JPH0473946A

JPH0473946A - 基板移載装置

Info

Publication number: JPH0473946A
Application number: JP18829490A
Authority: JP
Inventors: Takashi Tanahashi; 隆司棚橋
Original assignee: Tokyo Electron Sagami Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Sagami Ltd
Priority date: 1990-07-16
Filing date: 1990-07-16
Publication date: 1992-03-09
Anticipated expiration: 2014-02-17
Also published as: JP2857233B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明はベルト駆動方式の基板移載装置に関する。

（従来の技術）従来から、例えば半導体製造では各種の工程で半導体ウ
ェハの搬送が必要となり、その搬送の一形式としてベル
トを用いるものがある。

第３図には、熱処理工程における縦型熱処理装置で用い
られる移載装置の構成が示されており、筐体１０の上部
には５枚の基板支持アーム１２ａ〜１２ｅがアーム支持
体１３にて支持されて配設されている。この基板支持ア
ーム１２の上面に、図示されていないがウェハが載せら
れる。

そして、筐体１０の内部の図の左端には駆動用のモータ
１５が配設され、このモータ１５に接続されたプーリ（
ホイール）１８ａと右端に設けられたプーリ１８ｂとの
間にはタイミングベルト２０が掛は渡されており、この
タイミングベルト２０に前記アーム支持体１４が接続さ
れている。

従って、モータ１５が駆動してタイミングベルト２０を
往復運動させることにより、基板支持アーム１２を図の
左右方向に移動させることができ、これによって基板支
持アーム１２に載置されているウェハを所定の場所に搬
送することができる。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、前記従来の基板移載装置では、プーリと
ベルトとの接触により塵が発生し、これか基板支持アー
ム１２に載置されているウェハに悪影響を及ぼすという
問題があった。この問題は、半導体素子の高密度化に伴
い緻密な処理が要求される場合はど深刻であり、この程
度の塵埃の付着により歩留まりが低下してしまうからで
ある。

すなわち、第４図にはプーリ１８とタイミングベルト２
０の接触状態が示されているが、このタイミングベルト
２０はベルト移動を確実にするために凹凸が形成されて
おり、このためにプーリ１８との噛み合い時に摩擦によ
って塵埃が発生する。そして、アーム支持部材１４が筐
体１０の上面の隙間を往復する際に、一種のポンプ作用
により前記塵埃が筐体１０の隙間から外部に吹き出され
、ウェハに付着することになる。

このことは、タイミングベルト２０以外の一般に用いら
れる平ベルトとプーリとの関係においても同様に起り、
半導体製造の妨げとなる塵埃は除去されなければならな
い。

本発明は前記問題点に鑑みてなされたものであり、その
目的は、プーリとベルトとの接触により発生する塵埃を
良好に除去することのできる基板移載装置を提供するこ
とにある。

Ｃ発明の構成］（課題を解決するだめの手段）前記目的を達成するために、本発明は、モータの回転駆
動力をプーリを介してベルトに伝達し、このベルトに接
続されている基板支持アームを移動させて各種基板を所
定の位置に搬送する基板移載装置において、上記プーリ
の回転に従い上記ベルトがプーリより離れ姶める位置近
傍に吸引管の吸引口を配設し、この吸引管から塵埃を除
去することを特徴とする。

（作　用）前記構成によれば、モータに接続されたプーリによりベ
ルトが回転駆動される際に、ブーりとベルトが接触する
際の摩擦により小さな屑や塵などの塵埃が生じることに
なり、ブーりの回転に従い上記ベルトがプーリより離れ
姶める位置にて塵埃が外部に飛散することになる。これ
らの塵埃は吸引管から直ちに吸引され、回収されること
になる。従って、基板支持アーム上に載置されているウ
ェハに僅かな塵埃も付着させることがない。

（実施例）以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

第１図及び第２図には、実施例に係る基板移載装置の構
成が示されており、この基板移載装置は縦型熱処理装置
に用いられるものである。

図において、移載装置１の筐体１０の上方には、アルミ
ナ等からなる５つの受渡部材としての基板支持アーム１
２ａ〜１２ｅが備えられ、それぞれ１枚ずつ計５枚の水
平状態の半導体ウェハを支持可能となっており、前記基
板支持アーム１２ａ〜１２ｅは受渡部である処理用ウェ
ハボート等のウェハピッチに応じて上下方向に所定の間
隔で設けられている。

この基板支持アーム１２ａ〜１２ｅは、その端部におい
てそれぞれアーム支持体１４ａ〜１４ｅで支持されてお
り、図の「方向に沿って前進、後退の移動が可能であり
、第２図に示されるように、各アーム支持体１４８〜１
４ｅは、基板支持アーム１２ａ〜１２ｅの進退の際に各
アーム及びアーム支持体が干渉しないような位置に配置
される。

そして、各アーム支持体１４ａ〜１４ｅの他端側は、前
記筐体１０内部に配設され、筐体１０内部に設けられて
いるガイドレール１６に案内されている。

また、筐体１０の内部には、駆動プーリ（ホイール）２
２ａ及び従動プーリ２２ｂが所定の間隔を隔て配置され
、この駆動プーリ２２ａと従動プーリ２２ｂとの間にベ
ルト２４が掛は渡されている。このベルト２４およびプ
ーリ２２ａ、２２ｂは、実施例では第４図で示されるよ
うにそれぞれタイミングベルト及゛び溝付きプーリとな
っている。

前記駆動プーリ２２ａにはモータ２６が接続され、この
モータ２６を正逆回転させることにより、ベルト２４を
正転及び逆転の駆動を可能としている。

そして、前記ベルト２４の上面には駆動プレート３０が
設けられ、この駆動プレート３０と前記各アーム支持体
１４ａ〜１４ｅの下端位置とを、それぞれ独立して機械
的に接続し、あるいは解除するために、それぞれクラッ
チ３２ａ〜３２ｅか取り付けられている。従って、実施
例の移載装置によれば、基板支持アーム１２ａ〜１２ｅ
の全てを同時に移動させるだけでなく、任意の基板支持
アーム１２を移動させることができる。

このような移載装置において、実施例では、前前記駆動
プーリ２２ａ及び従動プーリ２２ｂとベルト２４との発
塵部例えば巻き付き領域の終端にツブ部）２３８〜２３
ｄ近傍の４箇所に、先端を吸引口とする吸引チューブ３
４を設け、この吸引チューブ３４には真空引きする吸引
装置３６例えば真空ポンプを接続する。チューブ３４の
先端はベルト２４の幅または幅量上の偏平状吸引口にし
てもよい。

実施例は以上の構成からなり、以下にその作用を説明す
る。

例えば、基板支持アーム１２ａを駆動させる場合は、ク
ラッチ３２ａにてアーム支持体１４ａをベルト２４に接
続し、モータ２６のオンの動作により駆動プーリ２２ａ
を回転させてベルト２４を前進及び後退させることによ
り、ウェハを所定の位置に移載させる。

このとき、駆動プーリ２２ａ及び従動プーリ２２ｂはベ
ルト２４との摩擦接触により僅かな塵埃を発生されるこ
とになる。例えば、第１図の駆動プーリ２２ａが反時計
方向に回転駆動する場合には、この塵埃はベルト２４が
プーリ２２ａまたは２２ｂより離れ姶める位置である上
側のニップ部２３ａ、２３ｃにて外部に飛散することに
なる。

ところか、このニップ部２３ａ、２３ｃ近傍には吸引チ
ューブ３４の吸引口が開口しており、かつ、吸引チュー
ブ３４は吸引装置３６によって吸引状態となっているの
で、飛散する塵埃を直ちに吸弓チューブ３４内に吸引で
きる。したがって、筐体１０の上部隙間から筐体外部に
漏れることがない。

また、駆動プーリ２２ａが逆回転駆動される場合には、
ベルト２４がプーリ２２ａ、２２ｂより離れ姶める側の
ニップ部は、下側のニップ部２３ｂ、２３ｄとなるので
、本実施例では４か所の全てのニップ部２３ａ〜２３ｄ
近傍に吸引チューブ３４の吸引口を開口するように配置
している。

このように、前記吸引チューブ３４をプーリ２２とベル
ト２４との接触部分に配設することにより、塵埃の除去
効率を上げると共に、吸引装置の小型化を図っている。

すなわち、吸引チューブを筐体１０内の全体の空気を吸
い出すように他の場所に設けることもできるが、これで
は塵埃の回収効率が低下するし、吸引能力を高くするこ
とが必要となり、これらの欠点は、本発明の構成により
解決される。

上記実施例では被移載体について半導体ウェハの例につ
いて説明したが、基板であれば何れでもよく、例えばＬ
ＣＤ基板でもよい。

［発明の効果］以上説明したように、本発明によれば、ベルトとプーリ
とのニップ部近傍に吸引管の吸引口か開口するように配
設し、この吸引管から塵埃を除去するようにしたので、
プーリとベルトとの接触により発生する塵埃を良好に除
去することが可能となり、塵埃が処理ウェハ上に付着す
ることを防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る基板移載装置の構成を示
す一部断面図（アーム部は第２図のＩ−■断面図）、第
２図は第１図の側面の一部断面図、第３図は従来装置の
構成を示す一部断面図、第４図はタイミングベルトとプ
ーリを示す概略正面図である。１・・・移載装置、　　１０・・・筐体、１２・・・基
板支持アーム、１３．１４・・・アーム支持体、１８ａ、２０ａ・・駆動プーリ、１８ｂ、２２ｂ・・・従動プーリ、２０．２４・・・ベルト、１５．２６・・・モータ、３
２・・・クラッチ、　３４・・・吸引チューブ、３６・
・・吸引装置。代理人　弁理士　井　　上　　　−（他１名）第図第図第図第図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）モータの回転駆動力をプーリを介してベルトに伝
達し、このベルトに接続されている基板支持アームを移
動させて基板を所定の位置に搬送する基板移載装置にお
いて、上記プーリの回転に従い上記ベルトがプーリより離れ姶
める位置近傍に吸引管の吸引口を配設したことを特徴と
する基板移載装置。