JP7315309B2 - イオン風生成機の制御方法 - Google Patents

イオン風生成機の制御方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7315309B2
JP7315309B2 JP2018148435A JP2018148435A JP7315309B2 JP 7315309 B2 JP7315309 B2 JP 7315309B2 JP 2018148435 A JP2018148435 A JP 2018148435A JP 2018148435 A JP2018148435 A JP 2018148435A JP 7315309 B2 JP7315309 B2 JP 7315309B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode layer
electrode
ion wind
voltage
power supply
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018148435A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2020024845A (ja
Inventor
洋平 木下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Motor Corp
Original Assignee
Toyota Motor Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Motor Corp filed Critical Toyota Motor Corp
Priority to JP2018148435A priority Critical patent/JP7315309B2/ja
Priority to US16/525,713 priority patent/US11070034B2/en
Priority to CN201910715302.XA priority patent/CN110828268B/zh
Publication of JP2020024845A publication Critical patent/JP2020024845A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7315309B2 publication Critical patent/JP7315309B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01TSPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
    • H01T23/00Apparatus for generating ions to be introduced into non-enclosed gases, e.g. into the atmosphere
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/08Ion sources; Ion guns
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24Generating plasma
    • H05H1/2406Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/03Mounting, supporting, spacing or insulating electrodes
    • H01J2237/036Spacing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Tumbler Switches (AREA)
  • Wind Motors (AREA)

Description

本発明は、イオン風生成機の制御方法に関する。
金属電極/絶縁体/金属電極の構成において、金属電極の間に電圧をかけることで空気を帯電させてイオン風を発生させることが知られている。
特許文献1では、面状誘電体の両面に設けた2つの電極のうち、少なくとも一方が多点の末端を有する電極で構成され、両電極に、交流電圧を印加するとともに、どちらか一方を接地してイオン風を誘起することを特徴とする気流発生装置が教示されている。特許文献1では、かかる気流発生装置は、(1)一方の電極に高電圧を印加することにより、面状誘電体を挟んで対向面に存在する接地された電極へのプラズマを誘起するという作用を有すること、(2)交流電圧を電極に印加することにより、プラズマの形態が安定し、同時に、面状誘電体上で電極から板状接地電極へ向かうブローイング力が誘起され、面状誘電体上でイオン風が生まれるという作用を有することが言及されている。
また、かかるイオン風を熱交換手段として用いることも行われている。例えば、特許文献2では、電極基板と薄膜電極とそれらの間に挟まれた電子加速層とを有する電子放出素子と、薄膜電極から離れて薄膜電極に対向し、少なくとも1つの貫通孔を有するホール電極とを備え、電子放出素子とホール電極とを空気中に設置して、電極基板と薄膜電極との間に第1電圧を印加し、薄膜電極とホール電極との間に第2電圧を印加したとき、第1電圧によって、電極基板で生成された電子が電子加速層で加速されて薄膜電極から空気中に放出され負イオンを生成し、第2電圧によって負イオンを含むイオン風が生成されて貫通孔を通過して被熱交換体へ放出されるように構成された熱交換装置が開示されている。
また、近年では、三電極構成のイオン風発生装置も提案されている。
非特許文献1では、三電極構成のプラズマアクチュエータにおいて、周波数6kHZ、7kHZ、13~18kHZで交流15.6kVpp、直流0~30kV印加することが開示されている。また、交流電極と直流電極との間の距離が、40mm、60mm、80mmであることも開示されている。
非特許文献2では、三電極構成のプラズマアクチュエータにおいて、交流10.4~20.8kV、直流0~20kV印加することが開示されている。また、交流電極と直流電極との間の距離が40mmであることも開示されている。
特開2009-247966号公報 特開2013-077750号公報
日本機械学会 2017年度年次大会講演論文集NO.17-1、S0530102 2012-3238.6th-AIAA Flow Control Conference,25-28 June 2012
イオン風の風速(体積力)増加とイオン風生成時の低電力化の両立に関して改善の余地があった。
そこで、体積力の高いイオン風を低電力で得ることができる、イオン風生成機の制御方法を提供する必要性が存在する。
本発明者らは、鋭意検討したところ、以下の手段により上記課題を解決できることを見出して、本発明を完成させた。すなわち、本発明は、下記のとおりである:
〈態様1〉イオン風生成機の制御方法であって、
前記イオン風生成機が、
電極体と、交流電源及び直流電源を備え、
前記電極体が、第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び誘電体層を有し、かつ
前記交流電源が、前記第一電極層と前記第二電極層との間に接続されており、それによってこれらの電極層の間に電圧を印加することができ、
前記直流電源が、前記第二電極層と前記第三電極層との間に接続されており、それによってこれらの電極層の間に電圧を印加することができ、
前記第一及び第三電極層が、前記誘電体層の一方の表面の一部に略平行に対向して配置されており、
前記第一電極層と前記第三電極層との間の距離が、11~35mmであり、
前記第二電極層が、前記誘電体層の他方の表面の一部に配置されており、
それによって前記交流電源によって前記第一電極層と前記第二電極層との間に電圧を印加し、かつ前記直流電源によって前記第二電極層と前記第三電極層との間に電圧を印加したときに、前記誘電体層から離れる方向にイオン風を発生させることができる、
イオン風生成機であり、
前記交流電源により前記第一電極層と前記第二電極層との間に印加する交流電圧を、6~20kVppとし、かつ
前記直流電源により前記第二電極層と前記第三電極層との間に印加する直流電圧を、6~20kVとする、
イオン風生成機の制御方法。
〈態様2〉前記交流電圧を、11~20kVppとする、態様1に記載のイオン風生成機の制御方法。
本発明によれば、体積力の高いイオン風を低電力で得ることができる、イオン風生成機の制御方法を提供することができる。
図1は、イオン風生成機の概略図である。図1(a)は、イオン風生成機の側面断面図を示しており、図1(b)は、イオン風生成機の上面図を示している。 図2は、イオン風生成機によるイオン風の発生の概念図である。 図3は、実施例1-1~1-4及び比較例3-1の制御条件における、イオン風の体積力と第三電極層の電位の絶対値との関係を示す図である。
《イオン風生成機の制御方法》
例示の態様である図1を参照して説明すると、本発明のイオン風生成機の制御方法は、
イオン風生成機100が、
電極体10と、交流電源20及び直流電源30を備え、
電極体10が、第一電極層12、第二電極層14、第三電極層16、及び誘電体層18を有し、かつ
交流電源20が、第一電極層12と第二電極層14との間に接続されており、それによってこれらの電極層の間に電圧を印加することができ、
直流電源30が、第二電極層14と第三電極層16との間に接続されており、それによってこれらの電極層の間に電圧を印加することができ、
第一電極層12及び第三電極層16が、誘電体層の一方の表面の一部に略平行に対向して配置されており、
第一電極層12と第三電極層16との間の距離Aが、11~35mmであり、
第二電極層14が、誘電体層18の他方の表面の一部に配置されており、
それによって交流電源20によって第一電極層12と第二電極層14との間に電圧を印加し、かつ直流電源30によって第二電極層14と第三電極層16との間に電圧を印加したときに、誘電体層18から離れる方向にイオン風を発生させることができる、
イオン風生成機であり、
交流電源20により第一電極層12と第二電極層14との間に印加する交流電圧を、6~20kVppとし、かつ
直流電源30により第二電極層14と第三電極層16との間に印加する直流電圧を、6~20kVとする、
イオン風生成機の制御方法である。
本発明者らは、上記の方法により、体積力の高いイオン風を低電力で得ることができることを見出した。理論に拘束されることを望まないが、第一電極層と第三電極層との間の距離を11~35mmとした状態で、第一電極層と第二電極層との間に交流電圧を印加すると、図2(a)に示すように、第一電極層12と第三電極層16との間に電界皮膜Xが形成され、その結果、空気中の分子のイオン化が促進され、イオンが堆積されると考えられる。この状態で、第二電極層と第三電極層との間に直流電圧を印加すると、図2(b)に示すように、直流電圧によってこのイオンが弾き飛ばされ、弱い直流電圧でも体積力の高いイオン風を得ることができると考えられる。
交流電源により第一電極層と第二電極層との間に印加する交流電圧(peak to peak)は、11kVpp以上、12kVpp以上、又は13kVpp以上であることが、交流電圧による上記の電界皮膜を良好に形成する観点から好ましく、また20kVpp以下、17kVpp以下、又は15kVpp以下であることが、エネルギーの消費を抑制する観点から好ましい。
直流電源により第二電極層と第三電極層との間に印加する直流電圧は、6kV以上、8kV以上、9kV以上、10kV以上、又は11kV以上であることが、イオン風の体積力を大きくする観点から好ましく、また20kVpp以下、17kVpp以下、15kVpp以下、又は13kVpp以下であることが、エネルギーの消費を抑制する観点から好ましい。
第二電極層を電気的に接地させることが、安全性の観点から好ましい。
第一電極層及び第三電極層は、略平行に対向して配置されている。ここで、本発明において、「略平行」とは、完全な平行に対する角度の差が、10°以内、5°以内、3°以内、又は1°以内であることを意味するものである。
第一電極層と第三電極層との間の距離は、11mm以上、13mm以上、15mm以上、又は18mm以上であることが、交流電圧を印加した際における短絡放電を抑制する観点から好ましく、また35mm以下、33mm以下、30mm以下、27mm以下、25mm以下、又は22mm以下、特に20mmであることが、交流電圧による上記の電界皮膜を良好に形成する観点から好ましい。
第一及び第三電極層の長さは、互いに異なっていてもよく、又は互いに等しくてもよいが、互いに等しいことが、製造上の観点から好ましい。
第二電極層は、第一電極層と第三電極層との間の領域に対応する位置に配置されていることが、交流電圧による上記の電解皮膜を良好に形成する観点から好ましい。
以下では、本発明の方法において用いるイオン風生成機の各構成について説明する。
〈電極体〉
電極体は、第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び誘電体層を有する。
(第一電極層)
第一電極層は、交流電源と接続されている電極層、例えば帯状の電極層である。
第一電極層は、導電性を示す材料で構成されていてよく、例えば、亜鉛、アルミニウム、金、銀、銅、白金、ニクロム、イリジウム、タングステン、ニッケル、鉄等の金属であってよい。また、第一電極層としては、銀ペーストやカーボンペースト等の導電性ペーストにポリエステル系樹脂やエポキシ樹脂、ポリウレタン系樹脂、塩ビ系樹脂、フェノール系樹脂等とブレンドした導電性インクを用いることができる。
(第二電極層)
第二電極層は、交流電源及び直流電源と接続されており、好ましくは電気的に接地している電極層、例えば帯状の電極層である。第二電極層は、第一電極層に関して挙げた材料で構成されていてよい。
(第三電極層)
第三電極層は、直流電源と接続されている電極層、例えば帯状の電極層である。第三電極層は、第一電極層に関して挙げた材料で構成されていてよい。
(誘電体層)
誘電体層としては、随意の絶縁体を用いることができ、例えばマイカ、ガラス、セラミック、樹脂等を用いることができる。誘電体層は、例えばシート状の誘電体層であってよい。
セラミックとしては、例えばアルミナ、ジルコニア窒化ケイ素、窒化アルミ二ウム等を用いることができる。
樹脂としては、例えばフェノール樹脂、ユリア樹脂、ポリエステル、エポキシ、シリコン、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリスチロール、軟質エンビ、硬質エンビ、酢酸セルロース、ポリエチレンテレフタレート、テフロン(登録商標)、生ゴム、軟質ゴム、エボナイト、ステアタイト、ブチルゴム、ネオプレーン等を用いることができる。
〈交流電源〉
交流電源は、第一電極層と第二電極層との間に接続されており、それによってこれらの電極層の間に電圧を印加することができる交流電源である。交流電源としては、6~20kVppの交流電圧を印加できる交流電源である限り、随意の交流電源を用いることができる。
〈直流電源〉
直流電源が、第二電極層と第三電極層との間に接続されており、それによってこれらの電極層の間に電圧を印加することができる直流電源である。直流電源は、6~20kVの直流電圧を印加できる直流電源である限り、随意の直流電源を用いることができる。
実施例及び比較例により本発明を具体的に説明するが、本発明は、これらに限定されるものではない。
《イオン風生成機の作製》
〈実施例1〉
図1に示すように、誘電体層18としてのポリテトラフルオロエチレンシート(60mm×60mm、厚さ1mm)の一方の表面に、第一電極層12及び第三電極層16としてのアルミニウムテープ(幅5mm、長さ35mm)を、20mmの間隔で平行に配置した。以下の表1~4においては、この第一電極層と第三電極層との間隔を、「電極間距離」と言及する。
次いで、ポリテトラフルオロエチレンシートの他方の表面の、第一電極層12と第三電極層16との間の領域に対応する位置に、第二電極層14としてのアルミニウムテープ(幅20mm、長さ35mm)を配置した。
次いで、交流電源を第一電極層と第二電極層との間に接続し、直流電源を第二電極層と第三電極層との間に接続し、かつ第二電極層を電気的に接地させて、実施例1のイオン風生成機を作製した。なお、直流電源は、負極端子が第三電極層側になるようにして接続した。
〈実施例2〉
直流電源の正極端子が第三電極層側になるようにしたことを除き、実施例1と同様にして、実施例2のイオン風生成機を作製した。
〈比較例1~2〉
第一電極層12と第三電極層16との間隔を10mmに変更し、かつ第二電極層14の幅を10mmに変更したことを除き、それぞれ実施例1~2と同様にして、比較例1~2のイオン風生成機を作製した。
〈比較例3〉
第一電極層12と第三電極層16との間隔を40~80mmに変更し、かつこの間隔に応じて第二電極層14の幅を40~80mmに変更したことを除き、実施例1と同様にして、比較例3のイオン風生成機を作製した。
《評価》
第一及び第三電極層の電位を、表1に示している範囲内で変更して、イオン風の体積力を測定した。イオン風の体積力の測定は、各イオン風生成機を電子天秤上に配置し、イオン風を発生させた際の反力を電子天秤により測定することにより行った。
制御条件及び評価結果を表1~4及び図3に示す。なお、表1~4において、「GND」(ground)は、電気的に接地していることを意味するものである。また、第三電極層の電位が負の値を示していることは、直流電源の負極端子が第三電極に接続されていることを意味するものである。
表1では、第一及び第三電極層の電位を表1に示す範囲で変化させたときのイオン風の最大体積力を示している。
表2では、実施例1のイオン風生成機について、第一電極層の電位を、11kVpp、14kVpp、17kVpp、20kVppに設定しつつ、第三電極層の電位を変化させてイオン風の体積力を個別に評価したものを、それぞれ実施例1-1~1-4と言及している。
表3では、比較例3のイオン風生成機について、電極間距離を40mmに固定しつつ、第三電極層の電位を変化させてイオン風の体積力を個別に評価したものを、比較例3-1と言及している。
表2及び表3に示したイオン風の体積力と、第三電極層の電位の絶対値との関係を、図3に示している。
表4では、第二電極層と第三電極層との間に直流電圧を印加せず、第一電極層の電位を変化させたときのイオン風の体積力を個別的に評価したものを、実施例1-5と言及している。
Figure 0007315309000001
Figure 0007315309000002
Figure 0007315309000003
Figure 0007315309000004
表1から、電極間距離が20mmの実施例1~2のイオン風生成機は、電極間距離が10mmの比較例1~2のイオン風生成機、及び電極間距離が40mmの比較例3のイオン風生成機と比較して、イオン風の最大体積力が有意に大きいことが理解できよう。
また、表2~3及び図3から、実施例1-1~1-4及び比較例3-1のイオン風生成機は、第三電極層の電位の絶対値が大きくなると、イオン風の体積力が大きくなる点では共通しているが、比較例3のイオン風生成機では、第三電極の電位の絶対値が15kV以上の場合にイオン風を生じているのに対し、実施例1-1~1-4のイオン風生成機では、第三電極の電位の絶対値が6kV以上の場合にイオン風を生じていることが理解できよう。このことから、実施例1-1~1-4のイオン風生成機は、比較例3のイオン風生成機よりも、低電力で高いイオン風の体積力が得られることが理解できよう。
また、実施例1-1~1-4のような個別の評価は明示していないが、実施例2のイオン風生成機の場合でも、実施例1-1~1-4と同様に、高いイオン風の体積力が得られていた。
また、実施例1-1~1-4のイオン風生成機を比較すると、第一電極層の電位が小さいほど、イオン風の高い体積力が得られることが理解できよう。
なお、表4から、交流電圧のみの印加では、イオン風が殆ど発生しておらず、このことから、交流電圧及び直流電圧の相互作用が、イオン風の生成に寄与していることが確認できよう。
10 電極体
12 第一電極層
14 第二電極層
16 第三電極層
18 誘電体層
20 交流電源
30 直流電源
100 イオン風生成機
A 第一電極層と第電極層との間の距離
X 電界被膜
Y イオン風

Claims (1)

  1. イオン風生成機の制御方法であって、
    前記イオン風生成機が、
    電極体と、交流電源及び直流電源を備え、
    前記電極体が、第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び誘電体層を有し、かつ
    前記交流電源が、前記第一電極層と前記第二電極層との間に接続されており、それによってこれらの電極層の間に電圧を印加することができ、
    前記直流電源が、前記第二電極層と前記第三電極層との間に接続されており、それによってこれらの電極層の間に電圧を印加することができ、
    前記誘電体層が、幅60mm、長さ60mm、厚さ1mmのポリテトラフルオロエチレンシートであり、
    前記第一及び第三電極層が、前記誘電体層の一方の表面の一部に略平行に対向して配置されている、幅5mm、長さ35mmのアルミニウムテープであり
    前記第一電極層と前記第三電極層との間の距離が、20mmであり、
    前記第二電極層が、前記誘電体層の他方の表面の一部に配置されている幅20mm、長さ35mmのアルミニウムテープであり
    それによって前記交流電源によって前記第一電極層と前記第二電極層との間に電圧を印加し、かつ前記直流電源によって前記第二電極層と前記第三電極層との間に電圧を印加したときに、前記誘電体層から離れる方向にイオン風を発生させることができる、
    イオン風生成機であり、
    前記交流電源により前記第一電極層と前記第二電極層との間に印加する交流電圧を、11~15kVppとし、かつ
    前記直流電源により前記第二電極層と前記第三電極層との間に印加する直流電圧を、11~13kVとする、
    イオン風生成機の制御方法。
JP2018148435A 2018-08-07 2018-08-07 イオン風生成機の制御方法 Active JP7315309B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018148435A JP7315309B2 (ja) 2018-08-07 2018-08-07 イオン風生成機の制御方法
US16/525,713 US11070034B2 (en) 2018-08-07 2019-07-30 Method for controlling an ionic wind generator with an AC power source and a DC power source
CN201910715302.XA CN110828268B (zh) 2018-08-07 2019-08-05 离子风生成器的控制方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018148435A JP7315309B2 (ja) 2018-08-07 2018-08-07 イオン風生成機の制御方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020024845A JP2020024845A (ja) 2020-02-13
JP7315309B2 true JP7315309B2 (ja) 2023-07-26

Family

ID=69406369

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018148435A Active JP7315309B2 (ja) 2018-08-07 2018-08-07 イオン風生成機の制御方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11070034B2 (ja)
JP (1) JP7315309B2 (ja)
CN (1) CN110828268B (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI667871B (zh) * 2018-08-07 2019-08-01 國立交通大學 風扇裝置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01276160A (ja) * 1988-04-28 1989-11-06 Toshiba Corp コロナイオン発生装置
CN2174002Y (zh) * 1993-12-10 1994-08-10 鞍山市华能电力电子技术研究所 静电式高效负离子风发生器
JP5470733B2 (ja) 2008-04-04 2014-04-16 パナソニック株式会社 気流発生装置
WO2011161992A1 (ja) * 2010-06-22 2011-12-29 京セラ株式会社 イオン風発生体、イオン風発生装置及びイオン風発生方法
JP5584776B2 (ja) * 2010-10-27 2014-09-03 京セラ株式会社 イオン風発生体及びイオン風発生装置
JP5515099B2 (ja) * 2011-08-23 2014-06-11 独立行政法人国立高等専門学校機構 イオン風発生装置及びガスポンプ
JP5756728B2 (ja) 2011-09-30 2015-07-29 シャープ株式会社 熱交換装置およびその用途
JP2013236995A (ja) * 2012-05-14 2013-11-28 Toshiba Corp 気流発生装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
福田愛 他3名、多電極プラズマアクチュエータ誘起ジェットの入力電圧波形・依存性、日本機械学会2017年度年次大会 講演論文集、No17-1、日本、2017年09月03日、論文No.S0530102

Also Published As

Publication number Publication date
US11070034B2 (en) 2021-07-20
US20200052468A1 (en) 2020-02-13
CN110828268B (zh) 2022-04-26
JP2020024845A (ja) 2020-02-13
CN110828268A (zh) 2020-02-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2006228641A5 (ja)
JP5470733B2 (ja) 気流発生装置
JP2006228641A (ja) イオン発生素子、イオン発生器及び除電器
JP2012514836A5 (ja)
JP7315309B2 (ja) イオン風生成機の制御方法
JP2006222019A (ja) イオン発生素子
JP4706046B2 (ja) イオン発生素子、イオン発生器及び除電器
CA3035760C (en) Methods of coating an electrically conductive substrate and related electrodepositable compositions including graphenic carbon particles
US7706121B2 (en) Ion generator
JP4639311B2 (ja) イオン発生器及び除電器
JP2014224013A (ja) 放電素子
JP2019117687A (ja) 冷却器
JP5001863B2 (ja) イオン発生素子
JP2013060327A (ja) オゾン発生素子
JP5223424B2 (ja) 集塵装置
TW518641B (en) Ionizer
JP2020012618A (ja) 熱交換器
JP2003036954A (ja) イオン発生素子及びイオン発生装置
JP4337037B2 (ja) 静電チャック
JP5471464B2 (ja) コロナ放電発生装置とそれを用いた除菌装置
CN101339162A (zh) 基于微加工技术的介质阻挡微放电结构
JP2004158342A (ja) コロナ放電装置
RU2094889C1 (ru) Эмиссионный узел
JP6330154B2 (ja) 電界非対称性イオン移動度分光計、およびそれを用いた混合物分離方法
US3812399A (en) Electrostatic for deionizing air and other gases

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210121

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20211022

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211130

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211221

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20220301

C60 Trial request (containing other claim documents, opposition documents)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60

Effective date: 20220420

C22 Notice of designation (change) of administrative judge

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22

Effective date: 20220809

C22 Notice of designation (change) of administrative judge

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22

Effective date: 20230207

C302 Record of communication

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C302

Effective date: 20230329

C13 Notice of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C13

Effective date: 20230404

C22 Notice of designation (change) of administrative judge

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22

Effective date: 20230411

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230413

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230713

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7315309

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151