JP2002235942A - 光照射器の循環空冷システム - Google Patents
光照射器の循環空冷システムInfo
- Publication number
- JP2002235942A JP2002235942A JP2001188151A JP2001188151A JP2002235942A JP 2002235942 A JP2002235942 A JP 2002235942A JP 2001188151 A JP2001188151 A JP 2001188151A JP 2001188151 A JP2001188151 A JP 2001188151A JP 2002235942 A JP2002235942 A JP 2002235942A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean room
- cooling
- light irradiator
- cooling air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 124
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 10
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 7
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 1
- 238000004031 devitrification Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V29/00—Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
- F21V29/50—Cooling arrangements
- F21V29/70—Cooling arrangements characterised by passive heat-dissipating elements, e.g. heat-sinks
- F21V29/83—Cooling arrangements characterised by passive heat-dissipating elements, e.g. heat-sinks the elements having apertures, ducts or channels, e.g. heat radiation holes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V29/00—Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
- F21V29/50—Cooling arrangements
- F21V29/502—Cooling arrangements characterised by the adaptation for cooling of specific components
- F21V29/503—Cooling arrangements characterised by the adaptation for cooling of specific components of light sources
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F7/00—Ventilation
- F24F7/04—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation
- F24F7/06—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
がら、基本的にクリーンエアーを消費することのない光
照射器の循環空冷システムを提供すること。 【解決手段】 光照射器の循環冷却システムは、クリー
ンルーム内に設けられる光照射器の空冷システムであっ
て、光照射器から冷却風を排気する排気ブロワと、前記
光源ランプの下流位置に設けられた冷却器とよりなり、
前記光源ランプを通過して高温となった冷却風が冷却器
により冷却された後、循環されて再び光源ランプに供給
されることを特徴とする。また、排気ブロワと光照射器
との間に排気口または外部排気手段または内部排気手段
を設け、光照射器の内圧がクリーンルームの圧力より高
くなることを防ぐ。
Description
において、紫外光を照射する光照射器の循環空冷システ
ムに関する。
護膜、接着剤、塗料、インキ、レジストなどを、光源ラ
ンプからの紫外光を照射することにより、硬化、乾燥ま
たは溶融、軟化させるために、光照射器を用いて処理す
ることが各分野において広く行われている。近年、液晶
等のディスプレイパネルの製造工程においては、紫外光
の照射による処理が基板やフィルタの貼り合わせなどに
利用されており、例えば、紫外光硬化性のシール剤を塗
布した薄膜トランジスタ(TFT)基板とカラーフィル
タ基板とを貼り合わせ、この状態でシール剤に紫外光を
照射して硬化させることにより、両者を接着することが
行われている。
工程においては、画面の高精度化の要請に応じて微細な
加工技術が必要とされており、しかも、パネル素子や、
パネル素子を駆動する電気回路が高密度で配設されてい
るために、その内部に塵や埃などの異物が侵入した場合
には、それがディスプレイパネルにおいて画像表示不良
や動作不良を起こす原因となる。そのため、通常、ディ
スプレイパネルの製造は、クリーンルーム内において行
われる。
ける単位体積あたりの浮遊塵埃の量の最大値が、当該ク
リーンルームの使用目的に必要とされるレベルに規定さ
れており、通常、温度、湿度などの環境条件と共に、厳
重に管理されている。また、多量の塵埃を含有した外部
大気が流入することを防止するために、クリーンルーム
内の気圧は、通常、外部大気より少し高い気圧状態に維
持されている。
は、処理時間の短縮を図るために、光源ランプとして出
力の大きい紫外光放射ランプ、例えば棒状の高圧水銀ラ
ンプやメタルハライドランプなどの放電ランプが反射ミ
ラーと組み合わせて用いられている。
接着処理工程において、シール剤が塗布されているパネ
ルにおける、紫外光を一括して照射するべき照射領域
が、200mm×200mmの大きさである場合には、
光源ランプとして、例えば出力が7kW、発光長25c
mの紫外光放射ランプが用いられるが、このような高出
力の光源ランプを備えた光照射器においては、ランプバ
ルブの失透や反射ミラーの破損を防ぐために、ランプの
点灯中は光源ランプおよび反射ミラーを冷却することが
必要である。上記のような高出力の紫外光放射ランプを
備えた光照射器の冷却手段としては、通常、冷却風によ
る空冷方式が利用されており、この空冷方式において
は、光源ランプとしてその出力が例えば7kWのものを
用いる場合には、例えば7m3/分程度の風量が必要と
される。
構成を概略的に示す説明用断面図である。この図におい
て、光照射器30は、クリーンルーム50内に配設され
た、上下に区画された筐体36により構成されている。
具体的には、紙面に垂直方向に伸びる棒状の光源ランプ
31と、下方に光照射用の開口を有する全体が樋状の反
射ミラー32が、筐体36の下部空間36Aに配設され
ている。また、光源ランプ31の上方には、その長さ方
向に沿って伸びるよう、反射ミラー32の最上部を貫通
する冷却風吸引ノズル34が設けられている。一方、筐
体36の下面部には、反射ミラー32の開口に対向し
て、例えば石英からなる窓部33が設けられており、筐
体36の側壁部分には、反射ミラー32と窓部33との
間に開口する冷却風取入口35が設けられている。
冷却風吸引ノズル34によって、筐体36の上部空間に
よって形成された排気室42に連通している。この排気
室42の上部には排気用接続口37が形成されており、
この排気用接続口37には、ダクト38を介して、クリ
ーンルーム50の外部の大気に連通する排気用ダクト3
9が接続されており、その中間に排気ブロワ40が配設
されている。
おいては、排気ブロワ40が駆動されると、クリーンル
ーム50内におけるエアーが冷却風取入口35から吸引
され、冷却風として、光源ランプ31、および反射ミラ
ー32の表面に接触しながら流過してこれらを冷却し、
その後、冷却風吸引ノズル34から排気室42、ダクト
38および排気用ダクト39を介してクリーンルーム5
0の外部に排出される。また、光照射器30における光
源ランプ31から放射された光は、直接的に、または反
射ミラー32により反射されて間接的に、窓部33を介
して下方に放射され、これにより、例えば、窓部33の
下方の位置において支持ローラ44により支持されて走
行する搬送ベルト45上に担持された被処理物43に、
予め規定された一定時間、光が照射され、これにより、
目的とする光照射処理が行われる。
システムにおいては、冷却風を得るために、クリーンル
ーム50内のクリーンエアーを吸引して最終的にはその
全部が外部の大気中に排出されるため、クリーンエアー
が大量に消費されると共に、クリーンルーム50内の気
圧を低下させる原因となる結果、クリーンルーム50に
おけるクリーンエアーの供給および環境条件の維持に多
大なコストが必要となる、という問題がある。
ーム内で使用されるものでありながら、基本的にクリー
ンエアーを消費することがなく、あるいは消費量が少な
い光照射器の循環空冷システムを提供することを目的と
する。
空冷システムは、クリーンルーム内に設けられた光照射
器を、冷却風を循環させて冷却する、光照射器の循環空
冷システムであって、上記光照射器を通過して高温とな
った冷却風を、該光照射器から排気する排気ブロワと、
上記排気ブロワの入口側に設けられ、上記冷却風を冷却
する冷却器と、上記冷却器により冷却された冷却風を、
上記排気ブロワから上記光照射器に供給する帰還ダクト
とを備え、上記光照射器内の圧力が上記クリーンルーム
内の圧力以下の大きさとなるように、上記排気ブロワよ
りの冷却風の一部を上記クリーンルームの外部に排出す
る外部排気手段を、上記帰還ダクトに設けたことを特徴
とする。
ムは、クリーンルーム内に設けられた光照射器を、冷却
風を循環させて冷却する、光照射器の循環空冷システム
であって、上記光照射器を通過して高温となった冷却風
を、該光照射器から排気する排気ブロワと、上記排気ブ
ロワの入口側に設けられ、上記冷却風を冷却する冷却器
と、上記冷却器により冷却された冷却風を、上記排気ブ
ロワから上記光照射器に供給する帰還ダクトとを備え、
上記光照射器内の圧力が上記クリーンルーム内の圧力以
下の大きさとなるように、上記排気ブロワよりの冷却風
の一部を、フィルタを介してクリーンルームの内部空間
に排出する内部排気手段を、上記帰還ダクトに設けたこ
とを特徴とする。
ば、光照射器を冷却して昇温した冷却風は冷却器におい
て冷却された後、帰還ダクトにより形成される循環風路
により循環されて再び光照射器に供給されるため、基本
的にクリーンエアーを消費することがなく、あるいは消
費量が少ない。また、排気ブロワから光照射器に至る循
環風路において、冷却風の一部がクリーンルームの外部
へ排出されることにより、または、フィルタを介してク
リーンルームの内部空間へ排出されることにより、光照
射器内の圧力が当該クリーンルーム内の圧力以下の大き
さに維持されるため、冷却風がその循環風路から非制御
的にクリーンルーム内に吹き出すことが防止される。
する。図1は、本発明の一実施例に係る光照射器の循環
空冷システムの構成を概略的に示す説明用断面図であ
る。この光照射器10の循環空冷システムにおいては、
光照射器10を構成する筐体17と排気ブロワ22の入
口とを接続するダクト16Aに、冷却器20が介挿され
ると共に、排気ブロワ22の出口と、筐体17における
冷却風入口26とを接続する帰還ダクト16Bが設けら
れ、これにより、クリーンルーム18内のエアーとは独
立した状態に区画された循環風路が形成されている。2
1は、冷却器20の冷却用媒体流通パイプである。
設けられた、紫外光を放射する紙面に垂直方向に伸びる
棒状の光源ランプ11と、この光源ランプ11の上部を
覆ってその長さ方向に沿って伸びるよう設けられた、下
方に開口を有する全体が樋状の反射ミラー12と、筐体
17の下面に設けられた、例えば石英からなる窓部13
とにより構成されている。また、光源ランプ11の上方
には、その長さ方向に沿って伸びるよう、排気室15に
連通する冷却風吸引ノズル14が配設されている。な
お、筐体17には、冷却風取入口は形成されていない。
交換器であり、内部に配設された冷却用媒体流通パイプ
21は、例えば多数のフィンが形成された形状の表面を
有し、その内部には規定の温度に冷却された冷却用媒体
が外部から流通される。
における冷却風入口26に伸びる帰還ダクト16Bに
は、これより分岐してクリーンルーム18の外部の大気
に連通すると共に、その開度が制御される開閉可能なダ
ンパ24が配設された排出口25が設けられており、こ
れにより外部排気手段が設けられている。また、帰還ダ
クト16Bには、必要に応じて、排出口25より上流の
位置にフィルタ23が設けられる。
るものではないが、例えば出力の大きな棒状の紫外光放
射ランプを好ましく用いることができ、そのような紫外
光放射ランプの例としては、例えば、高圧水銀ランプ、
超高圧水銀ランプ、クセノンランプ、およびメタルハラ
イドランプなどを挙げることができる。
およびその供給量、並びに光照射器10に供給される冷
却風の供給量は、循環空冷システム全体として光源ラン
プ11の出力に応じた冷却効果が得られるよう、相互の
熱交換効率を参酌した上で設定することができる。冷却
器20に供給される冷却用媒体の種類は、特に制限され
るものではなく、例えば、水、流動性オイル、冷却ガス
などを用いることができる。この冷却用媒体として、水
を用いる場合においては、水の温度は、例えば15〜2
5℃とされる。また、冷却用媒体としての水の供給割合
は特に制限されず、例えば5〜15リットル/分の割合
で供給する。
としては、光源ランプ11の出力に応じて、光源ランプ
11、反射ミラー12および窓部13の冷却に必要な風
量の冷却風を供給することができるものが用いられる。
このような排気ブロワの一例としては、例えば5〜10
m3 /分の風量で冷却風を供給するものを挙げることが
できる。また、ダクトにおける接合部などにおいては、
存在する微細な隙間などに対してシール処理を施すこと
により、循環風路における気密性を確保することが好ま
しい。
ら放射された紫外光は、直接、または反射ミラー12に
より反射された後、光照射器10の窓部13を介して下
方に放射される。そして、この紫外光を、例えば、搬送
手段28により担持されて光照射領域に移送された被処
理物27に対して、予め規定された一定時間照射するこ
とにより、目的とする光照射処理が行われる。29は、
搬送手段28を支持する支持ローラである。
に、排気ブロワ22が駆動され、これにより発生した冷
却風が、循環風路を循環する。すなわち、排気ブロワ2
2により供給された冷却風は、帰還ダクト16Bにおけ
るフィルタ23を通過し、冷却風入口26から筐体17
に流入し、光源ランプ11、反射ミラー12および筐体
17などの表面に接触しながら流過し、それらを冷却す
る。これにより昇温した冷却風は、冷却風吸引ノズル1
4を介して排気室15へと吸引され、冷却器20におい
てフィンに接触しながら流過して冷却された後、排気ブ
ロワ22により、再び、循環風路へと供給される。
温した冷却風は、冷却器20において、例えば25〜3
5℃に冷却された状態とされる。
ル14と光源ランプ11との間の空隙から排気ブロワ2
2の入口までに至る領域Lは負圧の大きい領域であるた
め、実際上、この領域Lにおける、例えば排気室15ま
たは冷却器20におけるネジ孔、接合部の継ぎ目または
排気ブロワ22とダクト16Aとの接合部において微小
ながら存在する隙間から、クリーンルーム18内のクリ
ーンエアーが循環風路内に流入することとなる。そのた
め、循環風路内および光照射器10内の圧力は徐々に高
くなるが、この圧力がクリーンルーム18内の圧力より
も高くなった場合には、光照射器10の外装板のネジ孔
や接合部の継ぎ目から、冷却風が、非制御的にクリーン
ルーム18内に吹き出すことがある。
の非制御的な吹き出しは、クリーンルーム18内におけ
る被処理物27近傍のクリーンエアーの流れを乱す上、
冷却風には、排気ブロワ22の回転軸などの動作部分に
起因する塵埃が含まれている可能性があり、これらの塵
埃により、被処理物27が汚染されて不良が発生する原
因となることがある。
ト16Bにおける排気ブロワ22と光照射器10の冷却
風入口26との間に、冷却風の一部をクリーンルーム1
8の外部に排出する排出口25により形成された外部排
気手段が設けられているため、ダンパ24においてその
開度を調整することにより、制御した状態で、帰還する
冷却風の一部を帰還ダクト16Bから外部に排出するこ
とができ、これによって、光照射器10内の圧力が、ク
リーンルーム18内の圧力より高くなることを確実に防
止することができる。
器の循環空冷システムの構成を概略的に示す説明用断面
図である。この図に示す光照射器10の循環空冷システ
ムにおいては、排気ブロワ22の出口より伸びる帰還ダ
クト16Bには、これより分岐して、その先端の連通口
63においてクリーンルーム18の内部空間に連通する
内部排出ダクト60が設けられている。この内部排出ダ
クト60には、排出ブロワ61が介挿されると共に、こ
の排出ブロワ61と連通口63との間には、その循環空
冷システム内で発生する塵埃を取り除くためのフィルタ
62が設けられており、これらにより、循環風路内を循
環する冷却風の一部を、クリーンルーム18の内部空間
に排出する内部排気手段が形成される。ここで、連通口
63は、クリーンルーム18内において、被処理物27
近傍のクリーンエアーの流れを乱すことがない位置に配
設されることが好ましい。
Bの内部と、クリーンルーム18の内部空間とにおける
圧力差に応じて、循環風路における冷却風の一部を、制
御された状態で排出することができるものであればよ
く、その一例としては、例えば冷却風の風量の1/3〜
1/4の風量を生ずる能力を有するものを挙げることが
できる。
ーンルーム18のクリーン度に応じたヘパフィルタを用
いることが好ましく、また、例えば光源ランプ11がオ
ゾンを発生するような紫外光放射ランプを使用する場合
は、当該光照射器10内において発生して、冷却風に含
まれることとなるオゾンを除去するために、オゾンフィ
ルタを単独で、あるいは組み合わせて用いることが好ま
しい。他の構成は、図1に示す構成例と同一である。
においては、図1の構成の循環空冷システムと同様に、
排気ブロワ22により冷却風が供給され、この冷却風が
冷却風入口26より筐体17内に流入し、これにより、
光照射器10における光源ランプ11および反射ミラー
12などが冷却されることとなるが、帰還ダクト16B
においてフィルタ23を通過して流過する冷却風は、そ
の一部が排出ブロワ61により内部排出ダクト60に導
入され、更に第2のフィルタ62により濾過された後、
連通口63からクリーンルーム18の内部空間へと排出
される。
循環空冷システムと同様に、光照射器10内の圧力が、
クリーンルーム18内の圧力より高くなることを確実に
防止することができると共に、内部排出ダクト60に導
入された冷却風の一部は、クリーンルーム18の内部空
間に排出されるため、全体としてクリーンエアーを外部
に排出する必要がなく、結果として光照射器10の冷却
に起因してクリーンルーム18の内部のクリーンエアー
を消費することがなくなる。
8の内部空間に排出される冷却風は、フィルタ62によ
る除塵作用により、クリーンエアーとしての塵埃含有量
における目標の基準を満足するものとなると共に、当該
フィルタ62の制圧効果により、連通口63からのエア
ーの噴出勢いが十分に抑制されて被処理物27近傍のク
リーンエアーの流れを乱すことがないため、当該エアー
の排出に起因して被処理物27において不良が発生する
おそれがない。
明したが、本発明は、上述の例に限定されるものではな
く、種々の変更を加えることができる。例えば、光照射
器10の循環空冷システムは、その全体がクリーンルー
ム18内に収容された状態で設けられる必要はなく、光
照射器10以外の循環風路の一部、例えば排気ブロワ2
2や冷却器20などがクリーンルーム18外に設けられ
た態様とすることができる。この場合には、クリーンル
ーム18内の空間を有効に利用することができると共
に、外部に配置される部分の配設、管理維持などが容易
となる利点がある。
いては、例えば内部排出ダクト60における分岐口64
の近傍に、開度が調整できるダンパを配設し、これによ
り、連通口63からクリーンルーム18の内部へ排出さ
れるエアーの噴出量を制御できる構成であってもよく、
この場合には、排出ブロワ61が配設されない構成とさ
れてもよい。
本発明はこれにより限定されるものではない。 <実施例1>定格出力が7kWの高圧水銀ランプよりな
る光源ランプを備えた光照射器と、排気ブロワと、冷却
用媒体として水を用いた冷却器とにより、基本的に図1
に示す構成の循環空冷システムを構成した。そして、排
気ブロワにより、7m3 /分の風量で冷却風を循環さ
せ、冷却器において21℃の水を10リットル/分の割
合で流通させたところ、高圧水銀ランプは、反射ミラー
や石英窓と共に十分に冷却された。具体的には、排気室
(15)における冷却風の温度は約80℃、排気ブロワ
(22)に流入する冷却風の温度は27℃であった。ま
た、ダンパ(24)を介して排出口(25)よりクリー
ンルーム(18)の外部へ排出される冷却風の風量は1
m3 /分であり、クリーンルームからのクリーンエアー
を、7m3 /分の風量でそのままクリーンルームの外部
に排出する場合に比して、光照射器(10)について所
要の冷却を達成する際におけるクリーンエアーの消費量
が大幅に減少した。
ランプよりなる光源ランプを備えた光照射器と、排気ブ
ロワと、冷却用媒体として水を用いた冷却器と、内部排
出ダクトと、排出ブロワと、第2のフィルタとにより、
基本的に図2に示す構成の循環空冷システムを構成し
た。そして、排気ブロワにより、7m3 /分の風量で冷
却風を循環し、冷却器において21℃の水を10リット
ル/分の割合で流通させると共に、排出ブロワを動作さ
せて冷却風の一部をクリーンルームの内部空間へ排出さ
せたところ、クリーンルーム内のクリーンエアーが消費
されることなく、高圧水銀ランプは、反射ミラーや石英
窓と共に十分に冷却された。具体的には、排気室(1
5)における冷却風の温度は約80℃、排気ブロワ(2
2)に流入する冷却風の温度は27℃であった。また、
内部排出ダクト(60)および第2のフィルタ(62)
を介してクリーンルーム(18)の内部空間へ排出され
た冷却風の風量は2m3 /分であり、クリーンルーム
(18)全体として、クリーンエアーを消費することな
く、光照射器(10)について所要の冷却を達成するこ
とができた。
よれば、光照射器を冷却して昇温した冷却風は冷却器に
おいて冷却された後、帰還ダクトにより形成される循環
風路により循環されて再び光照射器に供給されるため、
基本的にクリーンエアーを消費することがなく、あるい
は消費量が少ない。また、排気ブロワから光照射器に至
る循環風路において、冷却風の一部がクリーンルームの
外部へ排出されることにより、または、フィルタを介し
てクリーンルームの内部空間へ排出されることにより、
光照射器内の圧力が当該クリーンルーム内の圧力以下の
大きさに維持されるため、冷却風がその循環風路から非
制御的にクリーンルーム内に吹き出すことが防止され
る。
ステムの構成を概略的に示す説明用断面図である。
システムの構成を概略的に示す説明用断面図である。
概略的に示す説明用断面図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 クリーンルーム内に設けられた光照射器
を、冷却風を循環させて冷却する、光照射器の循環空冷
システムであって、 上記光照射器を通過して高温となった冷却風を、該光照
射器から排気する排気ブロワと、 上記排気ブロワの入口側に設けられ、上記冷却風を冷却
する冷却器と、 上記冷却器により冷却された冷却風を、上記排気ブロワ
から上記光照射器に供給する帰還ダクトとを備え、 上記光照射器内の圧力が上記クリーンルーム内の圧力以
下の大きさとなるように、上記排気ブロワよりの冷却風
の一部を上記クリーンルームの外部に排出する外部排気
手段を、上記帰還ダクトに設けたことを特徴とする光照
射器の循環空冷システム。 - 【請求項2】 クリーンルーム内に設けられた光照射器
を、冷却風を循環させて冷却する、光照射器の循環空冷
システムであって、 上記光照射器を通過して高温となった冷却風を、該光照
射器から排気する排気ブロワと、 上記排気ブロワの入口側に設けられ、上記冷却風を冷却
する冷却器と、 上記冷却器により冷却された冷却風を、上記排気ブロワ
から上記光照射器に供給する帰還ダクトとを備え、 上記光照射器内の圧力が上記クリーンルーム内の圧力以
下の大きさとなるように、上記排気ブロワよりの冷却風
の一部を、フィルタを介してクリーンルームの内部空間
に排出する内部排気手段を、上記帰還ダクトに設けたこ
とを特徴とする光照射器の循環空冷システム。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001188151A JP3846232B2 (ja) | 2000-12-08 | 2001-06-21 | 光照射器の循環空冷システム |
TW090124946A TW496945B (en) | 2000-12-08 | 2001-10-09 | Circulated air-cooling system of a light illuminator |
KR10-2001-0077315A KR100539403B1 (ko) | 2000-12-08 | 2001-12-07 | 광 조사기의 순환 공냉 시스템 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000374473 | 2000-12-08 | ||
JP2000-374473 | 2000-12-08 | ||
JP2001188151A JP3846232B2 (ja) | 2000-12-08 | 2001-06-21 | 光照射器の循環空冷システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002235942A true JP2002235942A (ja) | 2002-08-23 |
JP3846232B2 JP3846232B2 (ja) | 2006-11-15 |
Family
ID=26605507
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001188151A Expired - Lifetime JP3846232B2 (ja) | 2000-12-08 | 2001-06-21 | 光照射器の循環空冷システム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3846232B2 (ja) |
KR (1) | KR100539403B1 (ja) |
TW (1) | TW496945B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5056991B1 (ja) * | 2012-02-02 | 2012-10-24 | ウシオ電機株式会社 | 偏光光照射装置 |
JP2013152433A (ja) * | 2012-11-30 | 2013-08-08 | Ushio Inc | 偏光光照射装置 |
EP2192366A3 (de) * | 2008-12-01 | 2014-01-01 | Uviterno AG | Vorrichtung zum Bestrahlen eines Substrats |
CN105588085A (zh) * | 2014-10-23 | 2016-05-18 | 北京航天长征飞行器研究所 | 一种闭式风冷循环系统 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4811000B2 (ja) * | 2005-12-07 | 2011-11-09 | ウシオ電機株式会社 | 光照射装置 |
CN107893981B (zh) * | 2017-11-14 | 2019-10-25 | 北京卫星环境工程研究所 | 太阳模拟器用风冷冷却系统 |
-
2001
- 2001-06-21 JP JP2001188151A patent/JP3846232B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2001-10-09 TW TW090124946A patent/TW496945B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-12-07 KR KR10-2001-0077315A patent/KR100539403B1/ko active IP Right Grant
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2192366A3 (de) * | 2008-12-01 | 2014-01-01 | Uviterno AG | Vorrichtung zum Bestrahlen eines Substrats |
JP5056991B1 (ja) * | 2012-02-02 | 2012-10-24 | ウシオ電機株式会社 | 偏光光照射装置 |
JP2013160833A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Ushio Inc | 偏光光照射装置 |
JP2013152433A (ja) * | 2012-11-30 | 2013-08-08 | Ushio Inc | 偏光光照射装置 |
CN105588085A (zh) * | 2014-10-23 | 2016-05-18 | 北京航天长征飞行器研究所 | 一种闭式风冷循环系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3846232B2 (ja) | 2006-11-15 |
KR20020046191A (ko) | 2002-06-20 |
KR100539403B1 (ko) | 2005-12-27 |
TW496945B (en) | 2002-08-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5928527B2 (ja) | エキシマ光照射装置 | |
US6153877A (en) | Projection exposure apparatus | |
CN105929604B (zh) | 偏振光照射装置 | |
JP5724488B2 (ja) | 紫外線照射器、及び紫外線照射装置 | |
TWI610118B (zh) | 光配向裝置 | |
TW201308425A (zh) | 光罩淨化裝置及光罩淨化方法 | |
JP3846232B2 (ja) | 光照射器の循環空冷システム | |
TWI504970B (zh) | Ultraviolet radiation device | |
CN111799193A (zh) | 基板处理装置和直列式基板处理系统 | |
JP4472626B2 (ja) | 露光装置 | |
JP4642066B2 (ja) | 紫外線照射装置 | |
JP2002043268A (ja) | 基板処理装置 | |
KR100977376B1 (ko) | 클린룸의 글래스 기판 냉각 시스템 | |
US8179046B2 (en) | Ultraviolet lamp system with cooling air filter | |
KR102115460B1 (ko) | 광조사 장치 | |
JPH0523581A (ja) | 紫外線照射装置 | |
JP4436271B2 (ja) | 基板露光方法および基板加熱装置ならびに基板露光装置 | |
JP5644101B2 (ja) | 露光装置 | |
JP2017053910A (ja) | 光配向装置 | |
JP2001217216A (ja) | 紫外線照射方法及び装置 | |
KR101193419B1 (ko) | 반도체 노광 장치 | |
JP2004080059A (ja) | 投影露光装置及び投影露光方法 | |
JPH0839030A (ja) | 光照射装置 | |
JPH0330863A (ja) | 冷却用送風ダクト装置 | |
JP2008016679A (ja) | レーザ装置、レーザ加工装置、及びダスト除去方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040420 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060418 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060530 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060801 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060814 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3846232 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100901 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110901 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120901 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130901 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130901 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140901 Year of fee payment: 8 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |