JP7315309B2 - イオン風生成機の制御方法 - Google Patents
イオン風生成機の制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7315309B2 JP7315309B2 JP2018148435A JP2018148435A JP7315309B2 JP 7315309 B2 JP7315309 B2 JP 7315309B2 JP 2018148435 A JP2018148435 A JP 2018148435A JP 2018148435 A JP2018148435 A JP 2018148435A JP 7315309 B2 JP7315309 B2 JP 7315309B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode layer
- electrode
- ion wind
- voltage
- power supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01T—SPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
- H01T23/00—Apparatus for generating ions to be introduced into non-enclosed gases, e.g. into the atmosphere
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/08—Ion sources; Ion guns
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/2406—Generating plasma using dielectric barrier discharges, i.e. with a dielectric interposed between the electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/03—Mounting, supporting, spacing or insulating electrodes
- H01J2237/036—Spacing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Tumbler Switches (AREA)
- Wind Motors (AREA)
Description
〈態様1〉イオン風生成機の制御方法であって、
前記イオン風生成機が、
電極体と、交流電源及び直流電源を備え、
前記電極体が、第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び誘電体層を有し、かつ
前記交流電源が、前記第一電極層と前記第二電極層との間に接続されており、それによってこれらの電極層の間に電圧を印加することができ、
前記直流電源が、前記第二電極層と前記第三電極層との間に接続されており、それによってこれらの電極層の間に電圧を印加することができ、
前記第一及び第三電極層が、前記誘電体層の一方の表面の一部に略平行に対向して配置されており、
前記第一電極層と前記第三電極層との間の距離が、11~35mmであり、
前記第二電極層が、前記誘電体層の他方の表面の一部に配置されており、
それによって前記交流電源によって前記第一電極層と前記第二電極層との間に電圧を印加し、かつ前記直流電源によって前記第二電極層と前記第三電極層との間に電圧を印加したときに、前記誘電体層から離れる方向にイオン風を発生させることができる、
イオン風生成機であり、
前記交流電源により前記第一電極層と前記第二電極層との間に印加する交流電圧を、6~20kVppとし、かつ
前記直流電源により前記第二電極層と前記第三電極層との間に印加する直流電圧を、6~20kVとする、
イオン風生成機の制御方法。
〈態様2〉前記交流電圧を、11~20kVppとする、態様1に記載のイオン風生成機の制御方法。
例示の態様である図1を参照して説明すると、本発明のイオン風生成機の制御方法は、
イオン風生成機100が、
電極体10と、交流電源20及び直流電源30を備え、
電極体10が、第一電極層12、第二電極層14、第三電極層16、及び誘電体層18を有し、かつ
交流電源20が、第一電極層12と第二電極層14との間に接続されており、それによってこれらの電極層の間に電圧を印加することができ、
直流電源30が、第二電極層14と第三電極層16との間に接続されており、それによってこれらの電極層の間に電圧を印加することができ、
第一電極層12及び第三電極層16が、誘電体層の一方の表面の一部に略平行に対向して配置されており、
第一電極層12と第三電極層16との間の距離Aが、11~35mmであり、
第二電極層14が、誘電体層18の他方の表面の一部に配置されており、
それによって交流電源20によって第一電極層12と第二電極層14との間に電圧を印加し、かつ直流電源30によって第二電極層14と第三電極層16との間に電圧を印加したときに、誘電体層18から離れる方向にイオン風を発生させることができる、
イオン風生成機であり、
交流電源20により第一電極層12と第二電極層14との間に印加する交流電圧を、6~20kVppとし、かつ
直流電源30により第二電極層14と第三電極層16との間に印加する直流電圧を、6~20kVとする、
イオン風生成機の制御方法である。
電極体は、第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び誘電体層を有する。
第一電極層は、交流電源と接続されている電極層、例えば帯状の電極層である。
第二電極層は、交流電源及び直流電源と接続されており、好ましくは電気的に接地している電極層、例えば帯状の電極層である。第二電極層は、第一電極層に関して挙げた材料で構成されていてよい。
第三電極層は、直流電源と接続されている電極層、例えば帯状の電極層である。第三電極層は、第一電極層に関して挙げた材料で構成されていてよい。
誘電体層としては、随意の絶縁体を用いることができ、例えばマイカ、ガラス、セラミック、樹脂等を用いることができる。誘電体層は、例えばシート状の誘電体層であってよい。
交流電源は、第一電極層と第二電極層との間に接続されており、それによってこれらの電極層の間に電圧を印加することができる交流電源である。交流電源としては、6~20kVppの交流電圧を印加できる交流電源である限り、随意の交流電源を用いることができる。
直流電源が、第二電極層と第三電極層との間に接続されており、それによってこれらの電極層の間に電圧を印加することができる直流電源である。直流電源は、6~20kVの直流電圧を印加できる直流電源である限り、随意の直流電源を用いることができる。
〈実施例1〉
図1に示すように、誘電体層18としてのポリテトラフルオロエチレンシート(60mm×60mm、厚さ1mm)の一方の表面に、第一電極層12及び第三電極層16としてのアルミニウムテープ(幅5mm、長さ35mm)を、20mmの間隔で平行に配置した。以下の表1~4においては、この第一電極層と第三電極層との間隔を、「電極間距離」と言及する。
直流電源の正極端子が第三電極層側になるようにしたことを除き、実施例1と同様にして、実施例2のイオン風生成機を作製した。
第一電極層12と第三電極層16との間隔を10mmに変更し、かつ第二電極層14の幅を10mmに変更したことを除き、それぞれ実施例1~2と同様にして、比較例1~2のイオン風生成機を作製した。
第一電極層12と第三電極層16との間隔を40~80mmに変更し、かつこの間隔に応じて第二電極層14の幅を40~80mmに変更したことを除き、実施例1と同様にして、比較例3のイオン風生成機を作製した。
第一及び第三電極層の電位を、表1に示している範囲内で変更して、イオン風の体積力を測定した。イオン風の体積力の測定は、各イオン風生成機を電子天秤上に配置し、イオン風を発生させた際の反力を電子天秤により測定することにより行った。
12 第一電極層
14 第二電極層
16 第三電極層
18 誘電体層
20 交流電源
30 直流電源
100 イオン風生成機
A 第一電極層と第三電極層との間の距離
X 電界被膜
Y イオン風
Claims (1)
- イオン風生成機の制御方法であって、
前記イオン風生成機が、
電極体と、交流電源及び直流電源を備え、
前記電極体が、第一電極層、第二電極層、第三電極層、及び誘電体層を有し、かつ
前記交流電源が、前記第一電極層と前記第二電極層との間に接続されており、それによってこれらの電極層の間に電圧を印加することができ、
前記直流電源が、前記第二電極層と前記第三電極層との間に接続されており、それによってこれらの電極層の間に電圧を印加することができ、
前記誘電体層が、幅60mm、長さ60mm、厚さ1mmのポリテトラフルオロエチレンシートであり、
前記第一及び第三電極層が、前記誘電体層の一方の表面の一部に略平行に対向して配置されている、幅5mm、長さ35mmのアルミニウムテープであり、
前記第一電極層と前記第三電極層との間の距離が、20mmであり、
前記第二電極層が、前記誘電体層の他方の表面の一部に配置されている幅20mm、長さ35mmのアルミニウムテープであり、
それによって前記交流電源によって前記第一電極層と前記第二電極層との間に電圧を印加し、かつ前記直流電源によって前記第二電極層と前記第三電極層との間に電圧を印加したときに、前記誘電体層から離れる方向にイオン風を発生させることができる、
イオン風生成機であり、
前記交流電源により前記第一電極層と前記第二電極層との間に印加する交流電圧を、11~15kVppとし、かつ
前記直流電源により前記第二電極層と前記第三電極層との間に印加する直流電圧を、11~13kVとする、
イオン風生成機の制御方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018148435A JP7315309B2 (ja) | 2018-08-07 | 2018-08-07 | イオン風生成機の制御方法 |
US16/525,713 US11070034B2 (en) | 2018-08-07 | 2019-07-30 | Method for controlling an ionic wind generator with an AC power source and a DC power source |
CN201910715302.XA CN110828268B (zh) | 2018-08-07 | 2019-08-05 | 离子风生成器的控制方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018148435A JP7315309B2 (ja) | 2018-08-07 | 2018-08-07 | イオン風生成機の制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020024845A JP2020024845A (ja) | 2020-02-13 |
JP7315309B2 true JP7315309B2 (ja) | 2023-07-26 |
Family
ID=69406369
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018148435A Active JP7315309B2 (ja) | 2018-08-07 | 2018-08-07 | イオン風生成機の制御方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11070034B2 (ja) |
JP (1) | JP7315309B2 (ja) |
CN (1) | CN110828268B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI667871B (zh) * | 2018-08-07 | 2019-08-01 | 國立交通大學 | 風扇裝置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01276160A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-06 | Toshiba Corp | コロナイオン発生装置 |
CN2174002Y (zh) * | 1993-12-10 | 1994-08-10 | 鞍山市华能电力电子技术研究所 | 静电式高效负离子风发生器 |
JP5470733B2 (ja) | 2008-04-04 | 2014-04-16 | パナソニック株式会社 | 気流発生装置 |
WO2011161992A1 (ja) * | 2010-06-22 | 2011-12-29 | 京セラ株式会社 | イオン風発生体、イオン風発生装置及びイオン風発生方法 |
JP5584776B2 (ja) * | 2010-10-27 | 2014-09-03 | 京セラ株式会社 | イオン風発生体及びイオン風発生装置 |
JP5515099B2 (ja) * | 2011-08-23 | 2014-06-11 | 独立行政法人国立高等専門学校機構 | イオン風発生装置及びガスポンプ |
JP5756728B2 (ja) | 2011-09-30 | 2015-07-29 | シャープ株式会社 | 熱交換装置およびその用途 |
JP2013236995A (ja) * | 2012-05-14 | 2013-11-28 | Toshiba Corp | 気流発生装置 |
-
2018
- 2018-08-07 JP JP2018148435A patent/JP7315309B2/ja active Active
-
2019
- 2019-07-30 US US16/525,713 patent/US11070034B2/en active Active
- 2019-08-05 CN CN201910715302.XA patent/CN110828268B/zh active Active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
福田愛 他3名、多電極プラズマアクチュエータ誘起ジェットの入力電圧波形・依存性、日本機械学会2017年度年次大会 講演論文集、No17-1、日本、2017年09月03日、論文No.S0530102 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11070034B2 (en) | 2021-07-20 |
US20200052468A1 (en) | 2020-02-13 |
CN110828268B (zh) | 2022-04-26 |
JP2020024845A (ja) | 2020-02-13 |
CN110828268A (zh) | 2020-02-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006228641A5 (ja) | ||
JP5470733B2 (ja) | 気流発生装置 | |
JP2006228641A (ja) | イオン発生素子、イオン発生器及び除電器 | |
JP2012514836A5 (ja) | ||
JP7315309B2 (ja) | イオン風生成機の制御方法 | |
JP2006222019A (ja) | イオン発生素子 | |
JP4706046B2 (ja) | イオン発生素子、イオン発生器及び除電器 | |
CA3035760C (en) | Methods of coating an electrically conductive substrate and related electrodepositable compositions including graphenic carbon particles | |
US7706121B2 (en) | Ion generator | |
JP4639311B2 (ja) | イオン発生器及び除電器 | |
JP2014224013A (ja) | 放電素子 | |
JP2019117687A (ja) | 冷却器 | |
JP5001863B2 (ja) | イオン発生素子 | |
JP2013060327A (ja) | オゾン発生素子 | |
JP5223424B2 (ja) | 集塵装置 | |
TW518641B (en) | Ionizer | |
JP2020012618A (ja) | 熱交換器 | |
JP2003036954A (ja) | イオン発生素子及びイオン発生装置 | |
JP4337037B2 (ja) | 静電チャック | |
JP5471464B2 (ja) | コロナ放電発生装置とそれを用いた除菌装置 | |
CN101339162A (zh) | 基于微加工技术的介质阻挡微放电结构 | |
JP2004158342A (ja) | コロナ放電装置 | |
RU2094889C1 (ru) | Эмиссионный узел | |
JP6330154B2 (ja) | 電界非対称性イオン移動度分光計、およびそれを用いた混合物分離方法 | |
US3812399A (en) | Electrostatic for deionizing air and other gases |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210121 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211221 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20220301 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20220420 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20220809 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20230207 |
|
C302 | Record of communication |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C302 Effective date: 20230329 |
|
C13 | Notice of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C13 Effective date: 20230404 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20230411 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230413 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230713 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7315309 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |