TW455596B

TW455596B - Destaticizing thermoplastic resin composition

Info

Publication number: TW455596B
Application number: TW087114291A
Authority: TW
Inventors: Takayoshi Numata
Original assignee: Teijin Ltd
Priority date: 1997-08-29
Filing date: 1998-08-28
Publication date: 2001-09-21
Also published as: US6150446A; DE19839603A1; KR100571683B1; DE19839603B4; KR19990024022A

Description

附件2A: 第87114291號專利申請案中文說明書修正頁 455596 匚 A?民國89年丨1月 B7 拟α 13修正年 β 補充經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（1 ) 發明詳述本發明有關一種靜電消除性熱塑性樹脂組成物，以及有關由彼製得用於電子領域之載體架。更特別的是，其有關一種熱塑性樹脂組成物，其容易帶電而且靜電消除性質極佳，即使於該樹脂帶電時該電壓亦可迅速減弱1以及有關由彼製備且用於電子領域之載體架。熱塑性樹脂容易因摩擦或剝落而帶電，並且於其模製產物中產生各種問題，諸如使用放電所致之衝擊與吸附灰麈。已知一種使用低分子量抗靜電劑-諸如烷基磺酸之鎸鹽一的方法（JP-A62 — 230835)(本文所使用之‘‘ J P — A ”一辭意指‘‘未經審査公告日本專利申請案”），與一種使用高分子量抗靜電劑_諸如秦醚酯醯胺-的芳法作爲提供熱塑性樹脂抗靜電性質之方法。該低分子量抗靜電劑最初效果大，但是使用其擦拭東西或淸洗時，其抗靜電性會喪失。因此，其性能會隨著環境改變而改變=該高分子量抗靜電劑用於工業塑料時，其於許多實例中具有耐熱性或熔融安定性的問題，或者難以僅僅藉由提高該高分子量抗靜電劑含量使飽和電壓降至1 k V以下而且電壓半衰時間減少至1 0秒以下（施加電壓爲1 0 k V )。即使該高分子量抗靜電劑可以顯示此性能，也會產生物理性質惡化與產生性的問題。已矢卩一種添加碳纖維之方法（JP — A 8 — 8 8 2 6 6 )作爲提供熱塑性樹脂抗靜電性與剛性之方法

Ln.llillf--裝------1—訂· —-------線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -4- 455596 A7 B7

-¾1¾ 五、發明說明（2) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 。在只使用碳纖維實例中，可以藉提高碳纖維含量降低電阻與飽和電壓，但是其難以將半衰時間減少至1 〇秒以下 (施加電壓爲1 0 kV)。此外’一種倂用導電性塡料碳纖維或縱橫比小的粉末與一種碳纖維或不銹鋼纖維的方法可以符合上述需求，但是因其於模製時產生廢棄導電性粉末之故，以其作爲電子領域用之載體架並非較佳者。 J P— A 7 - 1 7 3 3 2 5掲示一種抗靜電性樹脂組合物，其包含一種有機巨分子材料、一種碳爲底質導電性塡料及一種體積電阻爲0 . 5至108Qcm非碳爲底質導電性塡料。該組成物之優點係其可以減少昂貴的非碳爲底質導電性塡料之用量= 此外，JP — A4 — 8769揭示一種抗靜電性離子導電性樹脂組成物，其包含1 0 0重量份數樹脂， 0 . 1至7 0重量份數平均分子量爲1 〇，. 〇〇〇以上之經濟部智慧財產局員工消費合作社印製高分子量化合物_其由反應聚氧烷二醇與一種多價羧酸或一種有機聚異氰酸酯製得，以及0.1至30重量份數導電性塡料。該公告以粉末與顆粒材料作爲上述導電性塡料之實例。因爲該粉末與顆粒材料於模製或使用時經常會掉落，所以其不適於作爲電子領域用之載體架。一種晶圓載體架之直徑係1 2吋以上爲佳，以改良矽晶圓之製造性。以藉由僅將一種高分子量抗靜電劑添加於熱塑性樹脂中製備之熱塑性樹脂組成物爲佳，此係其鮮少產生淸洗步驟中抗靜電性質不同以及矽晶圓被溶解之金屬污染的問題之故。不過，其作爲直徑爲1 2吋以上載體架 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 455596 A7 B7 年月修正補充五、發明說明（3 ) 時，剛性與耐磨性不足，而且無法自動化。隨著積體電路的積體化提.高，導致靜電千擾的粒子大小變小，而且目前之抗靜電性質不足。然而，使用低分子量作爲電子領域用之載體架時，淸洗步驟中溶解之金屬量大，因此導致裝置缺少結晶以及電性質減少。將碳纖維添加於一種熱塑性樹脂時，即使添加大量該碳纖維（下文簡稱爲C F )亦難以隨著電子領域用之載體架形狀獲得；安定的導電性質。此現象可能係C F分散性差之故。另一方面，添加少量一換言之8w t%CF時，載體架表面之電壓半衰時間係6 0 0秒以上（施加1 〇 k V訑壓），而且由彼只能製得電荷不易流失，且抗靜電性質不符合需求的載體架。本發明目的係提出一種抗靜電性質高而且持久、靜電消除性絕佳而且模製產物表面抗靜電性質差異小（飽和電壓與電壓半衰時間）的熱塑性樹脂組成物。本發明另外目的係提出一種用於電子領域之載體架，其係由靜電消除性佳，而且具有大型載體架所需之高度剛性及表面均勻且良好抗靜電性質之樹脂組成物製得。本發明另一目的係提出一種用於電子領域之載體架，其具有大型矽晶圓載體架-韓如12吋以上矽晶圓載體架 -所需之高度剛性及表面均勻且良好抗靜電性質，良好靜電消除性質，而且模製產物表面之抗靜電物質差異極小（飽和電壓與電壓半衰時間）。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -6 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) !1 訂·！1!_ 線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7

455596 五、發明說明（4 ) 由下列說明將可明白本發明其他目的與優點。根據本.發明，首先可藉由一種靜電消除性熱塑性樹脂組成物（下文可稱爲“本發明第一組成物”）達成上述本發明目的與優點，其係一種包含下列各者之化合物： (A ) 1 〇〇重量份數熱塑性樹脂； (B) 10至200重量份數的聚合物，其於500 V測量時其表面電阻爲1 〇8至ΙΟ^Ω，熔點爲1 0 0°C 或以上，於2 6 0 °C 1 ，0 0 0秒-1剪切速率下之表觀熔融粘度爲10至1，〇〇〇Pa，s ，上述表觀熔融粘度對於2 6 0°C 1，0 0 〇秒—1剪切速率下之熱塑性樹脂表觀熔融粘度的比率爲0 . 0 1至1 . 3 ;以及 (C) 1至100重量份數體積電阻爲1〇〇Ω(；ΙΏ或以下之纖維狀導電塡料。下文將詳述本發明第一組成物。〔熱塑性樹脂（A )〕本發明所使用之熱塑性樹脂係-~•種聚合物，；Μι包含一種衍生自苯乙烯類、（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙嫌睛與丁一稀、聚稀烴、聚酯、聚碳酸酷、丙焼樹脂、熱塑性聚胺甲酸酯、聚氯化乙烯、氟樹脂、聚醯胺、聚縮酵、聚楓或聚苯硫醚至少其中一種單體之結構單位。其可單獨使用或將二或多種併用。該苯乙烯類包括苯乙烯與經取代苯乙烯，諸如甲基苯乙烯。 ------------.1^ -------—訂--------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製私紙張尺度遶用中國國家標準（CNS)A4規格（210 * 297公釐） -7- 455596 A7 B7 丨8ai^修正|

年月Q 補充丨五、發明說明（5) 由一種聚合物及/或具有至少一個選自包括苯乙烯類、（甲基）.丙烯酸酯、（甲基）丙烯腈與丁二烯結構單位之共聚物組成的樹脂類包括聚苯乙烯、乙烯/丙烯腈共聚物、丙烯腈/丁二烯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲酯/ 丁二烯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸乙酯/丁二烯/苯乙烯共聚物與苯乙烯/甲基丙烯酸甲酯/ 丙烯腈共聚物。該聚烯烴係例如聚乙烯或聚丙烯。該聚酯係一種芳族聚酯，其包含對苯二甲酸或2，6 -二羧酸萘作爲主要酸組份，以及脂族二醇諸如乙二醇、三甲二醇、四甲二醇、六甲二醇或新戊二醇作爲主要二醇組份。主要酸組份”意指一種酸組份，其含量佔所有酸組份總量7 Q莫耳％以上，以8 〇莫耳％以上爲佳，9 0莫耳 %以上更佳，而"主要二醇組份”意指一種二醇組份，其含量佔所有二醇組份總量7 0莫耳％以上，以8 0莫耳％以上爲佳，9 0莫耳％以上更佳。該芳族聚酯類中，以結晶速度快之聚對苯二甲酸伸丁酯、苯二甲酸伸丙酯、苯二甲酸伸乙酯與聚伸丁基—2 ， 6 _萘酸酯爲佳，而且以苯二甲酸伸丁酯特佳。該聚酯可爲一種經取代聚酯，其中一部分被一種可共聚組份取代。該可共聚組份之範例包括異苯二甲酸、苯二甲酸；經烷基苯二甲酸類，諸如甲基苯二甲酸與甲基異苯二甲酸；萘基二羧酸類，諸如2，6 —萘基二羧酸，2，本紙張尺度迺用肀國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -----ί --------.yM —— {請先閲讀背面之注意事項再^:寫本頁) 訂-- ;線·. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -8 455596 經濟部中央標毕局貝工消f合作社印製 A7 B7 五、發明説明（6 ) 7 —萘基二羧酸與1 ’ 5 —萘基二羧酸；芳族二羧酸類，諸如二苯基二羧酸類，例如4，4~二苯基二羧酸，以及二苯氧基乙烷二羧酸類，例如4，4 —二苯氧基乙烷二羧酸；脂族與脂環二羧酸類，諸如琥珀酸、己二酸、癸二酸、壬二酸、癸烷二羧酸與環己烷二羧酸；脂環二醇類，諸如1 ，4 —環己烷二甲醇；二羥基苯類，諸如對苯二酚與間苯二酚：雙酚類，諸如2，2 -雙（羥基苯基）丙烷與雙（4 一羥基苯基）碩與乙二醇類，諸如乙二醇；氧羧酸，諸如ε -氧己酸、羥基苯酸與羥基乙氧基苯酸等。上述芳族聚酯類可包含一種多形成酸（諸如苯均三酸或苯偏三酸 )之多官能酯，或一種形成醇（諸如甘油、三羥甲基丙烷或季戊四醇之多官能酯作爲分支組份，其數量爲1 . 〇莫耳％以下，以0 . 5莫耳％以下爲佳，0 · 3莫耳％以下更佳。本發明所使用之聚酯折合粘度爲0 . 6至1 · 2爲佳。當該折合粘度低於0 6時，無法獲得充分性質，當該折合粘度高於1 . 2時，熔融粘度提高而流動性降低，因此使模製性變差。該折合粘度係於3 5 °C鄰氯酚下測量。 .該聚碳酸酯以一種包含雙酚一諸如2，2~雙（4 一羥基苯基）丙烷作爲二醇組份之聚碳酸酯爲佳。該氟樹脂係例如一種四氟乙烯與過氟丙烯之共聚物。該丙烯酸樹脂係例如聚甲基丙烯酸甲酯或聚丙烯酸甲酯。該熱塑性聚胺甲酸酯係一種包含一種聚酯或聚醚作爲 (請先閲讀背面之注意亊項再填寫本頁) :裝. ,ιτ 本紙張尺度適用中國國家標準{ CNS ) Λ4規格{ 210X297公费） -9 - 4 5 55 96 A7 B7 年月經濟部智慧財產局員工消費合作社印製五、發明說明（7 ) 柔軟部分，而包含一種聚酯作爲堅硬部分之聚胺甲酸酯。該聚酷.胺係例如耐綸4、耐綸6、耐綸6，6或耐綸 12。該聚縮醛係例如聚氧甲烯。該聚砸係例如聚苯基碾。其中較佳者係聚酯、聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、苯乙烯/丙烯腈共聚物、丙烯腈/丁二烯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲酯/丁二烯/苯乙烯共聚物、苯乙烯/甲基丙烯酸甲酯/丙烯腈共聚物、聚丙烯與聚乙烯。〔聚合物B〕本發明所使用之聚合物（B )表面電阻爲1 08至 1〇11Ω。該表面電阻係於500V電壓下所測量之値。. 本發明所使用之聚合物於2 6 0 °C 1 ，· 0 0 0秒_ 1表觀剪切速率下之表觀熔融粘度爲10至1，000 P a.s，上述表觀熔融粘度對於相同條件（於2 6 0 °C 1 ，0 0 0秒—1表觀剪切速率）下之熱塑性樹脂表觀熔融粘度的比率爲0 . 0 1至1 . 3。該表觀熔融粘度以10 至500Pa.s爲佳，而該比率係0 . 01至0 · 8爲佳

Q 若該熔融粘度在上述範圍內，當本發明所使用之熱塑性樹脂（A )與聚合物（B )間之相容性實質上很低時，將熔融粘度不同之熱塑性樹脂（A )與聚合物（B )二者均熔融、混合並模製之，將聚合物（B )分散於條形（在本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） -10- ϋ n I - - ϋ - n ϋ a ·1 I - 1· i 一 6· I n n tf I {請先閲讀背面之注f項再填寫本頁) ΑΊ B7 經濟部中央標举局負工消費合作社印製 4555 96 五、發明説明（8 ) 熱塑性樹脂2 Ομίη表面內之短邊直徑爲Ιμπι以下，長邊直徑爲Ιμιη以上，其縱橫比爲3以上，縱橫比爲5 0以上爲佳；）或網形中，如此聚合物（Β )可與一種纖維狀導電性塡料（於CF實例中其長度爲2 0 0至3 0 Ομιη)交錯，並在模製產物表面部分形成細微之導電性途徑》此係可提供極佳抗靜電性質的原因。若該比率在上述範圍之外，無法形成聚合物（Β)之導電性相，聚合物（Β)與纖維狀導電性塡料交錯的可能性降低，抗靜電性質變差。聚合物（Β )之熔點爲1 〇〇 °C以上，以1 5 0 以上爲佳。使用熔點低於1 0 0°C聚合物，並將之與一種工程塑料（諸如聚酯）化合時，會產生耐熱性的問題，無法提供充分的抗靜電性質。本發明所使用之聚合物（Β )係一種以聚乙二醇爲底質之聚醯胺共聚物、聚甲基丙烯酸乙二醇酯共聚物、聚（氧化乙烯/氧化丙烯）共聚物、聚乙二醇爲底質之聚酯醯胺、聚乙二醇爲底質聚酯彈性體、聚（表氯醇/氧化乙烯 )共聚物或衍生自一種雙酚與兩個端基均具有羥基之聚醢胺的氧化乙烯加成物之聚醚酯醯胺爲佳。此等聚合物中，以衍生（聚合）自一種雙酚與兩個端基均具有羥基之聚醯胺的氧化乙烯加成物之聚醚酯醯胺最佳。該聚醚酯醯胺中兩個端基均具有羥基之聚醯胺的數量平均分子量爲500至5，000爲佳，以500至 3，000更佳。當該數量平均分子量少於500時’該 (計先閱讀背面之注意亊項存填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ297公费} -11 - 45^5 96 Λ7 _B7 五、發明説明（9 ) 聚醚酯醯胺本身的耐熱性降低’當該數量平均分子量高於 5，0 0 0時反應性降低，如此提高聚醚酯醯胺的製造成本。該聚醚酯醯胺的雙酚氧化乙烯加成物之數量平均分子量爲1 ，600至3，000，而該氧化乙烯之莫耳數以 32至6 0爲佳。當該數量平均分子量小於1，6 0〇時抗靜電祺不足，當該數量平均分子量大於3，0 0 0時反應降低，如此提高聚醚酯醯胺的製造成本。製造該’聚醚酯醯胺的方法並無特殊限制，而且可以使用已知方法。例如，藉由反應一種與二羧酸形成單體的醯胺形成兩個端基均具有羥基之聚醯胺，將一種雙酚之氧化乙烯加成物添加於該聚醯胺內1在高溫與減壓下進行聚合反應。經满部中央標隼爲賀工消费合作社印製 (#先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明中，以1 0 0重量份數該熱塑性樹脂爲基準，該聚合物（B)之數量爲1 0至2 00重量份數，以1 〇至1 0 0重量份數爲佳，以1 5至30重量份數更佳。當該數量大於2 0 0重量份數時，其機械強度與製造性降低，當該數量小於1 0重量份數時，該電壓半衰時間長，而且無.法獲得充分抗靜電性質。〔纖維狀導電性塡料〕本發明所使用體積電阻爲1 0 OQcm ( C )以下之纖維狀導電性塡料係碳纖維、金屬纖維、金屬爲底質鬚狀物，陶瓷爲底質鬚狀物或有機聚合物爲底質鬚狀物爲佳。該本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4規格（210Χ29Ί公焓) -19 - ^455596 A7 B7 修正補充五、發明說明（10) (請先閱讀背面之注意事項再4寫本頁) 碳纖維之較佳實例包括碳纖維與塗覆鎳之碳纖維。當該纖維狀導電性塡料係一種金屬纖維時，該金屬纖維拉絲、熔融擠製、熔融提取、裁切或鍍敷方法製造爲佳，而且製自 Fe、Ni 、Cu、Al 、Pb、SUS (鉻鋼）或 Zn 。其中，碳纖維最適於提供電子領域中所使用之大型載體架的高度剛性與抗靜電性質。以1 0 0重量份數該熱塑性樹脂爲基準，本發明所使用體積電阻爲1 0 OQcm以下之纖維狀導電性塡料（C ) 之用量爲1 0至1 0 0重量份數，以1 0至3 0重量份數爲佳。當該用量大於1 0 0重量份數時，擠製性與模製性降低，其爲經濟效益不利，而且無法實行。當該用量小於 1重量份數時，無法提供大型載體架所需之剛性，而且電荷之洩漏效果小而且不利。當碳纖維之用量大於1 0 0重量份數時，於模製時會產生細微廢棄碳，其會導致矽晶圓之污染。經濟部智慧財產局員工消費合作社印t 以避免石矽晶圓污染的觀點來看，使用碳黑並不會較佳，而組合使用本發明可以有效流失電荷而且不會污染矽晶圓之纖維狀導電性塡料與一種耐熱性抗靜電性聚合物爲佳。於矽晶圓載體架中使用本發明樹脂組成物中一種包含聚醚酯醯胺與c F之樹脂組成物時，當熱處理時金屬雜質不會滲至該矽晶圓表面，因此矽晶圓表面不會因輸送而污染。例如，單獨使用一種碳纖維時，該電子領域所使用之 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）經漪部中央標準局員工消費合作社印敢 4555 96 A7 _______B7 五、發明説明（11 ) 載體架表面會產生抗靜電性質差異。此可能因爲該碳纖維之分散性低，該載體架形狀致使碳纖維無法適當分佈，因此產生碳纖維分佈密度低之部分。本發明併用具有特定熔融粘度之耐熱性抗靜電性聚合物與一種纖維狀導電性塡料時，電荷之洩漏作用大幅提升。即，藉著使該抗靜電性聚合物存在纖維狀導電性塡料不分散部分（此視模製產物之形狀而定），可以大幅提升電荷之洩漏作用。此外，此樹脂組成物可以大幅降低抗靜電性質之差異’，尤其是由彼模製產物的抗靜電性質差異-此係習用樹脂組成物無法達成的。本發明人所進行之硏究已淸楚地指出可以提出一種熱塑性樹脂組成物作爲本發明第一組成物，即使本發明上述第一組成物中使用極細微與極短之碳纖維代替上述聚合物 (B )時，其可獲得同樣良好的靜電消除性質，當聚合物 (B )及上述倂用之碳纖維之含量減少時，其可達成良好靜電消除性質，而且其物理性質比本發明第一組成物之物理性質更佳。換言之，本發明其次提出一種靜電消除性樹脂組成物 (下文稱爲“本發明第二組成物”），其係一種包含下列各者之化合物： (A) 1 0 0重量份數熱塑性樹脂； (B) 1至30重量份數直徑爲lnm至Ιμιη，長度爲Ιμπι至1 〇mm，而且體積電阻小於lQcm之碳纖維 :以及本紙張尺度適用中國國家梯隼（CNS ) Λ4規格（2I〇X2W公# ) -14 - ί請圪閱讀背面之：^意事項再^寫本頁〕 ,),^¾

'1T 4 5 5 5 9 6 A7 ___ B7 五、發明説明（12 ) (C) 1至1〇〇重量份數體積電阻爲lOOOcm以下之纖維狀導電性塡料。本發明其三提出一種靜電消除性樹脂組成物（下文稱爲κ本發明第三組成物”），其係一種包含下列各者之化合物 (Α) 10 0重量份數熱塑性樹脂； (Β) 0 . 01至150重量份數之聚合物，其於 5 0 0V測量之表面電阻爲1 〇8至1 Ο^Ω*熔點爲 100°C以上，於260°C1，〇〇〇秒—1表觀剪切速率下之表觀熔融粘度爲10至1，OOOPa.s，上述表觀熔融粘度對於2 6 0 °C1，〇〇〇秒―1表觀剪切速率下之上述熱塑性樹脂表觀熔融粘度的比率爲0 . 0 1至1 . 3 * (B‘）0 . 01至28重量份數直徑爲lnm至1 μπι，長度爲Ιμιη至1 〇mm，而且體積電阻小於1 Ωί： m之碳纖維；及 (C) 1至100重量份數體積電阻爲l〇〇Qcm以下之纖維狀導電性塡料。 .雖然此處並未描述本發明第二組成物，但是必須暸解該第一組成物之描述直接適用於本發明第二組成物。〔碳纖維（B ‘）〕本發明中，使用直徑爲1 nm至Ιμιη，長度爲Ιμιη 至1 0mm，而且體積電阻小於lQcm之碳纖維（Β‘） -ΙΓ. (誚先閱讀背面之注意事項#填寫本茛) 裝· 、1Τ .Λ. 經濟部中央標隼局工消费合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Λ4規格< 210X297公犮） -15- 455596 A7 B7 修正補充之維丨維纖 ^ 0 ο 係徑 3)直 1 5 至m η 佳爲m η ο

過得散分碳該時 m η 1—I 於小徑直之 B 於大徑直該當 0 質性電靜抗 m維性 1 μ纖電 1與靜維抗纖的碳標該供合提融法得無獲此法因無’ ,果的勻效標均之供不 } 提得 C 法變{ 無用料此作塡因散性 , 分電微’導細時狀經濟部智慧財產局員工消費合作社印製質。當碳纖維之長度小於Ιμηι時，該碳纖維之分散過於細微，無法提供標的抗靜電性質。當該長度大於1 〇 nm時，分散作用變得不均勻，無法獲得融合該碳纖維與纖維狀導電性塡料（C )之效果，因此無法提供標的抗靜電性質。當碳纖維之體積電阻大於lQcm時，無法獲得融合該碳纖維與纖維狀導電性塡料（C )之效果，因此無法提供標的抗靜電性質。此碳纖維（B ‘）係由蒸氣相處理製造之蒸氣相處理碳纖維爲佳》囊造此蒸氣相處理碳纖維之方法包括一種飽和方法（JP— A60 — 2700)與浮法方法（1卩一 A62-78217)。此等方法製造之碳纖維包括一種在高於2，00 〇°C下處理之碳纖維。可以併用二種以上此等碳纖維。此處引用J P — A'6 〇 — 2 7 0 0與J P — A 6 7 8 2 1 7作爲本發明說明一部分。以1 0 0重量份數該熱塑性樹脂爲基準，本發明中碳纖維（B‘）之用量爲1至3 0重量份數，以1至1 0重量份數爲佳。當該用量小於1重量份數時，無法顯示融合該碳纖維與纖維狀導電性塡料（C )之效果，而且電荷之洩漏效果小。當該用量大於3 0重量份數時，其擠製能力、 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) '}·^--------訂--------線· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -16- 經濟部中央標隼局負工消於合作杜印裝 455596 A7 B7 五、發明説明（14 ) 模製性與機械性質降低。此外，成本過高所以不實用。當本發明第二組成物使用一種碳纖維作爲該纖維狀導電性塡料時，最好使用直徑大於Ιμιη之碳纖維以獲得融合該碳纖維與纖維狀導電性塡料（C )之效果，並改良電荷之洩漏效果。雖然此處並未描述本發明第三組成物，但是必須暸解該第一組成物之描述直接適用於本發明第三組成物。該第三組成物包含聚合物（Β )與碳纖維（Β‘）二者其實例中+，以10 0重量份數該熱塑性樹脂爲基準，聚合物（Β)之含量爲〇 . 〇1至150重量份數，以1至 5 0重量份數爲佳。以相同標準爲基準，該碳纖維（Β ·)之用量爲 0·01至28重量份數，以0.1至9重量份數爲佳。本發明之熱塑性樹脂組成物（除非下文另有所述，否則其包括本發明第一、第二與第三組成物）可龍包含各種添加劑，其包括一種脫模劑，諸如褐煤蠟、聚乙烯蠟或聚矽氧油、阻燃劑、阻燃助劑、熱安定劑、紫外線吸收劑、顏料與染料，但是其限制是不會對本發明目的造成不良影響。.可添加一種熱塑性樹脂，諸如一種酚樹脂、三聚氰胺樹脂、矽樹脂或環氧樹脂；或一種柔軟熱塑性樹脂，諸如乙烯/醋酸乙烯基酯共聚物 '聚酯彈性體或經環氧改良聚烯烴，但是其限制是不會對本發明目的造成不良影響。可以另外添加其他塡料，諸如滑石、高嶺土、矽灰石、粘土、氧化矽、絹雲母、氧化鈦、碳黑、石墨、金屬粉末、玻

---------ή衣------訂-------篇 {請先聞讀背面之注意事项再填巧本FC 本紙張尺度適用中國國家摞率（CNS ) Λ4規核（210X297公筇） 17- 經濟部中央標準局貝工消合作社印製 45^596 B7 五 '發明説明（15) 璃珠、玻璃球、玻璃薄片、玻璃粉末或玻璃纖維。〔組成物製造方¥〕本發明所使用之熱塑性樹脂組成物係根據所需方法摻合組份（A) 、（B)及/或（B‘）與（C)製得。此等組份通常分散均勻爲佳。此等組份全部或部分同時均勻分佈，或者以一種混合器（諸如摻合器、捏合器、班布混合器 '滾筒或擠製器）同時或分別毀全部或部分組份混合在一起，製備·一種均勻混合物》此外，可熔融一種乾燥經摻合組成物，並以一種加熱擠製器捏合使之均与，並擠製成線狀，將該線狀物裁切成粒化所需長度。〔電子領域使用之載體架〕本發明熱塑性樹脂適於作爲電子領域使用之載體架原料。該載體架範例包括矽晶圓載體（silicone wafer carrier)、矽晶圓載體箱、矽晶圓壓力棒、I C盤、液晶基質之.載體舆HDD與L C D相關零件之載體架。. 因此，本發明亦提出一種電子領域使用之載體架，其係由本發明靜電消除性熱塑性樹脂組成物製成。更詳細地說，本發明載體架中，於測量長1 2 5mm 與寬1 5 Omm載體架表面積時，施加1 〇 kV電壓所測得之飽和電壓差異（介於平均値、最小値與最大値間之關 (請先閲讀背面之注¾事項再填寫本頁) -s 本紙張尺度適用中國囤家標準（CNS ) Λ4現格（210X 297公益} '~T\ Q . 經滴部中央標準局员工消费合作社印製 4555 96 A7 .... B7 五、發明説明（16) 係）與電壓半衰時間同時符下列等式。 E»«“（V)-100(V)S E”e(V)S E〇u(V)+100(V)

Tmax(s)-5(s)^ Tav,(s)^ Tmin(s) + 5(s) 其中Eave、係飽和電壓之平均、最大與最小値，而TavT、Tman與Tmiti分別係電壓半哀時間之平均、最大與最小値。當欲測量之長1 2 5mm寬1 5 〇mm表面積分成9 個部分時，上述等式可成立，並測量各個部分。上述等式對於欲測量之表面積-即形成該載體架之樹脂表面平坦部分-而言可成立。因此特徵之故，可以大幅減少該載體架整個表面因靜電所粘合之漂浮粒子，並且減少該粒子所致之不良外觀（所謂“缺少圖案“）。雖然可以藉由使用大量碳黑或倂用非碳爲底質導電性添加劑或碳爲底質導電性添加劑可能達成上述特徵，但是因爲碳黑或該添加劑於模製或使用時會產生廢棄碳之故，所以.電子領域所使用之載體架中使用碳黑或該添加劑並不好。本發明載體架具有抗靜電性質與機械性質，即電子領域所使用大型載體架所需撓曲模數爲5，00 OMP a以上之剛性。因此等物理性質之故，可製得一種不久的將來所需要的矽晶圓載體架，其具有至少一個用以支持一片晶 II·---------^ 裳-- {請先閱請背面之注念事項再填{?s本I ) 訂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210Χ 297公炱） -19· 經濟部中央標準局貝工消资合作社印製

4 5 5 5 9 S ^ A7 B7. 五、發明説明（17) 圓之槽而且可以完全自動化。本發明所述之纖維狀導電性塡料與抗靜電性聚合物的組合物可應用於電磁屏障領域。一種塗覆鎳碳纖維與 p E E A之組合物係此種組合物之實例。使用可改善電荷之洩漏作用，飽和電壓與電壓半衰時間差異小’而且靜電消除性絕佳之聚合物（B )製造電子領域所使用之載體架時，必須使用將聚合物（B )分散於模製物件表面部分條形或網形之模製條件，即必須以高於模製習用聚酯之速度及電壓進行該模製作用。例如，使用Mitsubishi 80 MSP.注模機時，模製作用係以2 5 0 °C之汽缸溫度、6 0°C之模製溫度以及4 0至 6 0 %之注射率及/或注射壓力進行模製。該製得之電子領域所使用之載體架具有良好永久性抗靜電性質。下列實施例用以進一步說明本發明。該實施例所使用之原料與評恬方法如下。 1 ·原料使用下列原料。

*聚對苯二甲酸伸丁酯（PBT) : Teijin Limited之 T R B — Q K * 聚苯乙傭（PS):Asahi Chemical IndustryCo ，Ltd .之 Stylon 666 *丙烯睛/ 丁二烯/苯乙烯共聚物（A B S ) : Asahi

Chemical Industry Co .，Ltd .之 Stylac 101 {誚先閱請背而之注意事項再填本頁) 訂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4ML格（210X297公筇） -20- 經濟部中央標準局员工消費合作杜印製 4555 96 _. b7 .___ 五、發明説明（18) *聚碳酸酯（P C ) : Teijin Kaisei Co.，Ltd·之 AD5509 *聚酸酯酿胺（P E E A ) : Sanyo Chemical Industry,

Ltd.之Pelestat 6321，其表面電阻爲1χ109Ω，而且熔點爲 203 °C *高分子量抗靜電劑：Mitsui Dupont Chemical Co.，

Ltd.之SD100，其表面電阻爲1χ108Ω，熔點爲92°C *高分子量抗靜電劑：Daiichi Kogyo Seiyaku Co.，Ltd 之 Leorex AS-170，其表面電阻爲7χ107Ω，熔點爲80°C *聚醚酯：Teijin Limited之TRB - EKV，其表面電阻爲1 χΙ0ι°Ω，熔點爲 170°C * 十二基磺酸鈉（DBS-Na): Takemoto Yushi Co· , Ltd.之 TPL456 *碳纖維（C F ) : Toyo Rayon Co .，Ltd 之 HTA - C6 -SR，其體積電阻爲1.5xl(T3〇cm，直徑爲7μπι ,長度爲 6mm *塗覆鎳之碳纖維：Toyo Rayon Co .，Ltd之NC(I) HTA-C6-SR，其體積電阻爲 7.5xl(T5Qcm *不鏐鋼纖維：Toyo Seiko Co.，Ltd之Tafmic纖維，其體積電阻爲 7.5 χ 10_5Ω<：ιη *導電性鈦酸鉀鬚狀物：Ohtsuka Kagaku Co . , Ltd 之 Dentole WK300,其體積電阻爲1至lOQcm，直徑爲0.4至0.7 μ m，長度爲1 0至2 0 μ m *導電性鈦酸鉀鬚狀物：Ohtsuka Kagaku Co .，Ltd .之 --------------IT------li . (請先閱讀背面之注意事項再恭'寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準{ CNS ) A4規格（210X297·^^ ) -21 - 4 5 5 5 9 6 A7 B7 年月修正五、發明說明（19)

Dentole WK200B，其體積電阻爲 0.1 至 liicm *針狀導電性氧化欽：Ishihara Sangyo Co·，Ltd·之 FT1000 ,其體積電阻爲10至15 Qcm *超細蒸氣相處理碳纖維（VGCF1): Showa Denko Κ.Κ· 之VGCF，其體積電阻爲i · OxlO.Wcm，直徑爲0 . 2μιη，長度爲 20μιη *超細蒸氣相處理碳纖維（VGCF2): Hypilion Katarisys Co , , Ltd .之微石墨原纖維BN1100，其體積電阻爲lxl〇'2 Ωοπι，直徑爲1 5nm,長度爲10至20μιη 2 .抗靜電性質（電阻、飽和電壓與電壓半衰時間）：使用一個 Honest 計（Shishido Seidenki Co ·，Ltd. 之Static H-0110)，於施加lOkV電壓下測量之飽和電壓、使用一個超絕緣電阻試驗器（T〇a DenPa K〇gy〇 Co .，Ltd .之s Μ — 1 0 E )所測量之電壓半衰時間與表面電阻爲基準評估抗靜電性質。根據J I s K 7 1 9 4測得低電阻。該電壓半衰時間與表面電阻係將一個樣本保持於 2 3 ΐ：溫度及5 0 %相對濕度下2 4小時後’於2 3 °C室溫及5 0 %相對濕度下測量。爲測量飽和電壓與電壓半衰時間之差異’將一個試樣 (1 2 5 X 1 5 〇mm，厚度約爲5mm)切成9個小部分，其長度約爲4 1 . 7mmx寬5 Omm ’並測量每個部分 . 本紙張尺度適帛巾@ S雜準（CNb)A4規格⑵0 x 297公釐) 請先閱讀背面之注意事項再. 寫' 頁經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -22- 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 45 55 96 A7 - E7 五、發明説明（20) 3.機械強度：根據ASTMD6 3 8進行張力試驗，而且根據 ASTMD790測量撓曲試驗。 4 .纖維狀導電性塡料之體積電阻：根據J I S— R — 760 1測量該體積電阻。不使用此方法時，測量於1 0 0 k g/ c m2壓力下製造之粉末。 5.抗靜電性聚合物之表面電阻：使用一個超絕緣電阻試驗器（T〇a Denpa Kogyo Co,， Ltd .之S Μ _ 1 0 E )測量表面電阻（測量電壓爲5 〇〇 V ) °此測量係將一個樣本保持於2 3艺溫度及5 〇 %相對濕度下2 4小時後’於2 3 °C室溫及5 0%相對濕度下測量。 6·抗靜電性聚合物之熔點：以 D S C 乂 T. A· Instrument Japan Co.，Ltd.所製）測量該熔點。 7·熔融粘度比率：該熔融粘度係由下列等式定義。 (熔融粘度比率）=(抗靜電性聚合物之熔融粘度）/ ( 諸如P B T之熱塑性樹脂的熔融粘度）該測量條件包括2 6 0 °C之溫度及1，0 0 0秒_1之 (誚先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T -^- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2]〇Χ 297公猃） -23- 45 5 5 y 〇 A7 U7 89. n. 年月 3修正 0 五、發明說明（21) 切剪速率。使用德國Getfelt之Leograph 2002測量熔融粘度。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 8 .淸洗作用：使用一種中性洗劑（Mama Lemon之1 . 5m 1/1 水溶液）以海綿手動淸洗樣本表面3分鐘，然後以經純化熱水（6 0°C)淸洗3分鐘，吹氣並於8 0°C爐中乾燥 1 0分鐘，並於2 3 °C溫度及5 0 %相對濕度下放置2 4 小時。圖式的簡單說明 ' 圖1.:所示爲一模塑矽晶圓載體的側邊部份（ 1 25 X 125mm ，厚度約5mm)，其經等分成九小部份，每一個長度約41.7mmX 寬度50mm。所標記的1至9數字係用來顯示該等分之九小部份的排置。箭頭則係顯示在成形該側邊部份時，供給樹脂組成物的方向和位置。實施例1至1 3及對照實例1至2 Π 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製以表2、4與5所示之重量比率均勻乾式摻合上述原料，使用一個螺旋直徑爲4 4 mm之通風雙螺旋擠製器，於1 8 0至3 1 0°C汽缸溫度、1 6 0 r pm螺旋旋轉速度及4 0 k g/h排出速率下熔融並捏和*並冷卻裁切自一個模排出之螺旋物，製得模製用之九粒。用於評估機械性質之矽晶圓載體與試樣係由此九粒於包括7 5 0 k g/cm2注模壓力、7 0 c m3/秒注模速率、1 5秒冷卻時間及2 5秒模製循環條件下注模模製形 -24- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 89.4 5 5 5 9 b A7 B7 五、發明說明（22)

成。此外，將此矽晶圓載體之側邊部分切成所需形狀以進行上述評估.。所使用之抗靜電劑顯示在表i ，其中應用於PBT時可以產生-種效果，即具有高度熱安定性，而且可以網狀或條狀分散於P B T之高分子量抗靜電劑係p e E A 與 T R B - E K V。另外，該評估結果示於表2 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線1Γ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -25- M"部中央標準局員工消费合作社印裂 45 55 96 A7 B7 五、發明説明（23)

表I 抗靜m性聚合物於260°C及1,000秒__(PA_s)下之熔融粘度相對TRB-QK之熔》粘度比率熔點 ro PEEA 56 0 . 30 203 TRB-EKV 54 0 . 30 171 SD100 236 Ϊ . 32 92 Leorex SD-170 因爲粘度提高之故而無法測得 1 . 32以上 80 I----------^------1T------ ("先閱讀背而之注意事項再填朽本頁) 本紙依尺度適用中國國家#準（CNS > A4規格（2IOX297公势） .26 - 4555 96

A

7 B 五、發明説明（24) 表2 組成(Wt%) 未經處理張力強度 (MPa) 撓曲強度 (MPa) 彈性模數 (MPa) PBT PEEA SD100 Leo rex CF(HTA C6SR) Ω/α * 飽和電壓(KV) 電壓半衰時間 (秒） Ex.l 77 15 8 1Ε9 0 . 03 1 . 7 73 90 5200 Ex.2 79 15 6 1Ε9 0 . 07 3 63 82 4400 C.Ex.l 85 15 4Ε12 I . 5 3 44 65 1900 C.Ex,2 96 4 3Ε16 1,3 300以上 82 125 4300 CEx.3 94 6 2Ε14 0.7 300以上 95 145 5200 C.Ex.4 92 & 1Ε14 0.5 300以上 113 170 6600 C.Ex.5 85 15 4 , 8Ε13 1 , 19 300以上 — 36 2200 C.Ex.6 85 15 4 . 9Ε13 1 . 18 300以上 46 66 2000 C.Ex.l 80 10 10 1 . 4Ε9 0 . 24 300以上 66 89 7600 C.Ex.8 70 10 20 1 . 6Ε9 0 , 07 240 79 110 12400 C.Bx.9 70 15 15 2 , 0Ε4 0 . 12 213 91 120 8600 C.Ex.10 70 10 20 2.9 0 . Π 177 102 135 11200 C.Ex.l 1 70 30 28 0 . 05 28 172 260 17100 C.Ex.12 80 20 3 . 3Ε12 1.4 1 * 9 42 60 2000 C.Ex.13 70 20 無法製造註）*例如，“1 E 9"意指1 X 1 0s (此亦適用於下文）· (誚先閱讀背面之注意事項异填巧本頁) -3 經濟部中央標準局1M工消费合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公益） -27- A7 455596 _ 五、發明说明（25 ) 如表2明顯看出，包含PEEA與CF (實施例1與 2 )之組成物中明顯顯示該P E E.A與碳纖維之融合效果，該飽和電壓爲1 kV以下，電壓半衰時間係1 〇秒以下〇反之，在包含L e 〇 r e X與CF之組成物（對照實例9與1 0)與包含SD 1 0 0與CF之組成物（對照實例7與8)中，其抗靜電性質不足。在包含抗靜電性聚合物與無CF之組成物（對照實例 1、5、6 ' 1 2與1 3)及包含CF與無抗靜電性聚合物之組成物（對照實例2、3、4與1 1)中，即使提高該抗靜電性聚合物或C F含量，其飽和電壓不會降低至1 kV以下，而電壓半衰時間不會減少至1 〇秒以下。因爲對照實例1之組成物表面電阻爲1 Ο1 2Ω以上，飽和電壓爲lkV以上而且撓曲模數爲2，OOOMpa 以下’其不適於作爲需要高度剛性之大型載體架。雖然對照實例2至4組成物之撓曲模數爲4，〇〇〇至6，OOOMPa，其電壓半衰時間爲300秒以上，而且其作爲大型載體架時存在抗靜電性質的問題。 .實施例1與2包含P E E A及碳纖維之組成物具有作爲電子領域所使用載體架之抗靜電性質，以及作爲大型載體架之高度剛性《已硏究實施例1、對照實例1、對照實例4與對照實例1 1之模製產物中之抗靜電性質、飽和電壓與電壓半衰時間差異。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公尨） {銪先閲讀背面之注意事項再填tr本頁) :裝' •V-? 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 -28- A7 美良5# c? 6 B7 五、發明説明（26 ) 將一個模製矽晶圓載體之側邊部分（1 2 5 X 1 5 0 每飽之示之間所分時 1部衰圖各半如量壓 , 測電分並與部’壓小m電 9m和成 ο 飽分 5究等寬硏 >x以 mm間 m m 時 5 7 衰爲 ·半約 1 壓度 4 電厚長與 , 爲壓 m約電 m個和異差異差之間時衰半壓電與壓電和包會示顯 3 表 (甸先閲讀背面之注意事項再填寫本页) 訂經¾部中央標隼局負工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Λ4規格（210X297公耠） -29 - 455596 A7 B7 五、發明説明（27) 表3 等分 C,Ex.l C.Ex.4 C.Ex.ll Ex.l 部分飽和電壓電壓半衰時飽和電壓(V 電壓半衰時飽和電壓電壓半衰時飽和電壓(V 電壓半衰時 CV) 間(秒） ) 間(秒） (V) 間(秒） ) 間(秒） 1 660 0 7 480 保持左側 50 26 0 0-0 2 740 1 0 450 之飽和電 40 57 0 0 . 0 3 680 0 . & 500 壓使之不 50 25 0 0.0 4 510 0.5 590 衰減>300 50 28 30 0 . 1 5 690 1 , 7 430 40 54 0 0.0 6 480 0 - 5 580 50 23 30 0.1 7 820 1.4 640 50 21 50 0-4 8 960 2.7 420 20 6 20 0.1 9 1050 A . 0 580 40 19 50 0.4 (請先閱讀背面之注意事項再嗔宵本頁) 經濟-部中央標準局員工消f合作社印製本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) Λ4規格（210X297公总） _ q〇 4555 96 ^ A7 . B7 五、發明説明（28) 由表3明顯看出實施例1包含P E E A與C F之組成物中，該電壓半衰時間與飽和電壓之差異小於對照實例4 包含C F與無抗靜電性聚合物之組成物。可以暸解到實施例1包含C F與P E E A之組成物平板上的電壓半衰時間與飽和電壓差異較小，而且其所提供之抗靜電性質比對照實例1包含p E E A及無C F的組成物更均勻。另外，對照實例1 1包含C F與無抗靜電性聚合物但是具有P E E A與C F總體積之組成物中，可以降低其最初飽和電壓，但是無法減少電壓半衰時間，而且無法消除差異。因此，本發明之組成物可以降低模製產物表面之抗靜電性質差異。該電子領域所使用之載體架的抗靜電性質必須不會因淸洗作用與運送期間溫度變化而改變。測量淸洗與退火期間抗靜電性質之改變。此結果示於表4。 (請先閲讀背面之注念事項再填寫本頁) 經漪部中央標準局一只工消费合作社印裝 -31 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（21〇Χ297公筇） 455596 A7

7 B 五、發明説明（29) .表4 組成(wt%) 未〗經處理 160°Cx5 小時水處理 QK PEHA TRB DBS HTA 飽和電壓( 電壓半衰飽和電壓電屋半衰時飽和電電壓半衰時 EKV -Na C6SR KV) 時間(秒） (KV) 間(秒）壓(KV) 間(秒） Bx.3 50 40 10 0 0 0 0 0 0 Ex.4 30 60 10 0 0 0 0 0 0 Ex.5 47 7 46 0 0 0 0 0 0 Ex.6 25 50 25 0 0 0 0 0 0 C.Hx.14 80 5 15 0 0 . 02 3 , 7 0.11 396 CEx.15 75 5 20 0 . 03 0 . 82 0 . 03 0 . 60 0 . 06 92 C.Ex.16 75 10 15 0 0 0 . 01 1 . 87 0 - 06 307 C.Ex.17 50 40 . 10 無法測得 .—. ί 訂 . ! · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標皁（CNS ) Λ4規格（210X297公貉） -32- 455596 A7 B7 j . ·午月L_ 五、發明說明（30) 使用一種導電性塡料與低分子量抗靜電劑之組成物（對照實例1.4至1 7)作爲降低飽和電壓與電壓半衰時間之方法。然而由表4可明顯看出’根據該方法在1 6 0°C 下退火5小時並淸洗之會使抗靜電性質大幅變差。反之，由本發明組成物（實施例3至6 )所製之用於電子領域的載體架，沒有特性變差之失，且具有永久抗靜電之性質。倂用CF (ΗΤΑ — C6 — SR)以外之導電性塡料時，該結果示於表5 1 -----I ---I I I I I ^-1111111 (請先間讀背面之注意事項再澈寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -33- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 B? 4555 96 五、發明説明（31 ) 表5 組成(wt%) 未經處理 160°Cx5 小時 QK CF CFMC 不銹鋼 wk wk FT PEEA Ω/α 飽和電電壓半衰飽和電壓電壓半衰 (1) 300 200B 1000 壓(KV) 時間(秒） (KV) 時間(秒） Εχ.7 70 10 20 1.0E3 0 0 0 0 Εχ.8 70 10 20 1.3E13 0.05 0.47 0 0 Ex . 9 72 S 20 4.3H11 0.62 0.52 0,66 0.52 . ExJO 70 10 20 2.1E11 0.48 0.29 0.32 0.19 Ex. 11 70 10 20 Ϊ.7Ε11 0.42 0.28 0.30 0,20 Ex,12 70 10 20 4.1E11 0.58 0.44 0.55 0.40 Ex. 13 60 30 i〇 2.7E1I 0.03 0.74 0.01 0.098 CEx.lS 70 30 7.6H11 0.15 129 0.19 240 C.Ex.19 90 10 4.2E13 1.26 >300 1.25 >300 C.Hx.20 70 30 無法測得 (邡先閱讀背而之注意事項再填寫本頁)

.1T 典· 經滴部中央標準局員工消費合作杜印繫本紙張尺度適用中國國家標羋（CNS ) Λ4規枋（2Ι0Χ297公兑） -34- 45 55 96 Α7 Β7 五、發明説明（32) 使用表5所示之塗覆鎳碳纖維、不銹鋼纖維與各種_ 狀物（實施例7至1 3 )可觀察到相同效果。僅使用一種導電性塡料（如表2所示之碳纖維）時，電壓半衰時間與飽和電壓無法降低（對照實例1 8至2 0 )。眚施例1 4至2 2與對照實例2 1至2 5 所使用之抗靜電劑顯示於表6。其中，應用於 Ρ Β Τ’以外之熱塑性樹脂時可以產生一種效果，即具有高度熱安定性，而且可以網狀或條狀分散於熱塑性樹脂之高分子量抗靜電劑係ΡΕΕΑ與TRB — EKV。 {請先閱讀背面之注意事項再ίινΐΐτ本頁) :裝. 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製本纸張尺度適用中國國家標举·（ CNS ) Λ4規格（210Χ297公# > -35- ^4555 96 五、發明説明（33) A7 B7 表6 抗靜電性聚合物於 2 6 0 °C 及 1，0 0 0 秒—L (P A_s )下之熔融粘度相對P S之熔融粘度比率相對A B S之熔融粘度比率熔點rc) P E E A 5 6 0 .82 0.34 2 0 3 T R B — E K V 5 4 0 .79 0.32 17 1 Leor exSD — 17 0 因爲粘度提高之故而無法測得 1 . 3 0以上 1 · 3 0以上 8 0 {諳九閱讀背面之注念事項再填vct本頁) :裝. 、-& .k 經濟部中央標準局ΚΗ消费合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（cns ) λ4规格（2丨〇><297公穿） -36- A7 4 5 55 96 ...... B7 五、發明説明（34 ) 以表7、表9與表1 0之重量比率混合各種組份’並以實施例1至13之相同方式評估所形成混合物。表7顯示該評估結果。 ΙΓ ί - i ----- 1- HI - n ml 士t I - 1-- - - ---- i - - ii I -- - - n ^^1 -1-1 (讀先閲讀背而之注意事項再填1¾本頁) 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 -37- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2)0乂297公犮） 455596 A7 B7 五、發明説明（35 ) 表7 PS ABS PEEA Leo CF(HTA Ω/D 飽和電電壓半衰 rex C6SR) 壓（KV) 時間（秒） Ex. 1 4 77 . 15 8 5E + 8 0 . 02 0 . 13 Ex.15 77 15 8 2E + 3 0.03 0 · 66 C.Ex.21 70 20 10 3E + 2 0 . 16 200 C. E x, 2 2 70 30 2E + 9 0.10 >600 (誚先閲讀背面之注意事項再访寫本頁) 訂經濟部中央標準局負工消费合作社印t 本紙張尺度適用中國國家標準（〇阳）厶4坭格（2丨0乂297公#_) -38- 455596 A7 _____；______B7 五、發明説明（36 ) 由表7明顯看出，實施例1 4與1 5包含P E EA與 C F之組成物顯示明顯該p e E A與C F之融合效果，該飽和電壓爲1 k V以下’該電壓半衰時間爲1 〇秒以下^ 反之’對照實例2 1包含Leorex與C F之組成物中 .抗靜電性質不足。對照實例2 2包含CF與無抗靜電性聚合物之組成物中’僅提高CF含量無法將該飽和電壓降至1 k v以下，而且無法將該電壓半衰時間減少至1〇秒以下。實施例14與15包含PEEA及碳纖維之組成物顯示70MPa之撓曲強度及4，300MPa之撓曲模數 ’而且其具有作爲電子領域所使用之載體架之抗靜電性質及大型載體架所需之高度剛性。硏究實施例1 5與對照實例2 2模製產物表面抗靜電性質差異，即飽和電壓與電壓半衰時間差異。經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 (誚先聞讀背而之注意亊項再填ΐϊ:τ本頁) 訂1 將一模製矽晶圓之側邊部分（1 2 5 X 1 5 Omm，厚度約爲5mm)等分成9個小部分，每個約爲長 41 . 7xnmx寬50mm，如圖1所示，並測量每個部分之飽和電壓與電壓半衰時間以硏究飽和電壓與電壓半衰時間.差異。表8顯示飽和電壓與電壓半衰時間之差異。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Λ4規桔（2!〇χ2^Μ>^ ) -39- A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 455596 B7 五、發明説明（37 ) 表8 等分部分 Ex .15 C - E X . 2 2 飽和電壓（V) 電壓半衰時間（秒）飽和電壓（V) 電壓半衰時間（秒） 1 X 0 0-16 8 0 保持左側 2 0 0.00 4 0 之飽和電 3 2 0 0,16 6 0 壓使之不 4 2 0 0.13 6 0 衰退 5 0 0.00 3 0 6 2 0 0-26 5 0 7 2 0 0.20 4 0 8 0 0,00 4 0 9 10 0.19 5 0 (請先間讀背而之注念事項再植寫本頁) :裝·

、-D 本紙張尺度適用中國國家栳準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） -40- A7 B7 455596 五、發明説明（38 ) 由表8明顯明顯看出，對照實例2 2包含C F、無抗靜電性聚合物而且具有P E E A與C F總體積級分之組成物中，該最初飽和電壓可降低，但是無法縮短電壓半衰時間，而且無法消除差異。因此，本發明之組成物可以消除模製產物表面之抗靜電性質差異。該電子領域所使用之載體架的抗靜電性質必須不會因淸洗及運送期間溫度變化而改變。然後測量淸洗與退火期間之抗靜電性質改變》該結果示於表9。 (¾先閱讀背而之注念事項再嗔碎本頁) iuc

、1T 經濟部中央標41'局員工消費合作社印掣 -41 - 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4规格（210X297公疫）經濟部中央標卑局員工消费合作社印袈 4555 96 Αν B7 五、發明説明（39 ) 組成(wt%) 未經處理淸洗 PS ABS TRB DBS- HTAC6 飽和電壓電壓半衰時間飽和電壓電壓半衰時間 EKV Na SR (KV) (秒） (KV) (秒） Ex . 16 50 40 10 0 0 0 0 Ex . 17 30 60 10 0 0 0 0 Ex . 18 47 7 46 0 0 0 0 Ex . 19 25 50 25 0 0 0 0 C . Ex . 23 75 5 20 0 0 0 . 03 4 C . Ex . 24 75 10 15 0 0 0 . 02 0 . 4 (請先閲讀背而之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4规枋（210X297公兑） -42 - A7 B7

4 5 5 5 9 6 五、發明說明（40) 使用一種導電性塡料與低分子量抗靜電劑之組合物（對照實例2 3與2 4 )作爲降低飽和電壓與電壓半衰時間之方法。然而，由表9明顯看出該方法之抗靜電性質會因淸洗而大幅降低。反之，由本發明組成物（實施例1 6至1 9 )製得電子領域所使用之載體架在相同處理下其抗靜電性質不會惡化，而且具有永久性抗靜電性質。實施例1 6至1 9之組成物於1 6 0 °C退火5小時後其特性不會改變。包含CF以外導電性塡料（HTA-c 6 — SR)組成物之評估結果示於表1 〇。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) '.1M---- 訂---------線. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -43- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 d 5 5 9 6 B7 五、發明説明（41 ) 表10 飽和電壓電壓半衰時間 PS ABS 不銹鋼 WK 塗覆鎳 PEEA (KV) (秒）纖錐 20 0B 碳纖維 Ex.20 72 8 20 0 . 17 0 . 30 Ex.21 70 10 20 0 , 12 0 . 32 E x. 2 2 70 10 20 0 . 01 0.12 C.Ex25 70 30 0 . 4 2 >600 (部先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 —JI^UL I _----,-1—-L-7. 經濟部中央標準局员工消费合作社印掣本紙張尺度適用中國國家標举-(CMS ) Λ4規格（210X 297公楚） -44 - 〇55 96 A7 . B7 五、發明説明_( 42 ) 使用表1 0所示之塗覆鎳碳纖維、不銹纖維與各種鬚狀物（實施例2 0至2 2 )時可以觀察到相同效果。僅使用如表2所示之碳纖.維時，無法降低電壓半衰時間與飽和電壓二者（對照實例2 5)。眚施例2 3至2 6與對照實例2 6與2 7 以表1 1與1 2之特定重量比率混合各種組份，以實施例1至13相同方式評估所形成混合物。評估結果示於表11。 -----------^裝-- (邻先閲#背面之注意事項#填寫本頁) 訂經濟部中央標率局R工消费合作社印製rm η 圓 so. !l -45- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規核（2I0X297公益） 4.5 5 5 9 6 五、發明説明（43 ) 表1 1

Ex . 23 C . Ex . 26 [組成（Wt%)] PBT 85 84 CF δ . 5 6 VGCF1 6 . 5 Dentole WK300 _ 10 表面電阻（Ω ) 2 . OE+9 5 . 0E+13 l·—.------j 裝------ΐτ------1 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ΤΙΓΙΗΤΤΙ ΓΜΙ 經满部中央標準局貝工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ297公犮） -46- 4 5 5 5 9 6 A7 B7 五、發明説明（44) 如表1 1所示，實施例23包含CF與VGCF1組成物中，藉由兩種不同種類纖維之融合效果可以將表面電阻控制至一個抗靜電性水準，然而對照實例2 6包含 Dentole WK300與C F之組成物中鮮少看到該融合效果。 I I ,—訂 (諳先閲讀背而之注意事項再填筠本頁) 經濟部中央標率局負工消費合作社印策 -47 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4現格（210X29?公釐）經濟部中央標準局負工消f合作社印製 4 5 5 5 9 6 A7 . B7 五、發明説明（45 ) 表1 2 E X . 2 4 E X . 2 5 E X , 2 6 C , E X . 2 7 [組成（W t %)] P B T 8 7.5 7 7.5 7 0 PC - 8 7.5 一一 C F 8 _’5 8，5 8.5 3 - V G C F 2 4 4 4 - TR B-E KV 10 _ 表面電阻（Ω) 1 · 3 E + 9 5 · 3 E + 5 2 . 9 E + 8 2 8 飽和電壓（KV) <0.01 <0-01 0 0.05 電歷半衰時間（秒） < 0 · 1 >0.1 0 2 8 撓曲模數（MP a ) 7 4 0 0 6 8 0 0 ir-------j裝-- {"*-;rl先閲讀背面之注意事項典填艿本頁)

、1T 泉本紙張尺度適用中國國家標準{ CNS ) A4规格（210X297公釐） -48- 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 4 5 55 96 五、發明説明（46 ) ........-.....- - ..... ..... ....... . . ..... ..... · ...... · 由表1 2可看出，實施例2 4與2 5包含CF與 VG CF 2之組成物中明顯顯示CF與V GC F 2之融合效果，該飽和電壓爲1 k V以下，而且該電壓半衰時間爲 1 0秒以下。實施例2 6包含TRB — EKV之組成物中

，將電荷之洩漏作用改良得更爲有效。反之，僅提高C F 含量時（對照實例2 7)，該電壓半衰時間無法減少至 1 0秒以下，而且組合物之模製產物靜電消除性質較差。實施例2 4與2 5包含C F與VGCF 2之組成物具有作爲電子領域所使用之載體架的抗靜電性質及大型載體架所需之局度剛性。已硏究實施例2 4與對照實例2 7模製產物之抗靜電性質、飽和電壓與電壓半衰時間之差異。將一個模製矽晶圓載體之側邊部分（1 2 5 X 1 5 0 mm，厚度約爲5mm)等分成9小部分，如圖1所示每個約爲長4 1mm X寬5 〇mm，並測量各部分之飽和電壓與電壓半衰時間以硏究飽和電壓與電壓半衰時間之差異〇表13顯示飽和電壓與電壓半衰時間之差異。本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Λ4規格（210Χ 297公茄） -49- (对先間讀背面之注¾事項再填ϊν:?本頁)

455596 A7 B7 五、發明説明（47 ) 表1 3 經濟部中央標準局負工消费合作社印製等分部分 E X . 2 4 C , E X * 2 7 飽和電壓（V) 電壓半衰時間（秒〕飽和電壓（V) 電壓半衰時間（秒） 1 0 0.0 5 0 2 6 2 0 0.0 4 0 5 7 3 0 0.0 5 0 2 5 4 10 0 ^ 1 5 0 2 8 5 0 0 0 4 0 5 4 6 10 0.1 5 0 2 3 7 10 0 1 5 0 2 1 8 0 0.1 2 0 6 9 10 0 1 4 0 19

ιί------Ν"/--(請先閲讀背而之注意事項再填寫本頁J

'•IT 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規栝（2)0X297公犮） -50- 45 55 96 a7 B7 五、發明説明（48) 由表13觀察到，實施例2 4包含C F與VGCF 2 之組成物中，其飽和電壓與電壓半衰時間之差異遠小於對照實例2 7包含C F且無抗靜電性聚合物組成物之差異。因此，本發明之組成物可以減少模製產物表面之抗靜電性質差異。管施例2 7與2 8及對照實例2 8至3 1 以表1 4之特定重量比率混合各種組份，以實施例1 至1 3相同方式評估所形成混合物。評估結果示於表1 4。 (邻先間讀背面之注意事項再填寫本頁) "裝· 訂經濟部中央標準局貞工消费合作杜印聚本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2!0Χ297公# ) -51 - 4 555 96 a7 B7 五、發明説明（49) 表1 4 經濟部中央標準局員工消f合作社印製

Ex . 27 Ex . 28 C . Ex . 28 C . Ex . 29 C . Ex . 30 C . Ex . 31 組成(wt%〇 TRB-QK 77 79 85 96 94 92 Pelestat6321 15 15 15 0 0 0 HTA-C6-SR 8 6 0 4 6 8 表面電阻(Ω) 1E+9 1E+9 4E十8 3E+16 2E+14 1E+14 飽和電壓(KV) 0 . 03 0 · 07 1.5 1 . 3 0 7 0.5 電壓半衰時間(秒） 1 , 7 3 3 300< 300< 300< 張力強度(MPa) 73 63 44 82 95 113 撓曲強度(MPa) 90 B2 65 125 145 170 撓曲模數(MPa) 5200 4400 1900 4300 5200 6600 --.------Ί装--(誚先閱讀背面之注念事項再坑寫本頁) --° α. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公赴） -52 - ^ 45 55 9 6 五、發明説明（50 ) 雖然對照實例2 8之組成物表面電阻爲1 〇 1 2 Ω以下 ’電壓半衰時間爲5秒以下，而且具有抗靜電性質，其撓曲模數爲2 ’ 0 0 OMP a以下，因此不適用於需要高度剛性之大型載體。另一方面，對照實例2 9至3 1之組成物撓曲模數爲4 ’ 0 0〇至6，OOOMPa ，而且電壓半衰時間爲3 0 0秒以上<因此，由彼製得之矽晶圓載體可能具有抗靜電性質的問題。實施例2 7與2 8包含P E EA與碳纖維之組成物具有作爲大型砂晶圓載體之抗靜電性質以及大型載體所需之高度剛性。特別是，該電壓半衰時間係因P E E A與碳纖維之融合效果而大幅降低，實施例2 7之組合物的電壓半衰時間爲1秒水準。已以電壓半衰時間爲基準硏究實施例2 7與對照實例 2 8與3 1之模製產物抗靜電性質差異》表1 5顯示9個部分之電壓半衰時間分佈，這9個部分係等分一個模製矽晶圓載體之側邊部分（1 25x1 50mm，厚度約爲5 m m )製得，如圖1所示。 (誚先閲讀背面之注意亊項再坑托本頁)

M 經濟部中央標準局負工消f合作社印製 -53- 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) 格（2丨0X2W公龄） A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印取 4 5 5 5 9 6、 ___B7 五、發明説明（51 ) 表1·5 等分部分 C , Ε X , 2 8 C , Ε X . 3 1 Ε X . 2 7 電壓半衰時間（秒）電壓半衰時間（秒）電壓半衰時間（秒） 1 0.7 3 0 0 0.0 2 1 0 3 0 0 0.0 3 0.8 3 0 0 0 . 0 4 0*5 3 0 0 0.1 5 1 . 了 3 0 0 0.0 6 0 . 5 3 0 0 0.1 7 1.4 3 0 0 0.4 8 2.7 3 0 0 0.1 9 4.0 3 0 0 0.4 請先閱讀背面之注意事項再填巧本頁) 、1Τ 'Μ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2!〇Χ2ζΠ公益） -54- 455596 經濟部中央標率為貝工消费合作社印製ad II mu: 五、發明説明（52) _ ........ ... ...... ..... ' .. ’ 包含PEEA與CF之組成物（Ex，27)的電壓半衰時間比包含CF且無抗靜電性聚合物之組成物（ C· Ex _ 31；)短，而且在平板上之電壓半衰時間差異 (Ex · 27)比包含PEEA且無CF之組成物（ C . Ex . 2 8 )小。因此，所提供之抗靜電性質更爲均句。因此，包含P E E A與C F之組成物適於作爲矽晶圓載體之原料。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規梠（210X2W公浼） -55-

Claims

α 5 5 5 9 6 公告本六、申請專利範圍 Α8 Β8 C8 D8

附件一（A ):第8 7 1 1 4 2 9 1號專利申請案中文申請專利範圍修正本 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 民國8 9年1 1月修正 1 種靜電消除性熱塑性樹脂組成物，其係一種包含下列各者之化合物： (A) 1〇〇重量份數之熱塑性樹脂； (B) 10至200重量份數之聚合物，其於500 V測量時其表面電阻爲1 〇8至1 Ο^Ω，熔點爲1 0 0°C 或以上，於2 6 0°C 1 ，〇〇〇秒—1表觀剪切速率下之表觀熔融粘度爲10至1 ，0 O OP a. s ，上述表觀熔融粘度對於2 6 0°C 1，0 0 〇秒—1表觀剪切速率下之熱塑性樹脂表觀熔融粘度的比率爲0 . 〇 1至1 . 3 ;及 (C) 1至10 0重量份數纖維狀導電性塡料，其體積電阻爲1 0 〇Ω_(： m或以下= 經濟部智恶財產局3·'工消費合作钍印製 2 ·如申請專利範圍第1項之組成物，其中該熱塑性樹脂（A )係選自包含衍生自苯乙烯類、（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯腈與丁二烯、聚烯烴、聚酯、聚碳酸酯、丙烯樹脂、熱塑性聚胺甲酸酯、聚氯化乙烯、氟樹脂、聚醯胺、聚縮醛、聚碩或聚苯硫醚其中至少一種單體之結構單位的聚合物。 3 .如申請專利範圍第1項之組成物，其中該熱塑性樹脂（A)係選自聚對苯二甲酸伸丁酯、聚對苯二甲酸伸丙酯、聚對苯二甲酸伸乙酯、聚伸丁基一 2，6 —萘二羧本纸ft尺度逋用中國國家標箪（CNS ) A4現格（2丨0X297公缝） 4555 96 g C8 D8 六、申請專利範圍酸酯與聚伸乙基—2，6 —萘二羧酸酯。 4 .如申請專利範圍第1項之組成物，其中聚合物（ B )係選自包括聚乙二醇爲底質之聚醯胺共聚物、聚甲基丙烯酸乙二醇酯共聚物、聚（氧化乙烯/氧化丙烯）共聚物、聚乙二醇爲底質之聚酯醯胺、聚乙二醇爲底質聚酯彈性體、聚（表氯醇/氧化乙烯）共聚物及衍生自一種雙酚與兩個端基均具有羥基之聚醯胺的氧化乙烯加成物之聚醚酯醯胺其中至少一者。 5 .如申請專利範圍第1項之組成物，其中纖維狀導電性塡料（C )係選自包括碳纖維、金屬纖錐、金屬鬚狀物、陶瓷鬚狀物或有機聚合物鬚狀物其中至少一者。 6 ·如申請專利範圍第5項之組成物，其中纖維狀導電性塡料（C )係一種碳纖維，而且該碳纖維係未經塗覆之原始碳纖維及/或塗覆鎳之碳纖維。 7 .如申請專利範圍第5項之組成物，其中該纖維狀導電性塡料（C )係一種金屬纖維，該金屬纖維係由選自拉絲法、熔融擠製法、熔融提取法、裁切法或鍍敷法之方法製造，而且係由選自包括Fe、Ni 、Cu、Ai 、 P b、S U S (鉻鋼）或Z n其中至少一種金屬製得。 8 . —種靜電消除性樹脂組成物，其係包含下列各者之化合物： (A ) 1 0 0重量份數熱塑性樹脂； (B 1 ) 1至3 0重量份數直徑爲lnm至Ιμπι’長度爲Ιμιη至1 0mm，而且體積電阻小於lHcm之碳纖 II---Ί----入裝-- (請先閲讀背面之注意事項再也寫本頁) 訂 •1^ 經濟部智蒽財是局員工消費合作社印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公釐） -2- ABCD "45 5 5 9 6 六、申請專利範圍維；以及 (C ). 1至1 〇〇重量份數體積電阻爲1 0 ODc m以 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 下之纖維狀導電性塡料。 9 ·如申請專利範圍第8項之組成物，其中該熱塑性樹脂（A)係選自包含衍生自苯乙烯類、（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯腈與丁二烯、聚烯烴、聚酯、聚碳酸酯、丙烯樹脂、熱塑性聚胺甲酸酯、聚氯化乙烯、氟樹脂、聚醯胺、聚縮醛、聚硕或聚苯硫醚其中至少一種單體之結構單位的聚合物。 1 〇 ,如申請專利範圍第8項之組成物，其中該熱塑性樹脂（A )係選自聚對苯二甲酸伸丁酯、聚對苯二甲酸伸丙酯、聚.對苯二甲酸伸乙酯、聚伸丁基一2 ’ 6 —萘二羧酸酯與聚伸乙基_ 2，6 —萘二羧酸酯。 1 1 .如申請專利範圍第8項之組成物，其中纖維狀導電性塡料（C )係選自包括碳纖維、金屬纖維、金屬鬚狀物、陶瓷鬚狀物或有機聚合物鬚狀物其中至少一者。經濟部智慧財4局爲工消費合作社印製 1 2 .如申請專利範圍第1 1項之組成物，其中纖維狀導霉性塡料（C )係一種碳纖維，而且該碳纖維係未經塗覆之原始碳纖維及/或塗覆鎳之碳纖維- 1 3 _如申請專利範圍第1 1項之組成物，其中該纖維狀導電性塡料（C )係一種金屬纖維，該金屬纖維係由選自拉絲法、熔融擠製法、熔融提取法 '裁切法或鍍敷法之方法製造，而且係由選自包括Fe'Ni 、Cu、Al 、Pb、SUS (鉻鋼）或Zn其中至少一種金屬製得。 -3- 木紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現格（210X297公釐） 455596 A8 B8 CS D8 六、申請專利範圍 1 4 . 一種靜電消除性樹脂組成物，其包含： (A ) 1 〇〇重量份數熱塑性樹脂； (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) (B)1至150重量份數之聚合物，其於500V 測量之表面電阻爲_1 08至1 Ο^Ω，熔點爲1 〇〇°c以上，於2 6 0 °C1 ，0 0 0秒_1表觀剪切速率下之表觀熔融粘度爲10至1，OOOPa.s ，上述表觀熔融粘度對於 2 6 0 °C 1，0 0 0秒_1表觀剪切速率下之上述熱塑性樹脂表觀熔融粘度的比率爲0.01至1.3; (B‘）〇 . 1至2 8重量份數直徑爲lnm至lμm ，長度爲Ιμπι至1 〇mm，而且體積電阻小於lQcm之碳纖維；及 (c) 1至1〇〇重量份數體積電阻爲lOOQcm以下之纖維狀導電性塡料。經濟部智慧財4局员工消費合作社印製 1 5 .如申請專利範圍第1 4項之組成物，其中該熱塑性樹脂（A)係選自包含衍生自苯乙烯類、（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯腈I 丁二烯、聚烯烴、聚酯 '聚碳酸酯 '丙烯樹脂、熱塑性聚胺甲酸酯、聚氯化乙烯、氟樹脂、聚醯胺、聚縮醛' 聚碼或聚苯硫醚其中至少一種單體之結構單位的聚合物。 1 6 .如申請專利範圍第1 4項之組成物，其中該熱塑性樹脂（A )係選自聚對苯二甲酸伸丁酯、聚對苯二甲酸伸丙酯、聚對苯二甲酸伸乙酯、聚伸丁基一 2，6 -萘二殘酸酯與聚伸乙基_2，6 ~蔡二竣酸酯。 1 7 ♦如申請專利範圍第1 4項之組成物，其中聚合 -4- 本紙乐尺度適用中國國家標準,（CNS ) A4規格（210X297公赛） 4555 96 μ8 C8 D8 六、申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 物（B )係選自包括聚乙二醇爲底質之聚醯胺共聚物、聚甲基丙烯酸乙二醇酯共聚物、聚（氧化乙烯/氧化丙烯）共聚物、聚乙二醇爲底質之聚酯醯胺 '聚乙二醇爲底質聚酯彈性體、聚（表氯醇/氧化乙烯）共聚物及衍生自一種雙酚與兩個端基均具有羥基之聚醯胺的氧化乙烯加成物之聚醚酯醯胺其中至少一者。 1 8 ·如申請專利範圍第1 4項之組成物’其中纖維狀導電性塡料（C )係選自包括碳纖維、金屬纖維、金屬鬚狀物、陶瓷鬚狀物或有機聚合物鬚狀物其中至少一者。 1 9 .如申請專利範圍第1 8項之組成物’其中纖維狀導電性塡料（C )係一種碳纖維，而且該碳纖維係未經塗覆之原始碳纖維及/或塗覆鎳之碳纖維。 2 0 .如申請專利範圍第1 8項之組成物，其中該纖維狀導電性塡料（C )係一種金屬纖維，該金屬纖維係由選自拉絲法、熔融擠製法、熔融提取法、裁切法或鍍敷法之方法製造，而且係由選自包括Fe 、Ni 、Cu、Al 、Pb、SUS (鉻鋼）或Zn其中至少一種金屬製得。 2 1 . —種電子領域所使用之載體架，其係由申請專經濟部智葸时產局貝工消費合作杜印製利範圍第1項之組成物製成。 2 2 .如申請專利範圍第2 1項之載體架，其中於測量長1 2 5mm與寬1 5 Omm載體架任意表面積時’施加1 0 k V電壓所測得之飽和電壓差異（介於平均値、最小値與最大値間之關係）與電壓半衰時間同時符下列等式本紙掁尺度適用中國國家標牟（CNS ) A4規格（21〇><297公釐） 455596 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 Ema*(V)- l〇〇(V) ^ Eave(V)^ Emin(V)+ 1 〇〇(V) (請先閲讀背面之注^K項再堪寫本頁) Tmax(s)-5(s)^ T；1 Vi(s)^ Tmin(s)+5(s) 其中E a e、E ra a X與E m i ,,係飽和電壓之平均、最大與最小値’而T a v T、T m a X與Τ Π1 i n分別係電壓半衰時間之平均 '最大與最小値。 2 3 .如申請專利範圍第2 2項之載體架，其中欲測量之表面積係形成該載體架之樹脂表面任意平坦部分。 2 4 .如申請專利範圍第2 1項之載體架，其係一個具有至少一個用以支持晶圓之矽晶圓載體。 2 5 .—種電子領域所使用之載體架，其係由申請專利範圍第8項之組成物製成。 2 6 .如申請專利範圍第2 5項之載體架，其中於測量長1 2 5mm與寬1 5 Omm載體架任意表面積時，施加1 0 k V電壓所測得之飽和電壓差異（介於平均値、最小値與最大値間之關係）與電壓半衰時間同時符下列等式經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Ema«(V)-100(V)^ Eave(V)^ En,in(V)+l〇〇(V) Tm;ix(s)-5(s)= Tavc(s)^ Tmin(s) + 5(s) 其中E ,…、E m…與E m i ,,係飽和電壓之平均、最大與最小値，而T a ' e、T m a X與T m i »分別係電壓半衰時間之平均、最大與最小値。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - B8 C8 D8 4555 96 六、申請專利範圍 2 7 .如申請專利範圍第2 5項之載體架，其中欲測量之表面積係形成該載體架之樹脂表面任意平坦部分。 2 8 .如申請專利範圍第2 5項之載體架，其係一個具有至少一個用以支持晶圓之矽晶圓載體。 2 9 . —種電子領域所使甩之載體架，其係由申請專利範圍第1 4項之組成物製成。、3 0 .如申請專利範圍第2 9項之載體架，其中於測量長1 2 5mm與寬1 5 Omm載體架任意表面積時，施加1 0 k V電壓所測得之飽和電壓差異（介於平均値、最小値與最大値間之關係）與電壓半衰時間同時符下列等式 Emai(V)-l〇〇(V) ^ Eave(V)^ Erain(V)+100(V) Tmai(s)-5(s) ^ T,v = (s)^ Tm,n(s) + 5(s) 其中E «…、E m a x與E m i n係飽和電壓之平均、最大與最小値，而T a ν ,、T ,,, a χ與Τ i η分別係電壓半衰時間之平均、最大與最小値。 3 1 .如申請專利範圍第2 9項之載體架’其中欲測量之表面積係形成該載體架之樹脂表面任意平坦部分。 3 2 ,如申請專利範圍第2 9項之載體架，其係一個具有至少一個用以支持晶圓之矽晶圓載體。木紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再峡寫本頁)

I ^ I I n n 1111 It \),-' 經濟部智慧財4局貝工消費合作社印製