TW468151B - Method and device for optical detection of local deformations, especially bubbles, in an optical data carrier - Google Patents

Description

46 8 1 5 1 五、發明說明（1) 本發明係關於物體，尤指光學資料載體上的瑕疵，例 如局部變形、容納、氣泡之光學檢定方法和裝置。在方法 中，物體是利用至少一光源的光照明，而物體反射或透射 的光，利用至少一光敏性接收體記在無瑕疵的物體中 ，光是沿正常反射軸線，以正常反寧反射或透射通過 物體。 此種光學測試方法，以檢驗光學載體，像CD、CD -ROM、DVD、CD-R，已見於例如 DE-OS 44 34 474號。其中 ，資料載體是以直線光束照明。任何變形可利用矩陣般探 測器上的影像線輪廓認出。由DE-PS 1 97 3 1 545號亦知檢 測表面變形，利用許多個別的發光二極體對表面照明，再 移動矩陣般探測器上影像的光點認出變形。然而，此等方 法和裝置，只能檢測到整個表面上的大面積變形和梯度。 隨著此等光學資料載體逐漸加大資料密度後，較小的 瑕疵也會引起資料載體的不正確讀出。光學資料載體一般 是由透明層和金屬化或部份金屬化層所構成。諸層之一或 之間會存在氣泡。該項氣泡不會造成重大讀出誤差，但此 等氣泡表示容納空氣，會導致長期損壞資料載體，尤其是 腐蝕金屬性鏡層或部份透明鏡層。通常檢驗系統並非始終 能夠檢測到低對比的容納。然而，此等瑕疵的檢測為基本 ，因為常會在生產線上追溯到系统誤差，因而此等瑕疵存 在於在此線上製成的幾乎全部資料載體。所以，快速介入 於製造過程，需早認出此等誤差。 本發明之優先課題，在於設計上述方法和裝置，得以

468151 五、發明說明（2) - 檢測局部變形、容納和氣泡。 按照本發明解決此課題是，當光沿偏離正常反射軸線 的反射轴線，和/或以偏離正常反射角度的反射角度，反 射或透射物體時，在光入射於光敏性接收體之前’至少一 部份光的至少一項性能即改變。因此，達成的情況是’來 自物體的光之方向或輪廓，即使有小小的局部變形或稍微 改變’也會引起光本身的變化。因此，可以改進檢測、造 影和隨後之評估。 原則上’入射於光敏性接收體上的光，何種性能會變 化是隨意的。可以規定光敏性接收體的入射光要改變強度 、跨越光敏性接收體的強度輪靡’和/或偏極化，和/或 遽除波長或波長範圍。U下須知入射強纟亦算 能的改變。 印何先性 為此目的，可用光學裝置，利用光敏性接收體， 相對應性能，尤其是強度，賦予入射光輪廓。性能=照 可檢測的梯度’或局部最大或最小，以光學裝置上$廊有 角度或入射軸線為函數，相對於光敏性接收體移動射 敏性接收體上的梯度或局部最大或最小，使得輪靡移^光 起相對應改變’尤其是較亮或較暗的影像。利用反動弓丨 的光束可以認出變形。 ’不同 做為偏差程度的函數’繼續發生變化，例如隨偏 加而更強烈。幾乎突然的變化，例如也是逐步式，亦思二 益 亦 Μ 行。原則上’改變入射光的強度，即亮度，也是有 測亮度變化容易可…在相對應顯示裝置上，可：產:

468151 五、發明說明（3) 局部變形或氣泡的呈現° 可以規定當光以朝一方向偏移的反射角度’和/或沿 此方向偏移的反射軸線’反射或連射時，降低入射光的強 度，而當光以朝另一方向偏移的反映角度，和/或沿此另 一方向偏移的反射軸線’反射或透射時，提高入射光的強 度。意即當角度是朝一方向移動’則測試物體的影像會更 暗，而在另一方向（最妤是相反方向）則更亮。在有限情況 下，當光以朝一方向偏移的反射角’和/或沿此方向移動 的反射軸線’反射或透射時，入射光宜大部价被遮蔽，而 當光以朝另一方向偏移的反射角度，和/或沿此另一方向 移動的反射軸線’反射或透射時’入射光宜大部份透射到 光敏性接收體。此項變化可利用光罩及其在光束途徑上的 相對應定位達成。 原則上，當光以在任何方向移動的反射角度，和/戌 沿在任何方向移動的反射軸線，反射或透射時，亦可減小 入射光的強度或把光遮蔽°另外’可規定當光以在任何^ 向移動的反射角’和/或沿在任何方向移動的反射轴線 反射或透射時’挺尚入射光的強度。 光學資料載體一般是直線掃描。為此，呈小 '少f料區县 以直線光束照明’而反射或透射光則照明光敏性接 疋 直線探測器。在此可規定，入射光因在一方向移 體之 ，可蚕直於直線探測器之程度而發生。 而變化 可規定以至少一基本上平行之光束照常物體。 物體的光束寬度，即可比光敏性探測器的光 射於 任Ua域寬

第7頁 Λ 6 8 1 5 1 五、發明說明（4) 度大。反射或透射光可聚焦在光敏性接收體之物鏡上，基 本無關反射角度和/或反射軸線。原則上’入射光性能 的變化可發生在受測試物體反射或透射後之任何點。原則 上’變化宜產生在先束有大絕對移動之點’尤其在光敏性 接收體的聚焦和物鏡之間。 本發明方法假設可特別檢測局部變形。顯然，此法對 於具有斜面的較大面積之變形亦靈敏。於此’光在整個光 敏性接收體上的變化，對例如其直線晶片會有效應。受掃 描區的整體影像，即會較暗或較亮。在此亦可擬議，如果 物體以光線照明，而反射或透射光線對光敏性接收體的直 線光學活性探測器照明，當入射光的至少一性能在光敏性 接收體的直線探測器全長或幾乎全長變化時’變化可再調 節。因此，只有基於大面積變形的變化可以均化。此優點 是可得物體的均勻明亮影像，再調節可例如藉改變曝光時 間為之。 本發 瑕庇，例 光源，以 體，接收 體，光是 透射。在 光學機構 常入射之 常入射袖 明在物體’ 如局部變形 來自一側的 由物體反射 由物體以正 本發明裝置 ，當反射或 入射角，和 之入射軸線 尤指光學資料載體，以光學認出局部 、容納或氣泡用之裝置，設有至少一 光照明物體，以及至少一光敏性接收 或透射的光，其中在無瑕疵的資料载 常反射角度或沿正常反射軸線反射或 内，於光敏性接收體前，設有至少一 透射光以偏離相當於正常反射角的正 /或沿偏離相當於正常反射軸線的正 ，反射或透射時，入射於光敏性接收

第8頁 ί 6 81 5 1 五、發明說明（5) 體上的至少部 機構以偏離為 光敏性接 學機構在朝垂 成入射光的變 在徑向掃描過 光的連續 以光在光學機 。從正常入射 動的入射角和 遞減，而光以 時’則在此另 光敏性接收體 伸於光敏性接 側到另一側加 時，亮度增加 ’較大的移動 連續變化 正常入射角和 或偏移入射軸 增透射。此項 垂直於光敏性 的光學機構產 物鏡，而最小 份之至 函數， 收體有 直於直 化。此 半徑或 變化可 構上的 角和正 /或入 在另方 一方面 的直線 收體物 暗。如 ’而光 導致甚 亦可利 正·常人 線入射 透射輪 接收體 生。光 或最大 少一項往 連續或幾 至少一·直 線探測器 項設計和 直徑。 例如刺用 入射角度 常入射軸 射韩線入 向移動的 遞增。此 探測器垂 鏡之前或 此達成的 在另一方 至更暗或 用具有透 射軸線開 於光敏性 廓可由兼 的直線探 學機構延 傾向的線 鵃和/或 乎瞬時改 線之光學 較度的方 #置適於 光學機構 和/或人 線開始， 射時’逯 入射角和 種光學機 直方向更 跨越，而 情況是， 向移動時 更免的影 射輪廓的 始，當光 接收體上 在~~方向 測器之另 伸跨越光 配置成與 強度即改變。光學 變入射光-活性探測器，而光 向偏移之際，會造 一般圓形資料載體 產生 射轴 若光 射輪 /或 構可 暗。 著色 當光 ，亮 像。 光學 以偏 時， 有消 一方 敏性 光敏 ，其透射輪廓 線為函數而異 以在一方向移 廓會在此方向 入射軸線入射 以著色，使在 此光學機構延 使從物鏡的一 在一方向移動 度降低。所以 機構產生，從 移入射角和/ 產生遞減或遞 失傾向，而在 向有變暗傾向 接收體的整個 性接收體的直 〇

--_；_____ 1、發明說明（6) 線探測器平行。 光學機構亦可設計成光罩，從玉常入射軸線和正常入 射肖開始’覆蓋光敏性接收體之一侧’阻止光於此方向以 入射角和/或入射軸線移動，而在另，方向移動的先則透 射。因此，以簡單機構即可產生入射光強度的所需變化。 強度輪廓是以垂直於光罩邊緣，從最小到最大強度的較大 梯度產生。光罩即與光敏性接收體的直線探測器平行對準 ，故輪廓的最大梯度最好剛好在直線探測器上方。如此達 成/種情形，即反射或透射通過無瑕疵物體的光’造成光 敏性接收體的平均照明。在朝光罩#透明部份的反向反射 之光，造成輪廓移動，故強度較低或最小的光照明於光敏 性换收體。、 如此產生較暗影像。在另一方命中’光罩在光透射部 贫反射的光，造成輪廓的反向移動’而產生光敏性接收體 ,較強的照明。 光學機構亦可為縫隙光罩，其缝隙配置成平行於光敏 牲换收體之直線探測器。光學機構亦可包括條狀光罩，其 非遂明條平行於光敏性接收體的直線光學探測器。此等光 革在光敏性接收體上方產生強度輪廓的最大和最小。在此 輸廓由於反射光產生的移動，造成光敏性接收體更弱或更 強照明。 上述為利用減弱或遮蔽來自光程反射或透射光一部份 ，改變光強度以改變入射光。然而，原則上，濾光器亦可 設計成濾色器、極化濾波器或類似濾波器，從正常入射軸

"681 51 五、發明說明（7) 和正常入射光開始，覆蓋光敏性 或波長範圍被渡除，或由在此方 射軸線之光偏極化，而在另一方 外濾除或偏極化。此種光學元件 接收體上產生相對應性能輪廓。 ，故測得變化。 顯然以此配置特別容易檢測 於組合檢驗方法或步驟，其中物 分岐結構進行光學掃描。物體上 束。物體上入射光束寬度，即可 光學活性寬度為大。物體係配置 徑内。在光敏性接收體前即設有 差透鏡，把入射光基本上無關入 敏性接收體之物鏡。原則上，此 ，物體的光學掃描基本上對光束 只要移動是在消色差透鏡的容許 中的一般情況如此，因為較大移 特別適於檢測其他瑕疵。 然而，遠心結構原則上是立 形變形的途上。只有在光敏性接 可在遠心結構内認出變形。於此 光敏性接收體，其中該光學機構 本發明可進一步參見簡圖說 第1圖為本發明測試裝置圖； 接收體之一側，使一波長 向移動 向移動 經適當 輪廓因 氣泡。 體是利 的入射 比光敏 在遠心 光學凸 射角和 優點是 方向變 範圍内 動會引 於檢測 收體前 宜將反 只設在 明如下 的入射角和/或入 之光則透射，或另 設計，可在光敏性 變化入射光而移動 尤其是 用遠心 光即為 性接收 結構的 鏡配置 入射軸 不需上 化和變 。在資 起排斥 此項配置適 結構或稍微 擬似平行光 體的探測器 平行光束途 ，一種消色 線聚焦在光 述光學機構 形不靈敏， 料載體檢驗 。遠心結構 小和極小局部幾何 配置光學機構，亦 射光束分開照明二 一接收體前。 =附圖有：

第11頁 五、發明說明（8)、 -- 第2圖為第1圖所示測試裝置之俯視圖； 第3圖為第1圖細部X之放大圖； 第4圖為第1圖細部γ之放大圖； 第5圖為光在另一方向折射中之細部γ; 第6圖為光敏性接收體物鏡有光罩之俯視圖； 第7圖為光敏性接收體物鏡有光罩另一具體例之俯 圖； 第8圖為光敏性接收體物鏡有光罩又一具體例 圖； 笫9圖a、b為光敏性接收體物鏡和光學機構具有連 透射輪廓之側視圖和俯視圖； 續 第10圖a、b為光敏性接收體物鏡和光學機構具有連 透射輪廓另一具體例之側視圖和俯視圖； 續 第11圖a、b為光敏性接收體物鏡和光學機構具有連 透射輪廓又—具體例之側視圖和俯視圖； 續 第12圖為根據第6至8圖光軍所製成光敏性接收體全 之強度輪廓； 寬 第13圖為根據第9至11圖光學機構所製成光敏性接收 體全寬之透射輪廓。 圖中所示光學測試平面物體，尤其是CD、CD-R、dVd 等圓形資料載體11所用裝置，有光源1 2可照明資料載體， 並有光敏性接收體1 3。光敏性接收體的探測器1 9，利用物 ，反射光照明。原則上，透明物體亦可使用透射光方法測 試。光源和光敏性接收體則位於物體相反側。

第12頁 五、發明說明（9) 光在徑向直線照明賢料載體，跨越資料區域2 1的徑尚 程度。資料載體繞其轉動軸線22至少轉動一匝，故至少整 個資料區域都可記錄到。光敏性接收體丨3設計成直線陣列 照相機，有直線光敏性探測器1 9。探測器與其平行於中心 徑向光線31的縱向程度對準。在此方面，圖示結構相當於 資料載體之通常光學掃描裝置，不再贅述。 遠心結構規定在光束途徑1 4, 1 5内，沿光源1 2和光敏 性接收體13間之光軸1〇，包含在光源12背後的光束方向之 至少一光學透鏡配置16，和在光敏性接收體13前面之至少 一光學透鏡配置Ϊ7。平行光束14是由光源發射的光利用透 鏡配置16(聚光器）產生’在無瑕疵物體11上，沿整個結構 的光軸10反射成平行光束15。在此要指出的是平行光束基 本上指按照物理可能性的平行或準平行光束。光源最好發 射不同波長的白色或有色光。光源可為例如鹵素灯，發出 發散光。 平行光束利用光敏性接收體的物鏡18内之凸鏡配置17 (消色差凸鏡）集束’而照明於光敏性探測器1 9。光學配置 的選用焦寬使物體表面明銳聚焦在光敏性探測器上。 在圖示具體例中，物體是以有限寬度bl的條狀光束21 照明，其中入射於物體的切線寬度bl，比光敏性探測器j 9 相對應寬度b2大》因此又加上遠心結構，達成的情況是光 學掃描基本上無關光束方向變化。局部小變形或高度有瑕 疵’即使在消色差透鏡17之容許範圍内，也會造成^射光 束的小變化，故物體上的點利用此結構，始終明銳聚焦在 468151 -------. 發明說明（10) ' " 光敏14接收體13的探測器19上。尤其是對光學資料載體的 掃描’可以規定切線寬度bl為丨.〇至2〇. 〇毫米，以7, 5至 12.5毫米為佳’長度大約等於或大於資料區域的徑向寬度 因此’以30.0 — 50.0毫米為宜。可規定入射光束程度要 大於配置可檢測之瑕蔽。 平行光束14由平面物體11，以平行光束15，沿正常反 ，轴線’以正常反射角度α反射。圖示反射光束15平行於 光學配置的光軸10延伸。特別在第3圖内可見，若物體有 變42 ’入射於物體上的光束不再以此方式反射，而是至少 偏離正常反射角度的反射角度α’ β原則上，可改為或另 加反射光束輪廓的平行移動。整個反射光束的移動如說明 圖所示。以移動方式反射的光束24，在圖上以虛線表示。 在遠心結構的隨後過程中，此等移動或樞動光束24以 不同的入射角度和/或不同的入射軸線，到達第二光學凸 鏡配置17’ 一如光束15。由於此透鏡配置的光學容許範圍 ’此等光束24亦可聚焦在光敏性接收體的物鏡18焦面25之 焦點25’，沿正常反射軸線以正常反射角度入射於透鏡配 置Π上的光束15’亦聚焦於此焦面。在直線光敏性探測器 19上，即產生物體部份照明區域之明銳影像。 然而，從中心光軸10開始的移動光束，按移動或柩動 方向到達焦點25’。此等光束輪廓26和27在第4和5圖内放 大’而移動光束在此亦以虛線表示。 使用此移動光束輪廓’為了光敏性接收體可更佳檢測 局部變形。設有光學機構29, 32, 34, 36, 37, 39，作用於光

第14頁 46 8 1 5 1 五、發明說明（11) 敏性接收體的性能，尤其是強度’以反射光束的輪廓為函 數而異。在第一具體例中，光學機構包括光罩29，配置在 光學透鏡配置17和光敏性接收體的物鏡18間之光束途徑肉 。光罩邊緣30與光敏性接收體13的直線探測器IQ平行對 準。 光罩29造成入射光在探測器19上的強度分佈。所發生 的強度輪廓如第4和5圖在探測器19下方的曲線圖所示。有 較小或最小強度的區域43，和較高或最大強度的區域44。 其間的強度分佈有過渡區（梯度）45，延伸於對直線探測器 19垂直之有限寬度。如果無瑕物有光束反射，則光罩在此 定位使得此過渡區域4 5位在光敏性探測器上。產生正常亮 度的影像，因為以平均強度照明光敏性接收體。 如第4圖所示’在偏差之際，反射光束24的聚焦光束 26呈現與朝向物鏡焦面25的焦點25’方向之正常聚焦光束 28不同的輪廓。移動的光束行進，使強度輪廓移動，以致 如今較高強度的區域43在光敏性接收體上方。移動的輪椅 以虛線表示。影像變得更亮。 光束在反像移動，如第5圖所示。聚焦的光束27產生 相對於 位在 原 度輪廓 正常強度輪廓移動的強度輪廓，使較低強度44的區 探測器上方。影像變得更暗。 則上，視光束輪廓的情況，除移動外，亦可產生強 之改變。為清晰起見，圖上只表示因移動的光束引 廓移動。 利用光罩邊緣如此對準，可違成一種情況，即當反射

第15頁 4 6 8 1 5 1 五、發明說明（12) 光束在一方向或另一方向移動時，產生影像可檢測之亮度 變化。然而’原則上光罩亦可有不同定位，使只在一方向 的變化得以檢知。 第7和8圖以俯視圖表示其他光罩，在反射光移動時， 造成作用於光敏性探測器上的光強度變化。第7圖的光罩 32設計成縫隙光罩。透明缝隙33配置平行於光敏性探測器 。相對應強度輪廓顯示局部最大是在光敏性探測器19上方 。當入射光在一方向和垂直於直線探測器19的另一方向移 動時，即減少。第8圖光罩3 4設計成條狀。非透明條3 5平 行於光敏性探測器1 9對準。相對應強度輪廓顯示最小是在 光敏性探測器19上方。於此，入射光在一方向和垂直於直 線探測器19的另一方向移動時，即增加。 第12圖表示由光罩29,32和34所產生垂直於光敏性探 測器之強度輪廓。根據移動的入射光，此等輪廓向左或向 右移動，產生可檢測之亮度變化。顯然在超過某移動量後 ，不再增加亮度變化。 第9至11圖所示另外光學機構，是以反射光在光學機 構上的入射角度或入射型式為函數，造成光敏性探測器上 入射光的變化。第9圖之光學機構具有著色料组成的契狀 三稜鏡36。另外具有同樣光學性能的相對應清激三稜鏡46 ，配置於其上面’供均勻光程。三稜鍊配置在光敏性接收 體的物鏡18上方。光軸1〇行進大約通過三稜鏡36中心。三 稜鏡增加厚度的輪廓，即垂直於直線探測器19對準。如此 達成一種情況是，光隨在一方向（即第9圖右方）增加偏差 468151

五、發明說明（13) ，會經歷到更強烈的減弱。在另一

到減弱連續漸少。 θ 第10圖表示著色三稜鏡37’在中心區38最薄:於此還 是設有相對應清澈三稜鏡，以產生均勻的光程。最薄區係 平行於探測器1 9對準。以此配置，達成的情況是’隨移動 量增加，光經歷到更強烈的減弱，不論移動方向如何。第 11圖表示相反效果的三稜鏡39。最厚的中心區40位於與探 測器1 9平行。於此還是設有相對應清澈三稜鏡49，以產生 均勻的光程。移動增加，不論方向如何，入射光經歷到減 弱少 ° 三稜鏡36, 3 7, 3 9最妤由均勻著色的材料組成’故對提 高厚度產生較深著色。原則上，可設有濾色器，具有在至 少/方向垂直於探測器1 9而異之著色。此項變化著色可利 光蝕法或印刷技術產生。變化著色也不必為線性。 第13圖表示光敏性接收體全寬之透射輪廊’由光學三 祿鏡36, 37, 39所產生。縱座標相當於光袖10 ’而透射輪靡 標杀三稜鏡參玫號碼。增加移動光束，即與正常入射角的 肖度差異愈大，或與光軸的距離增加，透射度變得更大或 更小，而入射光的強度繼續增加或減少。 入射光的另一變化是由光學三稜鏡在光束途徑上達成 ,造成在偏離正常入射角的另一光束方向之全部反射或繞 射。在此又建立可基於移動檢測之移動強度輪廓。 入射光在探測器19上的變化，與物體被掃描表面上的 變形稃度無關。在物體全半徑上延伸的變形，也會導致光

五、發明說明（14) 的變化。規定沿整個或至少幾乎整個探測器發生入射變化 時，要加以再調節。探測器1 9原則上有許多光敏性圖素， 沿一條線配置。對各圖素指定物體的特別區或半徑。物體 如有大面積變形，則所得光的變化對探測器的全部圖素有 效應。此可由計算立刻得知，並加以補正。所以，物體可 得均勻明亮的影像。 - 對於只有表面程度的局部小變形41而言，只有一個或 — 有限數量的圖素，受到入射光的影响。此局部變形可藉圖 ^ 素逐一讀出和評估，而立刻認知。若預定數量的圖素檢測 到同樣變化，即可進行所產生變化的再調節。圖素數量亦 可比探測器圖素總數少。 ' 結構和達成的效果，利用光敏性接收體的直線探測器 說明如上。當然，光敏性接收體亦可具有矩陣狀接收體。 於此，所產生輪廓的移動完全被記錄，並可評估。在矩陣 狀接收體中，亦可只用到一個或預定數量的圖素，例如在 - 矩陣平行線或區域上的圖素，以供評估。

第18頁 46 8151 案號 90102131 月 日 修正 i和年//月, 減·· a 五、發明說明（15) 元件符號說明 10 光軸 11 資料載體 12 光源 13 光敏性接收體 14,15 光速途徑（平行光速） 16,17 光學透鏡配置 18 物鏡 19 光敏性探測器 21 條狀光束 24 移動反射光束 25 焦面 25, 焦點 26’ 27 光束輪廓 28 正常聚焦光束 29, 32, 34 光罩 33 透明缝隙 35 非透明條 36, 37, 39, 46, 49 —* Y jb. 二稷鏡 38, 40 中心區 補变

第18-1頁 2001.11.07.019 468151 圖式簡單說明 第1圖為本發明測試裝置圖； 第2圖為第1圖所示測試裝置之俯視圖； 第3圖為第1圖細部X之放大圖； 第4圖為第1圖細部Y之放大圖； 第5圖為光在另一方向折射中之細部Y; 第6圖為光敏性接收體物鏡有光罩之俯視圖； 第7圖為光敏性接收體物鏡有光罩另一具體例之俯視 圖； 第8圖為光敏性接收體物銳有光罩又一具體例之俯視 圖； 第9圖a、b為光敏性接收體物鏡和光學機構具有連續 透射輪廓之側視圖和俯視圖； 第10圖a、b為光敏性接收體物鏡和光學機構具有連續 透射輪廓另一具體例之侧視圖和俯視圖； 第11圖a、b為光敏性接收體物鏡和光學機構具有連續 透射輪廊又一具體例之側視圖和俯視圖； 第12圖為根據第6至8圖光罩所製成光敏性接收體全寬 之強度輪廓； 第13圖為根據第9至11圖光學機構所製成光敏性接收 體全寬之透射輪廓。

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Claims (1)

1. 46 8 1 5 1 六、申請專利範周 1. 一種物體（尤指光學資料載體（11))上像局部變形 (41)或氣泡等瑕疵之光學認知方法，利用至少一光源（i 2 ) 用光對物體照明’而反射或透射通過物體的光（15)即由至 光敏性接收體（13)接收’其中光是沿無瑕疵物體的正 常反射軸線（15)，以正常反射角度（α)反射或透射通過物 體’其特徵為’當光是沿偏離正常反射轴線的反射軸線 (24)和/或以偏離正常反射角度的反射角度（α’），反射 或透射通過物體時’在光敏性接收體之前，至少一部份光 的至少一性能即改變者。 2. 如申請專利範圍第1項之方法，其中光敏性接枚體 上的入射光強度和/或偏極化變化，和/或至少一波長或 波長範圍被濾除者。 3 ·如申請專利範園第1或2項之方法，其中當光沿正常 反射軸線，以正常反射角度，反射或透射通過物體（Π)時 ’入射光的性能輪廓’尤指強度輪廓，在光敏性接收體上 方產生梯度（45)或局部最大或最小，其中輪廓是以相對於 光敏性接收體反射或透射光的移動為函數，移動和/或變 化者。 4. 如申請專利範園第1項之方法，其中變化是以移動 為函數連續或基本上瞬時發生者。 5. 如申請專利範園第1項之方法，其中當光以在一方 向移動之反射角度和/或沿此一方向移動之反射軸線*反 射或透射時，入射光的強度即減少，而光以在另一方向移 動的角度和/或沿此另一方向移動的反射轴線，反射或透

   第20頁 6 8 15 1 六、申請專利範圍 射時，入射光 6. 如申請 向移動之反射 射或透射時， 的角度和/或 ’入射光大部 7. 如申請 方向移動的反 透射時，入射 8. 如申請 方向移動的反 或透射時，入 9. 如申請 的強度即 專利範園 烏度和/ 入射光大 沿此另一 份被透射 專利範圍 射角度和 光的強度 專利範圍 射角度或 射光的強 專利範園 具有至少一直線光學活 垂直於直線探 I 0.如申請 少一基本上平 II ·如申請 的光束（14)寬 度（b2)為大者 12.如申請 聚焦在光敏性 反射軸線無關 1 3.如申請 測器在一 專利範圍 行的光束 專利範園 度（bl ) ’ 增加者。 =\項之方法，其中當光以在一方 f沿此—方向移動之反射軸線，反 被阻止’而光以在另一方面移動 移動的反射軸線，反射或透射時 者。 項之方法，其中當光以在任何 或任何方向的反射轴線反射或 即降低者。 第^ 1項之方法，其中當光以在任何 丄任何方向移動的反射軸線，反射 度即增加者。 第1項之方法，其中光敏性接收體 性探測器（1 9 )，而入射光的變化是 方向移動的程度發生者。 第1項之方法，其中物體是利用至 (1 4 )照明者。 第1項之方法，其中入射於物體上 比光敏性探測器（1 9 )的光學活性寬 專利範園 接收體的 者。 專利範圍第1項之方法，其中入射光的性能 第1項之方法，其中反射或透射光 物鏡内，基本上與反射角度和/或

   第21頁 46 8151 六、申請專利範固 改變’是發生在聚焦和光敏性接收體的物鏡之間者。 14. 如申請專利範圍第1項之方法，其中物體利用光條 照明，而反射或透射的光條照明於光敏性接收體的直線光 學活性探測器’於入射光的至少一性能在光敏性接收體的 直線探測器全長或幾乎全長上變化時，變化受到再調節， 尤其是受到補正者。 15. —種在物體（尤指光學資料載體（η))上像局部變形 (41 )或氣泡等瑕疫之光學檢測裝置，有至少一光源，用光 照明物體（11 )，以及至少一光敏性接收體（1 3 )，接收反射 或透射通過物體的光’其中對無瑕疵資料载體而言，光是 以正常反射角度（α)或沿正常反射軸線（15)，反射或透射 通過物體’其特徵為，在光敏性接收體（13)前方設有至少 一光學機構（29, 32, 34, 36, 37, 39)，當反射或透射光以偏 離相當於正常反射角度的正常入射角度之入射角度（α，） ’和/或沿偏離相當於正常反射軸線的正常入射軸線（28) 之入射軸線（26, 27)，入射於光學機構上，則入射於光敏 性接收體上的至少部份光，即改變其性能和/或強度至少 其一者。 16. 如申請專利範園第15項之裝置，其中光敏性接收體 有至少一直線光學活性探測器（19)，而光學機構（29, 32， 34, 36, 37, 39)造成在垂直於直線探測器（19)輊度的方向移 動的入射光變化者。 17. 如申請專利範圍第15或16項之裝置，其中光學機構 以移動為函數，造成入射光連續性或幾乎瞬間變化者。

   46 8 彳 5 1 六、申請專利範園 18. 如申請專利範圍第15項之裝置，其中光學機構（36, 37, 39)具有的透射輪廓，其透射是因光在光學機構上之入 射角和/或入射軸線為函數而異者。 19. 如申請專利範圍第15項之裝置，其中光學機構（36) 具有的透射輪廓，從正常入射角和正常入射軸線開始，當 光在一方向具有偏移入射角和/或入射軸線，即在此方向 遞減，而當光在另一方具有偏移入射角和/或入射軸線， 即在此方向遞增者。 20. 如申請專利範圍第15項之裝置，其中光學機構（39, 37)具有的透射輪廓，從正常入射角和正常入射軸線開始 ，當光以偏移入射角和/或偏移入射軸線入射於光敏性接 收體上時，遞減或遞增者。 21. 如申請專利範圍第15項之裝置，其中光學機構設計 成光罩（29)，從正常入射軸線和正常入射角開始，覆蓋光 敏性接收 '體之一側，以封阻在此方向移動的入射角和/或 入射軸線之光，而在其他方向移動之光則被透射者。 2 2.如申請專利範圍第15項之裝置，其中光學機構設計 成濾色器或偏極化過濾器，從正常入射軸線和正常入射角 開始，覆蓋光敏性接收體之一侧，故在此方向移動的入射 角度和/或入射軸線之光，其波長或波長範圍即被滤除或 偏極化，而在其他方向移動的光則被透射，或另外被過濾 或偏極化者。 23.如申請專利範圍第15項之裝置，其中光罩（29, 32， 3 4)位於與光敏性接收體（1 3 )之直線探測器（1 9)平行者。

   第23頁 468151 六、申請專利範圍 ' --------- 2 4.如申請專利範圍第邝項之裴置，其中當光沿正常反 射軸線以正常反射角度反射或透射通過物體（11)時光學 機構32, 34)使光敏性接收體上具有梯度（45)或局部最 大或取小的入射光，具有性能輪廓，尤其是強度輪廓，其 中輪廓是根據光學機構，以反射或透光相對於光敏性接 收體的移動為函數，進行移動和/或變化奢。 25_如申請專利範圍第15項之裝置，其中光學機構為縫 隙光罩（32> ’其縫隙係平行於光敏性 之直線探測器 (1 9 )配置者。 2 6.如申請專利範圍第15項之裝置其中光學機構包含 直線光罩（34)，其透明條（35)與光敏性接收體之直線光學 探測器（19)平行對準者。 27. 如申請專利範圍第15項之裝置其中光學機構（36) 在垂直於光敏性接收體的直線探測器之方向有加深著色， 其中光學機構在光敏性接收體的物鏡上方至少部份延伸， 且從物鏡的一侧到另一側著色加深者。 28. 如申請專利範園第15項之裝置，其中光學機構（39, 37)在一方有加亮著色而在垂直於光敏性接收髏的直線探’ 測器之相反方向加深著色’其中光學機構在光敏性接收體 的物鏡上方至少部份延伸，而具有最少或最多著色的線， 則配置在光敏性接收體的直線探測器上方者。 29. 如申請專利範圍第15項之裝置，其中光為基本上平 行光束者。 30.如申請專利範圍第15項之裝置，其中入射於物體上 μη mm 第24頁 4 6 8 1 5 1 六、申請專利範圍 的光束寬度（b 1 )，比光敏性接收體的探測器之光學活性寬 度（b2)為大者。 31. 如申請專利範圍第15項之裝置，其中在光敏性接收 體前方設有光學凸鏡配置（17)，把入射光聚焦，基本上無 關光敏性接收體的物鏡内之入射角度和入射軸線，光學機 構係配置在光學透鏡配置和物鏡之間，以改變入射光之性 能者。 32. 如申請專利範圍苐15項之裝置，其中物體係配置在 遠心結構之平行光束途徑（14, 15)内者，

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