511115 A7 — _ B7 _ 五、發明說明（1 ) 〔發明所屬之技術領域〕 本發明有關於短弧型水銀燈。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) _ (先前技術） 近年在半導體，液晶之製造及其他微細加工之領域而 用做光蝕法等之光源而利用有使用短弧型水銀燈之曝光技 術。 ' 在此於光蝕法中用做光源之短弧型冰銀燈係，適用有 良好的輻射該感光抗蝕劑之具有感度之波長3 6 5 nm ( i線）之光線。 並且做爲該燈之發光物質而封入有水銀，同時用做起 動氣體而封入氬、氪等之稀有氣體。另一方面也有與水銀 而做爲發光物質而封入有氙氣體之短弧型水銀燈（如曰本 專利公報特開昭6 1 - 1 8 9 6 3 6號）。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 來自上述水銀燈之發光係，在3 6 5 nm之周圍具有 數nm之寬。因此在曝光裝置中使p單g種之玻璃材之屈 折光學系時即由發生隨著色收差之糊，或招致曝光 之不均勻或降低解像度，很難達到上述之要求。又 爲了補正此色收差而使用將屈折率不同之玻璃材複數組組 合之消色之透鏡’惟由於所要之波長短’因此可使用之玻 璃材之選擇之寬度也狹’無法完全消除色收差。 於是可以提案，使通過屈折光學系之光線成爲更狹之 波長帶之方式。例如將由燈所輻射之光線通過B P F (帶 通濾光器）g之成爲只通過i線附近之特定之波長帶域方 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 511115 A7 B7 五、發明說明（2 ) 法。惟B P F本身也有其性能之限昇，材料也非常昂貴。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於是，使用了有限的光學材料而將色收差抑制於良好 起見，應使用由燈本身所放射（輻射）之i線光譜之寬度 •乃須要很狹之光線乃必要者，當然由而來自之燈之輻射照 度也不得不降低，一面維持充分高之輻射照度一面又使i 線光譜之寬度很狹者才可以。 〔發明所欲解決之問題〕 於是，本發明所欲解決之課題乃提供一種不降低輻射 照度之下可以使i線光譜之寬度狹窄之短弧型水銀燈，以 及發光裝置。 〔解決問題之手段〕‘ 本發明之短弧型水銀燈乃，主要係在石英製之發光管 內相向配置有陰極及陽極，而在此發光管中封入有水銀、 稀有氣體而成之短弧型水銀燈。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 上述水銀之封入量係發光管內容積每1 c c單位未滿 1 · Omg，且上述稀有氣體乃至少爲氬（Ar)、氪（ K r )或其混合氣體，以室溫封入有1 · 0〜8 · 0 a t m爲其特徵者。 依此構成本發明之短弧型水銀燈乃，首先水銀之封入 量乃與先前技術之短弧型水銀燈比較時相對的少’因此在 波長3 6 5 nm中放射光譜寬度狹之i線乃成爲可能。 本發明之水銀量爲未滿1 · 〇mg/c c ’更合宜爲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -5「 511115 Α7 Β7 五、發明說明（3 ) 0 · 5mg/c c 以上，未滿 1· 〇mg/c’c。 由此而可以提高i線（365±0 · 5nm之範圍） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 之輻射，同時將除了365土0·5nm之範圍之365 • n m ± 5 n m之範圍之輻射非常的減少。 惟如此地減少水銀量時即會發生燈全體之輻射照度會 降低之新的問題。 於是在本發明之短弧型水銀燈乃，藉由提高氬/氪之 封入量而可解決上述之問題。 通常封入氙等稀有氣體做爲起動用補助氣體之短弧型 水銀燈中，該氙氣體之封入量頂多0·1〜1·0氣壓之 程度之極小値，因爲其目的只用做起動之補助之機能而已 〇 另一方面不只是用於起動，在經常點燈時也令氙氣體 氣能之放電燈也有存在，例如上述特開昭6 1 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 8 9 6 3 6號公報所述之水銀燈即封入有5氣壓程度之 氙氣體，惟此種水銀燈乃除了由水銀之3 6 5 n m之暉線 光譜以外也利用氙之連續光譜，並且由於利用氙，所以 365nm (嚴格的說365±0 · 5nm之範圍之輻射 照度係很低。 換言之以氙爲稀有氣體來封入之水銀燈時，就算是經 常點燈之機能者時，該i線之輻射照度本身也不充分。 對於此問題，本發明人等即尋覓出，該稀有氣體係不 是利用氙氣體而'是利用氬或氪，或氬及氪之混合氣體而在 減少水銀量仍然充分達成i線之狹帶域化及充分之輻射照 本【張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱) 7〇Ζ 511115 A7 _ B7 五、發明說明（4 ) 度之事實。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 具體的說，單獨的封入氬或氪時爲1〜8氣壓，以混 合氣體來封入時，混合狀態之壓力爲1〜8氣壓係很有效 •果。 第2圖表示水.銀燈（A )、 （ B )、 （ C )之3 6 5 n m近旁之分光光譜之比較，水銀燈（A )係本發明之水 銀燈。水銀燈（B )係水銀量乃與本發明者相同，惟封入 有氙爲稀有氣體者，水銀燈（C )即水.銀量1 · 〇 m g / c c以上之以往之水銀燈之代表例。 第3圖係上述（A ) ，( B ) ，（ C )中所示之水銀 燈之水銀，稀有氣體之具體封入量，及輻射照度。 燈（A )係水銀量0 · 8 m g / c c，封入有氬5氣 壓。 燈（B )係水銀量〇 · 8 m g / c c，封入脊_氣 壓。 燈（C )係水銀量5 · 0 m g / c c，封入有氙1氣 壓者。 · 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 再者對於各燈而表示3 6 5 ± 5 nm之範圍之輻射強 度及3 6 5土0 · 5 nm範圍之輻射強度’由該比率也顯 示狹帶化率。具體的說，狹帶化率係如圖也所示（ 364 · 5nm 〜365 · 5nm)之積分値/(360 nm〜370nm)之積分値。 又所謂輻射強度乃表示燈（C )〜3 6 5 土 5 n m範 · 圍之輻射強度爲1 0 0時之相同範圔之相對値。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 511115 Α7 _ Β7 五、發明說明（5 ) 在第2圖中比較燈（C )與燈（A )、 （ B )時，即 可以看出，減少水銀量（具體的說，使之未滿1 · Omg /cc時，可達成i線（365±0 · 5nm)之狹帶域 •化之事實。又從第3圖之狹帶化率可見，燈（C)爲 0.36而燈（厶）、（B)之狹帶化率即.50有所提 商。 在第2圖中比較燈' (A )及燈（B )時，燈（A )係 較燈（B)而365土0 · 5nm之峰値高，換言之在此 範圍之積分値大，所以可知輻射照度大，又由第3圖可知 燈（A)之365±0 · 5nm之積分値爲53，而燈（ B)之積分値爲38可知較低。 又第2圖中，在3 6 5 n .m中各燈之輻射強度均降低 ，這是由水銀之自己吸收所致者。 上面係有關於申請專利範圍第1項之發明，乃對於減 少了水銀，以及規定量地封入氬、氪等情形做了說明。 下面說明申請專利範圍第2項〜第7項之情形，具體 的說將說明封入了氬、氪時之對於水銀燈之電弧特性之影 響。 本案發明乃所使用之稀有氣體爲氬，設連結上述陰極 與上述陽極之方向爲軸方向，而對該軸方向成垂直之斷面 之方向爲徑方向，發光管之徑方向之最大直徑之一半爲 R ( c m )，發光管之料厚爲d (cm)，輸入電力爲 W ( K w )。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（210 X 297公爱) ΓδΊ ' i ------！ 裝 i I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂： 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 511115 A7 B7____ 五、發明說明（6 ) 0 · 2 1 IS ( (Wd) 1/2/R) SO · 3 87 爲 其特徵。 又稀有氣體爲氪時同樣之値爲 0 · 205$ ( (Wd) 1/2/R) SO · 418 爲 其特徵。 又稀有氣體爲氬及氪之混合氣體時，同樣之値爲 0.209^(( Wd)1/2/R)S0.387 爲 其特徵。 . 這是當以規定之壓力之範圍內地封入數氣壓之氬（ A r )或氪（Kr )或其混合氣體時考慮了發光管（下面 亦稱燈管）之料厚等而限定了規定之數値爲其特徵，這是 由於所封入之稀有氣體之對於同時封入之水銀而該封入莫 爾數大時，該稀有氣體即對於發光管內之熱的舉動以及電 弧之特性有很強之影響之緣故。 經實驗確認，封入有氬之水銀燈乃與封入有氙之水銀 燈相比較時，在實施弱冷卻之下仍然多發生水銀之未蒸發 之事實，由此可見封入氬之燈泡乃很容易受排風等之冷卻 條件之影響。 同時與封入有X e之水銀燈比較時也容易發生電弧之 擺振也經實驗確認。 此種受冷卻條件之影響之水銀之未蒸發或輻射光之擺 振之理由雖不完全明瞭，惟可推測如下。即其原因可能是 依存於A r氣體與X e氣體之熱傳導率之差異。熱傳導率 大時熱能之傳達速度變大，電弧中心之溫度很容易傳達至 !丨！ ·丨 I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 2:0· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -9 - 511115 A7 __ B7 五、發明說明（7 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 燈管內表面附近，相反的燈管內表面附近之溫度也容易傳 至電弧中心附近。按Ar氣體、Kr氣體、Xe氣體之熱 傳導率K(l〇-4W/cm/K)爲（Ar : 1 · 63) •〉（Kr:0.88)>(Xe:0.50)之順序。 即封入了 A r氣體或K I*氣體之水銀燈係與封入有 X e氣體之水銀燈比較時該燈管之外表面受排風冷卻時很 容易受影響，由此引起燈管內表面近傍之低溫化，以及電 弧中心之低溫化。 下面利用簡單的模式說明燈管內外之溫度之熱輸送。 這個模式也是依據本發明等之推測而可推測如下。 初先考燈管之外表面之溫度，燈管爲球狀之對稱燈管 外半徑爲R 0，內半徑爲R i ，燈管之料厚爲d，即可得 d = R 〇 - R , ( 1 ) 設對於燈管之電氣輸入爲W :電弧放電係在球燈管之大 致中心，其大小乃與燈管內半徑相比有夠小。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於是由電弧所消費之輸入能乃一部份變換爲光能，其 他部份即變換爲封入氣體之內部能或電極之加熱能。 光能之一部份即通過燈管輻射至外部，剩下的即被燈 管吸收成爲燈管之加熱源，又封入氣體即乘於燈管內之對 流而接近於燈管，而與燈管碰銜而賦予能源也能爲燈管之 加熱源。 所以導入於燈管之輸入能乃，一部份以光能而通過燈 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 511115 A7 B7 五、發明說明（8 ) 管放射於外部，而一部份即經被加溫之燈管而以熱能放射 ，剩餘者即經由被加熱之燈管而以對流熱傳達而以熱能放 射。 • 設對於輸入能而通過燈管而放射於外部之光能之比例 爲a 〇 於是對於輸入能W (對於燈管之輸入能）之巨視的能 保存式爲· W=aW+S € a To4+S h (To-Te) (2) 這是代表，在電弧所消費之輸入能（w)乃由通過燈 管而放射於外部之光能（a W )及被加熱之燈管之熱輻射 之熱能（S ε σ T 〇 4 )及由同被加熱之燈管之由對流熱傳 達所放出之熱能（Sh (To - Te))所構成。 上述（2)式又可變形爲下式 (l-a)W/S= I σΤο^+h (To-Te) (2·) 式中： . S: “燈管球部之外表面積、= 4；rR〇2 * ε :石英燈管之輻射率，、在紅外線大致爲1。 σ : Stefan-Boltzmann 常數 5 · 67x10 · 219 W / c m 2 / K 4
h:熱傳達率、〇·003〜0·015W/cm2/ K T 〇 :燈管之外表面溫度 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 丁裝 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 •11 - 511115 A7 ____ B7_ 五、發明說明（9 ) T e :自燈管離開相當位置之冷卻風之平衡溫度（約 3 Ο Ο K )。 α :對於輸入能之通過燈管而輻射於外部之光能之比 •例。一般認識爲X e氣體係與A r氣體或K r氣體而連續 輻射之輻射效率大。 所以A r氣體或K r氣體之α値係與X e氣體相比較 小，所以封入了 A r氣體或K I*氣體之水銀燈乃與封入 X e氣體之水銀燈相比較時，當投入同一之輸入能W入於 燈管時，利用於加溫時所利用之能量之比例高。 下面考慮燈管內表面溫度。接該燈管內表面溫度高時 ，會發明燈管之透明之消失，過低時就會發生水銀之未蒸 發之情形。 以T i表示燈管之內表面溫度，燈管所接受之能而變 換爲熱之能將成爲：
SecrTo4+Sh (丁 〇 — Te)。將它設爲 Pi η 即入射於燈管之能爲
Piii=(l — a)W (3)來表示。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -----裝 i I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 石英燈管之熱傳導率爲λ，由於假定球形燈管，>斤以 由熱傳導方程式而賦予規定燈管之內面及外面之溫度之下 式。
Ti 一 To=(Pin/4“）（1/Ri -* 1 / R 〇 ) ( 4 ) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） · 12 · 511115 A7 B7 五、發明說明（ίο ) 式中，表示燈管之內表面溫度’ T 0係燈管之外表面 溫度。 R i係燈管之內半徑、R 0係燈管外半徑。熱傳導率 •又之典型値爲1〜2 (W/m/K)。又，燈管之料厚d 係小於燈管半徑R .〇，所以，d < R 〇。所以，（4 )式 之右邊之第2項（l/Ri-l/Ro)乃成爲，（（ R 〇 — R i ) / R i · R 〇 )，燈管之料厚d乃小於燈管 外半徑R 〇，所以R i = R 〇，以它爲R即（d / r 2 )。 又，溫度差Ti一To爲6丁。因此，（4)式乃成爲 5T=(Pin/4^A)d/R2 ( 5 ) 或 (5T=((Wd) 1/2/R) 2(1_α)/(4;τλ) (6) 由（6 )式，燈管內面之溫度T i爲， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -----------裝 i — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) T i = T 〇 +((W d )1 7 2 / R λ2 ( 1 - α )/(4 7Γ λ ) ( 7 ) 由此式表示，燈管內表面溫度Τ i乃與由對燈管之電氣輸 入W、燈管之料厚d由燈管之半徑R所定之「 ((Wd) 1/2/R)」有很深之關連。 即本發明乃注目於：封入有A r氣體，Κ Γ.氣體之水 本紙張尺度適用中關家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐)TlJI -------— 511115 A7 B7 五、發明說明（11) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 銀燈係與封入X e氣體之水銀燈比較時，由於依該稀有氣 體所致之熱傳導率大，所以在電弧中心之溫度及燈管內表 面近傍之溫度之間很容易實施熱傳導，以及對於燈管之輸 •入能相同値時，利用於提昇燈管之溫度之比例高等等，所 以須要充分考慮燈管內部之熱的影響。並且尋出爲了解消 燈管之內表面溫度時會引起水銀燈之未蒸發，相反的過高 時會引起燈管之透明消^失等不合宜之情形，等不合宜而規 定了將變數「（Wd) 1/2/R」」規定於一範圍內者。 再者，本發明之紫外線發光裝置乃，係由在石英製之 發光管內相向配置有陰極及陽極，而在此發光管中封入有 水銀、稀有氣體而成之短弧型水銀燈及對於此水銀燈供給 規定之電力之電源所構成， 上述水銀之封入量係發光管內容積每1 c c單位未滿 1 · Omg，且上述稀有氣體乃將氬（Ar)、以室溫封 入有1.0〜8.0atm〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 且，設連結上述陰極與上述陽極之方向爲軸方向，而 對該軸方向成垂直之斷面之方向爲徑方向，發光管之徑方 向之最大直徑之一半爲R (cm)，發光管之料厚爲d ( cm)，輸入電力爲W(Kw)。 0.211S((Wd)1/2/R)S〇.387 爲 其特徵。 又稀有氣體爲氪時同樣之値爲： 0 · 205$ ( (Wd) 1/2/R) $〇 · 4 1 8 爲 其特徵。 _14_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 511115 A7 B7 _ 五、發明說明（12 ) 再者稀有氣體使用氬及氪之混合氣體時同樣之値爲： 0 .209$ ( (Wd) 1/2/R) so · 387 爲 其特徵。 (發明之實施形態） 第1圖係本發明之短弧型水銀燈之一實施例之斷面圖 〇 在石英製之發光管1之內部，面對.著配置有陰極2及 陽極3，各電極係介著內部引線構件1 2及1 3，而在封 止部6，7之內部而分別連接於箔部8、9。而在箔部8 、9分別連接有外部引線構件1 0、1 1。 下面顯示上述短弧型水銀燈之具體的設計例。 發光管1係由石英玻璃所成，外徑約5 5 m m之略球 形者。陰極2乃含有氧化钍約2 w t %之鎢製，直徑約 6 . 〇 m m之棒狀，在靠近棒狀部份之先端部份捲繞有鎢 線圈。與陽極3相面對之先端即形成爲圓錐狀。陽極3係 鎢製、軀部之直徑爲2 0mm，與陰極2相面對之先端部 係形成爲曲面狀。由陰極2與陽極3所形成之電極間距離 係 4 · 0 m m 〇 發光管之內容積即約7 5 c c。 在發光管內部做爲封入物質而封入有水銀〇·8mg /c c，氬氣體5 · 0氣壓。 此短弧型水銀燈乃例如以定額2 3 V，定額2 K w來 點燈。 •-----------Aw* Μ — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） •15- 511115 A7 B7 五、發明說明（13 ) 下面對「（（ W d ) 1 / 2 / R」加以說明。 首先對於，封入有氬之水銀燈，發光管（燈管）之最 大直徑之一半之値R(cm)，燈管之料厚d(cm)， •及對燈管之輸入電力爲W ( K w )之表示該燈之透明消失. 及水銀未蒸發之關係之實驗做說明。 本案中燈管之最大直徑乃，以連結陽極與陰極之方向 定爲軸方向，而對該軸方向呈垂直之方向之意思。 實驗係準備了 5種之以室溫將氬封.入3氣壓之水銀燈 ，而使上述參數改變，而對於各燈檢討了 ((Wd) 1/2/R)之値。 具體之水銀燈之規格乃，在略球形之石英製發光管內 ，相面對的封入配置有鎢製之直徑2 Omm0之陽極，及 含有氧化钍約2 w t %之鎢製之陰極。水銀係以燈內之每 單位容積單位封入有約4 . 5mg/c c，其結果表示於 第5圖。 結果燈X t乃從點燈後2 0小時後燈管內面之透明消失 現象有急速的進行可看出急激之輻射之降低。其理由乃推 測爲由於燈管內面過高，由而透明消失之現象有進行所致 。又燈X 5即從點燈直後燈管電壓擺振而輻射不會安定，又 觀察點燈時之燈管時在燈管內面確認了水銀之不蒸發之情 形。. 接著，對於封入有氪之水銀燈，燈管之最大直徑之一 半之値R ( c m )，燈管之料厚d ( c m )，及對燈管之 輸入電力爲W (Kw)之表示該燈之透明消失及水銀未蒸 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -16 · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝
Mmmm& n 1 ϋ t 1 1 tmmmm Mmmf ΛβΒ ammmm ϋ i 言 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 511115 A7 B7 五、發明說明（14 ) 發之關係之實驗做說明。 實驗係準備了以室溫封入3氣壓之水銀燈5種，使上 述各參數改變，對於各燈管從（（Wd) 1/2/r)之値 .做檢討。 具體之水銀燈之規格係與上述氨之情形相同，實驗結 果顯示於第6圖。 結果，燈管Y 1乃彳ίέ點燈後2 0小時後，燈管內面之透 明消失現象有急速的進行，可看出輻射之急激之降低，其 理由係可推測爲由於燈管內面溫度過高致使透明消失現象 之進行，又燈Υ 5即從點燈直後就顯出燈管電壓擺振輻射 不能穩定，又觀察點燈時之燈管即在燈管內面確認了水銀 之未蒸發之情形。 接著對於封入有氬及氪之水銀燈，燈管之最大直徑之 一半之値R ( c m )、燈管之料厚d ( c m )、及對燈管 之輸入電力爲W (Kw)之表示該燈之透明消失及水銀未 蒸發之關係之實驗做說明。 實驗係以在室溫下封入氬1 · 5氣壓，以室溫下封入 氪1 . 5氣壓又以室溫封入氙0 · 5氣壓之水銀燈，共準 備5種，而使上述各參數改變對於各燈管而依 ((W d ) 1 / 2 / R )之値來實施檢討。 具體之水銀燈之規格係與上述之氬、氪燈管之情形相 同， 其結果表示於第7圖。 該結果，燈Z 1係從點燈2 0小時後，燈管內面之透 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ▼ _ · I ai emem ϋ n 1 1 1 n Bl>i ϋ ϋ ϋ 1 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -17- 511115 A7 B7 _ 五、發明說明（15 ) 明消失現象有急速之進行，看出急激之輻射之’降低，該理 由推測爲燈管內面溫度過高，致使透明消失之進行。又燈 Z 5乃從點燈直後就有該燈管電壓擺振，致使輻射之不安 ‘定，又觀察點燈時之燈管即確認了燈管內面有水銀之未蒸 並且又在上述短弧型水銀燈中，以陽極在上方位置之 姿勢來點燈而可以抑制陰極暉點之變動。 本發明之紫外線發光裝置乃由於採用了第4圖所示之 光學系所以可能達成聚光效率高之照射也^ 第4圖表示使用本發明之短弧型水銀燈之曝光裝置。 從燈1 4出來之光線乃經過橢圓鏡1 5，第1平面反 射鏡1 6而經校準透鏡1 7以中心波長3 6 5 n m到達帶 寬10nm之帶通濾光器18，通過綜合透鏡19，在第 2平面反射鏡2 1而被反射，通過聚光鏡而到達於罩面 2 3。在燈1 4將連接電源2 6，又在實際之曝光裝置即 隨應於其使用目的而在罩面之以後乃配置有光學系，在本 發明中即予以省略。 ' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 再者，本發明中，做爲封入用稀有氣體而以封入氬之 情_形，封入氪之情形，封入氬及氪之混合氣體之情形做說 明，惟封入其他稀有氣體氨、氖、氙也可以。 又本發明人等也查出替代於氬、氪而使用氦、氖時也 有對於輻射照度之提高上有助益之事實，惟氦、氖乃通過 石英玻璃而容易*脫出於外部所以不容易長時間的維持輻射 照度，所以欠缺於實用性。 -18- -----------裝--- <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 511115 A7 _ B7 五、發明說明（16 ) 〔發明之效果〕 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如上面所說明，本發明之短弧型水銀燈乃，在石英製 之發光管中相面對的配置有陰極及陽極，而在此發光管中 •封入有水銀，稀有氣體之構成中，水銀之封入量乃發光管 內容積每1 c c單位爲1 · 〇mg以下，上述稀有氣體乃 以室溫封入有至少氬（Ar)、氪（Κι:)或這些之混合 氣體1.0〜8.0atm。 由此構成而可提供經非常狹帶域化之3 6 5 n m之暉 線光譜之具有充分之輻射照度之短弧型水銀燈也。 圖式之簡單說明 第1圖表示本發明之短弧型水銀燈。 第2圖表示本發明之水銀燈之說明圖。 第3圖表不水銀燈之輪射光譜之分佈者。 第4圖表示本發明之紫外線發光裝置。 第5圖表示顯示.本發明效果之實驗結果。 第6圖表示顯示本發明效果之實驗結果。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第7圖表示顯示本發明效果之實驗結果。 主要元件對照表 1 發光管 2 陰極 3 陽極 6 封止部 -19 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 511115
五、發明說明（17 ) 7 封止部 8 箔部 9 箔部 1 0 外部 引 線 構 件 1 1 外部 引 線 構 件 1 2 內部 引 線 構 件 1 3 內部 引 線 構 件 1 4 燈 1 5 橢圓 鏡 1 6 第一 平 面 反 射 鏡 1 7 校準 透 鏡 1 8 帶通 濾 波 器 1 9 綜合 透 鏡 2 1 第二 平 面 反 射 鏡 2 2 聚光 透 鏡 2 3 罩面 2 6 電源 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -20-