Α 浐部t-ΐί.Γ.:ν·>(ό=ί n 印 t 4 3 2 Λ 4 Ο Α7 _Β7_ 五、發明説明（1 ) 〔技術領域〕 本發明係爲關於在於陰極射線管過程，檢査被形成在 陰極射線管的面板表面內面之螢光面缺陷的陰極射線管之 螢光面檢査方法及其裝置* 〔先行技術〕 ‘ 過去，例如，如第7圖所示，在構成顯示管等陰極射 線管的面板之玻璃製的曲面狀表面部1 1 a之表面內面 lib ·形成所定圇案的黑色膜12。然且，此黑色膜 1 2的圖案，如第8圖所示，例如規則地配置圖形等所定 形狀的多數個孔1 3，在於陰極射線管面板的製造過程， 經過抗蝕劑塗敷過程，利用遮蔽罩（shadow mask)之曝光 過程、取下遮蔽罩之顯像過程、螢光體的塗敷過程，而被 形成在表面內面1 1 b。 針對此樣圖案的形成過程•在黑色膜1 2，如第8圖 所示，會有產生成爲缺陸之徑小孔P 1，變形孔P2及無 孔P3的情況。即是第8 (a)圖所示之徑小孔P1係爲 比所定形狀的其他的孔1 3還小的·孔徑：第8 ( b )圖所 示之變形孔P 2係爲對於圓形的孔1 3相異形狀，第8 ( c )圖所示之無孔P 3係爲在形成孔1 3的部分未產生孔 13。 此樣的徑小孔P 1、變形孔P 2及無孔P 3大多是在 於曝光過程產生•即是在曝光過程由於介隔遮蔽罩進行曝 光，所以例如，遮蔽、的一部分之孔徑.比其他正常的孔徑 -----„---^--裝------1T------^ {誚lMi*背面之注意ί項再楨巧本頁) 本紙张尺度述刑中园固家樣準（CNS > A4*?>格（210X297公釐） m ^ m 4 3 2 -i 4. Ο A7 ____B7_ _ 五、發明説明（2 ) - 還小時，如第8 (a)圖所示產生徑小孔P1。另外，附 著在膜面之微小污物等的原因，而如第8 ( b )圖所示產 生孔1 3部一部分缺損之變形孔P 2。另外，在遮蔽罩未 部分、地形成孔，則如第8 ( c )圖所示，產生無孔P 3。 然後由於對於遮蔽罩的1個孔，形成紅、藍、綠的各螢光 體用的3個點•所以在第8’（a)、 （b)圖以點劃線所 示，在以3個成組的狀態產生缺陷。 另外，形成無缺陷的黑色膜1 2後，再而依順塗敷藍 、綠、紅3色的螢光體而形成螢光膜*最後形成螢光面。 各螢光膜的形成，首先在面板內面充塡螢光體：經過回轉 塗敷、乾燥、利用遮蔽的曝光過程、取下遮蔽罩的顯像過 程，而形成第1色的螢光膜。以下以同樣的處理過程，形 成第2色、第3色的螢光膜》 在於此樣螢光膜的形成過程，如第2 1圖所示，會有 .無法適切形成藍B、綠G.、紅R3色的螢光膜14則發生 缺陷的情況。該代表性的缺陷稱爲點消失之缺陷，則第 2 1 (a )圖係爲對於黑色膜1 2的1個孔1 3，久缺螢 光膜的一部分；第2 1 (b)圖係·爲對於黑色膜1 2的1 個孔1 3，欠缺螢光膜1 4的全體，對於所要的圖案則是 未附著螢光體的缺陷。 這些的點消失爲缺陷*但就是相同的點消失|也是藉 由螢光面的發生位置或發生圖案（缺陷圖案）判定良（良 品）·不良（不良品）的情況較多。例如被用於監視裝置 之顯示管形成無缺齒的螢光膜非常困難；如果就是有缺陷 ---------.--參------tr------^ (ϊίίιω讀背面之注意事項再坫艿本頁) 本纸张尺度遶用中國國家標隼{ CNS ) A4規格（210X297公釐） -5- 4 3 2^0 at B7 五、發明説明（3 ) - |藉由螢光面的發生位置或發生圖案實用上也不致有問題 〇 此處，在於第1 6〜1 9圖說明有缺陷之點消失的發 生圖案及判別發生圖案所造成的良•不良之例。 第16圖係爲構成1像素之藍B、綠G、紅R的1組 點消失的情況；第16 (a _)圖係爲橫1列的藍B、綠G .紅R點消失，第1 6 ( b )圖係爲三角形狀鄰接的藍B 、綠G、紅R點消失。此情況，例如若產生點消失的組只 有1組則判定爲良，若爲2組以上則判定爲不良。 第1 7圖係爲所鄰接的同色點消失的情況；第1 7 ( a )圖係爲横方向所鄰接的藍Β點消失，第1 7 (b)圖 係爲不同段所鄰接的藍B點消失。此情況·例如都判定爲 不良- 第1 8圇係爲所鄰接的不同2色點消失的情況：第 1 8 ( a )圖係爲所鄰接的2色藍B、綠G點消失，例如 判定爲不良。第18(b)圖係爲只隔離距離d的2色藍 藍B、綠G點消失，例如若是距離d 1爲5 0mm以上則 判定爲良，若距離dl爲50m m·以下則判定爲不良。另 外就是爲同色距離d 1也隔離5 0mm以上則判定爲良。 第1 9圖係爲1組及1點點消失的情況，只隔離距離 d 2 ;例如若距離d 2爲5 0mm上則判定爲良，若距離 d 1爲5 0 m m以下則判定爲不良。 進而，在於2 0圖說明判別在每個面板1 1的有效面 (螢光面）是否發^缺陷所造成的良•不良之例》例如， * I i I I I n n ^ (誚先閱讀背面之注^^項再"艿本玎) 本紙張尺度速用中國國家橾準（CNS}A4現格（21 OX297公釐） -6- '4 3 2 〇 Α7 ______Β7__ 五、發明説明（4 ) - 面板1 1有效面的中央部圓內設爲領域A 1，其外側設爲 領域A2;在領域A1內被要求爲無缺陷，在領域A2則 適用上述過的缺陷規格。 這些良•不良的判定規格也有依顯示管的種類及尺寸 等也能改變。’ 然且，形成此方法所構成的黑色膜1 2或螢光膜後之 螢光面完成狀況，通常是在於黑色膜塗敷機或螢光面塗敷 機的出口部分被檢査。此檢査作業，在於面板輸送帶上以 人手檢査面板11，或是從面板輸送帶卸載的在於照明工 作台上以人手檢査面板11。 〔發明所欲解決之課題〕 不過，在於形成黑色膜1 2或螢光膜1 4後的螢光面 之檢査作業，例如在於一般的顯示管之情況，黑色膜1 2 的孔1 3之直徑尺寸從9 0 〜1 5 0 ，孔間距例 如綠色與綠色的螢光體用的孔1 3之間隔2 0 0 〜 2 8,0 Am，由於是極細所以尋找缺陷須要較多的時間並 且作業困難：越是被微細化之顯示管的檢査導致檢査者更 多的負擔，且被要求改善。 本發明鑑於上述之問題點，其目的爲提供能自動且精 度良好地檢査螢光面的缺陷的陰極射線管之螢光面檢査方 法及其裝置。 〔用於解決課題之#段〕 ----------^------1T------0 (誚先M讀背面之注意事項再雄巧本頁) 本紙張尺度速用中8國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公嫠) Tjl a ^ ^4 - 0 A7 ____B7 五、發明説明（5 ) 本發明陰極射線管之螢光面檢査方法，具備：對於以 所定形狀具有規則的圖案之螢光面被形成在表面內面的陰 極射線管之面板，從表面內面照明之過程、攝像表面內面 之過程、及從攝像資料特定螢光面的缺陷之過程。然後照 明面板的表面內面之螢光面並且攝像從螢光面的反射光： 從此攝像資料特定螢光面的’缺陷，因而能自動且精度良好 地檢査螢光面的缺陷：尙且攝像從形成螢光面的表面內面 的反射光後進行檢査，因而就是在表面內面附著污物或螢 光體等的異物，這些附著物也不會影響到檢査|提高檢査 精度。 進而，相對地使其移動面板與進行照明的照明手段及 進行攝像的攝像手段，同時對應於該相對的移動而使其變 化照明手段的光量，因而相對地使其移動面板與照明手段 及攝像手段並且能自動檢査；尙且對應於相對的移動而使 其變化照明手段的光量•因而就是因應於表面內面的形狀 而入射到攝像手段之反射光的入射量大大地變化的情況， 也防止入射到攝像手段之反射光的入射量過量，提髙檢査 精度》 · 進而，照明手段至少朝與面板的相對移動方向具有複 數個；.爲使從這些複數個照明手段照明到表面內面之光量 總和相等而使其變化各照明手段的光量，因此均等地照明 表面內面*提高檢査精度。 進而，朝複數個攝像手段的配列方向相對地使其移動 面板與進行照明的照明手段及進行攝像的複數個攝像手段 -----„-----裝------訂------線 (誚先閲讀背面之注意事項再蛾ί?5本I ) 本紙張尺度適扪中S國家標率（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8 - A7 B7 五、發明説明（6 ) - ，同時對應於該相對的移動而能切換複數個攝像手段的攝 像，因而因應於表面內面的形狀而入射到攝像手段之反射 光的入射量大大地變化，當入射到一定的攝像手段之反射 光的入射量過量時，能以別的攝像手段進行檢査，提高檢 査精度。 另外*具備：對於形成‘表面內面及表面外面同時在該 表面內面以所定形狀形成具有規則的圖案之螢光面的陰極 射線管之面板，從表面內面及表面外面的其中一者照明之 過程、及從複數個方向同時攝像通過面板的螢光面的相同 位置後透過的透過光之過程、及相對地使其移動對於面板 的螢光面攝像的位置之過程、及特定從複數個方向同時攝 像而同時被檢出的缺陷對象處所作爲螢光面的缺陷之過程 。然後從面板的表面內面及表面外面的其中一者照明，同 時從複數個方向同時攝像通過面板的螢光面的相同位置後 透過的透過光。此時，在螢光面的缺陷，就是從複數個方 向攝像也同時被檢出，所以能特定此缺陷作爲螢光面的缺 陷。附著在表面內面之異物等|藉由攝像方向又被檢出又 不被檢出，就是以複數個攝像方向·檢出也是具有時間差而 被檢出，即是從複數個方向的攝像未被同時檢出，所以並 不是螢光面的缺陷，而能特定作爲異物等。 進而，從對向於複數個攝像方向之複數個方向照明， 因而能確實地攝像缺陷或異物等，提高檢査精度。 進而，複數個攝像方向，係爲沿著相對地使其移動對 於面板的螢光面攝像'的位置之方向的2個方向，將垂直面
-----=---^--^------1T------^ (誚先閲讀背面之注意事項再硪艿本页J 本纸张尺度述中S國家標率（CNS ) A4現格（210X297公釐） 7〇~. 4 3 2 A 4 A7 B7
;τ· 部 A 消 f 合 竹 卬 五、發明説明（7 ) 板的螢光面的方向在5〜1 5°的範圔傾向中心*因而能 確實地區別螢光面的缺陷與表面外面的異物。 另外，針對所被特定之螢光面的缺陷，具備與確定蛋 光面的發生位置及發生圖案的良•不良之良•不良判定條 件對照，判定螢光面的良•不良之過程，因而因應於陰極 射線管的種類及尺寸，而能_自動檢査極細的精度。 另外，具備：對於形成表面內面及表面外面同時在該 表面內面以所定形狀形成具有規則的圖案之螢光面的陰極 射線管，從表面外面照明之過程、及攝像透過面板的透過 光之過程、及從攝像資料特定螢光面的缺陷之過程、及針 對所被特定之螢光面的缺陷，與確定在螢光面的發生位置 及發生圖案的良•不良之良•不良判定條件對照，判定螢 光面的良•不良之過程。然後從面板的表面外面照明同時 攝像透過面板之透過光，從此攝像資料特定螢光面的缺陷 *針對所被特定之螢光面的缺陷，與確定在螢光面的發生 位置及發生圖案的良•不良之良•不良判定條件對照，判 定螢光面的良•不良，因而因應於陰極射線管的種類及尺 寸，而能自動檢査極細的精度。· 另外，由於對於表面內面的攝像距離保持一定，因而 能對應於面板形狀精度良好地檢査，同時能在多種類混合 生產線自動檢査螢光面" 另則•本發明陰極射線管之螢光面檢査裝置，具備在 對於以所定形狀具有規則的圖案之螢光面被形成在表面內 面的陰極射線管之面_板，從表面內面照明之照明手段、及 . ^ 裝 I 訂— I I I I I 線 (誚先閱讀背面之注意事項再楨巧本頁) 本紙乐尺度述扣中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） -10- 部 中 i; i; .1 f 合 卬 r A7 B7 五、發明说明（8 ) - 攝像前述表面內面之攝像手段、及從此攝像手段所攝像的 攝像資料特定螢光面的缺陷之缺陷檢出手段。然且，照明 面板的表面內面之螢光面同時攝像從該螢光面的反射光， 從此攝像資料特定螢光面的缺陷，因而能自動且精度良好 地檢査螢光面的黑色膜或螢光膜：尙且攝像從形成螢光面 的表面內面之反射光後作檢_査，因而就是在表面外面附著 污物或異物•這些附著物也不會影響到檢査，提高檢査精 度。 進而，由於具備相對地使其移動面板與照明手段及攝 像手段之移動手段、及對應於前述相對的移動位置而使其 變化前述照明手段的光量之照明控制手段•因而相對地使 其移動面板與照明手段及攝像手段並且能自動檢査；尙且 對應於相對移動而使其變化照明手段的光量，因而就是因 應於表面內面的形狀而入射到攝像手段之反射光的入射量 大大地變化的情況•也防止入射到攝像手段之反射光的入 射量過量，提高檢査精度。 進而，照明手段，至少朝與面板的相對移動方向配置 複數個：照明控制手段，爲使從前·述複數個照明手段照明 到表面內面之光量總和相等而使其變化各照明手段的光量 ，因而均等地照明表面內面，提高檢査精度。 進而*攝像手段，具備至少朝與面板的相對移動方向 具有複數個，相對地使其移動前述面板與照明手段及攝像 手段之移動手段，同時具備對應於前述相對移動而能切換 前述複數個攝像手S的攝像之攝像控制手段，因而因應於 ----------^------1T------線 (誚先閲讀背面之注意事項再硝艿本瓦) 本紙张尺度適扣中固國家標準（CNS ) A4規格（2丨OX297公釐） -11 - ο 4 4 Ο ， Α7 Β7 五、發明説明（9 ) - 表面內面的形狀而入射到攝像手段之反射光的入射量大大 地變化，當入射到一定的攝像手段之反射光的入射量過量 時|能以別的攝像手段進行檢出，提高檢査精度。 另外，具備：對於形成表面內面及表面外面同時在該 表面內面以所定形狀形成具有規則的圖案之螢光面的陰極 射線管之面板，從表面內面岌表面外面的其中一者照明之 照明手段、及從複數個方向同時攝像通過前述面板的螢光 面的相同位置後透過的透過光之複數個攝像手段、及相對 地使其移動對於前述面板的螢光面攝像的位置之移動手段 、及特定以前述攝像手段從複數個方向同.時攝像同時被檢 出之缺陷對象處所，作爲螢光面的缺陷之缺陷檢出手段》 然後從面板的表面內面及表面外面的其中一方照明，同時 從複數個方向同時攝像通過面板的螢光面的相同位置後透 過之透過光。此時，在螢光面的缺陷，就是從複數個方向 攝像也同時被檢出，所以能特定此缺陷作爲螢光面的缺陷 。附著在表面內面之異物等，藉由攝像方向又檢出又不被 檢出；就是以複數個攝像方向檢出也持有時間差而被檢出 ，即是從複數個方向的攝像不被檢出，所以並不是螢光面 I: 的缺陷，而能特定作爲異物等。 Ψ i: 進而，照明手段，由於從對向於複數個攝像方向之複 數個方向照明，因而能確實地攝像缺陷或異物，提高檢査 f 精度。 t 進而，攝像手段，沿著以移動手段相對地使其移動對 % 於面板的螢光面攝像'的位置之方向配置一對，同時朝垂直 ---^---.---：--朴衣------ίτ------^ (誚先Μ讀背面之注意事項再功朽本I) 本纸張尺度iifl】中®國家榇準（CNS ) Α4規格（2】0Χ297公釐） -12- / Wd ..久 Π A7 ___B7_____ 五、發明説明（10) - 面板的螢光面之方向在5〜1 5°的範圍傾向中心，因而 能確實地區別螢光面的缺陷及表面外面的異物等· 進而具備：記億確定在缺陷的螢光面的發生位置及發 生圖案的良•不良之良•不良判定條件之記憶手段、及針 對在缺陷檢出手段所特定之螢光面的缺陷，與被記億在前 述記億手段之良•不良判定_條件對照，判定螢光面的良· 、不良之良·不良判定手段*因而因應於陰極射線管的種 類及尺寸，而能自動檢査極細的精度。 另外，具備：對於形成表面內面及表面外面同時在該 表面內面以所定形狀形成具有規則的圖案之螢光面的陰極 射線管之面板，從表面外面照射之照明手段、及攝像透過 前述面板的透過光之攝像手段、及從以此攝像手段攝像之 攝像資料特定螢光面的缺陸之缺陷檢出手段、及記憶確定 在缺陷的螢光面之發明位置及發生圖案之良•不良的良· -不良判定條件之記憶手段、及針對在前述缺陷檢出手段所 特定之螢光面的缺陷，與被記億在前述記憶手段之良•不 良判定條件對照，判定螢光面的缺陷之良不•不良判定手 段。然後從面板的表面外面照明卧時攝像透過面板的透過 光，從此攝像資料特定螢光面的缺陷：針對所被特定之螢 光面的缺陷，與確定在螢光面的發生位置及發生圖案的良 •不良之良•不良判定條件對照，判定螢光面的良•不良 ，因而因應於陰極射線管的種類及尺寸等，而能自動檢査 極細的精度* 另外，由於具備使表面內面與攝像手段的距離保持一 -----r|_：——^------1T------^ (誚先閱讀背面之注意事項再功寫本ί ) 本紙張尺度进用中囡國家標隼（CNS ) Ad規格（210Χ297公釐） -13- 4 3 2't 4 〇 ! A7 B7___ 五、發明説明（11) 定之距離調整手段，因而能對應於面板形狀而精度良好地 檢査，同時在多種類混合生產線自動檢査螢光面。 〔實施形態〕 以下參照附圖說明本發明陰極射線管的螢光面檢査方 法及其裝置之實施形態。' 然而，關於作爲檢査對象之陰極射線管的面板1 1貝IJ 是與第7圖等所示的構成同樣，例如是彩色映像管用之陰 極射線管的面板1 1，在面板1 1的玻璃製表面部1 1 a 之凹曲面狀表面內面1 1 b，形成具有持有規則性配置所 定形狀的多數個孔13的圖案之黑色膜12;使用相同圖 號，其說明則省略- 第1圖〜第9圖表示第1實施形態》 第1圚係爲截出陰極射線管之螢光面檢査裝置的一部 分之側面圖*第2圖係爲螢光面檢査裝置之正面圖。 在於第1圖及第2圖，圖號2 1爲螢光面檢査裝置· 配置將面板11移動到螢光面檢査裝置21的框體22上 面之作爲移動手段的運送输送帶2· 3。此運送輸送帶2 3 爲滾筒式輸送帶；沿兩側的輸送帶框體2 4間並列配列複 數個滾筒；這些各滾筒被回轉驅動而被構成·然後，在運 送輸送帶23上，表面部1 1 a向上（表面內面1 lb向 下）而載置面板1 1 :藉由各滾筒的回轉驅動，面板1 1 朝第1圖箭頭所示的運送方向X運送· 另外，在運送龢送帶2 3的下方，面臨所鄰接的滾筒 ------------^------ΐτ------^ {对先閱讀背面之注意事項再硪巧本ί ) 本紙張尺度適坩中a國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公羞） -14- A7 B7 五、發明説明（12) 2 5間而配置檢出部件2 6。此檢出部件2 6具備朝運送 方向X鄰接而被配置的一對照明手段2 7及被配置在此一 對照明手段2 7之間的下方之攝像手段（檢出手段）2 8 0 一對的照明手段2 7，例如具有長形的鹵素燈等的線 狀光源29a、29b;這‘些光源29a、29b的兩端 被連接在一對的插座部3 0。一對的插座部3 0，被配置 在一對輸送帶框體2 4的下側：使其沿著與面板1 1的運 送方向直交的方向配置而支撑光源29 a、29b的軸。 在各光源2 9 a、2 9b的上方，配置爲使其聚集從光源 29a、 29b的光，均等地照射分布在表面內面lib 同時聚集光，而使其增大投入到攝像手段的光量之圓柱狀 透鏡3 1。此處，採用圓柱狀的透鏡係爲對於透過光照明 方式•反射方式顯著降下投入到攝像手段的光量之故。然 且，一對的照明手段27,照明光的主光線a、b對於垂 直軸（攝像手段2 8的偵測光線中心軸）相互間每0度傾 向內側而對稱地被配置。 攝像手段2 8，例如具有例如備有複數位元（例如 5 0 0 0位元）的線路感應器（受光元件）之複數台（2 台）的攝影機（CCD攝影機）32 ;此攝影機32，光 線感應器的像素配列方向使其與運送方向直交，同時對於 呈向上狀態從框體2 2豎立設置透鏡3 3之攝影機調整機 構朝與運送方向直交的方向並列配置。 另外，在運送输送帶2 3的上方，配置覆蓋檢出部件 --------,--^------II------0 <誚1閲讀背面之注意事項再蛾巧本页) 本紙张尺度適用tSlH家橾率（CNS ) A4规格（2丨0X297公釐} -15- 經濟部中央棣率局貝工消费合作杜印装 . .. A7 _____B7_ 五、發明説明（13 ) 的上方領域而遮蔽從照明手段2 7所照射的光之遮光羞 3 5° 其次，第3圖係爲螢光面檢査裝置2 1之構成圖。 攝像手段2 8的攝影機3 2，介由畫像處理裝置4 1 而被連接至作爲缺陷檢出手段的運算處理裝置4 2。像素 處理裝置4 1的輸出被放映ill監視裝置4 3。以攝影機所 攝像的畫像用畫像處理裝置41處理：藉由運算處理裝置 42而使缺陷P (徑小孔P1、變形孔P2及無孔P3) 被特定。 —對照明手段27的一對光源29a、 29b，介由 作爲照明控制手段的照明控制裝置4 4 a、4 4 b而被連 接至運算處理裝置4 2 » 其次，說明螢光面檢査方法。 首先，槪略說明螢光面檢査方法。 面板1 1藉由運送输送帶23以一定速度運送；藉由 照明手段2 7照明面板1 1的表面內面1 1 b ;藉由攝像 手段28的攝影機32攝像（檢出）該反射光。面板1 1 通過攝像手段2 8之上，而掃描面板1 1的表面內面 1 1 b全面。 然且•所被攝像之畫像，如第9 (a)圖所示，檢出 黑色膜1 2之反射光，所以只有孔1 3的部分變黑。此畫 像藉由畫像處理裝置1 1處理：藉由運算處理裝置4 2判 定缺陷P。 此樣，運送面板、1並且照明面板1 1的表面內面 本纸張尺度逋用中困國家揉準（0那）八4规格（210><297公釐} . 16_ (請先閲讀背面之注意事項再填W本瓦) 裝· 訂 h ^ ? Λ- A Ο A7 _B7______ 五、發明説明（14) - 11b之螢光面同時攝像從該螢光面的反射光：由於從此 攝像資料特定螢光面的缺陷，所以可以自動且精度良好地 檢査螢光面的黑色膜1 2或螢光膜的缺陷P。尙且，攝像 從形成螢光面的表面內面1 1 b之反射光後進行檢査，因 而就是表面外面附著污物或異物，這些附著物也不會影響 到檢査，可以提高檢査精度_。 進而，介由被配置在照明手段2 7的光源2 9 a、 2 9 b上方之圓柱狀透鏡3 1照射光線，可以將光線均等 地照射到面板1 1的表面內面1 1 b，所以得到沒有模糊 的畫像；且可以使其提高檢査精度》 其次，詳細說明螢光面檢査方法。 第4圖係爲表示面板1 1與照明手段2 7 (光源 29a、 29b)及攝像手段28(攝影機32)的位置 關係之平面圖。第5(a)、 （b)、 （c)圖係爲所移 動的面板11與照明手段27 (光源29 a、2 9b)及 攝像手段2 8 (攝影機3 2 )的關係之說明圖。 對於面板1 1的運送方向X，將檢査區分割爲面板 1 1的前半部A領域、及後半部B·領域。然且，控制使光 源2 9 b主要照明面板1 1的前半部A，使光源2 9 a主 要照明面板1 1的後半部B · 第5 ( a )圖係爲表示面板1 1的中央部之檢査狀態 。從光源2 9 a、2 9b的照射軸對於垂直軸相互間每0 度傾向內側，而照射光的主光線a、 b形成爲在面板11 的表面內面11b—致。
-----r--.--^------1T------β {誚元閲讀背面之注意事項再硪艿本s J 本紙张尺度遘用中國國家標率（CNS Μ4规格（2丨0X297公釐） -17- 4 3 ^ 0 A7 B7 五、發明説明（15) - 第5(b)圖係爲表示面板11的前半部A之檢査狀 態。由於面板1 1的表面內面1 1 b形成爲曲面狀，所以 從攝像手段2 8的攝影機3 2所接收光線之光源的反射光 之光量，依據面板1 1的表面內面之檢査位置而變化。假 設對於面板1 ί之表面內面1 lb的法線η，從光源2 9 a的光以入射角0 1入射同時攝像手段2 8的攝影機3 2 接受以相等角度0 1所反射的反射光之情況，受光量爲最 大。此時，受光量由於急遽地增多，所以攝像手段2 8之 攝影機3 2的受光元件過度曝光。 第5(c)圖係爲表示面板11的後半部B之檢査狀 態。面板1 1的表面內面1 lb形成爲曲面狀，所以從攝 像手段2 8的攝影機3 2所接受光線之光源2 9 b的反射 光之光量，依據面板1 1之表面內面1 1 b的檢査位置而 變化。 假設對於面板11的表面內面11b之法線η，從光 源2 9 b的光以入射角度0 2入射同時攝像手段2 6的攝 影機3 2接受以相等角度0 2所反射的反射光之情況，受 光量爲最大。此時受光量由於急遽·地增多，所以攝像手段 2 8之攝影機3 2的受光元件過度曝光。 即是從一對照明手段2 7所照明之光量爲一定的情況 ，面板1 1的表面內面1 1 b由於具有曲率，所以從該表 面內面1 1 b的光射光對於面板1 1的運送方向X穩定地 變化，但在於面板1 1運送時，對於面被1 1的法線η， 當光源29a、2 9‘b的入射角01、Θ2與從表面內面 -------Γ--.--装------1T------.^ ("1閲讀背面之注意事項再硪艿本頁) 本紙張尺岌述扣肀闯國家樣準（CNS) A4规格（210X297公釐） -18 - #':-:"郜屮'11;-,,;^"^1-消赀合0.";;卬_5'; £l 3 2 0 A7 _ _B7 五、發明説明（16) - 1 1 b的反射光入射到攝像手段2 8的攝影機3 2的角度 01、 02爲相等，攝影機32的受光元件所受光的光量 急遽地增多，攝影機3 2的受光元件過度曝光，無法依所 受光之光量比檢出缺陷P。 因此，如第6圖所示，控制使其隨著面板1 1的運送 時間同時使其變化各光源2 a、29b的光量· 具體上，將光源2 9 a、2 9b的光量總和使其保持 幾乎一定的原狀，與時間同時改變施加到光源2 9 a、 29b的電壓而使其變化光量•因移動面板11，所以與 時間同時變化面板1 1的位置與光源2 9 a、2 9 b的位 置關係。因此，當檢査面板1 1的前半部A時，降低光源 2 9 a的施加電壓而減少光量，同時提高光源2 9 b的施 加電壓而增加光量；然後，隨著時間的經過而逐漸增加光 源2 9 a的光量同時隨著時間的經過而逐漸減少光源 -29b的光量，在面板11的中央部，使光源2 9a、 2 9 b同等施加電壓及光量。進而，當檢査面板11的後 半部B時*提高光源2 9 a的施加電壓而增加光量，同時 降低光源2 9 b的施加電壓而減少·光量。因此使光源 29a、 29b的光量總和保持幾乎一定的原狀，使其變 化各光源29 a、29b的光量，因而可以使面板11的 表面內面1 l b不致模糊而一樣的照明•然而，對光源 2 9 a、2 9 b控制施加電壓係爲以時間控制，但藉由面 板位置檢出裝置（未圖示）而以面板1 1的位置資訊控制 也是同樣。 ’ -----„---^--裝------訂------線 <对先g讀背面41注意事項再硪艿本I } 本紙乐尺度述扣中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -19 · A7 4 3;)”.。 B7 _ 五、發明説明（17) 經此樣，當檢査面板1 1的前半部A時檢出光源 2 9 b的反射光：當檢査面板1 1的後半部B時檢出光源 2 9 a的反射光。經此狀況，防止入射到攝像手段2 8的 攝影機3 2之反射光成爲最大，而不致過度曝光攝影機 3 2的受光元件，而可以有精度良好的檢査。 如上述，照明面板1 1_的面板內面1 1 b之螢光面同 時攝像從該螢光面的反射光；爲了從此攝像資料特定螢光 面的缺陷P，所以可以自動且精度良好地檢査螢光面的黑 色膜1 2或螢光膜。 尙且，由於攝像從形成螢光面的表面內面1 1 b之反 射光後進行檢査，因而就是在表面外面附著污物或螢光體 等的異物*這些附著物也不會影響到檢査·可以提高檢査 精度。例如，作爲自動檢査螢光面的缺陷之方法，從內面 側照明面板1 1的表面部1 1 a同時從表面部1 1 a的外 面側攝像透過螢光面的透過光：考慮藉由畫像處理而特定 缺陷的情況，所被處理的畫像爲透過孔1 3之透過孔：在 黑色膜12的情況，如第9(b)圖所示，爲了檢出從孔 1 3的部分所透過之光，得到孔1· 3以外的部分爲黑色的 畫像，但在面板1 1的表面外面附著污物或螢光體等的異 物，則透過光遮於該異物，而被認爲黑色膜1 2被判斷爲 缺陷P(變形孔P2及無孔P3)。 進而*使其移動面板11並且可以自動檢査。此時， 對應於面板1 1的移動，使其變化照明手段2 7的光量， 因而就是因應於表面 '內面11b的形狀而入射到攝像手段 -----_---!--裝------訂------線 {誚先閱讀背而之注意事項再读巧本頁) 本紙張尺度通;I]中®國家標率（CNS ) A4現格U10X297公釐） * 20 * ___B7 _ 五、發明说明（18) 2 8之反射光的反射量大大地變化之情況，也可以防止入 射到攝像手段2 8之反射光的入射量過量（過度曝光）， 可以提高檢査精度》進而，攝像手段爲複數個的情況·爲 使從這些複數個照明手段2 7照射到表面內面1 1 b之光 量總和相等而使其變化各照明手段2 7的光量，因此可以 均等地照明表面內面，且可'以提高檢査精度。 其次，在第1 0圖表示第2實施形態。然而，與第1 實施形態同樣的構成及作用效果，使用相同圔號，其說明 則省略。 在此實施形態，藉由作爲移動手段及距離調整手段之 自動裝置5 1的面板保持手段5 2而保特面板1 1 ;在其 狀態可以使其移動檢出部件2 6之上而檢査面板1 1。此 情況|就是變更面板1 1的尺寸，也能藉由自動裝置5 1 變更面板1 1的密封面1 1 d之運送餘量，可以使光源 -29a、 29b及攝像手段28與面板11之表面內面 1 1 b的距離L (照明距離及攝像距離）保持一定。因此 ，對應於面板1 1的形狀可以精度良好的檢査，同時可於 適應於多種類混合生產線的自動化·檢査，且可以不拘於面 板1 1的尺寸可以進行精度良好的檢査。 其次，在第1 1圖表示第3實施形態。然而，與上述 過各實施形態同樣的構成及作用效果，使用相同圖號，其 說明則省略。 在此實施形態，對於運送方向X，配置1個照明手段 2 7 ;在此照明手赵2 7的兩側配置2個攝像手段2 8 a •21 - (誚先閲讀背面之注意事項再蛾艿本I) 本纸張尺度適fl】中國囡家榇準（CNS) A4規格（2丨0><297公釐） A7 B7 五、發明説明（19) 、2 8 b。 朝運送方向X使其移動面板11，而檢査面板11的 表面內面1 1 b之螢光面時，在面板1 1的前半部採用攝 像手段2 8 b的畫像；在面板1 1的後半部採用攝像手段 2 8 a的畫像：’以作爲攝像控制手段之切換裝置6 1進行 該攝像手段28a、281Γ的切換》 因此，因應於面板1 1之表面內面1 1 b的形狀而入 射到攝像手段2 8 a、28b之反射光的入射量大大地變 化，當入射到攝像手段2 8 a、2 8b的一者之反射光的 入射量過量（過度曝光）時，可以用攝像手段2 8 a、 2 8 b的他者進行檢査，且可以提高檢査精度。 如上述，在檢出從被形成在面板1 1的表面內面 1 1 b之螢光面的反射光之際，爲使入射到攝像手段2 8 之反射光成爲均等而控制施加到複數個光源2 9 a、 29b的電壓，或是切換複數個攝像手段28a、 28b ，因此可以架構信賴性較高的螢光面檢査裝置。然而由於 使其移動面板11並且可以檢査•所以可以作成適於自動 化的系統。 · 然而，在上述過第1〜第3實施形態，說明黑色膜 1 2的缺陷檢査*針對在黑色膜1 2的孔1 3塗敷藍、綠 、紅的螢光體之面板11，對於在孔13未附著營光體之 點消失等的缺陷檢査也可以適應，得到同樣的作用效果. 進而，在上述過各實施形態，使其移動面板1 1，但 固定面板1 1後使其移動檢出部件2 &亦可，或是相互間 -----r--： J —裝------訂------線 (对先閲讀背面之注意ί項再功W本I) 本纸張尺庋进扪中园國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -22 - 43 2^^0 at _B7_ 五、發明説明（2〇) · 使其移動面板1 1與檢出部件2 6亦可：得有同樣的作用 效果。 其次，在第12〜21圖表示第4實施形態·然而， 與上述過各實施形態同樣的構成及作用效果，使用同樣圖 號，其說明則省略。 在此實施形態，表示透過光方式的螢光面檢査裝置 21 :在於第12圖及第13，面板11在運送輸送帶 2 3的滾筒2 5上，表面外面（表面之面）1 1 c向上而 朝第1 2圖箭頭所示的運送方向運送。 運送輸送帶2 3，介由驅動傳達手段7 1而以運送馬 達72驅動。然後在運送馬達72連接編碼器73:從此 編碼器7 3輸出與運送馬達7 2的回轉角成比例之脈衝波 〇 在運送輸送帶2 3的上流部，配置使其定位停止以運 送輸送帶2 3所運送的面板1 1之定位裝置7 5。此定位 裝置7 5，具有從滾简2 5間的下方進退到上方制動動 7 6及使其昇降此制動器7 6的氣缸等之驅動部7 7。在 定位裝置7 5，具備面板尺寸感應·器，在與面板1 1被定 位的同時，判定面板11的尺寸。 在比運送輸送帶2 3的定位裝置7 5還下流•照明手 段2 7以向下狀態配置在滾筒2 5間的上方，同時攝像手 段2 8的攝影機3 2以向下狀態配置在滾筒2 5間的下方 。照明手段2 7，例如具有長形的鹵素燈等線狀光源2 9 ;此光源2 9的兩端被連接至一對的燈座部3 0 ;另外照 -----„---^--裝-------訂------線 {ϊί先閱讀背面之注意事項再功打本S ) 本紙張尺度適扣中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -23 - __B7_ 五、發明説明（21) - 明手段2 7全體藉由朝下方開口的遮光蓋3 5而被覆蓋。 攝像手段2 8，被配置成光線感應器的像素配列方向與面 板11的進行方向之軸成直角。 然而，在此實施形態，攝影機3 2配置在運送输送帶 2 3的下方，直接攝像面板1 1的表面內面1 1 b後進行 檢査的理由，係爲不易受到術著於面板1 1的面板外面 1 1 c之水滴等的影響之故。即是以第1〜第3實施形態 進行檢査之面板11，只在面板11的表面內面11b塗 敷被稱爲黑色膜（BC ( Black Coating )膜）1 2之膜》 對於該情況，在以本方式的第4實施形態進行檢査之面板 1 1，被稱爲藍B、綠G、紅R的螢光體及濾色體之塗劑 被塗敷於面板11的表面內面11b;因而投入到本方式 的透過光照明所形成的攝像手段2 8之畫像，如第1 5 ( a )圖所示*由於被塗敷於面板1 1的表面內面1 1 b之 濾色膜12a、黑色膜、SC( Screen )膜1 2 b之擴散 效果，因而不易受到面板1 1的表面外面1 1 c之影響· 然而，第15 (b)圖係爲根據SC膜12b的缺陷之透 過光量出現異常之圖：橫軸表示位置，縱軸表示準位。另 外，從面板1 1的表面外面1 1 c越過玻璃攝像，則因附 著在表面外面1 1 c之水滴而產生透鏡效果，會有無法正 確地檢査的情況。 對應於攝像手段的攝影機3 2之攝像位置，而配置檢 出朝面板1 1運送方向X的先端之感應器7 9 » 另外，在於第f4圖，攝像手段2 8的攝影機3 2介 -------r--：--41------IT------^ (誚先聞讀背面之注項再硪艿本頁) 本紙张尺度適用t围國家榇率（CNS}A4规格（ 210X297公釐） -24- B7 五、發明説明（22) 由畫像處理裝置4 1而被連接到運送處理裝置4 2 ;畫像 處理裝置4 1的輸出被放映到監視裝置4 3。照明手段 2 7的光源2 9介由照射控制裝置4 4而被連接至運算處 理裝置4 2。運送输送帶2 3之編碼器7 3的輸出被輸入 到運算處理裝置42。 運算處理裝置4 2具有‘：從攝像手段2 8的攝像的攝 像資料特定螢光面的缺陷之缺陷檢出手段的功能、及記億 確定在缺陷的螢光面之發生位置及發生圖案的良•不良之 良•不良判定條件之記憶手段的功能、及針對缺陷檢出手 段所特定之螢光面的缺陷、與被記憶在記憶手段之良•不 良判定條件對照，判定螢光面的良•不良之良•不良判定 手段β 然後說明螢光面檢查方法β 面板1 1藉由運送輸送帶2 3而從上流側逐一運送， 則首先，藉由定位裝置75，面板1 1停止定位；同時藉 由定位裝置7 5之感應器（未圖示），檢出面板11的尺 寸。 其後，定位裝置7 5解除定位停止而面板1 1被運送 到下流，則以感應器7 9檢出面板1 1之進行方向（運送 方向X )的先端。從此感應器7 9的訊號被输入到運算控 制手段4 2而形成及檢査開始之開始訊號。此時，對於攝 像手段2 8的攝影機3 2之攝像位置，爲在檢出面板1 1 的表面內面11b之有效面（螢光面）的端部之位置。 從此檢査開始時'間點，藉由運送輸送帶2 3而以一定 -----.---：--^------1T------^ (对先Μ讀背面之注意事項4蛾艿本筲) 本紙張尺度述用中國國家揉率（CNS )八4说格（210X297公釐） -25- 經濟部中央橾準局員工消费合作杜印裂 4 3 4 U A7 _B7五、發明説明（23 ) 速度運送之面板1 1以照明手段2 7照明；其透過光藉由 攝像手段的攝影機32而被攝像（檢出）· 藉由攝像手段2 8的攝影機3 2而被攝像之畫像藉由 畫像處理裝置4 1而被處理；藉由運算處理裝置4 2進行 缺陷的特定。此時，運算處理裝置4 2，計數從運送输送 帶2 3之編碼器7 3的輸出 '，使面板1 1的移動距離與攝 影機3 2的攝像資料對應，因而缺陷的發生位置之XY座 標被特定。 然且，掃描（檢査）面板1 1的螢光面全體：缺陷被 特定的情況，藉由運算處理裝置4 2，首先判定缺陷的發 生圖案；繼而判定在面板11的有效面（螢光面）的何處 發生缺陷之良•不良" 首先，在於第1 6圖〜第1 9圖說明成爲缺陷的點消 失之發生圖案及判定發生圖案的良•不良之例。 第16圖係爲構成1像素之藍B、綠G、紅R的1組 點消失的情況：第16 (a)圖係爲橫1列的藍B、綠G 、紅R點消失：第16 (b)圖係爲呈3角形所鄰接的藍 B、綠G、紅R點消失。此情況，·例如若產生點消失的組 只有1組則判定爲良|若爲2組以上則判定爲不良。 第.1 7圖係爲所鄰接的同色點消失的情況；第1 7 ( a)圖係爲朝橫方向所鄰接的藍B點消失；第17(b) 圖係爲不同段所鄰接的藍B點消失》此情況，例如都判定 爲不良。 第1 8圖係爲所七接之不同2色點消失的情況；第 ----------參------ίτ------^ {請先閱讀背面之注$項再填W本頁) 本紙張尺度遍用中國两家揉準（CNS ) Α4规格（2Ι0Χ 297公釐） -26 · 經濟部中央搮準局貝工消費合作社印製 d 3 2 Δ — ：J A7 __B7___五、發明説明（24 ) 1 8 ( a )圖係爲所鄰接的2色藍B、綠G點消失；例如 判定爲不良。第18(b)圖係爲只距離d隔離之2色藍 B、綠G點消失，例如若距離d 1爲5 Omm以上則判定 爲良：若距離d 1爲5 0mm以下則判定爲不良。另外就 是同色若距離dl爲5 0mm以上也判定爲良。 第1 9圖係爲1組及ΐΐέ ( dot)點消失的情況，只隔 離距離d 2 ;例如距離d 2爲5 Omm以上則判定爲良； 若距離d 1爲5 0mm以下則判定爲不良。 繼而，在於2 0圖說明判定面板1 1的有效面（螢光 面）的何處發生缺陷的良•不良之例。 例如，面板1 1有效面的中央部之圓內設爲領域A 1 ，其外側設爲領域A 2，在領域A 1內被要求爲無缺陷； 在領域A 2適用缺陷規格，依這些領域而判定良•不良。 如上述，針對所被特定之螢光面的缺陷，與確定在螢 光面的發生位置及發生圖案的良•不良之良•不良判定條 件對照，判定螢光面的良•不良，因而可以自動且精度良 好地檢査螢光面的缺陷。 尙且，將根據缺陷的發生圖案及發生位置之良•不良 判定條件，依據顯示管的種類及尺寸，預先記憶在運算處 理裝置·4 2的記憶手段，因而在多種類混合生產線可以對 應於自動檢査。 另外，在此透過方式的螢光面檢査裝置2 1 ·檢査點 消失作爲缺陷，所以就是在面板1 1的表面外面1 1 c附 著污物或螢光體等的k物的情況，在特定點消失的情況下 本纸張尺度遑用中國®家梂準（CNS ) A4规格（210X297公釐) _ 27 - --------：--餐------tr------β (請先閩讀背面之注意事項再填容本頁) 經濟部中央橾準局貝工消費合作杜印製 _ B7__五、發明説明（25 ) 也是影響較少· 其次，在第2 2圖表示第5賁施形態*然而，與上述 過各實施形態同樣的構成及作用效果，使用相同圖號’其 說明則省略》 在此實施形態，與第1實施形態同樣地表示反射光方 式之螢光面檢査裝置21:挺面板11的表面內面11b ，進行照明及攝像後特定螢光面的缺陷，因而可以自動且 精度良好地檢査螢光面的缺陷*然而，針對檢出部件2 6 以外的構成則與上述過第4實施形態同樣的構成。 在此情況，也與第4實施形態同樣地，針對所被特定 之螢光面的缺陷，與確定在螢光面的發生位置及發生圖案 的良•不良之良·不良判定條件對照；判定螢光面的良· 不良，因而可以自動且精度良好地檢査螢光面的缺陷* 因此，在於第1〜第3的各實施形態，也是與第4及 第5實施形態同樣地，針對所被特定之螢光面的缺陷，與 確定在螢光面的發生位置及發生圖案的良•不良之良*不 良判定條件對照，判定螢光面的良•不良，因而可以自動 且精度良好地檢査螢光面的缺陷。· 其次，在第2 3〜2 6圖表示第6實施形態。然而， 與上述過各實施形態同樣的構成及作用效果，使用同樣圖 號，其說明則省略。 在此實施形態，在於第2 3圖及第2 4圖，表示透過 光方式的螢光面檢査裝置2 1 ;針對檢出部件2 6以外的 構成則是與上述第4_及第5實施形態同·樣的構成。 -----Μ--ί------------^ (請先閲讀背面之注意事項再填ί本頁) 本紙張尺度逋用中8國家揉準（CNS ) Α4规格（210XW7公釐> .28 經濟部中央橾率局貝工消費合作社印装 4 3 P ” A7 B7五、發明説明（26 ) 檢出部件2 6具有：以向下的狀態配置在運送輸送帶 23的上方之一對照明手段27a、 27b及以向上的狀 態配置在運送輸送帶2 3的下方之一對攝像手段2 8 a、 2 8 b ;分別沿著面板1 1的運送方向X而被並排設置。 各攝像手段28a、 28b係爲各攝像手段28a、 28b的光軸L1、1^2，齑過滾筒間25,而在面板 1 1的螢光面之相同位置相交：且爲使將垂直面板1 1的 螢光面之垂直軸分別以每個所定的傾斜角度α傾向中心而 介由攝影機調整機構3 4而被配置；進而對焦到螢光面。 然而在本實施形態，一對的攝像手段28 a、2 8b使用 2組合計4台。另外，傾斜角度α被設定在5〜15°的 範圍。 各照明手段27a、 27b，爲使對向於各攝像手段 28a、 28b的光軸LI、 L2,照射照明光而被配置 。這些照明手段2 7 a、2 7b被支撑在從框體2 2的兩 側所豎立設置之支撑框2 2 a :在此支撑框2 2 a也安裝 遮光蓋3 5 * 另外，在於第25圖，攝像手段28a、 28b被連 接至畫像處理裝置41;照明手段27a、 27b被連接 至照明·控制裝置4 4 »運送處理裝置4 2，具有特定以攝 像手段2 8 a、2 8b從複數個方向同時攝像而同時檢出 的缺陷對象處所作爲螢光面的缺陷之缺陷檢手段的功能。 然而說明螢光面檢査方法。 面板1 1藉由運'送輸送帶2 3而從上流側逐一運送， ---------：--装------tr------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中困B家揉準（CNS } A4规格（210X297公釐） 經濟部中央橾率局貝工消費合作杜印3t Λ 在0 A7 ______B7_ 五、發明说明（27 ) · 則首先，藉由定位裝置7 5而面板1 1被停止定位；同時 藉由定位裝置7 5的感應器（未圖示）而檢出面板1 1的 尺寸。 其後，定位裝置7 5解除定位停止而面板1 1被運送 到下流，則藉由感應器7 9檢出面板1 1之進行方向（運 送方向X)的先端。從此感磨器7 9的訊號被輸入到運送 控制手段4 2而成爲檢査開始的開始訊號。此時，對於攝 像手段28a、 28b的攝影機32之攝像位置，爲在檢 出面板1 1的表面內面1 1 b有效面（螢光面）的端部之 位置。 從此檢査開始時間點*藉由運送輸送帶2 3而以一定 速度運送之面板11藉由照明手段27a、 27b同時被 照明；且該透過光藉由攝像手段2 8 a、2 8 b的攝影機 3 2同時被攝像（檢出）。 藉由攝像手段28a、 28b的攝影機32同時被攝 像之畫像藉由畫像處理裝置4 1而被處理；藉由運算處理 裝置4 2進行缺陷的特定。此時，運算處理裝置4 2，計 數從運送輸送帶2 3之編碼器7 3'的輸出：使面板1 1的 移動距離與攝影機3 2的攝像資料對應，因而缺陷的發生 位置之.XY座標被特定。 如第26 (a)圖所示，在面板11的螢光面有缺陷 P的情況，藉由一對的攝像手段28a、 28b而無時間 差同時檢出該缺陷P，所以特定此缺陷P作爲螢光面的缺 陷。 · ----------^------ir------0 (請先閲讀背面之注意事項再填萬本頁) 本紙张尺度逋用中困國家標率（CNS > A4规格（210 X 297公釐} . 3〇 - 經濟部中央榡準局貝工消费合作杜印装 _ _B7五、發明説明（28 ) 如第26 (b)圖所示，在面板1 1的表面外面 1 1 c附著異物θ的情況，以一者的攝像手段2 8先行檢 出異物Q後，面板1 1朝運送方向X只移動距離D，以他 者的攝像手段2 8 b檢出異物Q。也就是一對的攝像手段 2 8 a、2 8 b持有時間差分別檢出異物Q :此樣持有時 間差檢出的情況，並不是同择檢出的情況之螢光面的缺陷 P，所以特定作爲異物Q。 作爲異物Q係爲污物、黑色膜的滲出1水滴等，擦拭 面板11的表面外面11c而被除去。 另外•掃描（檢査）面板1 1的螢光面全體；缺陷被 特定的情況，如上述過，藉由運算處理裝置4 2，首先判 定缺陷的發生圖案，繼而判定在每個面板1 1有效面（螢 光面）的何處發生缺陷之良•不良。 如上述，從面板1 1的表面外面1 1 c照明，同時從 複數個方向同時攝像通過面板11之螢光面的相同位置後 透過之透過光，因而在螢光面的缺陷P，就是從複數個方 向的攝像也同時被檢出，所以可以特定此缺陷作爲螢光面 的缺陷P;另則附著在表面外面11c之異物Q·依攝像 方向又被檢出又不被檢出；就是朝複數個攝像方向被檢出 也是具|有時間差被檢出，所以即是從複數個方向的攝像不 被同時檢出，所以並不是螢光面的缺陷P，可以特定作爲 異物Q。 進而，照明手段27a、 27b，由於從對向於複數 個攝像方向之複數個'方向照明，因而可以確實地攝像缺陷 --------.--^------it------^ {请先閲讀背面之注意事項再填宥本頁) 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS)A4規格（210X297公釐） _31 _ 4 3 2Λ 4 Ο 經濟部中央揉準局貝工消费合作杜印製 Α7 Β7_____五、發明説明（29 ) P或異物Q，且可以提高檢査精度。 進而•攝像手段28a、28b，沿著面板11移動 方向被配置一對，同時將垂直面板1 1之螢光面的方向1 在5〜15°的範圍傾向中心，因而可以確實地區別螢光 面的缺陷P及表面外面1 1 c的異物Q等。即是在5°以 下對於螢光面過度垂直所以尔易區別缺陷P與異物Q;在 1 5°以上對於螢光面過度傾斜所以無法確實地檢出螢光 面的缺陷P。 其次，在第2 7圖表示第7實施形態。然而，與上述 過各實施形態同樣的構成及作用效果，使同相同圖號，其 說明則省略》 在此實施形態，加上第6實施形態所示的構成，具備 使面板11的表面外面lib與攝像手段28a、28b 的距離保持一定之距離整手段81:將攝像手段28a、 2 8 b配置在藉由1軸的伺服機構8 2上下移動的基體 8 3上。然後使其同步於運送輸送帶所形成面板1 1的移 動，而朝上下方向作動攝像手段28a、 28b;攝像手 段2 8 a、2 8 b的視點在面板1·1的螢光面一致的狀態 且使焦點一致於面板1 1的螢光面而仿形，所以可以精度 良好的·檢査•此攝像手段28 a、28b係爲因面板11 的每個種類預先已知表面內面1 1 b的曲率，所以依據從 編碼器7 3的訊號得到面板1 1的移動量·因而以運算控 制裝置4 2藉由控制伺服機構8 2而進行上下移動。 其次，在第2 8'圖表示第8實施形態。然而，與上述 ----------裝------訂------線 (請先閲讀背面之注意事項再填穿本页) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4洗格（210X297公釐） -32 - 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印策 4 3 2Λ ___B7五、發明説明（3〇 ) 過各實施形態同樣的構成及作用效果，使用相同圖號，其 說明則省略》 在此實施形態，加上第6實施形態所示的構成，具備 使面板1 1的表面內面1 1 b與攝像手段2 8 a、2 8 b 的距離保持一定之距離調整手段8 1 ;將攝像手段2 8 a 、2 8 b，配置在藉由複數痼導引柱8 5而能上下移動地 被支撑同時藉由固定裝著在馬達（未圖示）的輸出軸之凸 輪8 6而上下移動之基體8 7上》然且，使其同步於運送 輸送帶2 3所形成面板1 1的移動，朝上下方向作動攝像 手段28a、 28b:攝像手段28a、 28b的視點在 面板1 1的螢光面爲一致的狀態且焦點一致於面板1 1的 螢光面而仿形，所以可以進行精度較佳的檢査。此攝像手 段28a、 28b係爲因面板11的每個種類預先已知表 面內面1 1 b的曲率，所以依據從編碼器7 3的訊號得到 面板1 1的移動量，藉由以運算控制裝置4 2控制伺服機 構8 2而進行上下移動。 然而，在於第6〜第8的各實施形態，對於面板1 1 爲在上方配置照明手段27a、 27b，在下方配置攝像 手段28a、 28b但相反地，對於面板11爲在上方配 置攝像.手段28a, 28b，在下方配置照明手段27a 、27b亦可，即可以照明手段27a、 27b從面板 1 1的表面內面1 1 b照明同時以攝像手段2 8 a、 2 8 b攝像該透過光所構成亦可。在此情況，攝像手段 28a、 28b的透k33對物面朝向下方，所以可以防 A7 (請先《讀背面之注$項再填碎本頁) 本纸張尺渡遑用中困«家揉牟（CNS ) A4規冰（210 X W7公釐） · 33 - Δ 3 2^ A7 B7 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印* 五、發明説明（31 ) 止塵埃或異物附著到透鏡的對物面，且可高品位地保持攝 像品位》 進而，攝像手段28a、 28b及照明手段27a、 2 7 b不限於各自一對：由於使用3台以上，因而可以更 提高異物P的檢出精度》 進而，使其移動面板1 i，但固定面板1 1後使其移 動檢出構件2 6，或是使其相互移動面板1 1與檢出構件 2 6亦可，得到同樣的作用效果= 另外，在於各實施形態，針對黑色膜1 2的缺陷檢査 、及在黑色膜12的孔13被塗敷藍、綠及紅的螢光體之 面板1 1，可以適應於在孔1 3未著螢光體的點消失等之 缺陷檢査》 〔發明效果〕 依據本發明，與照明面板的同時攝影，從此攝像資料 特定面板螢光面的缺陷，因而可以自動且精度良好地檢査 螢光面的缺陷》 〔圖面之簡單說明〕 第*1圖係爲截出表示本發明第1實施形態的陰極射線 管之螢光面檢査裝置的一部之側面圖。 第2圖係爲同上螢光面檢査裝置之正面圖。 第3圊係爲同上螢光面檢査裝置之構成圖。 第4圖係爲表示k上面板與照明手段及攝像手段的位 -----„---：_,—裝— {請先S讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 本紙張尺度逋用中國國家榡準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐） _ 34 - Δ 3 A7 B7 經濟部中央橾準局負工消费合作社印策 五、發明説明（32 ) 置關係之平面圖· 第5圖係爲表示同上所移動的面板與照明手段及攝像 手段的關係：（a)圖係爲表示面板的中央一部分的檢査 狀態之說明圖，（b)圖係爲表示面板前半部的檢查狀態 之說明圖，（c)圖係爲表示面板後半部的檢査狀態之說 明圖。 第6圖係爲表示同上光源的時間經過與光量的關係之 圖形* ， 第7圖係爲表示同上陰極射線管的面板：（a)圖係 爲面板之平面圖，（b)圖係爲面板之側面圖。 第8圖係爲表示同上陰極射線管的黑色膜；（a)圖 係爲表示黑色膜的缺陷（徑小孔）之說明圖，（b)圖係 爲表示黒色膜的缺陷（變形孔）之說明圖，（c)圖係爲 表示黑色膜的缺陷（無孔）之說明圖。 第9圖係爲同上（a )圖爲以反射方式攝像時的畫像 之說明圖，（b)圖爲以透過方式攝像時的畫像之說明圖 Q 第1 0圖係爲表示本發明第2實施形態的陰極射線管 之螢光面檢査裝置之說明圖。 第1 1圖係爲表示本發明第3實施形態的陰極射線管 之螢光面檢査裝置之側面圖= 第1 2圖係爲截出表示本發明第4實施形態的陰極射 線管之螢光面檢査裝置的一部分之側面圖。 第1 3圖係爲同'上螢光面檢査裝置之正面圖。 (請先W讀背面之注意事項再填VI.本頁) •裝. 訂 本紙張尺1適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央橾準局負工消费合作社印裝 4 3。.'. A7 B7 五、發明説明（33 ) 第1 4圖係爲同上螢光面檢査裝置之構成圖。 第15圖係爲同上（a)圖爲面板之斷面圖，（b) 圖爲根據S C膜的缺陷之透過光量出現異常之圖形。 第16圖係爲（a)、 （b)圔表示同上螢光面的缺 陷例之說明圖》 第17圖係爲（a)、 ’（b)圖表示同上螢光面的缺 陷例之說明圖。 第18圖係爲（a)、 （b)圖表示同上螢光面的缺 陷例之說明圖。 第19圖係爲（a)、 （b)圖表示同上螢光面的缺 陷例之說明圖。 第2 0圖係爲表示特定同上螢光面的缺陷發生位置的 領域之說明圖。 第21圖係爲（a)、 （b)圖表示成爲同上螢光面 的缺陷之點消失例之說明圖》 第2 2圖係爲截出表示本發明第5實施例的陰極射線 管之螢光面檢査裝置的一部分之側面圖。 第2 3圖係爲截出表示本發明第6實施例的陰極射線 管之螢光面檢査裝置的一部分之側面圖。 第.2 4圖係爲同上螢光面檢査裝置之正面圖。 第2 5圖係爲同上螢光面檢査裝置之構成圖。 第2 6圖係爲表示同上所移動的面板與照明手段及攝 像手段的關係；（a)圖係爲表示螢光面的檢査狀態之說 明圖，（b )圖係爲k示異物的檢査狀態之說明囫》 l—1—liti 裝 訂 mu 線 (請先《讀背面之注$項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中菌國家標率（CNS ) A4規格（2丨Ο X 297公釐） · 36 - 鯉濟部中央標準局貝工消费合作社印策 A7 R7_ 五、發明説明（34 ) - 第2 7圖係爲表示本發明第7實施形態之陰極射線管 的螢光面檢査裝置之側面圖。 第2 8圖係爲表示本發明第8實施形態之陰極射線管 的螢光面檢査裝置之側面圖。 〔圖號說明〕 11 面板 1 1 b 表面內面 11c 表面外面 21 螢光面檢査裝置 23 作爲移動手段之運送輸送帶 27、 27a、 27b 照明手段 28. 28a, 28b 攝像手段 42 作爲缺陷檢出手段、記億手段及良•不良 判定手段之運送處理裝置 4 2a. 42b 作爲照明控制手段之照明控制裝置 51 作爲移動手段及距離調整手段之自動裝置 61 作爲攝像控制手段之切換裝置 -----,--.--^------ΐτ------0 {锖先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 81 距離調整手段
本纸張尺度遑用中國國家揉準（CNS > Α4规格（2】ΟX 297公釐） 37 ·