JP2002235942A - 光照射器の循環空冷システム - Google Patents
光照射器の循環空冷システムInfo
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- F21V29/70—Cooling arrangements characterised by passive heat-dissipating elements, e.g. heat-sinks
- F21V29/83—Cooling arrangements characterised by passive heat-dissipating elements, e.g. heat-sinks the elements having apertures, ducts or channels, e.g. heat radiation holes
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F21V—FUNCTIONAL FEATURES OR DETAILS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS THEREOF; STRUCTURAL COMBINATIONS OF LIGHTING DEVICES WITH OTHER ARTICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21V29/00—Protecting lighting devices from thermal damage; Cooling or heating arrangements specially adapted for lighting devices or systems
- F21V29/50—Cooling arrangements
- F21V29/502—Cooling arrangements characterised by the adaptation for cooling of specific components
- F21V29/503—Cooling arrangements characterised by the adaptation for cooling of specific components of light sources
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F7/00—Ventilation
- F24F7/04—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation
- F24F7/06—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Arrangement Of Elements, Cooling, Sealing, Or The Like Of Lighting Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリーンルーム内で使用されるものでありな
がら、基本的にクリーンエアーを消費することのない光
照射器の循環空冷システムを提供すること。 【解決手段】 光照射器の循環冷却システムは、クリー
ンルーム内に設けられる光照射器の空冷システムであっ
て、光照射器から冷却風を排気する排気ブロワと、前記
光源ランプの下流位置に設けられた冷却器とよりなり、
前記光源ランプを通過して高温となった冷却風が冷却器
により冷却された後、循環されて再び光源ランプに供給
されることを特徴とする。また、排気ブロワと光照射器
との間に排気口または外部排気手段または内部排気手段
を設け、光照射器の内圧がクリーンルームの圧力より高
くなることを防ぐ。
がら、基本的にクリーンエアーを消費することのない光
照射器の循環空冷システムを提供すること。 【解決手段】 光照射器の循環冷却システムは、クリー
ンルーム内に設けられる光照射器の空冷システムであっ
て、光照射器から冷却風を排気する排気ブロワと、前記
光源ランプの下流位置に設けられた冷却器とよりなり、
前記光源ランプを通過して高温となった冷却風が冷却器
により冷却された後、循環されて再び光源ランプに供給
されることを特徴とする。また、排気ブロワと光照射器
との間に排気口または外部排気手段または内部排気手段
を設け、光照射器の内圧がクリーンルームの圧力より高
くなることを防ぐ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム内
において、紫外光を照射する光照射器の循環空冷システ
ムに関する。
において、紫外光を照射する光照射器の循環空冷システ
ムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、被処理物の表面に塗布された、保
護膜、接着剤、塗料、インキ、レジストなどを、光源ラ
ンプからの紫外光を照射することにより、硬化、乾燥ま
たは溶融、軟化させるために、光照射器を用いて処理す
ることが各分野において広く行われている。近年、液晶
等のディスプレイパネルの製造工程においては、紫外光
の照射による処理が基板やフィルタの貼り合わせなどに
利用されており、例えば、紫外光硬化性のシール剤を塗
布した薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）基板とカラーフィル
タ基板とを貼り合わせ、この状態でシール剤に紫外光を
照射して硬化させることにより、両者を接着することが
行われている。
護膜、接着剤、塗料、インキ、レジストなどを、光源ラ
ンプからの紫外光を照射することにより、硬化、乾燥ま
たは溶融、軟化させるために、光照射器を用いて処理す
ることが各分野において広く行われている。近年、液晶
等のディスプレイパネルの製造工程においては、紫外光
の照射による処理が基板やフィルタの貼り合わせなどに
利用されており、例えば、紫外光硬化性のシール剤を塗
布した薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）基板とカラーフィル
タ基板とを貼り合わせ、この状態でシール剤に紫外光を
照射して硬化させることにより、両者を接着することが
行われている。
【０００３】また、液晶等のディスプレイパネルの製造
工程においては、画面の高精度化の要請に応じて微細な
加工技術が必要とされており、しかも、パネル素子や、
パネル素子を駆動する電気回路が高密度で配設されてい
るために、その内部に塵や埃などの異物が侵入した場合
には、それがディスプレイパネルにおいて画像表示不良
や動作不良を起こす原因となる。そのため、通常、ディ
スプレイパネルの製造は、クリーンルーム内において行
われる。
工程においては、画面の高精度化の要請に応じて微細な
加工技術が必要とされており、しかも、パネル素子や、
パネル素子を駆動する電気回路が高密度で配設されてい
るために、その内部に塵や埃などの異物が侵入した場合
には、それがディスプレイパネルにおいて画像表示不良
や動作不良を起こす原因となる。そのため、通常、ディ
スプレイパネルの製造は、クリーンルーム内において行
われる。
【０００４】クリーンルームにおいては、その内部にお
ける単位体積あたりの浮遊塵埃の量の最大値が、当該ク
リーンルームの使用目的に必要とされるレベルに規定さ
れており、通常、温度、湿度などの環境条件と共に、厳
重に管理されている。また、多量の塵埃を含有した外部
大気が流入することを防止するために、クリーンルーム
内の気圧は、通常、外部大気より少し高い気圧状態に維
持されている。
ける単位体積あたりの浮遊塵埃の量の最大値が、当該ク
リーンルームの使用目的に必要とされるレベルに規定さ
れており、通常、温度、湿度などの環境条件と共に、厳
重に管理されている。また、多量の塵埃を含有した外部
大気が流入することを防止するために、クリーンルーム
内の気圧は、通常、外部大気より少し高い気圧状態に維
持されている。
【０００５】一方、紫外光を放射する光照射器において
は、処理時間の短縮を図るために、光源ランプとして出
力の大きい紫外光放射ランプ、例えば棒状の高圧水銀ラ
ンプやメタルハライドランプなどの放電ランプが反射ミ
ラーと組み合わせて用いられている。
は、処理時間の短縮を図るために、光源ランプとして出
力の大きい紫外光放射ランプ、例えば棒状の高圧水銀ラ
ンプやメタルハライドランプなどの放電ランプが反射ミ
ラーと組み合わせて用いられている。
【０００６】そして、例えば液晶ディスプレイパネルの
接着処理工程において、シール剤が塗布されているパネ
ルにおける、紫外光を一括して照射するべき照射領域
が、２００ｍｍ×２００ｍｍの大きさである場合には、
光源ランプとして、例えば出力が７ｋＷ、発光長２５ｃ
ｍの紫外光放射ランプが用いられるが、このような高出
力の光源ランプを備えた光照射器においては、ランプバ
ルブの失透や反射ミラーの破損を防ぐために、ランプの
点灯中は光源ランプおよび反射ミラーを冷却することが
必要である。上記のような高出力の紫外光放射ランプを
備えた光照射器の冷却手段としては、通常、冷却風によ
る空冷方式が利用されており、この空冷方式において
は、光源ランプとしてその出力が例えば７ｋＷのものを
用いる場合には、例えば７ｍ3／分程度の風量が必要と
される。
接着処理工程において、シール剤が塗布されているパネ
ルにおける、紫外光を一括して照射するべき照射領域
が、２００ｍｍ×２００ｍｍの大きさである場合には、
光源ランプとして、例えば出力が７ｋＷ、発光長２５ｃ
ｍの紫外光放射ランプが用いられるが、このような高出
力の光源ランプを備えた光照射器においては、ランプバ
ルブの失透や反射ミラーの破損を防ぐために、ランプの
点灯中は光源ランプおよび反射ミラーを冷却することが
必要である。上記のような高出力の紫外光放射ランプを
備えた光照射器の冷却手段としては、通常、冷却風によ
る空冷方式が利用されており、この空冷方式において
は、光源ランプとしてその出力が例えば７ｋＷのものを
用いる場合には、例えば７ｍ3／分程度の風量が必要と
される。
【０００７】図３は、従来の光照射器の空冷システムの
構成を概略的に示す説明用断面図である。この図におい
て、光照射器３０は、クリーンルーム５０内に配設され
た、上下に区画された筐体３６により構成されている。
具体的には、紙面に垂直方向に伸びる棒状の光源ランプ
３１と、下方に光照射用の開口を有する全体が樋状の反
射ミラー３２が、筐体３６の下部空間３６Ａに配設され
ている。また、光源ランプ３１の上方には、その長さ方
向に沿って伸びるよう、反射ミラー３２の最上部を貫通
する冷却風吸引ノズル３４が設けられている。一方、筐
体３６の下面部には、反射ミラー３２の開口に対向し
て、例えば石英からなる窓部３３が設けられており、筐
体３６の側壁部分には、反射ミラー３２と窓部３３との
間に開口する冷却風取入口３５が設けられている。
構成を概略的に示す説明用断面図である。この図におい
て、光照射器３０は、クリーンルーム５０内に配設され
た、上下に区画された筐体３６により構成されている。
具体的には、紙面に垂直方向に伸びる棒状の光源ランプ
３１と、下方に光照射用の開口を有する全体が樋状の反
射ミラー３２が、筐体３６の下部空間３６Ａに配設され
ている。また、光源ランプ３１の上方には、その長さ方
向に沿って伸びるよう、反射ミラー３２の最上部を貫通
する冷却風吸引ノズル３４が設けられている。一方、筐
体３６の下面部には、反射ミラー３２の開口に対向し
て、例えば石英からなる窓部３３が設けられており、筐
体３６の側壁部分には、反射ミラー３２と窓部３３との
間に開口する冷却風取入口３５が設けられている。
【０００８】反射ミラー３２によって囲まれた空間は、
冷却風吸引ノズル３４によって、筐体３６の上部空間に
よって形成された排気室４２に連通している。この排気
室４２の上部には排気用接続口３７が形成されており、
この排気用接続口３７には、ダクト３８を介して、クリ
ーンルーム５０の外部の大気に連通する排気用ダクト３
９が接続されており、その中間に排気ブロワ４０が配設
されている。
冷却風吸引ノズル３４によって、筐体３６の上部空間に
よって形成された排気室４２に連通している。この排気
室４２の上部には排気用接続口３７が形成されており、
この排気用接続口３７には、ダクト３８を介して、クリ
ーンルーム５０の外部の大気に連通する排気用ダクト３
９が接続されており、その中間に排気ブロワ４０が配設
されている。
【０００９】以上のような、光照射器の空冷システムに
おいては、排気ブロワ４０が駆動されると、クリーンル
ーム５０内におけるエアーが冷却風取入口３５から吸引
され、冷却風として、光源ランプ３１、および反射ミラ
ー３２の表面に接触しながら流過してこれらを冷却し、
その後、冷却風吸引ノズル３４から排気室４２、ダクト
３８および排気用ダクト３９を介してクリーンルーム５
０の外部に排出される。また、光照射器３０における光
源ランプ３１から放射された光は、直接的に、または反
射ミラー３２により反射されて間接的に、窓部３３を介
して下方に放射され、これにより、例えば、窓部３３の
下方の位置において支持ローラ４４により支持されて走
行する搬送ベルト４５上に担持された被処理物４３に、
予め規定された一定時間、光が照射され、これにより、
目的とする光照射処理が行われる。
おいては、排気ブロワ４０が駆動されると、クリーンル
ーム５０内におけるエアーが冷却風取入口３５から吸引
され、冷却風として、光源ランプ３１、および反射ミラ
ー３２の表面に接触しながら流過してこれらを冷却し、
その後、冷却風吸引ノズル３４から排気室４２、ダクト
３８および排気用ダクト３９を介してクリーンルーム５
０の外部に排出される。また、光照射器３０における光
源ランプ３１から放射された光は、直接的に、または反
射ミラー３２により反射されて間接的に、窓部３３を介
して下方に放射され、これにより、例えば、窓部３３の
下方の位置において支持ローラ４４により支持されて走
行する搬送ベルト４５上に担持された被処理物４３に、
予め規定された一定時間、光が照射され、これにより、
目的とする光照射処理が行われる。
【００１０】しかしながら、上記の光照射器３０の空冷
システムにおいては、冷却風を得るために、クリーンル
ーム５０内のクリーンエアーを吸引して最終的にはその
全部が外部の大気中に排出されるため、クリーンエアー
が大量に消費されると共に、クリーンルーム５０内の気
圧を低下させる原因となる結果、クリーンルーム５０に
おけるクリーンエアーの供給および環境条件の維持に多
大なコストが必要となる、という問題がある。
システムにおいては、冷却風を得るために、クリーンル
ーム５０内のクリーンエアーを吸引して最終的にはその
全部が外部の大気中に排出されるため、クリーンエアー
が大量に消費されると共に、クリーンルーム５０内の気
圧を低下させる原因となる結果、クリーンルーム５０に
おけるクリーンエアーの供給および環境条件の維持に多
大なコストが必要となる、という問題がある。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、クリーンル
ーム内で使用されるものでありながら、基本的にクリー
ンエアーを消費することがなく、あるいは消費量が少な
い光照射器の循環空冷システムを提供することを目的と
する。
ーム内で使用されるものでありながら、基本的にクリー
ンエアーを消費することがなく、あるいは消費量が少な
い光照射器の循環空冷システムを提供することを目的と
する。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の光照射器の循環
空冷システムは、クリーンルーム内に設けられた光照射
器を、冷却風を循環させて冷却する、光照射器の循環空
冷システムであって、上記光照射器を通過して高温とな
った冷却風を、該光照射器から排気する排気ブロワと、
上記排気ブロワの入口側に設けられ、上記冷却風を冷却
する冷却器と、上記冷却器により冷却された冷却風を、
上記排気ブロワから上記光照射器に供給する帰還ダクト
とを備え、上記光照射器内の圧力が上記クリーンルーム
内の圧力以下の大きさとなるように、上記排気ブロワよ
りの冷却風の一部を上記クリーンルームの外部に排出す
る外部排気手段を、上記帰還ダクトに設けたことを特徴
とする。
空冷システムは、クリーンルーム内に設けられた光照射
器を、冷却風を循環させて冷却する、光照射器の循環空
冷システムであって、上記光照射器を通過して高温とな
った冷却風を、該光照射器から排気する排気ブロワと、
上記排気ブロワの入口側に設けられ、上記冷却風を冷却
する冷却器と、上記冷却器により冷却された冷却風を、
上記排気ブロワから上記光照射器に供給する帰還ダクト
とを備え、上記光照射器内の圧力が上記クリーンルーム
内の圧力以下の大きさとなるように、上記排気ブロワよ
りの冷却風の一部を上記クリーンルームの外部に排出す
る外部排気手段を、上記帰還ダクトに設けたことを特徴
とする。
【００１３】また、本発明の光照射器の循環空冷システ
ムは、クリーンルーム内に設けられた光照射器を、冷却
風を循環させて冷却する、光照射器の循環空冷システム
であって、上記光照射器を通過して高温となった冷却風
を、該光照射器から排気する排気ブロワと、上記排気ブ
ロワの入口側に設けられ、上記冷却風を冷却する冷却器
と、上記冷却器により冷却された冷却風を、上記排気ブ
ロワから上記光照射器に供給する帰還ダクトとを備え、
上記光照射器内の圧力が上記クリーンルーム内の圧力以
下の大きさとなるように、上記排気ブロワよりの冷却風
の一部を、フィルタを介してクリーンルームの内部空間
に排出する内部排気手段を、上記帰還ダクトに設けたこ
とを特徴とする。
ムは、クリーンルーム内に設けられた光照射器を、冷却
風を循環させて冷却する、光照射器の循環空冷システム
であって、上記光照射器を通過して高温となった冷却風
を、該光照射器から排気する排気ブロワと、上記排気ブ
ロワの入口側に設けられ、上記冷却風を冷却する冷却器
と、上記冷却器により冷却された冷却風を、上記排気ブ
ロワから上記光照射器に供給する帰還ダクトとを備え、
上記光照射器内の圧力が上記クリーンルーム内の圧力以
下の大きさとなるように、上記排気ブロワよりの冷却風
の一部を、フィルタを介してクリーンルームの内部空間
に排出する内部排気手段を、上記帰還ダクトに設けたこ
とを特徴とする。
【００１４】
【作用】本発明の光照射器の循環空冷システムによれ
ば、光照射器を冷却して昇温した冷却風は冷却器におい
て冷却された後、帰還ダクトにより形成される循環風路
により循環されて再び光照射器に供給されるため、基本
的にクリーンエアーを消費することがなく、あるいは消
費量が少ない。また、排気ブロワから光照射器に至る循
環風路において、冷却風の一部がクリーンルームの外部
へ排出されることにより、または、フィルタを介してク
リーンルームの内部空間へ排出されることにより、光照
射器内の圧力が当該クリーンルーム内の圧力以下の大き
さに維持されるため、冷却風がその循環風路から非制御
的にクリーンルーム内に吹き出すことが防止される。
ば、光照射器を冷却して昇温した冷却風は冷却器におい
て冷却された後、帰還ダクトにより形成される循環風路
により循環されて再び光照射器に供給されるため、基本
的にクリーンエアーを消費することがなく、あるいは消
費量が少ない。また、排気ブロワから光照射器に至る循
環風路において、冷却風の一部がクリーンルームの外部
へ排出されることにより、または、フィルタを介してク
リーンルームの内部空間へ排出されることにより、光照
射器内の圧力が当該クリーンルーム内の圧力以下の大き
さに維持されるため、冷却風がその循環風路から非制御
的にクリーンルーム内に吹き出すことが防止される。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。図１は、本発明の一実施例に係る光照射器の循環
空冷システムの構成を概略的に示す説明用断面図であ
る。この光照射器１０の循環空冷システムにおいては、
光照射器１０を構成する筐体１７と排気ブロワ２２の入
口とを接続するダクト１６Ａに、冷却器２０が介挿され
ると共に、排気ブロワ２２の出口と、筐体１７における
冷却風入口２６とを接続する帰還ダクト１６Ｂが設けら
れ、これにより、クリーンルーム１８内のエアーとは独
立した状態に区画された循環風路が形成されている。２
１は、冷却器２０の冷却用媒体流通パイプである。
する。図１は、本発明の一実施例に係る光照射器の循環
空冷システムの構成を概略的に示す説明用断面図であ
る。この光照射器１０の循環空冷システムにおいては、
光照射器１０を構成する筐体１７と排気ブロワ２２の入
口とを接続するダクト１６Ａに、冷却器２０が介挿され
ると共に、排気ブロワ２２の出口と、筐体１７における
冷却風入口２６とを接続する帰還ダクト１６Ｂが設けら
れ、これにより、クリーンルーム１８内のエアーとは独
立した状態に区画された循環風路が形成されている。２
１は、冷却器２０の冷却用媒体流通パイプである。
【００１６】光照射器１０は、筐体１７と、その内部に
設けられた、紫外光を放射する紙面に垂直方向に伸びる
棒状の光源ランプ１１と、この光源ランプ１１の上部を
覆ってその長さ方向に沿って伸びるよう設けられた、下
方に開口を有する全体が樋状の反射ミラー１２と、筐体
１７の下面に設けられた、例えば石英からなる窓部１３
とにより構成されている。また、光源ランプ１１の上方
には、その長さ方向に沿って伸びるよう、排気室１５に
連通する冷却風吸引ノズル１４が配設されている。な
お、筐体１７には、冷却風取入口は形成されていない。
設けられた、紫外光を放射する紙面に垂直方向に伸びる
棒状の光源ランプ１１と、この光源ランプ１１の上部を
覆ってその長さ方向に沿って伸びるよう設けられた、下
方に開口を有する全体が樋状の反射ミラー１２と、筐体
１７の下面に設けられた、例えば石英からなる窓部１３
とにより構成されている。また、光源ランプ１１の上方
には、その長さ方向に沿って伸びるよう、排気室１５に
連通する冷却風吸引ノズル１４が配設されている。な
お、筐体１７には、冷却風取入口は形成されていない。
【００１７】ダクト１６Ａに介挿された冷却器２０は熱
交換器であり、内部に配設された冷却用媒体流通パイプ
２１は、例えば多数のフィンが形成された形状の表面を
有し、その内部には規定の温度に冷却された冷却用媒体
が外部から流通される。
交換器であり、内部に配設された冷却用媒体流通パイプ
２１は、例えば多数のフィンが形成された形状の表面を
有し、その内部には規定の温度に冷却された冷却用媒体
が外部から流通される。
【００１８】また、排気ブロワ２２の出口より筐体１７
における冷却風入口２６に伸びる帰還ダクト１６Ｂに
は、これより分岐してクリーンルーム１８の外部の大気
に連通すると共に、その開度が制御される開閉可能なダ
ンパ２４が配設された排出口２５が設けられており、こ
れにより外部排気手段が設けられている。また、帰還ダ
クト１６Ｂには、必要に応じて、排出口２５より上流の
位置にフィルタ２３が設けられる。
における冷却風入口２６に伸びる帰還ダクト１６Ｂに
は、これより分岐してクリーンルーム１８の外部の大気
に連通すると共に、その開度が制御される開閉可能なダ
ンパ２４が配設された排出口２５が設けられており、こ
れにより外部排気手段が設けられている。また、帰還ダ
クト１６Ｂには、必要に応じて、排出口２５より上流の
位置にフィルタ２３が設けられる。
【００１９】上記光源ランプ１１としては特に限定され
るものではないが、例えば出力の大きな棒状の紫外光放
射ランプを好ましく用いることができ、そのような紫外
光放射ランプの例としては、例えば、高圧水銀ランプ、
超高圧水銀ランプ、クセノンランプ、およびメタルハラ
イドランプなどを挙げることができる。
るものではないが、例えば出力の大きな棒状の紫外光放
射ランプを好ましく用いることができ、そのような紫外
光放射ランプの例としては、例えば、高圧水銀ランプ、
超高圧水銀ランプ、クセノンランプ、およびメタルハラ
イドランプなどを挙げることができる。
【００２０】冷却器２０に供給される冷却用媒体の温度
およびその供給量、並びに光照射器１０に供給される冷
却風の供給量は、循環空冷システム全体として光源ラン
プ１１の出力に応じた冷却効果が得られるよう、相互の
熱交換効率を参酌した上で設定することができる。冷却
器２０に供給される冷却用媒体の種類は、特に制限され
るものではなく、例えば、水、流動性オイル、冷却ガス
などを用いることができる。この冷却用媒体として、水
を用いる場合においては、水の温度は、例えば１５〜２
５℃とされる。また、冷却用媒体としての水の供給割合
は特に制限されず、例えば５〜１５リットル／分の割合
で供給する。
およびその供給量、並びに光照射器１０に供給される冷
却風の供給量は、循環空冷システム全体として光源ラン
プ１１の出力に応じた冷却効果が得られるよう、相互の
熱交換効率を参酌した上で設定することができる。冷却
器２０に供給される冷却用媒体の種類は、特に制限され
るものではなく、例えば、水、流動性オイル、冷却ガス
などを用いることができる。この冷却用媒体として、水
を用いる場合においては、水の温度は、例えば１５〜２
５℃とされる。また、冷却用媒体としての水の供給割合
は特に制限されず、例えば５〜１５リットル／分の割合
で供給する。
【００２１】冷却風を循環させるための排気ブロワ２２
としては、光源ランプ１１の出力に応じて、光源ランプ
１１、反射ミラー１２および窓部１３の冷却に必要な風
量の冷却風を供給することができるものが用いられる。
このような排気ブロワの一例としては、例えば５〜１０
ｍ3 ／分の風量で冷却風を供給するものを挙げることが
できる。また、ダクトにおける接合部などにおいては、
存在する微細な隙間などに対してシール処理を施すこと
により、循環風路における気密性を確保することが好ま
しい。
としては、光源ランプ１１の出力に応じて、光源ランプ
１１、反射ミラー１２および窓部１３の冷却に必要な風
量の冷却風を供給することができるものが用いられる。
このような排気ブロワの一例としては、例えば５〜１０
ｍ3 ／分の風量で冷却風を供給するものを挙げることが
できる。また、ダクトにおける接合部などにおいては、
存在する微細な隙間などに対してシール処理を施すこと
により、循環風路における気密性を確保することが好ま
しい。
【００２２】以上の構成においては、光源ランプ１１か
ら放射された紫外光は、直接、または反射ミラー１２に
より反射された後、光照射器１０の窓部１３を介して下
方に放射される。そして、この紫外光を、例えば、搬送
手段２８により担持されて光照射領域に移送された被処
理物２７に対して、予め規定された一定時間照射するこ
とにより、目的とする光照射処理が行われる。２９は、
搬送手段２８を支持する支持ローラである。
ら放射された紫外光は、直接、または反射ミラー１２に
より反射された後、光照射器１０の窓部１３を介して下
方に放射される。そして、この紫外光を、例えば、搬送
手段２８により担持されて光照射領域に移送された被処
理物２７に対して、予め規定された一定時間照射するこ
とにより、目的とする光照射処理が行われる。２９は、
搬送手段２８を支持する支持ローラである。
【００２３】そして、光源ランプ１１が点灯されると共
に、排気ブロワ２２が駆動され、これにより発生した冷
却風が、循環風路を循環する。すなわち、排気ブロワ２
２により供給された冷却風は、帰還ダクト１６Ｂにおけ
るフィルタ２３を通過し、冷却風入口２６から筐体１７
に流入し、光源ランプ１１、反射ミラー１２および筐体
１７などの表面に接触しながら流過し、それらを冷却す
る。これにより昇温した冷却風は、冷却風吸引ノズル１
４を介して排気室１５へと吸引され、冷却器２０におい
てフィンに接触しながら流過して冷却された後、排気ブ
ロワ２２により、再び、循環風路へと供給される。
に、排気ブロワ２２が駆動され、これにより発生した冷
却風が、循環風路を循環する。すなわち、排気ブロワ２
２により供給された冷却風は、帰還ダクト１６Ｂにおけ
るフィルタ２３を通過し、冷却風入口２６から筐体１７
に流入し、光源ランプ１１、反射ミラー１２および筐体
１７などの表面に接触しながら流過し、それらを冷却す
る。これにより昇温した冷却風は、冷却風吸引ノズル１
４を介して排気室１５へと吸引され、冷却器２０におい
てフィンに接触しながら流過して冷却された後、排気ブ
ロワ２２により、再び、循環風路へと供給される。
【００２４】排気室１５よりの例えば７０〜９０℃に昇
温した冷却風は、冷却器２０において、例えば２５〜３
５℃に冷却された状態とされる。
温した冷却風は、冷却器２０において、例えば２５〜３
５℃に冷却された状態とされる。
【００２５】而して、循環風路における冷却風吸引ノズ
ル１４と光源ランプ１１との間の空隙から排気ブロワ２
２の入口までに至る領域Ｌは負圧の大きい領域であるた
め、実際上、この領域Ｌにおける、例えば排気室１５ま
たは冷却器２０におけるネジ孔、接合部の継ぎ目または
排気ブロワ２２とダクト１６Ａとの接合部において微小
ながら存在する隙間から、クリーンルーム１８内のクリ
ーンエアーが循環風路内に流入することとなる。そのた
め、循環風路内および光照射器１０内の圧力は徐々に高
くなるが、この圧力がクリーンルーム１８内の圧力より
も高くなった場合には、光照射器１０の外装板のネジ孔
や接合部の継ぎ目から、冷却風が、非制御的にクリーン
ルーム１８内に吹き出すことがある。
ル１４と光源ランプ１１との間の空隙から排気ブロワ２
２の入口までに至る領域Ｌは負圧の大きい領域であるた
め、実際上、この領域Ｌにおける、例えば排気室１５ま
たは冷却器２０におけるネジ孔、接合部の継ぎ目または
排気ブロワ２２とダクト１６Ａとの接合部において微小
ながら存在する隙間から、クリーンルーム１８内のクリ
ーンエアーが循環風路内に流入することとなる。そのた
め、循環風路内および光照射器１０内の圧力は徐々に高
くなるが、この圧力がクリーンルーム１８内の圧力より
も高くなった場合には、光照射器１０の外装板のネジ孔
や接合部の継ぎ目から、冷却風が、非制御的にクリーン
ルーム１８内に吹き出すことがある。
【００２６】このような循環空冷システムからの冷却風
の非制御的な吹き出しは、クリーンルーム１８内におけ
る被処理物２７近傍のクリーンエアーの流れを乱す上、
冷却風には、排気ブロワ２２の回転軸などの動作部分に
起因する塵埃が含まれている可能性があり、これらの塵
埃により、被処理物２７が汚染されて不良が発生する原
因となることがある。
の非制御的な吹き出しは、クリーンルーム１８内におけ
る被処理物２７近傍のクリーンエアーの流れを乱す上、
冷却風には、排気ブロワ２２の回転軸などの動作部分に
起因する塵埃が含まれている可能性があり、これらの塵
埃により、被処理物２７が汚染されて不良が発生する原
因となることがある。
【００２７】然るに、上記の構成においては、帰還ダク
ト１６Ｂにおける排気ブロワ２２と光照射器１０の冷却
風入口２６との間に、冷却風の一部をクリーンルーム１
８の外部に排出する排出口２５により形成された外部排
気手段が設けられているため、ダンパ２４においてその
開度を調整することにより、制御した状態で、帰還する
冷却風の一部を帰還ダクト１６Ｂから外部に排出するこ
とができ、これによって、光照射器１０内の圧力が、ク
リーンルーム１８内の圧力より高くなることを確実に防
止することができる。
ト１６Ｂにおける排気ブロワ２２と光照射器１０の冷却
風入口２６との間に、冷却風の一部をクリーンルーム１
８の外部に排出する排出口２５により形成された外部排
気手段が設けられているため、ダンパ２４においてその
開度を調整することにより、制御した状態で、帰還する
冷却風の一部を帰還ダクト１６Ｂから外部に排出するこ
とができ、これによって、光照射器１０内の圧力が、ク
リーンルーム１８内の圧力より高くなることを確実に防
止することができる。
【００２８】図２は、本発明の他の実施例に係る光照射
器の循環空冷システムの構成を概略的に示す説明用断面
図である。この図に示す光照射器１０の循環空冷システ
ムにおいては、排気ブロワ２２の出口より伸びる帰還ダ
クト１６Ｂには、これより分岐して、その先端の連通口
６３においてクリーンルーム１８の内部空間に連通する
内部排出ダクト６０が設けられている。この内部排出ダ
クト６０には、排出ブロワ６１が介挿されると共に、こ
の排出ブロワ６１と連通口６３との間には、その循環空
冷システム内で発生する塵埃を取り除くためのフィルタ
６２が設けられており、これらにより、循環風路内を循
環する冷却風の一部を、クリーンルーム１８の内部空間
に排出する内部排気手段が形成される。ここで、連通口
６３は、クリーンルーム１８内において、被処理物２７
近傍のクリーンエアーの流れを乱すことがない位置に配
設されることが好ましい。
器の循環空冷システムの構成を概略的に示す説明用断面
図である。この図に示す光照射器１０の循環空冷システ
ムにおいては、排気ブロワ２２の出口より伸びる帰還ダ
クト１６Ｂには、これより分岐して、その先端の連通口
６３においてクリーンルーム１８の内部空間に連通する
内部排出ダクト６０が設けられている。この内部排出ダ
クト６０には、排出ブロワ６１が介挿されると共に、こ
の排出ブロワ６１と連通口６３との間には、その循環空
冷システム内で発生する塵埃を取り除くためのフィルタ
６２が設けられており、これらにより、循環風路内を循
環する冷却風の一部を、クリーンルーム１８の内部空間
に排出する内部排気手段が形成される。ここで、連通口
６３は、クリーンルーム１８内において、被処理物２７
近傍のクリーンエアーの流れを乱すことがない位置に配
設されることが好ましい。
【００２９】排出ブロワ６１としては、帰還ダクト１６
Ｂの内部と、クリーンルーム１８の内部空間とにおける
圧力差に応じて、循環風路における冷却風の一部を、制
御された状態で排出することができるものであればよ
く、その一例としては、例えば冷却風の風量の１／３〜
１／４の風量を生ずる能力を有するものを挙げることが
できる。
Ｂの内部と、クリーンルーム１８の内部空間とにおける
圧力差に応じて、循環風路における冷却風の一部を、制
御された状態で排出することができるものであればよ
く、その一例としては、例えば冷却風の風量の１／３〜
１／４の風量を生ずる能力を有するものを挙げることが
できる。
【００３０】第２のフィルタ６２としては、例えばクリ
ーンルーム１８のクリーン度に応じたヘパフィルタを用
いることが好ましく、また、例えば光源ランプ１１がオ
ゾンを発生するような紫外光放射ランプを使用する場合
は、当該光照射器１０内において発生して、冷却風に含
まれることとなるオゾンを除去するために、オゾンフィ
ルタを単独で、あるいは組み合わせて用いることが好ま
しい。他の構成は、図１に示す構成例と同一である。
ーンルーム１８のクリーン度に応じたヘパフィルタを用
いることが好ましく、また、例えば光源ランプ１１がオ
ゾンを発生するような紫外光放射ランプを使用する場合
は、当該光照射器１０内において発生して、冷却風に含
まれることとなるオゾンを除去するために、オゾンフィ
ルタを単独で、あるいは組み合わせて用いることが好ま
しい。他の構成は、図１に示す構成例と同一である。
【００３１】以上の構成の光照射器の循環空冷システム
においては、図１の構成の循環空冷システムと同様に、
排気ブロワ２２により冷却風が供給され、この冷却風が
冷却風入口２６より筐体１７内に流入し、これにより、
光照射器１０における光源ランプ１１および反射ミラー
１２などが冷却されることとなるが、帰還ダクト１６Ｂ
においてフィルタ２３を通過して流過する冷却風は、そ
の一部が排出ブロワ６１により内部排出ダクト６０に導
入され、更に第２のフィルタ６２により濾過された後、
連通口６３からクリーンルーム１８の内部空間へと排出
される。
においては、図１の構成の循環空冷システムと同様に、
排気ブロワ２２により冷却風が供給され、この冷却風が
冷却風入口２６より筐体１７内に流入し、これにより、
光照射器１０における光源ランプ１１および反射ミラー
１２などが冷却されることとなるが、帰還ダクト１６Ｂ
においてフィルタ２３を通過して流過する冷却風は、そ
の一部が排出ブロワ６１により内部排出ダクト６０に導
入され、更に第２のフィルタ６２により濾過された後、
連通口６３からクリーンルーム１８の内部空間へと排出
される。
【００３２】これにより、図１に示す例の構成とされた
循環空冷システムと同様に、光照射器１０内の圧力が、
クリーンルーム１８内の圧力より高くなることを確実に
防止することができると共に、内部排出ダクト６０に導
入された冷却風の一部は、クリーンルーム１８の内部空
間に排出されるため、全体としてクリーンエアーを外部
に排出する必要がなく、結果として光照射器１０の冷却
に起因してクリーンルーム１８の内部のクリーンエアー
を消費することがなくなる。
循環空冷システムと同様に、光照射器１０内の圧力が、
クリーンルーム１８内の圧力より高くなることを確実に
防止することができると共に、内部排出ダクト６０に導
入された冷却風の一部は、クリーンルーム１８の内部空
間に排出されるため、全体としてクリーンエアーを外部
に排出する必要がなく、結果として光照射器１０の冷却
に起因してクリーンルーム１８の内部のクリーンエアー
を消費することがなくなる。
【００３３】しかも、連通口６３からクリーンルーム１
８の内部空間に排出される冷却風は、フィルタ６２によ
る除塵作用により、クリーンエアーとしての塵埃含有量
における目標の基準を満足するものとなると共に、当該
フィルタ６２の制圧効果により、連通口６３からのエア
ーの噴出勢いが十分に抑制されて被処理物２７近傍のク
リーンエアーの流れを乱すことがないため、当該エアー
の排出に起因して被処理物２７において不良が発生する
おそれがない。
８の内部空間に排出される冷却風は、フィルタ６２によ
る除塵作用により、クリーンエアーとしての塵埃含有量
における目標の基準を満足するものとなると共に、当該
フィルタ６２の制圧効果により、連通口６３からのエア
ーの噴出勢いが十分に抑制されて被処理物２７近傍のク
リーンエアーの流れを乱すことがないため、当該エアー
の排出に起因して被処理物２７において不良が発生する
おそれがない。
【００３４】以上、本発明の具体的な形態に基づいて説
明したが、本発明は、上述の例に限定されるものではな
く、種々の変更を加えることができる。例えば、光照射
器１０の循環空冷システムは、その全体がクリーンルー
ム１８内に収容された状態で設けられる必要はなく、光
照射器１０以外の循環風路の一部、例えば排気ブロワ２
２や冷却器２０などがクリーンルーム１８外に設けられ
た態様とすることができる。この場合には、クリーンル
ーム１８内の空間を有効に利用することができると共
に、外部に配置される部分の配設、管理維持などが容易
となる利点がある。
明したが、本発明は、上述の例に限定されるものではな
く、種々の変更を加えることができる。例えば、光照射
器１０の循環空冷システムは、その全体がクリーンルー
ム１８内に収容された状態で設けられる必要はなく、光
照射器１０以外の循環風路の一部、例えば排気ブロワ２
２や冷却器２０などがクリーンルーム１８外に設けられ
た態様とすることができる。この場合には、クリーンル
ーム１８内の空間を有効に利用することができると共
に、外部に配置される部分の配設、管理維持などが容易
となる利点がある。
【００３５】また、内部排出ダクト６０を有する例にお
いては、例えば内部排出ダクト６０における分岐口６４
の近傍に、開度が調整できるダンパを配設し、これによ
り、連通口６３からクリーンルーム１８の内部へ排出さ
れるエアーの噴出量を制御できる構成であってもよく、
この場合には、排出ブロワ６１が配設されない構成とさ
れてもよい。
いては、例えば内部排出ダクト６０における分岐口６４
の近傍に、開度が調整できるダンパを配設し、これによ
り、連通口６３からクリーンルーム１８の内部へ排出さ
れるエアーの噴出量を制御できる構成であってもよく、
この場合には、排出ブロワ６１が配設されない構成とさ
れてもよい。
【００３６】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明するが、
本発明はこれにより限定されるものではない。 ＜実施例１＞定格出力が７ｋＷの高圧水銀ランプよりな
る光源ランプを備えた光照射器と、排気ブロワと、冷却
用媒体として水を用いた冷却器とにより、基本的に図１
に示す構成の循環空冷システムを構成した。そして、排
気ブロワにより、７ｍ3 ／分の風量で冷却風を循環さ
せ、冷却器において２１℃の水を１０リットル／分の割
合で流通させたところ、高圧水銀ランプは、反射ミラー
や石英窓と共に十分に冷却された。具体的には、排気室
（１５）における冷却風の温度は約８０℃、排気ブロワ
（２２）に流入する冷却風の温度は２７℃であった。ま
た、ダンパ（２４）を介して排出口（２５）よりクリー
ンルーム（１８）の外部へ排出される冷却風の風量は１
ｍ3 ／分であり、クリーンルームからのクリーンエアー
を、７ｍ3 ／分の風量でそのままクリーンルームの外部
に排出する場合に比して、光照射器（１０）について所
要の冷却を達成する際におけるクリーンエアーの消費量
が大幅に減少した。
本発明はこれにより限定されるものではない。 ＜実施例１＞定格出力が７ｋＷの高圧水銀ランプよりな
る光源ランプを備えた光照射器と、排気ブロワと、冷却
用媒体として水を用いた冷却器とにより、基本的に図１
に示す構成の循環空冷システムを構成した。そして、排
気ブロワにより、７ｍ3 ／分の風量で冷却風を循環さ
せ、冷却器において２１℃の水を１０リットル／分の割
合で流通させたところ、高圧水銀ランプは、反射ミラー
や石英窓と共に十分に冷却された。具体的には、排気室
（１５）における冷却風の温度は約８０℃、排気ブロワ
（２２）に流入する冷却風の温度は２７℃であった。ま
た、ダンパ（２４）を介して排出口（２５）よりクリー
ンルーム（１８）の外部へ排出される冷却風の風量は１
ｍ3 ／分であり、クリーンルームからのクリーンエアー
を、７ｍ3 ／分の風量でそのままクリーンルームの外部
に排出する場合に比して、光照射器（１０）について所
要の冷却を達成する際におけるクリーンエアーの消費量
が大幅に減少した。
【００３７】＜実施例２＞定格出力が７ｋＷの高圧水銀
ランプよりなる光源ランプを備えた光照射器と、排気ブ
ロワと、冷却用媒体として水を用いた冷却器と、内部排
出ダクトと、排出ブロワと、第２のフィルタとにより、
基本的に図２に示す構成の循環空冷システムを構成し
た。そして、排気ブロワにより、７ｍ3 ／分の風量で冷
却風を循環し、冷却器において２１℃の水を１０リット
ル／分の割合で流通させると共に、排出ブロワを動作さ
せて冷却風の一部をクリーンルームの内部空間へ排出さ
せたところ、クリーンルーム内のクリーンエアーが消費
されることなく、高圧水銀ランプは、反射ミラーや石英
窓と共に十分に冷却された。具体的には、排気室（１
５）における冷却風の温度は約８０℃、排気ブロワ（２
２）に流入する冷却風の温度は２７℃であった。また、
内部排出ダクト（６０）および第２のフィルタ（６２）
を介してクリーンルーム（１８）の内部空間へ排出され
た冷却風の風量は２ｍ3 ／分であり、クリーンルーム
（１８）全体として、クリーンエアーを消費することな
く、光照射器（１０）について所要の冷却を達成するこ
とができた。
ランプよりなる光源ランプを備えた光照射器と、排気ブ
ロワと、冷却用媒体として水を用いた冷却器と、内部排
出ダクトと、排出ブロワと、第２のフィルタとにより、
基本的に図２に示す構成の循環空冷システムを構成し
た。そして、排気ブロワにより、７ｍ3 ／分の風量で冷
却風を循環し、冷却器において２１℃の水を１０リット
ル／分の割合で流通させると共に、排出ブロワを動作さ
せて冷却風の一部をクリーンルームの内部空間へ排出さ
せたところ、クリーンルーム内のクリーンエアーが消費
されることなく、高圧水銀ランプは、反射ミラーや石英
窓と共に十分に冷却された。具体的には、排気室（１
５）における冷却風の温度は約８０℃、排気ブロワ（２
２）に流入する冷却風の温度は２７℃であった。また、
内部排出ダクト（６０）および第２のフィルタ（６２）
を介してクリーンルーム（１８）の内部空間へ排出され
た冷却風の風量は２ｍ3 ／分であり、クリーンルーム
（１８）全体として、クリーンエアーを消費することな
く、光照射器（１０）について所要の冷却を達成するこ
とができた。
【００３８】
【発明の効果】本発明の光照射器の循環空冷システムに
よれば、光照射器を冷却して昇温した冷却風は冷却器に
おいて冷却された後、帰還ダクトにより形成される循環
風路により循環されて再び光照射器に供給されるため、
基本的にクリーンエアーを消費することがなく、あるい
は消費量が少ない。また、排気ブロワから光照射器に至
る循環風路において、冷却風の一部がクリーンルームの
外部へ排出されることにより、または、フィルタを介し
てクリーンルームの内部空間へ排出されることにより、
光照射器内の圧力が当該クリーンルーム内の圧力以下の
大きさに維持されるため、冷却風がその循環風路から非
制御的にクリーンルーム内に吹き出すことが防止され
る。
よれば、光照射器を冷却して昇温した冷却風は冷却器に
おいて冷却された後、帰還ダクトにより形成される循環
風路により循環されて再び光照射器に供給されるため、
基本的にクリーンエアーを消費することがなく、あるい
は消費量が少ない。また、排気ブロワから光照射器に至
る循環風路において、冷却風の一部がクリーンルームの
外部へ排出されることにより、または、フィルタを介し
てクリーンルームの内部空間へ排出されることにより、
光照射器内の圧力が当該クリーンルーム内の圧力以下の
大きさに維持されるため、冷却風がその循環風路から非
制御的にクリーンルーム内に吹き出すことが防止され
る。
【図１】本発明の一実施例に係る光照射器の循環空冷シ
ステムの構成を概略的に示す説明用断面図である。
ステムの構成を概略的に示す説明用断面図である。
【図２】本発明の他の実施例に係る光照射器の循環空冷
システムの構成を概略的に示す説明用断面図である。
システムの構成を概略的に示す説明用断面図である。
【図３】空冷システムを有する従来の光照射器の構成を
概略的に示す説明用断面図である。
概略的に示す説明用断面図である。
１０ 光照射器 １１ 光源ランプ １２ 反射ミラー １３ 窓部 １４ 冷却風吸引ノズル １５ 排気室 １６Ａ ダクト １６Ｂ 帰還ダクト １７ 筐体 １８ クリーンルーム ２０ 冷却器 ２１ 冷却用媒体流通パイプ ２２ 排気ブロワ ２３ フィルタ ２４ ダンパ ２５ 排出口 ２６ 冷却風入口 ２７ 被処理物 ２８ 搬送手段 ２９ 支持ローラ ３０ 光照射器 ３１ 光源ランプ ３２ 反射ミラー ３３ 窓部 ３４ 冷却風吸引ノズル ３５ 冷却風取入口 ３６ 筐体 ３６Ａ 下部空間 ３７ 排気用接続口 ３８ ダクト ３９ 排気用ダクト ４０ 排気ブロワ ４２ 排気室 ４３ 被処理物 ４４ 支持ローラ ４５ 搬送手段 ５０ クリーンルーム ６０ 内部排出ダクト ６１ 排出ブロワ ６２ フィルタ ６３ 連通口 ６４ 分岐口
Claims (2)
- 【請求項１】 クリーンルーム内に設けられた光照射器
を、冷却風を循環させて冷却する、光照射器の循環空冷
システムであって、 上記光照射器を通過して高温となった冷却風を、該光照
射器から排気する排気ブロワと、 上記排気ブロワの入口側に設けられ、上記冷却風を冷却
する冷却器と、 上記冷却器により冷却された冷却風を、上記排気ブロワ
から上記光照射器に供給する帰還ダクトとを備え、 上記光照射器内の圧力が上記クリーンルーム内の圧力以
下の大きさとなるように、上記排気ブロワよりの冷却風
の一部を上記クリーンルームの外部に排出する外部排気
手段を、上記帰還ダクトに設けたことを特徴とする光照
射器の循環空冷システム。 - 【請求項２】 クリーンルーム内に設けられた光照射器
を、冷却風を循環させて冷却する、光照射器の循環空冷
システムであって、 上記光照射器を通過して高温となった冷却風を、該光照
射器から排気する排気ブロワと、 上記排気ブロワの入口側に設けられ、上記冷却風を冷却
する冷却器と、 上記冷却器により冷却された冷却風を、上記排気ブロワ
から上記光照射器に供給する帰還ダクトとを備え、 上記光照射器内の圧力が上記クリーンルーム内の圧力以
下の大きさとなるように、上記排気ブロワよりの冷却風
の一部を、フィルタを介してクリーンルームの内部空間
に排出する内部排気手段を、上記帰還ダクトに設けたこ
とを特徴とする光照射器の循環空冷システム。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001188151A JP3846232B2 (ja) | 2000-12-08 | 2001-06-21 | 光照射器の循環空冷システム |
| TW090124946A TW496945B (en) | 2000-12-08 | 2001-10-09 | Circulated air-cooling system of a light illuminator |
| KR10-2001-0077315A KR100539403B1 (ko) | 2000-12-08 | 2001-12-07 | 광 조사기의 순환 공냉 시스템 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000-374473 | 2000-12-08 | ||
| JP2000374473 | 2000-12-08 | ||
| JP2001188151A JP3846232B2 (ja) | 2000-12-08 | 2001-06-21 | 光照射器の循環空冷システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002235942A true JP2002235942A (ja) | 2002-08-23 |
| JP3846232B2 JP3846232B2 (ja) | 2006-11-15 |
Family
ID=26605507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001188151A Expired - Lifetime JP3846232B2 (ja) | 2000-12-08 | 2001-06-21 | 光照射器の循環空冷システム |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3846232B2 (ja) |
| KR (1) | KR100539403B1 (ja) |
| TW (1) | TW496945B (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5056991B1 (ja) * | 2012-02-02 | 2012-10-24 | ウシオ電機株式会社 | 偏光光照射装置 |
| JP2013152433A (ja) * | 2012-11-30 | 2013-08-08 | Ushio Inc | 偏光光照射装置 |
| EP2192366A3 (de) * | 2008-12-01 | 2014-01-01 | Uviterno AG | Vorrichtung zum Bestrahlen eines Substrats |
| CN105588085A (zh) * | 2014-10-23 | 2016-05-18 | 北京航天长征飞行器研究所 | 一种闭式风冷循环系统 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4811000B2 (ja) * | 2005-12-07 | 2011-11-09 | ウシオ電機株式会社 | 光照射装置 |
| CN107893981B (zh) * | 2017-11-14 | 2019-10-25 | 北京卫星环境工程研究所 | 太阳模拟器用风冷冷却系统 |
-
2001
- 2001-06-21 JP JP2001188151A patent/JP3846232B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2001-10-09 TW TW090124946A patent/TW496945B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-12-07 KR KR10-2001-0077315A patent/KR100539403B1/ko active IP Right Grant
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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