A7 436 95 5 B7__ 五、發明說明（1 ) 〔發明所屬之技術領域〕 本發明是有關處理例如半導體裝置或印刷基板、 L C D基板等的各種基板之基板處理裝置，更詳細而言， 是關於藉工件運送機構將工件從匣中取出，例如進行粗調 正等的第1處理之後，例如進行曝光等的第2處理，可自 動運送處理後的工件之基板處理裝置》 〔習知技術〕 半導體晶圓等工件的加工·處理之裝置中，例如使用 曰本專利特開平8_2 74 1 40號公報中所揭示之機器 人作爲運送機構，運送工件爲一般所熟知。 _ 如上述之機器人是使用驅動時極力抑制發塵的機構| 使用於高無塵度要求的工程上。 第1 4圖是表示上述機器人之例。 同圖表示之機器人RA，具備：可自由轉動地支持在 底座RA10上的轉動部RA20;於轉動部RA20上 轉動之第1臂部RA3、RA3’ ：第1關節部RA4、 RA4’中可自由轉動地安裝於第1臂部RA3、 RA3，之第2臂部RA5、RA5’ ：第2關節部 RA6、RA6’中可自由轉動地安裝於第2臂部RA5 、尺六5’之工件保持臂1^六1、1^厶1’ ，上下配置之 工件保持臂尺厶1、只厶1’的前端設置可藉真空吸附等 保持工件之工件保持部RA7'RA7_ » 並且，在第2臂部RA5、RA5’上設有避免臂部 f請先M讀背面之注意事項再M寫本頁> I ---I II I 訂·！'|"5^ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本·紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公芨） -4 - A7 43G 95 5 B7 _ 五、發明說明（2 ) 互相干涉用之餘隙構件RA8、RA8，，餘隙構件 R A 8 ' R A 8 1係固定於工件保持臂RA1、RA1’ 上 '經餘隙構件RA8、RA8，使工件保持臂RA1、 RA1* ’可自由轉動地安裝於第2臂部RA5、 R A 5 ’ 上。 工件保持臂RA1、RA1，是以轉動部RA2的軸 b爲原點’分別獨立朝著同一方向（同圖中之箭頭方向） 移動。並且，藉著轉動部RA 2的轉動，改變工件保持臂 RA1、RA1’的方向。即，利用上下設置的2支保持 臂RA1及RA1’ ，保持工件，藉轉動移動運送工件。 但是’在裝置內設置作爲運送機構之上述機器人時， 具有以下的卩4題。 (1 )如第1 4圖所示臂㉟的·覽份是 ，替谢；的isi節部是形成自機器人轉、動部 延伸的形狀。因此，爲了運送工件轉®j機n時，爲了不 使臂部或保持在臂部上的工件與裝置之其他部份干涉，必 須確保轉動用的空間。因此^會造成裝置框體的大型化= (2 )藉關節部的構造及上下設置2支臂部，會提高 機器人整體高度* 因此，將機器人安裝在收納該機器人或處理部等框體 的橫向困難，維修時考慮將該機器人從裝置卸下時，必須 在機器人上部設置維修空間，會使裝置整體大型化。 此外，只要將機器人從裝置的橫向取出時，可不需在 上部設置維修空間，但是由於機器人的整體高度較高，爲 本纸張尺度適用中囤國家標準<CNS)A4規格（210 * 297公芨） ---^--.----„-----裝 ill — ί— 訂 -----?* 線 {琦先w1#背面之法意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -5- A7 436955 B7___ 五、發明說明U ) 了從橫向取出必需形成框體部摁的缺口構造，會導致裝置 強度的減弱而不能採用。 另一方面|該種裝置中，單位時間內處理的工件數量 (總處理能力）至少要求較多。 爲了使增加總處理能力，重要的是儘可能縮短裝置之 處理部的待機時間。並且，裝置之處理部的待機時間是處 理部完成工件處理後其次之工件處理開始爲止的時間，此 係包含等待其次之工件運送至處理部的時間，及將運送而 來之其次（處理前）工件與處理後工件間的更換時間。 爲了縮短處理部的待機時間，必須有效地進行自收納 工件之盒體（匣）中取出-移送至處理部—處琴完成後之 工件盒體（匣-)內的回收等的工件運送。 其次以第1 5圖之基板處理裝置爲例，針對使用上述 工件運送機構之工件的移動·工件的處理之總處理能力說 明如下。 第1 5圖之基板處理裝置中，載置收納工件之盒體（ 以下稱匣）之匣載置階段C S 1及C S 2 (以下稱匣載置 部）：進行曝光處理之曝光處理部WS (第2處理部）： 調正處理部FA (第1處理部）係設置於工件運送機構 R Α的轉動圓周上。 上述調正處理部FA (第1處理部）爲了將工件載置 於曝光處理部WS的預定位置而進行定位《又，曝光處理 部W S中，藉形成光罩模樣的光罩*將曝射光照射在曝光 處理部上所載置的工件’將光罩模樣轉印至工件上。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格<210 * 297公釐） (請先Μ讀背面之注S事項再填寫本頁) --I------ 訂·！ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -6- 436955 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印3# B7______玉、發明說明（4 ) 工件運送機構RA具有如.第1 4圖表示之端部上設置 工件保持用真空吸附槽之伸縮工件保持臂部RA1、 R A 1 ’ · 並且，使上述臂部rai、rai’伸縮，進行從各 位置取出/將工件載置於各位置的動作。保持在臂部 RA1、RA1’上的工件可藉著工件運送機構RA的轉 動移動•於各位置間運送》 工件運送機構RA的2支臂部RA1及第2臂部 RA1’係設置於第14圖表示之上下，藉2支臂部 RA1、RA1'可於處理部FA、WS更換處理前工件 與處理後工件。 _ 其次，針對運用第1 5圖之基板處理裝置時的工件運 送順序說明第1 4圖之工件運送機構如下 其中，舉例如第1 6圖所示從放置在第1匣載置部 C S 1.的匣1取出工件W，處理後考慮回收至放置於第2 匣載置部CS2之匣2內的動作。 (1)使第16 (a)圖表示之第1臂部RA1朝著 第1之匣載置部C S 1方向延伸，保持匣1之第η片工件 Wn。第1臂部RA1可縮短取出工件Wn » (2 )工件運送機構RA是朝著調正處理部FA的方 向轉動。使第1臂部RA 1延伸將工件Wn載置於調正處 理部FA·並縮短臂部RA1。 調正處理部F_ A係進行調正處理。調正處理完成後， 如第16 (b)圖所示使第1臂部RA1延伸，從調正處 — — — —flit—--------I--I 1 ^ » — — — 1 — ! — ^ , (請先Μ讀背面之注意事項再坝寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標羊<CNS>A4規格（2〗〇χ 297公釐） -7- 436955 A7 B7 五、發明說明（5 ) 理部FA接受工件Wn，縮短第1臂部RA1 » (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) (3 )使工件運送機構RA朝著曝光處理部WS的方 向轉動。如第17 (c)圖所示使第2臂部RA1’延伸 ，從曝光處理部WS接受曝光處理完成後之第η - 1片的 工件Wn-l，縮短臂部RA1’ 。 使第1臂部RA 1延伸，將工件Wn載置於曝光處理 部W S，並縮短臂部R A 1。 (4 )於曝光處理部WS進行工件Wn的曝光處理。 其間，使工件運送機構RA朝著第2匣載置部C S 2方向 轉動。 並且，如第17(b)所示，使第2臂部R_A1’延 伸，將工件Wn - 1回收至第2匣載置部C S 2的匣2內 ，縮短臂部R A 1 ’ 。 (5)如第18(e)圖所示使工件運送機構RA朝 著第1匣載置部C S 1的方向轉動。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 (6 )使第1臂部RA 1延伸|取出第匣載置部 CS1之匣1內之第n + 1片的工件Wn + Ι。重覆以下 (1 )〜（5 )的動作。 上述基板處理裝置之工件移動·處理的狀態係顯示於 第1 9圖。橫軸爲時間、縱軸爲工件存在的位置’各線是 表示工件流動的路徑，四角之顯示是表示進行各處理° 同圖中，調正處理部FA之調正處理時間爲5秒’曝 光處理部WS的曝光處理時間爲1 5秒。又’臂部延伸的 時間。臂部縮短的時間、工件從臂部傳遞至各位置間的時 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） -8 - A7 436955 ____B7____ 五、發明說明（6 ) 間/從各位置傳遞至臂部的時間各爲1秒，工件運送機構 轉動的時間爲2秒。 第1 5圖之基板處理裝置係於曝光處理部WS的工件 更換中，工件運送機構RA的臂部動作是必須第1臂部 RA1的延伸·工件的傳遞·縮短、第2臂部RA1’的 延伸.工件的傳遞·縮短等6個動作。因此，更換時間費 時6 X 1秒=6秒。 又，即使曝光處理部WS之工件的曝光處理完成時， 由於其次之工件的調正處理尙未完成，因此其次工件的待 機時間爲1 0秒。 因此曝光處理部WS中，從第η片工件Wn處理開始 |以至第n + 1片之工件Wn + Ι處理開始的時間（即生 產間隔時間）係如第1 9圖所示爲3 1秒》 〔發明所欲解決之問題〕 以上之習知基板處理裝置中，係使用具備轉動機構之 多關節構造之工件運送機構，爲了使臂部或保持於臂部之 工件與裝置之其他部份互相干涉1必須確保轉動用的空間 。又，由於機器人的總高度較高，因此會造成裝置框體大 型化等問題。 此外，處理部的待機時間、工件的更換時間長，會有 不能縮短總處理能力的問題。 本發明是有鑑於上述情形所硏創而成者，提供一 運送機構上部無需設置工件運送機構卸下用的維修空間， 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） — — — —Ίιιί — — — — — « I — I I I I — 訂· I — — J (請先閱讀背面之泫意事項再每寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印S衣 -9- A7 436955 ______B7____ 五、發明說明（7 ) 可形成也體並且，可縮理部的待機時間 及運送而來之處理前的工件與處理後工件的更換時間之基 板處理裝置爲目的者° 〔解決問題之手段〕 習知例之運送機構中，不能有效地運送的原因之一是 -----—- ,—— 相對於不!1的2 JP處理部或匣載置部，不能分毁@進行 工砰的運入/運出。例如，將工件Wn - 1回收於匣2的 期間，只要將工件Wn從匣1運送至調正處理部FA，即 可儘早完成工件Wn的調正處理，縮短曝光處理部WS等 待其次工件的時間。 因此，相對於不同的2個處理部或匣載置部，只需構 成、配置工件運送機構的臂部及各匣載置部、2個處理部 時即可同時操作》
如上述，本發明中，具備載置收納複數工件之匣的複 數個匣載置部；相對於所載置之工件進行第1處理的H 處理部；相對於所載置之工件隨第1處理進行第2處理之 - > __ — 第2處理部^及，工件運送機構等1成之基_板處理裝置係 構成如下。 (1 )將工件運送機構並非以轉動移動來運送，而是 - t 以直線移動來運送，又，工件保持構件並非上下，而I設 置在同一平面的左右俱ί。 即，工件運送機構爲第1基台：於第1基台上直線移 動的2個第2基台：及，分別於第2基台上所設置之第1 本纸張尺度適用中舀國家標準<CNS)A4規格（210x297公爱） ---^------------^---- (請先Μ讀背面之注意事項再灰寫本頁) 訂-----.——:線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -10- 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 436955 A7 ___B7_ 五、發明說明（8 ) 及第2運送部所構成，上述第1及第2運送部上分別設置 保持工件用之保持構件，該保持構件係構成相對於上述導 件之移動方向的正交方向分別獨立移動者。 (2 )上述匣載置部是配置在與基台方向 平行之假設線上·將上沭虐琿部置在ϋ述假設線平行 之其他假設線上》 此外•上述工件運送機構2之第2基台係構成1之一 體的第2基台*各匣載置部與各處理部也可以分別配置在 與運送部的移動方向平行且2個運送部的間隔具有相等間 隔的複數假設線上。 〔發明之實施形態〕 第1圖是表示本發明實施例之工件運送機構的構成圖 0 同圖中，1是第1基台，第1基台1上安裝軌道1 a 。2爲第2基台，第2基台2係安裝於軌道2 a上，導件 2 a及第2基台2係可沿著軌道1 a朝著同圖左右方向（ 稱Y方向）移動。又，第1基台1與第2基台2之間，設 置例如線性馬達等所構成之驅動機構，藉該驅動機構使第 2基台2朝著第1基台1上之Y方向驅動（使第2基台朝 Y方向移動之機構稱爲Y方向移動機構Ym)。 第2圖是表示上述驅動機構之一例圖，同圖是表示設 於第1基台1與第2基台2間之線性馬達所構成的驅動機 構之剖面構造。如同圖所示在導件2 a內設置磁電路部5 本纸張尺度適用中國國家標準（CNSM4規格（210 X 297公釐） — — —If!·裝 -----II 訂.—---I I--線 (請先Μ讀背面之注意事項再球寫本頁) -11 - 436955 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 B7 五、發明說明（9 ) ，又，軌道1 a之間安裝有矽鋼板6。移動第2基台2時 ，於上述磁電路部5外加交流產生移動磁場。藉此使第2 基台2沿著軌道1 a移動。且雖未圖示，但是驅動機構上 安裝有編碼器等的位置感測器，將位置感測器檢測出的位 置信號反饋後，可使第2基台2相對於第1基台1以高精 度定位。 回到第1圖，第2基台2上安裝有軌道2b、2b’ ，軌道2b、2.b’上安裝有第1運送部3及第2運送部 3’ ，第1運送部3、第2運送部3’係分別沿著軌道 2b、2b，獨立移動於第2基台2上。 第1運送部3,第2運送部3’與第2基奇2之間， 分別設置與第2圖表示相同之驅動機構，第1運送部3、 第2運送部3’是藉驅動機構朝著X方向分別獨立驅動（ 使第1運送部3、第2運送部3'朝著X方向移動的機構 稱爲X方向移動機構Xm)。並且上述XY方向移動機構 Xm、Ym除了上述線性馬達導件之外，可利用如螺桿導 件‘空動滑件等。 此外，第1運送部3,第2運送部3’上分別安裝有 第1臂部RA1、第2臂部RA2，第1臂部RA1、第 2臂部RA 2的前端部設有以真空吸附等保持工件之工件 保持部。 又，第1臂部RA 1與第2臂部RA2伸長時係構成 可在第1臂部伸長位置與第2臂部伸長位置的2個位置間 停止者。例如，如第3圖所示，軌道2b、2b’附近安 -n n n if ^1. I I t a^i ί I I 線 (請先閱讀背面之注意事項Φίί寫本頁) 本紙張尺度遶用命國國家標準<CNS)A4規格（210 * 297公3 > -12- 436955 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 五、發明說明（10 ) 裝有感測器s 1、s 2、S 3. ’使用該感測器S 1〜S 3 可檢測臂部RA 1 ' RA2的位置，停止X方向移動機構 X m。 如上述，本實施例之工件運送機構是在1個基台2上 ，設置使第1臂部RA1與第2臂部RA 2形成左右的位 置，第1臂部RA 1與第2臂部RA 2係構成可獨立朝著 X方向伸縮者。因此，可接受來自各位置的工件，傳遞至 各位置的工件。又，本實施例中，使2支臂部RA1、 RA 2 —體朝著Y方向移動。 又，工件運送時，僅使臂部RA1、RA2朝著XY 方向移動，不致造成如習知技術表示之機器人均轉動。因 此，在工件運送機構的周邊，無需確保臂部或臂部所保持 之工件轉動用的空間，可獲得小型之裝置的框體。 此外，第1圖表示的2支臂部RA1、RA2係設於 同一平面左右側，臂部RA1、RA2的移動爲線性導件 等不具關節的構造》因此，本實施例之工件運送機構中， 可降低其整體高度。 因此，以框體支架可從裝置的橫向取出工件運送機構 。又，在習知例的裝置上可不需設置維修空間，獲得裝置 整體的精巧化。 此外，第1圖中，第2基台2上安裝有第1運送部3 及第2運送部3’ ，其雖顯示第1運送部3,第2運送部 3’在第2基台2上同時移動的場合，但是如後述第2實 施例所說明’也可以將第2基台2分割爲二’在分割爲二 本紙張尺度適用中S國家標準（CNS)A4規格（210* 297公釐） — If —.111«!11111 — — I ---— ^ — ---I--- {請先閱讀背面之注意事項再^寫本頁) -13- A7 B7 436 9 5 5 五、發明說明（η ) (請先閱讀背面之注意事項再，揉寫本頁) 之第2基台2上分別設置第1運送部3、第2運送部3* 構成使第1運送部3 _第2運送部3’分別獨立朝著Y 方向移動。 以下，將上述工件從匣中取出加以粗調正，進行曝光 處理’針對處理後工件收納於匣內之基扳處理裝置中運用 本發明時的工件運送順序說明如下β (1 )實施例1 第4圖、第5圖是表示使用第1圖表示之工件運送機 構的基板處理裝置之工件運送順序圖。 本實施例中，如第4 ( a )圖所示，將曝光寧理部 WS及調正處理部F A配置在與工件運送機構RA的移動 方向平行之第1假設線A1上，匣載置部CS1及CS2 是配置在與第1假設線A 1平行的第2假設線A2上。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，調正處理部FA與匣載置部C S 1是配置在與第 1臂部RA1、第2臂部RA2之伸長方向平行的第1假 設線B1上，曝光處理部WS是配置在與上述第1、第2 假設線B 1、B 2平行的第2假設線B2上，匣載置部 CS2是配置在與上述第1、第2假設線Bl、B2平行 的第3假設線B 3上。並且，第1之假設線B 1與第2假 設線Β1、第2假設線Β2與第3假設線Β3之分別的間 隔係以相等於第1臂部（RA 1 )與第2臂部（RA2) 的間隔配置。 再者，調正處理部F Α及曝光處理部WS形成不僅可 本紙張尺度適用中國圃家標準（CNS)A4規格（210*297公笼） ,Λ -14 - A7 436955 B7 五、發明說明（〗2 ) 從前方，也可以從任意的方向進行工件的運入/運出之構 成。但是’收納工件的匣在構造上僅可以單向進行工件的 運入·運出。 以下，以第4圖，第5圖將工件W (以下，與Wn表 示第η片之工件）從載置於第1匣載置部CS1之匣1中 取出’回收至放置在第2匣載置部C S 2之匣2時的工件 運送順序說明如下。 (1 )第4 ( a )圖表示之第1臂部R A 1是位在與 第1匣載置部C S 1及調正處理部FA對面的位置，第2 臂部RA 2則是位在與曝光處理部WS對面的位置上》 (2) 第4 (b)圖表示之第1臂部RA1_S延伸至 第3 ( c )圖表示之第2的伸長位置，保持著匣1之第η 片工件W η。 第1之臂部RA1可取出工件Wn，在第3 (b)圖 表示的位置上停止，將工件Wn載置於調正處理部FA。 使第1臂部RA 1收縮。調正處理部FA可進行工件Wn 的調正處理。 (3) 調正處理完成後，使第4 (c)圖表示之第1 臂部RA 1延伸至第1伸長位置，從調正處理部FA接受 工件Wn。此時，配合第1臂部RA1的動作，使第2臂 部RA2延伸至第1伸長位置，從曝光處理部WS接受曝 光處理後之第η — 1片的工件Wn — 1。 (4) 第5(d)圖表示之第1臂部RA1是在第1 伸長位置保持著調正處理後之工件Wn的狀態下移動至曝 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公发） (請先閱讀背面之注杳？事項再填寫本頁) --· I I — I — I —訂·11 — 1111· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -15- 經濟部智慧財產局員工消费合作社印製 43695 5 a? ____B7____ 五、發明說明（13 ) 光處理部W S。 保持曝光處理後的工件Wn - 1之第2臂部RA2同 樣在第1的伸長位置移動至與第2匣載置部C S 2相對的 位置上。 (5 )如第5 ( e )圖所示，第1臂部ra 1在將調 正處理後的工件Wn載置於曝光處理部WS收縮。配合其 動作，使第2臂部RA 2延伸至第2的伸長位置，將曝光 處理後的工件Wn — 1收納於匣2內收縮* (6) 如第4 (a)圖所示，第1臂部RA1是回到 第1匣載置部C S 1及調正處理部FA相對的位匱上.又 ，第2臂部RA 2是回到與曝光處理部WS相對^的位置上 (7) 重覆（1)〜（6)的動作 第6圖是表示本實施例之工件的移動.處理的狀態。 橫軸、縱軸、各線係與上述第1 9圖相同。 同圖中，調正處理部F Α的調正處理時間、曝光處理 部W S的曝光處理時間、臂部的伸縮時間、臂部與各位置 間之工件的傳遞時間是與第1 9圖的場合相同。又，工件 運送機構之Y方向移動時間是與習知例的轉動時間同樣是 2秒。 如第6圖所示，本實施例中，間歇時間爲2 1秒|與 習知例比較縮短1 0秒。 本實施例中，左右設置第1臂部RA 1及第2臂部 RA2，2支臂部RA1，RA2旳間隔與調正處理部 本紙張尺度i®用中0國家標準（CNS)A4規格（210 * 297公茇） --1--'----r ----- 裝！ —訂-------線 (猜先W讀背面之注意事項再填寫本頁) -16- A7 B7 436955 五、發明說明（14 ) FA (匣載置部C S 2 )及曝光處理部WS的間隔，及曝 光處理部WS與匣載置部C S 2的間隔相等。因此，自調 正處理部FA之工件W的運出，與自曝光處理部WS之工 件W的運出可同時進行。又，曝光處理部WS內之工件的 插入，及匣載置部C S 2的匣2內之工件的插入的運出也 可以同時進行。 因此，從匣載置部C S 1之匣1可以比習知例在較早 的階段取出其次的工件，進行調正處理》因此，完成曝光 處理部WS之曝光處理後立即，無需如習知例之第1 9圖 的等待時間即可將處理後工件與其次的工件更換，可開始 曝光處理。因此，可獲得總處理能力的大幅改善」 此外，（-1)第1臂部RA1及第2臂部RA2伸長 時，在第1臂部伸長位置與第2臂部伸長位置的2個位置 停止，（2 )如第4 ( a )圖所示2列配列匣載置部 C S 1及C S 2與曝光處理部WS及調正處理部FA，3 )調正處理部FA與曝光處理部WS構成可從任意方向運 入/運出工件，藉此工件運送機構R A將工件移送其他位 置時，工件保持之臂部可以第1臂部伸長位置的狀態運送 〇 如上述，可省略臂部縮短的時間。因此，於曝光處理 部WS中，可縮短運送而來之其次的（處理前）工件與處 理後工件更換的時間。 此外，第1臂部RA 1從放置在第1匣載置部CS 1 之匣1中取出工件W，可縮短載置於調正處理部FA的時 本紙張尺度適用令國國家標準（CNS)A4規格（210* 297公笼） -I---------- -----— II — — — —---i (請先閱讀背面之沒意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -17- A7 436 9 5 5 _____B7__ 五、發明說明（15 ) 間。因此，可以比習知例在較早的階段開始處理調正處理 ，可縮短曝光處理部的待機時間。 (2 )實施例 第7圖是表示本發明第2實施例之工件運送機構的構 成圖。 本實施例之工件運送機構係於第1圖表示之工件運送 機構中，將第2基台2分割爲二，分割後的第2基台2、 2’上分別設置第1運送部3 (臂部RA1)、第2運送 部3’ （臂部RA2)，第1運送部3、第2運送部3’ 可分別朝著Y方向移動而不互相接觸。其它之構成係與第 1圖相同。- 第8圖、第9圖是表示使用本實施例之工件運送機構 的基板處理裝置之工件運送順序圖。 本實施例中，調正處理部FA、曝光處理部WS '匣 載置部C S 1及C S 2的各位置關係是與第1實施例相同 ，如上述，調正處理部FA與匣載置部C S 1是配置在第 1假設線A 1上，匣載置部C S 1及C S 2是配置在與第 1假設線A 1平行的第2假設線A 2上。但是本實施例中 ，臂部RA 1 、RA2是獨立朝著Y方向移動，因此曝光 處理部WS及調正處理部F A及匣載置部C S 1及C S 2 的間隔不需與第1實施例相同互相相等。 又，與第1實施例同樣地，使工件運送機構RA的臂 部RA1、RA2是朝著X方向伸縮，在第1臂伸長位置 本紙張尺度適用中國囷家標準（CNS>A4規格（2〗0 X 297公釐） IJII1IIJ— — — — —· i — — — — — — ^ — — — — — — —— {請先W讀背面之注意事項再填寫本頁》 經濟部智慧时產局員工消費合作社印5衣 -18· 經濟部智慧財產局員工消f合作社印射^ ! 436955 A7 ___B7_____ 五、發明說明（10 ) 與第2臂伸長位置的2個位置停止。 以下，第8_、第9圖是與第1實施例相同，將工件 W從放置在第1匣載置部c S 1的匣1中取出，回收至放 置在第2匣載置部C S 2的匣2時的工件運送順序說明如 下。 (1 )如第8 ( a )圖所示之工件運送機構RA的第 1臂部RA 1係延伸至第2的伸長位置，保持著匣1之第 η片工件W η。 (2) 如第8 (b)圖所示，第1臂部RA1取出工 件Wn，在第1伸長位置停止，並將工件Wn載置於調正 處理部F A。縮短第1臂部RA 1 »調正處理部FA可進 行工件Wn的調正處理。 (3) 如第8 (c)圖所示，調正處理完成後，第1 臂部RA 1伸長至第1伸長位置，從調正處理部fa接受 調正處理後的工件Wn。此時，配合第1臂部RA 1的動 作，使第2臂部RA 2伸長至第1伸長位置，從曝光處理 部WS接受曝光處理後的工件Wn_l。 (4) 如第9 (d)圖所示，第1臂部RA1係於第 1之伸長位置保持著工件Wn移動至曝光處理部WS。保 持著工件Wn - 1的第2臂部RA2同樣在第1的伸長位 置朝著與第2匣載置部C S 2相對的位置移動。 (5) 如第9 (e)圖所示，第1臂部RA1係將工 件Wn載置於曝光處理部WS收縮。配合其動作，使第2 臂部RA 2伸長至第2伸長位置，工件Wn — 1收納於匣 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公;¥ ) - Imill.il — — — — -----—II ^---1--I-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -19- A7 B7 Λ36 95 5 五、發明說明（17 ) 2 » (6) 如第9 (ί)圖所示，使第2臂部RA2收縮 。此時間的第1臂部RA1是朝著與第1匣載置部CS 1 及調正處理部FA相對的位置移動。 (7) 如第8 (a)圖所示，第1臂部RA1係延伸 至第2之伸長位置，保持著匣1內之第n+ 1片的工件 Wn+Ι。在此時間使第2臂部RA2回到與曝光處理部 W S相對的位置上。 (8) 以下重覆（1)〜（7)。 第1 0圖是表示本實施例之工件的移動·處理的狀態 。橫軸、縱軸、各線係與上述第19圖相同。 _ 同圖中所示，第η片工件Wn曝光處理開始，以至第 η + 1片工件Wn + 1曝光處理開始爲止的時間爲2 1秒 ，與第1實施例相同。但是，當第2臂部RA 2進行匣2 之工件W的回收使臂部收縮時，第1臂部RA 1可移動至 與第1匣載置部C S 1相對的位置。因此，第1臂部 RA 1可以比第2實施例較早的階段從放置在第1匣載置 部C S 1.的匣1中取出工件W，載置於調正處理部FA。 因此，可以比第1實施例在較早的階段開始處理調正處理 。即，第2實施例中|較第1實施例可更早完成調正處理 ，因此更可縮短曝光處理部WS的處理時間，而縮短整體 的處理時間》 又，與上述第1實施例相同，工件運送時，僅使臂部 朝著XY方向移動，不致造成如習知技術表示之機器人的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公笼） {碕先閱讀背面之注意事項再'塊寫本頁> 裝----I---訂.！ ！線 經濟部智慧財產局員X消費合作杜印製 -20- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Λ36 95 b A7 B7 五、發明說明（18 ) 轉動。因此，在工件運送機構的周邊，無需確保臂部或臂 部所保持之工件轉動用的空間，可獲得小型之裝置的框體 〇 此外，2支臂部係設於同一平面左右側，且臂部的移 動爲線性導件等不具關節的構造，因此，可降低工件運送 機構的整體高度，因此，以框體支架可從裝置的橫向取出 工件運送機構。又，在習知例的裝置上可不需設置維修空 間，獲得裝置整體的精巧化。 (3 )其他之實施例 使用上述第1、第2實施例所說明之工件運送機構的 基板處理裝匮更可考慮多數之變形。 以下，針對其他變形例說明之。且I以下之第1 1圖 〜第1 3圖雖表示使用第2實施例之工件運送機構的場合 ’但是使用第1實施例之工件運送機構同樣可進行運送· 處理。 U)第1 1圖是表示使用4個匣載置部CS 1〜CS4 ’及上述第2實施例說明之臂部RA1、RA2是朝著Y 方向獨立移動之工件運送機構時的實施例。本實施例中， 調正處理部F A、曝光處理部WS是配置在與工件運送機 構之移動方向平行的第1假設線A 1上，4個匣載置部 CS 1〜CS4是配置在與上述第1假設線A1平行的第 2假設線A 2上。 第1 1圖之實施例中，從放置在第1匣載置部CS 1 本紙張尺度適用中固國家標準（CNS)A4規格（210x 297公芨） ---I 7--,.1 I---- illllll^i —--I--- (請先閱讀背面之注意事項#咸寫本頁) -21 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印4ίΛ 4 3 6 9 5 5 a7 _ B7_ . _ 五、發明說明（19 ) 的匣1中取出工件W，以調正處理部F A、曝光處理部 WS進行調正處理、曝光處理，將處理後的工件回收於放 置在第3匣載置部C S 3的匣3內，及放置在第4匣載置 部CS4的匣4內。 又，與其平行，從放置在第2匣載置部C S 2的匣2 中取出工件W，以調正處理部FA、曝光處理部WS進行 調正處理、曝光處理，將處理後的工件回收至匣3或匣4 內β (b)第1 2圖是表示使用2個匣載置部CS 1、CS2 :2個調正處理部FA1、FA2 :上述第2實施例說明 之臂部RA1、RA2朝著Y方向獨立移動之件運送機 構時的實施例。2個調正處理部FA1、FA2及曝光處 理部WS是是配置在與工件運送機構之移動方向平行的第 1假設線A1上> 2個匣載置部CS1、CS2是配置在 與上述第1假設線A 1平行的第2假設線A 2上。 本實施例中，從匣中取出工件W |進行調正處理、曝 光處理後，將處理後的工件回收至取出工件相同的匣中。 即，從放置在第1匣載置部C S 1的匣1中取出工件 W，以調正處理部FA進行調正處理，運送至曝光處理部 WS中進行曝光處理，將處理後的工件回收至匣1中。並 與其平行，從放置在第2匣載置部C S 2的匣2中取出工 件W，以調正處理部FA進行調正處理，運送至曝光處理 部WS中進行曝光處理，將處理後的工件W回收至匣2中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 * 297公S ) I I I I Ί— I — Mill1 * 11 I I I I I β J I I — I i (請先閱讀背面之注意事項^'為寫本頁) -22- A7 436 9 5 5 B7_ 五、發明說明（20) (c)第1 3圖是表示使用4個匣載置部CS 1〜CS4 ，及2個調正處理部FA1、FA2，上述第2實施例說 明之臂部RA1、RA2朝著Y方向獨立移動之工件運送 機構時的實施例。2個調正處理部FA1、FA2及曝光 處理部W S是是配置在與工件運送機構之移動方向平行的 第1假設線A1上，4個匣載置部CS1〜CS4是配置 在與上述第1假設線A 1平行的第2假設線A 2上》 本實施例係與第1 2圖之實施例相同，將工件回收至 取出工件相同的匣中。即，從放置在第1匣載置部C S 1 的匣1中取出工件W，以調正處理部FA 1進行調正處理 1運送至曝光處理部WS中進行曝光處理，將處理後的工 件回收至匣1-中。同樣地從放置在第2匣載置部C S 2的 匣2中取出工件W，以調正處理部FA 1進行調正處理， 運送至曝光處理部WS中進行曝光處理*將處理後的工件 W回收至匣2中。 同樣地，依匣3 — FA 2 —曝光處理部WS —匣3及 匣4 —調正處理部FA 2 —曝光處理部WS —匣4的順序 處理工件W。 如上述，以往轉動移動運送工件之機器人僅能在機器 人的圓周上配置處理部及匣載置部，因此其運用範圍受限 ，但是可藉本發明表示之工件運送機構的使用，可因應第 11圖〜第13圖表示的種種運送方式\有效地進行運送 本紙張尺度適用中國因家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---------------------I ^--— — — — —-- (請先閱讀背面之注意事項Hihsi寫本頁) 經濟部智慧財產局具工消費合作社印焚 -23- A7 436 9 5 5 _B7_____ 五、發明說明（21 ) 〔發明效果〕 以上說明之本發明中，可獲得以下的效果5 (1 )工件之運送機構爲直線移動之運送*可將2支 工件保持臂部設置在同一平面的左右側，因此可不需確保 轉動工件運送機構的空間，獲得裝置框體的精巧化。 (2 )工件運送機構的總高度較低，因此可藉框體之 支架將工件運送機構從裝置横向取出。因此，可不需在運 送機構上設置維修空間，使裝置整體精巧化。 (3 )將載置匣之匣載置部配置在與第2基台移動方 向平行的假設線上，同時將第1、第2處理部配置在與該 假設線平行的其他假設線上•使第1、第2處卑部可從任 一方向進行工件的運入·運出，藉此可同時進行第1處理 部之工件的運出，從第2處理部之工件的運出。並可同時 進行對第2處理部之工件的插入，及對匣內之工件的收納 〇 如上述， (1 )從匣中，可以較早階段取出其次的工件，進行 第1處理部的處理。因此，可縮短第2處理部的待機時間 (2 )可縮短第2處理部之處理後的工件與其次工件 間的更換時間。 (3 )臂部可從匣中取出工件，縮短該工件載置於第 1處理部的時間。又，可以較早階段開始.完成第1處理 部的處理，更可縮短第2處理部的待機時間。 本紙張尺度適用中舀國家標準（CNS)A4規格（2】〇 X 297公釐） ! — 1--I Ί I I--裝-------訂------ 線 <請先閱讀背面之注意事項再咸寫本頁) 經濟部智慧財產局貝工消費合作社印製 -24- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 436 9 5 5 a? .____B7_^_ 五、發明說明（22 ) (5)構成使2支工件保持臂部互不接觸地獨立移動 >藉此第1臂部可進行對匣內之工件的回收縮短臂部時， 可使第2臂部移動至與其他匣相對的位置上。因此，第1 臂部可以較早的階段從匣中取出工件，載置於第1處理部 。因此，可以較早階段開始·完成第1處理部的處理，更 可縮短第2處理部的待機時間/可大幅改善總處理能力。 (6 )可因應各種運送方式，有效地進行處理。 〔圖式之簡單說明] 第1圖是表示本發明第1實施例之工件運送機構的構 成圖。 一 第2圖是-表示移動基台之驅動機構的構成例圖》 -㈨' 第說明工件保持臂部之伸縮位置圖。 第4^^表示根據第1實施例的工件運送機構之工件 運送順序_ 1 )。 第5表示根據第1實施例的工件運送機構之工件 運送順序圖（2 )- 第6圖爲本發明第1實施例之工件的移動·處理狀態 之時間圖- 第7圖是表示本發明第2實施例之工件運送機構的構 成圖。 ιβϊέν % 第示第2實施例的工件運送機構之工件運送 順序圖（。 第示第2實施例的工件運送機構之工件運送 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（2】0 * 297公楚） ---- Γ---；---I--裝--—--—--訂--- ------ <請先閱讀背面之注幸？事項再4寫本頁) -25- 436 95 5 Α7 Β7 五、發明說明（23 ) 順序圖（2 )- <請先間讀背面之注意事項寫本頁) 第1 0圖爲本發明第2實施例之工件的移動·處理狀 態之時間圖。 第11圖是使用第1、第2實施例的基板處理裝置之 其他變形例（1)之圖。 第12圖是使用第1、第2實施例的基板處理裝置之 其他變形例（2 )之圖。 第13圖是使用第1、第2實施例的基板處理裝置之 其他變形例（3)之圖。 第1 4圖是表示習知之工件運送機構（機器人）之一 例圖。 第1 5圖是表示基板處理裝置之工件運送機構、處理 部、匣載的配置之一例圖。 第1 6,圖^表示第1 5圖之基板處理裝置的工件運送 順序之圖（。 第1 7 表示第1 5圖之基板處理裝置的工件運送 順序之圖（。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第1 8 是表示第1 5圖之基板處理裝置的工件運送 順序之圖（3 )。 第19圖爲第15圖之基板處理裝置之工件的運送· 處理狀態之時間圖。 〔符號說明〕 1 第1基台 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210x297公釐） -26-
本纸悵尺度適用中丨《國家標進（CNS ) Λ4規格U丨0X297公釐） (請先閲靖背面之注意事項再填寫本頁) -21 -