TW520458B - Substrate bonding method, bonding device, and method for manufacturing LCD monitor using same - Google Patents

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520458 A7 B7 五、發明説明（1 ) 發明之領域 本發明係關於一種基板貼合方法，基板貼合裝置及液晶 顯示器之製造方法，更詳了之，係關於一種重疊一對基板 ’且在互為相對之一對固定盤上夾住兩基板以使兩基板貼 合的基板貼合方法及基板貼合裝置，以及在貼合一對基板 之後’在該等基板間注入液晶的液晶顯示器之製造方法。 發明之背景 以往，重疊一對基板，且在互為相對之一對固定盤上夾 住及貼合兩基板的基板貼合方法，係被用於各種製品的製 造中。 例如’在典型的液晶顯示器之製造方法中，係在2片玻璃 基板之各自内面上，適當地形成配線層、畫素電極、主動 元件、彩色濾光片等，更利用定向膜被覆該等構件，以得 到2片複合基板。其次，藉由將該等複合基板，以互為相對 之一對固定盤予以夾住並介以密封材料使之貼合。最後， 藉由在2片複合基板之間注入液晶，以形成液晶顯示器。 有關液晶顯示器之製造方法中的基板貼合方法，例如在 曰本專利特開平11-95 181號公報（日本國公開特許公報；公 開日1999年4月9日）中已有具體說明。亦即，如圖1〇(相當於 上述公報之圖1)所示，在元件基板12〇與相對基板13〇之貼 合步驟中，利用壓接頭115從上方介以密封材料（未圖示）將 相對基板130壓接在元件基板120上。 在元件基板120之下方配置有剛性體的台板113 ,在台板 113怎中央部上形成有凹部113&。該凹部113&，係元件基板 -4-

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120及相對基板i3〇之液晶顯示區域a之外緣部附近，而且具 備有比未圖示之密封材料的形成區域還稍微配置於内側的 外緣。在此，凹部113a之外緣，正確來說係位於液晶顯示 區域A之外緣部的稍微外側上。 在剛性體之凹部113a上，配置有緩衝材料ι14。在緩衝材 料114上，形成有與凹部i13a之形狀一致的貫穿部114b，依 凹部113a與貫穿部114b，就可使稍微比對應於元件基板ι2〇 之液晶顯示區域A的部分還稍微寬的外面部分，不接觸到台 板113及緩衝材料114。藉此，即使在元件基板12〇與台板 113之間夾住破片或異物，亦可防止在液晶顯示區域A之元 件基板120的外面上受傷。 又’用以取代在台板113上設置凹部113a者，亦有如圖ιι( 相當於日本專利特開平11-95181號公報之圖3)所示，藉由在 緩衝材料117上設置貫穿部117b(或凹部）以形成非接觸部分 的方法。 再者，如圖11所示，亦有藉由在壓接頭116之加壓面116& 的中央部形成凹部116b，以防止在液晶顯示區域a之相對基 板130之外面上受傷的方法。該凹部丨16b之外緣，係在液晶 顯示區域A之外緣部附近，且位於比未圖示之密封材料之形 成區域還稍微内側。 然而，在上述基板貼合方法中，仍有如下所示之問題點。 首先’即使在使用形成有如圖10所示之凹部113 b之剛性 體之台板113(或是具備非接觸部的台板113)的方法、或如圖 11所示藉由在緩衝材料114設置貫穿部U4b(或是凹部）以形 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐) 520458 A7

成非接觸部的方法中之任一個，配置於剛性體之台板丨i3與 元件基板120之間的緩衝材料114，由於未固定在台板113上 或兀>件基板120上，所以會輕易錯開。因此，常常會在台板 Π3與、k衝材料114之間、或緩衝材料ιι4與元件基板12〇之 間發生位置錯開情形，而難以使台板113上之元件基板12〇 進行正確的位置對準。結果，基板間隔（基板ΐ2〇 · 間之 間隙）就會變得不均等，或基板12〇 · 13〇之對準精度會降低 由於咸基板間隔之不均等性或不穩定性、對準精度之降 低所以要在基板120 · 13〇全面上邊正確且穩定地維持稍 微一定的基板間隔（單元件係為數# m左右），而邊要量產液 晶顯示器，實際上是非常困難的。 又，緩衝材料114，由於係利用厚紙之重疊等所製成，所 以強度低，重覆使用（耐久性）之可靠度也差。因此，由此種 厚、’我之重逆等所製成的緩衝材料114，為了要量產液晶顯示 器而重覆使用於基板貼合上就會發生問題，實際上，是無 法使用的。又，緩衝材料丨14，由於係由厚紙之重疊等所製 成，所以即使在台板113上進行真空吸附，亦很難完全固定 ，且會輕易錯開。因此，會招致基板12〇 · 13〇間之間隙的 不均等、或基板120 · 130之對準精度的惡化。 再者，在使用形成有如圖1 〇所示之凹部丨丨3b之剛性體之 台板113(或是具備非接觸部之台板113)的方法中，亦有如下 之問題點。亦即，在每次變更製造對象之液晶顯示器的尺 寸時，並非只是將緩衝材料114交換成具有對應液晶顯示器 之尺寸的貫穿部114b者，就連台板i13也必須交換成具有對 -6 - 520458

應液晶顯示器之尺寸的凹部1 13b。因此就無法輕易對應各 式各樣尺寸的液晶顯示器。 又，在上述公報中，係揭示有一種在圖i i所示之構成中 ’更對形成有凹部116b之壓接頭116的加壓面116a貼附具有 凹部之緩衝材料的實施例。然而，並在上述公報中，並未 揭不對平坦的加壓面116a上貼附具有凹部之緩衝材料的内 容。因此’每次在變更製造對象之液晶顯示器的尺寸時， 壓接頭116也必須交換成具有對應液晶顯示器之尺寸大小的 凹部116b。因此，無法輕易對應各式各樣尺寸的液晶顯示 器。 發明之摘要 本發明之目的在於提供一種可輕易對應各式各樣尺寸之 貼合基板製造的基板貼合方法。 本發明之基板貼合方法，為了達成上述目的，其係將由 平板之中央部形成凹部所成的一對罩具，以兩罩具之凹部 互為相對的方式，配置在互為相對的一對固定盤上，並介 以上述罩具在上述兩固定盤上重疊夾住一對基板，以貼合 上述兩基板。 又，本發明之基板貼合方法，其亦可將由平板之中央部 形成凹部且在凹部内設置突出部所成的罩具，以罩具之凹 部與另一方之固定盤相對的方式配置在互為相對之一對固 ，盤的至少一彳上，並介以上述罩具在上述兩固定盤上重 疊夾住一對基板，以貼合上述兩基板。 更且’本發明之基板貼合方法，其亦可將由平板之中央

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520458 五、發明説明（5 部形成凹部且在凹部以外之部分上形成貫穿孔所成的罩具 ，以罩具之凹部與另一方之固定盤相對的方式配置在互為 相對之固定盤的至少一方上，並藉由從設在上述固定般上 疋基板吸附孔進行真空吸引，介以上述罩具在上述兩^定 盤上重疊夾住一對基板，以貼合上述兩基板。 在上述基板貼合方法中，由於在罩具上有凹部，所以基 板表面之中央部與罩具之凹部相對的表面，不會與罩具^目 接觸。因此，在罩具之凹部與基板相對的區域中，即使在 罩具與基板之間有基板之破片或異物等，基板之破片或異 物等亦會進入罩具之凹部内。結果，可迴避基板之破片或 異物等對與罩具之凹部相對的基板之外側表面施加局部壓 力的情形。故而，可防止在與罩具之凹部相對的基板之外 側表面上受傷。換了之，可利用罩具之凹部防止異物等傷 及基板之外側表面。 又，在使用已貼合之基板以製造液晶顯示器時，一般而 舌雖然由塑膠聯珠（plastic beads)所製成的間隔件（8沖“〇係 配置在基板之内側，但是當在基板之外側表面上施加局部 的壓力時，基板之破片或異物等就會將基板壓接間隔件， 而傷及基板之内側表面。然而，若依據上述方法，由於不 會對與罩具之凹部相對的基板之外側表面施加局部的壓力 ’所以亦可防止傷及該部分之基板的内側表面。 因而，例如，若利用由已貼合基板之罩具的凹部來保護 的部分以製造液晶顯示器，則可獲得顯示畫面（顯示區域）沒 有受傷的液晶顯示器。 -8- S張尺度適用中國國兩咖) 以 U458

又’若依據上述方法，則由於罩具與基板表面之接觸面 積可縮小，所以可減少異物等夾人於與基板之間的量。故 而可減少奋生於罩具表面上的受傷量。 :，若依據上述方法，則在基板與罩具之凹部相對的區 1 由於在基板之外侧表面與加壓面之間沒有夾入異物 寺所以不會因被夾入之異物等的影響而局部縮窄基板間 :間隔（間隙）。故而’可均等地保持基板間之間隔，且可獲 件具有均等間隙的貼合基板。 =且’若依據上述方法，則由於係將_對罩具分別配置 ;各固足盤上，所以可防止在任一基板表面上受傷，同時 即使對於任-個固^盤亦可防止因異物等而受傷。更且， 由於利用罩具之交換可輕易進行凹部之尺寸變更，所以可 μ易1應八有各式各樣尺寸之液晶顯示區域之液晶顯示器 寺的各式各樣尺寸之貼合基板。 4本發明之更其他之目的、特徵、及優點，依如下所示之 6己載即可无分了解。而且’本發明之好處，在參照附圖之 如下說明中即可明白。 圖式之簡單說明 、圖1係顯示本發明之-實施形態之基板貼合裝置的概略構 成截面圖。 圖2係顯示固定於.之上載置台上的罩具之概略構成的 平面圖。 圖3係說明固定於圖1之上載置台上的罩具、與液晶顯示 區域之關係的概略平面圖。 -9- 本·紙張尺度適用中國國家標準τ^^^〇χ297公董）—---

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線 520458 A7 ------------B7___._ 五、發明説明（7 ) 圖4係顯示本發明另一實施形態之罩具之概略構成的平面 圖。 圖5(a)係顯tf本發明之更另一實施形態之罩具之概略構成 的平面圖。 圖5(b)係顯不本發明之更另一實施形態之罩具之概略構成 的截面圖。 圖6係顯示本發明之更另一實施形態之罩具之概略構成的 平面圖。 圖7係顯示本發明之更另一實施形態之罩具之概略構成的 平面圖。 圖8係顯示比較例之基板貼合裝置之概略構成的截面圖。 圖9係在上述之比較例的貼合裝置中，顯示基板固定於上 載置台上之樣態的概田各平面圖。 圖10係顯示習知之基板貼合裝置之一例的截面圖。 圖11係顯示習知之基板貼合裝置之另一例的截面圖。 具體例之說明 [比較例] 在說明本發明之前，先將發現本發明之基礎技術當作比 較例來加以說明。發現本發明之基礎技術，係液晶顯示器 之製造方法。 其次，有關用於該比較例之液晶顯示器之製造方法中之 基板貼合步驟的貼合裝置，係根據圖8及圖9加以說明。另 外，圖8係顯示貼合裝置之構成的截面圖，圖9係顯示使彩 色濾光片基板吸附在貼合裝置之上載置台上之樣態的平面 -10 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐)

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圖。 如圖8所示，該比較例之貼合裝置，係具備有由互為相對 且具有平行半面之金屬等所製成的上載置台（固定盤）25及下 載置台（固定盤）26。在該貼合裝置中，係介以由熱硬化型樹 脂所製成的密封材料27與由塑膠聯珠等所製成的間隔件28 ’將已重登之CF(彩色滤光片）基板23及TFT(薄膜電晶體）基 板24(以下，適當地將該等統稱為兩基板23 · 24)，爽入上載 置台25及下載置台26(以下，適當地將該等統稱為載置台25 • 26)之間並予以壓接。 另外’ CF基板23，係在玻璃基板上配置彩色滤光片且由 定向膜等所被覆者。又，TFT基板24，係在玻璃基板上配置 液晶驅動元件之薄膜電晶體或畫素電極等且由定向膜等所 被覆者。 在上載置台25及下載置台26互為相對的平面上，分別設 有多數個基板吸附孔29及30。基板吸附孔29，係利用真空 吸引使CF基板23吸附固定在上載置台25上，並通過上載置 台25内之導管與未圖示之真空泵等的真空吸引機連接。又 ，基板吸附孔30，係利用真空吸引使TFT基板24吸附固定在 下載置台26上者，且通過下載置台26内之導管與未圖示之 真空泵等的真空吸引機連接。 如圖9所示，在CF基板23上，有四個對準標記（對準用的 標1己器）23 a設於其四角隅。又，雖然未圖示，但是在TFT基 板24上亦有四個對準標記分別設在對應cf基板23上之四個 對準標記23a的位置上。 -11- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公董) 520458 A7 _B7_._ 五、發明説明（9 ) 又，在上載置台25及下載置台26上，設有四個對準用之 攝影孔25a及四個對準用之攝影孔26a分別貫穿於對應對準 標記23a的位置上。設有上載置台25中之攝影孔25a的位置 上，係設有用以攝影該等對準標記之四個對準用的攝影機 33(有二個未圖示），俾於識別CF基板23上之四個對準標記 23a與TFT基板24上之四個對準標記的位置是否一致。另一 方面，在下載置台26上，設有四個作為光源的背面光源34( 有二個未圖示），俾依對準時之攝影機33進行攝影。 在上載置台25上，設有四個貫穿於四角隅之預定位置上 的紫外線照射用孔25b。又，設有上載置台25中之紫外線照 射用孔25b的位置上，設有四個紫外線照射光源35(有二個 未圖示）用以對塗佈在兩基板23 · 24之四個部位上的紫外線 硬化型樹脂照射紫外線。 另外，攝影機33與背面光源34，亦可安裝在相反的位置 上。又，紫外線照射光源35及紫外線照射用孔25b，並非要 設在上載置台25上，亦可設在下載置台26上。 其次，就使用上述貼合裝置之液晶顯示器之製造方法加 以說明。 首先，在進行貼合步驟時，係將用以將單元間隙（兩基板 23 · 24之間隔）保持於一定的間隔件28散佈於TFT基板24上 。又，將暫時使兩基板23 · 24黏接的紫外線硬化型樹脂（未 圖示）塗佈在兩基板23· 24之四角隅的預定位置上。更且， 在CF基板23上，利用描繪、印刷等形成密封材料27以包圍 液晶顯示區域36。另外，密封材料27及間隔件28，亦可設 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐） 520458 A7 _B7_._ 五、發明説明（1Q ) 在CF基板23及TFT基板24之任何一邊上。 其次，使用上述之貼合裝置，進行使CF基板23與TFT基 板24貼合的貼合步驟。亦即，將兩基板23 · 24配置成使由 定向膜等所被覆的面成為相對，並介以均等地保持單元間 隙（兩基板23 · 24之間隔）的間隔件28、及液晶密封用的密封 材料27使之精度佳地貼合。 以下，係就CF基板23與TFT基板24之貼合方法加以說明。 首先，介以基板吸附孔29及基板吸附孔30進行真空吸引 ，以使CF基板23及TFT基板24分別真空吸附在上載置台25 及下載置台26上。 接著，進行兩基板23 · 24之位置對準。亦即，利用四個 攝影機33，通過設於上載置台25上的對準用攝影孔25a，攝 影CF基板23上之四個對準標記23 a與TFT基板24上之四個對 準標記。然後，根據該攝影結果以使該等對準標記互為重 疊的方式移動上載置台25或下載置台26,藉以進行兩基板 23 · 24之間的位置對準。上載置台25或下載置台26之移動 ，係利用未圖示之（X、Y、0 )驅動裝置來控制X座標（與兩 基板23 · 24之一邊平行的X軸座標）及Y座標（與兩基板23 · 24平行，且與X軸垂直的Y軸座標）藉以進行者。 其次，藉由使下載置台26沿著與兩基板23 · 24垂直之Z軸 (0軸）朝上方移動，以使兩基板23 · 24之間的間隙接近間隔 件28之直徑而壓接兩基板23 · 24。 之後，從四個紫外線照射光源35通過紫外線照射用孔25b ，以對塗佈有兩基板23 · 24間之紫外線硬化型樹脂的部位 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐） _ 裝 訂

520458 A7 B7 五、發明説明（11 ) 照射紫外線。藉此，紫外線硬化型樹脂就會硬化，且兩基 板23 · 24會暫時黏接。 如此，貼合步驟，係藉由使兩基板23 · 24之位置對準， 且利用紫外線硬化型樹脂介以密封材料27使兩基板23 · 24 貼合，並以一定的尺寸精度暫時黏接及固定兩基板23 · 24 的步驟。 在該貼合步騾之後，進行利用燒成使密封材料27硬化的 密封材料硬化步驟，其次，在密封材料27之位置上切除已 貼合之兩基板23 · 24之後，且在以貼合之兩基板23 · 24之 間隙内注入液晶之後，藉由密封，以完成液晶顯示面板（液 晶顯TF器）。 然而，在該比較例之基板貼合方法中，係在上載置台25 及下載置台26上使兩基板23· 24之單面全體接觸之狀態下 ，進行兩基板23 · 24之貼合。因此，在載置台25 · 26上若 有兩基板23 · 24之破片（亦即，玻璃破片）或異物等的話，則 該等就會被帶入兩基板23 · 24之間。結果，在兩基板23 · 24之外側表面，甚至於兩基板23 · 24之内側的定向膜等上 就會受傷，結果，會產出多量的不良品。更且，因兩基板 23 · 24之破片或異物等的因素，會使兩基板23 · 24間之間 隙變得不均等，或使兩基板23 · 24間之暫時黏接對準精度 惡化的情形。又，由於載置台25 · 26之表面亦會因該異物 等而受傷，所以在貼合裝置本體及液晶顯示面板之製造中 也會發生不良情況。 [實施形態1] -14- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210 X 297公釐） 520458 A7

五、發明説明（13 ) 又，雖，然未圖示，但是在TFT基板4上亦有四個對準標 別設在對應CF基板3上之四個對準標記的位置上。β刀 又，在上載置台5及下載置台6上，設有四個對準用 影孔5a及四個料用之卿杨分別貫穿於對應對準 的位置上。設有上載置台5中之攝影孔5a的位置上，係I; 贱攝影該等對準標記之四個對準用賴影機13(有二^未 圖不），俾於識別CF基板3上之四個對準標記與TFT基板4上 之四個對準標記的位置是否-致。另-方面，在下載置台6 上，設有四個作為光源的背面光源14(有二個未圖示），俾依 對準時之攝影機13進行攝影。 在上載置台5上，設有四個貫穿於四角隅之預定位置上的 紫外線照射用孔又，設有上載置台5中之紫外線照射用 孔5b的位置上’設有四個紫外線照射光㈣（有二個未圖示） 用以對塗佈在兩基板3 · 4之四個部位上的紫外線硬化型樹 脂照射紫外線。 另外，攝影機13與背面光源14,亦可安裝在相反的位置 上。又，紫外線照射光源15及紫外線照射用孔讣，並非要 設在上載置台5上，亦可設在下載置台6上。 本實施形態之貼合裝置，雖然有關以上之構成係與前述 比較例之貼合裝置相同，但是與前述比較例之貼合裝置不 同者，係设置在由平板之中央部形成凹部la· 2&所成的罩 具1 · 2，以在載置台5 · 6上使凹部la · 2a分別與兩基板3 · 4相對。另外，安裝於上載置台5下面之上側罩具1的數量， 及安裝於下載置台6上面之下側罩具2的數量，在此雖皆為i 14 五、發明説明（ 個，但是亦可將單古、、 可位於上下面之任何::::為複數個。更且，罩具，亦 尺Π是2::3:U.2a，雖可為對應液晶顯示區域16的 尺寸仁疋如圖3所示，較 區域16的矩形。如此，茲山 了稍微大於履晶顯π 猎由將罩具1 · 2之凹部la· 2a設為 稍Μ大於液晶顯示區域16 ^ p j β曰翻- re $ 6的尺寸，即可更加確實地防止在 履曰…區域16上受傷的情形。另外 化圖式，而未圖示對準俨t 冯ί要間 旱铋兒孔1c· 2〇或紫外線照射用貫穿孔 1 d 〇 又^如圖1所不，罩具i · 2之凹部ia· 2a，係以密封材料 可均寺艮好地壓製形成的方式設在比液晶顯示器之密封材 料7的形成區域還内側。然而，密封材料7若可均等良好地 壓製形成，則如㈣示，就不-定要將罩具 •2a設在比密封材料7之形成區域還内侧。 在罩具卜2方面，凹部1&·2_外的部分（外緣部）雖鱼兩 基板3· 4相接觸，但是凹部la.2a卻未與兩基板3· 4相接 觸。因此’即使在罩具卜2與兩基板3· 4之間有異物等時 ，由於異物等會進入凹部la，，所以可防止異物等受 到兩基板3 · 4擠壓。故而，不會因異物等而在兩基板3 · * 之外侧表面上發生傷痕。更且，亦不會因異物等的壓力加 在兩基板3 · 4之外侧表面上，而使兩基板3 · 4之定向膜等 受到間隔件8所傷。如此，在本實施形態之貼合方法中，藉 由設置罩具！· 2，就可將已貼合之兩基板3· 4的不良發^ 率抑制得很低。因而，可提高液晶顯示器之良率。 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X297公釐） 520458 A7

當罩具1 · 2，隨著製造對象之液晶顯示器（液晶顯示單元 圖案）之變更而變更液晶顯示區域丨6之尺寸時，則較佳者係 X換成具有對應液晶顯示區域16之大小尺寸的凹部1 & · u 。藉此，就可以最適於製造對象之液晶顯示器的貼合條件 來貼合兩基板3 · 4。因而，就可輕易對應各式各樣尺寸的 液晶顯示器，且可實現最佳的貼合。 罩具1 · 2，係利用真空吸引吸附及固定在載置台5 · 6上 。該罩具1 · 2之吸附，可與基板3 · 4之吸附獨立進行。又 ’罩具1 · 2，藉由對載置台5 · 6解除吸附即可輕易進行交 換。為了要利用上述之真空吸引以吸附及固定罩具1 · 2， 而在載置台5 · 6之互為相對的面上，設有利用真空吸引以 固定罩具用之作為罩具吸附用真空溝的罩具吸附溝（罩具吸 附孔）11 · 12，而該罩具吸附溝丨丨· 12係挖掘至與罩具1 · 2 相接觸的位置上。罩具吸附溝丨丨· 12，亦接觸到未圖示之 真空泵等的真空吸引機上。 在罩具1 · 2上，形成有用以使兩基板3 · 4吸附在載置台5 • 6上的貫穿孔lb · 2b。該貫穿孔lb · 2b，並未設在液晶顯 示區域16上，而是設在與凹部ia· 2a以外部分之基板吸附 孔9 · 10相對應的位置上。藉此，就可藉由從設於載置台5 • 6上的基板吸附孔9 · 1 〇開始真空吸引，並介以罩具1 · 2 之貫穿孔lb · 2b而使兩基板3 · 4吸附及固定在載置台5 · 6 上。又，該兩基板3· 4之吸附，可在拔除兩基板3·4時解 除。另外，罩具1 · 2對載置台5 · 6的吸附，係經常進行著 ，而另一方面，兩基板3·4對載置台5·6的吸附，則可適 -18- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐) 520458

當地執行（ON)/解除（off)。 再者，如圖1及圖2所示，在罩具丨· 2上，設有定位用的 對準標記孔（對準用的貫穿孔）lc· 2c ,其分別貫穿至對應載 置台5· 6之攝影孔5a·以的位置上。藉由使用該對準標記 孔lc*2c以進行罩具1φ2的位置對準，即可對載置台5·^ 精度佳地固定罩具1·2。 又，在如圖1及圖2所示，罩具丨· 2上，設有紫外線照射 用之貫穿孔Id，其貫穿至對應上載置台5之紫外線照射用孔 5b的位置上。藉此，由紫外線照射光源15所照射來的紫外 線，就可通過紫外線照射用孔5b及紫外線照射用貫穿孔Η 而到達夾持於兩基板3 · 4間的紫外線硬化型樹脂上。 其次，就罩具1 · 2之材質及尺寸加以說明。 罩具1 · 2，較佳者為，例如係由肥粒鐵系不銹鋼之丨種的 SUS430、合金42等的金屬材料所製成，更佳者為，由 SUS430所製成。 罩具1 · 厚度（凹部la · 2&以外部分之厚度），係為 以下，較佳者為，例如設定在〇·5ιηιη或lmm。藉此，罩具j • 2的重量就會變得比較輕。例如，由至SUS43〇所製成的罩 具1 · 2之重量’係成為厚度若為〇 5mm則重量為63〇g〜 左右，厚度若為1mm則重量為1260g〜1500g左右。因此，就 可提高製造步驟中的罩具1 · 2之處理性。而且，藉由將罩 具1·2之厚度形成比SUS430還薄1mm以下，即可將罩具1· 2之成本抑制得比較低。 罩具1· 2之凹部la· 2a的深度，較佳者為，設定在罩具1 -19- 本紙張尺度適用巾® ®家標準(CNS) A4規格(210X297公爱)麵 "" - 裝 訂

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•2之厚度的50%。因而，罩具1#2之凹部la.2a的深度， 車乂佳者為’罩具1·2之厚度若為則設定在〇.5mm。又， 罩具1 · 2之面積，通常為lm2以下。 。其次，錢用上述貼合裝置之基板貼合方法及液晶顯示 器之製造方法的一例加以說明。 裝 在本實施形態之液晶顯示器之製造方法中，首先，在進 行貼a步騍之則，將用以將單元間隙（兩基板3 · 4之間隔）保 持於一定的間隔件8散佈於叮丁基板4上。又，將暫時使兩基 板3 · 4黏接的紫外線硬化樹脂（未圖示）塗佈在兩基板3 · *之 四^隅的特定位置上。再者，在CF基板3上，以包圍液晶顯 示區域16的方式利用描繪形成密封材料7。另外，密封材料 7及間隔件8，亦可設在兩基板3 · 4之任一邊。 其次，使用上述之貼合裝置，進行用以貼合CF基板3與 訂

線 TFT基板4的貼合㈣。亦即，配置成使由定向膜等被覆兩 基板3· 4的面相對，並介以用以將單元間隙（兩基板3· *之 間隔）保持於—定的間隔件8、及液晶密封用的密封材料7使 之精度佳地貼合。 以下，係就CF基板3與TFT基板4之貼合方法，加以詳細 說明。 首先，π掃上載置台5、下載置台6、及罩具丨· 2表面。 其次，精度佳地將罩具設置在上載置台5· 6上並予以 定位。之I ’利用未圖示之機器手臂將CF基板3搬運至上側 之罩具1上。 其次，藉由從基板吸附孔9介以罩具丨之貫穿孔化進行真 •20-

520458 A7 ----------B7____ 五、發明説明（18 ) 空吸引’以使CF基板3真空吸附在上載置台5之下面。此時 ’ CF基板3,預先被定位。因此，cf基板3之位置，不會與 罩具1錯開。再者，同樣地，藉由從基板吸附孔10介以罩具 2之貫穿孔2b進行真空吸引，以使TFT基板4真空吸附在下載 置台6之上面。 接著，使下載置台6上升至上載置台5附近。之後，通過 攝影孔5a及對準標記孔lc ,並利用四個攝影機13，讀取CF 基板3上之四個對準標記與”丁基板4上之四個對準標記。然 後，根據讀取結果，藉由調整下載置台6之位置以使該等對 準標圮互為重疊，以進行兩基板3 · 4之間的位置對準。在 孩下載置台6之位置調整中，在利用未圖示之（χ、γ、驅 動裝置進行比較粗調下載置台6之又座標及γ座標的粗對準 之後，使下載置台6上升與兩基板3 · 4相接，再進行更正確 地微調下載置台6之X座標及γ座標的精密對準。 其次，利用載置台5 · 6對兩基板3 · 4施加某固定壓力再 予以壓接（壓製）。此時，即使在罩具i · 2與兩基板3 · 4之間 或載置台5 · 6與罩具1 · 2之間有異物等，由於在罩具丨· 2 内有凹部la· 2a，所以在液晶顯示區域16上不會施加壓力 。結果，液晶顯示區域16，無受傷之虞而可受到保護。 接著，在此狀態下，自四個紫外線照射光源15通過紫外 線照射用孔5b及紫外線照射用貫穿孔1(1，將紫外線照射在 塗佈著兩基板3 · 4間之紫外線硬化型樹脂的部位上，以使 兩基板3 · 4暫時黏接。 其次’解放載置台5· 6之壓力。亦即’為了要解除㈣ -21- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(21〇 X 297公奢]-------- 520458 A7 B7

五、發明説明（19 ) 板3對上載置台5的吸附，以便從上側之罩具丨輕易剝離兩基 板3 · 4，而從基板吸附孔9進行清靜空氣之吹送（吹氣）。此 時，下載置台6上之TFT基板4，就會保持吸附在下載置台6 上的狀態。 再者，在使下載置台6下降至特定位置之後，同樣地，為 了要解除TFT基板4對下載置台6的吸附，以便從下側之罩具 2輕易剝離基板4，而從基板吸附孔1〇進行清靜空氣之吹送 (吹氣）。之後，利用未圖示之機械手臂等將已貼合之兩基板 3· 4予以貼附並取出。經由以上之作業，以完成貼合步驟。 在孩貼合步騾之後，藉由進行用以使密封材料7硬化的燒 成以密封兩基板3 · 4，接著，將已貼合之兩基板3 · 4在密 封材料7之位置的外側附近予以切斷，且在依貼合之兩基板 3 · 間隙注入液晶之後，藉由密封作業以完成液晶顯示 面板（液晶顯示器）。 如以上所述，在本實施形態中，藉由將由平板之中央部 形成凹部la · 2a所成的罩具1#2,設置成在載置台5·6上 使凹部1 a · 2a分別與兩基板3 · 4相對，即可獲得如下之效 果。 ^ 亦即，首先，藉由在罩具i · 2有凹部la· 2a，則在兩基 板3 · 4之外侧表面（玻璃基板表面）上不會因異物等而受傷。 又，由於異物等所造成的局部壓力不會施加在兩基板3·4 之外側表面上，所以不僅兩基板3 · 4之外側表面不會受傷 ，就連形成有定向膜等的兩基板3 · 4之内側表面亦不會受 傷。再者，對載置台5·6亦不會因異物等而受傷。如此之 -22· 本紙張尺度適财國國冢標準(CNS) Α4規格(210Χ297公董)

裝 訂

線 520458

已貼合之兩基板3·4之間$，可消除受到異物等的 而且可保持均等 置：2本實施形態中，由於係將一對罩具^ 2分別配 罝在載置台5,6t，、 、 可防止在兩基板3·4之任何一個 《又傷㈤時對任一個載置台5 · 6亦可防止因異物等 又傷、再者，利用罩具丨· 2之交換由於可輕易進行凹部 a· h之尺寸變更，所以可輕易對應具有各式各樣尺寸之 硬晶顯示區域的液晶顯示器。 再者，在本實施形態中，由於係使罩具丨· 2及兩基板3· 4真芝吸附及固定在載置台5· 6上，所以更可將已貼合之兩 基板3· 4間之間隔保持於均等，同時更可提高兩基板3·4 間之位置對準。 如以上所述，在本貫施形態之基板貼合裝置中，藉 由使用機械手臂等，即可使貼合操作輕易機械化及完全自 動化。結果，可大幅提高貼合步驟之良率，同時可實現貼 合步驟之成本降低。 [實施形態2] 若根據圖4、圖5(a)及圖5(b)說明本發明之另一實施形態 的話，則如以下所示。另外，為了方便說明起見，在具有 與前述實施形態1中所示的各構件相同機能的構件上，附記 相同的元件編號，並省略其說明。 在本實施形態之基板貼合方法及液晶顯示器之製造方法 中’除了係使用圖4所示之罩具1 · 2以取代圖1及圖2所示之 罩具1 · 2以外，其餘與實施形態1之貼合方法及液晶顯示器 -23- 本紙張尺度適用中國S家標準(CNS) Α4規格(2i〇x的7公釐) "一 520458

之製造方法相同地進行貼合作業。另外，在圖式中表記為 「U2)」，係意味著可使用「丨」或「2」之意。 如圖4所示，在本實施形態中所使用的罩具1#2,係相對 於圖1及圖2所示的罩具1 · 2將作為突出部的肋條（支撐）ie · 2e设在凹部ia · 2a内。另外，在此，為了簡化圖式，而未 圖示對準標記孔lc · 2c或紫外線照射用之貫穿孔id。 肋條le · 2e，係包含有通過罩具i · 2之中心而沿著罩具丄

• 2之長度方向延伸的肋條16· 2e，以及通過罩具1 · 2之中 心而沿著罩具1 · 2之寬度方向（為罩具1 · 2之表面方向，且 與罩具1 · 2之長度方向呈正交的方向）延伸的肋條u · “。 裝 肋條le· 2e，係形成其高度（沿著罩具丨· 2之厚度方向的 尺寸）與罩具1 · 2之厚度相等。藉此，就可確實防止基板3 • 4朝凹部la· 2a側彎曲。有關肋條u·以中之其他方向的 尺寸，係可作多樣的選擇，雖非為特別限定，但是例如沿 著罩具1 · 2之表面方向的寬度係設定為5 mm。

線 肋條le · 2e，只要由與罩具！ · 2之另一部分相同的材料 所構成。藉此，就可同時形成肋條le · 2e與凹部la · 2a。 亦即’肋條1 e · 2e，並非在形成凹部丨a · 2a之後所形成， 而疋可利用蝕刻術形成凹部丨a · 2a，同時更可利用蝕刻術 形成。 如此’即使藉由設置肋條1 e · 2e，使凹部丨a · 2&之尺寸變 大（或是液晶顯示區域16之尺寸變大）時，亦可防止基板3 · 4 麵曲’而維持穩定的基板3 · 4之平面性。 另外’在本實施形態中，基板3 · 4與罩具1 · 2之接觸面 -24- 本紙張尺度適财國國家標準(CNS) A4規格(210X297公董) 520458

積，雖然因肋條le· 2e會接觸到基板3· 4而比實施形態！稍 微變大，但是若與比較例之方法相較則會變小。故而，可 減少夾入於基板3· 4與加壓面之間的玻璃破片•異物等的 量’結果，可減少發生於基板3·4表面的受傷量。 另外，如圖5(a)及圖5(b)所示，即便使用設置支柱lf· 2f 作為突出部的構成之罩具1 · 2，以取代使用圖4所示之構成 的罩具1 · 2，亦可獲得與圖4所示構成之罩具丨· 2同樣的效 果。另外，即使在圖5(a)及圖5(b)中，由於簡化圖式，故未 圖示對準標記孔1 c · 2C或紫外線照射用之貫穿孔丨d。 支柱If及支柱2f，係分別由沿著與罩具i垂直之方向延伸 的4條支柱lf及沿著與罩具2垂直之方向延伸的4條支柱^所 構成。各支柱If· 2f，係分別設計成通過用以連結罩具丨· 2 之中心與凹部1 a · 2a之四角隅的線之中點。 支柱If· 2f，亦形成其高度（沿著罩具} · 2之厚度方向的 尺寸）與罩具1 · 2之厚度相等。藉此，就可確實防止基板3 • 4朝凹部la·〜側彎曲。支柱lf· 2f之形狀及直徑，係可 作多樣的選擇，雖無特別被限定，但是例如只要設為直徑丄 mm的圓柱即可。 支柱1 f · 2f，只要由與罩具1# 2之其他部分相同的構件所 構成即可。藉此，並非係在形成凹部la· 2a之後形成支柱if •2f，而是可利用蝕刻等形成凹部，同時形成支柱^ • 2f 〇 [實施形態3] 若根據圖6說明本發明之更另一實施形態的#，則如以下 •25·

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所示。另外，為了方便說明起見，在具有與前述實施形態i 中所示的各構件相同機能的構件上，附記相同的元件編號 ，並省略其說明。 在本實施形態之基板貼合方法及液晶顯示器之製造方法 中，除了係使用圖6所示之罩具1 · 2以取代圖丨及圖2所示之 罩具1· 2以外，其餘與實施形態丨之貼合方法及液晶顯示器 之製造方法相同地進行貼合作業。 如圖6所示，在本實施形態中所使用的罩具丨· 2，係相對 於圖1及圖2所示的罩具ι·2，將通氣於凹部la· 2a與罩具i • 2之側面之間的漏洩溝lg · 2g設在凹部la · 2a内。另外， 在此，為了簡化圖式，而未圖示對準標記孔lc · 2c或紫外 線照射用之貫穿孔Id。 在實施形態1之貼合方法及液晶顯示器之製造方法中，當 將兩基板3· 4吸附於載置台5· 6上時，來自設於真空吸引 之漏洩（真空漏洩），亦即與載置台5 · 6中之罩具1 · 2之外緣 部（凹部la· 2a之周圍）相對之位置上的基板吸附孔9· 1〇之 真空吸引，恐有介以兩基板3 · 4與罩具丨· 2之稍微間隙作 用於凹部la· 2a内之虞。在發生此種的真空吸引之漏洩時 ，凹部la· 2a内就會變成減壓狀態，而兩基板3·4會朝凹 部la · 2a側翹曲，或兩基板3·4不會脫離罩具1φ2。 相對於此，在本實施形態之貼合方法及液晶顯示器之製 造方法中，藉由將通氣於凹部la· 2a與罩具i · 2之侧面之 間的漏洩溝lg· 2g設在凹部la· 2&内，則即使真空吸引之 漏淺作用於凹部la.2a上，由於外面空氣會從罩具1#2之 -26 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Αθΐ格(210X 297公嫠 1------一· 520458 A7 B7 五、發明説明（24 側面通過漏洩溝lg · 2g而流入凹部la · 2a内，所以可防土 凹部la · 2a内變成減壓狀態，並可保持常壓。故而，町迴 避兩基板3 · 4會朝凹部la· 2a側翹曲，或兩基板3·4不會 脫離罩具1 · 2的問題。 [實施形態4] 若根據圖7就本發明之更另一實施形態加以說明的話，則 如以下所示。另外，為了方便說明起見，在具有與前述實 施形態1所示之各構件相同機能的構件上，附記相同的元件 編號’並省略其說明。 在本實施形態之基板貼合方法及液晶顯示器之製造方法 中，除了使用圖7所示之罩具1、2以取代圖所示之罩具 1、2以外，其餘係進行實施形態丨之貼合方法及液晶顯示器 之製造方法相同的貼合。 如圖7所示，在本實施形態中所使用的罩具1，係具有複 數個凹部la的構成，而罩具2 ,係如圖7所示地具有複數個 凹部2a的構成。 若依據上述方法，則在已貼合之兩基板3、4中，可獲得 複數個由凹部la、2a所保護的區域。故而，在由已貼^之 兩基板3、4製造複數個液晶顯示器時，亦即，在所謂多層 的情況’ II由將由凹部la、2a保護的各區域作為各液晶顯 π器之液晶顯示區域16 ,即可不使各液晶顯示器在液晶顯 不區域16上受傷。 另外，在以上之各實施形態中，雖然皆係將罩具、2)配 置在上載置台5及下載置台6之雙方上，但是亦可只配置在 -27- 520458 A7

上載置台5上（亦即，省略罩具2),或只配置在下載置台6上 (亦即，省略罩具丨）。 又，在以上之各實施形態中，雖係就使用熱硬化型樹脂 以作為密封材料7，i使紫外線硬化型樹脂㉟行暫時黏接的 熱硬化型 < 貼合裝置加以說明，但是本發明，亦可適用於 使用紫外線硬化型樹脂以作為密封材料7，且在上載置台5

裝 及下載置台6上使用透光材料（例如，石英）的紫外線硬化型 之貼合裝置中。 訂

又以上之各實施形態中，係舉適於用以製造TFT型液晶 顯示器的CF基板3與TFT基板4之貼合的情況為例而說明本 發明。然而，本發明並無關於製造對象之裝置的種類，例 如液晶驅動方式等，其可適用於貼合玻璃板等基板的步驟 之全部。因❼，本發明纟基板貼合方法及貼合裝置，亦可 適用於用以製造8丁^^型液晶顯示器之上基板與下基板之貼 合，而本發明之液晶顯示器之製造方法，亦可適用於stn :液晶顯示器之製造。U，本發明之基板貼纟方法及貼 合裝置，不僅在液晶顯示器之製造時可適用，即使在其他 裝置之基板貼合時亦可適用。 ，如此，本發明之第一目的，係在於提供一種輕易對應各 式各樣尺寸（貼合基板製造的基板貼合方法及液晶顯示器 之製造方法。又，本發明之第二目的，係在於提供一種即 使在凹部之尺寸變大時亦可穩定維持基板之平面性的基板 貼合方法及液晶顯示器之製造方法。更且，本發明之第三 目的，係在於提供-種可均等地保持所貼合的基板間之間 -28 -

五、發明説明（26 ) 隔，且可提高基板間之貼合精度的基板貼合方法，基板貼 合裝置，及液晶顯示器之製造方法。 本發明之基板貼合方法，其係貼合一對基板，且利用互 為相對的一對固定盤夾住兩基板以使兩基板貼合者，其特 徵為··將由平板之中央部形成凹部所成的一對罩具，以凹 部與基板相對的方式，分別配置在該等固定盤上。 若依據上述方法，則由於在罩具上具有凹部，所以與基 板表面中央部之罩具之凹部相對的表面，不會與罩具接觸 。因此，在罩具之凹部與基板相對的區域中，即使在罩具 與基板之間有基板之破片或異物等，基板之破片或異物等 會進入罩具之凹部内。結果，可迴避基板之破片或異物等 對與罩具之凹部相對的基板之外侧表面施加局部壓力的情 形。故而，可防止在與罩具之凹部相對的基板之外侧表面 上受傷。換言之，可利用罩具之凹部防止異物等傷及基板 之外側表面。 又，在使用已貼合之基板以製造液晶顯示器時，一般而 言雖然由塑膠聯珠（plastic beads)所製成的間隔件（spacer)係 配置在基板之内侧，但是當在基板之外侧表面上施加局部 的壓力時，基板之破片或異物等就會將基板壓接間隔件， :傷及基板之内侧表面。然而，若依據上述方法，由於不 會對與罩具之凹部相對的基板之外侧表面施加局部的壓力 ，所以亦可防止傷及該部分之基板的内侧表面。 而例如，若利用由已貼合之基板之罩具的凹部保護 的部分以製造液晶顯示器，則可獲得顯示畫面（顯示區域）沒 10X297公釐） 本紙張取用中國國家 29- 520458 A7

有受傷的液晶顯示器。 又’若依據上述方法’則Μ罩具與基板表面之接觸面 積可縮小，所以可減少異物等夾人與基板之間的量。故而 ，可減少發生於罩具表面上的受傷量。 :又’若依據上述方法，則在基板與罩具之凹部相對的區 域中，由於在基板之外側表面與加壓面之間沒有夾入異物 寺，所以不會因被夾入之異物等的影響而局部縮窄基板間 =間隔（間隙）。故而’可均等地保持基板間之間隔，且可獲 得具有均等間隙的貼合基板。 而且’若依據上述方法’則由於係將-對罩具分別配置 於各固定盤上，所以可防止在任一基板表面上受傷，同時 即使對於任一個固定盤亦可防止因異物等而受傷。更且， 由於利用罩具之父換可輕易進行凹部之尺寸變更，所以可 輕易對應具有各式各樣尺寸之液晶顯示區域之液晶顯示器 等的各式各樣尺寸之貼合基板。 又，本發明之基板貼合方法，其係貼合一對基板，且利 用互為相對的一對固定盤夾住兩基板以使兩基板貼合者， 其亦可將由平板之中央部形成凹部且在凹部内設置突出部 所成的罩具’以凹部與基板相對的方式配置在該等固定盤 之至少'方。 、若依據上述方法，則藉由在罩具上設置凹部，即可與前 迟之方法同樣，可防止在基板之内側表面及外側表面上受 傷，且可防止傷及罩具表面，而且可獲得具有均等間隙的 貼合基板。 -30· ) 五、發明説明（28 更且，較佳者為，上述突出部之高度，係形成與上述罩 具之厚度相等。 而且’若依據上述方法，則由於係在與基板相對的凹部 内設置突出部’所以即使以-對固定盤夾住基板時基板朝 凹邵側f曲的力施加在基板上，亦可利用突出部來阻止基 板《變形。故而，即使凹部之尺寸變大時，亦可防止基板 朝凹邵侧f曲，且可穩定地維持基板之平面性。 又，本發明之基板貝占合方&，其係貼合一對基板，且利 用互為相對的—對固定盤夾住兩基板以使兩基板貼合者， 其亦可將由平板之中央部形成凹部且在凹部以外之部分上 形成貫穿孔所成的罩具，以凹部與基板相對的方式配置在 这等固疋盤·^至少一方，藉由從設在上述固定盤上之基板 吸附孔進行真空吸引’並介以上述罩具之貫穿孔使基板吸 附及固定在固定盤上。 若依據上述方法，則藉由在罩具上設置凹部，就可與前 述之各方法同樣，可防止在基板之内側表面及外側表面上 爻傷，且可防止傷及罩具表面，而且可獲得具有均等間隙 的貼合基板β 而且，若依據上述方法，則藉由將基板介以罩具固定在 固定盤上’即可均等地保持已貼合之基板間㈣隔，而且 可提高基板間之位置對準的精度。 在使如此的基板吸附及固定在固定盤上的方法中，較佳 者為，在上述罩具上，設置使凹部與罩具之側面之間通氣 的漏洩溝。 本紙張尺度制中國國家標準(CNS) μ規格(21〇χ297公着) -31 - 五、發明説明（29 ) 藉此’即使用以使基板吸附在固定盤上的真空吸引之漏 洩（真空漏洩）作用於凹部上，由於外面空氣亦可從罩具之側 面通過漏洩溝而流入凹部内，所以可防止凹部内減壓。故 而，就可迴避因凹部内減壓而發生基板被拉向凹部側彎曲 的問題。 又，上述各方法中，較佳者為，上述罩具，係由金屬材 料所製成。若依此，則由於罩具係由金屬材料所製成，所 以與厚紙等相較其強度及耐久性皆會變高。故而，可長期 穩定地進行基板貼合。 又若依據上述方法，則由於罩具係由金屬材料所製成 ，所以在從設於固定盤上的孔對基板進行真空吸引並直空 吸附時，可將真空吸引之漏淺抑制得很低。故而，更可緊 緊地較罩具，JL可更提高基板間之間隔的均等性或位置 對準的精度。 又，在上述各方法中，上述罩具，亦可具有複數個凹部。 藉此’就可獲得具有複數個由凹部保護之區域的貼合基 板。故而，例如在從已貼合之一對基板中製作複數個液晶 顯：器時，亦❿，在所謂多層的情況，亦可藉由將由凹部 保護的區域作為各液晶顯示器之顯示區域，而不使各液晶 顯示器之顯示區域受傷。 本發明之基㈣合裝置，其㈣以貼合已重疊之一對基 板’其包含有，一對固定盤，用以夾住兩基板且互糊 ，以及罩具’配置於該等固定盤之至少—方上，而在上述 罩具上’與基板相對之面的中央部形成有凹部，同時於凹 本紙張尺度巾a g家標準(CNS) A4規格(2ι〇χ297公愛) -32- 520458

部以外之部分上形成有貫穿孔，在該等固定盤之互為相對 勺面上 利用真2吸引用以固定基板的基板吸附孔係設 在與上述貫穿孔相對應的位置上，同時一利用真空吸引用 以固定罩具的罩具吸附孔係設在與罩具相接觸的位置上。 若依據上述構成，則利用罩具之凹部，即可保護基板之 外側表面不受到異物等傷害，同時可防止因在基板之外側 表面上施加局部的壓力引起基板之内側表面發生受傷的情 形，而且，可減少發生於罩具表面上的受傷程度。除此之 外，還可防止異物等夾入基板之外側表面與加壓面之間， 並可更均等地保持已貼合之基板間的間隔。 而且，若依據上述構成，則可介以罩具之貫穿孔將基板 固定在固定盤上，同時可利用來自罩具吸附孔之真空吸引 將罩具固定在固定盤上。故而，可更提高基板間之間隔的 均勻性或位置對準的精度。 本發明之液晶顯示器之製造方法，其係利用上述各方法 中之一種方法使一對基板貼合之後，在該等基板間注入液 晶。 若依據上述方法，則藉由利用將一對罩具分別配置在各 固定盤上的方法使一對基板貼合，即可輕易對應具有各式 各樣尺寸之液晶顯示區域之液晶顯示器的製造。又，藉由 利用在與基板相對的凹部内設置突出部的方法以使一對基 板貼合，則即使在凹部之尺寸變大時，亦可穩定維持基板 之平面性。更且，藉由利用介以罩具之貫穿孔的真空吸引 使基板吸附及固定在固定盤上的方法，以使一對基板貼合 -33- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) A4規格(210X 297公釐)

即可均等地保持已貼 板間之位置對準的精度 合之基板間的間隔，而且可提 高基 ，蟲：σ詳、田說明攔中所完成之具體的實施態樣或實施例 兄疋為了使本發明之技術内容得以明白者，而並非只 疋於該種的具體例且不應對之作狹義解釋，只要不脫離 式月之精神與如下所％載之巾請專利範圍中所請求的範 圍，則仍可做各種的變更及實施。 1 元件編號之說明 罩具 ， 干 la 凹部 lb 貫穿孔 le 肋條（突出部） If 支柱（突出部） Ig 漏洩溝 2 罩具 2a 凹部 2b 貫穿孔 2e 肋條（突出部） 2f 支柱（突出部） 2g 漏洩溝 3 基板 4 基板 5 上載置台（固定盤） 6 下載置台 9 基板吸附孔 10 基板吸附孔 11 12 罩具吸附溝（罩具吸附孔） 罩具吸附溝（罩具吸附孔） -34- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210 X 297公釐)

Claims (1)

1. ^0458 申請專利範固 6.=請專利範圍第⑴項中任之基板 7. 中上述罩具，係由金屬材料所製成。 万法其 二二:::二項之基板貼合方法’其 之基板貼合方法，上述罩具， 9. 一種基板貼合裝置，其係用以貼 其特徵為：包含有， 1《對基板， 一對固定盤，用以夾住兩基板且互為相對；以及 罩具，配置於該，等固定盤之至少一方上， 在上述罩具上，與基板相對之面的中央部形成有凹部 ，同時於凹部以外之部分上形成有貫穿孔， 在該等固定盤之互為相對的面上，一利用真空吸引用 以固定基板的基板吸附孔係設在與上述貫穿孔相對應的 位置上，同時一利用真空吸引用以固定罩具的罩具吸附 孔係設在與罩具相接觸的位置上。 10 二種，晶顯示器之製造方法，其特徵為：利用申請專利 範，第1至5項中任一項之方法使一對基板貼合之後，在 該爭基板間注入液晶。 11. 一種液晶顯示器之製造方法，其特徵為：利用使用申請 專利範圍第6項之方法使一對基板貼合之後，在該等基板 間注入液晶。 12· —種液晶顯示器之製造方法，其特徵為：利用申請專利 範圍第8項之方法使一對基板貼合之後，在該等基板間注 入液晶。 36 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS) Α4規格(210X297公釐)