KR20010005923A - 기판 처리 설비를 통한 기판 운반용 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 처리용 설비(11)를 통한 가능한한 간단하고 플렉시블한 기판(7) 운반용 장치를 얻기 위해, 상기 장치는 베이스 운반 벨트(2)와 2개의 측면 운반 벨트(4, 6)를 가지는데, 모두 직립 위치로 기판(7)을 고정하기 위한 노치를 구비한다.

Description

기판 처리 설비를 통한 기판 운반용 장치 {DEVICE FOR CONVEYING SUBSTRATES THROUGH A SUBSTRATE PROCESSING PLANT}
냉각 및 건조 장치를 통해 기판, 특히 CD를 이동시키기 위한 장치류가 공지되어 있다. 기판은 원형 경로로 이동하는 바스켓 또는 원형 장치내에 제공되는 슬롯내에 배치된다. 그러나, 회전식 운반 장치는 큰 부피를 가져서 큰 크기의 구동 장치를 필요로 하며, 그러므로 이런 공지된 장치는 비싸다. 더욱이, 회전식 운반 장치로의 기판 로딩 또는 제거는 어렵고 높은 구성적인 비용을 요구한다.
언급한 종류의 장치를 위해 회전하여 운반 경로에 배치된 기판을 향해 이동하는 스크류 컨베이어의 사용이 공지되어 있다. 그러나, 이것은 스크류 컨베이어와 기판 사이의 상대적인 이동이 발생하여, 미립자가 벗겨지도록 하는 마찰력을 발생시켜 오염을 초래할 수 있다는 단점을 가진다.
본 발명이 기초하고 있는 DE 43 41 634 A1에는 기판 처리 장치에서 디스크형 기판을 운반하기 위한 장치가 공지되어 있는데, 기판이 처리 장치를 통해 운반될 수 있는 3개의 톱니형 벨트가 제공된다. 그러나, 상기 장치는 단일 기판 형태와 크기에 대해서만 설계되고 다른 기판 크기와 같은 다른 사양에 적용될 수 없다.
US 4,947,784에는 제1 웨이퍼 고정 장치(웨이퍼 카세트)로부터 제2 웨이퍼 고정 장치(웨이퍼 보트)로 웨이퍼를 운반하기 위한 장치가 공지되어 있다. 이런 소위 웨이퍼용 핸들링 장치는 처리 장치를 통해 웨이퍼를 운반하도록 설계되지 않았으며 이런 목적을 위해 적당하지도 않다.
DE 195 30 858 C1에는 웨이퍼가 흡착 플레이트에 의해 운반되는 핸들링 장치가 공지되어 있다. DE 195 29 945 A1의 핸들링 장치는 내부 그리핑 장치에 의해 편평한 기판의 그리핑 및 고정을 구현하며, 그리핑 장치는 내부 홀의 에지에 지지되는 그리핑 장치로 기판의 내부에 제공되는 홀에 맞물린다.
본 발명은 기판 처리 장비를 통한 기판 운반용 장치에 관한 것이다.
도 1은 CD 건조용 건조 장치를 위한 새로운 운반 장치의 측면도.
도 2는 도 1에 따른 장치의 평면도.
도 3은 도 1의 절단선 Ⅲ-Ⅲ에 따른 확대도.
도 4는 도 1에 도시된 절단선 Ⅳ-Ⅳ에 따른 확대도.
본 발명의 목적은 예를 들어 다른 기판 크기와 같은 다른 사양에 대한 장치 사용이 간단한 방식으로 가능하도록 DE 43 41 634 A1에 공지된 장치를 개선시키는 것이다.
상기 목적은 청구항 1의 특징부에 의해 해결된다. 서로 및/또는 베이스 운반 벨트에 관련한 측면 운반 벨트의 조절가능한 간격을 제공함으로써, 개별 사양, 특히 다른 기판 크기에 대한 장치 사용 뿐만 아니라 신뢰할 수 있는 기판의 고정 및 운반을 위해 요구되는 간격의 재조정이 간단한 방식으로 가능하다.
본 발명의 다른 바람직한 실시예는 2개의 측면 운반 벨트의 운반 평면과 베이스 운반 벨트의 운반 평면 사이의 각도가 변경될 수 있다는 것이다. 이런 식으로, 운반 벨트상에 운반되는 기판의 지지 위치에 대한 최적의 조절이 가능하다. 더욱이, 또한 둥글거나 또는 직사각형 형태가 되는 다른 기판 형태 또는 기판 크기에 간단한 방법으로 상기 장치를 사용할 수 있다. 직사각형 기판을 위해, 측면 운반 벨트의 운반 평면과 베이스 운반 벨트의 운반 평면 사이의 각도는 바람직하게 90°이다.
따라서 본 발명의 목적은 원형 경로상에서의 기판의 회전형 이동으로 기판 처리 장치를 통해 기판을 이동시키거나 또는 기판 마모가 방지될 수 있는 장치를 제공하는 것이고, 구성적으로 간단하고 공간 절약적이며 쉽게 조종되는 장치가 가능하다.
상기 목적은 각각 기판에 대한 수직 수용 기능을 위한 컷아웃을 가지는 베이스 운반 벨트와 2개의 측면 운반 벨트에 의해 해결된다. 예를 들어 3개의 운반 벨트를 사용하는 새로운 특징 때문에, 기판의 선형 이동은 상기 장치가 매우 간단하고, 공간 절약적이고 마모가 없으며, 더욱이 기판 크기와 같은 개별 요구사항에 대해 쉽게 조절될 수 있다는 장점을 가져온다.
본 발명의 특히 유리한 실시예에 따르면, 기판을 수직으로 수용하기 위한 컷아웃은 톱니형 벨트의 형태로 제공되는 운반 벨트에 있는 톱니형 중간 공간으로서 구현된다. 상기 톱니형 벨트는 값싸게 제조될 수 있다.
새로운 운반 장치의 사용을 위해 베이스 벨트에 대한 측면 운반 벨트의 공간은 변경될 수 있다. 베이스 벨트에 대해 측면 운반 벨트를 조절함으로써, 다른 기판 크기에 대한 상기 장치의 사용이 간단한 방식으로 가능하다.
예를 들어, CD 또는 DVD와 같은 둥근 기판의 경우에, 특히 2개의 측면 운반 벨트의 운반 평면이 베이스 운반 벨트의 운반 평면에 대해 90°이상의 각도를 가질 때 유리하다. 이것은 새로운 운반 장치로의 용이한 기판 삽입 및 새로운 운반 장치로부터의 용이한 기판 제거를 허용하며, 운반 장치에서의 기판 지지 기능이 안전하고 확실하다.
운반 벨트는 바람직하게 가이드 도르레 및 운반 표면으로부터 멀리 마주보는 측면에 있는 운반 벨트 또는 운반 벨트중 적어도 하나, 예를 들어 그것의 구동측이 톱니형 벨트로서 구현될 때 기어 휠로서 구현되는 구동 휠의 주위로 안내된다. 따라서 양쪽에서의 운반 벨트의 톱니형 설계는 매우 유리하다.
본 발명의 또다른 유리한 실시예는 3개의 운반 벨트가 각각 자체 운반 벨트 장치내로 안내되고 자체 드라이브 유니트에 의해 구동된다는 것이다. 이런 방식으로, 개별 운반 벨트 장치는 개별 유니트가 되어 다른 기판에 대한 운반 벨트의 배치, 사용 및 정렬이 가능하다.
3개의 운반 벨트의 구동 유니트가 서로 동시에 협동하도록 하는 것이 유리하다. 이것은 모든 3개의 운반 벨트에 대한 균일한 구동 속도 뿐만 아니라 기판 수용을 위한 컷아웃의 동시 정렬을 초래한다. 이런 동시 제어 대신에, 또한 3개의 구동 벨트, 이들의 기판 수용을 위한 컷아웃의 동시 이동을 보장하기 위해 각각 3개의 운반 벨트가 움직임없는 기어 박스와 같은 공통 기어 박스를 갖는 3개의 운반 장치의 드라이브를 제공하는 것이 가능하다. 또한 기어 박스는 모든 3개의 운반 벨트에 공통인 드라이브에 의해 구동될 수 있다.
기판과 접촉하는 운반 벨트 또는 운반 벨트중 적어도 일부는 바람직하게 용이하게 세정될 수 있는, 오염을 방지하는 테프론과 같은 특별한 재료 또는 오염에 민감하지않은 어떤 재료로 구성된다.
새로운 운반 장치, 3개의 운반 벨트 각각의 기판 로딩 및/또는 언로딩은 바람직하게 예를 들어 CD의 내부 홀의 에지에 맞물리는 흡착 그리퍼 및/또는 내부 그리퍼로 수행된다. 이런 그리핑 장치는 간단하며, 처리 공정후 기판의 수반하는 오염을 방지한다.
새로운 운반 장치는 특히 CD 제조에 사용되는 기판 건조 장치 또는 냉각 장치와 관련하여 유리하다.
상기 용어 '기판'은 오디오 CD, ROM-CD, 소위 기록가능한 CD(RCD), 디지털 비디오 디스크(DVD) 등을 포함하는 CD 뿐만 아니라 반도체 부품, 디스플레이 유니트 등을 제조하기 위한 마스크와 같은 모든 디스크형 처리 대상물을 포함하는 것이다.
이제 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예가 더욱 상세히 설명될 것이다.
도면에 도시된 바와 같이, 새로운 장치는 베이스 운반 벨트(2)를 갖는 제1 운반 벨트 장치(1), 측면 운반 벨트(4)를 포함하는 제2 운반 벨트 장치(3) 및 측면 운반 벨트(6)를 가지는 제3 운반 벨트 장치를 포함한다. 상기 운반 벨트(2, 4, 6)는 각각 기판(7)을 수용하기 위한 톱니형 벨트의 톱니 사이의 중간 공간인 컷아웃을 가진다. 상기 컷아웃 또는 중간 공간은 모든 3개의 운반 벨트에 제공된다. 특히 도 1과 도 4에서 알 수 있는 바와 같이, 운반 벨트(2, 4, 6)의 드라이브는 3개의 운반 벨트(2, 4, 6)를 동시에 이동시키기 위한 구동 벨트(9)와 기어 박스(10)에 의해 구동되는 공통 구동 유니트(8)에 의해 구현된다.
기판 건조용 새로운 운반 장치의 제시된 실시예에서, 이동 방향의 대부분의 길이에 걸쳐 연장하는 블로워(11)가 제공되는데, 상기 블로워로 블로워(11)에 의해 가열된 공기 또는 외부로부터 들어오는 이미 가열된 공기가 운반 벨트(2, 4, 6) 또는 계단식으로 운반되는 기판(7) 위에 연속적으로 블로잉된다. 소모된 건조용 공기는 건조용 하우징으로부터 출구 개구부(11, 12)로 안내된다.
본 발명은 바람직한 실시예의 보조로 설명되었다. 그러나, 당해 기술분야의 숙련자들에게는 다수의 변형 및 설계가 본 발명의 사상을 벗어나지않고 가능하다는 것이 명백할 것이다. 예를 들면, 상기 운반 벨트 장치(1, 3, 5)는 서로 독립적으로 구현될 수 있어, 이들이 다른 기판(7)을 운반하기 위해 사용될 수 있도록 서로와 관련하여 이들의 위치가 변경될 수 있다. 제시된 실시예에서, 상기 기판(7)은 둥글고 측면 운반 벨트(4, 6)는 운반 벨트(2)에 대해 90°이상의 각도를 가지며, 그결과 상기 기판(7)은 기판 디스크의 하부 절반의 3개 위치에 안전하게 고정된다. 더 큰 둥근 기판(7)을 위해, 상기 측면 운반 벨트 장치(3, 5)는 더 멀리 외향으로 간단히 이동될 수 있고, 선택적으로 베이스 벨트(2)에 관련한 측면 운반 벨트 장치의 각도가 가능한한 최적으로 기판의 지지 기능을 보장하도록 변경된다. 정사각형 또는 직사각형 기판의 경우에, 상기 측면 운반 벨트 장치는 측면 벨트(4, 6)가 베이스 운반 벨트(2)의 운반 평면에 수직으로 연장되도록 배치 또는 피봇팅된다.

Claims (12)

  1. 베이스 운반 벨트(2)와 2개의 측면 운반 벨트(4, 6)를 포함하고, 기판(7)을 수직으로 수용하기 위한 컷아웃을 포함하는 기판 처리 장치(11)를 통해 기판(7)을 운반하기 위한 장치에 있어서,
    상기 측면 운반 벨트(4, 6)의 간격이 서로 및/또는 베이스 운반 벨트(2)와 관련하여 변경될 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 적어도 하나의 측면 운반 벨트(4, 6)의 운반 평면과 베이스 운반 벨트(2)의 운반 평면 사이의 각도는 변경될 수 있는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 컷아웃은 톱니형 벨트로서 구현되는 운반 벨트(2, 4, 6)의 중간 공간이 되는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 장치.
  4. 제 1항 내지 제 3항중 어느 한항에 있어서, 상기 2개의 운반 벨트(4, 6)의 운반 평면은 상기 베이스 운반 벨트(2)의 운반 평면에 대해 90°이상이 되는 각도를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 장치.
  5. 제 1항 내지 제 4항중 어느 한항에 있어서, 상기 운반 벨트는 각각 가이드와 구동 휠 또는 롤러 근처로 안내되는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 장치.
  6. 제 1항 내지 제 5항중 어느 한항에 있어서, 상기 3개의 운반 벨트(2, 4, 6)는 각각 그것의 자체 운반 벨트 유니트(1, 3, 5)내로 안내되고 그것의 자체 드라이브 유니트에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 장치.
  7. 제 6항에 잇어서, 상기 3개의 운반 벨트 유니트(2, 4, 6)의 드라이브는 동시에 제어되는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 장치.
  8. 제 6항에 있어서, 상기 3개의 운반 벨트 유니트(1, 3,5)의 드라이브는 공통 기어 박스(10)에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 장치.
  9. 제 1항 내지 제 8항중 어느 한항에 있어서, 상기 기판(7)과 접촉하게 되는 운반 벨트(2, 4, 6)의 적어도 일부는 테프론으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 장치.
  10. 제 1항 내지 제 9항중 어느 한항에 있어서, 상기 기판(7)의 로딩 및/또는 언로딩을 위해 적어도 하나의 흡착 그리핑 장치가 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 장치.
  11. 제 1항 내지 제 10항중 어느 한항에 있어서, 상기 기판(7)의 로딩 및/또는 언로딩을 위해 적어도 하나의 내부 그리핑 장치가 제공되는 것을 특징으로 하는 기판 운반용 장치.
  12. 제 1항 내지 제 11항중 어느 한항에 있어서, 상기 기판 처리 장치는 기판 건조용 장치 또는 기판 냉각용 장치(11, 12, 13)인 것을 특징으로 하는 기판 운반용 장치.
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