TW518641B - Ionizer - Google Patents

Description

518641 五、發明說明（1) 發明背景 發明範疇本 J明-般關係-離子化器用 4 離子化器已經改善容許波紋及電何，及較特別，一 器的能力。 、 衡移動而不會減弱離子化 背景技藝說明 圖5為一傳統離子化器的觀念圖。離 。本體1具有複數個針狀雷極2。 化裔具有一本體 蓋（未顯示）。離子化器使 -1 —般具有接地金屬 導體製造過程t，靜電目上的在於消除電荷。在一半 少，冷 塵埃會黏結半導體裝置以致生產旦试 基層3噴吹離子物所 為了解決这問題，一離子化器向 貝人離子物貝，目標消 大部份傳統離子化哭的刑+尨士 & ^ 乂_^除電何。 壓至針狀電極2或薄全\ Λ 直流電或交流電 電以離子化大氣士 Α線電極並在電極2附近產生電暈放 不論周圍環境如ίυ離子化器持續產生電晕放電而 有-不變的離子接觸面J電電；2:附-接地電極具 極，為值试别4 積。故樣的一種電極稱為接地電 體。’、、、、、.式及在大部份的情況下與一金屬蓋結成一 問ί,地况’傳統型離子化器用來消除電荷關係下列兩‘ 離子&dτ 一離子化器10如圖5所示，正常產生正 、及如果一高交流電壓施加於如圖6 Α所示的 第4頁 518641 五、發明說明（2) — 放包包極2 ’基層3的表面電勢合根攄 高電壓而變化因為離子到達基i 3，即消H放電電極2的 件；因受放電電極2感應而獲得高電壓電：電何的目標物 父替施加正離子與負離子會造 =波狀如一示。這種波型的…的4=% 紋消；的離子化器10的情況上，波 士 I、1 i Ϊ'何的目標物件（即基層）的靜電容詈你夫。 、口果扁除電何的目標物件（即基層）的靜電容旦、 過，波紋會造成士幾個i 〇 〇 v的表面里权’、，不 Q=CV(Q電荷/電容，V電勢差）㈣係Ϊ出這可以從 既：如果消除電荷的目標物件（即基層 以電；；：：如r:基層3與接地接觸如圖 ‘很大。另一方面，如果基層3或消除雷片的日辨 物件從接地上升如圖7B所示，靜電容量 。、^ 常大。如罢、、古妗料丄 θ . 又】而波紋k成非

放二支大，即，表面電勢位移變大，致使發峰 兒寻狀況，裝置破壞，造成生產量減少。 X ，此，如果消除電荷的目標物件的放電量變+， 波、、.文變化量變大’表面電勢會增加超過原來的充。 ^外的問題為Ηϋ子化器連續使用，正離子的放 ^負離子破壞達到平衡（一種條件以下稱為"平銜銘叙"、 =放電電極2放電減弱或外物黏結放電電極2。連續使= 電破壞平衡的離子化器會造成消除電荷的目標 2 或負的反充電’如圖8所示。換言之’雖然虛線必須為〇

i、赞明說明（3) V ’波紋曲線會向上平^ % 向充電，例如，由〗00 v、’丄p消除電荷的目摔你 kd s _ o v ,朝向正電壓側充t ^物件反 如果-離子化器具有高離子產：側充電。较詳細反 標物件的靜電裝旦 如果消除货、 大声：：： 反向充電失去平衡而變/丨電荷的巨 勢、r/勢。如果消除電荷的目標物件上產4、’則會產4 ί心：造ί放電等狀況，裝置會破：Ί大表面電 即導致減少生產量的問題。會〜 弋發明係用來解決上述的問題，及 =離子化器“容許減少波^:為*供 化器的能力。 —衡仃動而不會減少離改 根據本發明的第一特徵，一 子 :電極固定在本體上用來產生離子因：具有：本體。—放 斤造成。-接地的接地電極即與離=兩電壓電暈放 笔極附近的部份離子。離子化器含—ϊ觸以便吸收放電 極與離子之間的接觸面積。 70件用來改變接地電 因為用來改變接地電極與離子 根據本發明提#，接地電極的面積;以,ϊ面積的元件係 波紋及平衡移動的調整同時儘量限制g變以致影響減少 降。 制離子化器的容量下 根據本發明的第二特徵，籬 改變接地電極與放電電極之間另外包含-元件用來 因為用來改變接地電極與放電電 根據本發明提供，由接地電極妆°，間的距離的元件係 收的部份離子量可以調 M8641

移動及固定』：二；特㉟’離子化器另外包含-元件用來 定==::=:=:::化器中，用來移動及固 極内並朝上τ方e f ί义在本體上及一加長孔在接地電 因為接地電極 接地電極與離子 在根據本發明 體之間有一間隔 離。 下方向或右至左方向移動。1致使接地電極可以在上 固定以致在上下方向或右至左方向移動’ 之間的接觸面積可以改變。、 的第五特徵的、離子化器中，接地電極與本 裔用來改變接地電極與放電電極之間的距 間隔器裝置容許改變接地電極與放電電 根據本發明， 極之間的距離。 决Π ί ί發明的第六特徵的離子化器中，提供-蓋板用 來遮風本體。接地電極固定在本體與蓋板之間。 根據本發明，一傳統的離子化器具有接地電極固定在本 體上便可以使用。 本發明的其他目標，特性，特徵及優點參考下列本發明 的詳細說明及附圖會變為更明顯。 圖式簡單說明 圖1為根據第一具體實施例一離子化器示意圖。 圖2為沿圖1切線11 - π斷面圖。

DiS()41 五、發明說明（5) " " " ------------- =t ϊ ΐ ί ΐ :二ΐ-離子化器的斷面圖。 圖5為一傳統圖離子化器的斷面圖。 圖6Α-6Β為傳統離子化器 圖7Α-7Β為傳統離子化 二圖 /8為傳^離子化器平衡移動^圖兄明圖。 車父佳具體貫施例說明本 ° 本發明的具體實施例如下 第一具體實施例 ^ 、^考附圖。 圖1為根據第一具體實施例一 具體實施例用來作為-離子化、器的 高交流電壓於複數個針狀 I，其孓式為施加一 式。 的型式或使用薄線製的放電電極型 如圖1所示，離子化器i 〇具有一 個針狀放電電極2。一高壓體1。主體1具有複數 或更大於放電電極2以產生電暈放& σ。父流電壓士數kV 接地電極位於本體丨的側面。本逡=接地導電板4作為 成’但可使用其他任何材料。導電板4 : J4由不銹鋼製 铛。螺絲la裝在本體1上。導電 上”有一加長孔 以致能上下移動。為了簡化說明，導^在加長孔4a的孔内 圖示。其他固定方法也可使用，I板4的固定方法如 電板4固定後能上下移動或右至左移1y。如果該方法容許導 離子吸收量可藉由導電板4的 署 又位置向上或向下移動

^1

五 發明說明（6)

而調整。如一办丨 A 除能力及波紋：其:電板可以用來測量電荷消 離子及一控制部份容_二=，式具有一板5 a用來接收 可測量板5&的表面電^數電壓於板5a，如此便 β如一示波 測里的表面電勢可以輸入記锌# 不波裔容許顯示電荷消除 η己錄儀 以下說明择作。图9达、L π , ^而日守間及波紋。 泉考圖2 ^ 圖2為沁圖1切線11-II斷面圖。 ^$£12，如果施加一冥 電即離子化電極周圍的大極2產生電暈放 電荷消除目# ^ ^ 離子經周圍氣流或電場到達 與電荷消除目f物彳接地電極4存在於離子之器10 目伊物杜/仏件間’部份離子不能到達電荷消除 ,Γ 而是被接地電極4吸收。離子吸收量變大如果技 地電極4及放電電極2之門坧雜料丨卞及收里艾大如果接 離子之鬥拉雜 之間距離支小，或如果接地電極4與 衡移動St 增加。如果離子吸收量變大，波紋及平 另一方面，電荷消除能力降低。所以，： 平i移動：f!接地電極4與離子之間接觸面積，波紋及 =動：會減少同時限制離子化器所需的電 刀下降。結果如表1所示。 表1 接地電極 的效應 波紋寬 (V) 消除正離子所需 時間（msec) 消除負離子所需 時間（msec) 移動量 (V) 第一比較例 起始狀態 200 145 148 230 第~例 伸長GND 向下10 mn] 80 270 289 87 第二例 伸長GND 向下5 mm 125 192 203 145

：)丄ου吁上 五、發明說明（7) 表1中，第—比較例顯子4 ' 疋在本體。波紋寬達 '、ε始狀悲其中接地電極4並不固 第-例顯示的情=中/。移動量為23 0卜另-方面 目標物件伸長丨〇 mm，而地2極4 (G ND)向下或向電荷消除 另外，從第二例明顯看’紋寬及移動量比起始狀態減少。 少其中GND向下或向電’波紋寬及移動量比起始狀態減 至於消除正離子所電:7日，除目 例出現最好的結果。=:間及消除負離子所需時間，第一 比較例長。 一例及第二例的消除時間都比第一 不限於上述來：：J :消:除時間及離子化器波紋的儀器並 測量儀器，決定作為=器。★用-種適合的 的電荷消除能力，坡玲 和的V電板4的位置導致最佳 -旦最佳的導電板4的位¥及^ J電板長孔4&可改成;^吏：需要再移動導電板4, 弟二具體實施如j u札便用 圖3為根據第二具髀者 中，與圖Η目同或相：；：：：離子化器的斷面圖。圖3 則不再重複。 田零件係用相同的件號標示’其說明 圖3的裝置與圖1的 # ^ ^ ^ 間有一間隔哭7可以并同。其中在本體1及導電板4之 離。 °° 改變放電電極2及導電板4之間的距 ^9 ^ 包極4吸收的離子量較大如果接地電極4盥放電電 極2之間距離狹小。 ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ 如果由接地電極4吸收的離子量較大，

第10頁 518641

五、發明說明（8) 波紋及平衡移動量減少，同 具體實施例，由改變參數及 間的距離，波紋及平衡移動 需的電荷消除能力下降。 第三具體實施例 時降低電荷消除能力。根據本 j整放電電極2與接地電極4之 里會減少同時限制離子化器所 離子化器的斷面圖 相同的件號標示， 。圖4中 其說明 圖4為根據第三具體實施例— 與圖1裝置相同或相當零件係用 則不再重複。 在圖4的裝置中，備有_ 極4位於本體1與蓋板8之間用來遮^本體1。接地電 離子化器。根據本具體: 體1具有蓋板-8是一種傳統 極4導致減少波紋及平衡⑪例曰’傳統離子化器備有接地電 電荷消除能力下降。 夕動量同時限制離子化器所需的 另外，雖然上例說明的 根據本發明的離子化器 > 况關係一半導體裝置的製造， (例如，薄膜，紙生產旦用於任何需要電荷消除的領域 雖然，本發明的詳細里已^及汽車工業）。 例相同但不能作為限制，經說明，可以了解該說明只與範 請專利範圍的條件限制。本發明的精神及範圍只受附件申

Claims (1)

1. 518641 案號 89127872 Λ_3 曰 修正 六、申請專利範圍 電電極（2 )之間的距 離。 6 ·如申請專利範圍第3項之離子化器，其中 該本體（1)具有一蓋板（8)，用來遮蓋該本體（1)，及 該接地電極（4 )固定在該本體（1 )與該蓋板（8 )之間。 暑 «

   O:\68\68473-911119.ptc 第14頁