496945 A7 ___ B7_五、發明説明（彳） 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於在潔淨室內，照射出紫外光之照射器的 循環氣冷系統。 【習知技術】 以往，爲了對塗佈在被處理物表面上之保護膜、黏著 劑、塗料、油墨或是光阻劑等，藉由照射從光源燈放射出 來的紫外光，來使其硬化、乾燥、熔融或是軟化，而廣泛 地在各領域內使用光照射器來進行處理。 近年來，在液晶等的顯示面板之製造工程中，藉由紫 外光的照射處理，被利用在基板或濾光器的貼合工程中； 例如，將塗佈有紫外光硬化性密封劑之薄膜電晶體（ T F T )基板和彩色濾光器基板貼合，在此狀態下，藉由 對密封劑照射紫外光來使其硬化，來將兩者接合在一起。 又，在液晶等的顯示面板之製造工程中，隨著畫面的 局精度化，而需要進行微細的加工技術；而且，由於面板 元件或是驅動面板元件之電氣線路，也被高密度地配設， 所以其內部若有塵埃或是灰塵等的異物侵入時，將造成顯 示面板上發生影像顯示不良或是動作不良的原因。因此， 通常在製造顯示面板時，係在潔淨室內進行。 在潔淨室中，其內部之每單位體積之浮游塵埃量的最 大値，係依該潔淨室之使用目的而被規定其等級；通常， 與溫度、溼度等的環境條件，一起被嚴格地控制管理。又 ，爲了防止含有大量塵埃之外部大氣流入潔淨室內，潔淨 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
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、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -4- 496945 A7 B7 五、發明説明（2) 室.內的氣壓，通常係維持在比外部大氣壓稍高的氣壓狀態 另一方面，對於放射出紫外光的光照射器，爲了縮短 處理時間，作爲光源燈，係使用輸出功率大的 燈，例如棒狀的高壓水銀燈或是鹵化金屬燈等 且與反射鏡加以組合來使用。 又，例如在液晶顯示面板的接合處理工程 有密封劑之面板上之應該一起照射紫外光的照 爲2 0 Ommx 2 0 Omm大小時，作爲光源 用輸出功率爲7 kW、發光長度爲2 5 cm的 燈，而對於具備如此高輸出功率的光源燈之光 了防止燈泡發生透明消失（反玻璃化）或是反 損，在開燈中，需要冷卻光源燈以及反射鏡。 作爲具備上述高輸出功率之紫外光放射燈 的冷卻手段，通常係利用冷卻風之氣冷方式； 方式，對於在使用輸出功率爲7 k W的光源燈 如需要7 m3/分左右的風量。 第3圖係槪要地表示習知光照射器之氣冷 之說明用剖面圖。 在此圖中，光照射器3 0，係被配置在潔 ，而藉由被區隔成上下二部分的框體3 6來構 言，往垂直於紙面方向延伸之棒狀光源燈3 1 具有光照射用之開口而全體爲筒狀的反射鏡3 置在框體3 6之下部空間3 6 A內。 紫外線放射 的放電燈， 中，在塗佈 射區域，當 ，例如係使 紫外光放射 照射器，爲 射鏡發生破 之光照射器 對於此氣冷 的情況，例 系統的構成 淨室5 0內 成。具體而 、以及下方 2，係被配 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -5- 496945 A7 _B7 五、發明説明（j 又，在光源燈3 1的上方，設置：沿著光源燈3 1的 長度方向延伸而貫通反射鏡3 2之最上部的冷卻風吸引導 管3 4。 另一方面，在框體3 6的底面部，面對反射鏡3 2的 開□，設置例如由石英所形成的窗部3 3 ;而在框體3 6 的側壁部分，設置於反射鏡3 2和窗部3 3之間開口的冷 卻風取入口 3 5。 由反射鏡3 2所圍成的空間，藉由冷卻風吸引導管 3 4，連通至由框體3 6之上部空間所形成的排氣室4 2 。在此排氣室4 2的上部，形成排氣用連接口 3 7 ;而在 此排氣用連接口 3 7上，經由導管3 8，與排氣用導管 3 9連接，而排氣用導管3 9係連通至潔淨室5 0外部之 大氣，而在排氣用導管3 9的中間，配置排氣風機4 0。 對於上述的光照射器之氣冷系統，若驅動排氣風機 4 0，則在潔淨室5 0內的空氣從冷卻風取入口 3 5被吸 引’而作爲冷卻風，一邊與光源燈3 1、以及反射鏡3 2 的表面接觸一邊流過，而將其冷卻，然後，從冷卻風吸引 導管3 4，經過排氣室4 2、導管3 8以及排氣用導管 3 9 ’而被排出至潔淨室5 0的外部。 又’在光照射器3 0中，從光源燈3 1放射出來的光 ’直接地或是被反射鏡3 2反射而間接地經過窗部3 3， 而放射至下方，藉由此手段，例如可以對被處理物4 3， 照射預先設定時間的光，以此手段來進行所要的光照射處 理；而上述被處理物4 3係位於窗部3 3下方位置，且被 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 -6- 496945 A7 B7 五、發明説明（ 載置於被支持滾子4 4所支持而移動的搬送帶4 5上。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 然而，對於上述光照射器3 0的氣冷系統，爲了得到 冷卻風，由於係吸引潔淨室5 0內的潔淨空氣且最後係將 所吸引的全部潔淨空氣，排出至外部大氣中，不但會大量 地消費潔淨空氣且會造成潔淨室5 0內的氣壓降低的結果 ，因此，潔淨室5 0之潔淨空氣的供給以及環境條件的維 持，會有需花費大量成本的問題。 【發明所欲解決之課題】 本發明係爲了解決上述課題而發明出來，其目的爲提 供一種光照射器之循環氣冷系統，係在潔淨室內使用，且 基本上不會消耗潔淨空氣或是消耗量少。 【解決課題所用的手段】 本發明之光照射器之循環氣冷系統，係使冷卻風循環 來冷卻被設置在潔淨室內之光照射器的光照射器之循環氣 冷系統，其特徵爲： 具備：將通過上述光照射器而變成高溫的冷卻風，從 該光照射器排氣之排氣風機； 設置在上述排氣風機的入口側，用來冷卻上述冷卻風 的冷卻器；以及 將被上述冷卻器冷卻後的冷卻風，從上述排氣風機供 給至上述光照射器中的回風導管； 而且，爲了使上述光照射器內的壓力，比上述潔淨案 496945 A7 __ B7 五、發明説明（g (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 內·的壓力小，在上述回風導管中，設置外部排氣手段，將 從上述排氣風機來的冷卻風的一部分，排出至上述潔淨室 的外部。 又’本發明之光照射器之循環氣冷系統，係使冷卻風 循環來冷卻被設置在潔淨室內之光照射器的光照射器之循 環氣冷系統，其特徵爲： 具備：將通過上述光照射器而變成高溫的冷卻風，從 該光照射器排氣之排氣風機； 設置在上述排氣風機的入口側，用來冷卻上述冷卻風 的冷卻器；以及 將被上述冷卻器冷卻後的冷卻風，從上述排氣風機供 給至上述光照射器中的回風導管； 而且，爲了使上述光照射器內的壓力，比上述潔淨室 內的壓力小，在上述回風導管中，設置內部排氣手段，將 從上述排氣風機來的冷卻風的一部分，通過過濾器之後， 排出至上述潔淨室的內部空間中。 . 【作用】 ! 若根據本發明之光照射器之循環氣冷系統，冷卻光照 | 射器而昇溫的冷卻風，在冷卻器內被冷卻後，由於利用由 ? 回風導管所形成的循環風路，進行循環而再度供給至光照 ) 射器內，基本上不會消耗潔淨空氣或是消耗量少。 ί 又’在從排氣風機至光照射器的循環風路中，藉由將 £ ^ 冷卻風的一部分排出至潔淨室的外部、或是經過過濾器而 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -8- 496945 A7 B7 五、發明説明（g (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 排至潔淨室的內部空間中，光照射器內的壓力，由於可以 被維持在該潔淨室內的壓力以下，所以可以防止冷卻風從 循環風路非控制地噴出至潔淨室內。 【本發明之實施形態】 以下，詳細地說明本發明。 第1圖係槪要地表示關於本發明之一實施例之光照射
I 器之循環氣冷系統的構成之說明用剖面圖。 關於此光照射器1 0之循環氣冷系統，在連接構成光 照射器1 0之框體1 7和排氣風機2 2的入口之導管1 6 A中’加進冷卻器2 0，且設置回風導管1 6 B來連接排 氣風機2 2之出口以及在框體1 7上之冷卻風入口2 6 ; 藉由此手段，形成與潔淨室1 8內之空氣區隔成獨立狀態 的循環風路。圖號2 1係冷卻器2 0之冷卻用媒體流通管 0 光照射器1 0，係藉由：框體1 7 ;設置在框體1 7 的內部，往紙面的垂直方向延伸而放射出紫外光的棒狀光 源燈1 1 ;覆蓋此光源燈1 1的上部，而設置成沿著其長 度方向延伸，其下方具有開口之全體爲溜槽（c h u t e )狀的反射鏡1 2 ;以及設置在框體1 7的底面處，例如 由石英所形成的窗部1 3所構成。又，在光源燈1 1的上 方，配置沿著其長度方向延伸，而連通至排氣室1 5的冷 卻風吸引導管1 4。 再者，在框體1 7中，沒有形成冷卻風取入口。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ' ' -9 - 496945 A7 _B7 五、發明説明（7> (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 加進導管1 6 A中的冷卻器2 0爲熱交換器；配置在 其內部的冷卻用媒體流通管2 1 ，例如具有形成多數散熱 片形狀的表面，而被冷卻至規定溫度的冷卻用媒體，則從 外部流過其內部。 又，在從排氣風機2 2的出口延伸至框體1 7上之冷 卻風入口 2 6的回風導管1 6 B中，分岔地設置排出口 2 5，與潔淨室1 8外部的大氣連通，且設置可以控制其 開度的調節器（d a m p e r ) 2 4 ;藉由此手段，設置 外部排氣手段。又，在回風導管1 6 B中，根據需要，在 排出口 2 5的上游位置，設置過濾器2 3。 作爲上述光源燈1 1雖然沒有特別的限定，理想爲例 如使用輸出功率大的棒狀紫外光放射燈，而作爲此種紫外 光放射燈，例如有高壓水銀燈、超高壓水銀燈、氙氣燈以 及鹵化金屬燈等。 供應至冷卻器2 0內之冷卻用媒體的溫度和供給量、 以及供應至光照射器1 0內的冷卻風的風量，作爲循環氣 冷系統全體，係根據光源燈1 1之輸出功率所要得到的冷 ^ 卻效果，參考相互之間的熱交換效果來加以設定。 ! 供應至冷卻器2 〇內的冷卻用媒體的種類’並沒有特 ) ί 別的限制，例如可以使用水、流動性油、冷卻氣體等。作 r \ 爲此種冷卻用媒體，在使用水的情況下，水的溫度係設定 } 爲 1 5 〜2 5 °C。 ί 又，作爲冷卻用媒體之水的供應速率並沒有特別的限
L ； 定，例如以5〜1 5公升/分的速率來供應。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -10- 496945 A7 _____B7 五、發明説明（$ 作爲使冷卻風循環的排氣風機2 2，對應光源燈1丄 的輸出功率，使用可以供給必要的冷卻風的風量來冷卻光 源燈1 1 、反射鏡1 2以及窗部1 3的排氣風機。作爲此 種排氣風機的一例，例如使用可以供給5〜1 〇 m 3 /分的 冷卻風的風量的排氣風機。 又，針對導管中的接合部，對於微細的縫隙等，理想 爲施以氣密處理，以確保循環風路之氣密性。 在上述構造中，從光源燈1 1放射出來的紫外光，直 接或是被反射鏡1 2反射後，通過光照射器1 〇的窗部 1 3，放射至下方。又，此紫外光，例如對被載置於搬送 手段2 8上而被移送至光照射區域的被處理物2 7，照射 預先規定的一定時間，來進行所要達成之目的之光照射處 理。圖號2 9係用來支持搬送手段2 8的支持滾子。 又，將光源燈1 1開燈，且驅動排氣風機2 2，則由 此手段所產生的冷卻風，在循環風路中循環。 亦即，藉由排氣風機2 2所供給的冷卻風，通過在回 風導管1 6 B中的過濾器2 3，然後從冷卻風入口 2 6流 ί 入框體1 7內’一邊接觸光源燈1 1、反射鏡1 2以及框 ! 體1 7等的表面一邊流過，來冷卻這些元件。冷卻上述元 ί 件而昇溫的冷卻風，則通過冷卻風吸引導管1 4，被吸引 ί 至排氣室1 5內，然後在冷卻器2 0內，一邊接觸散熱片 ^ 一邊流過而被冷卻，然後藉由排氣風機2 2，再度供應至 ： 循環管路中。 ! 從排氣室1 5來的例如昇溫至7 〇〜9 0 °c的冷卻風 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) ΑΟ見格（210Χ29*7公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 -11 - 496945 A7 __ B7 五、發明説明（j 在冷卻器2 0內，例如被冷卻至2 5〜3 5 °C的狀態。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於是，在循環風路中，由於從冷卻風吸引導管1 4和 光源燈1 1之間的空隙，至排氣風機2 2的入口爲止的區 域L，爲負壓大的區域；實際上，在此區域L中，例如排 氣室1 5或是冷卻器2 0之螺絲孔、接合部之接縫或是在 排氣風機2 2和導管1 6 A之間的接合部，由於有縫隙存 在，雖然這些縫隙微小，潔淨室1 8內之潔淨空氣仍會流 入循環風路內。 因此，循環風路內以及光照射器1 0內的壓力雖然會 漸漸地升高，但是其壓力在比潔淨室1 8內的壓力高時， 冷卻風便會從光照射器1 0之外裝板之螺絲孔或是接合部 的接縫，非控制性地噴出至潔淨室1 8內。 此種從循環氣冷系統來的冷卻風之非控制性地噴出， 不但會擾亂潔淨室1 8內之被處理物2 7附近的潔淨空氣 的氣流，而且在冷卻風中，有可能含有由於排氣風機2 2 之旋轉軸等動作部分所產生的塵埃，而這些塵埃，會污染 被處理物2 7而造成不良的發生原因。 然而，在上述構成中，由於在回風導管1 6 B中之排 氣風機2 2和光照射器1 0之冷卻風入口 2 6之間，設置 將冷卻風的一部份排出至潔淨室1 8的外部之排出口 2 5 所形成的外部排氣手段，而藉由調整調節器2 4的開度， 在控制狀態下，可以將回風之冷卻風的一部份’從回風導 管1 6 B排出至外部，藉由此手段，可以確實地防止光照 射器1 0內的壓力變成比潔淨室1 8內的壓力高。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12- 496945 A7 _ B7
五、發明説明（)Q .第2圖係槪要地表示關於本發明之其他實施例之光照 射器之循環氣冷系統的構成之說明用剖面圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 關於此圖所示之光照射器1 0之循環氣冷系統，在從 排氣風機2 2的出口延伸出去的回風導管1 6 B中，分岔 地設置內部排出導管6 0，其前端的連通口 6 3與潔淨室 1 8之內部空間連通。而在此內部排出導管6 0中，加裝 排出風機6 1 ，且在排出風機6 1和連通口 6 3之間，設 置用來除去此循環系統內所產生之塵埃的過濾器6 2 ;藉 由這些構件，形成用來將在循環風路內循環的冷卻風的一 部份，排出至潔淨室1 8之內部空間中的內部排氣手段。 在此，連通口6 3，理想爲配置在潔淨室1 8內之不 會擾亂被處理物2 7附近之潔淨空氣的氣流之位置處。 作爲排出風機6 1 ，只要可以對應回風導管1 6 B的 內部以及潔淨室1 8之內部空間的壓力差，而將循環風路 中之冷卻風的一部份，在控制狀態下加以排出的風機便可 以；作爲其中一例，例如可以使用具有產生冷卻風之風量 的1/3〜1/4的風量之能力的風機。 作爲第2過濾器6 2，理想爲例如對應潔淨室1 8的 潔淨度而使用高效率微粒空氣過瀘器；又，例如光源燈 1 1爲使用會產生臭氧之紫外光放射燈的情況，爲了除去 在光照射器1 0內產生而被包含於冷卻風內的臭氧，理想 爲單獨地使用或是組合地使用臭氧過濾器。 其他的構成與第1圖所示之構成例相同。 對於以上構成之光照射器之循環氣冷系統，與第1圖 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -13- 496945 A7 B7 五、發明説明（> 之.構成之循環氣冷系統同樣地’藉由排氣風機2 2供給冷 卻風，此冷卻風從冷卻風入口 2 6流入框體1 7內’藉由 此手段，將光照射器1 〇內之光源燈1 1以及反射鏡1 2 等加以冷卻，而在回風導管1 6 B中’通過過濾器2 3而 流過的冷卻風，其中一部份藉由排出風機6 1而被導入內 部排出導管6 0內，進而利用第2過濾器6 2加以過濾後 ，從連通口 6 3排出至潔淨室1 8之內部空間內。 藉由此手段，與第1圖所示之例所構成之循環氣冷系 統相同地，光照射器1 0內的壓力’可以確實地防止其高 於潔淨室1 8內的壓力，而且，被導入內部排出導管6 0 內之冷卻風的一部份，由於被排出至潔淨室1 8的內部空 間中，整體而言，不需要將潔淨空氣排出至外部，結果， 不會由於光照射器1 0之冷卻所需而消耗潔淨室1 8內部 的潔淨空氣。 而且，從連通口 6 3排至潔淨室1 8之內部空間中的 冷卻風，由於利用過濾器6 2的除塵作用，除了符合作爲 潔淨空氣之塵埃含量的標準以外，利用該過濾器6 2的壓 力調整效果’從連通口 6 3噴出的空氣噴流，被充分地抑 制，因而不會擾亂被處理物2 7附近之潔淨空氣的氣流， 所以不會由於該空氣的排出而造成被處理物2 7發生不良 的情況。 以上’雖然根據本發明之具體的形態來加以說明，但 是本發明並不被限定於上述例所示之形態，而可以作各種 的變更。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公羡） -14 - 496945 A7 _____B7 _五、發明説明（& 例如，光照射器1 0之循環氣冷系統，其全體不必設 置成被收容在潔淨室1 8內的狀態，光照射器1 0以外之 循環風路的一部份，例如可以做成將排氣風機2 2或是冷 卻器2 0等，設置在潔淨室1 8外的形態。在此情形下， 除了可以有效地利用潔淨室1 8內的空間·以外，對於被配 置在外部的部分，具有容易配置、管理維護等的優點。 又，關於具有內部排出導管6 0的例子，例如也可以 在內部排出導管6 0之分岔口 6 4的附近，配置調整開度 的調節器，藉由此手段，構成可以控制從連通口 6 3排出 至潔淨室1 8內部之空氣噴出量的構造；在此情形中，也 可以做成沒有配置排出風機6 1的構造。 【實施例】 以下，說明關於本發明之實施例，但是本發明並不被 限定於此實施例。 <實施例1 > 藉由具備額定輸出爲7 k W之高壓水銀燈所組成的光 源燈的光照射器、排氣風機、以及使用水作爲冷卻用媒體 的冷卻器，構成基本上如第1圖所示之構造的循環氣冷系 統。 然後，利用排氣風機，使冷卻風以7 m 3 /分的風量循 環，而在冷卻器內，2 1 °C的水以1 0公升/分的流量流 過時，高壓水銀燈、反射鏡以及石英窗一起被充分地冷卻 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -b. 裝· 、訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -15- 496945 A7 B7
五、發明説明（A (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 。·具體而言’在排氣室（1 5 )中的冷卻風之溫度約8 〇 °C ’而流入排氣風機（2 2 )的冷卻風溫度爲2 7 °C。又 ’經由調節器（2 4 )而從排出口（ 2 5 )排出至潔淨室 1 8的外部之冷卻風的風量爲1 m 3/分；此排出量與將從 潔淨室來的潔淨空氣，以7 m 3 /分的風量，照原樣地排出 至潔淨室的外部的情況相比，達成光照射器（1 〇 )所需 的冷卻之際所要消耗的潔淨空氣量，可以大幅地減少。 <實施例2 > 藉由具備額定輸出爲7 k W之高壓水銀燈所組成的光 源燈的光照射器、排氣風機、使用水作爲冷卻用媒體的冷 卻器、內部排出導管、排出風機以及第2過濾器，構成基 本上如第2圖所示之構造的循環氣冷系統。 然後，利用排氣風機，使冷卻風以7 m 3 /分的風量循 環，而在冷卻器內’ 2 1 t的水以1 〇公升/分的流量流 過，而且使排出風機動作將冷卻風的一部分排至潔淨室的 內部空間中之時，沒有消耗潔淨室內之潔淨空氣，高壓水 銀燈、反射鏡以及石英窗便一起被充分地冷卻。具體而言 ，在排氣室（1 5 )中的冷卻風之溫度約8 0 °C，而流入 排氣風機（2 2 )的冷卻風溫度爲2 7 t。又，經由內部 排出導管（6 0 )以及第2過濾器（6 2 )排至潔淨室（ 1 8 )之內部空間中的冷卻風的風量爲2 m 3，作爲潔淨室 (18)，沒有消耗潔淨空氣，便可以達成光照射器（ 1 0 )所需要的冷卻。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16- 496945 A7 _____B7 五、發明説明（& 【.發明之效果】 若根據本發明之光照射器之循環氣冷系統，冷卻光照 射器而昇溫的冷卻風，在冷卻器內被冷卻後，由於利用由 回風導管所形成的循環風路，進行循環而再度供給至光照 射器內，基本上不會消耗潔淨空氣或是消耗量少。 又’在從排氣風機至光照射器的循環風路中，藉由將 冷卻風的一部分排出至潔淨室的外部、或是經過過濾器而 排至潔淨室的內部空間中，光照射器內的壓力，由於可以 被維持在該潔淨室內的壓力以下，所以可以防止冷卻風從 循環風路非控制地噴出至潔淨室內。 【圖面之簡單說明】 第1圖係槪要地表示關於本發明之一實施例之光照射 器之循環氣冷系統的構成之說明用剖面圖。 第2圖係槪要地表示關於本發明之其他實施例之光照 射器之循環氣冷系統的構成之說明用剖面圖。 第3圖係槪要地表示具有氣冷系統之習知光照射器的 構成之說明用剖面圖。 【符號說明】 1 0 :光照射器 1 1 :光源燈 1 2 :反射鏡 1 3 :窗部 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -装· 訂 -17- 496945 A7 B7五、發明説明（& 14:冷卻風吸引導管 15:排氣室 1 6 A :導管 1 6 B :回風導管 1 7 :框體 1 8 :潔淨室 2 0 :冷卻器 21:冷卻用媒體流通管 2 2 :排氣風機 2 3 :過濾器 2 4 :調節器 2 5 :排出口 2 6 :冷卻風入口 2 7 :被處理物 2 8 :搬送手段 2 9 :支持滾子 3 0 :光照射器 31:光源燈 3 2 :反射鏡 3 3 :窗部 3 4 :冷卻風吸引導管 3 5 :冷卻風取入口 3 6 :框體 3 6 A :下部空間 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
•JIL 裝· 訂 -18- 496945 A7 B7五、發明説明（$ .3 7 :排氣用連接口 3 8 :導管 3 9 :排氣用導管 4 0 :排氣風機 4 2 :排氣室 4 3 :被處理物 4 4 :支持滾子 4 5 :搬送手段 5 0 :潔淨室 6 0 :內部排出導管 61:排出風機 6 2 :過濾器 6 3 :連通口 6 4 :分岔口 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝_ 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇Χ297公釐） -19-