TW498159B - Apparatus for measuring ion concentration - Google Patents

Description

498159 於離子濃度測定裝置，特別為關於可以極高 小離子濃度變化之各種裝置、和各種系統中 和離子漏洩檢測等中所用之合適的離子濃度 五、發明說明（1) 技術領域 本發明為關 精確度測定微 離子濃度變化 測定裝置。 背景技術 氨和納、氯 等濃度之測定 卻水製造系統 各使用點所使 貯留於目標槽 但特別因為來 乃造成問題， 試料中之氨濃 測定氨之濃度 先前，一般 定量之測定用 捕捉，並且經 及其變化。此 亦根據電導計 具有變成昂貴 又，於使用 導率極大時， 電導率為300 0 、鈣、鉀、二 ，於各種產業 中，如後述， 用之鹽水的熱 中，並且被使 自熱交換器等 故要求測定、 度已知與試料 上，已知有效 而言，測定試 試料，並且以 由測定其電導 方法必須進行 之性能而異， 裝置的可能性 先前型之電導 並不可能檢測 // S之試料中 氧化碳、 領域中為 經由熱交 交換，則 用做為各 之冷凍機 監視此鹽 之電導率 為測定試 料中氨濃 加熱或強 率之變化 採樣、洗 但於進行 石夕石、鎮 必要的。 換器進行 可令冷確 使用點用 側之氨漏 水中漏洩 具有相關 料的電導 度之方法 驗令氨發 ，則可檢 淨、捕捉 高精確度 、硫酸離子 例如，於冷 冷凍機側與 之鹽水為被 之冷卻水， 洩至鹽水中 的氨濃度。 之關係，於 率0 例如採取一 生且被純水 測出氨濃度 液體等，雖 之測定上， 計之情形中，於試料之基礎電 出氨濃度的微妙變化。例如於 若添加氨後之電導率為變化

\\312\2d-code\90-06\90107691.ptd 第4頁 498159 五、發明說明（2) 0 · 5 // S，貝1J此變化為約1 / 1 0 0 0 0之變化，以先前型之“ 計則因考慮干擾程度而無法測定。因此，令試料以電導 之電導率低之水予以吸收，例如若作成1 # s之水，則水般 變化為約1/2之變化，故可進行測出。此類測定方、1上述 重覆進行分批式採樣之型態，必須具有其所用之附t以 及附帶試藥，使得測定裝置變成昂貴，且測定操 f置 雜。又，難以連續測定濃度變化。 ”’、煩 發明之揭示 於是’本發明之目的為以提供可以極高精確度 定&且亦可輕易連續測定氨轉子濃度變化 = 可廉價製造之離子濃度測定裝置。 門早構造且 ，y達成上述目的，本發明之離子濃度測定 有至少2個電極之電導率測定電池，對於 為將具 連接於試料測定流路中並以2個直列 ：:依序 電導率測定電池之檢測信號本身的差值， /、有將兩 定電池位置間試料之電導率差值型式輪出功:至導率測 計，並根據由該差電導計之輸出， \ 差電導 導率變化值與試料中檢測對象離子ί户：ί::試料之電 算出試料中離子濃度變化為其特徵。X艾化值之關係， 於本發明中，檢測對象離子並無 — 之離子可列舉氨、鈉、氯、㈣、鉀酸疋矽：有效夠出 酸離子之至少一種。 厌1 夕石、鎂、碳 於此離子濃度測定裝置中，於 述2個電導率敎電池間 、己^料測定流路中之上 苹仫表配預先決定容量之時間 ΙΗΙ 第5頁 498159 五、發明說明（3) 延遲柱。即，以時間延遲柱造成設定的時間差，並且輸出 來自兩電導率測定電池之檢測信號本身的差值，並根據此 輸出功率，測出離子濃度之變化值。直接測出試料電導率 之變化值，由於預先求出試料電導率之變化值與試料中離 子濃度變化值之相關關係，故根據其相關關係，經由讀 取、或者簡單的演算手段（演算程式），則可輕易算出試料 中之離子濃度變化。

、’於上述離子濃度測定裝置中，於試料測定流路之J =2、個^電導率測定電池之上游，較佳配置可令所送達之試 二？ f及脫泡之脫氣裝置。藉此匕’則可除去微細氣泡等輩 於測定所造成之影響。 料定Ϊ I ΐ Ϊ將離子濃度變化之測定對象試料送達至詞 中;主入；Ϊί:段、與在該離子濃度變化之測定對象試料 設置，則因料令試料之 檢測測定對象試;之:::變=二， 度以上時，可確實檢測出其^間之離子浪度變化為某程 又，亦可具有將來自數個試料谓 達前述試料測定流路之手 m，原之嘁料切換並且送 可分別配置具有前述2個電導=數個試料採集源，亦 路。根據測定頻率和間隔、、^電池之試料測定流 用任一構成即可。 ，測定之必要性等，決定採 又，各電導率測定電池本身木 “、、符別限定，例如 498159 五、發明說明（4) 可為如下之構成。例如，各電導率測定電池义 2個電極為由電導率檢測用電極、和電流供給用電則極处上少 Ϊα ίΐ，各電導率測定電池分別具有3個電極，該3:電 ^為由電導率檢測用電極、與該電導率檢測用電電 刀別以間隔配置2個交流電流供給用電極 ° " ^ 於該2個交流電流供給用電極，供給同相交=;之用 或去，夂半、苦士 入电々丨L之構成。 有各電導率測定電池為分別具有3個 為採用由電導率檢測用電極、和該電導率檢、/電3= 側以間隔配置之交流 二、電極之電 L電/瓜七、、、，口電柽和刖述電導率檢測用 笔才之反側以間隔配置之接地電極所構成。 、替於此類電導率測定電池中，前述至少2個電極為分 二】金屬構成之電極本體表面’以氧化鈦形成電極面' 此構成，則於測定對象試料中含有有機物等 m: ’為了除去該有機物等對於電極面之附著和吸附 = 對於電導度測定之影響，可根據氧化欽之光觸媒 I* It猛效活用有機物分解性能、和超親水性。為了於氧 、曰,揮光觸媒活性’較佳對此氧化鈦層配置光照射手 ί炼I二r各電導率測定電池為採用具有於前述至少2個 電和之電極面間所形成之被測定物質貯留空間、斑 極面照射光線之光照射手段之構成。 導率測定電池中’㉟由上述光照射手段所照射之 j車父佳為具有激起上述氧化鈦層之光觸媒活性之波長。 ，可使用300〜400⑽左右波長之光線。光照射手段可 直接使用構成不可見光等之紫外線照射手段等之光源，且 麵 \\312\2d-code\90-06\90107691.ptd 第7 1 498159 五、發明說明（5) 亦可使用由光源導出光線之導光體（例如，光纖）做為光照 射手段。 又，亦可令上述被測定物質貯留空間以透光體畫成，且 來自光照射手段之光線為通過透光體（例如，玻璃）照射電 極面為其構成。此情況，若於透光體之被測定物質貯留空 ，側表面（接液面），施以可透光之氧化鈦塗覆物，則經由 氧化鈦塗覆層之超親水性和有機物分解性能，亦可防止 機物等對於此透光體表面之附著。 上述電極，例如可依如下之 所構成之電極本體表面，以錢 氧化鈦層並且形成電極面之方 極本體，且於鈦金屬所構成之 成由氧化鈦層所構成之電極面 鈦層之方法，除了以電解之方 化之方法。 方法製造。即，於導電金屬 鑛、鍍層等之表面處理設置 法、或者、以鈦金屬構成電 電極本體表面賦與氧氣，形 之方法。賦與氧氣形成氧化 法以外，亦可使用以空氣氧 本發明 中之被熱 用於稀釋 明之離子 如，前述 由冷凍機 於本發 料中之電 之電導率 离隹 交換流 或混合 濃度測 試料為 側測定 明之離 導率絕 變化為 體中之 液中之 定裝置 於冷卻 該鹽水 子濃度 對值， 對應於 定裝 離子 離子 為適 水製 中漏 測定 而為 離子 置，例 濃度變 濃度變 合使用 造系統 Ά之氨 裝置中 測定電 濃度變 如適合使用 化之測定， 化之測定。 於冷卻水製 中由鹽水中 濃度之裝置 ，基本上， 導率之變化 化之值。因 於熱交換系 又，適合使 更且，本發 造系統。例 採集，並且 為其構成。 並非測定試 ，且所測定 為檢測出變

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五、發明說明（6) Π可定基礎之電導率和離子漠度值之大小， 料，故不需；又’因為可直接測定試 用的附帶裂置和附帶試藥，之型悲中所 且，若使用電極利用氧化鈦之光=2間略化。更 定。 尤觸媒活性者，則可安定測 甩實施最佳形熊 以下，邊參照圖面一邊說明本發明f 1 έ + 44r η、田 想、、本發明之較佳的實施形態。 月更坪細之技術思 電ΐ U ?關於本發明之離子濃度測定裝置中所用之差 電ν 6十，其次，以使用此差電衣罝Τ所用之差 有效性之試驗為中心， ° 疋雔子濃度並確認其 ^ θ田％ Τ 月本發明之離子濃声钏宝駐堪 並且，再說明此離子濃度測定裝置:測疋裝置， 成例。 於應用領域時之構 首先，祝明本發明之離子濃度测 計。本發明中使用之差電導計將^ j置中所用之差電導 導率測定電池，對於所送達試料:二少二個電極之電 中並以2個直到配置，並將兩電ϋ接於試料測定流路 值型式輸出功率之差電導計。 置間忒料之電導率差 圖1為示出本發明之離子濃度测 計之一例。圖1所示之差電導計1中，' 中/斤用之差電導 交流電流為被供給至各電導率测定 ^自父流振盪器2之 率測疋電池3為以附有倍率設定 ^ 4其之電導 的5之位相反轉放大器6予

C:\2D-CQDE\90-06\90107691.ptd 498159 五、發明說明（7) 以指定倍率放大 之電導率測定電 電流不會反轉位 出功率側為被連 反轉，故可取得 身之差值，進行 度（測定範圍）切 個輸出功率信號 10為示出兩電導 由差導對，為變值，行置程製®) 非出電僅值非或差係進設流調f 並算各可化並值之關度為電可.I ί^ 。，演自故變圍差值無感因給均_ 貝 值此值來，或範之對值高，供者(> 化如對於理值定率絕對且又之一度 變 絕對處差測導率絕度 側任感 ，且，供給位相反轉的交流電流，另一者 池4為以放大器7，令一定倍率放大之交流 相地被供給。各電導率測定電池3、4之輸 接，上述其一之供給交流電流之位相為被 來自兩電導度測定電池3、4之檢測信號本 減算處理。此減算處理之信號為以附有感 換器8之放大器9予以放大，並以指定之一 1 0型式輸出功率。因此，此輸出功率信號 率測定電池3、4之檢測電導率間之差值或 各個電導率測定裝置所輸出功率之檢測值 值和變化值，而為在一個差電導計1内， 率測定電池3、4之檢測信號本身進行演算 兩電導率測定電池3、4之檢測電導率間之 以良好精確度進行抽出。又，此測定時之 電導率之絕對值，且若相對於欲測出之電 化值予以調整即可，故即使於相對對電導 和變化值為微少之情形中，亦與電導率之 可調整至最適的測定範圍，且可以極高精 測定。 倍率設定器5使得其一之電導率測定電池3 度可被適當切換，故對於濃縮系或稀釋系 最適之感度。並且，於輸出功率側亦設置 切換器8，故最終輸出功率信號之程度亦

\\312\2d-code\90-06\90107691.ptd 第10頁 498159 五、發明說明（8) 可調整至最適的程度，並且可以最適度測定電導率測定之 差值和變化值。其結果，信賴性極高之電導率測定差值和 變化值數據’可以高精確度且高感度取得。 此類差電導計為例如以圖2所示之構成。圖2所示之差電 導計11為具有至少2個電導率測定電池（本實施態樣為以2 個電池構成予以圖示），且該測定電池具有至少2個連接被 測定物質（試料）之電極（本實施態樣為以3個電極構成予以 圖示）。各電導率測定電池12、13(圖1中為以電池1、電池 2表示）’於本實施態樣中，為以令來自各電導率測定電池 1 2、1 3之檢測信號本身進行減算處理地予以電性連接。 馨 各電導率測定電池1 2、1 3為以電性並列連接。各電導率 測定電池12、13之電流供給用電極12a、13a中，由做為電 源之父振盡裔1 4供給同相之交流電流。各電導率測定電 池12、13之電導率檢測用電極12b，13b為彼此以電性連 接，且來出兩檢測電極丨2b、1 3b之檢測信號本身之數值為 如下進行減算。於電導率測定電池丨3之電流供給用電極 1 3a之前’設置可令供給之交流電流值以指定倍率放大或 縮小之位相反轉器1 5，於電導率測定電池1 3做為檢測對象 之被測定物質的電導率程度，亦可與電導率測定電池丨2者 相比較差異，並且令此檢測信號之位相反轉。若如此處 彳_ 理，則來自各電導率測定電池1 2、1 3之檢測信號本喜=姑 實質上進行減算。 # j m 施以上述電性演算處理之信號，即，來自電導 電極1 2b、1 3b之連接點所得之信號，為經由一個放:=1已

第11頁 498159 五、發明說明（9) 之輸出功率信號型式被放大至適切之程度。此時，以測定 範圍切換器17，根據測定對象選出最適的測定範圍。 來自放大器1 6之信號，於本實施態樣中，為以、σ 環境進行溫度校正後’以同期整流處 理至與父流振盪器14之輸出功率側同期，並且，令主信號 乃成為各種控制和輸出功率顯示上最適程 S 7二二 放大器21予以放大’並且以=之輸: 於上述之差電 拄，則可以良好 的時間性變化值 動水之流動方向 時，可將差電導 丘里管（Ventur i 水之電導率首先 此樣品水通過時 5 7，於是再測定 返流水管5 2下游 螺旋狀，並且可 本實施態樣為實 下游側位置58為 i

導计中，t由使用指定含量之時間延遲 的精確度測定試料（被測定物質）之電導為 。例如圖3所示般，相對於流水管52内流 ，欲測定不同位置間之電導率測定之變^ 計5 1配設於上游側之位置5 3中例如透過^ tube)54則可將樣品水予以採水。此樣士 以一者之電導率測定電池5 5予以檢測後， 間延遲柱5 6送至另一者之電導率測定電％ 樣品水的電導率，並將測定後之樣品水發 側之位置。時間延遲柱5 6例如將細管接居 調節由流入端至流出端為止之通水時間， 質上對應於流水管5 2中之上游側位置5 3 j 止的通水時間。 設置此類之時間延遲柱56，令對於同一樣品水之電導率 f測時機予以時間性地錯開，則可觀測其間電導率為如何 變化。於此觀測中，·經由使用本發明之差電導計5丨，則可

五、發明說明（10) 一 二，導率之變化值以信賴性高且 出來。 赏確度和咼感度下檢測 —;本發明中，各電導率測定電池本 i 疋’若主目女、* M、_L· , 呀之構造並無特別限 右為具有連接被測定物質（試 引I艮 導率測仝φ」之至）2個電極的雷 守千成1疋電池即可。各電導率測定 日]冤 為由電導於：目,丨田φ^ . ’也中之至少2個電極 V松測用電池、和電流供給用雷梳％桃a “極構成之情形中，亦可令一個做妯 ’於3個 用電極以供給交流電流 =:電極。電流供給 成。 1一亦可為供給直流電流之構 圖4為示出本發明中可庫 的概略槿& = 構成之電導率測定電池 管示之電導率測定電池61，為對於測定 者於測定管62中貯留之做為被測定物質的 隔配詈* =:令電源電極64與電導率檢測用電極為以間 6fi外Λ ί源電極64為例如由電源（省略圖示）透過放大器 -為二ΐ 1L定電壓，且來自電導率檢測用電極65之檢測電 /爪為供於丽述之加算和減算處理。 I、上述^極構成之電導率測定電池6 1中，測定管6 2為至 少令上述電導率測定部位由絕緣體（例如氯乙烯管）所構 f1仁通#於其延伸渡位之任一位置，實質上多呈接地狀 匕、、且起因於此接地狀態，取得來自周圍環境的干擾。 為了除去此類干擾之影響，例如使用圖5和圖6所示之3 極構成之電導率測定電池為佳。於圖5所示之電導率測定 電池71中、’對於絕緣測定管72中流入、或者於測定管72中 貯留之做為被測定物質的被測定流體73，設置連接此被測

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498159 五、發明說明（11) :流5之3個電極74、75、76。3個電極為由檢測出電導 率之電V率檢測用電極74、與該電導率撿測用 側分別具有間隔配置之2個交流電流供給用電極、π ' 構成。2個交流電流供給用電極75、76為透過放大 且同相之交流電流為似相同電位之定電壓供給。來 率檢測用電極74之檢測電流為被供給於 二圖5由所：之電導率測定電池71中，電導率 7二，由其兩側所配置之供給相同交流電流的2個交 k仏給用電極75、76，對於存在測定管72延伸部位 生遮蔽。即，2個交流電流供給用 電極75、76中，定電壓交流電流為以同相供給，且 檢測用電極74與交流電流供給用電極75、76間之炎 經常保持指定之一定值後，於電導率檢測用電極74與外： 接地一點之間為實質上不存在電性電阻之狀態。因此， 4所不之電池構成中，起因於電導率檢測用電極與外、" 地點之間的電阻值、和此電阻值變動所造成來自〃電導 測用電極對於輸出功率電流之影響，為實質上完全變無= 換=之，來自電導率檢測用電極74對於外部接地點之^洩 電流為完全不存在。其結果，來自電導率檢測用電極W之 輸f功率電流為以無平時外亂之狀態下釋出，可防止外乳 所造成之偏差和變動，可安定進行平時高精確度之 ^ 的測定。 今平 ^圖6所示之電導率測定電池81中，對於絕緣測定管μ 中流入、或者於測定管82中貯留之做為被測定物質的被測

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498159 五、發明說明（12) 定流體83 ’設置連接此被測定流體83之3個電極84、85、 86。3個電極為由用以檢測電導率之電導率檢測用電極 =、和於該電導率檢測用電極之單側以具有間隔配置之交 流電流供給用電極85、和於電導率檢測用電極84之反側以 間隔配置之接地電極86所構成。交流電流供給用電極 =透過放大器87 ’以定壓供給指定的交流電流。來自電 V率檢測用電極84之檢測電流為被供於前述之減曾處理。 4 = 57二導厂㈣]定電池81中，僅對於交：電流供 供給交流電流，且接地電極86為經由 =而強制地令電位為〇，此些電極85 '⑽為被配置 導率檢測用電極84之兩側。因此，電極85、 ^

二率中4，以所謂的電阻分割之形態：於：電J 流，且 由；定的定電壓交流電 狀能為婉當安A、 p接也強制令其電位經常為〇，且此 狀心為、、.工^女疋。即，測定管82 接地之狀態，亦於盆接妯m β 3 I I狎邛位即使為以 無加入電阻之餘地，因此 ==之間並 釋出之電流遷移變動。目并::電¥率檢測用電極84所 秒艾助因此，來自電導率 =功率電流為經常以無外亂之狀態取出，; 造成之偏差和變動，且可經當 一防止外亂所 之測定。 、吊女疋進仃鬲精確度之電導率 於本發明中，電導率測定電池 定’例如可為圖7所示之構造。於圖7所示= 池91中’例如於圖⑽之導電金屬所構成之\^電 第15頁 \\312\2d-code\90-06\90107691.ptd 表面，經由氧化鈦層93形成電極面之 為較佳使用。氧化鈦層93為於導電金】V率測定用電極94 92之表面’經由濺鍍、鍍層等之 卢所構成之電極本體 者，由鈦金屬構成電極本體92 3則可形成，或 成。可經由電解和空氣氧化進行氧化:、表面氧化則可形 電導率測定用電極94，為被使用 之2個或3個各電極之電極，且如圖相田方；圖4〜6所不 構成之電極支撐體95中，以露出電極而不：又，a於絕緣體所 7所示之電導率測定電池91中' 態埋設。於函 电極9 4為以一列配詈，

==電：94a、電極94b、為與電源連接之交流電流令 9切為做為電導率檢測用之感應器機 能之電導率檢測用電極所構成。

電極支撐體95為將基體96固定於指定位置。基體96為設 置令被測疋流體（例如，水溶液）流入之流入D 9 7及流出之 流出口98、與電導率測定用之流通孔99及流通孔1〇〇。於 電極支撐體9 5中，設置流通孔1 〇 1和流通孔丨〇 2，且令流通 孔1 0 1為連通基體之流通孔9 9，流通孔1 〇 2為連通基體之流 通孔1 0 0。由流入口 9 7所流入之被測定流體為通過基體9 6 之内部通路103、流通孔99、電極支撐體95之流通孔1〇1， 且流入各電極9 4之電極面側所形成之被測定物質貯留空間 1 0 4。被測定物質貯留空間1 〇 4為形成被測定流體之電導率 測定用流路。來自被測定物質貯留空間1 〇 4之流體為通過 電極支撐體95之流通孔1 02、基體9 6之流通孔1 〇〇。内部通 路1 0 5，並由流出口 9 8流出。

\\312\2d-code\90-06\90107691.ptd 第16頁 498159 五、發明說明（14) 基體96中，在對應於各電極94a、94b、94c位置穿設貫 穿孔 106a、106b、106c，通過貫穿孔 i〇6a、l〇6b、106c 將 必要的電配線引出。 被測定物質貯留空間1 〇 4於本實施態樣中，為經由薄片 狀之襯板1 0 7、與電極支撐體9 5上透過襯板1 〇 7以間隔對向 配置之做為透光體的透明玻璃板1 〇 8予以區隔。此玻璃板 1 0 8於被測定物質貯留空間1 〇 4側表面，亦可在不損害透光 性之程度上施加以氧化鈦塗層為佳。測定流入此被測定物 質貯留空間1 0 4内之流體的電導率。 電極支程體95、襯板1〇7及玻璃體108為透過螺栓109， 經由掩蓋1 1 0被固定於基體9 6之一面侧。於掩蓋體丨丨〇中間 設透光用之窗1 1 1。通過此窗丨n，照射來自外部配置之光 照射手段11 2之光線。所照射之光為由窗丨丨1通過玻璃板 I 0 8 ’並且照射至形成各電極9 & a、9 4 b、9 4 c之電極面的氧 化欽層93。所照射之光為選擇具有令氧化鈦層93發揮光觸 媒活性波長之光。例如，可使用特定波長（例如， 3 0 0〜40 Onm之波長之紫外線，且光照射手段112可例如使用 發出紫外線之不可見光。 若構成此類之電導率測定電池9丨，則可經由光照射手段 II 2進行光知、射’令各電極g 4 a、g & b、9 4 c表面設置之氧化 鈦層93為發揮光觸媒活性，且即使於流入被測定物質貯留 空間1 0 4之被測定流體中含有有機物時，亦可令該有機物 經由光觸媒活性而分解，故在測定電導率時之電極面進行 離子交換’亦可防止非導電性之有機物於電極面上附著、

第17頁 \\312\2d-code\90-06\90107691.ptd 五、發明說明（15) 吸附。因此 可經常安定 精確度良好 又，玻璃 氧化鈦塗層 且亦可防止 等，可維持 以上，詳 電導計，於 度測定裝置 之測定上的 想，以進行 子濃度測定 如上述， 鈦被膜所覆 且，作成具 電導率下， 微小之電導 型式補捉， 例如，於 乎不可能進 氧化鈦被膜 為其構成， 常南^並且 不品要疋期清洗電極面，且即使未清洗，亦 且以良好精確度測定電導率。又，亦可確保此 之測定的再現性。 板1 08之被測定物質貯流空間1 04側表面若施以 ，則於此面側亦可阻止有機物之附著和吸附， 有機物於被測定物質貯留空間1 04内之蓋積 良好的測定精確度。 細1明本發明之離子濃度測定裝置中所用之差 本發明中’如上述之差電導計為被裝入離子濃 中本發明之將上述差電導計使用於離子濃度 有效性’即’關於本發明之基本性的技術思 萑 < 其有效性之試驗為中心，說明本發明之離 裝置。 本發明中使用之差電導計，為使用表面經氧化 被之電極且作成於光照射下使用之電極構成， 有特別之差值測定電路之裝置構成，故可於高 且以含有水溶性有機物之系統，安定檢測出極 率之變化。將此電導率之變化以離子濃度變化 乃為本發明之離子濃度測定裝置。 ，有有機物之鹽水中，電極之污染大且幾 行安定之測定，但如前述，經由令電極表面以 覆被’且以氧化鈦活化之35〇nm左右之光照射 則可令電極表面之親水性（形成超親水界面）非 經由光觸媒活性而具有有機物等之氧化分解特

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性，故於電極表面不會引起有機物等之附 之水合構造亦不會破壞界面， 口離子 安定。特別，以構成使用3個電 材料更極為 >、六中、六#丄” 电位之乂机疋電壓驅動哭盥 父^▲放大、及二個電導率電池，並且使用1Ί 電路，活用電極材料之特徵，構成 限：：： 度、高安定之差電導計。 、位丨艮之起同感

為了確認此類差電導計使用於測定離子濃度變化之有效 性，乃進打如下之試驗。圖9示出試驗裝置之概略構成, 於圖9所示之離子濃度測定試驗裝置2〇〇中，試料瓶2〇1中 將做為試料之冷卻水製造系統中的鹽水2 〇 2貯留，並透過 脫氣裝置2 0 3，經由泵204將試料鹽水供給至樣品注入閥 2 0 5。樣品注入閥2 05為將所供給的試料鹽水，就其原樣定 4、或者、將其他系統2 0 6所供給的試料定量透過脫氣裝 置2 0 7 ’供給至試料測定流路2 0 8。於此試料測定流路2 〇 8 中’配置如前述之差電導計209。差電導計209為具有2個 電導率測定電池210、211(管道Chl和以2)，且於兩電導率 測定電池2 1 0、2 11間，裝配指定容量之時間延遲柱2丨2。

由差電導計2 0 9之放大器2 1 3，如前述之兩電導率測定電池 2 1 0、2 11之檢測彳自5虎本身差之信號，即，兩電導率測定電 池2 1 0、2 11位置間之電導率差之信號，為以高精確度被輸 出0 此處脫氣裝置203、207為特別裝配令差電導計209安定 化。即，使用於防止微細氣泡通過所造成之電導率的搖 動。時間延遲柱2 1 2為用以檢測電導率之時間變化之柱，

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五、發明說明（17) 若具備：定體積及長度且以一定流量送液，則一定時間間 隔之電導率為以chl和ch2之電導率差型式檢測出來。 本回試驗所用之試料鹽水為約3〇〇〇//Siemens之電導 率，且為含有30%至4〇%異丙二醇之加入防飯劑且ρΗ=ι〇 f右之樣品。於此試料中添加特級氨水並調整氨濃度，測 定其電導率之變化。

如前述，經由差電導計2〇9，以高精確度測定電導率測 疋電池2 1 0、2 1 1位置間之電導率差。上述試驗結果所得之 試料鹽水中之氨濃度變化與檢測輸出功率之關係，示於圖 1 〇及圖11。鹽水試料中之氨濃度為連續變化之情形中，若 /貝J疋此日守間破分’則氨〉辰度之變化為如圖1 〇所示般，以一 個波峰型式被檢測出。另一方面，於引起氨濃度之一次性 變化之情形中，氨濃度之變化為以圖丨丨所示之過度射出 (owr-shoot)波形型式被測出。於使用先前型之電導計之 情形中，試料之基礎電導率極大時，並不可能測出此類微 少氨濃度之變化。

上述試驗可將微少離子濃度（氨濃度）之變化，以良好精 確度、咼感度測出。試驗中，將2 9 %市售之特級氨溶液稀 釋且以超純水調整至氨含量為8 7 0 0 ppm。將此母液添加至 圖9所示一定量試料鹽水瓶2 〇 1中。但，測定添加前之鹽水 〇 由於認為添加後大約瞬間上之試料鹽水瓶2 〇 1中的氨濃 度為呈現均勻，故隨著泵之送液而於配管中產生濃度梯 度。若由其濃度梯度，以長時間延遲幅度採取差值，則可

498159 五、發明說明（18) 測出氨濃度之變化。圖1 2 A、圖1 2 B中示出此測定例（測定 結果圖）。如圖1 2所得知般，至少，對於電導率（# s : “ Siemens)變化所對應之氨濃度變化，可充分測定至〇.卜 0 · 2ppm之變化。此圖1 2中所示之測定例為如前述圖丨〇所示 般，示出試料中較溫和且連續性之氨濃度之變化，及其對 應之電導率變化的樣子。又，圖丨3為如前述圖丨丨所示般， 不出試料中較劇烈之一次性的氨濃度變化，及其對應之電 導率變化時的測定例。 由 關參 電導率之變化值與離子濃度之變化值的相關關係，可 同樣試驗中令試料之離子濃度作成各種變化則可把握其 係。圖1 4為將圖1 2同樣手法所測定之氨的添加濃度（約 1 ppm以下之濃度區域）與圖所示之電導率之波峰高度 (// S)的關係繪出。求出圖1 4關係之試驗為僅更換試料， 測定裝置、泵類為投入適當電源且放置至暫時呈現平衡為 止（裝置安定化所用之時間為約2小時），其後進行測定。 白圈符號與黑圈符號之測定為以1週之間隔進行。尚，此 日寸所使用之送液栗為使用液體層析用C C P Μ (東梭（股）製）

Recipro Single Cyl inder 型。

如圖1 4所示般，.以1週期間檢討再現性時，可知完全無 問題於一個直線狀之特性線上。即，於氨濃度微少變化”之 區域中，氨濃度之變化與電導率之變化可知為大約具有完 全的相關關係。又，如圖丨丨所示之一次性變化系中，若= 延遲時間與注射量加減，則亦玎由其結果簡單地測定。 如此可知，本發明之經由測定電導率變化，則可測定離

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498159 五、發明說明（19) ----- 子濃度變化的測定原理，為^P4 一 定微少離子濃度之變化。在極兩精確度、高感度下測 置”兒明本發明之離子濃度測定震置，應用於實際裝 圖15為示出將本發明離子濃度測定裝置之 ^應用於測定冷卻水製造系統中之冷;東 ；至j:: 中之氨濃度（濃度變化）系之情況。 '曳 ^ ^ 造系謂"，裝人本發日㈣子測定^置之中’ 3 η及熱父換益303a 〜 3 0 3η、及貯留鹽水之調壓槽3〇4 ，經由泵305a…305η由調壓槽3〇4所供給之鹽水 交換ji'3〇3a…3〇311中，與冷康機30 2a...3〇2n側之含氨各冷媒 ^熱父換而被冷卻，且經冷卻之鹽水為於調壓槽3〇4中 環。調壓水箱304内所冷卻之鹽水為透過泵3〇6，送至 的槽30 7用以冷卻。由各標的槽3〇7直接、或再透過泵將= 卻水送至指定的使用點。 於此類冷卻水製造系統3 0 0中，特別於熱交換器⑽仏… 3 03η部份中，由冷凍機3 02a〜3〇2n側具有氨漏洩至鹽水中 之，題、，故必須將其以良好精確度監視、檢測。為了檢測 此氨之漏洩，可應用本發明之氨濃度測定裝置。 即，於圖1 5所不之態樣中，將來自調壓槽3 〇 4之鹽水電 導度做為基礎，並將各熱交換器3〇3a “々Μη等之吐出口所 取出之試料鹽水的電導度，與調壓槽3〇4之鹽水電導率相 比較。圖示例中，來自調壓槽3〇4之成為基礎的鹽水為透

五、發明說明（20) 過基細8經由泵30 9取出，並供給至注 各熱交換器3 0 3a…3 03η之試料a水 且來自 311，並且供給至注入咖。:實:線 :集流線311之試料鹽水為經由切換閥312 ::料 換，亚且供給至注入閥3丨〇。 、擇（生地切 311之試料鹽水可分別以竿時，纟自各試料採集流線 於注入，◦中乂自I:::重覆測定。 ,一丄十A广 谷^ ^採集流線3 1 1之試料_水或 、，由來自調壓槽304之基礎鹽水所供給，並匕為 ΐ:匕之測定對象試料’透過脫氣裝置313供給至氨 =衣置m的試料測定流路314。未被使用於測定之鹽又水 透過返回流線315，就其原樣送返調壓槽3〇4。 為 =試料測定流路314中，t導率測定電池316、317為以2 固列配置’且其間裝配指定容量之時間延遲柱3工8，且 來自兩電導率測定電池316、317之檢測信號本身的差值， 為以兩電導率測定電池3 1 6、3丨7位置間之試料電導率差值 型式，成輸出功率之差電導計31 9，且其輸出信號為透過 放大器32 0而被輸出。由此差電導計319之輸出功率，根據 圖14所示之預先求出試料之電導率變化值與試料中之氨環 度變化值之相關關係，則可算出試料中之氨濃度的變化。 經由此類構成，則來自各試料採集流線3 11之試料鹽水 ’為以調壓槽304之基礎鹽水予以供給，且可於高感度下 進行氨濃度變化之檢測。又，調壓槽3 〇 4中之氨濃度的變 化’為幾乎可無視於改變延遲時間柱3丨8之長度等，故儘 官基礎濃度變化，亦可在高精確度、高感度下檢測出氨的

\\312\2d-code\90-〇6\9〇i〇7691.ptd 第23頁 498159 五、發明說明（21) 漏、;曳。 但是，如圖1 5所示般，；！回的測定時間 流量和死體積（dead volumn)所左右（特為& 置之果 體積所左右）’以圖15所示之系統則約5分鐘2 Μ置之 定。即，若為3台冷凌機，則至少以15分 仃1回測 凍機的檢查。於要求連續測定之情形中，网進仃各冷 圖16所示之系統。 、 木用如後述 如圖15所闡明般，透過各試料採集流線 ^ ’為透過返回流線321、或返回流線315 ^樣之鹽 3〇4，故不會引起被廢棄於系統外。又，口凋Μ槽 為極安定，例如1年一次之徹底檢修即可 =導計31 9 之實效為以8個月無保養下使用。 轉。現在 圖16中，示出對於複數的試料採集源，分供 個電導率測定電池之試料測定流 〃、備2 例。此系統中，差電導糊a...401n;; = :=系 料流線和切換閥、注射閥則未=自=:3=;楚試 所示之構成。 構成為根據圖1 5 …二道系統之測定系中’由各試料採集流線402a 連二:：：試料鹽水的氨濃度變化分別獨立、直接且 、人^^疋。右考慮氨漏洩之快速份量，則對應於此類各 各設置i台差電導計，並且連續進行偵測為佳。 更且丄圖17中示出注入標準原液情況之測定系例，例 °，不出圖1 6所示系統中追加標準原液注入手段之例。於

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第24頁

498159 五、發明說明（22) 圖1 7所示之多管道系統之測定系中，對於圖丨6所示之系 統’於各栗3 0 9和脫氣裝置3 1 3之間分別設置注入閥5 〇 1， 於各注入閥5 0 1，將供給使用做為載體流體之標準原液（預 先调製一定氨濃度之.標準原液、或實質上不含有氨之標準 原液）之標準原液注入手段5〇2接續。其後，於各試料採集 流線402a…40 2η所採集之試料鹽水流體中，經由各注入閥 501注入標準原液，並且供於以各差電導計4〇la 定氨濃度變化。 ' 若採用此類構成，則試料之氨濃度變化可經常以使 為載體流體之標準原液為基準進行測定，故試料之氨 變化僅猶微發生，但因此變化為持續發生，故於經過較= 時間後」☆達到可檢測變化之程度時，若利用時間 ： 3/8^ 須以設定在極長時間的時間延遲 柱，Ρ使於不貫用之情況亦可進行測定， Ξ確度…若停止供給標準原液，則與圖=二: 尚，圖1 7所示之測定系中，如圖丨7之二 一 設置來自調壓槽304之原液供給系5〇 ;=所示般’ 原液供給㈣2，且此原液亦可使㈣ ^卜構成之標準 因為調壓槽304之容量大，故調壓槽3〇4體。即， 急劇地大為變化，且呈大約一定，故 ’、’、夜氨濃度不會 體。 用做為載體流 尚，上述本發明之離子濃度測定裝置鹿 明關於在具有冷凍機之冷卻水製造系:用例之說明為說 、甲剛定氨濃度變化 498159 五、發明說明（23) 一 ---— 之應用，但本發明之離子濃度測定裝置並非限定於此，於 期望測定氨以外之鈉、氯、鈣、鉀、碳酸、石夕石、鎂、硫 酸離子等之離子濃度微少變化之所有產業領域。例如，可 應用於清淨室中空氣之洗淨水中氨濃度微少變化之測定、 和發電場之冷凝水中離子種類之測定、和應用於海水對於 ~嘁水中漏洩監視之測定等。又，亦可應用於熱交換系中 之被熱交換流體中之離子濃度變化之測定、和通常稀釋 混合液中之離子濃度變化之測定。 圖1 8為示出連續偵測、測定水質之 例。於圖18中，⑷為收容做為基準液之“(電=:2 3 //S/cm)之試料瓶、602為收容做為試料液之氯化鉀水溶 液之試料瓶。使用與圖9所示同樣之差電導計2〇9，將來自 試料瓶601之純水，透過脫氣裝置6〇3、泵6〇4並且連續送 入樣品注入閥6 0 5，並由其連續供給基準差導 2。9。對於此供給系，“試料顯之氯化卸水電容V、氯 化鉀濃度分別為5ppb、l〇ppb、32· 5ppb、75ppb之氯化鉀 士 =液，及做為空白組之氯化鉀濃度為〇ppb之水，即，將 貫質上與基準液相同之純水，透過泵6 〇 6斷續地供給至樣 品注入閥6 0 5，並將基準液與試料混合之水溶液連續供給 至差電導計2 0 9。 圖19中示出上述試驗中之電導率變化的測定結果⑼口抑 、5ppb、1 Oppb情況之圖）。如圖1 9所示般，可知極微小之 氯化鉀濃度變化為以電導率之變化，以良好精確度且高感 度下測疋。尚’於試料為〇ppb之情況亦出現變化值，係因

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於試料供給側未設置脫氣裝置，故試料中微量含有之c〇2 等氣體成分未被除去，而造成此影響。 2 、圖20為示出〇〜75ppb為止之各氯化減濃度、與此時之電 導率變化值（//S/cm)之測定結果。如圖2〇所示般，完全呈 現直線關係，理解經由本發明之離子濃度測定裝置，可在 南精確度且高感度下測定離子濃度的微小變化。 ★如此，若根據本發明，使用高感度之差電導計構成離子 /辰度測疋衣置，則可在極高精確度、高感度下測定試料中 之離子濃度之變化，且，亦可輕易進行連續測定。又，此 離子濃度測定裝置為不需要如先前測定所用之處理用藥劑 和反應裝置，且測定本身和其操作亦極為簡便。測定中^ 用之試料可直接返回原來之流線。 、又，本發明之離子濃度測定裝置為簡單構造且可廉價製 造。又’若特別使用利用氧化鈦光觸媒活性之電極，則不 會發生電極污染，且亦可達成不需進行裝置保養。 士更且，亦可柔軟且輕易符合多管道切換型、至多管道連 續偵測型之許多的要求式樣。 尚’本發明中電導率測定電池部分不限於圖7所示之構 造，例如亦可如圖21所示般之構成。於圖21所示之電導率 測定電池121中，設置3個電極122a、122b、122c，例如令 兩側電極122a、122b連接電源之電源用電極、於其間配置 之電極1 22c為做為電導率檢測用感應器之機能，構成檢測 用電極。於各電極丨22a、122b、122c之中央部開設貫穿孔 123a、123b、123c，並於各孔 123a、123b、123c 之内面設 II I I 1 1 I ! I III I ! Ϊ ! I I I s I ! \\312\2d-code\90-06\90107691.ptd _ -------- 498159 五、發明說明（25)

置氧化鈦層。於各電極1 2 2 a、1 2 2 b、1 2 2 c之兩側，配置由 透光性之絕緣材料（例如’四氟乙稀）所構成之間隔件1 2 4 a 、124b、124c、124d ’各電極與各間隔件為交互疊層。於 間隔件124a、124b、124c、124d之中央部亦開設貫穿孔 125a、125b、125c、125d。於兩側間隔件124a、124d 之外 側，配置支撐體126a、126b，將電極122a、122b、122c與 間隔件124a、124b、124c、124d之層合體由兩侧夾住。於 支樓體126a、126b之中央部亦開設貫穿孔、127b，於 各孔1 2 7 a、1 2 7 b，將導入被測定流體之管丨2 8 a之一端及導 出被測定流體之管128b之一端，分別插入、固定。 經由電極122a、122b、122c與間隔件124a、124b、124c 、124d 之疊層接續之孔125a、123a、12讣、123c、125c、 12 3b、、12 5d，形成被測定流體的流路。通過管128&所導入 之被測^流體為流入此流路内部後，通過管丨2讣而被排出 。此些官128a、12 8b為由透光性材料（例如，四氟乙烯）所 構成，^光照射手段之不可見光129照射指定波長之紫外 光所…、射之备、=光為透過管128a、128b並且於管内重覆 擴散反射’故沿著管1 2 8 a 1 u „ 197 & 1Z8a、128b導出紫外光，且由兩側之 孔127a、127b部分導朵$

^ ^ ^ ^ ^ V九至電極122a、122b、122c内之氧化 女山、乐上α u Η 又 間隔件124a、124b、124c、124d 亦由透光性材料所構成，於十 透過各間隔件，—^用自不可見光129之紫外光為 122a、122b、122c之内^擴;、反射，一邊照射至電極 薄厚度形成(例如，各雷搞V?令各電極和各間隔件以較 電極之厚度為0 · 2 m m左右，各間隔件

498159 定裝置可以 ’故為適合 可以良好精 。經由此高 物於系中之 且，於所有 的離子濃度 電極和各間 光纖般之特 、128b導光 、1 2 4 d而導 光量。因此 五、發明說明（26) 之厚度為1mm左右），各 使用較短物質所構成之 如上述之透光性管128a 隔件 124a、124b、124c 面照射測定用之充分的 簡單之小型裝置。 上之可利用性 本發明之離子濃度測 定各種離子的濃度變化 度變化之所有系中，且 才双測之微小濃度之變化 定，則可事先防止不純 子濃度不佳之變化，更 維持、管理較佳之指定 A件編號之説明 隔件所形成之流路為不 別的導光體，而為沿著 、及、沿著透光性之間 光，則可於指定之電極 ’本實施態樣可構成更 向精碟度、高感度下測 使用於需要檢測離子濃 確度檢測出先前所不能 精確度之離子濃度測 大洩漏、和系内中之離 之處理糸中，亦可經常 1 2 3 4 5 6 7 8 9 _ 差電導計 交流振盪器 電導率測定電池 電導率測定電池 倍率設定器 位相反轉放大器 放大器 切換器 放大器

第29頁 498159 五、發明說明（27) 10 輸出功率信號 11 差電導計 12 電導率測定電池 13 電導率測定電池 12a 電流供給用電極 13a 電流供給用電極 12b 電導率檢測用電極 13b 電導率檢測用電極 14 交流振盪器 15 位相反轉器 16 放大器 17 切換器 18 溫度校正器 19 同期整流器 20 範圍調整器 21 放大器 22 輸出功率 51 差電導計 52 流水管 53 上游側位置 54 汾丘里管 55 電導率測定電池 56 時間延遲柱 57 電導率測定電池

C:\2D-CQDE\90-06\90107691.ptd 第30頁 498159 五、發明說明（28) 58 下游侧位置 61 電導率測定電池 62 測定管 63 被測定流體 6 4 電源電極 65 電導率檢測用電極 66 放大器 71 電導率測定電池 72 絕緣測定管 7 3 被測定流體 7 4 電極 7 5 電極 7 6 電極 77 放大器 81 電導率測定電池 82 絕緣測定管 83 被測定流體 84 電極 8 5 電極 8 6 電極 87 放大器 91 電導率測定電池 92 電極本體 93 氧化鈦層

\\312\2d-code\90-06\90107691.ptd 第31頁 498159 五、發明說明 (29) 94 電 導 率 測 定 用 電 極 95 電 極 支 撐 體 94a 電 極 94b 電 極 94c 中 央 電 極 96 基 體 97 流 入 口 98 流 出 Π 99 流 通 孔 100 流 通 孔 101 流 通 孔 102 流 通 孔 103 内 部 通 路 104 被 測 定 物 質 貯 留 空間 105 内 部 通 路 106a 貫 穿 孔 106b 貫 穿 孔 106c 貫 穿 孔 107 襯 板 108 透 明 玻 璃 板 109 螺 栓 110 掩 蓋 111 窗 112 光 昭 4 射 手 段

C:\2D-CODE\90-06\90107691.ptd 第32頁 498159 五、發明說明（30) 2 0 0 離子濃度測定試驗裝置 2 01 試瓶 2 0 2 鹽水 2 0 3 脫氣裝置 2 04 泵 2 0 5 注入閥 2 0 6 其他系 2 0 7 脫氣裝置 2 08 試料測定流路 2 0 9 差電導計 210 電導率測定電池 211 電導率測定電池 212 時間延遲柱 3 0 0 冷卻水製造系統 301 氨濃度測定裝置 3 0 2 a…3 0 2 η 冷；東機 303a··· 303η 熱交換器 3 04 調壓槽 305a··· 305η 栗 3 0 6 泵 3 0 7 標的槽 3 0 8 基線 3 0 9 泵 310 注入閥

\\312\2d-code\90-06\90107691.ptd 第33頁 498159 五、發明說明（31) 311 試料採集流線 312 切換閥 313 脫氣裝置 314 試料測定流路 315 返回流線 316 電導率測定電池 317 電導率測定電池 318 時間延遲柱 319 差電導計 320 放大器 321 返回流線 401a …401η 差電導計 402a •••4 0 2η 試料採集流線 501 注入閥 502 標準原液注入手段 503 原液供給系 601 試料瓶 602 試料瓶 603 脫氣裝置 604 泵 605 注入閥 606 泵

C:\2D-CODE\90-06\90107691.ptd 第34頁 498159 圖式簡單說明 圖1為不出本發明之離子濃度 Μ 計之構成例的概略電路圖。 衣直所便用之差ΐ ¥ 圖2為示出本發明之離子曲 4夕甘从接# η 千/辰度測定裝置所使用之差電導 计之其他構成例的概略電路圖。 圖3為示出具有時間延遲桂之本發曲 置所使用之差電導計之# ^ α 之離子/辰度測定装 么-山士1 用例的概略構成圖。 回：、、不 务明中之差電導計可使用之雷道痒 池之一例的概略構成圖。 之電¥度測定電 圖5為示出本發明中之差電導 池之其他例的概略構成圖。 用之電導度測定電 圖6為示出本發明中之差電導計可使 — 池之再其他例的概略構成圖。 ¥度測定電 圖7為示出本發明中之差電導 、 池之機械性構成例的分解斜視圖。 之電導度測定電 圖8為示出本發明中之差雷邕 池之電極構成例的斜視圖m使用之電導度測定電 圖9為用以確認本發明之離子濃度測 試驗裝置的概略構成圖。 衣置之有效性之 圖10為示出圖9之試驗裝置之試驗結果_ 化的特性圖。 彳之電‘率變 圖11為示出圖9之試驗裝置之試驗結 變化的特性圖。 另例之電導率 圖12A、圖12B為示出圖g之試驗裝置 圖1 0之電導率變化（氨濃度變化）之測定圖式氣、、、。果對應於 m 第35頁 \\312\2d-code\90-06\90107691.ptd 圖式簡 單說明 之 圖 圖1 3為示出圖9之試驗裝置之試驗結果對應於圖丨丨一例 電導率變化（氨濃度變化）之測定圖。 圖1 4為示出電導率變化與氨濃度變化之相關關係的特性 1圖1 5為示出本發明之離子濃度測定裝置應用於冷卻水製 k系統之一例的概略構成圖。 &圖1 6為不出本發明之離子濃度測定裝置應用於冷卻水製 乂糸統之其他例的概略構成圖。

圖1 7為不出本發明之離子濃度測定裝置應用於 &糸統之再其他例的概略構成圖。 的本發明之離子濃度測定裝置性能之試驗裝置 圖19為示出圖1«驻班 圖。 、置之试驗結果之電導率變化的測定 圖20為將圖18裝置 導率之變化的關係圖 圖21為示出本發明 定電池部分之其他機 之試驗結果繪點示出氯化鉀濃度與電 〇 之離子測定裝置中可使用之電導率測 械性構成例的分解斜視圖。

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Claims (1)

1. 498159 六、申請專利範圍 1 . 一種離子濃度測定裝置，其特徵為將具有至少2個電 極之電導率測定電池，對於所送達試料依序連接於試料測 定流路中並以2個直列配置，並且具有將兩電導率測定電 池之檢測信號本身的差值，為以兩電導率測定電池位置間 試料之電導率值型式輸出功率之差電導計，並根據由該差 電導計之輸出功率，預先求出試料之電導率變化值與試料 中檢測對象離子濃度之變化值之關係，算出試料中離子濃 度變化。 2. 如申請專利範圍第1項之離子濃度測定裝置，其中前 述檢測對象離子為由氨、納、氯、妈、鉀、碳酸、石夕石、 鎂、硫酸離子之至少一種。 3. 如申請專利範圍第1項之離子濃度測定裝置，其為於 前述試料測定流路中之前述2個電導率測定電池間，中介 裝配預先決定容量之時間延遲柱。 4. 如申請專利範圍第1項之離子濃度測定裝置，其為於 前述試料測定流路之前述2個電導率測定電池之上游，配 置可令送達之試料脫氣及脫泡之脫氣裝置。 5. 如申請專利範圍第1項之離子濃度測定裝置，其為具 有將做為離子濃度變化測定對象之試料送達至前述試料測 定流路之手段、與做為該離子濃度變化測定對象之試料中 注入標準原液之手段。 6. 如申請專利範圍第1項之離子濃度測定裝置，其為具 有將標準原液以載體流體型式送達前述試料測定流路之手 段、與在該載體流體中，注入做為離子濃度變化測定對象

   \\312\2d-code\90-06\90107691.ptd 第37頁 六、申請專利範圍 之試料注入之手段 7·如申請專利範圍 有將來自數個試料採集源之子濃度測定裝^置，其為具 流路之手段。 ’、忒料切換送達至前述試料測定 8 ·如申請專利範圍第 於數個試料採集源，=貝配之離/濃度測定裝置，其為對 池之試料測定流路。 置别述具備2個電導率測定電 φ i申明專利範圍第1項之離子濃产I定梦詈^ 電極、和電流供給用電極所二2成個電極為由電導率檢測用 1 〇 ·如申請專利範圍第1 電導率測定電池為分別具有3^；"雷t浪度測定裝置，其中各 率檢測用電極、和該f導“亟，该3個電極為由電導 配置之2個交流電流供構電/之*兩側分別以間隔 供給用電極供給同相之交流電流。成對5亥2個交流電流 f f ^ "，J ^ ^ £ ^ ^ 率檢測用電極、和該電導率檢測用y :3: ;極… 交流電流供給用電極、和前述電導率檢$ =側以間隔配置 間隔配置之接地電極所構成。 w '、用電極之反側以 Λ2·Λ申Λ專利範_項^離子濃度测定h甘 電導率測定電池中之前述至少疋破置’其中各 ^之電極本體表面，經由氧化鈦層為刀別於導電金屬 構成。 1〜成之電極面而 第38頁 C: \2D-CODE\90-06\90W7691 .ptd 498159 六、申請專利範圍 1 3.如申請專利範圍第1 2項之離子濃度測定裝置，其中 各電導率測定電池為具有於前述至少2個電極之電極面間 所形成之被測定物質貯留空間、與對各電極面照射光線之 光照射手段。 1 4.如申請專利範圍第1 3項之離子濃度測定裝置，其中 經由光照射手段所照射之光為具有激起前述氧化鈦層之光 觸媒活性之波長。 1 5.如申請專利範圍第1 3項之離子濃度測定裝置，其中 被測定物質貯留空間為經由透光體而被區隔，來自光照射 手段之光線為通過透光體而照射至電極面。 1 6.如申請專利範圍第1 5項之離子濃度測定裝置，其為 於透光體之被測定物質貯留空間側表面，施以可透光之氧 化鈦塗層。 1 7.如申請專利範圍第1項之離子濃度測定裝置，其為測 定熱交換系中之被熱交換流體中之離子濃度變化。 1 8.如申請專利範圍第1項之離子濃度測定裝置，其為測 定稀釋或混合液中之離子濃度之變化。 1 9.如申請專利範圍第1項之離子濃度測定裝置，其中前 述試料為由冷卻水製造系統中之鹽水中採集，測定由該冷 凍機側洩漏至該鹽水中之氨濃度之變化。

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