TW493213B - Device and process for treating substrates in a fluid container - Google Patents

Description

493213 A7 B7 五、發明説明（: 第86104799號專利案發明說明倐正太 i發明係關於一種在流體容器内處理基底之裝置及方 法，其中，基底彼此之間可以如卷宗夾般的隔開來插入， 而在基底的上方邊緣區域，則可以放置一條固定壓條。 以裝置來說，例如從專利案ΕΡ-Β-0 385 536、US-PS 5 265 184或本案申請人之專利案DE-A-44 13 077中所習知者 ，其中，基底及位在一個流體容器或基底載具中的基底收 容裝置，若不是利用三點支撐的方式來支撐的話，便是利 用一點支撐的方式，再加上設置在容器壁内侧的導引槽或 設置在罩子壁面上的插槽來加以支撐。在三點支撐的方式 中，基底的支撐被限制在基底下方一個很小的邊緣區域上 。尤其是處理大尺寸或大直徑的，例如300mm的晶片薄片 時，此種支撐方式就不穩定，因為晶片薄片至少在其上方 一個遠離支撐點處，會無可避免地彼此靠在一起，而致使 其不良率變大。彼此相鄰的基底之間的摩擦情形，會在晶 片薄片自流體中被取出時，因為晶片薄片之間的毛細作用 ，而變得更加的顯著。而在流體容器内或在置於流體容器 上方的罩子内，採用導引槽及侧向的支撐物時，其缺點為 ’谷器及/或罩子的製造成本將會提南很多。除此之外，此 類插槽在容器裡還會讓一個必須儘量地順暢及均勻的處理 液液流受到影響。導引槽還會加重容器或罩子在清潔及乾 燥上的困難度。即使在乾燥盒裡面採用導引槽的情況下， 尤其是針對大尺寸的基底來說，當基底被插入插槽裡時， 本紙張尺度述州中國國家標率（（、NS ) Λ4規格（210X 297公f ) -4 - ；——IL——t (#先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -v't» 線 曰特别因為-個在基底之間，由於它們自處理液中被抽出 時所產生的杨_，而變得猶，如此，基底就有可能 出現受損的情形。 、在自知汉计中，另外一個缺點在於，當流體快速的從 基底下方注人容器裡時，基底會有被舉起或漂起的危險。 在這種情钉，就祕保縣底能夠安全、互相平行且互 相間隔開的被架在基底收容裝置絲底載具裡。 在US 5 488 964 A1中，有一種開文所述類型之習知裝 置’其中’有-枝桿子或—片板子，在紐容器裡進行處 理時’被壓到基底的平坦區域上，以防止基底有漂浮的情 形這枝桿子或這片板子會在基底被插入流體容器後，才 =-個驅動裝置將其扳倒在基底上方。而在基底自流體 容器中被移走前，這隻桿子或這#板子就必須先行扳轉， 以便讓基底w夠從流體容器中被移走。像此類的設計是很 複雜的，尤其是以扳轉來看，就需要在流體容器内佔用一 個很大的空間。除此之外，當基底在裝卸時，並不會被這 些桿子或是板子固定住，而使得基底有彼此#在—起或相 互摩擦的危險產生。 本發明的基本任務為，創造一種開文所述類型之裝置 及方法，其中，在進行處理時及/或在基底自流體槽中插入 或抽出時，即使是一片具有大尺寸的基底'，也能夠安全的 被架住。 根據本發明，上述任務係以如下的方式解決，固定壓 條在插入及/或抽出程序時，或在裝填及/或卸取程序時，被 493213 好滅部中次標枣^只,τ消於合竹社印4']水 A7 ---------B7 五、發明説明（3·) 壓或被留置在基底上。採用這種方式，尤其是針對大尺寸 的晶，薄片而言，可以讓基底在其上方區域也能夠有一個 支撐點，而使基底或晶片薄片在流體容器内被處理時，或 在其被插入或是抽出時，可以避免有磨擦的危險發生。除 此之外，當流體從下方快速的注入時，或在使用強力注入 噴嘴的情況下，基底也不可能因此而被舉起或漂起。由於 有此固定壓條的緣故，所以此時在容器内壁的裡面或上面 及/或罩子内壁的裡面或上面，不再需要有導引槽，如此一 來，本發明裝置的製造成本就會變小，對液流的不良影響 可以被避免，而且這個容器或容槽的清潔也被簡化。 在本發明一個相當優良的實施例中，固定壓條最好可 以在一個引道内垂直移動，引道係設置於流體槽及/或流體 槽罩子裡。其中，引道可以例如是一條垂直地設置在槽的 内壁及/或罩子内壁上的軌道。在這條軌道上面或裡面是一 輛滑車，其係利用一片角板和水平放置的固定壓條相連接 Ο 固定壓條基本上的是利用其本身的重量壓在基底的邊 緣上。為了這個綠故，所以在本發明另一個實施例中，固 定壓條的重量及/或材料，係依固定壓條在基底上所需的鎮 壓重量加以選擇。若是採用一條軌道，而垂直的移動固定 恩條的話，則固定壓條基本上就會和整包|底一起上昇或 下降，而毋須再為固定軌道設置一個自身的驅動裝置。 在一些特殊的實施例中，讓固定軌道和基底的昇降分 開而獨立的運動時’這種方式也是很優良的。在這種情況 本紙張尺度適^^^77^74— (210^^---- -6-

A7 ^--—---- - B7 發明説明（4·) 又下’固定壓條係利用適當的連接元件和驅動裝置或類似 裝置相連，例如一個步進馬達，或一個和基底收容裝置的 驅動裝置連接在一起的連動裝置。 固疋壓條基本上是跨在整包基底的整個寬度上，而能 把所有的整包基底架住。 在本發明一個優良的實施例中，固定壓條在向著基底 的那一侧上面，設有許多凹槽，例如崁槽狀的或像V字形 般逐漸縮窄的插槽，其中便是基底邊緣所置放的地方。這 些凹槽保證基底可以穩定的被架住，而且也避免它們之間 彼此位置之變動。即使在基底之間出現一個很高的毛細作 用力之下，它們依然會穩定而且平整地停留在包裝内，而 且彼此安全地隔開。如此一來，使乾燥程序難以進行，而 且存在粒子之危險的基底摩擦現象，就可以被避免。 在本發明的另一種實施例中，凹槽之間係採用和基底 間既有的間距相同的間距，以使基底之間，能夠以和固定 壓條之凹槽所採用的間距相同的間距，被固定在這一包基 底之上。在槽及/或基底載具裡，大致上就是指基底的搬運 盒裡，如果基底收容裝置上，也同樣設有彼此間以一定的 間距隔開的收容插槽時，則固定壓條的凹槽間所選用的間 距，基本上便要和這些插槽的間距相同。針對這些在流體 容器或基底載具内，用來收容基底的收容袭置及/或插槽的 構造來說’主要是參照未公開的專利案DE-A-195 46 990、 DE-A_196 15 108及同一申請人之專利案de_a>44 28 1%， 載至目前為止，其内容都成了本案的物件。 (邡先閱讀背面之注意事項再稹寫本頁) *11 $紙張尺度β用中國國家標導(CNS ) Λ4^ ( 210X 297^t ) —~ -— 493213 A7 B7 五、發明説明（5· η 先 閱 讀 背 面 i 事 項 再 填 寫 本碰 頁零 針對圓餘或長方形的基底來說，若要有一個穩定、 定義明確絲底之讀時，—定要有三點。採用—個基本 上置於基底邊緣最高點上_定壓條，就可以定義出一個 支撐點。因此，在流體容器或基底載具裡的基底收容裝置 中j只要射糾醜賴了，而在絲及/或罩子内壁上 的=引槽就不再是鮮的了。具有兩個以上支撐點的基底 收容裝置之實例，糊來說，在前面纽提過的專利案 DE-A-44 13 077及未公開的專利案DE-A-195 46 99〇和 DE-A_196 15 108中都已有所說明，為了避免重複起見，其 在這些範圍的内容都將視為是本案的内容。 訂 線 ¾¾部屮决標準1局兵JT.消於合竹社印粼 在本發明一個特別優良的實施例中，至少設有兩條固 定壓條，其可以彼此間隔開地壓在基底或整包基底的上方 邊緣區域。至少兩條固定壓條可以此方式定義出兩個支撐 點，因此，在流體容器内的基底收容裝置上，就只需要有 一個支撐點而已，其最好是一個為舉起基底而設的刀狀緣 角。由於在此實施例中，流體容器裡並不需要有其他的支 撐點，所以這種流體容器就可以被建造得很小，因而只需 要有一個很小的流體容積，且可以便宜的加以製造，而在 基底被處理時及在它們被插入及被抽出時，可以一個最簡 單的方式得到一個可靠的支撐。 在另一種非常優良的實施例中，尤其羌與乾燥程序有 關時，當基底為了要乾燥，而自一個處理流體中，大致上 是指沖洗液中，被抽出時，只要它們還浸在處理液中，這 個或這些固定壓條就不會壓在基底上。此外，這個或這些 Μ氏張尺度適州中國國家標埤（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 493213 A7 B7 五、發明説明（6·) (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 固定壓條，係以一個固定的距離，基本上是3到20mm，保 持在處理液或沖洗液的表面上方，因此，固定壓條就不會 與流體相接觸，而且在流體表面上方也保持一段足夠的距 離，使得水花或水滴不會跑到固定壓條上。由於基底從流 體中被抽出時，在基底和流體之間會出現黏滞力，而且基 底之間也因為毛細作用的關係’而有水膜一起被帶上來， 所以壓條便需要留在流體表面上2至20mm之處，以免被 打濕。固定壓條係以上述之距離，在流體表面上方等待那 些從流體容器中被抽出的基底。然後，當基底繼續上昇時 ，固定壓條才會一起被舉起。 、11 在開文所述之方法中，上述任務係以如下的方式解決 ，固定壓條至少會在一部分基底的抽出及/或插入程序中， 或至少在一部分基底的裝填及/或卸取程序中，被壓到基底 上。以此方式所得到的好處，與上述那些與本發明之裝置 有關的好處是相同的。 在一個特別優良的實施例中，尤其當基底在經過處理 或沖洗程序後，與其乾燥程序有關時，具有如下之方法步 驟： a) 將基底插入流體容器内； b) 在流體容器内處理基底； c) 將基底從流體容器中舉起； 、 d) 把固定壓條（6)壓在已經從處理液中被抽出的基 底之上方邊緣區域，及 e) 和固定壓條一起，繼續將基底舉起。 9 - 493213 五、發明説明（7· 以這種方法，可以保證固定壓條本身不會和處理液或 沖洗液相接觸，而且也不會被打濕，否則會造成基底無法 有效的乾燥或必須花很高的代價才能被乾燥。在基底從處 理液中退出後，只要已經乾燥的話，就會經由那些在流體 ，面上已經準備等待好賴定壓條，而獲得支撐。因此， 晶片薄片彼此靠在-歧彼此摩擦的情形，就可以避免。 基底間互姆近及互轉_趨勢，尤其是在從處理液中 退出時，是由於-種作用力而產生的，此作用力是由基底 之間水份的毛細作用所產生。 把固定壓條壓到從處理液中被抽出的基底邊緣區域的 動作，基本上是利用固定壓條和基底間的一個相對運動完 成，其中，固定壓條係以一個預設的距離，特地在流體表 面上等待，而基底則是從下方上昇到等待中的固定壓條上 0 在根據馬拉哥尼（Marangoni)法，而以一種基本上能 夠加速或改善乾燥程序的流體，例如含醇的氮氣來填充的 罩子裡，如果其内壁裡面或上面，具有一些特別為基底設 置的引道，只要當基底被插在引道裡而被架住時，把固定 壓條利用一個例如進一步的上昇程序和基底隔離開時，是 有好處的。而如果罩子裡也設有導引槽的話，則固定壓條 就不再是必須的，甚至還可能有害。 、 在罩子裡面的導引槽，只能向下伸展到一個與流體不 會相接觸的地方而已。在這個時候，基底在流體表面上方 的一個區域内’便是利用固定壓條以一個固定的間距固定 Μ氏張尺度適川中國國家標磚(CNS了Λ4規格（210X 297公釐） -10-

493213 A7 B7 經消部中次標準局兵工消費合竹社印鬈 五、發明説明（8·) 住，-直到它們安全而且可靠的進入到罩子裡的導引槽裡 ’並且被導引槽架住為止，而在流體表面上方的這個區域 内，^基底之間水份的毛細作用所產生的作用力是最大的 Ο 固定壓條也可以被應用在基底被插入流體容器裡時， 其中，固疋壓:條在裝填程序時被壓到基底上面。但是，如 果基底和基絲具’即所謂的搬運盒，是—起被放置到流 體容器裡’然後-直職燥程鱗，才會從基絲具及從 流體容器中被取出的話，那麼這道程序就不再是必要的了 〇 基底所概括的意義，並不是光指晶片薄片而已，還包 括其他平板狀或疋圓盤狀的元件，例如CD、面罩、發光二 極體（LED)顯示板等等。 在下文中，本發明將根據一個較佳實施例，並參照唯 一的一張示意圖加以說明，其圖示說明如下： 圖：根據本發明之裝置之上視示意圖。 如專利案DE-A-44 13 077或同一申請人之未公開的專 利案 DE_A_195 00 239 或 DE-A-196 15 108 中所述，在一個 流體谷器1上方，有一個例如用來乾燥基底3的罩子2。 在流體容器1裡，有一個具有槽口或凹痕5的基底收 容裝置4，其中所立的便是示意圖中所示的基底3。由於這 種基底收容裝置4 ’並不是本發明的物件，所以對它並不^ 本紙張尺度適川中國國家標卒（（、NS ) Λ4規格（210X297公釐） -11 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁}

訂 493213 A7 B7 五、發明説明（9·) 說明，而可參照那些已經提過的專利案DE-A-44 13 077、 DE_A-195 46 990 及 DE-A-196 15 108。 i基底3的上面放置一條固定壓條6。固定壓條6同樣 也具有凹痕狀或V字形槽口 7狀的凹槽，其中便是用來支 撐基底3之上緣。固定壓條6保證基底3能夠穩定的被架 在-個正確、互相平行的位置上，而且防止晶片薄片之間 丄一個由毛細作用所產生的高度吸附力，尤其是在高包裝 密度及很小的間距時，而產生的摩擦，即使是大尺寸時亦 在所示的實施例中，固定壓條6和一輛滑車8是連接 在-起的，錢在-條軌道9驗面或上面滑行，而軌道 則是安裝或建造在流體容器1的流體壁u之内壁1〇上。 軌道9係以一條上半段軌道12延續到罩子2裡面，而其構 造則和流體容器1裡面的軌道9相同。 MM部中决標卑局兵工消费合作ii印鬈 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 當晶片薄片3在流體容器1裡面被處理後，和壓在基 底3上方的固定壓條6，經由基底收容裝置4的上昇動作， 而一起上昇到罩子2裡面去乾燥。其中，和固定壓條6固 定地連接在一起的滑車8，就會順著流體容器丨的軌道9及 上半段軌道12，向上運行到罩子2裡，並且在這些程序進 行時’為基底3提供一個穩定的支撐。 在乾燥程序結束之後，晶片薄片將會下降到一個置於 谷器1裡面，而且未圖示的晶片載具或晶片盒裡面。罩子 和置於罩子2上方末端的固定壓條6，將如同箭頭η所示 ，一起向側邊移動。如此一來，晶片薄片3就會從罩子和 12 493213 ΜΜ部中决標準局負二消費合作社印狀 Α7 Β7 五、發明説明（10·) 固定壓條6上被釋放開，而使其能夠被裝卸。 上文中，本發明係以一較佳實施例加以說明。然而， ί 對專案人士而言，可做出無數的應用及設計，而仍然不離 本發明的構思範圍。例如，可以僅在罩子2裡，設置一條 用來移動固定壓條6的軌道，而在罩子2的軌道12上滑行 的滑車8，則是利用一個支撐元件和固定壓條6相連接。當 罩子被罩起的狀態下，這個支撐元件將會伸入到流體容器1 裡面去，而且一直伸到固定壓條6壓到基底3的最低位置 上，並且壓住為止。尤其是和乾燥的程序有關時，有一實 施例也非常的優良，其中，国定壓條並不會和處理液或乾 燥流體相接觸，而是在流體表面上等待著，直到其將自處 理液中抽出的基底捉住，並且將其彼此平行地架在它們的 位置上為止。 另一種可能的實施例為，讓固定壓條6能夠利用一個 自身的驅動裝置’例如一個步進馬達，運行到任何一個地 方，而與基底收谷裝置4的運動無關。做為固定壓條之昇 降用的導引和運動元件，也可以視既有的環境設計，為了 要讓液體流動的行為，不會因為在流體容器丨或在罩子2 裡的軌道9或12，而焚到不良的影響時，也可以考房把軌 道合併建在流體容器1壁面上的實施例。 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本冥) 訂

493213 A7 B7五、發明説明（u·) 圖號說明 1 流體容器 2 罩子 3 基底 4 基底收容裝置 5 凹痕 6 固定壓條 7 凹槽 8 滑車 9 軌道 10内壁 11 流體壁 12 軌道 13 箭頭 M滅部中决梂卑局兵Η消费合作社印來 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標缚（（、NS ) Λ4規格（210X297公釐） 14-

Claims (1)

1. 493213 A8 B8 C8 D8 .修正. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 第86104799號專利案申請專利範圍修正本 1. 一種在包含處理流體之流體容器（1)内處理基底（3) 之方法，基底（3)彼此之間可以如卷宗夾般的隔開來插 入，而在基底（3)的上方邊緣區域，則可以放置一條固 定壓條（6)，其特徵為，固定壓條⑹在將基底⑴ 從流體容器⑴舉起及/或將基底⑶沈入流體容器内 時’其係會放置於從處理纟猶伸出之基板上方邊緣區域 上，其固定壓條（6)係不與處理流體相接觸。 2. 根據申請專利範圍第1項所述之方法，其特徵為如下之 方法步驟： Ο將基底（3)插入流體容器内（丨）； b) 在流體容器（1)内處理基底（3); c) 將基底（3)從流體容器（丨）中舉起； d) 把固定壓條（6)壓在已經從處理液中被抽出的基底 (3)之上方邊緣區域，及 e) 和固定壓條（6) —起，繼續將基底（3)舉起。 3·根據申請專利範圍第2項所述之方法，其特徵為，在步 驟d)中，當基底（3)被舉起時，壓上固定壓條之方法， 是利用一個等待中的固定壓條來完成的。 4·根據申請專利範圍第丨項所述之方法，其特徵為，當基 底（3)被建造在罩子裡的引道固定住時，固定壓條（6) 會從基底上被移走。 5·根據申請專利範圍第1項所述之方法，其特徵為，當基 (請先閱讀背面之注意事項再填窝本頁) · --線·

   is8 一 C8 -〜--gL _ 六、申請專利範圍 —-- f (3)被插人_容器⑴_，固定壓條⑷就被 壓在基底上。 6.根财請專難圍第丨項所述之方法，其特徵為，基底 ⑴和基底載具係—起被插人流體容器⑴内。 7·根據申請專利範圍第1項所述之方法，其特徵為，固定 壓條（6)似-侧定的距雜持在處理液的表面上 万，而當基底⑶從中退出時，固定壓條會一起被舉起。 8·根據巾請糊顧第7爾述之方法，其特徵為，處理 液表面和固應壓條(6)之間所預設的距離為3到％麵。 9. -f在包含處雜體之流體容器⑴内處理基底⑶ 义裝置，基底（3)彼此之間可以如卷宗夾般的隔開來插 入^而在基底（3)的上方邊緣區域，則可以放置一條固 定壓條⑷，其特徵為，固定壓條⑷在將基底⑴ 從流體容器（1)舉起及/或將基底⑶沈入流體容器内 時’其係會放置於從處理流體伸出之基板上方邊緣區域 上，其固定壓條（6)係不與處理流體相接觸。 10·根據申請專利範圍第9項所述之裝置，其特徵為，固定 壓條（6)可以在一個引道（9)内移動，其係設置於流 體槽（1)及/或流體槽罩子（2)裡。 11·根據申睛專利範圍第9項所述之裝置，其特徵為，固定 壓條（6)是跨在整包基底的整個寬度上。 12·根據申請專利範圍第9項所述之裝置，其特徵為，固定 歷條（6)在向者基底（3 )的那一侧上面，設有許多凹 槽（7)，其中便是基底邊緣所置放的地方。 本紙張尺度適用中國國標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ' - -16- — II —丨丨#·丨I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 線- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

   R根射請柄細第9娜敎灯，其特徵為，固定 壓條⑹的凹槽⑺之間所選用的間距，係與基底⑴ 之間既有的間距相同。 14·根據巾請專利範in $ 9項所述之裝置，其特徵為，固定 壓條⑷的凹槽⑺之間所選用的間距，係與收容裝 置（4)及/或基底載具上的插槽（5)之間的間距相同， 而基底（3)便是立在這些插槽裡。 15·根據申請專利範圍第9項所述之裝置，其特徵為，固定 壓條（6)配備有一個驅動裝置。 16·根據申請專利範圍第9項所述之裝置，其特徵為，至少 設有兩條固定壓條（6)，其可以彼此間隔開地壓在基底 (3)的上方邊緣區域。 :______——,#.11 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --線· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 適 度 尺 張 紙 本 一袼 規 4 )A S) N (C 準 標