TW500643B - Conveyance roller for UV cleaning device - Google Patents

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500643 A7 __ —_B7 五、發明説明（彳) (發明所屬之技術領域） 本發明有關於用於洗淨例如液晶，彩色濾光片， P D P等之基材之UV洗淨裝置之運送用滾子。 (先前技術及本發明所欲解決之課題） 電子機器零件等係被要求非常高之洗淨度。髒污可大 別爲：塵、切削粉等之無機質、及切削油、焊劑、指紋等 之有機質，此無機質之污染係主要以水之洗淨來可以除去 。惟有機質之污染即以水之洗淨無法完全去除，所以事前 以水，溶劑洗淨之後實施藉由紫外線洗淨之精密洗淨。 即，例如在於製作生產線上配置實施此紫外線洗淨之 U V洗淨裝置而實施精密洗淨。 此紫外線洗淨如簡單的說明之即，以此紫外線燈之紫 外線（U V )照射而分斷有機物之分子鏈，接著藉此紫外 線燈之紫外線（U V )照射而在於洗淨室內發生臭氧，由 此臭氧之分解•生成反應過程之氧化力之強勁之發生期之 氧（0 )與有機物之反應，.以資將被洗淨物之表面有機物 蒸氣化而予以洗淨者，即亦可稱謂乾式洗淨。 以往之此種U V洗淨裝置乃例如第1圖所示，將被洗 淨物1 (例如彩色濾光片等之基板），從運入口 1 6而運 入於複數地並設了紫外線燈3之U V洗淨室2內，而洗淨 後從相反側之運出口 1 7而運出之構成，依序由運送機構 而將被洗淨物1 (基板1 )送入以資實施紫外線洗淨地被 構成。 ( CNS ) A4^ ( 210X297^1 ) — -4 - 8=: - ?_ = ------- —-1-» - --- 1-1--- ...... n n (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 d 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500643 A7 B7 五、發明説明（2 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 以往之此種U V洗淨裝置乃，通常沿著被洗淨物1之 運送方向地旋轉自如地並設架設多數之支撐軸4 ,而在此 支撐軸4上安裝該用於支承上述被洗淨物1之多數之運送 用滾子1 1而構成上述運送機構者。 而此運送用滾子係由於接受紫外線之照射，又被配置 於臭氧環境中，因此必須要採用長期間接受此紫外線照射 也不容易劣化者才可以。 惟，例如將運送用滾子做成爲單純用不銹鋼之全金屬 製時，即以金屬製之滾子外周部來支承被洗淨物，而在此 外周面介置有塵物塵埃等異物時即有損及被洗淨物之虞。 例如，做爲被洗淨物而支承運送玻璃基板時，如果玻 璃粉附著於滾子外周面，即可能由此滾子而傷及此基板背 面之虞。 於是本發明係開發了，在於金屬製之滾子體之外周面 之周方向形成卡合溝，而此卡合溝中，以外周部之能稍爲 突出地卡合斷面圓形之0環狀之樹脂製支承構件由而在於 滾子體上設置了樹脂部之構成之運送用滾子。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並且爲了更提高耐久性起見開發了：將此樹脂部做成 具有比板厚而半徑方向地長之多那滋板形狀，而將它以金 屬製之挾持部而使之比外周稍突出之狀態地挾持而構成之 運送用滾子（日本專利公報特開平1 〇 - 1 8 6 9 3 9號 )° 由於如此的構成而主體（滾子體）係金屬製，因此剛 性或耐久性（耐U V性能）均優秀。同時由於被運送物係 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ -5- 500643 A7 _ B7 五、發明説明（3 ) 以比滾子體之外周部稍爲突出之樹脂部所支承，因此會成 爲不容易傷及被運送物之構成。 又，此樹脂部乃採用接受紫外線照射之下改質。變質 少之耐U V性能高之聚四氟化乙烯（ρ τ F E )(例如以 商品名”鐵氟龍”供市販之樹脂）。 惟雖然採用耐U V性能優異之” P T F E ”之下，再 加工做成耐久性優異之多那滋板形狀，在於長時間之U V 照射及臭氧環境之下仍然無法避免變質，詳述之以超過使 用限界時間地長期間使用時有變質到發生裂紋、龜裂或失 去硬度、彈性等變質狀態。 因此須要頻繁地更換此滾子，不但需要維修，又維修 無及時即會發生被洗淨物之受傷，或無法運送。 於是本發明乃查出，本來被認爲對於紫外線（U V ) 很強之聚四氟化乙烯（P T F E )製之樹脂部之習用之構 成上有問題，著目於此問題點，處心積慮反複硏究，試行 錯誤之結果解決了此問題，即提供一種，以以往所使用之 樹脂材之聚四氟化乙烯（P T F E )爲基材，而對於它添 加規定之塡充材之樹脂材而形成樹脂部，由而成爲不容易 傷到被洗淨物，並且耐ϋ V性能高，飛躍性的提高原來之 使用時間（壽命）之劃時代且實用性高之U V洗淨裝置之 運送用滾子爲目的。 (解決上述課題之手段） 下面參照附圖說明本發明之要旨： 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐)~^ -6 - *---^---- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 J· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500643 A7 B7 五、發明説明（4 ) 對於在於運入被洗淨物1之洗淨室2內，設置紫外線 燈3，藉此紫外線燈3之紫外線（u V )照射而分斷有機 物之分子鏈，接著藉由此紫外線燈3之紫外線（U V )照 射而於洗淨室2內發生臭氧，藉此臭氧之分解•生成反應 過程之氧化力強勁之發生期之氧（〇)、及與有機物之反 應，以資除去被洗淨物1之表面有機物而構成之U V洗淨 裝置a之上述洗淨室2內，爲了運入或運出上述被洗淨物 1之用而設置於支撐軸4之運送用滾子，其特徵爲： 在於設置於上述支撐軸4之滾子體5上，凸出於外周 狀態地設置，用於支承上述被洗淨物1之樹脂部6，或以 樹脂材來構成設於上述支撐軸4之滾子體5本身，而將此 滾子體5本身做爲支承上述被洗淨物1之樹脂部6，而將 上述樹脂部6係以聚四氟化乙烯（P T F E )爲基材而含 有規定量之塡充材之樹脂材所構成者。 再者如申請專利範圍第1項所述之U V洗淨裝置之運 送用滾子，其中上述樹脂部6係以，在於聚四氟化乙烯（ PTFE)中，含有規定量之爲了提高磨耗、彎曲、壓縮 等之耐久性用之塡充材而成之樹脂材所構成者。 再者如申請專利範圍第1項或第2項所述之U V洗淨 裝置之運送用滾子，其中上述樹脂部6係以，規定量的含 有得使在於聚四氟化乙烯（P T F E )之組織中，在於其 周圍多數地形成微細的空隙之塡充材而成之樹脂材而構成 者。 .又如申請專利範圍第1項或第2項所述之U V洗淨裝 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----L---r — 0^II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 1· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 500643 A7 B7 五、發明説明（5 ) 置之運送用滾子，其中上述樹脂部6係，對於聚四氟化乙 烯（P T F E )中以規定量地含有，將無機質之微細粒狀 或微細之棒狀之固體做爲上述塡充材而成之樹脂材而構成 者。 又如申請專利範圍第1項或第2項所述之U V洗淨裝 置之運送用滾子，其中上述塡充材係以上述聚四氟化乙烯 (PTFE )爲基材而含有1 5〜3 0重量％者。 又如申請專利範圍第1項乃至第5項其中之一項所述 之UV洗淨裝置之運送用滾子，其中上述滾子體5乃，以 具有軸承孔部9之一對金屬製挾持部1 0來構成，而於該 金屬製挾持部1 0間，以使樹脂部6之外周部得從上述金 屬製挾持部1 0間而凸出狀態地，挾持配設被形成爲多那 滋板形狀之樹脂部6，以資於滾子體5上，以該外周凸出 狀地設置樹脂部6而構成者。 (發明之實施形態） 下面依圖簡單的說明本發明之實施形態，並表示其作 用效果。 採用：安裝有比金屬製之滾子體5之外周呈突出狀態 而可做爲樹脂製之支承部之樹脂部6之構成之運送用滾子 1 1，或採用，以滾子體5本身爲樹脂製而以此滾子體本 身做爲樹脂部6而構成之運送用滾子1 1。而以樹脂部6 之突出外周部6 A來支承被洗淨物1。 所以例如將滾子體5以金屬來製作時，即耐久性（耐 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I. -----#^丨| (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 d 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -8 - 500643 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（6 ) U V性能），剛性有優。同時被洗淨物1並非以金屬面來 支承，而以樹脂製之樹脂部6來支承，所以不易傷及被洗 淨物1。 又樹脂部6係使用聚四氟化乙烯（P T F E )之樹脂 材，因而此樹脂部6之耐U V性能亦高。 並且本發明係將此樹脂部6之胚材並不是單純之聚四 氟化乙烯（PTFE)，而是以此PTFE爲基材而含有 規定量之塡充材（例如雲母，玻璃，碳等等）而成之樹脂 材，而以含有塡充材之P T F E來形成樹脂部6 ,由而以 從來之只以P T F E來形成樹脂6時相比較時，得使使用 限界（壽命）飛躍性的提高者。 即只以P T F E來形成樹脂部6時，只樹脂部6係例 如單位照度2 0 m W / c πί時大約不耐於2 0 0 0小時之 使用。惟超過此時間之使用時會顯著的劣化龜裂或失去硬 度或彈性而劣化成破爛不堪，而依本發明時即在使用 8 0 〇 〇小時後，其狀態仍與使用前幾乎不變（不發生龜 裂，無變質），由紫外線（U V )所致之劣化極小，可以 維持幾乎與使用前相同之狀態，這是本發明人之反複之耐 久試驗之結果已獲得證實者。 換言之，爲了提高磨耗、彎曲、壓縮等之耐久性，將 添加塡充材而予以強化之，市販之添加塡充材P T F Ε採 用做爲此U V洗淨裝置a之運送用滾子1 1之樹脂部6。 由而使用於在於紫外線（U V )照射及臭氧環境中將被洗 淨物1長時間運入•運出之後。即，實現了長時間接受 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----：---rlf------IT------# (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -9 - 500643 A7 B7 五、發明説明（7 ) U V照射之下，或/及長時間在於臭氧環境中仍然非常不 易變質劣化龜裂等之運送用滾子。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 例如，做爲塡充材使用微細粒狀或微細之棒狀之固體 而將無機質之雲母，玻璃或碳等混入於P T F E而成形之 樹脂部6，由而得在於此塡充材之周圍形成多數（無數） 之微細之空隙。於是可以成爲在於P T F E之組成中散在 形成了 P T F E單獨時所沒有之數微單位尺寸之上述多數 (無數）空隙之組織構造者。 所以本發明推論可能是，由於接受U V照射而樹脂材 會收縮，惟由此多數（無數）之空隙之存在，而由此空隙 容許此收縮。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 換言之，此空隙係由收縮會更小而己，接受長時間之 U V照射而不會變質。換言之可以推論，如果沒有空隙之 單純之P T F E時，由此收縮時變質成爲破爛不堪，喪失 硬度及彈性而會發生龜裂，惟本發明之添加塡充材之 P T F E時，由於該空隙係對於組織中預先多數（無數） 散在形成，因此照射長時間之U V之後，此空隙只會收縮 而已，不發生變質。 再者，將含有於PTFE之上述塡充材之含有量規定 爲1 5〜3 0重量％，由而可以良好的發揮上述耐久性， 並且可以成形樹脂部6者。 〔實施例〕 下面依圖說明本發明之具體的實施例。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -10- 500643 A7 B7 五、發明説明（8 ) (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 沿著被洗淨物1之運送方向，旋轉自如地並設架設多 數之支撐軸4，在於此支撐軸4安裝固定用於支承上述被 洗淨物1之運送用滾子1 1，而構成運送機構。 該運送用滾子1 1乃承受紫外線（U V )之照射，配 置於臭氧環境中，所以須要採用長時間承受此紫外線（ U V )照射之下，不會劣化者。本實施例乃如下述地予以 構成。 本實施例之運送用滾子11之主體之滾子體5係以具 有軸承孔部9之一對之金屬製挾持部1 0來構成。採取： 於該金屬製挾持部1 0間，以使樹脂部6之外周部得從上 述金屬製挾持部1 0間凸出狀地，挾持配設被形成爲多那 滋板形狀之樹脂部6，以資於滾子體5上，以該外周凸出 狀地設置樹脂部6而構成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 詳述之，該滾子體5之一方之挾持部1 0係做成，於 板狀基體之一方側成一體地形成筒狀之軸承孔部9之構成 。在此一方之挾持部1 0上設置，對於插入於軸承孔部6 之上述支撐軸4而施予鎖緊固定用之支承軸鎖固機構1 2 (由形成於一方之挾持部1 0之軸承孔部9之螺栓孔 12A及固定用螺栓12B來構成）。而對於鎖緊固定於 此支撐軸4之一方之挾持部1 0，挾著上述樹脂部6而以 樹脂部6挾持用鎖緊機構（由形成於一方之挾持部1 〇之 插入孔1 3 A，形成於另一方之挾持部1 〇之螺栓孔 1 3 B，挾持用螺栓1 3 C所構成）而由另一方之板狀之 挾持部1 0來挾持固定地予以構成。另一方面放鬆此樹脂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -11 - 500643 A7 B7 五、發明説明（9 ) 部挾持用鎖緊機構1 3而可令另一方之挾持部1 0沿著支 撐軸4而滑動移動自如地構成也。 又，本實施例之樹脂部6係其胚材乃使用聚四氟化乙 烯（P T F E )來形成，由而提高耐U V性能。 又，本實施例之樹脂部6乃使用聚四氟化乙烯（ P T F E )來形成，以資提高耐U V性能。 又，本實施例之樹脂部6係形成爲多那滋板形狀，使 之具有此板厚之二倍以上之板長，成爲更可能確實牢固地 挾持於上述滾子體5之挾持部1 0，同時使之成爲更能發 揮良好之耐U V性能之構成。 詳述之，不做成〇形環形狀，而形成爲具有比料厚較 長之板長之多那滋板狀，因此使耐U V性能更能提高，而 支承被洗淨物1之突出外周部6 A以外即盡可能不受紫外 線（U V )照射地由金屬製之挾持部來掩蔽狀態地被挾持 固定，以資能發揮優異之耐久性（耐U V性能）地被構成 〇 又本實施例乃，樹脂部6並非單用P 丁 F E，以此 P T F E爲基材而含有規定量之塡充材之胚材而形成樹脂 部6而構成。 換言之本實施例之運送用滾子1 1之上述樹脂部6乃 採用：規定量地含有爲了提高磨耗、彎曲、壓縮、熱膨脹 等之耐久性用之塡充材之市販之添加有塡充材之p T F E 者。 本實施例乃採用在於P T F E中規定量地添加了雲母 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -- ----r---：---- (请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12- 500643 A7 ___fi7 五、發明説明（1〇 ) (Si〇2*K.Al)或玻璃（Si〇2)或碳（C)之 市販之塡充材之PTFE。 詳述之，樹脂部6乃在於P T F E做爲上述塡充材而 規定量地含有無機質之微細粉狀或微細之棒狀之固體而構 成。 例如本發明乃藉由反複實施之耐久試驗，證實了，例 如做爲塡充材而採用雲母（S i〇2 · K · A 1 )，而於 PTFE中含有3 0重量％之此雲母（S i〇2 · K · A 1 )者即當只用P T F E所形成者之以單位照度2 0 m V / c m2而U V照射時，大約超過2 0 0 0小時之使用時，發 生顯著之劣化發生龜裂，喪失硬度或彈性劣化成幾乎破爛 不堪，而同樣之條件下本發明者即使用8 0 0 0小時仍然 與使用前幾乎一樣（沒有龜裂，幾乎沒有變質）由紫外線 (U V )之劣化非常少，可以維持幾乎與使用前一樣之狀 態也。 又，於PTFE含有玻璃（Si〇2) 20重量％者係 ，同樣經8 0 0 0小時之使用也幾乎沒有發生劣化，證實 對於紫外線（U V )發揮優異之耐久性。 又，在於PTFE中含有1 5重量％之碳（C)時， 同樣地使用8 0 0 0小時後也幾乎不會發生劣化，由紫外 線（U V )之劣化極少，證實了可以發揮優異之耐U V性 倉§ ^ 換言之，已證實，對於p T F E規定量地添加無機質 之微細粒狀或微細之棒狀固定，由而可以發揮優異之耐 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----”---：---- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 、π 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -13 500643 A7 _ B7 五、發明説明（11) U V性能。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 以顯微鏡照片確認此添加塡充材之ρ τ F E時，在於 PTF E中，於塡充材之周圍多數（無數）地散在形成有 ，在未含有塡充材時所未見之微細之空隙，而可推測此種 微細之多數（無數）之空隙係成爲可以飛躍性的提高耐U V性能之一因。 換言之，例如，以微細之粒狀或微細之棒狀之無機質 之雲母、玻璃、或碳等做爲塡充材混合入於P T F E而做 爲樹脂部6之結果，而能成爲在此塡充材之周圍形成多數 (無數）之微細之空隙，而在P T F E之組織中形成只單 獨所用P T F E時所沒有之數微單位之上述空隙之多數（ 無數）散在形成之組織構造。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 所以可以推測，由於長時間接受U V照射由而樹脂材 會收縮，惟由於有此空隙之存在而此空隙將容許此收縮。 即，此空隙係由收縮而變爲更小而已所以接受長時間U V 之照射也不會變質。換言之，如果沒有空隙之單有 P T F E時由於此收縮而變質爲破爛不堪喪失硬度及彈性 ，發生龜裂而依本發明之添加有塡充材之PTFE即由於 預先在組織中多數的形成有此空隙，因此長時間的照射 UV之後只是此空隙發生收縮而己，不會發生變質。 所以本實施例之樹脂部6乃在於P T F E中混合得於 散在形成多數（無數）之數微單位之空隙以資提高磨耗、 彎曲、壓縮、熱膨脹等之耐久性用之塡充材，具體的說無 機質之微細粒狀，或微細的棒狀之固體，而可以發揮優異 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -14- 500643 A7 B7 五、發明説明（12 ) 之耐U V性能。 本實施例之塡充材乃，只要能形成上述空隙者，即不 侷限於上述例示之塡充材。換言之只要是無機質之微細粒 狀或棒狀之固體即可不限於上述例示之塡充材。 所以做爲塡充材，除了雲母、玻璃、碳之外，例如氧 化鈦、氧化鍩、氧化鋁、碳化矽也可使用而可以。 混合於PTFE之塡充材之含有量乃規定爲15〜 3 0重量％就可以良好的發揮上述之作用效果。使塡充材 之含有量少於1 5 %即恐怕對於使上述使用耐久時間大大 地提高之本實施之上述效果無法充分達成之虞。又多於 3 0重量％時即對於樹脂部6之成形有妨礙之虞。 再者，本實施例乃採用，在於環狀形狀之樹脂部6設 置了一處分斷部1 4之構成，或設置複數處之分段部1 4 ，而採用由複數之分斷樹脂部6C而構成整體而言成爲環 狀形狀之構成，以資不卸下被架設固定之支撐軸4之情形 下，介著此分斷部1 4而從支撐軸4而可裝卸上述樹脂部 6地被構成。 具體的說，本實施例乃，在於上述環狀之樹脂部6之 面向位置上，設置二處之分斷部1 4，於是不卸下被架設 固定之上述支撐軸4之下，仍然得於介著此分斷部1 4而 從支撐軸4而可以裝卸樹脂部6地予以構成者。 詳述之，在於滾子體5上設置，用於，在於挾持部 1 0間挾持配設此樹脂部6之鎖緊挾持固定用之樹脂部6 挾持用鎖緊機構1 3，而鬆開此挾持用鎖緊機構1 3由而 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----·---„—— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 i· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15- 500643 A7 B7 五、發明説明（13 ) 介著上述分斷部1 4而從支撐軸4裝卸樹脂部6地予以構 成者。 具體的構成係，在於此滾子體5之至少一方之挾持部 1 0設置，對於插入於上述軸承孔部9之上述支撐軸4鎖 緊固定之支撐軸4安裝用鎖緊機構1 2，而對於此支撐軸 4上鎖緊固定之一方之挾持部1 0而挾持此上述樹脂部6 以樹脂部6挾持用鎖緊機構1 3來挾持固定另一方之挾持 部1 0地予以構成，由鬆開此樹脂部6挾持用鎖緊機構 1 3而可以使另一方之挾持部1 0沿著支撐軸4而滑動移 動。而由此挾持部1 0間而介著上述分斷部1 4而從支撐 軸4而可以裝卸樹脂部6地被構成。 所以滾子體5之繫止固定於支撐軸4之狀態之下，換 言之，挾持部1 0之被固定於支撐軸4上之狀態之下，介 著該分斷部1 4而可以從該支撐軸4而卸下，可以只更換 經由長時間之紫外線（U V )照射所劣化之樹脂部6者。 所以本實施例之運送用滾子1 1將成爲可以發揮非常 優異之維修性之U V洗淨裝置之運送用滾子也。 接著，說明本實施例之第1圖，第2圖所示之U V洗 淨裝置之構成。 本實施例之U V洗淨裝置a乃，在於多數地並設了紫 外線燈3之洗淨室2，並且以水平架設狀地將（做爲被洗 淨物1 )之薄片狀之大型基板1置於多數地並設於洗淨室 2之上述運送用滾子1 1上，洗淨室2之兩側分別設置用 於運入之運入口1 6及運出口1 7。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格( 210 X297公釐) ----V---r_-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -16- 500643 A7 B7 五、發明説明（14) 該洗淨室2乃留存此運入口16及運出口17而構成 封閉狀態。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 沿著運送方向，連設狀態地分別設置覆罩此運入口 1 6及運出口1 7之外裝室1 8 °而在此外裝室1 8，分 別設置運入口 1 6 A，運出口 1 6 A，於是被洗淨物1之 被運入於洗淨室2時，依序通過運入口 16 A，外裝室 1 8，運入口 1 6地被運入。經紫外線洗淨後運出時即依 序通過運出口 17，外裝室18，運出口 17A而被運出 地予以構成。 更具體的說明之即，本實施例乃，在於具有運入口 1 6 A及運出口 1 7 A (得由開閉上蓋1 9而開閉自如） 之運入收容部內，凸設留著上述運入口 1 6及運出口 1 7 而予以隔開之隔開部1 8，而做成在該運入收容部內，於 上述洗淨室2及其左右分別設置了上述外裝室1 6之構成 ，可以說明在於以往之洗淨室2之運入口 1 6及運出口 1 7之各個外側，再連設做爲補助室之外裝室1 8，於是整 體而言成爲雙重室之構造之構成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並且做成此種雙重室構造之外，爲了避免如習用例一 般地從運入運出口 1 6，1 7而有多量地洩漏於外部，不 採用自臭氧環境而直接強勁的施予排氣之構成，而使洗淨 室2係徹底地可以充分充滿之構成，而在於外裝室1 8設 置排氣部2 1以資排氣該從此洗淨室2之運入口 1 6運出 口 1 7暫且必會洩漏出於外裝室1 8之臭氧環境。 所以，由於不致於漏出於本裝置a之周圍地在於洗淨 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X25T7公釐） -17- 500643 A7 _______B7 五、發明説明（15 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 室2之外側之外裝室1 8來做排氣，因此由紫外燈3所發 生之臭氧環境乃，充滿於洗淨室2之後洩漏於洗淨室2外 之外裝室1 8，且以不會洩漏於本裝置a周圍地以外裝室 18內實施排氣，所以與習用之裝置之，爲了避免洩漏於 本裝置a之設置周圍起見，從洗淨室2內實施直接強勁之 排氣者不相同，可以將洗淨室2內之臭氧濃度保持於高値 〇 換言之，本裝置a之設置周圍之臭氧環境之洩漏乃與 習用例相比較更能完全地防止，並且上述洗淨室2內之臭 氧濃度乃與習用例比較，在同一 U V照射量之下可以保持 於較高之。 在於本實施例中，在於洗淨室2內，隔著規定之間隔 地多數地並設臭氧濃度檢測裝置2 2 (臭氧偵驗點），依 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 此臭氧濃度檢測裝置2 2實施洗淨室2內之臭氧濃度之微 調整或不均勻時之濃度分佈之調整起見，不只是在於外裝 室1 8，在於洗淨室2內也設置爲了排氣臭氧環境之濃度 分佈調整用之排氣部2 3 ,而依據上述臭氧濃度檢測裝置 2 2而電腦控制使該各排氣部2 3動作，以資在於洗淨室 2內使臭氧濃度均一者。 再者，由上述外裝室18之來自上述排氣部2 1之排 氣，而在於上述外裝室18之運入口16A及運出口 17A而被吸入外氣，由而發生氣帘，於是上述外裝室 18外之上述本裝置a之設置周圍，得確實的封閉自運入 口 16A及運出Π17Α洩漏之外裝室18內之臭氧環境 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -18- 500643 Α7 Β7 五、發明説明（16 ) 者。 如上所述，在於本實施例內，由於雙重室構造，所以 可以防止臭氧環境之拽漏於UV洗淨裝置a，由而不會有 惡化周圍環境之虞。 於不具備本實施例之隔開部2 0，不具備外裝室Γ 8 之習用例時，洗淨室2內之臭氧濃度爲2 0〜4 OPPM ，且不均勻。 而依本實施例即在於相同之紫外線累積照度而1 〇 0 〜1 5 0 P P Μ，可以將洗淨室2內保持於高的臭氧濃度 。可以使接觸角小約1 · 5倍，並且成爲均一之濃度，洗 淨效果係大大地提高係已獲得證實。 並且，如前面所述，在本實施例乃如前面所述一面藉 由臭氧濃度檢測裝置2 2 —面檢測一面藉由複數地配設之 洗淨室2內之排氣部2 3而實施排氣調整，於是更能使洗 淨室2內之臭氧濃度分佈均一化，所以可以發揮非常高之 洗淨能力。 同時爲了上述，不需要設昂貴之大功率紫外線燈，或 加長紫外線之照射時間，因而可削減製作成本或運轉成本 〇 再者，本實施例之紫外線燈3乃，使用低壓水銀燈， 而處理溫度係以I R加熱器而設於1 0 0〜2 5 0 °C，洗 淨室2內之臭氧濃度即採用500〜1000PPM，由 而例如將數百m m角之大型基板，藉由ϋ V照射，高濃度 臭氧，溫度加熱之相乘效果而得於實施良好之乾式洗淨地 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） .I--；---- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T ί· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -19- 500643 A7 B7 五、發明説明（17 ) 予以構成者。 又，圖中之標號2 4係溫度檢測裝置（溫度校對點） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 〇 再者本發明乃並不侷限於本實施例，各構成要件之具 體的構成係適當的做各種設計也。 (發明之效果） 本發明係由於如上述地被構成，因此以以往所使用之 樹脂材之聚四氟化乙烯（PTFE)爲基材，而在此中添 加規定之塡充材而以樹脂材來形成樹脂部來形成。因此成 爲不容易傷及被洗淨物，比以往之使用時間（壽命）大大 地提高之劃時代且實用之U V洗淨裝置之運送用滾子。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 詳述之做爲此U V洗淨裝置之運送用滾子之樹脂材地 採用：例如添加爲了提高磨耗、彎曲、壓縮等之耐久性而 強化之塡充材之P T F E而爲該運送用滾子之樹脂部，由 而在於紫外線（U V )照射及臭氧環境中爲了長時間地使 用於爲了運入•運送被洗淨物而使用，換言之成爲長時間 地接受U V照射，在於臭氧中曝曬長時間之下，仍然不會 變質劣化，龜裂也都不會發生之UV洗淨裝置之運送用滾 子。 詳述之，滾子體之樹脂部乃不是單用P T F E來形成 ，而是以此P T F E爲基材，含有規定量之塡充材（例如 雲母、玻璃、碳等）之胚材來形成樹脂部，由而可以成爲 雖然是非常不容易傷到被洗淨物之構成之下，大大地可以 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -20- 500643 A7 B7 _ 五、發明説明（18 ) 提高耐久使用限界（壽命）之UV洗淨裝置之運送用滾子 也。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 於申請專利範圍第2項〜第5項所述之發明中，可成 爲確實地發揮上述發明之作用效果之U V洗淨裝置之運送 甩滾子。 於申請專利範圍第6項所述之發明中，不做成〇形環 狀而做成具有比料厚更長之板長之多那滋板狀，由而更能 提高耐U V性能，且支承被洗淨物之凸出外周部以外係盡 量不接受紫外線（U V )照射地，由金屬製之挾持部而遮 蔽狀態地被挾持固定，因此得成爲更能發揮優異之耐久性 (耐U V性能）之非常劃時代之U V洗淨裝置之運送用滾 子者。 圖式之簡單的說明 第1圖係本實施例之U V洗淨裝置之槪略構成說明圖 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第2圖係本實施例之U V洗淨裝置之洗淨室及外裝室 之提起蓋而成開啓狀態之說明斜視圖。 第3圖係本實施例之分解說明斜視圖。 弟4圖係表不本實施例之使用狀態之說明斜視圖。 第5圖係表示本實施例之使用狀態之說明斷面圖。 第6圖係本實施例之切開一部份之說明放大斜視圖。 第7圖係表示將本實施例之挾持用鎖緊機構予以放鬆 ，對於一方之挾持部稍微滑動移動之開啓狀態（拆下形成 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格(210X 297公釐） ~' -21 - 500643 A7 B7 五、發明説明（19) 樹脂部之二個分斷樹脂部）之切開一部份之說明放大斜視 圖。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (標號之說明） 1 ......被洗淨物 2 ......洗淨室 3……紫外線燈 4 .....支撐軸 5……滾子體 6……樹脂部 9 ......軸承孔部 10……挾持部 16 ......運入口 1 6 A ......運出口 17 ......運入口 1 7 A ......運出口 1 8……外裝室 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 19 ......開閉上蓋 2 0……隔開部 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22-

Claims (1)

1. 500643 A8 B8 C8 ___ ___ D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 · 一種uv洗淨裝置之運送用滾子，主要乃，對於 在於運入被洗淨物之洗淨室內，設置紫外線燈，藉此紫外 線燈之紫外線（u v )照射而分斷有機物之分子鏈，接著 藉由此紫外線燈之紫外線（U V )照射而於洗淨室內發生 臭氧，藉此臭氧之分解•生成反應過程之氧化力強勁之發 生期之氧（0 )、及與有機物之反應，以資除去被洗淨物 之表面有機物而構成之UV洗淨裝置之上述洗淨室內，爲 了運入或運出上述被洗淨物之用而設置於支撐軸之運送用 滾子，其特徵爲： 在於設置於上述支撐軸之滾子體上，凸出於外周狀態 地設置，用於支承上述被洗淨物之樹脂部，或以樹脂材來 構成設於上述支撐軸之滾子體本身，而將此滾子體本身做 爲支承上述被洗淨物之樹脂部，而將上述樹脂部係以聚四 氟化乙烯（PTFE)爲基材而含有規定量之塡充材之樹 脂材所構成者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 ·如申請專利範圍第1項所述之u V洗淨裝置之運 送用滾子，其中上述樹脂部係以，在於聚四氟化乙烯（ PTFE)中，含有規定量之爲了提高磨耗、彎曲、壓縮 等之耐久性用之塡充材而成之樹脂材所構成者。 3 ·如申請專利範圍第1項或第2項所述之U V洗淨 裝置之運送用滾子，其中上述樹脂部係以，規定量的含有 得使在於聚四氟化乙烯（P T F E )之組織中，在於其周 圍多數地形成微細的空隙之塡充材而成之樹脂材而構成者 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -23- 500643 A8 Β8 C8 D8 __ 六、申請專利範圍 4 ·如申請專利範圍第1項或第2項所述之u v洗淨 裝置之運送用滾子，其中上述樹脂部係，對於聚四氟化乙 烯（P T F E )中以規定量地含有，將無機質之微細粒狀 或微細之棒狀之固體做爲上述塡充材而成之樹脂材而構成 者。 5 .如申請專利範圍第1項或第2項所述之U V洗淨 裝置之運送用滾子，其中上述塡充材係以上述聚四氟化乙 烯（PTFE)爲基礎而含有1 5〜30重量％者。 6 .如申請專利範圍第1項或第2項所述之U V洗淨 裝置之運送用滾子，其中上述滾子體乃，以具有軸承孔部 之一對金屬製挾持部來構成，而於該金屬製挾持部間，以 使樹脂部之外周部得從上述金屬製挾持部間而凸出狀地， 挾持配設被形成爲多那滋板形狀之樹脂部，以資於滾子體 上，以該外周凸出狀地設置樹脂部而構成者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -24-