TW442435B - Device for conveying substrates through a substrate processing plant - Google Patents

Description

442435 五、發明説明（1.) 本發明係關於一種藉一基板處理設備以驅動基板之裝 置》 此類驅動基板，特別是CD，藉由冷卻設備及脫乾設備 之裝置早為習知。驅動時，基板位於一在環形軌道上運動 之籃内，或是在相應之環形裝置内設計之開口中^此類旋 轉輸送裝置有極大之尺寸，需要很大的驅動裝置，因而此 類習知之裝置價格極為昂贵。除此之外，運送或收回此類 具基板之旋轉輸送裝置極為困難且需極高昂之設計費用。

，1T 針對上述種類之裝置，也有人使用蝸桿軸，在軸轉動 時，位在蝸桿螺紋内之基板同時被推向前運動。不過此方 法之缺點為，在蝎桿軸及基板間有相對運動，因而會出現 磨擦，造成磨損，並導致污染。 本發明之任務係製作一種藉一基板處理設備用以驅動 基板之裝置’其避免基板在環形軌道上之旋轉運動或基板 磨損，並且設計簡單、省空間及容易操作。 經濟部中央怵率局®:工消費合作社印製 依本發明所提出之任務，乃藉一基本輸送帶，及二側 輸送帶加以解決’在側輸送帶上設有凹槽，用以垂直承載 基板。根據本發明特徵，使用三個輸送帶，則產生基板之 線性運動，且優點為，此裝置極為簡單、省空間且無磨損 。除此之外’可極易依實際需要’例如依基板大小，加以 調整。 在一依本發明所作之、特別有利之實施形式中，用以 垂直承載基板之凹槽是被設計成齒形皮帶之輸送帶之歯間 空間。此類之齒形皮帶可以極低之成本製造出。 尽紙诋尺展遘用肀冢標率（CNS > A4说格{ 2丨0X297公# > -4-

經满部中灰梂咪鈞貝-1消#合作社印W ^ 442435 五、發明説明（2·) 為使本發明之輸送裝置有調節特性，侧輸送帶至基本 輸送帶間之距離可加以變化》藉調節側輸送帶至基本輸送 帶間之距離，此裝置可應用於不同尺寸之基板。 另一較佳發明實施形式為，二側輸送帶之輸送平面與 基本輸送帶之輸送平面間之角度可加以變化。如此，在輸 送帶内用來輸送基板之支持位置可作最佳之調整。除此之 外’此裝置亦可以一些簡單之措施而適應不同之基板形狀 ’或基板尺寸，不論其為圓形或方形。在基板為方形時， 側輸送帶之輸送平面與基本輸送帶之輸送平面間之角度最 好為90° 〇 若基板為圓形時，例如CD或DVD，二側輸送帶之輸 送平面與基本輸送帶之輸送平面間之角度最好大於90。， 如此’可輕易地將基板從本發明之輸送裝置中取出或置入 ，而基板在輪送裝置内之存放仍極為安全及可靠。 輸送帶最好是藉回轉輪及驅動輪加以導引，若各輸送 帶或至少一個輸送帶，在輸送平面相對之侧，也就是在驅 動側，被設計成齒形皮帶時，此回轉輪及驅動輪最好是齒 輪。因此，將輸送帶兩面均設計為齒形皮帶是極有利的。 在一極有利之發明實施形式中，三個輸送帶中的每一 個都是在自身之輸送帶裝置中被導引，並以自身之驅動器 加以驅動。如此，各個輸送帶單元都是獨立的單元，因而 各輸送帶可對不同的基板做不同之設置，調節及定向。 在一極有利之實施形式中，各輸送帶之驅動器是相互 同步加以驅動，如此三個驅動帶不僅有相同之驅動速度， 本紙浪尺度適用中®困家橾準（CNS > A4规格< 2丨0X297公釐) (J,n 間漬斤而之t項.^:JAV':>4 打)

經洧部中央櫺率扃努工消f合作社印掣 >442 4 3 5 五、發明説明（3·) 也有一致的凹槽方向，以承載基板β除此同步控制外，三 輸送裝置或三輸送帶之驅動亦可以一共同之齒輪箱，最好 是無齒隙之齒輪箱取代，以使三驅動帶有同步之運動且使 凹槽可安全地承載基板。此截輪箱可由一與三輸送帶共同 之驅動器加以驅動。 輸送帶，或至少輸送帶與基板接觸之部分，最好是由 特殊材料組成，以防止污染，特別是由鐵弗龍或對污染不 敏感之材料，或易於清洗之材料所组成。 將基板裝入本發明裝置或三輸送帶中，或從其中取出 ，最好是以真空吸盤及/或内吸盤，其作用在例如CD之内 孔周邊。此類之吸盤非常簡單，而且可防止處理過程後基 板之污染。 本發明之輸送裝置應用在基板脫乾機或基板冷卻機特 別有利’這些機器特別是應用於CD之製造" 此處所謂之基板，是指所有圓盤狀之處理物體，也就 是說’不僅包括CD，例如影音CD，ROM-CD，可錄CD (CDR) ’數位影音光碟(DVD)，也包括用於製造半導體元件、顯示 器之光軍等β 以下藉一實施例，以圖說明本發明，各圖顯示之内容 如下： _一 脫乾設備用於本發明輸送裝置之側視圖，脫乾 設備用以將CD脫乾， 明二 圈一裝置之俯視圖， 圈三 沿圖一中截面線III-III之放大截面圖， 紙適用中國明家揉準（_規格（脈.2^ {邛"閱硪疗而之·;ί·4^.,αήίΑ(:,,)本 Κ ) .-1·

*1T Γ 442435 Μ滴部中央梂準局：β：工消费合作社印掣 Λ7 H7 五、發明説明（4·) 圖四 沿圖一中截面線IV-IV之放大截面囷。 如圖所示，本發明裝置有一具基本輸送帶2之第一輸 送帶裝置1、一具側輸送帶4之第二輸送帶裝置3，及一具 另一側輸送帶6之第三輸送裝置5。輸送帶2、4、6為承載 基板7’在所有輸送帶上設計有凹槽或齒形皮帶之齒間空間 。特別是從圖一及四可明顯看出，輸送帶2、4、6之驅動 是藉一共同之驅動裝置8，其經一驅動帶9驅動齒輪箱1〇 ，然後又使三輸送帶2'4'6同步運動。 在所顯示之用於基板脫乾之本發明運動裝置實施形式 中’有一吹氣裝置11設置在運動裝置整個長度大部分範圍 内，藉此，被吹氣裝置加熱之、或從外輸入加熱之空氣吹 在位於輸送帶2、4、6上之、以連續或步進方式輸送之基 板7上’以將之脫乾。使用過之脫乾空氣被引出脫乾區域 ，並導入出口開口 11、12内。 以上藉一較佳實施例說明了本發明。專業人士可作出 各種變化及設計’但均不背離本發明構想。例如，輸送帶 單元1、3、5可各自獨立加以設計，使之相互間可改變位 置，以使同一輸送裝置應用於不同之基板7上。在所示之 實施例中，基板7是圓形的，且側輸送帶4、6與基本輸送 帶2之輸送平面間有一大於90°之角度，以使基板7固持 在基板圓盤下半部之三個支持位置上。對較大之圓形基板7 ，只需將側輸送帶單元3、5向外偏置，必要時改變側輸送 帶單元對基本輸送帶2之角度，以獲得最佳之基板支撐。 若基板為長方形或正方形時，則將側輸送帶裝置如此設置 < 閱;*斤而之大)

本紙张疋度適用中國國家榡準（CNS > Λ4現格（2I0X29T公《 ) 颇漪部中夫標率局貝工消貧合作社印¾ Γ 442435_____ 五、發明説明（5.) 或旋轉，以使側輸送帶4、6與基本輸送帶2之輸送平面呈 垂直。 本紙张尺度通用中®國家標牟（CMS ) M«L格（2ΪΟΧ297公> --------------------ή------tH t^lly^开而之;i-vvfJn4JA.;;i·本 π }

Claims (1)

1. ^42435a| C8 _ D8 六、申請專利範圍 利案申諸鼻利簌岡倏ΐί太 1. —種藉一基板處理設備（11)以驅動基板（7)之裝置 ’有一基本輸送帶（2)及二側輸送帶（4、6)，各輸 送帶上均有與運輸方向垂直之凹槽，以垂直承載基板（ 7) ’其特徵為’侧輸送帶（4、6)間之距離及/或至基 本輸送帶（2)間之距離可加以變化，及至少一個側輸 送帶（4、6)之輸送平面與基本輸送帶（2)之輸送平 面間之角度可加以變化。 2. 根據申請專利範圍第丨項所述之裝置，其特徵為，凹槽 是設計成齒形皮帶輸送帶（2、4、6)之齒間空間。 3·根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，二侧 輸送帶（4、6)之輸送平面與基本輸送帶（2)之輸送 平面間之角度大於9〇。。 4_根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，各輸 送帶是由回轉輪及驅動輪，或回轉及驅動輥加以導引。 5. 根據申請專利範圍第1項所述之裝置，其特徵為，各輸 送帶（2、4、6)在自身之輸送帶單元（1、3、5)内被 導引’而且以自身之驅動器加以驅動。 6. 根據申請專利範圍第5項所述之裝置，其特徵為，三輸 送帶單元（2、4、6)之驅動乃相互同步控制。 7. 根據申請專利範圍第5項所述之裝置，其特徵為，三輸 送帶單元（1 ' 3、5)之驅動器是經一共同之齒輪箱（ 1〇)而相互聯接。 根據申請專利範園第1項所述之裝置’其特徵為，輸送 (請先《讀背面之注意事項再填寫本頁) ---— — — —^7-------1藝妙 經濟部智慧財產局負工消费合作社印製

   4 4 2 4 3 5 &8 ____ gg___— 、申請專利範圍 帶（2、4、6)至少在與基板（7)相接觸之部分是由鐵 弗龍組成。 9.根據申請專利範圍第I項所述之裝置，其特徵為，至少 設有一真空吸盤，以進行基板（7)之裝入及/或取出。 10，根據申請專利範圍第丨項所述之裝置，其特徵為，至少 設有_内吸盤，以進行基板（7)之襞入及/或取出。 n.根據申請專利範圍第1項至第10項中任-項所述之裝 置，其特徵為，此基板處理設備是—基板脫乾機或一基 板冷卻機（11、12、13)。 I I I J--Ί^ΙΊ —--訂1!_線〆 (請先閲讀背面之注意事項再填窝本頁) 經濟部智慧財產局貝工消费合作社印製 適 度 尺 張 紙 本 NS) (C 揉 家 10 (2 #( 规 公