TW496945B - Circulated air-cooling system of a light illuminator - Google Patents

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TW496945B
TW496945B TW090124946A TW90124946A TW496945B TW 496945 B TW496945 B TW 496945B TW 090124946 A TW090124946 A TW 090124946A TW 90124946 A TW90124946 A TW 90124946A TW 496945 B TW496945 B TW 496945B
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Description

496945 A7 ___ B7_五、發明説明(彳) 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於在潔淨室內,照射出紫外光之照射器的 循環氣冷系統。 【習知技術】 以往,爲了對塗佈在被處理物表面上之保護膜、黏著 劑、塗料、油墨或是光阻劑等,藉由照射從光源燈放射出 來的紫外光,來使其硬化、乾燥、熔融或是軟化,而廣泛 地在各領域內使用光照射器來進行處理。 近年來,在液晶等的顯示面板之製造工程中,藉由紫 外光的照射處理,被利用在基板或濾光器的貼合工程中; 例如,將塗佈有紫外光硬化性密封劑之薄膜電晶體( T F T )基板和彩色濾光器基板貼合,在此狀態下,藉由 對密封劑照射紫外光來使其硬化,來將兩者接合在一起。 又,在液晶等的顯示面板之製造工程中,隨著畫面的 局精度化,而需要進行微細的加工技術;而且,由於面板 元件或是驅動面板元件之電氣線路,也被高密度地配設, 所以其內部若有塵埃或是灰塵等的異物侵入時,將造成顯 示面板上發生影像顯示不良或是動作不良的原因。因此, 通常在製造顯示面板時,係在潔淨室內進行。 在潔淨室中,其內部之每單位體積之浮游塵埃量的最 大値,係依該潔淨室之使用目的而被規定其等級;通常, 與溫度、溼度等的環境條件,一起被嚴格地控制管理。又 ,爲了防止含有大量塵埃之外部大氣流入潔淨室內,潔淨 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
JIL 裝.
、1T 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) -4- 496945 A7 B7 五、發明説明(2) 室.內的氣壓,通常係維持在比外部大氣壓稍高的氣壓狀態 另一方面,對於放射出紫外光的光照射器,爲了縮短 處理時間,作爲光源燈,係使用輸出功率大的 燈,例如棒狀的高壓水銀燈或是鹵化金屬燈等 且與反射鏡加以組合來使用。 又,例如在液晶顯示面板的接合處理工程 有密封劑之面板上之應該一起照射紫外光的照 爲2 0 Ommx 2 0 Omm大小時,作爲光源 用輸出功率爲7 kW、發光長度爲2 5 cm的 燈,而對於具備如此高輸出功率的光源燈之光 了防止燈泡發生透明消失(反玻璃化)或是反 損,在開燈中,需要冷卻光源燈以及反射鏡。 作爲具備上述高輸出功率之紫外光放射燈 的冷卻手段,通常係利用冷卻風之氣冷方式; 方式,對於在使用輸出功率爲7 k W的光源燈 如需要7 m3/分左右的風量。 第3圖係槪要地表示習知光照射器之氣冷 之說明用剖面圖。 在此圖中,光照射器3 0,係被配置在潔 ,而藉由被區隔成上下二部分的框體3 6來構 言,往垂直於紙面方向延伸之棒狀光源燈3 1 具有光照射用之開口而全體爲筒狀的反射鏡3 置在框體3 6之下部空間3 6 A內。 紫外線放射 的放電燈, 中,在塗佈 射區域,當 ,例如係使 紫外光放射 照射器,爲 射鏡發生破 之光照射器 對於此氣冷 的情況,例 系統的構成 淨室5 0內 成。具體而 、以及下方 2,係被配 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· 訂 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -5- 496945 A7 _B7 五、發明説明(j 又,在光源燈3 1的上方,設置:沿著光源燈3 1的 長度方向延伸而貫通反射鏡3 2之最上部的冷卻風吸引導 管3 4。 另一方面,在框體3 6的底面部,面對反射鏡3 2的 開□,設置例如由石英所形成的窗部3 3 ;而在框體3 6 的側壁部分,設置於反射鏡3 2和窗部3 3之間開口的冷 卻風取入口 3 5。 由反射鏡3 2所圍成的空間,藉由冷卻風吸引導管 3 4,連通至由框體3 6之上部空間所形成的排氣室4 2 。在此排氣室4 2的上部,形成排氣用連接口 3 7 ;而在 此排氣用連接口 3 7上,經由導管3 8,與排氣用導管 3 9連接,而排氣用導管3 9係連通至潔淨室5 0外部之 大氣,而在排氣用導管3 9的中間,配置排氣風機4 0。 對於上述的光照射器之氣冷系統,若驅動排氣風機 4 0,則在潔淨室5 0內的空氣從冷卻風取入口 3 5被吸 引’而作爲冷卻風,一邊與光源燈3 1、以及反射鏡3 2 的表面接觸一邊流過,而將其冷卻,然後,從冷卻風吸引 導管3 4,經過排氣室4 2、導管3 8以及排氣用導管 3 9 ’而被排出至潔淨室5 0的外部。 又’在光照射器3 0中,從光源燈3 1放射出來的光 ’直接地或是被反射鏡3 2反射而間接地經過窗部3 3, 而放射至下方,藉由此手段,例如可以對被處理物4 3, 照射預先設定時間的光,以此手段來進行所要的光照射處 理;而上述被處理物4 3係位於窗部3 3下方位置,且被 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 -6- 496945 A7 B7 五、發明説明( 載置於被支持滾子4 4所支持而移動的搬送帶4 5上。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 然而,對於上述光照射器3 0的氣冷系統,爲了得到 冷卻風,由於係吸引潔淨室5 0內的潔淨空氣且最後係將 所吸引的全部潔淨空氣,排出至外部大氣中,不但會大量 地消費潔淨空氣且會造成潔淨室5 0內的氣壓降低的結果 ,因此,潔淨室5 0之潔淨空氣的供給以及環境條件的維 持,會有需花費大量成本的問題。 【發明所欲解決之課題】 本發明係爲了解決上述課題而發明出來,其目的爲提 供一種光照射器之循環氣冷系統,係在潔淨室內使用,且 基本上不會消耗潔淨空氣或是消耗量少。 【解決課題所用的手段】 本發明之光照射器之循環氣冷系統,係使冷卻風循環 來冷卻被設置在潔淨室內之光照射器的光照射器之循環氣 冷系統,其特徵爲: 具備:將通過上述光照射器而變成高溫的冷卻風,從 該光照射器排氣之排氣風機; 設置在上述排氣風機的入口側,用來冷卻上述冷卻風 的冷卻器;以及 將被上述冷卻器冷卻後的冷卻風,從上述排氣風機供 給至上述光照射器中的回風導管; 而且,爲了使上述光照射器內的壓力,比上述潔淨案 496945 A7 __ B7 五、發明説明(g (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 內·的壓力小,在上述回風導管中,設置外部排氣手段,將 從上述排氣風機來的冷卻風的一部分,排出至上述潔淨室 的外部。 又’本發明之光照射器之循環氣冷系統,係使冷卻風 循環來冷卻被設置在潔淨室內之光照射器的光照射器之循 環氣冷系統,其特徵爲: 具備:將通過上述光照射器而變成高溫的冷卻風,從 該光照射器排氣之排氣風機; 設置在上述排氣風機的入口側,用來冷卻上述冷卻風 的冷卻器;以及 將被上述冷卻器冷卻後的冷卻風,從上述排氣風機供 給至上述光照射器中的回風導管; 而且,爲了使上述光照射器內的壓力,比上述潔淨室 內的壓力小,在上述回風導管中,設置內部排氣手段,將 從上述排氣風機來的冷卻風的一部分,通過過濾器之後, 排出至上述潔淨室的內部空間中。 . 【作用】 ! 若根據本發明之光照射器之循環氣冷系統,冷卻光照 | 射器而昇溫的冷卻風,在冷卻器內被冷卻後,由於利用由 ? 回風導管所形成的循環風路,進行循環而再度供給至光照 ) 射器內,基本上不會消耗潔淨空氣或是消耗量少。 ί 又’在從排氣風機至光照射器的循環風路中,藉由將 £ ^ 冷卻風的一部分排出至潔淨室的外部、或是經過過濾器而 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) -8- 496945 A7 B7 五、發明説明(g (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 排至潔淨室的內部空間中,光照射器內的壓力,由於可以 被維持在該潔淨室內的壓力以下,所以可以防止冷卻風從 循環風路非控制地噴出至潔淨室內。 【本發明之實施形態】 以下,詳細地說明本發明。 第1圖係槪要地表示關於本發明之一實施例之光照射
I 器之循環氣冷系統的構成之說明用剖面圖。 關於此光照射器1 0之循環氣冷系統,在連接構成光 照射器1 0之框體1 7和排氣風機2 2的入口之導管1 6 A中’加進冷卻器2 0,且設置回風導管1 6 B來連接排 氣風機2 2之出口以及在框體1 7上之冷卻風入口2 6 ; 藉由此手段,形成與潔淨室1 8內之空氣區隔成獨立狀態 的循環風路。圖號2 1係冷卻器2 0之冷卻用媒體流通管 0 光照射器1 0,係藉由:框體1 7 ;設置在框體1 7 的內部,往紙面的垂直方向延伸而放射出紫外光的棒狀光 源燈1 1 ;覆蓋此光源燈1 1的上部,而設置成沿著其長 度方向延伸,其下方具有開口之全體爲溜槽(c h u t e )狀的反射鏡1 2 ;以及設置在框體1 7的底面處,例如 由石英所形成的窗部1 3所構成。又,在光源燈1 1的上 方,配置沿著其長度方向延伸,而連通至排氣室1 5的冷 卻風吸引導管1 4。 再者,在框體1 7中,沒有形成冷卻風取入口。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) ' ' -9 - 496945 A7 _B7 五、發明説明(7> (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 加進導管1 6 A中的冷卻器2 0爲熱交換器;配置在 其內部的冷卻用媒體流通管2 1 ,例如具有形成多數散熱 片形狀的表面,而被冷卻至規定溫度的冷卻用媒體,則從 外部流過其內部。 又,在從排氣風機2 2的出口延伸至框體1 7上之冷 卻風入口 2 6的回風導管1 6 B中,分岔地設置排出口 2 5,與潔淨室1 8外部的大氣連通,且設置可以控制其 開度的調節器(d a m p e r ) 2 4 ;藉由此手段,設置 外部排氣手段。又,在回風導管1 6 B中,根據需要,在 排出口 2 5的上游位置,設置過濾器2 3。 作爲上述光源燈1 1雖然沒有特別的限定,理想爲例 如使用輸出功率大的棒狀紫外光放射燈,而作爲此種紫外 光放射燈,例如有高壓水銀燈、超高壓水銀燈、氙氣燈以 及鹵化金屬燈等。 供應至冷卻器2 0內之冷卻用媒體的溫度和供給量、 以及供應至光照射器1 0內的冷卻風的風量,作爲循環氣 冷系統全體,係根據光源燈1 1之輸出功率所要得到的冷 ^ 卻效果,參考相互之間的熱交換效果來加以設定。 ! 供應至冷卻器2 〇內的冷卻用媒體的種類’並沒有特 ) ί 別的限制,例如可以使用水、流動性油、冷卻氣體等。作 r \ 爲此種冷卻用媒體,在使用水的情況下,水的溫度係設定 } 爲 1 5 〜2 5 °C。 ί 又,作爲冷卻用媒體之水的供應速率並沒有特別的限
L ; 定,例如以5〜1 5公升/分的速率來供應。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) -10- 496945 A7 _____B7 五、發明説明($ 作爲使冷卻風循環的排氣風機2 2,對應光源燈1丄 的輸出功率,使用可以供給必要的冷卻風的風量來冷卻光 源燈1 1 、反射鏡1 2以及窗部1 3的排氣風機。作爲此 種排氣風機的一例,例如使用可以供給5〜1 〇 m 3 /分的 冷卻風的風量的排氣風機。 又,針對導管中的接合部,對於微細的縫隙等,理想 爲施以氣密處理,以確保循環風路之氣密性。 在上述構造中,從光源燈1 1放射出來的紫外光,直 接或是被反射鏡1 2反射後,通過光照射器1 〇的窗部 1 3,放射至下方。又,此紫外光,例如對被載置於搬送 手段2 8上而被移送至光照射區域的被處理物2 7,照射 預先規定的一定時間,來進行所要達成之目的之光照射處 理。圖號2 9係用來支持搬送手段2 8的支持滾子。 又,將光源燈1 1開燈,且驅動排氣風機2 2,則由 此手段所產生的冷卻風,在循環風路中循環。 亦即,藉由排氣風機2 2所供給的冷卻風,通過在回 風導管1 6 B中的過濾器2 3,然後從冷卻風入口 2 6流 ί 入框體1 7內’一邊接觸光源燈1 1、反射鏡1 2以及框 ! 體1 7等的表面一邊流過,來冷卻這些元件。冷卻上述元 ί 件而昇溫的冷卻風,則通過冷卻風吸引導管1 4,被吸引 ί 至排氣室1 5內,然後在冷卻器2 0內,一邊接觸散熱片 ^ 一邊流過而被冷卻,然後藉由排氣風機2 2,再度供應至 : 循環管路中。 ! 從排氣室1 5來的例如昇溫至7 〇〜9 0 °c的冷卻風 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) ΑΟ見格(210Χ29*7公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 -11 - 496945 A7 __ B7 五、發明説明(j 在冷卻器2 0內,例如被冷卻至2 5〜3 5 °C的狀態。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於是,在循環風路中,由於從冷卻風吸引導管1 4和 光源燈1 1之間的空隙,至排氣風機2 2的入口爲止的區 域L,爲負壓大的區域;實際上,在此區域L中,例如排 氣室1 5或是冷卻器2 0之螺絲孔、接合部之接縫或是在 排氣風機2 2和導管1 6 A之間的接合部,由於有縫隙存 在,雖然這些縫隙微小,潔淨室1 8內之潔淨空氣仍會流 入循環風路內。 因此,循環風路內以及光照射器1 0內的壓力雖然會 漸漸地升高,但是其壓力在比潔淨室1 8內的壓力高時, 冷卻風便會從光照射器1 0之外裝板之螺絲孔或是接合部 的接縫,非控制性地噴出至潔淨室1 8內。 此種從循環氣冷系統來的冷卻風之非控制性地噴出, 不但會擾亂潔淨室1 8內之被處理物2 7附近的潔淨空氣 的氣流,而且在冷卻風中,有可能含有由於排氣風機2 2 之旋轉軸等動作部分所產生的塵埃,而這些塵埃,會污染 被處理物2 7而造成不良的發生原因。 然而,在上述構成中,由於在回風導管1 6 B中之排 氣風機2 2和光照射器1 0之冷卻風入口 2 6之間,設置 將冷卻風的一部份排出至潔淨室1 8的外部之排出口 2 5 所形成的外部排氣手段,而藉由調整調節器2 4的開度, 在控制狀態下,可以將回風之冷卻風的一部份’從回風導 管1 6 B排出至外部,藉由此手段,可以確實地防止光照 射器1 0內的壓力變成比潔淨室1 8內的壓力高。 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -12- 496945 A7 _ B7
五、發明説明()Q .第2圖係槪要地表示關於本發明之其他實施例之光照 射器之循環氣冷系統的構成之說明用剖面圖。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 關於此圖所示之光照射器1 0之循環氣冷系統,在從 排氣風機2 2的出口延伸出去的回風導管1 6 B中,分岔 地設置內部排出導管6 0,其前端的連通口 6 3與潔淨室 1 8之內部空間連通。而在此內部排出導管6 0中,加裝 排出風機6 1 ,且在排出風機6 1和連通口 6 3之間,設 置用來除去此循環系統內所產生之塵埃的過濾器6 2 ;藉 由這些構件,形成用來將在循環風路內循環的冷卻風的一 部份,排出至潔淨室1 8之內部空間中的內部排氣手段。 在此,連通口6 3,理想爲配置在潔淨室1 8內之不 會擾亂被處理物2 7附近之潔淨空氣的氣流之位置處。 作爲排出風機6 1 ,只要可以對應回風導管1 6 B的 內部以及潔淨室1 8之內部空間的壓力差,而將循環風路 中之冷卻風的一部份,在控制狀態下加以排出的風機便可 以;作爲其中一例,例如可以使用具有產生冷卻風之風量 的1/3〜1/4的風量之能力的風機。 作爲第2過濾器6 2,理想爲例如對應潔淨室1 8的 潔淨度而使用高效率微粒空氣過瀘器;又,例如光源燈 1 1爲使用會產生臭氧之紫外光放射燈的情況,爲了除去 在光照射器1 0內產生而被包含於冷卻風內的臭氧,理想 爲單獨地使用或是組合地使用臭氧過濾器。 其他的構成與第1圖所示之構成例相同。 對於以上構成之光照射器之循環氣冷系統,與第1圖 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) -13- 496945 A7 B7 五、發明説明(> 之.構成之循環氣冷系統同樣地’藉由排氣風機2 2供給冷 卻風,此冷卻風從冷卻風入口 2 6流入框體1 7內’藉由 此手段,將光照射器1 〇內之光源燈1 1以及反射鏡1 2 等加以冷卻,而在回風導管1 6 B中’通過過濾器2 3而 流過的冷卻風,其中一部份藉由排出風機6 1而被導入內 部排出導管6 0內,進而利用第2過濾器6 2加以過濾後 ,從連通口 6 3排出至潔淨室1 8之內部空間內。 藉由此手段,與第1圖所示之例所構成之循環氣冷系 統相同地,光照射器1 0內的壓力’可以確實地防止其高 於潔淨室1 8內的壓力,而且,被導入內部排出導管6 0 內之冷卻風的一部份,由於被排出至潔淨室1 8的內部空 間中,整體而言,不需要將潔淨空氣排出至外部,結果, 不會由於光照射器1 0之冷卻所需而消耗潔淨室1 8內部 的潔淨空氣。 而且,從連通口 6 3排至潔淨室1 8之內部空間中的 冷卻風,由於利用過濾器6 2的除塵作用,除了符合作爲 潔淨空氣之塵埃含量的標準以外,利用該過濾器6 2的壓 力調整效果’從連通口 6 3噴出的空氣噴流,被充分地抑 制,因而不會擾亂被處理物2 7附近之潔淨空氣的氣流, 所以不會由於該空氣的排出而造成被處理物2 7發生不良 的情況。 以上’雖然根據本發明之具體的形態來加以說明,但 是本發明並不被限定於上述例所示之形態,而可以作各種 的變更。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公羡) -14 - 496945 A7 _____B7 _五、發明説明(& 例如,光照射器1 0之循環氣冷系統,其全體不必設 置成被收容在潔淨室1 8內的狀態,光照射器1 0以外之 循環風路的一部份,例如可以做成將排氣風機2 2或是冷 卻器2 0等,設置在潔淨室1 8外的形態。在此情形下, 除了可以有效地利用潔淨室1 8內的空間·以外,對於被配 置在外部的部分,具有容易配置、管理維護等的優點。 又,關於具有內部排出導管6 0的例子,例如也可以 在內部排出導管6 0之分岔口 6 4的附近,配置調整開度 的調節器,藉由此手段,構成可以控制從連通口 6 3排出 至潔淨室1 8內部之空氣噴出量的構造;在此情形中,也 可以做成沒有配置排出風機6 1的構造。 【實施例】 以下,說明關於本發明之實施例,但是本發明並不被 限定於此實施例。 <實施例1 > 藉由具備額定輸出爲7 k W之高壓水銀燈所組成的光 源燈的光照射器、排氣風機、以及使用水作爲冷卻用媒體 的冷卻器,構成基本上如第1圖所示之構造的循環氣冷系 統。 然後,利用排氣風機,使冷卻風以7 m 3 /分的風量循 環,而在冷卻器內,2 1 °C的水以1 0公升/分的流量流 過時,高壓水銀燈、反射鏡以及石英窗一起被充分地冷卻 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -b. 裝· 、訂 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X29*7公釐) -15- 496945 A7 B7
五、發明説明(A (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 。·具體而言’在排氣室(1 5 )中的冷卻風之溫度約8 〇 °C ’而流入排氣風機(2 2 )的冷卻風溫度爲2 7 °C。又 ’經由調節器(2 4 )而從排出口( 2 5 )排出至潔淨室 1 8的外部之冷卻風的風量爲1 m 3/分;此排出量與將從 潔淨室來的潔淨空氣,以7 m 3 /分的風量,照原樣地排出 至潔淨室的外部的情況相比,達成光照射器(1 〇 )所需 的冷卻之際所要消耗的潔淨空氣量,可以大幅地減少。 <實施例2 > 藉由具備額定輸出爲7 k W之高壓水銀燈所組成的光 源燈的光照射器、排氣風機、使用水作爲冷卻用媒體的冷 卻器、內部排出導管、排出風機以及第2過濾器,構成基 本上如第2圖所示之構造的循環氣冷系統。 然後,利用排氣風機,使冷卻風以7 m 3 /分的風量循 環,而在冷卻器內’ 2 1 t的水以1 〇公升/分的流量流 過,而且使排出風機動作將冷卻風的一部分排至潔淨室的 內部空間中之時,沒有消耗潔淨室內之潔淨空氣,高壓水 銀燈、反射鏡以及石英窗便一起被充分地冷卻。具體而言 ,在排氣室(1 5 )中的冷卻風之溫度約8 0 °C,而流入 排氣風機(2 2 )的冷卻風溫度爲2 7 t。又,經由內部 排出導管(6 0 )以及第2過濾器(6 2 )排至潔淨室( 1 8 )之內部空間中的冷卻風的風量爲2 m 3,作爲潔淨室 (18),沒有消耗潔淨空氣,便可以達成光照射器( 1 0 )所需要的冷卻。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -16- 496945 A7 _____B7 五、發明説明(& 【.發明之效果】 若根據本發明之光照射器之循環氣冷系統,冷卻光照 射器而昇溫的冷卻風,在冷卻器內被冷卻後,由於利用由 回風導管所形成的循環風路,進行循環而再度供給至光照 射器內,基本上不會消耗潔淨空氣或是消耗量少。 又’在從排氣風機至光照射器的循環風路中,藉由將 冷卻風的一部分排出至潔淨室的外部、或是經過過濾器而 排至潔淨室的內部空間中,光照射器內的壓力,由於可以 被維持在該潔淨室內的壓力以下,所以可以防止冷卻風從 循環風路非控制地噴出至潔淨室內。 【圖面之簡單說明】 第1圖係槪要地表示關於本發明之一實施例之光照射 器之循環氣冷系統的構成之說明用剖面圖。 第2圖係槪要地表示關於本發明之其他實施例之光照 射器之循環氣冷系統的構成之說明用剖面圖。 第3圖係槪要地表示具有氣冷系統之習知光照射器的 構成之說明用剖面圖。 【符號說明】 1 0 :光照射器 1 1 :光源燈 1 2 :反射鏡 1 3 :窗部 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -装· 訂 -17- 496945 A7 B7五、發明説明(& 14:冷卻風吸引導管 15:排氣室 1 6 A :導管 1 6 B :回風導管 1 7 :框體 1 8 :潔淨室 2 0 :冷卻器 21:冷卻用媒體流通管 2 2 :排氣風機 2 3 :過濾器 2 4 :調節器 2 5 :排出口 2 6 :冷卻風入口 2 7 :被處理物 2 8 :搬送手段 2 9 :支持滾子 3 0 :光照射器 31:光源燈 3 2 :反射鏡 3 3 :窗部 3 4 :冷卻風吸引導管 3 5 :冷卻風取入口 3 6 :框體 3 6 A :下部空間 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
•JIL 裝· 訂 -18- 496945 A7 B7五、發明説明($ .3 7 :排氣用連接口 3 8 :導管 3 9 :排氣用導管 4 0 :排氣風機 4 2 :排氣室 4 3 :被處理物 4 4 :支持滾子 4 5 :搬送手段 5 0 :潔淨室 6 0 :內部排出導管 61:排出風機 6 2 :過濾器 6 3 :連通口 6 4 :分岔口 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝_ 訂 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(21〇Χ297公釐) -19-

Claims (1)

  1. 496945 Α8 Β8 C8 D8 々、申請專利範圍 1 _ 一種光照射器之循環氣冷系統,係使冷卻風循環 來冷卻被設置在潔淨室內之光照射器的光照射器之循環氣 冷系統,其特徵爲: 具備:將通過上述光照射器而變成高溫的冷卻風,從 該光照射器排氣之排氣風機; 設置在上述排氣風機的入口側,用來冷卻上述冷卻風 的冷卻器;以及 將被上述冷卻器冷卻後的冷卻風,從上述排氣風機供 給至上述光照射器中的回風導管; 而且,爲了使上述光照射器內的壓力,比上述潔淨室 內的壓力小,在上述回風導管中,設置外部排氣手段,將 從上述排氣風機來的冷卻風的一部分,排出至上述潔淨室 的外部。 2 · —種光照射器之循環氣冷系統,係使冷卻風循環· 來冷卻被設置在潔淨室內之光照射器的光照射器之循環氣 冷系統,其特徵爲: 具備:將通過上述光照射器而變成高溫的冷卻風,從 該光照射器排氣之排氣風機; 設置在上述排氣風機的入口側,用來冷卻上述冷卻風 的冷卻器;以及 將被上述冷卻器冷卻後的冷卻風,從上述排氣風機供 給至上述光照射器中的回風導管; 而且,爲了使上述光照射器內的壓力,比上述潔淨室 內的壓力小,在上述回風導管中,設置內部排氣手段,將 本紙張尺度適用中國國家揉準(CNS ) A4規格(21〇Χ:297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}
    -20- 496945 A8 B8 C8 D8 々、申請專利範圍從上述排氣風機來的冷卻風的一部分,通過過濾器之後, 排出至上述潔淨室的內部空間中。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) -21 -
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