TW541207B

TW541207B - Method and apparatus for manufacturing biochip

Info

Publication number: TW541207B
Application number: TW090132086A
Authority: TW
Inventors: Chung-Fan Chiou; Shyh-Haur Su; Je-Ping Hu; Ying-Chi Chen
Original assignee: Ind Tech Res Inst
Priority date: 2001-11-05
Filing date: 2001-12-24
Publication date: 2003-07-11
Also published as: CN1417585A; US20030087444A1; US6936474B2; CN1220058C

Description

541207

曰有ΐ:明ΐ有關於—種生物晶片製造裝置及方法，特別疋有關於一種可大吾&立+ # ^ , Λ, 3 u h ^ 生產在其上形成有高密度陣列的試劑之生物晶片的製造裝置及方法。

在化學、醫筚、儿 LL -^ - ΛΑ - ,e μ 生化、材料的領域’經常需要平行進订大置的師選檢測或化學 ( u . · 予生化反應，例如組合化學 (combinatorial chem i e + \ t .,^ σ ^ lstry)必須使用多種單體合成多樣的化學品以供新華謠k u ,, ,K. k· 外条師、或新材料開發；例如，基因晶片 (biochip'DNA chip、cf)i\fA nk·、上 . 、— NAchip)或蛋白質晶片（pr〇tein chip)在平面上佈置成千 g...., 各一卞上萬的板針（probe)用以分析檢驗，例如，在高速篩選ih · . _ _ 、Ulgh throughput screening) 中，必須將不同的試劑加到容 n ^ . ±/v ， j 刀主J 夕孔盤（microplate)中，進 mi這些應用中，有一個共通點就是將多樣性 :傳輸到特定方式排列的位置，以進行後續的反應目前已有手工的或機械式的點陣機（robot 液3制為壓電式噴液形式、熱泡式喷液劑ϋ到固；^ ^ ^液形式，★以接觸沾點的方式將試幻轉!:到固體表面，做為傳輸多樣化試劑的用途。弟1圖顯不在吴國專利第60()13 喷灑系統的簡圖。在第i圄巾，#六2/巧路J禋^知 (,λ ^ 乐1圖中，儲存子系統3 0 0以複數個牟 (rack)的方式顯示，在牟中夂撼,u.、文双似木〇Λ〇木中的母一櫃（bin)包含複數個般 30 2。主控制器304控制整個备. ^ υ 3饭双们盤 ι個糸統，在電腦的訊號下，ρ抑存區域300搬送一或多個^qn9石丁攸儲機料丰㈣8在六工/個盤3〇2下一站30 6。在站30 6時，機）械< 手| 3 0 8係在子半缔狄生丨怒、q Λ n ,.· 系、、死控制夯30 9的控制下，利用微管 —-----_ 破!的液體至位在由

0648-6890TWF1;13900010；Tungm i ng.p t c 第4頁

fmicropiette tips)31〇從盤 3〇2 搬译 w θ + A 曰修正 i號 90] 32(1 祁五、發明說明（2) 子系統控制器3 1 5控制下的維持充 (-1) 3 1 2 7 # #1J, ^ ^ ^ 316，料器318位在傳輸桿32〇、、充真^有維持蓋喷射裝置312在子系統控制器3 制射^置3W，藉此 322。如果噴射裝置312通過:移動至測試站 =。之上。“噴射裝置可開始噴參考第2a和2b圖，盖m 習知的喷灑裝置108，噴麗梦置|〇 63339號揭露另一種豆旦有由一制私哭π说、表置108 一般包括喷灑頭128， χ^!〇, ί：；Π 灑頭_桌112。泵心=向止回間“5而供給至喷麗頭；弓丨：將其經使豆在μ辦肉M旦f 泵驅動器142操作泵120，使，、在λ又體362内延長和收縮活塞丨18。時，試劑130從殼體362流至噴、lsg19s 塞^長喷灑頭則至基材⑴上至；以液滴形式從 η。、喷灑頭128。控制-"4控制泵12〇、χ—γ桌第2b圖顯示基一材m的簡圖。基材""皮分為列714和仃716:其在-既疋距離下有—定數量的目標。沿著第列形成第二路：730 ’接著將噴灑頭128轉向，而沿近的第二列形成第二路徑7 3 4。因為化學考口生物分析為快速成長的領域，需要大 £生物晶片。然而，專利第600 1 309號中揭露

0648-6890TWF1;1390001〇；Tungm ing.pt 541207 曰 ^S_90]_32〇86 五、發明說明（3) 的系統只設有一喷灑裝置，呈一此，生物晶片的製造效率非常低，請動-謂器。因相似地，在美國專利第606333 9號中置一基材，亦即，-次僅可製二片因此，此方法也不適用於大量生產。曰曰另外，習知的裝置速度慢且使用不方便，高，並不適於大量生產。！相對成本有鑑於此，本發明之目的係為了解決上述一種生物晶片製造裝置及方法，其可大量 : 高密度陣列的試劑之生物晶片。產/、上形成有 t么明的另一目的為提供一種生物法，其可增加製造生物晶片的效率。氧以置及方少-ΐ:ί::至片製造裝置，用以將至成-系列的複數個接收=的二:】以移：f材經過排以一系列的方i姑以7 0連迗I置，稷數個喷灑器，的複數個喷灑：置，其（d;:妾：：置：排成-系列當基材位在接收位置；的的：既定位置上；其中灑器喷灑複數個試劑在置H㈣11中對應的喷 G較^實施例中’噴灑器在由基材 Ί，以一既定距離分離，I運：的母夂移動基材既定距離；各 . y 式、的試劑在基材上^；彼此重=使從不㈣灑器噴灑括：用Γ2拉丨的方式排列，且運送裝置包 ------ ί夺I材的基底；以及分別設置在基底上 541207 五、發明說明（4) 的複數個傳輸裝置，用以從喑材至喷麗位置中的下!個從m置中的其中一個移動基位穿^：2置更包括：分別設置在基底上的複數個定 =接：ΐ壤位置對應；以及分別設置在基底上的複 J個抵接件，#與定位裝置對應；其中每一定材至對應於喷湯位罟的一 g乐土在既定位置既疋位置，且抵接件將基材保持的方ur:有溝槽’且每—傳輸裝置包括：以可旋轉的万式设置在基底卜的· 勤其奸曰= 的輪，以及以可穿過溝槽的方式移動基材的梓，其中桿的一端連接凸輪，且盆抵接，藉此桿藉由凸輪的旋轉而移動基材了 /、土在另一較佳實施例中，運送裝持基材的複數個治具；用以在1 A = j收和支 =^在基底上的複數個傳輸裝置，用以從噴灑位置中一個移動治具至喷灑位置中的义 ^ 上的複數個定位裝置，其與喷灑位鹿刀，設二在基底在基底上的複數個抵接件，其與定對：及：：,置定位裝置推治具至對應於喷壤位置 2 ::、中母- 將治具保持在既定位置。置’且抵接件又’基底設有溝槽，且卷_ ^ +Λ UO. 的方式設置在基底上的凸輪；以】：包括：以可旋轉動治具的桿，丨中桿的—端 ^可穿過溝槽的方式移抵接，藉此桿藉，凸輪的旋轉而移二；其另一端與治具，運送裝置電性連接的步!馬；物;“製造裝置更包括：與一、、、用以移動運送裝置既定距曰修」五、發明說明（5) 一離；以及用以偵測基材位置的至少一達電性連接，藉此沿著運送裝置移動的其二，/、/、V進馬感測器的偵測。的基材的動作係依據又，運送裝置包括··用以在其上技送：：及與步進馬達電性連接的兩滚輪：運迗:，其中喷灑器在第一軸上以既定距 = 私動運賀灑器的每一群在與第一軸垂直的第二軸二移^。文群，且在另一較佳實施例中，運送裝置包。性連接的轉子；以及設置在轉子上的平ΐ:::進馬達電放置基材；其中平台為圓形，且喷灑器二環狀^在其上又在本發明中，提供一種生物晶片二。 =-基材製造成至少一晶片，包括以將基材；運送基材經過對應於排成一系歹二c接收而排成-系列的複數個接收位置；數：：灑位置灑複數個試劑至基材上。母贺灑位置噴又接收位置為線性排列或以環狀排列。又，試劑彼此不相互重疊。被以；進；送裝置上被接收，每-基材、咬迗經過各接收位置。沾每二下’就圖式說明本發明之生物晶片製造f置月* 的實施例。衣k表置及方法圖式簡單說明揭露的習知噴

Cgg 第1圖係顯不美國專利第6 0 0 1 3 0 9號中系統之示意圖； 541207 _案號90132086_年月日__ 五、發明說明（6) 第2a圖係顯示美國專利第6 0 63 339號中揭露的另一習知喷灑裝置之示意圖；第2b圖係顯示利用第2a圖所示之喷灑裝置喷灑試劑在基材上的簡圖；第3a圖係顯示本發明之生物晶片製造裝置之第一實施例之示意圖；第3b圖係顯示第3a圖中之部分A之放大圖；第3c圖係顯示本發明的喷灑器的底視圖；第4a至4d圖顯示根據本發明的生物晶片製造方法而在基材上喷灑試劑的連續圖；第5圖係顯示本發明之生物晶片製造裝置之第二實施例之示意圖；第6圖係顯示本發明之生物晶片製造裝置之第三實施例之示意圖；第7a圖係顯示本發明之生物晶片製造裝置之第四實施例之示意圖；以及第7b圖係顯示第7a圖中之部分B之放大圖。 [符號說明] 108、204〜喷灑裝置、 110〜X-Y 桌、 111、4 3 0、5 3 0、6 3 0 〜基材、 112〜桌、 11 4、4 7 0、7 7 0〜控制器、 1 1 8〜活塞、

0648-6890TWF1;13900010;Tungm i ng.p t c 第9頁 541207 案號 90132086 月年修正五、發明說明（7) 120〜泵、 123 、 124 、 550 、 660〜步進馬達、 28、420、520〜噴灑頭、 1 3 0〜試劑、 1 4 2〜驅動器、 3 0 0〜儲存子系統、 302〜盤、 304〜主控制器、 3 0 6〜站、 308、450a、450b、750a、750 b〜機械手臂 3 0 9、3 1 5、3 2 3〜子系統控制器、 3 1 0〜微管、 312〜喷頭、 3 1 6〜維持蓋、 3 1 8〜保持器、 320〜傳輸桿、 3 2 2〜測試站、 334〜喷射位置、 3 3 6〜基板、 362〜殼體、 40 0、5 0 0、6 0 0、70 0 〜製造裝置、 410、 510、610、710〜運送裝置、 411、 711〜基底、 4 1 1 1、7 1 1 1 〜溝槽、 4 1 2、7 1 2〜傳輸裝置、

0648-6890TWF1;13900010;Tungming.ptc 第10頁 541207 _案號90132086_年月日_ 五、發明說明（8) 4121、712卜凸輪、 4122 、 7122〜桿、 413、713〜定位裝置、 4 1 4、7 1 4〜抵接件、 4 2 1〜喷嘴、 440 、 560 、 650 、 740〜晶片、 4 6 0、7 6 0〜摘測裝置、 511〜運送帶、 5 1 2〜滾輪、 52卜群、 5 4 0、6 4 0〜感測器、 5 7 0〜驅動裝置、 6 11〜轉子、 612〜平台、 6 2 0、7 2 0〜喷灑器、 6 3 0、7 3 0〜基材、 7 1 5〜治具、 8 0 6〜目標、 8 1 4〜列、 8 1 6〜行、 8 3 0〜第一路徑、 8 3 4〜第二路徑、 G〜既定距離、 X〜第一抽、 γ〜第二軸。

0648-6890TWF1;13900010;Tungm i ng.p t c 第11頁案號9013刈狀五、發明說明（9) 第一實施例片萝ί m、3b、3。圖，本發明之第-實施例之生物晶可用以將基材430製造成晶片“ο，其包括达#，410以及複數個喷灑器420。個垃Ϊ送ΐ置410用以移動基材430經過排成-系列的複數 1固接收位置，農白虹數個宏你裝罢括一基底複數個傳輸裝置412、複疋位虞置413以及複數個抵接件414。基，411用以接收和支持基材43〇，且設有一溝槽 ,每一傳輪裝置412分別對應於一噴灑器420，且均設在基底4—11上，傳輸裝置412分別包括一凸輪“以以及一干122，每一凸輪4 121以可旋轉的方式設置在基底411 ^;桿4122以可穿過溝槽4111的方式移動基材43〇-，其中杯4 122的一端連接凸輪4121，且其另一端與基材43〇抵接，桿4 122係藉由凸輪41 21的旋轉而沿著在由基材43〇動作方向定義的第一軸X、從對應於一喷灑器42〇之下的一位置移動基材430至對應於相鄰喷灑器42〇之下的另一位置。疋位裝置4 1 3分別設置在基底4 1 1上，且分別對應於一喷灌器420，用以推在基底41 1上的基材430至一既定位置，母二個抵接件4 1 4對應於一定位裝置4 1 3，其分別設置在基底411上’用以與基材430抵接，而與定位裝置413合作將基材4 3 0保持在既定位置。贺灑器4 2 0以一糸列的方式排列，且分別位於運送裝置410之上，且在第一軸X上、以一既定距離G分離，運送裝置410以步進方式、每次移動基材430既定距離g，使基

0648-6890TWF1;13900010；Tungming.ptc 第12頁 541207 ±_η 曰修正案號 90132086 五、發明說明（10) 材430可連續地位於每一喷灑器“ο之下。每一噴灑器“ο 在面對放置基材430的基底411的表面上，具有複數個喷嘴 421，如第3c圖所示，每一喷嘴421可喷灑一既定的試劑在基材430的一既定位置上，因此一喷灑器42〇可喷灑複數個試劑在基材430的不同位置上。應注意的是使從不同噴麗器420喷灑的試劑在基材43〇上的位置彼此不重疊是較佳地，如第4a至4d圖所示。在第4a圖中，由第一喷灑器喷灑出的複數個試劑係以「1」表示，而在第#和4〇圖中，由，續的第p—和第二喷灑器喷灑出的複數個試劑分別以 2」、「3」表不。第4d圖顯示利用九個喷灑器所完成的晶片的一實施例。複數個基材430可同時在運送裝置41 接收且依次運送，每一基材i、富、、，壯一 ^ — 母丞材由運送裝置410以步進方 ί、母次3送距離G ’而依序經過每-喷灑器420之下。在母0«·灑為4 2 0之下，複數個試劑被喷灑在基材㈣上。又：片製造裝置4°〇更包括機械手臂450a、可將美二430搬裝/46G和—控制器470。機械手f450a J將暴材4J0搬送至運读梦番片440你遂接上二機械手臂450b可將晶 .......日^丨〇上搬離；偵測裝置460以一系列的方式排列，且为別對應於喷灑器42〇，用以 = 位於對應的噴灑器420之下，且蔣相、、日丨从田、、土材43〇疋否 ^ Φ] 5| 4 7 0 · ^ 4t1 ^A7 n U 、偵測、、、σ果以訊號輸出至役市〗4 r υ，控制裔4 7 0基於偵測梦制喷灌器420的喷灑。 1裝置偏的偵測結果，控夂量生產生物晶片，藉此可大二接一 ί i λ施例之裝置可 ~—；—；——— ___:耠冋生物晶片的製造效

第13頁因為可同時處理複數個基材，

0648-6890TWF1;13900010;Tungming.ptc 541207 案號 90132086

五、發明說明（11) 率〇應注意的是本發明中的釗#古、、土 … 氣&方法的描述，係以具有喷灑器的：造裝置來說明…，在本發明中，試劑係= m的方=基材上形成。然而，本發明的製造方法並不限於此’例如’試劑也可以接觸的方式在基材上形成，如 pin-spot ° 二在f實施例中’由噴請20噴灑之複數個試劑係排列為一陣列的形式，但這並不限制於此。第二實施例參考第5圖，本發明之楚—趣, 爻第一貫施例之生物晶片製造裝置500可用以將基材530製诰土、曰μ 4 ^ υ衣&成晶片56〇，一置510、複數個喷灑器52〇、_半逸馬、圭…奴 ^裝

少進馬達5 5 0、複數個咸測器540以及複數個驅動裝置57〇。 a J 運送裝置510包括一逯注* 碰 ^ ^ 連迗帶511以及兩滾輪512，運送帶511用以在其上接收和Φ # π , ^ 逆、叹布支撐至少一基材530 ;滾輪512盥步進馬達550電性連接，复田、，、比^ Γ1 , 受具用以沿一第一軸X移動運送帶 5 I I ° 在本實施例中，哈、、龍r-

分成複數群521，且每—/群在f 一軸X上以既定距離G 而可在與第一軸X垂直的第與一驅動裝置570電：連；包括複數個喷灑器52°，其分別軸Y上移動。步進馬達550與運详壯、 i…w #职r V破置5 1 0的滾輪5 1 2電性連接，用以移動運送裝置5 1 〇的谨、、，本a I:去運迗帶511既定距離G ;感測器540與步進馬達5 5 0電性連接

第14頁

材5 3 0停止在對應於一… 月曰修正在任一場合且使每一基驅動裝置中，基材530係以步進方★ ”器5 20的下方材53〇可依序位於每—"沿者第一軸X前進當基材530位於—群的各喷灑器之下 570沿著第二軸γ，以步的噴灑器521之下時，驅動裝置喷灑器可依序位於美& 方式移動此群噴灑器521，使各 53〇上方時，複數“劑器，位於基材複數個基材530可同d =基材530上。運送，每-基材53G由運置5H)上被接，且依次距離G，而依序經過每‘ U㊁方）：每次運送器521因γ，複數個試劑被噴在母一群喷灑大量生產生物晶片，_ =才，因此本實施例之裝置可率。猎此了大幅提高生物晶片的製造效卜、=二ΐ的疋機械手臂可被用以將基材搬送至運送裝置纴=^片彳文運运裝置上搬離，而感測器540可將偵測二η ^以/1旒輸出至控制器（未圖示），且控制器基於感測器 5 〇的偵測結果，控制噴灑器52〇的喷灑。第三實施例參考第6圖，本發明之第三實施例之生物晶片製造裝置600可用以將基材63〇製造成晶片65〇，其包括一運送裝置610、複數個喷灑器620、一步進馬達66〇以及複數個感測器640。

案號 9013208R 修正五、發明說明（13) 步進馬達6 6 0電性連接，以由半a 612 ;平a612 1詈^絲v進馬達6 6 0的制動轉動平台十口 biz叹置在轉子6U 口 63〇 ;平台612為圓形，且噴灑1其用以在其上放置基材定距離G分開。運送裝置以壤狀设置’並以既以步進方式、並沿著弧形移動$母一基材630，使基材63〇時，使基材630可位於每一喷距離^ ’以在製造晶片於噴灑器6 2 0下方時，複數個1 :之下。虽基材6 3 0位 it ^ ^ A WRQn灵數個4劑可被喷灑於基材630上。運送ί ί= :同時在運送裝置610上被接收且依次 ΐ:母一基材630由運送裝置“ο以步進方式、每次運送 ^離G，而依序經過每—喷丨麗器62()之下。在每 6二之下數個試劑被喷灑在基脚^。因、可同時處硬數個基巧，本貫施例之裝置可大量生產生物晶片，藉可大幅提咼生物晶片的製造效率。應了解的是機械手臂可被用以將基材搬送至運送裝置上、或將晶片從運送裝置上搬離，而感測器64〇可將偵測結果以訊號輸出至控制器（未圖示），且控制器基於感測器 640的偵測結果，控制噴灑器62〇的喷灑。第四實施例

參考第7a、7b圖，本發明之第四實施例之生物晶片製造裝置700可用以將基材730製造成晶片74〇，其包括一運送裝置7 1 0以及複數個喷灑器7 2 0。運送裝置710包括一基底711、複數個傳輸裝置712、複數個定位裝置7 1 3、複數個抵接件7丨4以及複數個治具 7 1 5。基底7 11用以接收和支持治具7 1 5，且設有一溝槽

0648-6890TWF1;13900010;Tungm i ng.p t c 第16頁 541207

^ ,每一傳輸裝置7 1 2分別對應於一喷灑器7 2 0，且分別二七执凸輪7121以及一桿7122，每一凸輪7121以可旋轉的銘1置在基底71 1上；桿7 122以可穿過溝槽71 1 1的方式一 * =具715，其中桿7122的一端連接凸輪7121，且其另 —=二冶具715抵接，桿7122係藉由凸輪7121的旋轉而沿 =第一轴X、從對應於一喷灑器72〇之下的一位置移動治具 5至^對應於相鄰喷灑器720之下的另一位置。 ^…疋位凌置7 1 3分別設置在基底7 1 1上，且分別對應於一喷灑一20 ’用以推在基底Π1上的治具715至一既定位置’每二個抵接件7丨4對應於一定位裝置7丨3，其分別設置 f基底711上，用以與治具715抵接，而與定位裝置合 4將/σ具7 1 5保持在既定位置。治具7 1 5設置在基底7 11 上’用以接收和支持基材7 3 〇。噴灑器7 2 0以一系列的方式排列，且位於運送裝置7 ^ 〇之上且在第一軸X上、以一既定距離g分離，運送裝置 7 1 〇以步進方式、每次移動治具7 1 5既定距離G，使設置在二具715上的基材730可連續地位於每一喷灑器ho之下。每一喷灑器720在面對放置基材73〇的治具715的表面上，具有複數個喷嘴（未圖示，與第一實施例相同），每一喷嘴可喷灑一既定的試劑在基材73〇的一既定位置上，因此一喷，器720可喷灑複數個試劑在基材73〇的不同位置上。應注意的是使從不同喷灑器72〇喷灑的試劑在基材73〇上的位置彼此不重疊是較佳地。複數個基材730可同時在運送裝置71〇的治具715上被接收且依次運送，每一基材73〇由運送裝置7丨〇以步進方 11； 1 R ___ 画__ 1 111 Ιη1ΙΙΙ·Ι 0648-6890TWF1;1390001〇;Tungming.ptc 第17頁 541207 Λ_η 曰一修正 i 號 90132f)Sfi_ 五、發明說明（15) ，每人運送距離G，而依序經過每一上 ^5〇b ^ ' 可械= 衣戟有日日片7 4 0的治具7 η你、富上搬離；偵測裝置76〇以運仫裝置710 噴灑器720，用以偵测裝载有基式\列，分別對應於對應的噴灑器720之下，且將^ 、治具7〗5是否位於器770 ;㈣器770基於 <貞測裝貞置^ 2訊號輸出至控制灑器7 2 0的噴灑。、的谓測結果’控制喷因為可同時處理複數個基大量生產生物晶片，藉此可大幅提=貫施例之裝置可率。徒回生物晶片的製造效另外，因為在本實施例中，美止基材在運送中遭受損壞。土 $係由治具支持，可防雖然本發明已以較佳實施例揭露限定本發明，任何熟習此項技藝者，上，然其並非用以神和範圍内，當可作些許之更^盥、在不脫離本發明之精護範圍當視後附之申請專利範圍^ 因此本發明之保 1界定者為準。第18頁〇648-6890Wl;1390〇〇l〇；Tuneming.ptc

Claims

541207 /、申凊專利範圍 1 · 一種生物晶片製造裝置，用以將至少一基材製造成至少一晶片，包括：運运裝置，用以移動該基材經過複數個排成一系列的接收位置；複數個喷灑器，以一系列的方式排列，位於相對於該 j接收位置而排成一系列的複數個喷灑位置，其中每一該等贺麗器具有複數個喷嘴，且各兮楚試劑在該基材的一既定：置ΐ母5…嘴喷灌-既定的其中當該基材位在該等接收位置中的—位置時，在該專噴灑器中對應的喷灑器噴灑複數個試劑在該基材上。 2.如申請專利範圍第1項所述的生物晶片 ”中該等錢H在由該基材動作方向定義二、 ::定距離分離，且該運送裝置以步進方 :: 基材該既定距離。移動该使士3: f中請專利範圍第2項所述的生物晶片製造F晋， ς :等喷灑器以使從不同噴灑器喷、：彼此重疊的方式排列。在基材上不 4*如"專利範㈣3項所述的生其中該運送裝置包括： A表仏裝置， =基底，用以接收和支持該基材；以及複數個傳輸裝置，分別喷灑位置中的直中一徊较心置在4基底上，用以從該等一個。，、中個移動該基材至該等嘴壤位置中的； 2申請專利範圍第4項所述的生其中该運送裝置更包括： Aik凌置， ------ - 第19頁 0648-6890TWl；13900010;Tungming(ptc 541207 901 六、申請專利範圍複數個定位裝置灑位置對應；以及複數個抵接件，分別設置在該基底上，且與該等定位裝置對應；曰修正分別設置在該基底上，且與該等喷其中每一定位裝一既定位置，且該等 6 ·如申請專利範其中該基底設有一溝一凸輪，以可旋一桿，以可穿過的一端連接該凸輪，藉由該凸輪的旋轉移 7 ·如申請專利範其中該運送裝置包括複數個治具，用一基底，用以在複數個傳輸裝置喷灑位置中的其中一一個。 8 ·如申請專利範其中該運送裝置更包複數個定位裝置麗位置對應；以及複數個抵接件，裝置對應；置推該基材至對應於該等喷灑位置的抵接件將該基材保持在該既定位置。圍第5項所述的生物晶片製造裝置’ 槽，且每一傳輸裝置包括：轉的方式設置在該基底上；以及該溝槽的方式移動該基材，其中該桿且其另一端與該基材抵接，藉此該桿動該基材。圍第3項所述的生物晶片製造裝置，以接收和支持該基材；其上放置該等治具；以及，分別設置在該基底上，用以從該等個移動該治具至該等喷灑位置中的下圍第7項所述的生物晶片製造裝置，括： ’分別設置在該基底上，且與該等喷分別設置在該基底上，且與該等定位

第20頁 541207 銮號 90132086 曰六、申請專利範圍其中每 —^ ^ ^ 一既定位置，且4專抵接件將砂， 9 ·如申請專利範圍第8項所述… … 其中該基底設有一溝槽，且每一傳輸裝置包括一凸輪，以可旋轉的方式設置在該基底上一桿，以可穿過該溝槽的方式移動該治具連接該凸輪’且其另一端與該治具抵接定位裝置推該治具至對應於該等喷灑位置的且該箄乜拉从#該治具保持在該既定位置的生物晶片製造裝置，的一端以及其中該桿藉此該桿藉由該凸輪的旋轉移動該治具。 1 0·如申請專利範圍第3項所述的生物晶片製造裝置，更包括· 一步進馬達，與該運送裝置電性連接，用以送裝置該既定距離；以及切邊運至少-感測器，用以偵測該基材達電性連接，藉此沿著該運详驶番较& /、成步途馬依據該感測器的偵測結[、動的該基材的動作係 11·如申請專利範圍第10項所述置，其中該運送裝置包括：王物曰曰月I造裝一運送帶，用以在其上接雨宁鈐，盥兮牛W β 按收和支撑該基材；以及兩澴輪，興3步進馬達電性夂帶。，且用以移動該運送 1 2 ·如申請專利範圍第丨i項所其中該等喷灑器在該第一轴、的生物晶片製造裝且該等噴灑器的每一群在鱼^ =該既定距離分成複數上移動。，、w弟—軸垂直的—第二轴 1 3 · h中請專利範圍第1 〇項所麵職--物晶片製造裂置群

0648-6890TWF1;13900010;Tungm i ng.p t c 541207 ___案號9013208^__年月修正六、申請專利範圍置，其中該運送裝置包括：一轉子，與該步進馬達電性連换；以及一平台，設置在該轉子上，且用以在其上放置該基材。 1 4 ·如申請專利範圍第丨3項所述的生物晶片製造裝置’其中該平台為圓形，且該等喷藏器以一環狀设置。 1 5 ·如申請專利範圍第1項所述的生物晶片製造裝置’ 其中該喷灑之複數個試劑可排列為/陣列的形式。 1 6 · —種生物晶片製造方法，用以將至少一基材製造成至少一晶片，包括：在一運送裝置上接收該基材；運送該基材經過對應於排成一系列的複數個噴灑位置而排成一系列的複數個接收位置；以及在每一喷灌位置噴灑複數個試劑至該基材上。 1 7 ·如申請專利範圍第1 6項所述的生物晶片製造方法，其中該等接收位置為線性排列。 1 8 ·如申請專利範圍第1 6項所述的生物晶片製造方法，其中該等接收位置為以環狀排列。 19 其 20 法，其等基材 21 法，其法 •如甲#專利範圍第1 6項所述的生物晶片中该等試劑彼此不相互重疊。 •如申請專利範圍第1 6項所述的生物晶片製造申複數個基材同時在該運送裝置上被接收，一被以步進方式運送經過該等接收位置。中該喷灑之複數個竹制叮祕方丨也咕 ^化方 --夂n固试劑可排列為一陣列的步弋

•如申睛專利範圍第i 6項所述的生物 0648-6890TWF1;13900010;Tungm i ng·p t c

541207 ------案號 90132086 _年月_日修正_ 六、申請專利範圍 e一""' -- 2 2 · —種生物晶片製造方法，用以將至少一基材製造成至少一晶片，包括：、w 在一運送裝置上接收該基材；運送該基材經過對應於排成一系列的複數個形成位置而排成一系列的複數個接收位置；以及在每一形成位置形成複數個試劑至該基材上。 2 3 ·如申睛專利範圍第2 2項所述的生物晶片製造方法’其中該等接收位置為線性排列。 2 4 ·如申請專利範圍第2 2項所述的生物晶片製造方法’其中該等接收位置為以環狀排列。 25·如申請專利範圍第22項所述的生物晶片製造方去’其中該等試劑彼此不相互重叠。 26·如申請專利範圍第22項所述的生物晶片製造方法’其中該噴灑之複數個試劑可排列為一陣列的形式。 27·如申請專利範圍第22項所述的生物晶片製造方法’其中複數個基材同時在該運送裝置上被接收，每一該等基材被以步進方式運送經過該等接收位置。

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