各自受烴基所取代之苯基或萘基；R2Q7爲碳數 1至10之直鏈狀或支鏈狀伸烷基；R208爲氫原子或烴基； j 爲 0 至 5 之整數；u、h 爲 0 或 1 ; s、t、s ’、t ’、s ’ ’、 t"爲各自滿足s + t = 8、s’ + t’ = 5、s’’ + t’’ = 4，且爲各苯酉分骨架中至少具有一個羥基之數；α爲式（D8 ) 、（ D9 )之化合物之分子量爲100至1，000之數。）本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-32- 546545 A7 B7 五、發明説明（30 ) 上記式中.，r2Q1、r2Q2例如氫原子、甲基、乙基、丁基、丙基、乙烯基、環己基；R203則例如與R201、r2〇2 爲相同之化合物，或-C〇〇H 、-CHAOOH ; R204例如伸乙基、伸苯基、羰基、磺醯基、氧原子、硫原子等；R205例如伸甲基、或與r2〇4爲相同之化合物；例如氫原子、甲基、乙基、丁基、丙基、乙烯基、環己基、各自受羥基取代之苯基、萘基等。其中，溶解控制劑之酸不穩定基例如下記式（L 1 )至 (L5 )所示之取代基、碳數4至20之三級烷基、各烷基之碳數爲1至6之三烷基矽烷基、碳數4至20之羰烷基等。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝_ _(CH2)a——C-〇RLl (L2) 〕 ch2—ch2 -C (cH2)n\_/ (L3)

、1T rL01 -1-orL03 1.(32 (LI)

(L5) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 L01 至 rL16; 之定義與具體例係與 (式中，R-上記內容具有相同之意義）。上述溶解控制劑之添加量，以對基礎樹脂100份爲0至 50份，較佳爲5至50份，更佳爲10至30份’其可單獨或將2種以上混合使用。添加量未達5份時解像性會有未能提昇之情形，超過50份時，會使圖型之膜產生衰減，而有使本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） •33- 546545 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（31 ) 解像度降低之情形。又，上記溶解控制劑中，對具有苯酚性羥基或羧基之化合物，可以使用有機化學試劑以導入酸不穩定基之方式合成。 .此外，本發明之光阻材料可再添加鹼性化合物。鹼性化合物以可抑制因酸產生劑產生之酸在光阻膜內之擴散速度之化合物爲佳。添加鹼性化合物可抑制光阻膜中酸之擴散速度而使解像度提高，進而抑制曝光後之感度變化，降低基板或環境之依存性，而提昇曝光寬容度或圖型之外形等。此鹼性化合物例如可爲第1級、第2級、第3級脂肪族胺類，混合胺類、芳香族胺類、雜環胺類，具有羧基之含氮化合物、具有磺醯基之含氮化合物、具有羥基之含氮化合物、具有羥苯基之含氮化合物、醇性含氮化合物、醯胺衍生物、醯亞胺衍生物等。具體而言，第1級脂肪胺例如尿素、甲基胺、乙基胺、η-丙基胺、異丙基胺、η-丁基胺、異丁基胺、sec-丁基胺、tert-丁基胺、戊基胺、ten-戊基胺、環戊基胺、己基胺、環己基胺、庚基胺、辛基胺、壬基胺、癸基胺、月桂基胺、十六院基胺、伸甲基二胺、伸乙基二胺、四伸乙基戊胺等；第2級脂肪胺族類例如，二甲基胺、二乙基胺、二-η-丙基胺、二異丙基胺、二-η-丁基胺、二異丁基胺、二 -sec-丁基胺、二戊基胺、二環戊基胺、二己基胺、二環己基胺、二庚基胺、二辛基胺、二壬基胺、二癸基胺、二月 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 訂線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） 546545 Α7 Β7 五、發明説明（32 ) 桂基胺、二鯨躐基胺、N，N-二甲基伸甲基二胺、N，N-二甲基伸乙基二胺、N，N-二甲基四伸乙基戊胺等；第3級脂肪族胺類例如，三甲基胺、三乙基胺、三-n_丙基胺、三異丙基胺、三-η-丁基胺、三異丁基胺、二-sec_丁基胺、三戊基胺.、三環戊基胺、三己基胺、三環己基胺、三庚基胺、三辛基胺、三壬基胺、三癸基胺、三月桂基胺、三鯨蠟基胺、N，N，N’，N’-四甲基伸甲基二胺、N，N，N，，N，_四甲基伸乙基二胺、Ν,Ν,Ν’，Ν’-四甲基四伸乙基戊胺等。又，混合胺類例如，二甲基乙基胺、甲基乙基丙基胺、戊基胺、苯乙基胺、苄基二甲基胺等。芳香族胺類及雜 fee類之具體例如’苯胺衍生物（例如苯胺、N -甲基苯胺、N-乙基苯胺、N-丙基苯胺、N，N-二甲基苯胺、2-甲基苯胺、3-甲基苯胺、4-甲基苯胺、乙基苯胺、丙基苯胺、三甲基苯胺、二硝基苯胺、3-硝基苯胺、4-硝基苯胺、 2,4-二硝基苯胺、2,6-二硝基苯胺、3,5-二硝基苯胺、Ν,Ν -二甲基苯胺等）、二苯基（ρ_甲苯基）胺、甲基二苯基胺、二苯基胺、亞苯基二胺、萘基胺、二氨基萘、批略衍生物（例如吡咯、2 Η -吼咯、1-甲基吡咯、2,4-二甲基吡咯、2,5-二甲基吡咯、Ν -甲基吡咯等）、噁唑衍生物（例如噁唑、異噁唑等）、噻唑衍生物（例如噻唑、異噻唑等）、咪唑衍生物（例如咪唑、4-甲基咪唑、4-甲基-2-苯基咪唑等）、吡唑衍生物、呋喃衍生物、吡咯啉衍生物（例如吡咯啉、2-甲基-1-哦咯啉等）、吡咯烷衍生物（例如吡咯烷、Ν -甲基吡略烷、吡咯烷酮、Ν -甲基吡咯烷酮等）、咪本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ^ϋ· 1_11 ϋϋ mi mtMKe «UBi ϋϋ I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -35- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 36- 546545 A7 ____ B7 _ 五、發明説明（33 ) 唑啉衍生物、咪唑並吡啶衍生物、吡啶衍生物（例如吡啶、甲基吡啶、乙基吡陡、丙基吡啶、丁基吼啶、4- ( 1-丁基苄基）吡啶、二甲基吡啶、三甲基吡啶、三乙基吡啶、苯基吡啶、3-甲基-2-苯基吡啶、4-t-丁基吡啶、二苯基吡啶.、戊基吡啶、甲氧基吡啶、丁氧基吡啶、二甲氧基吡啶、1-甲基-2-吡咯酮、4-吡咯烷酮吡啶、1-甲基-4-苯基吡啶、2-(卜乙基丙基）吡啶、氨基吡啶、二甲基氨基吡啶等 )、噠嗪衍生物、嘧啶衍生物、吡嗪衍生物、吡唑啉衍生物、吡唑院衍生物、哌啶衍生物、哌嗪衍生物、嗎啉衍生物、吲哚衍生物、異吲哚衍生物、1 Η -吲唑衍生物、吲哚啉衍生物、喹啉衍生物（例如喹啉、3-喹啉羧腈等）、異喹啉衍生物、噌啉衍生物、喹唑啉衍生物、喹喔啉衍生物、酞嗪衍生物、嘌呤衍生物、喋啶衍生物、咔唑衍生物、菲繞啉衍生物、吖啶衍生物、吩嗪衍生物、1，1 〇-菲繞啉衍生物、腺嘌呤衍生物、腺苷衍生物、鳥嘌呤衍生物、鳥苷衍生物、尿嘧啶衍生物、尿嗪衍生物等等。又，具有羧基之含氮化合物，例如氨基苯甲酸、吲哚羧酸、氨基酸衍生物（例如尼古丁酸、丙氨酸、精氨酸、天冬氨酸、枸椽酸、甘氨酸、組氨酸、異賴氨酸、甘氨醯白氨酸.、白氨酸、蛋氨酸、苯基丙氨酸、蘇氨酸、賴氨酸、3 -氨基吼D定-2 -羧酸、甲氧基丙氨基）等例；具有擴酸基之含氮化合物例如3-吡啶磺酸、ρ-甲苯磺酸吡啶鐵等；具有羥基之含氮化合物，具有羥苯基之含氮化合物、醇性含氮化合物等例如，2-羥基吡啶、氨基甲酚、2,4-喹啉二醇本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

546545 A7 B7 五、發明説明（34 ) 、3-吲哚曱醇氫化物、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、 N -乙基二乙醇胺、N，N -二乙基乙醇胺、三丙醇胺、2,2、亞氨基二乙醇、2-氨基乙醇、3-氨基-1-丙醇、4-氨基-1-丁醇、4- ( 2-羥乙基）嗎啉、2- ( 2-羥乙基）吡啶、1-(2-羥乙基）哌嗪、1-〔 2- ( 2-羥乙氧基）乙基〕哌嗪、哌嗪乙醇、1- ( 2-羥乙基）吡咯烷、1- ( 2-羥乙基）-2-吡咯烷酮、3-吡咯烷酮基-1,2-丙二醇、3-吡咯烷酮基-1，2-丙二醇、8-羥久洛尼啶、3-喂啶醇、3-托品醇、1-甲基-2-吼啶乙醇、1-氮雜環丙烷乙醇、N - ( 2-羥乙基）肽醯亞胺、N -( 2-羥乙基）異尼古丁醯胺等等。醯胺衍生物例如，甲醯胺、N -甲基醯胺、N，N -二甲基醯胺、乙醯胺、N -甲基乙醯胺、N，N-二甲基乙醯胺、三甲基乙醯胺、戊醯胺等。醯亞胺衍生物則例如酞醯亞胺、琥珀醯酵亞胺、馬來醯亞胺等。又，可再添加下式（B1 )與（B2 )所示之鹼性化合物 CH2CH20(R301 〇)sr304 CH2CH2O(R307O)sR309 ijl—·CH2CH2O(R302〇)tR305 CH2CH2O(R303〇)uR306 I·—CH2CH2〇(R3O0O)tR310 B1 B2 (式中，R3。1、R3。2、 R3Q3、R3°7、R3()8爲各自獨立之直鏈狀、支鏈狀或環狀的碳數1至20之伸烷基；R3°4、R3Q5 、R3°6、R3°9、R31()爲氫原子、或碳數1至20之烷基或胺基；R3。4 輿 R3°5、R3。4 與 R3Q6、R3。5 與 R3°7、R3。4 與 R3。5 與 R3。7 、RW與可各自形成環；S、T、U各自爲0至20之整本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） ^ϋ' —^1 ϋ I ml nn aam 士^^ ϋ^— I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546545 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明説明（35 ) 數，但，S、τ：、u = 0 時，R3°4、R 3 0 5、R3。6、R3°9、31° 不含氫原子）其中，R3Q1、R3Q2、、R3〇7、R308中之伸烷基，以碳數1至20、較佳爲1至1 〇、更佳爲1至8者，具體之例示如伸甲基、伸乙基、η -伸丙基、異伸丙基、η -伸丁基、異伸丁基、η -伸戊基、異伸戊基、伸己基、伸壬基、伸癸基、伸環戊基、伸環己基等。又，R3Q4、R3Q5、R3°6、R3°9、R31。之烷基例如，碳數 1 至20，較佳爲1至8，更佳爲碳數1至6之烷基，其可爲直鏈狀、支鏈狀或環狀。具體而言例如甲基、乙基、η -丙基、異丙基、η-丁基、異丁基、tert-丁基、η-戊基、異戊基、己基、壬基、癸基、月桂烷基、十三烷基、環戊基、環己基等。又，R3。4 與 R3°5、R3。4 與 R3〇6、&3。5與 R 3 0 6、R3 04 與 R305 與、r3〇9與r31〇形成環時，環之碳數爲1至2〇，更佳爲 1至8，最佳爲1至6爲宜，又此些環可具有碳數1至6，特別是1至4之烷基支鏈。 S、T、U各自爲0至20之整數，較佳爲1至10，最佳爲1至8之整數。上述（B 1 )所示化合物之具體內容，例如，三（2-(甲氧甲氧基）乙基）胺、三{ 2- ( 2-甲氧乙氧基）乙基 }胺、三[2-丨（2-甲氧乙氧基）甲氧基}乙基]胺、三{ 2-( 1-甲氧乙氧基）乙基}胺、三{ 2- ( 1-乙氧乙氧基）乙基 }胺、三{ 2- ( 1-乙氧丙氧基）乙基}胺、三〔2- { 2-( m-i 1_1 - m In ·ϋι 1^1 n (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂線_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） -38- 546545 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _ B7 五、發明説明（36 ) 2-羥乙氧基）乙氧基}乙基〕胺、4,7，13，16,21，24-六氧-1，10-二氮雜二環〔8,8,8〕二十六烷，4,7，13，18-四氧-l，l〇-二氮雜二環〔8,5,5〕二十烷，1,4,10,13 -四氧-7,16 -二氮雜二環十八烷，1-氮雜-12-冠-4 ， 1-氮雜-15-冠-5 ， 1-氮雜_ 1 8 -冠-6等。特別是三級胺、苯胺衍生物、吡咯院衍生物、吡啶衍生物、喹啉衍生物、氨基酸衍生物、具有羥基之含氮化合物、具有羥苯基之含氮化合物、醇性含氮化合物、醯胺衍生物、醯亞胺衍生物、三{2 -(甲氧甲氧基）乙基}胺，三{2- ( 2-甲氧乙氧基）乙基丨胺，三〔2-{ ( 2-甲氧乙氧基）甲基}乙基〕胺、1-氮雜-15-冠-5等爲佳。上記鹼性化合物之添加量以對酸產生劑1份爲0.001至 1 〇份，較佳爲0 · 0 1至1份。添加量未達〇. 〇〇 1份時添加劑之效果未能充分發揮，超過1 0份時解像度或感度會降低。作爲負型光阻添加之交聯劑，例如分子內具有2個以上羥甲基、烷氧甲基 '環氧基或乙烯醚基之化合物等，經取代之甘脲衍生物、尿素衍生物、六（甲氧甲基）三聚氰胺等爲較佳。例如Ν,Ν,Ν’,Ν’-四甲氧甲基尿素與六甲基三聚氰胺、四羥甲基取代甘脲類與四甲氧甲基甘脲等四烷氧甲基取代甘脲類、取代或未取代之雙羥甲基苯酚類、雙酚A 等苯酚性化合物與環氧氯丙烷等之縮合物。較佳之交聯劑例如1,3,5,7 -四甲氧甲基甘脲等ι，3,5,7-四烷氧甲基甘脲或 1，3,5,7-四羥甲基甲基甘脲等、2,6-二羥基甲基-P-甲酚、 2，6-二羥基甲基苯酚、2,2’，6,6’-四羥甲基雙酚八與1，4-雙-[2- ( 2-羥丙基）]苯、n，N，N’，N’-四甲氧甲基尿素與六甲氧本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝·

、1T 線- -39- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546545 A7 _ B7__________ 五、發明説明（37 ) 甲基二聚藥胺寺。添加重可爲任意量，一般以對光阻材料中全固形份100份爲1至25份，較佳爲5至20份。其可單獨使用或將2種以上合倂使用皆可。又，本發明之光阻材料，可再添加分子內具有三C-COOH基之化合物。分子內具有Ξ C-C〇〇Η基之化合物，例如可使用由下記 I群及Π群中所選出之1種或2種以上之化合物，但並不限定於此些物質。添加本成份後，可提高光阻之PED安定性，並可改善氮化膜基板上之邊緣粗糙等問題。〔I群〕下記式（A1 )至（A10 )所示化合物中苯酚性羥基中氫原子之一部份或全部受-R4Q1-C〇〇H ( R4。1爲碳數1至1〇之直鏈狀或支鏈狀伸烷基）所取代，且分子中苯酣性羥基 (C )與三C-C〇〇H所示之基（D )之莫耳比爲C/ ( C + d )二0.1至1.0之化合物。〔II 群〕下記式（A 1 1 )至（A 15 )所示之化合物。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁}

40- 546545 A7 B7 五、發明説明（38 ) r402s/

A1

(〇H)t2 R40^ (〇H)l2> d402 (R405: A4 r>M7

A5 Λ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝_

R^7^(〇H)t3 A7 A6

A10 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (其中，r4°8爲氫原子或甲基；r4Q2、R4()各自爲氫原子或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基；R4°4爲氫原子或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基，或-(R4°9 )h -C〇〇R’基（R’爲氫原子或-R409-C〇〇H ) ； R 4 0 5 Μ - ( CH2 )^ - ( 1 = 2至10 )，碳數6至10之伸芳基、羰基、磺醯基、氧原子或硫原子；R4°6爲碳數1至10之伸烷基、碳數6 至1〇之伸芳基、羰基、磺醯基、氧原子或硫原子；R4()7爲本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 546545 A7 _ B7 _五、發明説明（39 ) 氫原子或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基、烯基、各自受羥基取代之苯基或萘基；R 4°9爲碳數1至10之直鏈狀或支鏈狀伸烷基；R41()爲氫原子或碳數1至8之直鏈狀或支鏈狀烷基或烯基或-R411-C〇0H基；R411爲碳數1至10之直鏈狀或支鏈狀伸烷基；j爲〇至5之整；u、h爲〇或1 ; si、 tl、s2、t2、s3、t3、s4、t4 爲各自滿足 sl+tl=8、 s2 + t2 = 5、s3 + t3 = 4、s4 + t4 = 6 ’ 且爲各苯基骨架中至少具有1個羥基之數。/c.爲式（A6 )化合物中重量平均分子量爲1，〇〇〇至5,000之數；λ爲式（A7 )化合物中重量平均分子量爲1，〇〇〇至1〇,〇〇〇之數。） R403 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- (〇H)6v R402s COOH All (〇H)t5 R402s5： :0 rWLcooh

：OOH A12

A14

;H2)h'C〇〇H 線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A13

(R4Q2、R4。3、R411具有與前記內容相同之意義；R412 爲氫原子或羥基；s5、t5爲s5 g 0、t5 g 0 ’且爲滿足s5 + 1:5:=5之數，]1’爲0或1。）本成份之具體例如下記式AI-1至14及A11·1至10所示本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） _ 42 546545 A7 B7 五、發明説明（40 ) 化合物，但並不限定於此些化合物

All

AI-5 AI-6 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· AI-7

、1T

OR" AI-10 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

OR" AI-11 CH, R_0. R-O"

H3C CH3 AI-13

OR" OR"

AI-12 R"〇—i\ />—ch2coorm AI-14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） _ _ 546545

五、發明説明（41 (R"爲氫原子或CH2 C00H基，各化合物中R’ 至100莫耳％爲（^2〇〇〇11基，a、/c具有與前述內容之意義。）之 1〇相向

tHT-COOH AII-2

)h2-cooh AII-4

DH2COOH I' I ϋϋ nn mi ϋϋ ϋϋ —ϋ 广请先聞讀背希M .¾意事續系填寫本覓) ：h2cooh AII-5

OOH AII-7

All-6

OOH

h2cooh AII-9 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 AII-8

第獨其中，上記分子內具有三C-COOH基之化合物，对使用1種或將2種以上組合使用。上述分子內具有三C-COOH基之化合物的添加量’ 對基礎樹脂1〇〇份爲〇至5份，較佳爲〇·ι至5份，吏佳爲 0.1至3份，蕞佳爲0.1至2份，超過5份時會使光阻材料之般本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X297公釐） _ 44 _ 546545 A7 B7 五、發明説明（42 ) 解像性降低。又，本發明之光阻材料，可再添加作爲添加劑成份之炔醇衍生物，添加此衍生物可抑制光阻溶液中微氣泡之產生。炔醇衍生物以使用下式（S1 )、（ S 2 )所示化合物爲佳。

(式中，r5Q1、R5°2、R5。3、R5。4、R5。5 各自爲氫原子、或爲碳數1至8之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；x、γ爲 0或正數，且爲滿足下記之數値，0SXS30，0€YS30 ，0 $ X + Y S 40 )。炔醇衍生物較佳者爲過苯酚61 ，過苯酚8 2 ，過苯酚 104，過苯酚104E，過苯酚104H，過苯酚104A，過苯酚 TG，過苯酣PC，過苯酣440，過苯酣465，過苯酚485 ( 氣體製造及化學公司製）、過苯酚E1004 (日信化學工業 (株）製）等。上記炔醇衍生物之添加量，以對光阻組成物丨00重量 %中爲0 · 01至2重量％，更佳爲0.0 2至1重量％。低於 0.01重量％時.，則未能得到充份的塗布性及保存安定性之效果’超過2重量％時則會使光阻材料之解像性降低。本發明之光阻材料，可在爲提高塗佈性之目的上添加上記成份以外之任意慣用成份作爲界面活性劑。又，此任本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝_ 訂線_ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 •45- 546545 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __B7五、發明説明（43 ) 意成份之添加量爲在不妨礙本發明效果之範圍內之一般添加量。其中，界面活性劑以非離子性者爲佳，例如全氟烷基聚氧乙炔醇、氟化烷酯、全氟烷基胺氧化物、全氟烷基E〇附加物、含氟有機矽氧烷系化合物等。例如氟萊特「FC-430 」、「 FC-431 」（皆爲住友 3M 公司製）、沙氟隆「3-141」、「S-145」（皆爲旭硝子公司製）、優尼但「〇3-401」、「DS-403」、「DS-451」（皆爲大金工業公司製 )、美格氟「F-8151」（大日本油墨公司製）、「又-70-092」、「X -70-093」（皆爲信越化學工業公司製）等等。其中較佳者爲氟萊特「FC-430」（住友3M公司製）、「X -70-093」（信越化學工業公司製）等等。使用本發明之光阻材料以圖型形成之方法，可採用公知之蝕刻印刷技術等，例如於晶圓等基板上以旋轉塗佈方式塗佈厚度0.3至2.0 // m之膜，將其於熱壓板上以60至 150°C、1至10分鐘、較佳爲80至130°C、1至5分鐘之預熱。其次在上記光阻膜上覆蓋欲形成目的圖型之光罩後，以ArF等離子雷射在曝光量爲1至l〇〇m〗/ cm 2左右，較佳爲5至50mJ / cm 2下照射後，在熱壓板上以60至150 °C、 1至5分鐘，較佳爲80至130 °C、1至3分鐘之後照射熱培 (PEB )。其後使用0.1至5 % ，較佳爲2至3 %四甲基銨氫氧化物（ΤΗ AM )等鹼性水溶液之顯像液，以0.1至3分鐘、較佳爲0.5至2分鐘間，以浸漬（d i p )法、微粒（ p u d d 1 e )法、噴撒法（s p r a y)法等常用顯像方法於基板上形成 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝·

、1T -線_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 546545 A7 _____ B7 ___ 五、發明説明（44 ) 目的之圖型。又，超出上記範圍之上限或下限以外時，可能會有無法得到目的圖型之情形產生。【發明之效果】本發明之光阻材料，可感應ArF等離子雷射光，且具有優良的感度、解像性，又因可形成厚膜化故極適合飩刻，故極適合形成微細且對基板爲垂直之圖型。【實施例】以下將以實施例與比較例對本發明作更具體之說明，但本發明並不受下記實施例所限制。 [合成例] 對於下記式所不之毓鹽（P A G 1至8 )，評估其作爲光阻時之感度與解像性。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I ϋ_ϋ itiw ϋι—f 1··—·—· —ϋϋ ^ϋϋ ·_^ϋ··1 β··.···— im ·ϋ_ΙΗ— ϋ··ϋ —·_ϋ· emmmmMmmme m-· SI Hall、一一一N He·-— i^n (PAG 1)

\ \^δ+Ό502-〇4Ρ9A (PAG 3) 線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

/ \—s+oso2-ch2cf3A

丫《y~r〇s〇厂 cp3A (PAG 4) (PAG 5)

丫 OSO 广 CH2CF3 HO—，f~OSO 广 CF3A 一 A (PAG 7) (PAG 8)

'S+OS〇2~CF3A (PAG 6) ―本紙^尺國家標準(CNS ) A4規格（210X297公釐） ” 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546545 A7 B7 五、發明説明（45 ) 將上記式所不銃鹽（PAG 1至8 )作爲酸產生劑，並使用下記式所示聚合物（Polymer 1至8 )作爲基礎樹脂、下記式所示溶解控制劑（DRR 1至4 )、鹼性化合物、下記式所示之分子內具有三C-C〇〇H基之化合物（ACC1 、2 ) ，.依表1至3所示組成溶解於含有〇.〇1重量°/。之FC-430 ( 住友3M公司製）的溶媒中以製作光阻材料。隨後再將故組成物以0.2 // m鐡氟隆製過濾器過濾’分別製得光阻材料。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

546545 A7B7 五、發明説明（46

H CH3 H CH3

Η )=0 Q

H CH3 H CH3 0 Q (Polymer 1) (al=0.10, bl=0.20, dl=0.70, Mw=9,200) (Polymer 2) (al=0.10, bl=0.20, cl=0.30, ¢11=0.40, Mw=l 0,300) (Polymer 3) (b 1=0.50, dl=0.50, Mw=ll,800) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· Μ

(Polymer 4) (bl=0.40, ¢11=0.60, Mw=8,800) H -o-

H Η Η H

(Polymer 5) (dl=0.30, d2=0.35, e=0.35, Mw= 10,500) 訂

Η H (Polymer 6) (¢12=0.50, e=0.50, Mw=8f300)

Η Η Η H 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

C02H Q 人

(Polymer 7) (»2=0.10, b2=0_30, (12=0.60, Mw=27,600)

(Polymer 8) 0^2=0.40, (12=0.60, Mw=18,300) (Polymer 9) (1)3=0.40, (13=0.60, Mw=29,100) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 546545 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -50- A7 B7 五、發明説明（47 )

將所得光阻溶液以旋轉塗佈方式塗佈於矽晶圓上，並使厚度爲0.4 // m。再將此矽晶圓使用熱壓板進行ι10它、 90秒之熱培。其後藉由ArF等離子雷射處理器（理光公司，N A = 0.5 )進行曝光，再於1 10 °C、9 0秒下進行熱培（ PEB )後，於2 · 3 8 %之四甲基錢氫氧化物水溶液中進行顯像。光阻材料之g平估係依以下方法進行。將〇. 2 5 // m空間線路爲1 : 1解像之曝光量作爲最佳曝光量（感度：Ε ο p， mJ/cm2 )=感度，對此曝光量所分離之空間線路之最小線寬 (// m )作爲評估光阻材料之解像度。顯像後之光阻圖型形狀係使用掃描型電子顯微鏡進行觀察。又，感度之評估係使甩ArF等離子雷射裝置對所有的光阻進行評估，解像性之評估係使用ArF等離子雷射處理器對一部份之光阻進 I紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

546545 A7 B7 五、發明説明（48 ) 行評估，並於2 3 °C下保存該光阻溶液2個月後對其感度作評估。各光阻之組成及評估結果如表1、2所示。又，表1至 3中，溶劑及鹼性化合物之說明則如下記內容。又，表1至 3中，各成分之括弧內數値係爲添加量（重量份）。 PGMEA :丙二醇甲基醚乙酸酯 CyH〇：環己酮 PG/EL : PGMEA70 %與乳酸乙酯30 %之混合溶齊!I TBA :三丁基胺 TEA :三乙醇胺 TMMEA :三甲氧基甲氧基乙基胺 TMEMEA :三甲氧基乙氧基甲氧基乙基胺 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 546545 A7 B7 五、發明説明（49 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1¾ 1] 實施例樹脂酸產生劑溶解控制劑驗性化合物溶劑感度 (製造後）解像度 (製造後）形狀 (製造後）感度 (2個月後） 1 Polymer 1 (80) PAG1 (1.5) - TBA (0.10) PGMEA (480) 4.5 0.18 矩形 4.3 2 Polymer 1 (80) PAG 2 (1.5) - TBA (0.10) PGMEA (480) 5.2 - - 5.3 3 Polymer 1 (80) PAG 3 (1.5) - TBA (0.10) PGMEA (480) 5.6 0.18 矩形 5.8 4 Polymer 1 (80) PAG 4 (1.5) - TBA (0.10) PGMEA (480) 4.8 - - 4.8 5 Polymer 1 (80) PAG 5 (2) - TBA (0.10) PGMEA (480) 3.5 0.18 矩形 3.6 6 Polymer 1 (80) PAG 6 (2) - TBA (0.10) PGMEA (480) 5.0 - - 5.3 7 Polymer 1 (80) PAG 7 (2) - TBA (0.10) PGMEA (480) 5.2 0.18 矩形 5.5 8 Polymer 1 (80) PAG 8 (2) - TBA (0.10) PGMEA (480) 5.5 - - 5.3 9 Polymer 1 (80) PAG1 (1.5) - TBA (0.10) CyHO (560) 4.6 0.18 矩形 4.8 10 Polymer 2 (80) PAG1 (1.5) - TBA (0.10) CyHO (560) 4.8 - - 4.3 11 Polymer 3 (80) PAG1 (1.5) - TBA (0.10) CyHO (560) 4.3 0.18 矩形 4.2 12 Polymer 4 (80) PAG1 (1.5) - TBA (0.10) CyHO (560) 4.8 - - 4.4 13 Polymer 5 (80) PAG 1 (1.5) - TBA (0.10) CyHO (560) 5.2 0.18 矩形 5.0 14 Polymer 6 (80) PAG1 (1.5) - TBA (0.10) CyHO (560) 5.5 - - 5.7 15 Polymer 7 (80) PAG1 (1.5) - TBA (0.10) CyHO (560) 4.6 0.18 矩形 4.8 16 Polymer 8 (80) PAG 1 (1.5) - TBA (0.10) CyHO (560) 4.8 - - 4.9 17 Polymer 9 (80) PAG1 (1.5) - TBA (0.10) CyHO (560) 5.5 - - 5.6 18 Polymer 3 (80) PAG 3 (1.5) - TBA (0.10) CyHO (560) 5.5 - - 5.9 19 Polymer 3 (80) PAG 3 (1.5) - TEA (0.10) CyHO (560) 5.8 - - 5.6 20 Polymer 3 (80) PAG 3 (1.5) TMMEA (0.10) CyHO (560) 4.8 5.0 21 Polymer 3 (80) PAG 3 (1.5) TMEMEA (0.10) CyHO (560) 4.0 4.3 22 Polymer 6 (80) PAG 4 (1.5) - TEA (0.10) PG/EL (480) 5.4 - - 5.2 23 Polymer 6 (64) PAG 4 (1.5) DRR 1 (16) TEA (0.10) PG/EL (480) 5.0 - - 5.2 24 Polymer 6 (64) PAG 4 (1.5) DRR 2 (16) TEA (0.10) PG/EL (480) 4.8 - - 4.6 25 Polymer 6 (64) PAG 4 (1.5) DRR 3 (16) TEA (0.10) PG/EL (480) 4.6 - 4.6 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -52- 546545

A B7 五、發明説明（50 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 [表2] 實施例棚旨酸產生劑溶解控制劑鹼性化合物溶劑感度 (製造後）解像度 (製造後）形狀 (製造後）感度 (2個月後） 26 Polymer 6 (64) PAG 4 (1.5) DRR3 (16), TEA (0.10) PG/EL (480) 4.8 - - 4.8 27 Polymer 7 (80) PAG3 (1.5) - TEA (0.10) CyHO (560) 4.9 - - 5.0 28 Polymer 7 (64) PAG 3 (1.5) DRR1 (16) TEA (0.10) CyHO (560) 4.4 - - 4.6 29 Polymer 7 (64) PAG 3 (1.5) DRR2 (16) TEA (0.10) CyHO (560) 3.5 - - 3.8 30 Polymer 7 (64) PAG 3 (1.5) DRR3 (16) TEA (0.10) CyHO (560) 3.9 - - 4.0 31 Polymer 7 (64) PAG 3 (1.5) DRR4 (16) TEA (0.10) CyHO (560) 3.8 - - 4.0 32 Polymer 4 (80) PAG 5 (2) - TEA (0.10) CyHO (560) 3.8 - 4.0 33 Polymer 4 (80) PAG 5 (2) ACC1 (2) TEA (0.10) CyHO (560) 3.2 - - 3.0 34 Polymer 4 (80) PAG 5 (2) ACC1 (2) TEA (0.10) CyHO (560) 3.0 - - 2.9 35 Polymer 8 (80) PAG 6 (2) - TEA (0.10) PGMEA (480) 5.3 - - 5.0 36 Polymer 8 (80) PAG 6 (2) ACC1 (2) TEA (0.10) PGMEA (480) 5.0 - - 4.9 37 Polymer 8 (80) PAG 6 (2) ACC 2 (2) TEA (0.10) PGMEA (480) 4.9 - - 5.0 38 Polymer 3 (40) Polymer 5 (40) PAG1 (1.5) TEA (0.10) PG/EL (480) 4.8 5.0 39 Polymer 3 (40) Polymer 5 (40) PAG 3 (1.5) TEA (0.10) PG/EL (480) 4.9 5.0 40 Polymer 5 (40) Polymer 7 (40) PAG1 (1.5) TEA (0.10) CyHO (560) 4.8 4.6 41 Folymer 5 (40) Polymer 7 (40) PAG 3 (1.5) TEA (0.10) CyHO (560) 3.2 3.8 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 棄· ί Γ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -53 - 546545 A7 B7五、發明説明（51 ) [比較例] 爲進行比較，對下記式所示銃鹽（PAG 9至1 9 估其作爲光阻材料時之感度與解像性。評 5+'0S02—CF3

OS02—C4Fg

+ OS02—CH2CF3 (PAG 9) (PAG 10) (PAG 11) KJ u OSO 厂 CF3 oso2—cf3 (PAG 13) (PAG 14) (PAG 12)

OSO 厂 CF3 (PAG 16)

o? < V-5+OSOr-CF3

o—|-cf3 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -|+-〇S〇2—CF3 (PAG 17) [比較例1〜11 ] 使用上記式所示銃鹽（PAG 9至19 )，以上記相同方法依表3所示組成內容製作光阻，並依上記相同方法評估感度及解像度。各光阻之組成及評估結果如表3所示。 (PAG 18) (PAG 19) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） _ 54 一 546545 五、發明説明（52 )

A B

[表3] 比較例樹脂酸產生劑溶解控制劑鹼性化合物溶劑感度 (製造後）解像度 (製造後）形狀 (製造後）感度 (2個月後） 1 Polymer 1 (80) PAG 9 (1) - TBA (0.10) PGMEA (480) 9.1 0.18 矩形 9.3 2 Polymer 1 (80) PAG 10 (1) - TBA (0.10) PGMEA (480) 9.9 - - 10.0 3 Polymer 1 (80) PAG 11 (1) - TBA (0.10) PGMEA (480) 9.0 0.18 矩形 9.5 4 Polymer 1 (80) PAG 12 (1) - TBA (0.10) PGMEA (480) 9.4 - - 9.6 5 Polymer 1 (80) PAG 13 (1) - TBA (0.10) PGMEA (480) 8.9 0.20 若干順向突起 9.0 6 Polymer 1 (80) PAG 14 (1) - TBA (0.10) PGMEA (480) 9.2 - - 8.8 7 Polymer 1 (80) PAG 15 (1) - TBA (0.10) PGMEA (480) 8.5 0.20 若干順向突起 8.3 8 Polymer 1 (80) PAG 16 (1) - TBA (0.10) PGMEA (480) 9.2 - - 8.9 9 Polymer 1 (80) PAG 17 (1) - TBA (0.10) PGMEA (480) 5.5 - - 0.5 10 Polymer 1 (80) PAG 18 (1) - TBA (0.10) PGMEA (480) 4.8 - - 0,3 11 Polymer 1 (80) PAG 19 (1) - TBA (0.10) PGMEA (480) 4.6 - - 0.1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 546545 A7 B7 五、發明説明（53 ) 依表1至3所示結果得知，本發明之光阻材料與以往製品相比較時，具有更高之感度與解像性，與優良的保存安定性。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）

Claims

A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1 、一種光阻材料，其係爲含有基礎樹脂、酸產生劑與溶劑之光阻材料，且其特徵爲酸產生劑係爲下記式（1 )所示之銃鹽；

(式中，R1爲碳數3至20之1價環狀烴基，亦可爲橋環式之烴基；R2爲羥基、.硝基、鹵素原子，或可含有〇、 N、S或鹵素原子之碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之1價烴基；1^_爲非親核性對向離子；X爲1或2，y爲0 至3之整數）。 2、如申請專利範圍第1項之光阻材料，其中基礎樹脂係爲含有脂環式構造之高分子化合物。 3、如申請專利範圍第1或2項之光阻材料，其中基礎樹脂係由聚丙烯酸及其衍生物、原菠烯衍生物-馬來酸酐交互聚合物與聚丙烯酸或其衍生物之3或4元共聚物，四環十二碳烯衍生物-馬來酸酐交互聚合物與聚丙烯酸或其衍生物之3或4元共聚物，原菠烯衍生物-馬來醯亞胺交互聚合物與聚丙烯酸或其衍生物之3或4元共聚物’四環十二碳烯衍生物-馬來醯亞胺交互聚合物與聚丙烯酸或其衍生物之3或 4元共聚物，聚原菠烯’與複分解開環聚合物所選出之1種或2種以上的高分子聚合物。 4、如申請專利範圍第1項之光阻材料’其中基礎樹脂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2i〇x297公釐） _ 57 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 546545 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍係爲含有下記式（2 )所示重複單位之重量平均分子量 1，〇〇〇至500,000之高分子化合物；

p〇16 d016 d016xy^(CH2)2y CH~CH a3 CH—CH b3 [ V 0h——ct~' c' HC

R°°!

(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨013 D00Z

C〇2R co2r HC\〜r016H k ,hc\-r016-7ch, k 丨mu\〜r016〆 R013 R00^~V-ζ^—Rw- FT ^":r_R008 r〇iq——>〇——(^-R013 r〇〇CZ^ZZ^ZZr〇〇i pOoaZZ^ ^006 Λ〇〇7 Η H λ〇11 Λ012 Η H •裝· ▼線經濟部智慧財產局員工消費合作社印製〇 (2) (式中，/°1爲氫原子、甲基或CH2C02RM3 ; R”2爲氫原子、甲基或C〇2R°°3 ; R°°3爲碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀之烷基；R°°4爲氫原子或碳數1至15之羧基或含羥基之1價烴基；R^5至R°°8中至少1個爲碳數1至15之羧基或含羥基之1價烴基，其他部分爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R^5至R°°8可相本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210X297公釐） -58- 546545 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍互形成環，此情形時，R°°5至R°°8中至少1個爲碳數1至15 之羧基或含羥基之2價烴基，其他部分爲各自獨立之單鍵或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀伸烷基；Rm爲碳數3至15之含-C〇2-部分構造之1價烴基，RW至y13中至少1個爲碳數2至15之含-C〇2-部分構造之1價烴基，其他部分爲各自獨立之氫原子或碳數1至15之直鏈狀、支鏈狀或環狀烷基；R°1()至R°13可相互形成環，此情形時，R°1Q至中至少1個爲碳數1至15之含-C〇2-部分構造之2價烴基，其他部分爲各自獨立之單鍵或碳數1至1 5之直鏈狀、支鏈狀或環狀伸烷基；V14爲碳數7至15之多環式烴基或含有多環式烴基之烷基；R°15爲酸不穩定基；R°16爲伸甲基或氧原子；R°17爲單鍵、或碳數1至10之直鏈狀、支鏈狀或環狀伸烷基，且可再含有雜原子之取代基亦可；R°18爲氫原子或碳數1至10之院基；k爲0或1 ; al、a2、a3、bl 、b2、b3、cl、c2、c3、dl、d2、d3、e 爲 0 以上 1 以下之數，且滿足&1+&2+&3+131+5 2+&3+〇1+〇2+。3+(11 + (12+(13+6:::=1之數）。 5 、一種增強化學型光阻材料，其特徵係含有申請專利範圍第2、3或4項之基礎樹脂，其爲不溶或難溶於顯像液、但可因酸作用而對顯像液爲可溶之基礎樹脂與，式（1 )所示之酸產生劑與，溶劑者。 6、如申請專利範圍第5項之光阻材料，其尙含有鹼性化合物。 7 、一種增強化學型光阻材料，其特徵係含有申請專 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 、1T -線本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） - 59- 546545 A8 B8 C8 D8 _ ΤΓ、申請專利範圍利範圍第2、3或4項之基礎樹脂，其爲可溶解於顯像液、但可因酸作用使交聯劑產生交聯而對顯像液爲不溶之基礎樹脂與，式（1 )所示之酸產生劑與，交聯劑與，溶劑者〇 8、如申請專利範圍第7項之光阻材料，其尙含有鹼性化合物。 9 、一種圖型之形成方法，其特徵係包含將申請專利範圍第1至8項中任一項之光阻材料塗佈於基板上之步驟與，於加熱處理後介由光罩以波長200nm以下之光進行曝光之步驟與，必要時於加熱處理後使用顯像液進行顯像之步驟。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· ▼線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -60-