TW438987B - Liquid crystal display and method of fabricating the same - Google Patents

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d389BT 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（^ ) 發明背景 發明摄篮 本發明係有關一種液晶顯示裝置及其製造方法，更特 別的是有關一種施行共平面切換的液晶顯示裝置Μ及其 製造方法，其中將要加到液晶上的電場是產生在平行於 基Η的平面內。 枏胤技術說里_ 使用杻轉向列相的習知液晶顯示裝置會伴隨有視角窄 小的問題。為了解決這個問題，提供了一種共平面切換 (T P S )型式的液晶顯示裝置，其中將要加到液晶上的電 場是產生在平行於基Η的平面內。 例如，日本未驗證專利刊物第7 - 1 2 8 6 8 3號、第7 - 1 5 9 7 8 6號、及第8 - 2 2 0 5 1 8號文件中提出了一種共平面切換型 式的液晶顯示裝置。 第1圖係日本未驗證專利刊物第7 - 1 2 8 6 8 3號文件中所 提出之共平面切換型式液晶顯示裝置的俯視圖，第2圖 係沿第1圖中的II - I線段所取的截面画，而第3圖則 為共平面切換型式液晶顯示裝置的截面圖示。第1圖到 第3園顯示的是位於影像信號線8 6 1與掃描線8 6 2交點上 的一個像素。 如第1圖到第3圖所示，液晶顯示裝置包括：基片8 1 0 ，形成於基Η 8 1 0上且其組成為金靨等構成之導電層的第 一梳-狀電極8 0 1 ,覆蓋住第一梳-狀電極8 0 1和基Η 8 1 0的 内夾絕緣層8 1 1，形成於内夾絕緣層8 1 1上且其組成為金 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

438987 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（> ) 鼷等構成之導電層的第二梳-狀電極8 0 1，形成於第二梳 -狀電極8 0 2和内夾絕緣層8 1 1上用於對齊液晶的對齊層 8 2 0,由彩色層（未圖示）、黑色矩（非圖示）等形成的相 對基Η 8 40 ,形成於相對基Η 8 40下表面上用於對齊液晶 的對齊層8 2 1，三夾於對齊層8 2 0與8 2 1之間的液晶層8 3 0 ，Μ及用於驅動液晶的薄膜電晶體（T F Τ ) 8 6 3。 由第1圖和第2圖可Μ理解到，第一和第二梳-狀電 極8 01和8 0 2係於分開的製造步驟中形成的導電層。第一 和第二梳-狀電極801和802是因内夾絕緣層811而相互隔 開ϋ 作業中，當選擇掃描線8 6 2時會透過薄膜電晶體8 6 3將 影像信號8 6 1上的電壓傳送到第二梳-狀電極8 0 2。结果， 會根據影像資料而在第一和第二梳-狀電極8 0 1和8 0 2之 間產生電場。 液晶層8 3 0內的液晶分子是因對齊層8 2 0和8 2 1而事先 沿大致垂直於第3圖之平面的方向對齊。這些液晶分子 是依電場而定出方位如第3圖所示。因此，其中施行了 共平面切換。 第4圖和第5圖顯示的是日本未驗證專利刊物第7 - 1 2 8 6 8 3號文件中所提出之共平面切換型式液晶顯示裝置。 第4圖係此液晶顯示裝置的俯視圖，而第5圖係沿第4 _中的V _ V線段所取的截面圖。 此液晶顯示裝置中，是透過接觸孔9 0 4將共同導線9 0 3 與第一梳-狀電極9 0 1作電氣連接。因此，第一梳-狀電 -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

43 89 8 7 A7 B7 五、發明説明（々） 極9 〇〗和第二梳-狀電極9 0 2是形成於基Η 9 1 0上的共同導 電靨內。當選擇掃描線9 6 2時會透過薄膜電晶體9 6 3將影 像信號線9 6 1上的電壓傳送到第二梳-狀電極9 0 2。結果， 會在第一和第二電極9 0 1和9 0 2之間產生電場。如是產生 的電場會執行共平面切換。 依上述文件中所提出的液晶顯示裝置，第一梳-狀電極 9 0 2的高度是相同的如第5圖所示，Μ確保能增強執行共 平面切換電場的平行化程度。 上述日本未驗證專利刊物第7 - 1 5 9 7 8 6號文件提出一種 液晶顯示裝置，其中將對齊曆和絕緣層設計成其介電常 數小於液晶層的介電常數因而產生經過改良的水平電場 ，使絕緣層和對齊層是由相同的材料構成因而改良其製 造程序的效率，並使用於共平面切換的電場呈平行。 上述日本未驗證專利刊物第8 - 2 2 0 5 1 8號文件中提出了 -種液晶顯示裝置，其中形成於面對液晶層之表面上的 凹上和突起部分比較少因而確保能有比較高的反差比。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 不過對顯示特徵而言，共平面切換型式的液晶顯示裝 置也伴隨有可Μ在杻轉向列相的液晶顯示裝置中發琨的 後-影問題，只是其程度比較小。上述日本未驗證專利 刊物第7 - 1 5 9 7 8 6號文件中也指出了共平面切換型式的液 晶顯示裝置內的後-影問題。 據說這種後-影問題是因為在對齊層及/或基片與液晶 罾之間的界面上的電荷殘存而造成的。若液晶是受到第 --和第二梳-狀電極間之交流電的驅動，且交流電中正電 -5 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 4 3 e 9 8 〜 at B7 五、發明説明（f ) 極化是平衡的，且若電荷在第一和第二梳-狀電極8 Ο 1和 8 0 2上的累積程度是相同的，則即使在终止了共平面切 換之後也不會跨過第一和第二梳-狀電極8 Ο 1和8 0 2而因 為有殘存以直流電流為基礎的電壓而不致造成後-影現 象的產生。 不過，若第一梳-狀電極8 Ο 1上方液晶之徑向结構的延 伸程度與第二梳-狀電極8 0 2上方液晶之徑向结構的延伸 稃度不同，則液晶的偏極化是不平衡的：结果，於施行 共平面切換中會殘存在電荷而造成後-影的問題。 於第4圖和第5圖的液晶顯示裝置中，沒有内夾絕緣 層形成第一和第二梳-狀電極9 Ο 1和9 0 2之間，因此可Κ 在共同的薄膜-形成步驟中形成。不過如第6圖所示，第 一和第二梳-狀電極9 Ο 1和9 0 2是形成於用Μ形成導電層 的徼影術步驟中，故可能會因為微影術不準確或蝕刻殘 留而產生圖案缺陷點9 7 0。若發生如第6圖所示之圔案 缺陷9 7 0，則第一梳-狀電極9 Ο 1會迅速地與第二梳-狀電 極9 0 2發生短路。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 也就是說，第4圖和第5圖的液晶顯示裝置有利地抑 制了後-影現象的產生，但是如上所述會伴隨有減低製 造產量的問題。 發…明—11— 本發明的目的是提供一種液晶顯示裝置及其製造方法 ，使兩者都能令因為源自兩個梳-狀電極之彈性-電氣效 應的不平衡而導致後-影規象的產生受到抑制，並強化液 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 4 3 8 9 8 7 a? B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ y ) 1 1 I 晶 顯 示 裝 置 的 製 造 產 量 〇 1 1 於 本 發 明 的 某 一 概 念 中 所 提 供 的 液 晶 顯 示 裝 置 含 有 (a ) Ί I 第 _Α 基 Η (h)與第- -基Η間隔開且面朝第- - I 1卜 4的！ 1 二 請 先 1 .I 閱 | 基 Η ,( c )夾 於 第 一 和 第 二 基 片 之 間 的 液 晶 層 (d)形成於 讀 背 面 I 第 一 某 Η h 且 面 朝 液 晶 層 的 表 面 上 的 第 電 極 ，（ e ) 形 成 之 I 注 %! 於 第 二 基 Η 上 且 面 朝 液 晶 層 的 表 面 上 的 第 二 電 極 > 而 此 意 事 V 1 項 | 電 極 與 第 電 極 聯 合 而 形 成 個 像 素 ， 第 和 第 二 電 極 再 填 會 於 其 間 形 成 電 場 因 而 施 行 共 平 面 切 換 ί Μ 及 (f)內夾 寫 本 • 頁 1 絕 緣 膜 生 少 會 形 成 於 第 二 電 極 底 下 而 至 少 不 會 形 成 於 第 'Sw〆 1 I 一 電 極 底 下 % 今 至 少 形 成 於 第 一 電 極 上 表 面 的 一 部 分 與 1 I 液 晶 層 之 間 的 介 電 層 設 計 成 在 每 單 位 面 積 內 所 含 的 電 容 1 | 量 大 致 等 於 至 少 形 成 於 第 二 電 極 上 表 面 的 一 部 分 與 液 晶 1 訂 H 之 間 的 介 電 層 在 每 單 位 面 積 內 所 含 的 電 容 量 〇 1 I 最 好 是 內 夾 絕 緣 層 形 成 於 第 一 電 極 之 上 且 此 液 晶 顯 1 I 示 裝 置 更 包 含 由 電 氣 絕 緣 材 料 構 成 且 形 成 於 第 二 電 極 上 1 1 的 强 性 -電氣緩和層< 1 贏線 最 奸 是 在 第 一 基 片 上 表 面 形 成 至 少 一 個 低 窪 部 分 $ 且 I •1 1 至 少 將 第 二 電 極 的 一 個 部 位 形 成 於 第 一 電 極 之 低 窪 部 分 1 1 內 〇 1 最 好 是 在 第 一 基 片 上 表 面 至 少 形 成 一 個 隆 起 部 分 ♦ 且 1 1 W I 至 少 將 第 一 電 極 的 一 個 部 位 形 成 於 此 隆 起 部 分 之 上 Ο 1 1 依 本 發 明 的 另 一 概 念 所 提 供 的 方 法 製 造 液 晶 顯 示 裝 置 I 此 液 晶 顯 示 裝 置 含 有 ：( a)第 一 基 片 ,( b) 與 第 一 基 片 間 1 1 隔 開 且 面 朝 第 一 基 Η 的 第 二 基 片 ,( c )夾於 第 一 與 第 二 基 1 1 8 - 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 4 3 8 9 8 7 at __________ B7 五、發明説明（7 ) Η之間的液晶層，（d )形成於第一基Η的表面上且面朝 液晶層，（e )形成於第二基Η的表面上且面朝液晶層的第 二雷極，而此電極與第一電極聯合而形成一個像素，第 一和第二電極會於其間產生電場因而沲行共平面切換； 丨比方法的步驟依序包栝··< a )於第一基Η上形成第一金靨 _，（ b )將第一金鼷層製作圖案使之成為第一電極，（c ) Μ 內夾絕緣層覆蓋住第一電極，（d )於內夾絕緣層上形成第 二金靨層，（e )於第二金屬層形成絕緣層，K及（f )將第 二金屬層和絕緣層製作圖案使之成為第二電極及大致與 第二電極擴及相同空間的彈性-電氣緩和層。 步驟（e )和（f )可以取代成對第二金鼷層和内夾絕緣層 兩者的蝕刻步驟因而將第二金屬曆和絕緣曆製作圔案使 之成為第二電極，並在位於第二電極底下Μ外的區域内 削薄或去除內夾絕緣層。 此方法的可依序由步驟組成：（a )於第一基Η表面上至 少形成一個底窪及隆起部分，（b )於第一基片或是第一基 Η的隆起部分上形成第一金屬層，（e )將第一金靨層製作 鬪案使之成為第一電極，（d )以内夾絕緣層覆蓋住第一電 極，（e )於内夾絕緣層上形成第二金屬層，（f )於第一基Η 之低窪部分內或是在形成隆起部分Μ外的區域上方將第 二金靨層製作圖案使之成為第二電極。 拫據上逑液晶顯示裝置，第一電極與液晶層之間的介 電距離是設計成大致等於第二電極與液晶層之間的介電 距離。因此，能夠保持在第一和第二電極上的彈性-電 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

438987 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( ) 1 1 I 氣 效 應 之 平 衡 而 確 保 折 制 後 -影琨象之產生· 1 1 由 於 內 夾 絕 緣 層 使 第 電 極 與 第 二 電 極 相 互 間 呈 絕 緣 1 I 故 能 避 免 第 一 電 極 與 第 二 電 極 之 間 因 圖 案 製 作 上 的 缺 請 先 閱 1 點 而 造 成 的 短 路 琨 象 並 確 保 了 更 筒 的 製 造 產 量 Γ. 讀 1 1 背 根 據 上 述 方 法 > 能 夠 製 造 出 上 述 液 晶 顯 示 裝 置 Ο 另 外 面 之 1 注 ‘I - 由 於 第 二 電 極 及 彈 性 -電氣緩和層是形成於同- -步驟 意 事 1 中 或 者 由 於 第 二 電 極 是 在 削 薄 或 去 除 内 夾 絕 緣 層 的 步 項 再 埴 驟 中 同 時 形 成 的 $ 故 能 縮 短 液 晶 顯 示 裝 置 的 製 造 程 序 0 寫 % 頁 1 圖 式 簡 述 1 第 1 圖 ·、 係 第 一 習 知 液 晶 顯 示 裝 置 中 某 一 像 素 的 俯 視 1 | 圖 〇 1 | 第 2 圖 Λ 係 沿 第 1 圖 中 I -Ε線段而取的截面圖、 ) 1 訂 第 3 圖 係 沿 第 一 習 知 液 晶 顯 示 裝 置 的 截 面 圖 示 〇 1 I 第 4 圖 、 係 第 二 習 知 液 晶 顯 示 裝 置 中 某 一 像 素 的 俯 視 1 1 I 圖 〇 1 1 第 5 圖 Λ 係 沿 第 4 圖 中 卜 V線段而取的截面圖c ) 1 第 6 圖 ·、 係 第 二 習 知 液 晶 顯 示 裝 置 的 截 面 圖 示 〇 #| 第 7 圖 、 係 根 據 本 發 明 第 一 實 施 例 之 液 晶 憩 示 裝 置 中 1 1 某 一 像 素 的 俯 視 圖 〇 I 第 8 圖 、 係 沿 第 7 圖 中 VI - VI線段而取的截面圖c > 1 第 9 圖 、 係 根 據 本 發 明 第 一 實 例 之 液 晶 顯 示 裝 置 的 1 J 截 面 圖 示 〇 I 第 10 圖 係 根 據 本 發 明 第 二 實 施 例 之 液 晶 顯 示 裝 置 中 1 1 某 一 像 素 的 俯 視 圖 〇 1 I 10 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 438987 ____________ B7 五、發明説明（…） 發明的詳细說明 較佳奮施例的1盟— [第一實施例] 第7 - 9圖顯示的是根據本發明第一實施例之液晶顯示 裝置。第7圖是此液晶顯示裝置中某一像素的俯視圖， 第8圖是沿第7圖中V I I卜V I I I線段而取的截面圖，而 第9圖是根據本發明第一實施例之液晶顯示裝置的截面 圖。第7 - 9圖所顯示的像素是位於影像信號線1 6 1與掃描 線1 6 2之交點上。 如第7 - 9圖所示，根據本發明第一實胞例之液晶顯示 裝置包括：基片110,形成於基片110上且其組成為金屬 等構成之導電曆的第一梳-狀電極101,覆蓋住第一梳一 狀電極1 0 1和基Η 1 1 0的內夾絕緣111 ,形成於內夾絕緣 層111上且其組成為金屬等構成之導電層的第二梳-狀電 極1 0 2 ,形成於第二梳-狀電極1 〇 2上的彈性-電氣緩和層 1 0 3 ,形成而覆蓋於彈性-電氣緩和層1 〇 3和內夾絕緣層 1 1 1上用於對齊液晶的對齊層1 2 0 ,由彩色層（未圖示）黑 色矩陣（未圖示）等形成的相對基片1 4 0 ,形成於相對基片 1 4 0下表面上用於對齊液晶的對齊層1 2 1，夾於對齊層1 2 0 與1 2 1之間的液晶層1 3 0 ,如、及用於驅動液晶的薄膜電晶 體（T F Τ ) 1 6 3〕 於根據本發明第一實施例之液晶顯示裝置的作業中， 當選擇掃描線1 6 2時會透過薄膜電晶體1 6 3將影像信號線 1 6 1上的電壓傳送到第二梳-狀電極1 〇 2。结果，會在施 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（u) 加有共同電壓的第二梳-狀電極1 0 2與第一梳-狀電極1 〇 1 執行共平面切換。 薄膜電晶體1 6 3是一種稱作底部閘極型式的薄膜電晶 體，其中掃描線或是閘極1 6 2是位於影像信號線1 6 1的底 下。 第一梳-狀電極1 〇 1、第二梳-狀電極1 0 2、影像信號線 1 6 1、和掃描線1 6 2都是由其組成為金屬等構成之導境曆 構成的。第一梳-狀電層1 0 1和掃描線1 6 2是形成於共同 的導電層內。如第8圖所示，第二梳-狀電極1 0 2和影像 信號線1 β 1是形成於共同的導電曆內。 參照第7 ，第一梳-狀電極101是設計成同時在第7 _的左上方端點與右上方端點都具有共同的排流區段Μ 便連接至相鄰像素之第一梳-狀電極1 〇 1 ° 參照第8圖，將構成第一梳-狀電極1 〇 1的導電層直接 形成於基Η 11. 0上。此基Η 11 0的組成有玻璃、絕緣體等 。可Μ在基片11 0的表面上形成有絕緣膜，此例中是將 第一梳-狀電極1 0 1形成於絕緣膜上。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 形成內夾絕緣層η 1Κ覆蓋住第一梳-狀電極1 〇 1和基 η η 〇。於内夾絕緣層η 1上則形成了由導電層構成的第 二梳-狀電極1 〇 2和影像信號線1 6 1。 由絕緣瞧所組成的彈性-電氣緩和層1 0 3是形成於第二 梳-狀電極1 〇 2上使得彈性-電氣緩和層1 0 3正好與第二梳 -狀電極1 〇 2重疊。也就是說，彈性-電氣緩和層1 〇 3大致 是與第二極-狀電極擴及相同的空間。 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 4 3 8 9 8 7 a7 _____________________B7 五、發明説明（^) 於第一實施例中，彈性-電氣緩和層1 〇 3是設計成其厚 度等於形成於第一梳-狀電極1 〇 1上之内夾絕緣層111的 厚度。 Μ下將解釋根據本發明上述第一實陁例之液晶顯示裝 置的製造方法。 首先，藉由噴濺裝置將其組成為例如鉻的金屬膜澱積 於基片11 0上。可Μ在基Η 11 0的表面上形成有絕緣膜， 此例中是將金屬膜澱積於絕緣膜上。 然後，於包括微影術步驟及電漿-蝕刻步驟的光罩步 驟中將金靨膜製作圖案使之成為第一梳-狀電極和掃 描線1 6 2。 然後，藉由經電漿-強化的化學氣相澱積法（P C D )澱積 內夾絕緣曆111使覆蓋住第一梳-狀電極1 〇 1和基片11 〇。 此內夾絕緣層111是由例如氧化矽或氮化矽所構成。 然後，形成薄膜電晶體1 6 3作業所必經的薄膜電晶體 1 6 3 Μ及甌姆層。 然後，藉由噴濺法及電漿-強化的化學氣相澱積氣（ P C V D )依序澱積出將會構成第二梳-狀電極1 〇 2而其組成 為像鉻之類金靨的導電膜Κ及將會構成彈性-電氣緩和 層1 0 3而其組成為例如氧化矽或氮化矽的絕緣膜。然後， 於包括微影術步驟及電漿-蝕刻步驟的光罩光驟中，依 序分別將如是形成的導電膜及絕緣膜製作圖案使之成為 第二梳-狀電極1 0 2及彈性-電氣緩和層1 0 3。 彈性-電氣緩和層1 0 3首先可Μ在光罩步驟中只對絕緣 -14一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 A7 43 89 8 了 B7 五、發明説明（G ) 膜製作圖案而形成並去除光阻層，然後用已形成的彈性 -電氣緩和層1 0 3為覆罩蝕刻導電膜而形成第二梳-狀電 極 1 0 2。 根據上述方去，彈性-電氣緩和層1 〇 3也是形成於影像 信號線1 6 1上如第8圖所示。雖然如是形成的彈性-電氣 緩和層1 0 3無法直接對平衡彈性-電氣效應作出貢獻，此 彈性-電氣緩和層1 0 3會於其他像素列接受掃描時提供防 止將產生自影像信號線1 6 1的電壓矂信加到其他像素列 上的優點。 可Μ形成覆蓋用的絕緣膜Μ覆蓋彈性-電氣緩和層103 的上表面及各側邊表面、第二梳-狀電極1 0 2的一個側邊 表面、Μ及內夾絕緣曆111的一個表面。 如第9圖所示的簞元是利用具有上述結構的產品加以 製造的。如第9圖所示，對齊層120是形成於具有上述 结構的產品的上表面之上。同樣地，對齊層1 2 1是形成 於具有彩色層、黑色矩陣等之相對基片140的下表面之 上。 液晶層1 3 0是夾於對齊層1 2 0與1 2 1之間。液晶層1 3 0內 的液晶分子是因對齊層1 2 0和1 2 1而事先沿大致垂直於第 9圖之平面的方向對齊。藉由在第一梳-狀電極101與第 二梳-狀電極1 0 2之間產生電場而沿第9圖之平面的水平 方向執行共平面切換。 如第9圖所示，第一梳-狀電極101上方對齊層120鄰近 處內液晶分子在徑向結構上的分散程度大致是與第二梳 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 4 3 89 8 7 A7 B7 五、發明説明（4 ) 中 業 作 的 置 裝 示 顯 晶 液 之 施 實 a°l 一 63第 "明 F 發 (T本 體據 晶根 雷於 膜 證 晶 電 膜 薄梳 過二 透第梳 會到 一 時送第 2a傳的 16壓壓 線電電 描的同 掃h共 擇la有 潠16加 當線施 2 第 10與 極la 8 ο ^ur 1—i 狀極 -電 狀 將結 梳 號在極 信會電 像，狀 影果， 平 共 行 執 間之 3a是 16或 體描 晶掃 電中 膜其 薄 ， 體 晶 上 ^肖 ftp 膜la 薄16 的線 式號 型信 極像 閘影 gr於 頂位 為是 i a ο 稱 2 換種16 切一極 面是閘 方 位 將 中 例 施 實二 第 業 作 的 素 像 對 中 皰 實1 第 之 較 極 電 狀 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 同 丄11U 對 能 功 的 梳行 一 執 第 的 層10 下極 於電 所 a ；極 肖10電 第 Is極狀 蹰Τ 二 電梳第 同二到 共第加 極 第 電t上 纟在 a I 而 ο 梳 第 的 層 上 於 位 由 和 第 在 而 因 梳 狀將 -是 中 例 施 實 到壓 送電 傳同 號共 信將 像 是 影將 將中 並例 上施 01實 L 二 梳1 第 到 送 傳 號 信 it 影 將 並 應 效 利 有 的 同 相 rtu 施 實 一 第 與 供 提 例 施 實。二 la第 ο 11 ， 極過 電不 狀 梳二 第 和 第 在 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 發 。 方的 上似 02相 D1是 和 j 1 例 10施 極實 電 一 狀第 -與 且 衡 平 是 應 效 氣 說電 是性 就弾. 也的 ο 0 例 施 實三 第 第 和 圖 2 11 第 施 實三 第 明 發 本 據 根 是 的 示 顯 圖 像取示 一 而顯 某段晶 中線液 置 I 中 裝XI例 示卜胞 顯 I 實 晶X三 一彼3ΦΜ Itb謂明Hml! 圖 Θ 本 12卩據 是 第 Ί 根 圖 ο A 是 置13的 裝第 17K 示。顯 顯圖 ， 晶視圖 液俯而 之的截 洌素的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 43 89 8 7 A7 ' B7 五、發明説明（17 ) 奘冒之製造方法的步驟，而第1 3 B - 1 3 E圖是沿第1 2圖中 X T丨卜X I I丨線段而取的截面圖，顯示的是根據本發明第 三奮_例中液晶顯示裝置的可能結構。 參照第1 2圖，當選選掃描線2 6 2時會透過薄膜電晶體 2 6 3將影像信號線2 6 1上的電壓傳送到第二梳-狀電極2 0 2 。結果，會在施加有共同電壓的第二梳-狀電極2 0 2與第 一梳-狀電極2 0 1之間執行共平面切換。 搆成第一梳-狀電極2 0 1的導電層是形成於其組成為玻 璃或絕緣體的基Η 2 1 0上。作為替代的是，導電層是形 成於基Η 2 1 0上而其間則夾有絕緣膜。 在根據本發明第三實施例之液晶顯示裝置的製造中如 第1 3 Α圖所示，首先將第一梳-狀電極2 0 1形成於基片2 1 0 h。然後，澱積一層內夾絕緣層2 1 1使之覆蓋住第一梳-狀霄極2 0 1和基Μ 2 1 0。然後，將第二梳-狀電極2 0 2形成 於內夾絕緣罾2 1 1上。 之後，藉由施行下列步驟可Μ得到如第1 3 Β - 1 3 Ε圖所示 的各種結構。 如第1 3 Β圖所示结構的特徵是將内夾絕緣層2 1 1設計為 内夾絕緣層2 1 1在形成於第一梳-狀電極2 0 1上的部分具 有第一厚度，而内夾絕緣層2 11在形成於第二梳-狀電極 2 0 2 h部分具有第二厚度，且第一厚度是小於第二厚度。 為了得到如第1 3 A画所示的結構而施行下列步驟。首 先，藉由噴濺設備將金靨膜澱積於基片2 1 0或是形成於 基Η 2 1 0上的絕緣膜上。可以在基片2 1 0的表面上形成有 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 4 3 8 S 8 7 B7 五、發明説明（M?) 絕緣_，此例中是將金屬膜澱積於絕緣膜上。然後，於 来罩肉夾絕緣 2 U使覆蓋住第一梳-狀電極2 0 1、掃描 線2 6 2、和基Η 2 1 0。在製造了薄膜電晶體2 6 3之後藉由 晴灘裝置澱積一層金鼷_。然後如第1 3 Α圖所示，於光 罩朱驟中將余藝_製作圖案使之成為第二梳-狀電極2 0 2 ,夕後於相同的光罩步驟中使內夾絕緣層2 1 1下凹。 內夾絕緣 2 U的下凹是例如藉由以第二梳_狀電極202 為覆罩蝕刻內夾絕緣層2 1 1，或是Μ用來形成第二梳-狀 雷極2 0 2而留在第二梳-狀電極2 0 2上的光阻層為覆罩蝕 刻內夾絕緣層2 11 ,或是Κ用來形成第二梳-狀電極2 0 2 而留在第二梳-狀電極2 0 2上的光阻曆為覆罩蝕刻內夾絕 緣層2 1 1而達成的。 含有如第1圖所示結構的液晶單元會確保在第一和第 二梳-狀電極2 0 1和2 0 2上方發琨的彈性-電氣效應的平衡 稈摩會大於在第一梳-狀電極2 0 1上方之内夾絕緣層2 1 1 不具有第一厚度而是小於第二梳-狀電極2 0 2下方之第二 厚度的液晶單元。 藉由對內夾絕緣層2 1 1作進一步的切片直到第一梳-狀 電概2 0 1的上表面出現為止而得到如第1 3 C圖所示的結構。 藉由對內夾絕緣層2 1 1作進一步的切Η直到第一梳-狀 電極2 0 1的上表面及各側邊表面出琨為止而得到如第1 3 D 圖所示的結構。 如第1 3 C圖和第1 3 D圖所示的結構會確保在第一和第二 梳_狀電極2 0 1和2 0 2上方發琨的彈性-電氣效應的平衡程 -20- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

A7 4 3 8 9 8 7 B7 五、發明説明（β ) 摩會大於如第1 3 B圖所示結構中的平衡程度。不過於如第 1 3 C圖和第1 3 f)圏所示的結構中，存在有在梳-狀電極上或 杲鄱沂處的形成步驟。在此考量的是這樣的步驟會對液 晶產牛有害的影響，因此必需決定出對內夾絕緣層2 1 1進 行切Η的昜佳步驟。 形成而覆蓋於如第1 3 A、1 3 Β、1 3 C、和1 3 D圖所示结構 上的覆蓋用絕緣膜會確保能緩和在第一和第二梳狀電極 2 0 1和2 0 2上方發琨的彈性-電氣效應，而於彈性-電氣層 内造成更穩定的平衡。 例如，第1 3 E _所顯示的液晶單元含有第1 3 A圖中的結 構以及澱積於第1 3 A圖之结構上的覆蓋用絕緣膜2 1 2。 於根據本發明第三實施例的液晶顯示裝置中，内夾絕 緣匿2 1〗使第一梳-狀電極2 0 1與第二梳-狀電極2 0 2呈電氣 隔雛.所以即使第一梳-狀電極2 0 1和第二梳-狀電極2 0 2 在形成程序中有圖案製作上的缺點，也能避免第一梳_ 狀電極2 01和第二梳-狀電極2 0 2相互之間出琨短路現象。 另外，由於不需要增加用於對內夾絕緣層2 1 1進行切 Η的光罩步驟，故不致增加製造步驟的數目。 「第四實施例] 第1 4圖和第1 5 A - 1 5 D圖顯示的是根據本發明第四實施例 之液晶顯示裝置。第1 4圖是此液晶顯示裝置中某一像素 的俯視圆，第1 5 A圖是沿第1 4圖中X V - X V線段而取的截面 HI ,顯示的是根據本發明第四實胞例中液晶顯示裝置之 製造方法的步驟，而第1 5 B - 1 5 D圖是沿第1 4圖中X V - X V線 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 4 3 8 9 8 7 A7 __________ B7 五、發明説明（) 段而取的截面圖，顯示的是根據本發明第四實施例中液 晶顯示裝置的可能結構。 參照第1 4圖，當選擇掃描線3 6 2時會透過薄膜電晶體3 6 3 將影像信號線3 6 1上的電壓傳送到第二梳-狀電極3 0 2。結 果，會在施加有共同電壓的第二梳-狀電極302與第一梳_ 狀電極3 0 1之間執行共平面切換。 第四實施例的特徵是除了形成第二梳-狀電極3 0 2的光 罩步驟之外遷在一個光罩步驟中使內夾絕緣膜下凹。 類似於第一到第三實施例，由於内夾絕緣層3 1 1使第 一梳-狀電極301與第二梳-狀電極302呈電氣隔雛，所Μ 即使第一梳-狀電極301和第二梳-狀電極302在形成程序 中有圖案製作上的缺點，也能避免第一和第二梳-狀電極 相互之間出琨短路現象。 於製造如第四實施例之液晶顯示裝置的步驟中如第15Α 圖所示，第一梳-狀電極301是形成於基片310上。然後， 澱積內夾絕緣層3 1 1使之覆蓋於第一梳-狀電極3 0 1和基Η 3 1 0上。之後，將第二梳-狀電極3 0 2形成於內夾絕緣層 311上。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在形成了第二梳-狀電極3 0 2之後，於光罩步驟中形成 光胆層3 5 1並於內夾絕緣層3 1 1上製作圖案。然後，於低 窪區域3 5 0内Κ光阻層3 5 1為光罩而蝕刻內夾絕緣層3 1 1。 可以在形成第二梳-狀電極302之前Κ光阻層351為光 罩執行對內夾絕緣層3 1 1進行切片的步驟。 第1 5 Β - 1 5 D圖所顯示的結構中，內夾絕緣層3 1 1和基片 _ 2 2 ~ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 438987 A7 B7 五、發明説明（/ ) 3 1 0的下m稈度是大於第1 5 B圖之結構中的下凹程度。 根據第四實施例，第二梳-狀電極3 0 2之側邊表面底下 的形成步驟是比第二實皰例中第二梳-狀電極3 0 2之側邊 表面底下的形成步驟更為溫和。結果，能夠減少由這類 步驟存液晶的對齊上造成的有害影響。 另外，由於能夠自低窪區域3 5 0分辨出薄膜電晶體3 6 3 ,故可W.在不對此結構施加影響下操作根據第四實_例 的液晶顯示裝置，且薄膜電晶體3 6 3的功能與第二實施 例中的功能並不相像。 應該注意的是可Μ在某一步驟中令內夾絕緣層3 11於 低藩區域3 5 0内下凹，此步驟中也對液晶顯示示裝置的 其他部位或元件進行圖案的製作。例如，於內夾絕緣曆 3 1 1的下凹步驟中，同時也形成了配線層，或是同時形 成接觸孔而達成各電極相互間的電氣連接，Κ確保製作 稃序有更高的效率。 與上逑實施例類似地，可Μ將像第1 3 Ε圖所示的膜2 1 2 之類的覆蓋用絕緣膜覆蓋於如第1 5 Β、1 5 C、1 5 D圖所示 的結搆上。 F第五實施例] 第1 6 _和第1 7匾顯示的是根據本發明第五實施洌之液 晶顯示裝置。第1 6圖是此液晶顯示裝置中某-像素的俯 視圖。第1 7圖是沿第1 6圖中X V I卜X V I I線段而取的截面 圖。 參照第1 6圖，當選擇掃描線4 6 2時會透過薄膜電晶體 -23- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 r 4 3 8 9 8 7 B7 五、發明説明（〆） 4 6 3將影像信號線4 6 1上的電壓傳送到第一梳-狀電極4 0 1 。結果，龠在施加有共同電壓的第一梳-狀電極4 0 1與第 二梳狀-電極4 0 2之間執行共平面切換。 於製造如第五實施例之液晶顯示裝置的步驟中如第1 7 圖所示，第一梳-狀電極4 0 1是形成於基Η 4 1 0上。然後， 澱積内枣絕緣 4 1 1使之覆蓋於第一梳-狀電極4 0 1和基 Η 4 1 0 h。之後，將第一梳-狀電極4 0 2形成於內夾絕緣 4 1 1 h ° 於如第五實施例中，第二梳-狀電極4 0 2含有其組成為 金靨的梳-狀電極4 0 2 a及覆蓋住梳_狀電極4 0 2 a的陽極氧 化膜4 0 2 h。陽極氧化膜4 0 2 b是在對金屬膜製作圖案使之 成為第二梳-狀電極4 0 2之後藉由對金屬膜施行電鍍氧化 作用而形成的。 根據本發明第五實施例之液晶顯示裝置在結構上是類 Μ於根據本發明第二實施例之液晶顯示裝置，但是其差 Μ是椅-狀電極402a在各側邊表面的上邊覆蓋有陽極氧 化_ 4 2 0 b這確保了彈性-電氣效應也會在梳-狀電極4 0 2 a 的各側邊表面上得到緩和。 雖然圖中並未顯示，第五實施例可Μ與第三實施例或 第四實施例結合。也就是說於結合的實施例中，梳-狀 電極40 2 a會在各側邊表面的上邊覆蓋有陽極氧化膜40 2 b ，而內夾絕緣層4 1 1上則形成有低窪區域3 5 0。 與上述實施例類似地，可Μ將像第1 3 E圖所示的膜2 1 2 之類的覆蓋用絕緣膜覆蓋於如第1 7圖所示的結構上。 -24- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 4 3 89 8 ? A7 B7 五、發明説明（4 ) 「第六實施例1 第1 8 A - 1 8 E _顯示的是根據本發明第六實施例之液晶顯 示裝置。第1 8 A圖是此液晶顯示裝置的截面圖示，顯示的 是其製造方法的步驟，而第1 8 B - 1 8 E圖是根據本發明第六 實_例之液晶顯示裝置的截面圖示，顯示的是其可能的 第六奮施例是結合了包括一個事先使將要形成第二梳 -狀雷極的區域下凹的結構與第一到第五實施例的結構 之一而成的結構。 於製造如第六實施例之液晶顯示裝置的步驟中如第1 8 A 圖所示，使基片5 1 0或是形成於基片5 1 0的絕緣膜下凹因 而構成將要形成第二梳-狀電極的低窪部分5 5 0。 第1 8 B圖顯示的是藉由將第六實施例與第一和第二實施 例結合而得到的結構。也就是說，將第二梳-狀電極1 〇 2 W及形成於第二梳-狀電極1 0 2上的彈性-電氣緩和層1 〇 3 形成於低窪部分5 5 0内的內夾絕緣層1 1 1上。 第1 8 C圖顯示的是藉由將第六實施例與第三實施例结 合而得到的结構。也就是說，將第二梳-狀電極2 0 2形成 於內夾絕緣層2 11上，且內夾絕緣層2 1 1是設計成在第一 梳-狀電極20 1上方具有第一厚度而在第二梳-狀電極202 底下具有第二厚度。第一厚度是小於第二厚度。 第1 8 D _顯示的是藉由將第六實施例與第五實施例结 合而得到的結構。也就是說，第二梳-狀電極4 0 2是形成 於低窪部分5 5 0內的内夾絕緣層4 11上。而第二梳-狀電 -25- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

43 8 A7 B7 五、發明説明（β ) 瞧用在第一到第五實施例上。 於第1 8 E _的結構中，若形成於第一梳-狀電極上表面 诞液晶層之間介電層在每單位面積的電容量是大致等於 形成於第二梳-狀電極上表面與液晶層之間介電層在每 顒位面積的電容量時，則可Μ省略將要直接形成於第二 梳-狀電極1 〇 2上的强性-電氣緩和層1 〇 3。 如第1 8 F _所示係具有這種結構的實例之一。藉由省 赂彈性-電氣緩和層1 〇 3，則相對於第1 8 Ε圖结構的製造 步驟可Μ簡化如第1 8 F圖結構的製造步驟。 第六實施例中用於形成低窪部分5 5 0的步驟可Κ和形 成液晶顯示裝置之其他部位共同一個步驟。例如，用於 形成低窪部分5 5 0的可Μ和形成接觸孔共同一個步驟，導 致製造步驟有更高的效率。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 27 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐）

Claims (1)

1. 第871 21682號「液晶顯示裝置及其製造方法」專利案 (90年1月18日修正） 六申請專利範圍： 1. 一種液晶顯示裝置，其特徵爲包括： (a) 第一基片； (b) 與該第一基片間隔開且面朝該第一基片的第 二基片； (c) 夾於該第一與第二基片之間的液晶層； (d )形成於該第一基片的表面上且面朝該液晶層 的第一電極； (e) 形成於該第二基片的表面上且面朝該液晶層 的第二電極，而此電極與該第一電極聯合而形成一 個像素，該第一和第二電極會於其間形成電場因而 施行共平面切換；以及 (f) 內夾絕緣膜至少會形成於該第二電極底下而 至少不會形成於該第一電極底下， 令至少形成於該第一電極上表面的一部分與該液 晶層之間的介電層，設計成在每單位面積內所含的電 容量大致等於至少形成於該第二電極上表面的一部 分與該液晶層之間的介電層在每單位面積內所含的 電容量。 2 .如申請專利範圍第1項之液晶顯示裝置，其中該內 夾絕緣膜會覆蓋住該第一電極，且該內夾絕緣膜是 設計成在該第一電極上表面具有第一厚度而在該第 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X2W公釐） I ·.—j i t —— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4389 8 7 μ8 C8 D8 六、申請專利範圍 二電極底下具有第二厚度，該第一厚度是小於該第 二厚度。 . (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 3.如申請專利範圍第2項之液晶顯示裝置，其中該內 夾絕緣膜是設計成除了位於該第二電極底下之外的 區域具有第三厚度，該第三厚度是小於該第二厚 度。 4 .如申請專利範圍第1至3項中任一項之液晶顯示裝 置，其中該內夾絕緣膜只是形成於除了該第一電極 上表面之外的區域內。 5 .如申請專利範圍第1至3項中任一項之液晶顯示裝 置，其中該第二電極是覆蓋有陽極氧化膜。 6 .如申請專利範圍第1至3項中任一項之液晶顯示裝 置，其中更包括覆蓋住該第一及第二電極的覆蓋用 絕緣膜。 7 .如申請專利範圍第1至3項中任一項之液晶顯示裝 置，其中該第一電極的上表面是暴露出。 8 ·如申請專利範圍第1 - 3項中任一項之液晶顯示裝置， 其中該第二電極的上表面及側表面是暴露出。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 9. 一種液晶顯示裝置，其特徵爲包括： (a )第一基片； (b)與該第一基片間隔開且面朝該第一基片的第二 基片； (c )夾於該第一與第二基片之間的液晶層； (d)形成於該第·一基片上且面朝該液晶層的表面上 -2- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 4 3 8 9 8 7 a8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 的第一電極； (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) (e )形成於該第一基片上且面朝該液晶層的表面上 的第二電極，而此電極與該第一電極聯合而形成一 個像素，該第一和第二電極會於其間形成電場因而 施行共平面切換； (f) 內夾絕緣膜至少會形成於該第二電極底下而在 該第一電極之上，以及 (g) 由電氣絕緣材料構成且形成於該第二電極上的 彈性-電氣緩和層， 令至少形成於該第一電極上表面的一部分與該液晶 層之間的介電層設計成在每單位面積內所含的電容 量大致等於至少形成於該第二電極上表面的一部分 與該液晶層之間的介電層在每單位面積內所含的電 容量。 10.如申請專利範圍第9項之液晶顯示裝置，其中該 彈性-電氣緩和層大致與第二電極擴及相同空間。 經濟部智慧財.4局員工消費合作社印製 1 1 ·如申請專利範圍第9項之液晶顯示裝置，其中該 彈性-電氣緩和層的厚度是與形成於該第一電極上 之該內夾絕緣膜的厚度相同。 1 2 ·如申請專利範圍第9項之液晶顯示裝置，其中該 彈性-電氣緩和層內厚度對介電常數的比例是大致 等於該內夾絕緣膜內厚度對介電常數的比例。 1 3 ·如申請專利範圍第9至1 2項中任一項之液晶顯示 裝置，其中該內夾絕緣膜會覆蓋住該第一電極，且 -3- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） Λ8 六、申請專利範圍 該內夾絕緣膜是設計成在該第一電極上表面上具有 第一厚度而在該第二電極底下具有第二厚度，該第 一厚度是小於該第二厚度。 1 4 .如申請專利範圍第1 3項之液晶顯示裝置，其中該 內夾絕緣膜是設計成除了位於該第二電極底下之外 的區域具有第三厚度，該第三厚度是小於該第二厚 度。 1 5 .如申請專利範圍第9至1 2項中任一項之液晶顯示 裝置，其中該內夾絕緣膜只是形成於除了該第一電 極上表面之外的區域內。 1 6 .如申請專利範圍第9至1 2項中任一項之液晶顯示 裝置，其中該第二電極是覆蓋有陽極氧化膜。 1 7 .如申請專利範圍第9至12項中任一項之液晶顯示 裝置，其中更包括覆蓋住該第一及第二電極的覆蓋 用絕緣膜。 1 8 .如申請專利範圍第9至1 2項中任一項之液晶顯示 裝置，其中暴露出該第一電極的上表面。 1 9 .如申請專利範圍第9至1 2項中任一項之液晶顯示 裝置，其中暴露出該第一電極的上表面及側表面。 20.—種液晶顯示裝置，其特徵爲包括： (a)第一基片其上至少形成一個低窪部分； (b )與該第一基片間隔開且面朝該第一基片的第 二基片； (c )夾於該第一與第二基片之間的液晶層； 本纸張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（21 Οχ 2ς>7公f ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ^!· 再填寫太 、1T. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 3 8 9 8 7 A8 B8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 (d) 形成於該第一基片上且面朝該液晶層的表面 上的第一電極； (e) 形成於該第一基片上且面朝該液晶層的表面 上的第二電極，而此電極與該第一電極聯合而形 成一個像素，該第一和第二電極會於其間形成電 場因而施行共平面切換；以及 (f) 內夾絕緣膜至少會形成於該第二電極底下而 至少不會形成於該第一電極底下， 令至少形成於第一電極上表面的一部分與液晶層之 間的介電層設計成在每單位面積內所含的電容量大 致等於至少形成於第二電極上表面的一部分與液晶 層之間的介電層在每單位面積內所含的電容量。 21.如申請專利範圍第20項之液晶顯示裝置，其中更 包括形成於該第一基片上的絕緣膜，該低窪部分 是形成於該絕緣膜的表面上。 22·如申請專利範圍第20或32項之液晶顯示裝置，其 中更包括覆蓋住該第一及第二電極的平坦絕緣膜。 23 ·如申請專利範圍第22項之液晶顯示裝置，其中該 平坦絕緣膜是施加於該第一及第二電極並加以烘烤 而成的一層薄膜，其主要是由有機聚合物所組成。 24 ·如申請專利範圍第22項之液晶顯示裝置，其中該 平坦絕緣膜也作爲對齊層。 25·如申請專利範圍第20或21項之液晶顯示裝置，其 中更包括由電氣絕緣材料所組成且形成於該第二電 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X2W公釐） 請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) ♦ T7填寫本-ΙΓ 、1T MW. 4 3 8 9 8 7 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 極上的彈性-電氣緩和層。 26 _如申請專利範圍第25項之液晶顯示裝置，其中該 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 彈性-電氣緩和層大致與第二電極擴及相同空間。 27 ·如申請專利範圍第25項之液晶顯示裝置，其中該 彈性-電氣緩和層的厚度是與形成於該第一電極上 之該內夾絕緣膜的厚度相同。 28 .如申請專利範圍第25項之液晶顯示裝置，其中該 彈性-電氣緩和層內厚度對介電常數的比例是，大 致等於該內夾絕緣膜內厚度對介電常數的比例。 29 · —種液晶顯示裝置，其特徵爲包括： (a) 第一基片其上至少形成一個隆起部分； (b) 與該第一基片間隔開且面朝該第一基片的第 二基片； (c )夾於該第一與第二基片之間的液晶層； (d) 形成於該第一基片上且面朝該液晶層的表面 上第一電極；至少該第一電極的一部份形成於該 隆起部份之上。 經濟部智慧財4局員工消費合作社印製 (e) 形成於該第一基片上且面朝該液晶層的表面 上的第二電極，而此電極與該第一電極聯合而形 成一個像素，該第一和第二電極會於其間形成電 場因而施行共平面切換；以及 (f) 內夾絕緣膜至少會形成於該第二電極底下， 而至少不會形成於該第一電極底下， 令至少形成於該第一電極上表面的一部分與該液晶 -6- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNTS ) A4規格（210X 297公釐） 4389 7 A 8 B8 C8 D8 甲請專利範圍 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 層之間的介電層，設計成在每單位面積內所含的 電容量大致等於至少形成於該第二電極上表面的一 部分與該液晶層之間的介電層在每單位面積內所含 的電容量。 3〇 .如申請專利範圍第29項之液晶顯示裝置，其中更 包括形成於該第一基片上的絕緣膜，該低窪部分 是形成於該絕緣膜的表面上。 31·如申請專利範圍第29或30項之液晶顯示裝置，其 中更包括覆蓋住該第一及第二電極的平坦絕緣膜。 32.如申請專利範圍第31項之液晶顯示裝置，其中該 平坦絕緣膜是施加於該第一及第二電極並加以烘烤 而成的一層薄膜，其主要是由有機聚合物所組成。 3 3 ·如申請專利範圍第3 1項之液晶顯示裝置，其中該 平坦絕緣膜作爲對齊層。 34.如申請專利範圔第29或30項之液晶顯示裝置，其 中更包括由電氣絕緣材料所組成且形成於該第二電 極上的彈性-電氣緩和層。 經濟部智慧財產局資工消費合作社印製 35·如申請專利範圍第34項之液晶顯示裝置，其中該 彈性-電氣緩和層大致與第二電極擴及相同空間。 36 .如申請專利範圍第34項之液晶顯示裝置，其中該 彈性-電氣緩和層的厚度是與形成於該第一電極上 之該內夾絕緣膜的厚度相同。 37 ·如申請專利範圍第34項之液晶顯示裝置，其中該 彈性-電氣緩和層內厚度對介電常數的比例是大致 本紙張尺度適用中國國家襟準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 4 3 8 9 8 7 ?'8 D8 六、申請專利範圍 等於該內夾絕緣膜內厚度對介電常數的比例。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 3 8 . —種製造液晶顯示裝置之方法，此液晶顯示裝置 包括：（a)第一基片；（b)與該第一基片間隔開且面朝 該第一基片的第二基片；（c)夾於該第一與第二基片 之間的液晶層；（d )形成於該第一基片上且面朝該液 晶層的表面上的第一電極；（e)形成於該第一基片上 且面朝該液晶層的表面上的第二電極，而此電極 與該第一電極聯合而形成一個像素，該第一和第 二電極會於其間形成電場因而施行共平面切換，其 特徵爲 該方法的步驟依序包括： (a) 於該第一基片上形成第一金屬層； (b) 將該第一金屬層製作圖案使之成爲第一電極； (c) 以內夾絕緣層覆蓋住該第一電極； (d) 於該內夾絕緣層上形成第二金屬層； (e )於該第二金屬層上形成絕緣層；以及 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (f)將該第二金屬層和絕緣層製作圖案使之成爲 該第二電極及大致與該第二電極擴及相同空間的彈 性-電氣緩和層。 3 9.如申請專利範圍第38項之製造液晶顯示裝置之方 法，其中該液晶顯示裝置更包括形成於該第一基 片上的絕緣膜，且其中該第一金屬層是形成於該 絕緣膜上。 40. —種製造液晶顯示裝置之方法，此液晶顯示裝置 -8- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X2Q7公釐） BCD 4 3 8 9 8 7 六、申請專利範圍 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 包括：（a )第一基片；（b )與該第一基片間隔開且面朝 該第一基片的第二基片；（c)夾於該第一與第二基片 之間的液晶層；（d)形成於該第一基片上且面朝該液 晶層的表面上的第一電極；（e)形成於該第一基片上 且面朝該液晶層的表面上的第二電極，而此電極 與該第一電極聯合而形成一個像素，該第一和第 二電極會於其間形成電場因而施行共平面切換，其 特徵爲 該方法的步驟依序包括： (a) 於該第一基片上形成第一金屬層； (b) 將該第一金屬層製作圖案使之成爲第一電 極； (c) 以內夾絕緣層覆蓋住該第一電極； (d) 於該內夾絕緣層上形成第二金屬層； (e) 於該第二金屬層上形成絕緣層；以及 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (f) 同時蝕刻該第二金屬層及該內夾絕緣層製作 層因而將該第二金屬層和該內夾絕緣層製作圖案使 之成爲該第二電極，並在位於該第二電極底下以 外的區域內削薄或去除該內夾絕緣層。 4 1 ·如申請專利範圍第40項之製造液晶顯示裝置之方 法，其中該液晶顯示裝置更含有形成於該第一基 片上的絕緣膜，且其中該第一金屬層是形成於該 絕緣膜上。 42. —種製造液晶顯不裝置之方法，此液晶顯示裝置 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2】0X 297公釐） ABCD 4 3 8 9 8 7 六'申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 包括：（a )第一基片；（b )與該第一基片間隔開且面朝 該第一基片的第二基片；（c)夾於該第一與第二基片 之間的液晶層；（d)形成於該第一基片上且面朝該液 晶層的表面上的第一電極；（e)形成於該第一基片上 且面朝該液晶層的表面上的第二電極，而此電極 與該第一電極聯合而形成一個像素，該第一和第 二電極會於其間形成電場因而施行共平面切換，其 特徵爲 該方法的步驟依序包括： (a) 於該第一基片表面上形成一低窪部分； (b) 於該第一基片上形成第一金屬層； (c) 將該第一金屬層製作圖案使之成爲第一電極； (d) 以內夾絕緣層覆蓋住該第一電極； (e) 於該內夾絕緣層上形成第二金屬層； (f) 於該第二金屬層上形成絕緣層；以及 (g) 將該第二金屬層製作圖案，使之於該第一基 片的該低窪部分內成爲該第二電極。 43 .如申請專利範圍第42項之製造液晶顯示裝置之方 經濟部智慧財i局員工消費合作社印製 法，其中該液晶顯示裝置更含有形成於該第一基 片上的絕緣膜，且其中該第一金屬層是形成於該 絕緣膜上。 44 · 一種製造液晶顯示裝置之方法，此液晶顯示裝置 包括：（a )第一基片；（b )與該第一基片間隔開且面朝 該第一基片的第二基片；（c)夾於該第一與第二基片 -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ABCD 4 3 8 9 8 7 六、申請專利範圍 之間的液晶層；（d)形成於該第一基片上且面朝該液 晶層的表面上的第一電極；（e )形成於該第二基片上 且面朝該液晶層的表面上的第二電極，而此電極 與該第一電極聯合而形成一個像素，該第一和第 二電極會於其間形成電場因而施行共平面切換，其 特徵爲 該方法的步驟依序包括： (a) 於該第一基片表面上形成一隆起部分； (b) 於該第一基片的該隆起部分上形成第一金屬 層； (c) 將該第一金屬層製作圖案使之成爲第一電 極； (d) 以內夾絕緣層覆蓋住該第一電極； (e) 於該內夾絕緣層上形成第二金屬層；以及 (f )於形成有該隆起部分的區域以外區域上方， 將該第二金屬層製作圖案使之成爲該第二電極。 45 ·如申請專利範圍第44項之方法，其中該液晶顯示 裝置更包括形成於該第一基片上的絕緣膜，且其 中該第一金屬層是形成於該絕緣膜上。 -11- ——— _____ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格(210X 297公釐） 請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財.4局i(工消費合作社印製