TW482875B - Dry type compression vacuum pump with gas ballast device - Google Patents

Description

482875 A7 B7 五、發明說明（） 本發明是有關一種乾燥壓縮式泵，其具有連續式或階段 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 真取。泵度式段容式是 中性 用縝 而且使制於 個吸少空深方階間旋性 W 炸 使氣 縮而其控則 一 此減真，段多空螺特 爆 中此 壓，，而 ， 每中口式升階是取在其 體有 泵此 部力形面泵 該其出縮上有子吸有得 _ 遷 空因 內壓情截空 應在至壓其具例此遷使 # 者 真。。其吸此橫真 下且口燥，。的中。， 在或 式结段於抽於的之 。 之並人乾泵少泵其少成 卩 ， 縮凝區由是用制術 置 t ，之於空減空在減形 "貴 壓中間泵但適限技 裝式油泵用真口真，地須(^常 燥域空空不遷受關 鎮SX無由積式出式泵段積 用非 乾區取真其這其有 氣^是地容旋至縮空階過 應， 之側吸式，。閥此 個#間式間螺 口壓真至緊 於毒 術出之縮力力此在 一 W 空段空之入燥式段旋 常有 技排域壓壓壓於此 有之取階取紋由乾塞階此 通送 到在區燥有氣由作 具縮吸或吸螺地於活由， 泵輸 提免口 乾具大，操 及^其式少有續用或積知 空須 所避出之常過閥若 MP15,績減具連而式容已。真必 在使於術經超S)。 ,W 為連繽個度縮根間為變式中 ，从置技域的as流 縮 解是連 一寬壓，空其改縮其 知，設關區顯yp氣 壓具理積有是或部式縮中的壓在 熟置給有側明(b的 部，被容具子 / 內爪壓泵式燥，。為裝應此口M通大 內在泵間個例及少鉤或空段乾用體其鎮供在出可旁個 式 空空一的，減之積真階 使氣 氣是 在還用一 ---·!--------裝--------訂--------- 4. * (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 482875 A7 B7 五、發明說明（ 氣 的 送 輸 所 泵。 由e) 是er 於ph S ， ο 閥tm 鎮(a 氣氣 的大 著達 Bfc Hu Bw 0 有而 具間 中空 段取 階吸 作此 操由 此體 術·再 技不 到險 提危 所的 始漏 開洩 一 體 個氣 一 得 在使 礎置 基裝 為鎮 標氣 目成 此形 Μ 須 是中 明泵 發空 本真 的 non 傳 之 〇 泵 決 此 解 成 得 造 獲 會 而 不 黴 作 特 運 的 鎮 圍 氣 範 此 利 ， 專 成 請 達.〇 申 該載由 應負經 外的是 此外的 〇 額目 在達此 存馬 達 到 會 不 ，K 閥可 •逆置 止裝 一 鎮 是氣 份由 成經 成體 組氣 之的 置送 裝輸 鎮所 氣泵 此由 ，此 此証 因保 其 只M 可□ 入 鎮 氣 得 使 其 閥 力 壓 別 差 有 設 而 適 合 。 為 部其 外 入別可 進差此 鎮此因 氣由氣 此經鎮 証於的 保位入 Μ 其裝 可，此 而能由 施可經 措才 ， 此中下 由力力 經壓壓 。 些的 別某定 差的確 力泵先 壓空預 個真所 某在閥 離有力 脫只壓 第 在 據 根 該 應 節 細 。 與 載15 一裏 03^ 負優 的 '的 要他 必其 不之 之明 泵發 免本 避 圖 5 至 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 H ϋ I ϋ^"J· n _1 I ϋ ϋ 施明 實說 的蜃 述簡 描之 1 所式第 中 圖 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 概M 是 圖 之 置 裝 鎮 氣 明 發 本 據 根 有 具 〇 明 明 說 說 式 而 圖 例 要 施 實 體 具 之 置 裝 鎮 氣 該 示 。 顯 泵圖 段 2 階第 多 之的 泵泵4-t 空空3, 真真2, 旋塞段 螺活階 之段個 縮階三 壓多括 部於包 內用 1 有示泵 具顯的 示圖圖 顯 5 1 圖與第 3 4 擄 第第根 子子 轉例 5 P 入 由 有 具 φ. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 482875 A7 B7 五、發明說明（3 ) 至出口 6之縮小之吸收空間容積。介於最後第二與最後 階段之間連接3根據本發明而配置之氣縝裝置8,其在 鎮氣供應輸送管線9中，具有Μ任何順序配置之停止閥 11,止逆（back pressure)閥12,與差別壓力閥13。 借肋於停止閥1 1可以已熟知的方式將氣鎮作業導通或 切斷。止逆閥1 2是如此地安裝，使得防止在泵1中所輸 送的氣體經由管線9而溢出。此差壓閥1 3導致此在開啟 閥11中的鎮氣，只有在當在鎮氣入口區域中的壓力未超 過經由差壓閥所預先確定之壓力時，然後才進入泵1 。 第2圖顯示氣鎮裝置8之實施形式，其直接地放在真 空泵1的殻體1 5上。它包括殼體1 6 ,其借助於螺栓1 7而 固定於真空泵1上。此螺栓1 7是在鎮氣輸送中作為通道 18而擰緊，並且在此區域中具有一空心柱空間19，其經 由一側面洞孔2 1而與殻體1 6之內部空間2 2連接。此逆閥 1 2是位於中空室1 9之中，它是由一球體2 3 (例如是由一 彈性體所構成），一支座2 4 (例如由鋼製成），K及一彈 簧2 5所構成，它是在關閉位置的方向中作用。 此所描述的止逆閥1 2遷具有差別壓力閥1 3的功能。此 所欲的差別壓力，可藉由關閉彈簧2 5之設計而確定。 此由圓柱形所形成之殼體1 6的內室1 6具有側面洞孔2 7 。一個包含此殻體1 6可轉動的套管2 8在其所說明的位置 具有對洞孔2 7同心的穿透部（b r e a k t h r 〇 u g h ) 2 9。藉由 進行對套管2 8的扭轉而將氣鎮輸送開啟或關閉。 第3圖顯示根據螺栓原理之乾燥壓縮式真空泵1之轉 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 71 —-----—S-裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 482875 A7 _B7五、發明說明（4 ) 子31,32,其入口與出口是K箭頭34,35概要圖示其特徵 。此等轉子3 1 , 3 2之擰緊過程具有螺線區段之減少的上 升與減少的寬度。靠近出口是設有經由氣鎮裝置8的氣 鎮輸送。 螺栓真空泵有利地是Μ明確的內部壓縮而操作，因此 使得傳動馬達在大約3 0 0毫巴（nib a r )的抽取壓力中產生 最大的功率消耗須求。在此抽取壓力中不再需要鎮氣的 供應，因為通常在高的泵溫度可避免冷凝液化。若在此 操作狀態中仍然輸送鎮氣，因此造成額外的功率消耗， 即，必須儲存額外的馬達功率。因此其為適合，將此差 別壓力閥1 3如此的設計安排，首先使得此氣鎮輸送可Μ 在相當高的差別壓力中實施。此差別壓力閥之開啟壓力例 如是900毫巴Ubar),氣鎮可Μ首先在大約100毫巴 (mbarO (大氣壓力減900毫巴）的壓力中流入，在此操作 狀態中不再需要完全的馬達功率，因此對於氣縝不須要 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 率 功 達 馬 的 大與部 更 4 有 裝第只 安圖 式 形 施 實 的 泵 空 真 式 縮 壓 燥 乾 示 顯 是 圖 5 泵 空 真 式 塞 活 之 段 階 多 為 作 成 形 其 4 第圓 裝--------訂---------· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 介 。 。 表 中代 2 8 4 4 與M 41體 份殻 部其 體 ， 047 室室 取 軸 吸曲 其是 在間 是之 6 2 4 4 至與 3 1 4 4 室份 取部 吸體 形殼 柱於 份容 部的 大小 其縮 ，有 室其 個階 八泵 成個 形四 並有 段具 階泵 成的 分述 自描 各所 是此 54此 至因 11 5 ， 塞聯 活並 利最 專此 國。 德泵 之空 早真 較之 在術 。 技 56種 為此 稱述 口描 出綑 其詳 , 中 5 7 5 . 為19 稱5 ]. 4 P 3 入 6 其19 。 號 積案 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 482875 A7 ' B7_ 五、發明說明（5 ) 後之環形泵室形成所說明泵之最後階段◦其入口 K 5 7表 示，其出口 Μ 58表示。 在根據第4圖的實施例中，是進行介於此倒數第二泵 階段之出口與最後泵階段入口 5 7之間的連接管線中之氣 鎮輸送。此連接管線是連接接通於氣鎮裝置8 。 在根據第5圖的實施中進行經由曲軸室47之氣鎮輸送 ,如其由DE-A-197 09 206本身所熟知。 此泵的最後階段的入、口 5,7是經由管線59而與曲軸室47 連接，其出口形成吸取室附近之縝氣入口 61,其位於曲 軸室殼體48之正面附近。在曲軸殻體48之對面側的區域 中是氣鎮入口或沖洗氣體入口 8 。經由氣體入口 8所流 入之氣體可Κ將曲軸室47清洗及/或在其中保持低壓。 在活塞式真空泵中是為重要，將在曲軸室47中的壓力 準確地配合泵室中的壓力。特別是在使用交流電馬達而 開始蓮轉活塞式真空泵時，其具有弱的起始力矩。而當 在曲軸室殻體中是高壓（例如是大氣壓力），並且在操作 室43至46中是真室時，是難Κ控制。這是當此泵被靜止 地置放於被抽成真空的承受器中，並且經由曲軸室殻體 47之被開啟之氣鎮裝置8而被湧入時，畲發生以上的情 形。然而如果當超過差別壓時首先開啟此氣鎮輸送，遷 可Μ當將泵平靜地置放曲軸殼體中時保持低壓：例如此 經由差別壓力閥所規定的差別壓力是6 0 0毫巴，於是當 打開曲軸室殻體47之氣鎮裝置8時，只有通風一直至大 約4 0 0毫巴（大氣壓力減6 0 0毫巴）的壓力。 一7- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝--------訂------ %, 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 482875 A7B7 明說 明發 6 線 管 送 輸 置應 裝供 明 段段段口 口鎮氣 說泵階階階入出氣縝符：：：：：：：： 考1........ 參 2 3 5 6 8 9 2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

3567891234578 1111112222222 V 閥 間 力 空間 閥閥壓 柱空 止逆別體體栓道心孔部體座簧孔管 停止差殼殻螺通空洞内球支彈洞套 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 482875 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（7 ) 29.....穿透部 31 .....轉子 32 .....轉子 34 .....箭頭 35 .....箭頭 41 .....殻體部份 42 .....殻體部份 45 .....吸取室 46 .....吸取室 4 7.....曲軸室 48.....殼體 5 1.....活塞 5 2.....活塞 56 .....出口 57 .....入口 5 9.....管線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Claims (1)

1. 六、申請專利範圍 第89121 660號「具有氣鎭裝置之乾燥壓縮式真空泵」專利案 (90年12月修正） 六申請專利範圍 1. 一種乾燥壓縮式真空泵（1)，其具有連續或階段式的內部 壓縮，以及具有一氣鎭裝置（8)，其包括一隔離閥（11)，其 特徵爲： 此氣鎭裝置（8)包括一額外附加之止逆閥（12),其防止 此氣體由泵（1)經由氣鎭裝置（8)向外溢出。 2. 如申請專利範圍第1項之乾燥壓縮式真空泵，其中此氣 鎭裝置（8)此外包括一閥（13)，而只有當介於大氣壓力與 施加於閥（13)之泵側的壓力之差超過了一校準値時，此閥 才會位於其開啓位置。 3·如申請專利範圍第1或2項之乾燥壓縮式真空泵，其中 它是一個螺旋式真空泵。 4. 如申請專利範圍第3項之乾燥壓縮式真空泵，其中須形 成此差別壓力閥（13),使得它在800至1〇〇〇毫巴（mbar)， 較佳是在大約900毫巴（mbar)的壓力差中開啓。 5. 如申請專利範圍第1或2項之乾燥壓縮式真空泵，其中 它是多階段的活塞式真空泵。 6. 如申請專利範圍第5項之乾燥壓縮式真空泵，其中活塞 是配置於一共同的曲軸室（47)，並且此鎭氣之輸送是經由 曲軸室（47)實施。 7. 如申請專利範圍第5項之乾燥壓縮式真空泵，其中此氣 鎭裝置（8)是連接於一管線，其連接倒數第二階段之輸出 482875 、申請專利範圍 與最後階段之輸入（57)。 8. 如申請專利範圍第6項之乾燥壓縮式真空泵， 鎭裝置（8)是連接於一管線，其連接倒數第二R 與最後階段之輸入（57)。 9. 如申請專利範圍第5項之乾燥壓縮式真空泵， 成此差別壓力閥（13)，而使它在500至1〇〇〇 I 是在800毫巴（mbar)的壓力差中開啓。 10. 如申請專利範圍第7項之乾燥壓縮式真空泵， 成此差別壓力閥（13),而使它在500至1〇〇〇 1 是在800毫巴（mba〇的壓力差中開啓。 其中此氣 段之輸出 其中須形 巴，較佳 其中須形 巴，較佳 -2-