4.44233 A7 _·—___B7_______ 五、發明說明ο ) 發明之詳細說明 發明所屬之技術領域 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係關於在顯不裝置的面板的正面內面，形成指 定形狀的規則的黒色膜的圖案之顯示裝置的黑色膜形成方 法、形成裝置以及藉此形成的黑色膜^ 先行技術 一般*在顯示裝置例如陰極射線管的面扳製造工程， 如第8圖（a )以及（b )所示，於玻璃製的面板1的被 形成爲曲面狀（第8圖（a ))或者平面狀（第8圖（b ))的正面部2的正面內面2a ，被形成指定形狀的規則 的黑色膜3的圖案。此黑色膜3的圖案，如第9圖（a ) 所示’由具有圓形等指定形狀的多數孔，或者如第9圖（ b )所示，由具有規則性的條紋配列而成。 接著，參照第1 0圖說明一般所進行的黑色膜3的圖 案的形成方法。 經濟部智慧財產局員工消費合作钍印裂 首先，如第10圖（a)所示，準備面板1 ，接著， 如第1 0圖（b )所示，於被保持於所要溫度的面板1的 正面內面2 a上塗布光阻劑膜1 1 ，予以乾燥。接著，如 第1 0圖（c )所示’將遮蔽屏（shadowmask)l 2與面板 1組合，透過遮蔽屏1 2的孔1 2 a，照射例如紫外線 1 .3於光阻劑1 1使其曝光。 接著，以被控制於所要溫度的水來顯像，如第1 〇圖 (d )所示’透過遮蔽屏1 2的孔1 2 a以紫外線曝光的 本纸張尺度適用中國國家標準（C\'S)A4規格（2J0 X 297公爱） A7 444233 ___B7____ 五、發明說明@ ) 部分的光阻劑膜1 1的部分被除去。 其後，經由乾燥工程，如第1 0圖（e )所示，於被 控制在所要溫度的面板1的正面內面2 a上塗布淺井（dug) 1 4。接著，藉由浸漬於氨基磺酸（sulfamic acid)的工程， 乾燥之後，再次以水顯像、乾燥、如第1 0圖（ί )所示 ，剩下的光阻劑1 1的部分浸有淺井1 4 ，形成所要的黑 色膜3的圖案。 又，圖中的線a - a顯示淺井1 4的中心位置。總之 ，在此工程，通過遮蔽屏1 2的孔1 2 a的光所照射到的 部分以外，殘留有淺井1 4。 其次，塗布綠色螢光體，使面板1與遮蔽屏1 2組合 ，通過遮蔽屏1 2的孔1 2進行曝光之後，取下遮蔽屏 1 2，藉由使面板1顯像、乾燥，使得面板1的正面內面 2 a的被曝光的部分形成第1個顏色之綠色的螢光體。 以下，針對藍、紅色的螢光體，分別反覆進行塗布、 曝光、顯像，最終在相當於遮蔽屏1 2的孔1 2 a的部分 形成綠、藍、紅三色的螢光體。 以上，針對在黑色膜3的圖案爲孔的場合加以說明， 但是條紋的場合也相同。 發明所欲解決的課題 然而，在以上所說明的從前的黑色膜3的形成方法， 因爲經過光阻劑1 1的塗„布工程、乾燥工程、曝^光玉,.程、 邕，并..I4的，布、I基磺酸漬J».-工遵...的緣故，不僅工程數 ' 1 .....— ·._·· · ... 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A~|規格（210x297公爱） ---------ί----^-------- ^------J 1· ^ I f F (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) 經濟郜智婪財產局員工消費合作.社印*'J5f -5- 修第财1〇2875號專利申請案 中文說明書修正頁 A7 B7 民國89年11月修正 煩請委員明示'^年^月^&所提之 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 傍正本有^-變烫贫背内〔&是否准予修正0 五、發明說明P ) 444233 多，而且必須要大規模的裝置。而有在顯像使用大量的水 、氨基磺酸等藥液’同時於乾燥工程還有花費大量電力的 問題。 又，不限於陰極射線管的黑色膜，在電漿顯示器等顯 示裝置也有同樣的問題。 本發明的目的在於提供一種不需要如從前的方法那般 透過遮蔽屏來曝光、顯像需要很多工程以及大型的裝置， 而且比從前的方法更可以謀求省資源以及節省能源，而且 可以容易而正確地形成黑色膜圖案地顯示裝置的黑色膜形 成方法。 本發明的其他目的在於提供實施相關的顯示裝置的黑 色膜形成方法的裝置。 本發明的其他目的還有提供藉由上述方法被營造成的 顯示裝置用面板以及具備此顯示用面板的顯示裝置。 供解決課題之手段 爲了解決上述課題，本發明提供具備：於透明基板的 一方之面上形成黑色膜的工程，及照射雷射光於前述黑色 膜，選擇地除去前述黑色膜的不要部分，形成黑色膜圖案 的工程的顯示裝置的黑色膜圖案的形成方法。 此外，本發明提供具備：保持一方之面上具有黑色膜 的透明基板的手段，及 照射雷射光於前述黑色膜，選擇地除去前述黑色膜的 不要部分，形成黑色膜圖案的光學系的顯示裝置的黑色膜 ___________-丹- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） — _丨1!·丨·'!_ ^^ · ί I *7 I 丨 ! ! 丨！ (請先閲讀背面之注意事項再4寫本頁) d4d233 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（4 ) 圖案的形成裝置。 進而’本發明提供一種黑色膜形成裝置，係顯示裝置 的黑色膜形成裝置，其特徵爲具備：收容液體、於前述液 體中’於一方之面具有黑色膜的透明基板被浸漬的槽，及 對前述黑色膜照射雷射光，選擇地除去前述黑色膜的不要 部分，形成黑色膜圖案的光學系，及使前述槽內的液體循 環，使藉由雷射光的照射而®除去的黑色P除去物與液體 同時移動的循環手段，及·.服前述循環的.液體中的黑色P 除去搜的国收..手殺。 進而，本發明提供一種顯示裝置用面板以及具備該顯 示用面板的顯示裝置，其特徵係藉由具備··於透明基板的 一方之面形成黑色膜的工程，及對前述黑色膜照射雷射光 ，選擇地除去前述黑色膜地不要部分，形成黑色膜圖案的 工程的方法所製造的。 如上所述，本發明的顯示裝置的黑色膜的形成方法， 特徵在於具備：在透明基板的一方之面上形成黑色膜的工 程，及照射雷射光於前述黑色膜，選擇地除去前述黑色膜 的不要部分，形成黑色膜圖案的工程。 根據如此被構成的本發明的方法，不需要如從前的方 法那般爲了曝光、顯像而需要大型的裝置，而且與從前的 方法相比可以謀求省資源化以及省能源化*而且可以容易 P正確地形成黑色膜圖案。此外，如此而得的顯示裝置可 得精度佳的影像，而且使得成本降低成爲可雜。 此外，對黑色膜照射雷射光除去黑色膜的不要部分的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2]0 X 297公餐） ------裝--------訂·---I----線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 444233 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社^*1^ B7 五、發明說明（？) 工程，也可以JUL盟邀置射.光」.藉虫H、，.可以在短 睦疲黑色屡应胤.案。 此外，在對黑色膜照射雷射光除去黑色膜的不要部分 的工程，可以透過被形成對應於黑色膜的圖案的開口圖案 的穿孔遮罩對黑色膜照射雷射光。藉由如此|隨著使用-的 穿子LM罩的種類不可_ β簡單地變更-圖案。 ··. — " -------------·— ~~ .— 進而，對黑色膜照射雷射光除去黑色膜的不要部分的 工程，將面板配置於液體中，藉由液體的循環而可以回收 黑色膜除去物。藉由如此，可以使雷射光的Ji.射.處.街保持 違Jit '防止黑色膜除去物的影響，使得可以正確地形成 黑色膜的圖案。 此外，本發明的顯示裝置之黑色膜的形成裝置，其特 徵爲具備：保持一方之面上具有黑色膜的透明基板的手段 ，及照射雷射光於前述黑色膜，選擇地除去前述黑色膜的 不要部分，形成黑色膜圖案的光學系的顯示裝置的黒色膜 圖案的形成裝置。 根據如此被構成的本發明的裝置’不需要如從前的方 法那般爲了曝光、顯像而需要大型的裝置，而且與從前的 方法相比可以謀求省資源化以及省能源化，而且可以容易 而正確地形成黑色膜圖案。 此外，m二m...槿.虚益農豈1.篆射光Ji睦殿麥。 i在..訊I屡I 以11 晚.閨形—座差鱼舅.1_寒。 此外，光學系，可以爲具有被形成對應於黑色膜的圖 案的開口圖案的穿孔遮罩的構成，藉由如此構成’藉由透 -8 - 表纸張尺度適用中國國家標準（CNS)AJ規格（210 X 297公釐） ----------裝------1訂·--I--ί 線 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁> 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 444 23 3 A： B7 五、發明說明（？) 過穿孔遮罩對黑色膜照射雷射光，可以隨著使用的穿孔遮 罩的種類不同簡單地變更圖案。 進而，本發明的顯示裝置之黑色膜的形成裝置’其特 徵爲具備：收容液體、於前述液體中，於一方之面具有黑 色膜的透明基板被浸漬的槽，及對前述黑色膜照射雷射光 ，選擇地除去前述黑色膜的不要部分，形成黑色膜圖案的 光學系，及使前述槽內的液體循環，使藉由雷射光的照射 而被除去的黑色膜除去物與液體同時移動的循環手段，及 回收前述循環的液體中的黑色膜除去物的回收手段。 藉由如此構成的本發明的裝置，可以使雷射光的照射 處所保持淸淨化，防止黑色膜除去物的影響，使得可以正 確地形成黑色膜的圖案。 於本發明|雷射光可以從透明基板的另一方之面透過 透明基板照射於黑色膜，也可以從透明基板一方之面側直 接照射於黑色膜。 在此場合，使透明基板的一方之面朝下，於透明基板 的另一方之面側配置雷射光的光學系，從透明基板的另一 方的面透過透明基板照射雷射光至黑色膜的做法較佳。藉 由如此，由雷射光的照射所除去的黑色膜，不會附著於透 明基板，而會向下落的緣故，不需要洗淨透明基板。 此外，於雷射光的照射時，以吸附、去除被除去的黑 -*· ------— .....一·.----------- ， 色凰較、佳。 畢襄g j：惠徵y分散於此辖鱼.樹脂的 碳粒子所構成。或者由黑色鉻所構成。 __ -9- 本纸張&度適用中國國家標準（CNS)Ai堤格（210 * 297公釐> ----------------裝--------訂---------線 — J t f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 444233 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 B7 五、發明說明（7 ) 黑色膜的膜後，在黑色鉻的場合，通常爲0.0 5〜 0.1 5 //m。此外，黑色膜圖案，可以是矩陣狀或者條紋 狀。 本發明的對象可以舉出電漿顯示器、陰極線管、液晶 顯示裝置 '電子螢光顯示器、電子化學顯示器、螢光顯示 管、以及發光二極體顯示器等。 又，顯示裝置爲電漿顯示器，而透明基板係電漿顯示 器的前面玻璃基板的場合，特別可以適用本發明。 發明之實施形態 以下，參照圖面說明本發明的種種實施形態。 第1圖及第2圖係相關於本發明的第1實施形態的顯 示裝置的黑色膜形成裝置的立體圖以及光學系的構成圖。 又，作爲對象的顯示裝置，使用陰極線管的面板、電 漿顯示器的面板、液晶顯示裝置的面板。 陰極射線管的面板，係第8圖所示的採射陰極射線管 的面板1 ，於面板1的玻璃製的正面（face)部2的正面內面 2 a ，以指定的形狀形成黑色膜3的圖案者，賦予相同的 符號而省略其說明。 作爲電漿顯示器，有電極以電介質層包覆，而以間接 放電的形式動作的交流放電型，以及電極露出至放電空間 內而以直接放電的形式動作的直流放電型，於第3圖（ a )顯示交流放電型的彩色電漿顯示器面板的構造。亦即 ，面板1 0於玻璃基板1 5 a上，透過電介質層1 6 a而 -10- 本纸張尺度通用中國國家標準（CNS)A·!規格（210 X 297公釐） . , 裝-------訂·--------線 (請先閱讀背面之ί±意事項声填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印?i d 44 233 A7 _____B7__ 五、發明說明@ ) 形成行電極1 7 a以及列電極1 7 b而成的背面面板’及 在玻璃基板1 5 b上形成黑色膜1 8與螢光體層1 9而成 的前面面板所構成。又，參照符號2 0，係爲了防止串音 (crosstalk)之用的間隔壁，1 6 b係電介質層。 在背面面板與前面面板之間的空隙，封入在氖氣中添 加氙氣的氣體。於如此的電漿顯示器面板，成爲本發明的 黑色膜形成方法的對象的是前面面板。 第3圖（b )顯示液晶顯示面板的構成。如第3圖（ b )所示，液晶顯示面板_ 7 0 ，係由相對方向配置的一對 透明基板17a 、17b所構成》成爲前面板的一方的透 明基板7 1 a上，被形成紅色濾光膜7 2 R、綠色濾光膜 7 2 G、藍色濾光膜7 2 B |於這些各色的濾光膜之間， 例如被形成由金屬鉻所構成的黑色膜7 3。 如此被構成的一方透明基板7 1 a上，進而被形成透 明膜7 4，於此透明膜7 4上，分別對應於紅色濾光膜7 2R、綠色濾光膜72G、藍色濾光膜72B的位置上被 形成複數的一方的顯示電極7 5。 相對方向於透明基板7 1 a的另一方的透明基板 7 1 b上，被形成直交於一方的_示電極7 5的複數另一 方顯示電極7 6 ，藉由這2類顯示電極7 5、76形成矩 陣。 液晶7 7被挾持於以上的一對透明基扳7 1 a、 7 1 b之間，構成液晶顯示面板7 0。又，此處係針對透 過型液晶顯示面板加以說明，但也可以同樣地適用於反射 ______ -11 -_ 本纸張尺度適用中國因家標準（CNS)AJ規格（210 X 297公釐） .---1 1 i * 裝 * I ------------------ (請先閱讀背面之沈意事項#填寫本頁) Α7 Β7 五、發明說明（？) 型液晶顯示面板。 (請先閱請背面之注意事項爯填寫本頁) 於如此的液晶顯示面板，成爲本發明的黑色膜形成方 法的對象的，是一方的透明基板7 1 a。 以下，雖係以相關於本發明的第1實施形態的黑色膜 形成裝置作爲對象而使用陰極射線管的面板的場合加以說 明，但是使用作爲對象之電漿顯示器面板的場合也相同。 如第1圖所示，黑色膜形成裝置，具有XY檯21 ， 於此XY檯2 1上安裝有托架2 2，於此托架2 2上以正 面內面2 a朝下的方式同時以正面外面2 b朝上的狀態被 決定位置而被配置例如正面內面2 a的黑色膜形成區域全 體被形成黑色膜3 (被塗布淺井）的面板1。 XY檯2 1的上方’配射著具有光學系2 3的的雷射 照射手段24 ’此外，於XY檯2 1的下方，被配設有作 爲吸引而回收被除去的黑色膜（淺井）的吸引回收手段之 真空裝置2 5。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 於第2圖’雷射照射手段2 4，被配設於面板1的上 方而與正面外面2 b相對方向，具備作爲構成光學系2 3 的物鏡之成像透鏡3 1 。進而，於此成像透鏡3 1的上方 ’依序配設有反射手段之作爲半反射鏡而發揮功能的二色 性反射鏡3 2，中繼透鏡3 3，作爲攝影手段的c CD攝 影機3 4 ’藉由這些手段構成黑色膜檢測手段3 5。 爲了除去黑色膜3 ’相對方向於二色性反射鏡32的 反射面3 2 a ，具備具有穿孔3 6、照準透鏡3 7、傳送 雷射光L的玻璃光纖（光纖）38等的雷射照射手段24 -12- 本紙張尺度適用中國1家標準（CNS)A·!規格（210 X 297公釐） 444233 經濟部智慧財產局員工消費合作钍印封 A7 B7 五、發明說明（ίο ) °此雷射照射手段2 4，因爲在照準透鏡3 7的後方具有 穿孔3 6的緣故，構成遠心（telecentdc)光學系2 3 »於玻 璃光纖3 8 ，入射有YAG雷射等未圖示的雷射裝置所發 出的雷射光L。 雷射加工使用Y A G : N d的連續波而藉由Q開關使 產生脈衝以進行照射的場合，以1 4英吋型面板爲例，掃 描線數約1 2 0 0條，線寬：0 · 1 m m，掃描長/ 1條： 3 0 0mm，所以總掃描長約爲3 6 0公尺。 另一方面，脈衝震盪數爲8 kH z，加工速度爲 2 4 Omm/s的場合，雷射加工的輸出約爲1 3 J / c m 2，1 4吋型面板的總加工時間約爲1 5 0 0秒。 又，根據實驗結果，雷射輸出，以9〜1 7 J/cm2較佳 〇 雷射輸出不滿9 J / c m 2的話，不容易得到所要的 B C膜，例如雷射切斷面很模糊，或者是不容易形成b C 膜。此外，雷射輸出超過1 7 J/cm2的話，過度燒切 B C膜，有成爲顯示畫面的缺陷部之虞。亦即，雷射的輸 出以9〜1 7 J/cm2爲佳。 上述的實施形態雖然係以黑色鉻作爲黑色膜而使用的 場合爲例來加以說明’但是具有碳粒子的黑色膜的場合， 其厚度通常因爲在0.5 em〜數//m的範圍被使用的緣故 ，所以雷射輸出必須要有數十倍的能量。 又’雷射光L藉由未圖示的聚焦手段在黑色膜3上聚 焦。 本紙張尺度適用中國囤家標準（CN'S)AJ規格（210x 297公釐） -13- I I I I ·1 I —1 I 11 I -------—訂------— II {請先閱讀背面之注意事項声填寫本頁) 經濟部智慧时產局員工消費合作社印說 A7 B7 五、發明說明（·1 ) 接著，面板1的正面內面2 a上要形成指定形狀的規 則的黑色膜3的圖案，首先，將正面內面2 a的黑色膜形 成區域全體被形成黑色膜3的面板1 ，以正面外面2^朝 上的狀態定位安裝於托架2 2 ，將此托架2 2安裝於XY 檯2 1。 在面板1的黑色膜3上聚焦光學系2 3的焦點，將面 板1以XY檯2 1於X方向上以一定的速度使其移動，同 時通過光學系2 3從面板1的上方對黑色膜3照射來自玻 璃纖維3 8而被照射的雷射光。 來自玻璃纖維3_8篮.被照射的雷射光丄.，係藉由照準 H3 7聚星，同時电穿孔.3五.被衆集+爲所要大小的直 徑’進而在以二色性反射鏡3 2反射的階段雖然暫時擴散 ’但是藉由成像透鏡3 1使在通過此成像透鏡3 1時，亦 即在光學系2 3的出口成爲平行光，而幾乎直進進入面板 1的內部，被照射於形成在面板1的正面內面2 a的黑色 严—’丨—^ —— — _ .... ............ Μ 3，.驗老該照射部分的黑色膜3。 面板1 ，藉由ΧΥ檯2 1的動作，移動至X方向的端 部，接著僅在Υ方向移動指定間隔，其後向X方向的反方 向移動。藉此，藉由ΧΥ檯2 1的動作將面板1依序向Υ 方向移動，同吃藉g在X方肉上往復移動，使得面板1的 舍面被掃描，以指定形狀形成規則的黑色膜3的圖案。也 就是說，例如黑色膜3 ，是條紋寬度lOOvm，條紋的 間隔爲2 0 0 程度的圖案。 此外，藉由雷射光L的照射被除去而向面板1的下方 本紙張&度適中國國家標準（CNS)A·!規格（210 X 297公釐> ,--------裝--------訂-------ί線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -14- Λ44233 經濟部智慧財產局員工消費合作社印sfi A7 B7 五、發明說明（12 ) 飛散的黑色膜除去物（淺并），藉由真空裝置2 5被吸引 回收。因此，雷射光L的照射處所可以保持淸淨化，可以 不受到黑色膜除去物的影響，正確形成黑色膜3的圖案。 而且，可以防止飛散的黑色膜除去物附著於面板1的有效 面。 如以上所述，根據本實施形態，對於被形成在面板1 的正面內〜面2 a的黑每膜形成區域全體的黑色膜3，照射 鬣射光L除去黑..色膜3的不要部分，藉此可以指定形狀形 .成規J!1的黑色膜3 -的亂案-。 因此，寒從JL那Ji透過遮. . .蔽屏曝光、顯像的方法不同 ，不只不需要太多的工程，也因爲沒有光阻劑塗布裝置、 乾燥裝置、曝光裝置，顯像裝置等裝置，所以不需要大型 '的裝置，而且也不需要氨基磺酸等藥..液，以及顯像時所使 甩_的_ A .量.蓝.亦..，.邕A鱼萸 力能.源-。亦即，與從前相比可以大幅度謀求省資源化以及 省能源化，可以正確而且容昼地歷__成黑色膜3的圖案。 又，在本實施形態，雖然是藉由移動XY檯2 1而照 射雷射光於面板1除去不要的黑色膜3，但是保持面板1 爲停止而移動雷射照射手段2 4，也可以得到同樣的作用 效果。 第4圖係相關於本發明的第2實施形態的顯示裝置的 黑色膜形成裝置的立體圖。 在此相關於第2實施形態的黑色膜形成裝置，使用複 數光學系2 3 ，將YAG : Nd雷射等雷射裝置4 1所發 -15- 本紙張尺度遠用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公蜚） ------------:!裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明C13 ) 出的雷射光L以分歧裝置4 2分歧至各光學系2 3 ，從各 光學系2 3同時照射雷射光L。 接著，對於第1圖所示的1個黑色膜形成裝置在γ方 向上以成爲一列狀配屢辑.的光._學_，.系2_3，使面板1在X 方向上持續移動，對面板1的黑色膜3從各光學系2 3照 射雷射光。根據如此的裝置，可以在短時間內形成面板i 的黑色膜3的圖案。 又，此時，有必要因應分歧數目而增大雷射的輸出。 例如，在相關於第1圖的實施形態，雷射加工機的輸出性 能爲2 0〜3 0 W，但在相關於第7圖的實施形態，必須 要有160〜240W。 第5圖，係相關於本發明的第3實施形態的黑色膜形 成裝置的立體圖。 此相關於第3實施形態的黑色膜形成裝置，使用被形 成對應於黑色膜3的圖案的未圖示的開口圖案的穿孔遮罩 5 1 ，作爲雷射照射手段2 4的光學系2 3，於雷射裝置 4 1的雷射光L的光軸上依序配置多面體型反射鏡5 2、 透鏡（ίθ透鏡）53，穿孔遮罩51而構成。 接著，由雷射裝置41所發出的雷射光L，以旋轉的 多面體反射鏡5 2反射，入射至透鏡5 3 ，在透鏡5 3的 出口成爲帶狀而照射於穿孔遮罩5 1。 .穿孔遮罩5 1，在照射雷射光L時係與面板1相對停 止的狀態，通過穿孔遮罩5 1的開口圖案的雷射光L被照 射於面板1的正面內面2Α的黑色膜3。黑色膜3的形成 本紙張又度適用中S國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公笼） -I 裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -16- 444 223 A7 ___ B7 __ 五、發明説明（14 ) 所以以陰罩板保持器3 0所支撐之陰罩板6乃沿著管 軸Z而變位至熒光屏5側，該結果電子射束之著地位置係 變位至畫面中心方向由而可抑制色純度劣化。 本例中’陰罩板保持器3 0.之傾斜剖3 6之變位回應 .1'生係固疋部3 4側商於卡合部3 5側狀地被形成，所以由 陰罩板框1 3之熱膨脹而陰罩板保持器之被壓縮時，沿著 陰罩板保持器之第1折臀線3 3 a之折彎部係，較沿著第 2折彎線3 3 b之折彎部行更大的彈性變形，使固定部 3 4沿著管軸Z而很大的變位於熒光屏側也。 上述構成之陰罩體保持器3 0乃在由傾斜部3 6之變 位回應性，被壓縮時其變形量會大致呈線形的變化。又將 第1及第2折彎線33a ，33b之傾斜角度0H施予種 種變更時，即如圖1 0中以黑點所示，陰罩板保持器3 〇 之ZMF變位量將遍及廣範圍之角度0H，隨著角度 之增加而會線形的增加。圖1 0中X點即顯示習用的陰罩 板保持器之特性者，可看出角度0H超過約30°時， Z M F變位量會相反地減少。 因此由於使用上述構成之陰罩板保持器3 0而可獲得 隨應於傾斜角度0Η之所欲之ZMF變位量。有效的可補 償起因於陰罩板框13之熱膨脹之色純度劣化也。 再說明之，藉由彈性支承體之機能之陰罩板保持器 3 0之構造，而隨應於熒光屏之種種尺寸而改變該劃定傾 斜部3 6之第1及第2折彎線3 3 a ’ 3 3 b之傾斜角度 θ Η而可以使陰罩板6以線形性地變位於管軸X方向。所 本紙張尺度遑用中a國家標準（CNS ) Α4规格（2丨· {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Λ 經濟部智慧財產局員工消费合作杜印製 Α7 Β7 五、發明說明（15 ) -------------—裝--- <請先閱讀背面之注意事項#填寫本頁) 的圖案的未圖示的開口圖案的穿孔遮罩5 1 ，以密著於黑 色膜3的狀態被安裝。又，於穿孔遮罩5 1被賦予印刷標 記（對正標記：位置基準的記號）Μ，在形成黑色膜3的 圖案的同時，於印刷標記Μ被除去黑色膜3。 於處理室6 1內的加工部6 3的下側，以加工部6 3 爲中心配設有使液體W循環的循環手段之幫浦6 5 ，同時 ，在液體W的循環路徑途中配設有作爲過濾黑色膜除去物 的回收手段之過濾器6 6。 此外，雷射照射手段24的光學系2 3 ，如第6圖（ b )所示，於雷射裝置4 1的雷射光L的光軸上，依序配 置聚光透鏡6 7、電流反射鏡（galvanomirror)6 8、6 9。 接著，黑色膜3的圖案的形成時，以使穿孔遮罩5 1 密著於面板1的正面內面2 a的狀態，而且使正面內面 2 a朝上的狀態決定位置並安裝於托架6 4，將此托架 64安裝於處理室61內的加工部63。亦即，面板1 ， 在處理室6 1的液體W中，被配置爲正面內面2 a朝上。 經濟部智慧財產局員工消費合作钍印製 使雷射裝置4 1所發出的雷射光L >透過聚光透鏡 67、電流反射鏡68、69 ，玻璃62 、液體W、穿孔 遮罩5 1的開□圖案，照射於面板1的正面內面2 a的黑 色膜3，藉此除去照射部分的黑色膜3。藉由分別使電流 反射鏡6 8、6 9微微移動，使雷射光L移動於穿孔遮罩 5 1的全面，正確地形成黑色膜3的圖案。 在形成黑色膜3的圖案時，藉由幫浦6 5使液體W循 環，使藉由雷射光L照射而被除去飛散的黑色膜除去物與 本紙張尺度適用中0國家標準（CNTS)A4規格（210 X 297公釐） 18 - A7 444 23 3 B7__ 五、發明說明（16 ) 液體w同時移動，並以被配設於液體w的循環途徑上的過 濾器6 6過濾黑色膜除去物而回收。藉此，可以使雷射光 L的照射處所常保淸淨化，可以不受到黑色膜除去物的影 響，正確地形成指定形狀之規則的黑色膜3的圖案。 此外，在穿孔遮罩5 1的黑色膜的圖案的形成同時， 除去黑色膜3使顯示出印刷標記Μ的形狀。藉此，於以後 的工程*因爲可以印刷標記作爲位置基準，所以黑色膜3 的圖案的穿孔處所與印刷標記的位置關係可以精確地決定 ，在以後的工程可以改善綠、藍、紅三色的各螢光體的塗 布、曝光以及顯像工程的位置偏移。 如此，將面板1配置於處理室6 1的液體W中，藉由 幫浦6 5使液體W循環而使黑色膜除去物與液體W同時移 動*藉由過濾器6 6回收循環的液體W中的黑色膜除去物 ，藉此可以使雷射光的照射處所常保淸淨化，可以不受到 黑色膜除去物的影響，正確地形成指定形狀之規則的黒色 膜3的圖案。 發明之效果 如以上所詳細說明的，根據本發明的顯示裝置的黑色 膜彤成方法以及裝置，對数1.形萌於里板的正面內面的黑午 V.. 色逼形成區域全體的黑._鱼膜，藉由照射雷射光除去黑色膜-的.不要部分，使以定jsm.處墨則的黑色膜圖案，所 以不.需要從前那般_透過遮1屏1悲、.顯像所霞.蒙的大型裝 置.面且與，從前..敬达..可以-謀....求-省..漬省能源化，.可. 本纸張尺度適用中S國家標準（CNTSM4規格（210 X 297公芨） ----------裝---I---—訂--I-----I (請先閱讀背面之注t事項弄填寫本頁) 經濟部智慧时產局員工消費合作钍印5λ *19- 2 3 3 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（17 ) 以正確而且容易地形成黑色膜的圖案。 此外，在同時照射複數雷射光形成黑色膜圖案的場合 ，可以在短時間內形成黑色膜的圖案。 又，具備如此而得的顯示用面板的顯示裝置，可得顯 示精度佳的影像，而且可以降低成本。 進而，透過對應於黑色膜的圖案的開口圖案的穿孔遮 罩將雷射光照射於黑色膜的場合，隨著使用的穿孔遮罩的 種類不同可以簡單地變更圖案。 進而，將面板配置於液體中，藉由液體的循環回收黑 色膜除去物的場合，可以使雷射光的照射處所常保淸淨化 ，可以不受到黑色膜除去物的影響，正確地形成指定形狀 之規則的黑色膜的圖案。 圖面之簡單說明 第1圖係顯示相關於本發明的第1實施形態的黑色膜 形成裝置之立體圖。 第2圖係顯示相關於本發明的第1實施形態的黑色膜 形成裝置的光學系構成之圖- 第3 (a)〜（b)圖係顯示被適用本發明的電漿顯示器以及 液晶顯示面板的剖面圖。 第4圖係顯示相關於本發明的第2實施形態的黑色膜 形成裝置的立體圖。 第5圖係顯示相關於本發明的第3實施形態的黑色膜 形成裝置的立體圖。 本紙張尺度適用+國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 9Π ----I----*---I J I I ^ - I I I I I I 11^. (請先閱讀背面之注意事項再"寫本頁)
五、發明說明（18 ) 第6 U)~(b)圖係顯示相關於本發明的第4實施形態的 黑色膜形成裝置的正面圖以及其光學系之一部分的平面圖 〇 第7圖係顯示相關於本發明的第4實施形態的黑色膜 形成裝置的光學系構成之圖。 第8 (a)〜（b)圖係顯示於曲面狀以及平面狀的表面部的 內面被形成黒色膜圖案的陰極射線管的面板之剖面圖。 第9 (a)~(b)圖係顯示相關於本發明的圓形以及條紋狀 的黑色膜圖案的一部分之平面圖。 請 先 閲 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 ^ · I裝 頁 第 工程順 符號說 1 2 3 1 序 明 0 U)〜（f)圖係顯示從前的黑色膜圖案的形成方法之 的剖面圖。 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 面板 a 正面（face)內面 黑色膜 1 X Y檯 2 托架（tray) 3光學系 4雷射照射手段 5真空裝置 1成像透鏡 2二色性透鏡 3中繼（relay)透鏡 4 C C D攝影機 t紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 * 297公》) 91 - I： ' Λ4Α233 五、發明說明（19 ) 3 5黑色膜檢測手段 51穿孔遮罩 6 1水槽 6 5幫浦 6 6過濾器 A7 B7 ~----—,-----裝--------訂·-------- (請先閱讀背面之;i意事項/填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 本纸張尺复適用中國固家標準（CNS)AJ規格（210x 297公釐） -22-