TW440757B - Flow controller - Google Patents

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44-07 5*7 A7 B7 五、發明說明（ί ) 背景 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) &半導體製造時，光阻液必須精確地分配並且沉積在被處 s晶圓上。在光阻應用傳統裝置中，待加工之晶圓被置於適 胃之噴嘴下方，然後被施以預定量之光阻液，塗在晶圓上。 ~般上，晶圓隨後被轉動而使沉積之液體平均地分散在晶圖 整個表面上。很明顯地，施液速率以及所施液量在此程序中 具關鍵要素。 當液流在通過噴嘴時停止，如在晶圓處理之間，噴嘴處之 光阻液水滴會存在有電位，並且落到噴嘴下方之晶圓上。這 會破壞在晶圓上的圖形，則晶圓必須捨棄或再加工。 爲了避免在噴嘴處形成有害之液滴，通常使用外部之止/吸 回閥。此種閥一般爲成對雙氣動控制閥，其中一個閥止住液 體流到噴嘴，另一個閥從分配端或噴嘴出口端將液體拉回。 此不僅阻止液滴在出口形成及滴下，而且可防止易導致噴嘴 阻塞之液體暴露表面之乾涸，並且減少在出口處流體汙染。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 每一個這些止/吸回閥打開或關閉之速率會以不同方式影響 流體。若止閥打開或關閉太快’流體柱會”吐出”流體液滴到 晶圓上，負面地改變了塗層厚度。若吸回閥改變太快，流體 柱會有空泡效應，造成了流體柱中之氣泡形成，再度有害地 改變了晶圓上之塗層厚度。 解決此問題之一個嘗試，爲使用針閥與氣動輸入及排氣管 線串聯。針閥提供了閥處壓力改變之調整。但是，此控制閥 的方法有許多困難之處。例如’控制氣體之淸潔度是一個問 ^紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） A7 B7 五、發明說明（z ) 題，如閥座上髒物之收集一樣是問題。同樣地’任何進入壓 力之變化會減低此嘗試之可靠性’因爲會造成機械振動之故* 經常地，任何這些前述之缺點會改變閥之性能。結果’分配 液體必須周期性地監視並且施以人工調整° 較大晶圓之塗層（如300公厘直徑或更大）亦是很多問題’ 如亂流問題即是。晶圓之轉速傳統上被用來使塗液從晶圓中 心，徑向地向外擴散到晶圓之邊緣。但是，此種方法造成了 空氣流通過晶圓之亂流，會造成不平均或是不均勻之塗層 減少大晶圓之轉速會減低在晶圓表面之亂流’但是會引進新 的問題。流體速度降低時，其通過晶圓之速度變慢，故在流 體乾涸之前使流體擴散到晶圓邊緣成爲問題。 故期望提供一種止/吸回閥系統，它能使流體精密地且可重 現地分配，而不會有上述缺點。除此之外，本發明對任何氣 動式流體控制裝置有較寬廣的應用，尤其須要較精密流體控 制之處。 另外亦期待可提供控制系統使較大晶圓之基材上有多個分 配點以減少或消除較大晶圓加工時產生的亂流問題，並且在 晶圓上提供均勻的塗層。 發明之扼要說明 先前技術之問題已被本發明克服，它提供了一種控制系統1 用來監視（最好爲數位式）及/或控制到氣動負荷之壓力，如止/ 吸回閥。壓力在通到氣動負荷之氣動流體輸入管線中被感測， 並且密閉迴路控制被用來使壓力保持在一定之水準。壓力可 -4 - 本紙張尺度適用中國國家標準<CNS)A4規格（2]0 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝----------訂----——•轉 經濟部智慧財產局員工消費合作社印¥衣 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 44 5 7 A? _____B7_五、發明說明（3 ) 連續地被監視，並且閥被調整以獲得所要結果。控制系統對 廣範圍黏滯係數上有應用性，它可正確且重複地以最少操作 員來塗佈流體。 在另一實施例中，控制系統被用來確保在多點塗佈裝置中 有相等之塗佈量。故，壓力在每一個與各噴嘴相通之閥下游 處被感測。任何壓力差異即指示通過噴嘴有不均等之塗佈速 率，並且隨即被適當閥調整所補償過來。 在本發明另一實施例中，多施佈點被用來使塗液同時地或 順序地被塗佈到基材上。此可減少在較大晶圓上所須之塗佈 時間，因爲在沿著基材表面上不同點塗佈可由使用者控制》 圖式之簡單說明 第1圖是本發明萬用外部SS閥控制系統之示意圖； 第2圖是本發明控制系統之示意圖，顯示處理器之細節； 第3圖是本發明數位止/吸回控制器定時之示意圖； 第4圖是本發明另一實施例控制器定時之示意圖； 第5圖是本發明多施佈點實施例之示意圖； 第6圖是一個實施例之示意圖，其中施佈液體是由重力所 驅動 較佳實施例之詳細設明 參照第1及2圖，其中顯示有本發明較佳實施例之控制系 統。如傳統止/吸回閥1〇之流體控制裝置有液體入口管線12, 以及液體出口管線13。液體出口管線與噴嘴或其他塗佈裝置 i土流體相通，以使液體最終被塗佈到使用點，如晶圓之類的 — — — — — — — — — — — 裝· 111 卜家 11 訂· — — — lil — ·^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙m尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2ί0 x 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 A A 6 A7 _B7___ 五、發明說明（斗） 基材。一對流量限制器如具有壓力供給管線的蟪媳f 20,21 由氣動管線被連到止/吸回閥10。一個流量限制器被連到閥之 止部，而另一個部份連到獨立於閥之吸回部。壓力在每—流 量限制器，如傳統壓力轉換器24，25之氣動流體出口處被感 測。每一壓力轉換器24，25與一排出口 1 9和電腦處理器或 控制電路30相連，如具有比例式，積分及微分（pid)回授零 件以及一遠方壓力輸入16之控制器，如第2圖所示。因爲每 一壓力轉換器24，25在其個別氣動流體管線（配有個別棑出 孔15)中取樣壓力，並將取樣資料傳遞到控制器30。控制器30 比較了取樣壓力與預定値，並且因而作用了流量限制器使入 口管線進給到止/吸回閥10。此可確保個別氣動流體管線中之 壓力獨立地保持常數，或者保持在所要値》 以控制閥之壓力，許多流體塗佈參數可被控制。例如，當 液體是低黏滯係數液體時，止閥可使用壓力小心地調整，以 確保液體均勻地被塗佈。同樣地>液體塗佈速率可被控制成， 同於液體從塗佈點由吸回閥所吸回之速率。一旦被使用之特 定閥壓力與體積關係特徵決定後，使用本發明之系統可獲得 無限彈性。事實上，施佈壓力可做爲塗佈品質之良好指標（即’ 均勻性），但是，”理想”的塗佈壓力曲線在所有應用中不存在， 並且也不存在所有閥中。本發明之控制系統使程序工程師可 調整塗佈壓力，一旦閥之特徵爲已知之後，可達到特別程序 應用之”理想曲線”。 控制電路30有每一壓力轉換器24，25之信號調節器。此 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I * 裝·--------訂 --------'"* (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7__五、發明說明（f) 電路調節應變計信號成爲電氣信號（類比式），其有足夠的振 幅使類比對數位轉換器（A/D)可偵測到此信號。壓力信號由一 個基板上之微處理機所讀取。此微處理機將送到數位到類比 轉換器之類比信號計算其數位値。此類比信號驅動了電壓到 電流轉換器，而推動了控制螺線管。 計算數位控制信號之控制順序指令可使用操作員及工廠參 數及目前壓力以計算適當的螺線管電流。此計算是每10-15 毫秒重複一次，直到控制器接到信號由幫浦或軌道所阻止。 控制順序指令可爲PID或是改良PID具有螺線管偏位之控制 回路。基本操作創造了誤差信號。此誤差信號由程式化參數 所變形，並且轉換成控制螺線管之驅動信號。 更具體地，儀器級放大器調節壓力信號在壓力變化爲 0~100psi時，成爲±10伏特。測得之壓力爲目前施加於氣動 流體控制裝置之壓力。在圖示之實施例中，氣動流體控制裝 置爲具有兩個部份之氣動閥；一個用來阻止流體流動，而另一 個則將流體之前端從塗佈點拉回來，以防止滴下•類比-到-數位轉換器改變類比壓力信號成數位格式，然後可由微處理 機讀取。從轉換器來的壓力信號被輸入到PID控制順序指令。 此構造設定使用快速控制順序指令，使控制器很快地改變了 所需之設定壓力，或設定點，並且壓力追隨著設定點變化。 每一設定點及控制壓力1，2爲獨立，使傳統上與此程序相關 之互相作用不存在《故，操作員可另外地設定，，停止”及”吸回” 操作。 I — — — ml!^i---„---—訂---ί!_-^、 (請先閱讀背面之注f項再填寫本頁) 本紙張尺度適用令國國家標单（CNS)A4規格（210 X 297公釐） f A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（6 ) PID之輸出是一個”誤差信號”，它是比例誤差（目前壓力與 目前設定點之間的差異），微分（時間經過時之壓力變化速 率），以及積分（屋力信號隨時間之變化速率衰減）。螺線管驅 動器亦計算積分與微分以調整從閥到閥之改變。校正後之誤 差信號從數位格式被轉換成類比信號，並且產生的類比信號 被送到電壓-電流轉換器，使控制閥被驅動到新的位置。此 操作每10-15毫秒在每一個閥重複一次。 許多程序參數可被送入以確保在廣泛的應用範圍中有適當 之操作。例如，止閥上”〇N”之壓力參數爲實際液體塗佈時， 施加在氣動閥止部之壓力。增加或減少此屋力改變了平均塗 佈壓力。此參數對高黏滯係數液體特別有用，因爲可在不必 完全打開閥之下操作。止閥” del ay”參數可用來使閥在壓力施 加時而實際打開之前抵消初期建立之壓力。若塗佈液體太早 施佈時，會造成”流口水”，而若太大壓力建立時，會發生”吐 水”之情形。止閥”及時（on time)”參數被用來控制壓力被改變 到閥的速率；使閥被打開得太快造成塗佈流反常》止閥’’off pressure”之參數被用來控制閥之反應時間。當達到閥之實際 關閉屋力時，施加較少壓力對閥之關閉特性沒有什麼影響’ 但會增加反應時間。 相同參數亦提供給吸回閥。吸回閥” off time”參數調整了壓 力轉變從ON到OFF之時間《這是移動閥柱未端從完全伸展 位置到吸回位置所須時間。移動太快造成柱將氣泡推入柱或 空穴中。吸回閥，，on time”調整了壓力轉變從OFF到ON之時 ------------裝--------訂· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） δλ〇16 λ, _ B7 經濟邹智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（7) 間。這是移動閥柱末端從吸回位置到完全伸展位置所須時間。 移動太快造成柱”膨脹”，而有害於實際塗佈速率之改變。 第3圖顯示本發明一個特別實施例中之控制器定時之圖》 在時間爲零時，垂直線100所示，幫浦被啓動。到止閥及吸 回閥的壓力爲關閉。一旦系統被啓動，在延遲時間之止閥被 使用，止閥之”011”時間（在110)被作動後，可逐漸增加到止閥 之壓力。止閥壓力在Π5處完全建立。同樣地，在延遲時間 之吸回閥被使用，以逐漸增加到吸回閥之壓力，吸回閥壓力 在120處完全建立》在垂直線2 00處t = l周期完成時，止閥 停止延遲時間將到止閩之屋力降低延遲，然後逐渐地降低直 到閥關閉爲止》稍長的延遲被用在吸回閥，如圖中所示》 除此之外，本發明控制系統被用來如幫浦之氣動流體塗佈 裝置》參照第4圖，使控制輸入返回控制器30之一側，控制 器30可用來控制真空。流體被抽入幫浦3 00(如通過選擇的過 濾器70)並且透過壓力線31其中之一施加真空到幫浦隔膜而 通過入口閥”A’’。一旦幫浦300充滿流體時，入口閥” A ”關閉。 從幫浦3 00之塗佈由施加壓力到相同的隔膜並且打開出口 閥”B”而完成。幫浦300會以速率與施加壓力成比例來塗佈流 體至一晶圓5 2，並且由控制出口閥” B ”打開之時間，程式設 定量之流體可塗佈出去。而且，吸回是由精確地控制在塗佈 末端之真空及壓力而執行。 驅動流體到塗佈點的機構較佳爲幫浦。但是，其他驅動源 亦可使用，如第6圖所示之重力進給系統。流體儲槽45含有 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) '裝----------訂---------产 本紙張尺度適用中國國家標準（CNSM4規格（2〗0 X 297公釐） 5* Α7 __ Β7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（g) 待塗佈之流體，並且相對於基材定位，使流體可由重力流出 儲槽。流量閥46被用來控制流量之限制器。流量限制器（如 螺線管）20與氣動負荷相連，如止/吸回閥10，及如前述實施 例之電腦處理器或控制電路30。氣動負荷與塗佈點，如噴嘴 48流體相通》它使流體塗佈到基材52上。控制器30以精確 之定時作動了流量限制器20，它控制了流體塗佈之開始及停 止。 本發明另一實施例中，本發明控制系統可用在從單一塗佈 源做多點塗佈之應用中。多點塗佈之精確度直接與每一塗佈 點之下游壓力有關；下游壓力對以單一塗佈源（如幫浦）做兩 點（或多點）塗佈而保持同樣塗佈體積成爲關鍵要素。故，每 一塗佈件（如噴嘴）包含有具有閥之液體管線，它可爲止/吸回 閥》壓力是以閥下游每一管線中適宜之壓力轉換器27所感 測。（可以假定閥上游之壓力在每一管線中均相等，或者，壓 力可在每一閥上游中感測，若須要更精確時）。壓力轉換器27 與電腦處理器相連，它反應到每一感測之壓力。處理器比較 了壓力。若偵測到任何差壓時，一或多個閥可被調整（如以螺 線管20，21)以使壓力均衡，並且確保通過每一噴嘴有相等之 塗佈速率。例如，從壓力轉換器27之壓力輸入可控制止/吸 回閥10之”停止”部份”完全打開”之壓力。當止閥不在其完全 打開位置時，通過閥之壓力降會產生。測量每一塗佈點之前 每一閥下游之壓力*每一塗佈點之上之止/吸回閥可被做爲 “被控制之限制”，並且每一施佈壓力之平衡造成平衡之塗佈。 -10 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） Α/ι〇16 - **___B7_____ 五、發明說明（f ) 此實施例可被單獨使用’或者與上述氣動負荷之控制系統結 合。 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明更另一實施例中，多點施佈系統可被用來從多數個 獨立控制之塗佈點施佈液體。由流量控制器及閥，較佳爲止/ 吸回閥，所提供之重現性及控制，使它們可應用做爲塗佈控 制元件。使用從控制系統之單一施佈信號以及在流量控制器 上之調整，包含‘‘延遲中”，“延遲停止”，“打開時間’’，及“關 閉時間”，多數個閥可同步或者順序地被控制》例如，第5圖 顯示很大晶圓11，它從三個沿著晶圓基材徑向定位之塗佈點 A，B及C被塗佈。雖然三個塗佈點被顯示，熟於此技術者知 道可以用較多或較少之塗佈點，局部視待塗佈基材之尺寸而 定。每一塗佈點與個別之閥流體相通，如止/吸回閥10A，】0B， 10C。每一個閥經由流體輸入管線12而從流體源接收流體（其 流體可相同或不同）。每一個閥亦經由個別氣動控制管線 3 3A.33B.33C與流量控制器相連（DFC #卜DFC #2及DFC #3)。 如第1圖中實施例所示，每一流量控制器DFC包含有氣動流 量限制器，如螺線管"在止/吸回閥之情形中，最好有兩個流 量限制器，一個流量限制器與閥之止部相連，而另一則與之 吸回部相通。壓力在每一流量限制器氣動輸出中被感測，反 應之信號被送到控制器。從而，流量限制器隨後被作用。 毎一塗佈點A，B及C可被啓動而同時塗佈。須要依序或 其他非同時塗佈須要時，每一控制器內時間延遲可被用來達 成非同時塗佈。 ^ 11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 7 7

A7 ___B7___ 五、發明說明（0 ) 在操作中，使用本發明多點塗佈系統時，由於其定時及控 制精確度會產生流體波動。故’塗佈點A可最初先塗佈流體 到晶圓上。當流體從塗佈點A到達塗佈點B下方晶圓區域時’ 塗佈點B可開始塗佈流體以保持晶圓運動，以下亦同。正確 的波動對適當之塗佈是很重要的。此相同程序可以重複在任 何數目須要之塗佈點上。精確控制斜坡向上速率（ramp up rate)，斜坡向下速率及最大速率可使操作者達到均勻之塗佈。 熟於此技術者可知，在使用流量控制器加工晶圓之實施例 中，加工晶圓一般在軌道上進行，塗佈流體到晶圓之瞬時控 制系統爲許多加工站中之一個。此多站加工公開於美國專利 No.6,016,006中，此公開技術文件在此加入做爲參考。 m_±- 控制器由使用者以串聯RS 23 2/RS4 8 5程式化之》使用者輸入 下列參數： -止閥關閉轉變時間 -止閥打開轉變時間 -吸回閥關閉轉變時間 -吸回閥打開轉變時間 -止閥打開延遲時間 -止閥關閉延遲時間 -輸入或啓動硬體結構 -輸入或啓動主動狀態 -輸出或接收硬體結構 -12 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝！ l·—— — 訂-！-線 1 . 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（丨丨） -輸出或接收主動狀態 工廠之刻度亦由串聯爲之： -控制螺線管（停止）偏向 -控制螺線管（吸回）偏向 -控制螺線管（停止）斜率 -控制螺線管（吸回）偏向 -控制順序指令輸入（系統參數，氣動配管長度等） 起初信號由塗佈幫浦或軌道而被送到控制器。一旦此信號 被接收時，控制器測量控制螺線管出口側之壓力，並且計算 控制螺線管之電流或”位置” I並且將此値送到被用在控制螺 線管上之D/A轉換器。此程序在每10-15毫秒重複一次，以 保持到止/吸回閥之正確壓力。一旦控制器感測到它已到達程 式化壓力時，一個信號被送回幫浦或軌道。此壓力被保持到 起初信號被移去爲止。當控制器感測到壓力回到零時，幫浦 會再度感受信號。 元件附號對照表 <請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 • I» n* 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 控制壓力 2 控制壓力 10 止/吸回閥 1 QA .止/吸 10B 止/吸回 10C 止/吸回閥 12 液體入口管線 -13 - 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2〗0 X 297公釐） Λ Α7 Β7 五、發明說明（ί二） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 13 液體出口管線 14 塗佈裝置 15 排出口 16 遠方壓力輸入 18 壓力供給管線 1_9 排出口 20 螺線管 21 螺線管 24 壓力轉換器 25 壓力轉換器 27 壓力轉換器 30 控制電路 3J. 壓力線 33 A 氣動控制管線 3 3B 氣動控制管線 33C 氣動控制管線 45 流體儲槽 46 流量閥 48 噴嘴48 52 晶圓/甚板 70 過濾器 1 00 垂直線 110 “on”時間 14 本紙張尺度適用尹國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ^----------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Claims (1)

1. 6^ A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 第89 100903號「流量控制器」專利案 1.~種氣動流體控制裝置之控制系統，該控制系統包含有： 流量限制器有氣動流體入口，以及氣動流體出口 ’該氣 動流體出口與該流體控制裝置有流體相通； 壓力感測器，其位置可感測在該氣動流體出口中之壓力； 電腦處理器，它反應到該壓力感測器，而由調整該流量 限制器來控制該氣動流體出口中之壓力。 2·如申請專利範圍第1項之控制系統，另外包含有第二流量 限制器，它有第二氣動流體入口，以及第二氣動流體出口， 該第二氣動流體出口與第二控制裝置有流體相通；以及 第二壓力感測器，其位置可感測在該第二氣動流體出口 中之壓力； 其中該電腦處理器，亦反應到該第二壓力感測器，而由 調整該第二流量限制器來控制該第二氣動流體出口中之壓 力。 3. 如申請專利範圍第2項之控制系統，其中該第一及第二流 量限制器爲螺線管。 4. 如申請專利範圍第1項之控制系統，其中該流體控制裝置 爲氣動閥》 5. 如申請專利範圍第1項之控制系統’另外包含有一個噴嘴 與該氣動閥有流體相通，以塗佈液體到基材上。 S.如申請專利範圍第2項之控制系統*其中該流體控制裝置 爲氣動閥。 -16 *· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ^--------^--------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21Cx 297公釐） 6 A8 BS C8 DS 六、申請專利範圍 7. 如申請專利範圍第6項之控制系統，另外包含有一個噴嘴 與該氣動閥有流體相通 > 以塗佈液體到基材上。 8. 如申請專利範圍第5或7項之控制系統，其中該液體包含 光阻劑，並且其中該基材是晶圓》 9. 如申請專利範圍第1項之控制系統，其中由幫浦輸送該流 體到該流體控制裝置。 10. 如申請專利範圍第1項之控制系統，其中流體由重力被輸 送該到該流體控制裝置。 11. 一種控制液體從塗佈器到使用點被塗佈之方法，包括： 提供流體控制裝置與該塗佈器有流體相通； 提供流量限制器有氣動流體入口，以及氣動流體出口， 該氣動流體出口與該流體控制裝置有流體相通； 感測在該氣動流體出口中之壓力；以及 反應到該氣動流體出口中之壓力，而由調整該流量限制 器來控制該氣動流體出口中之壓力。 12. 如申請專利範圍第11項之方法，另外包含提供第二流量限 制器，它有第二氣動流體入□，以及第二氣動流體出口， 該第二氣動流體出口與第二流體控制裝匱有流體相通； 感測在該第二氣動流體出口中之壓力；以及 反應到該第二氣動流體出口之壓力，而由調整該流量限 制器來控制該第二氣動流體出口中之壓力。 13. 如申請專利範圍第11項之方法，其中該流體控制裝置爲氣 動閥》 -17 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS)A4規格（2]0 X 297公笼） M.--------^---------^ (請先閱讀背面之注音¥項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製

   經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 14. 如申請專利範圍第12項之方法，其中該第二流體控制裝置 爲氣動閥。 15. —種多點塗佈控制系統，包含有： 流體輸送裝置，用來輸送待塗佈之流體到多數個塗佈噴 嘴，每一該噴嘴有閥及流體管線，使該流體輸送裝置與該 噴嘴之間有流體相通； 該閥下游之每一該流體管線中之壓力感測裝置； 電腦處理器，它反應到該壓力感測器，用來比較每一該 流體管線中之壓力，並且產生指示有任何差壓存在之信號。 反應到該信號而調整至少一個該閥之裝置。 16. 如申請專利範圍第15項之多點塗佈控制系統，另外包含有 在每一該閥上游之壓力感測裝置。 17. 如申請專利範圍第15項之多點塗佈控制系統，其中用來調 整至少一個該閥之裝置包含螺線管。 18·—種多點塗佈控制系統，用來塗佈至少一種流體到基材上， 它包含有： 流體輸送裝置，用來輸送至少一種待塗佈之流體到多數 個塗佈出口，每一該塗佈出口與至少一個閥有流體相通； 多數個流量限制器，每一個有氣動流體管線與每一個閥 有流體相通； 壓力感測器，其位置可感測在該氣動流體管線中之壓力； 電腦處理器，它反應到每一個該壓力感測器，而由調整 每一該多數個流量限制器來控制每一個該氣動流體管線中 -18 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ------------t--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 6申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 之壓力。 ia如申請專利範圍第16項之系統，其中該基材是晶圓，並且 其中該多數個塗佈出口被配置成徑向沿著該晶圓《 2CL —種用來加工晶圓之多站軌道，其中一個站包含有控制系 統用來做爲氣動流體控制裝置，該控制系統包括： 流量限制器有氣動流體入口，以及氣動流體出口，該氣 動流體出口與該流體控制裝置有流體相通； 壓力感測器•其位置可感測在該氣動流體出口中之壓力； 電腦處理器，它反應到該壓力感測器，而由調整該流量 限制器來控制該氣動流體出口中之壓力。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 19 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐）