KR100822874B1 - 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 패널에 존재하는 기포의 크기를 광학적으로 검사하기 위한 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치를 개시한다. 본 발명은 패널의 검사위치를 제공하는 테이블과, 테이블의 검사위치에 직립되어 있는 패널의 페이스 바깥쪽에서 패널을 조명하여 패널에 존재하는 기포의 이미지를 투영시킬 수 있도록 배치되어 있는 조명수단과, 패널의 페이스 안쪽에서 조명수단의 조명에 의하여 투영되는 기포의 이미지를 촬영하여 이미지데이터를 출력할 수 있도록 배치되어 있는 카메라와, 패널에 대하여 조명수단과 카메라를 같이 직교좌표운동시키는 직교좌표운동수단과, 카메라로부터의 이미지데이터를 프로그램에 의하여 처리하는 컴퓨터로 구성된다. 본 발명에 의하면, 패널의 크기와 기포의 위치에 구애받음이 없이 기포의 이미지를 정확하게 투영시키고, 기포와 카메라의 포커싱을 정확하게 유지시켜 기포의 이미지를 촬영함으로써, 기포의 이미지데이터에 대한 신뢰성과 재현성을 증대시킬 수 있다. 특히, 패널에 대하여 조명장치와 카메라를 같이 운동시킬 수 있는 구조에 의하여 대형평면패널을 간편하고 효율적으로 검사할 수 있다. 또한, 기포의 이미지데이터를 컴퓨터의 프로그램에 의하여 처리하여 기포에 의한 패널의 불량을 간편하고 정확하게 검사할 수 있는 효과가 있다.

Description

음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치{APPARATUS FOR INSPECTING PANEL BLISTER SIZE OF CATHODE RAY TUBE}

도 1은 본 발명에 따른 검사장치의 구성을 나타낸 정면도,

도 2는 본 발명에 따른 검사장치의 구성을 나타낸 측면도,

도 3은 본 발명에 따른 검사장치에서 패널에 대한 카메라의 운동을 설명하기 위하여 개략적으로 나타낸 정면도이다.

♣도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ♣

1: 패널 3: 기포

10: 테이블 12: 고정기구

20: 조명장치 30: 카메라

40: 직교좌표운동장치 42: 제1 리니어모션액츄에이터

44: 제2 리니어모션액츄에이터 46: 캐리지

48: 케이싱 50: 제3 리니어모션액츄에이터

60: 컴퓨터 62: 모니터

본 발명은 음극선관용 패널(Panel)의 기포(Blister) 크기 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 패널에 존재하는 기포의 크기를 광학적으로 정확하게 검사하여 양품과 불량품을 선별하기 위한 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치에 관한 것이다.

주지하고 있는 바와 같이, 컬러텔레비전이나 컴퓨터 모니터 등의 제조에 사용되는 음극선관용 유리벌브(Glass bulb)는 기본적으로 세 가지의 구성요소, 즉 화상이 투시되는 패널과, 이 패널의 후면에 접합되어 있는 원추형의 펀넬(Funnel)과, 펀넬의 꼭지점에 접합되어 있는 관형상의 네크(Neck)로 이루어진다. 이러한 패널, 펀넬 및 네크는 모두 유리로 제조되며, 특히 패널과 펀넬은 유리곱(Glass gob)이라 불리는 용융유리 덩어리를 원하는 크기 및 형상으로 프레스성형에 의하여 제조하고 있다.

이와 같은 음극선관용 패널에는 여러 가지 요인에 의하여 많은 결함이 발생되고 있다. 패널의 결함으로는 유리물 용융공정에서의 기포, 석물(Stone), 코드 (Code), 성형공정에서의 크랙(Crack), 돌출, 연마공정에서의 피트(Pit) 등이 있다. 따라서, 고품질의 음극선관을 제조하기 위하여 패널의 검사를 실시한 후, 불량요인을 찾고 그 원인을 규명하여 시정하고 있으며, 패널의 기포에 대해서는 크기와 함유량에 따라 양품과 불량품으로 선별하고 있다.

일반적인 음극선관용 패널의 검사방법은, 패널에 광원으로부터 투사되는 빛을 투과 또는 반사시키고, 패널의 기포, 석물, 크랙 등 결함으로 인한 투영을 검사자가 육안으로 검사하고 있다. 그러나 검사자의 판단에 전적으로 의존하는 육안검 사는 상당한 숙련과 경험이 요구되고 있으며, 검사자마다 보유하고 있는 측정오차에 의하여 검사결과의 신뢰성이 매우 낮은 단점이 있다. 그리고 검사자의 피로, 작업환경 등 내외적 요인에 의해서도 검사의 정확성에 매우 큰 차이가 있으며, 패널의 검사에 많은 시간과 인력이 소요되는 단점이 있다. 특히, 검사자가 기포의 크기로 패널의 양품과 불량품을 선별하기 어려운 모호한 크기의 기포를 함유하고 있는 패널을 양품으로 선별한 경우, 이러한 크기의 기포는 음극선관 제조업체에서 패널의 내면에 형광막의 도포 후에 실시하는 검사를 통하여 발견되고 있으므로, 음극선관 제조업체로부터 많은 반품이 요청되고 있으며, 그에 따른 경제적 손실이 막대한 문제가 있다.

한편, 한국 공개특허공보 제1999-85285호 음극선관용 패널의 검사장치에는 광원의 조명에 의하여 패널의 페이스(Face)로부터 투영되는 기포의 이미지를 카메라에 의하여 촬영하고, 카메라로부터 출력되는 이미지데이터를 컴퓨터의 프로그램에 의하여 처리하여 기포의 크기를 검사하는 기술이 개시되어 있다.

이 기술의 검사장치는 패널이 카메라의 시야(Field of view)에 배치될 수 있도록 구성되어 있기 때문에 카메라에 의하여 패널의 페이스 전체 영역이 촬영되는 문제가 있다. 따라서, 컴퓨터의 프로그램에 의하여 처리해야 할 이미지데이터의 크기가 커져 처리시간도 많이 소요되고, 페이스의 전체 영역을 조명하는 광원의 작동에 전원이 과다하게 사용되는 문제가 있다. 뿐만 아니라, 조명의 각도에 따라 기포의 이미지는 다른 크기로 투영되는 바, 패널의 기포와 카메라의 포커싱(Focusing)이 불가능하여 획득되는 이미지데이터의 신뢰성이 크게 저하되는 문제를 수반하고 있다. 이와 같은 문제로 인하여 검사자는 패널의 기포와 카메라의 포커싱을 수작업에 의하여 실시하고 있으나, 25인치 이상 대형평면패널의 경우 검사자의 취급이 곤란하여 패널의 전수검사(Total inspection)에 따르는 상당한 어려움을 그대로 감수하고 있는 실정이다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 여러 가지 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 패널에 존재하는 기포의 크기를 정확하게 측정하여 검사할 수 있는 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 목적은 기포에 의한 패널의 양품과 불량품을 간편하고 정확하게 선별할 수 있는 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 검사자가 판단하기 어려운 크기의 기포에 대한 검사를 간편하고 신속하게 실시할 수 있는 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 기포가 존재하는 위치만을 국부적으로 조명하여 촬영함으로써, 조명에 필요한 전원의 소비를 감소시키고, 데이터의 처리시간을 크게 단축시킬 수 있는 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 패널에 대하여 조명장치와 카메라를 같이 운동시킬 수 있는 구조에 의하여 대형평면패널을 간편하고 효율적으로 검사할 수 있는 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치를 제공하는데 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 음극선관용 패널에 존재하는 기포의 크기를 검사하는 검사장치에 있어서, 패널의 검사위치를 제공하는 테이블과; 테이블의 검사위치에 직립되어 있는 패널의 페이스 바깥쪽에서 패널을 조명하여 패널에 존재하는 기포의 이미지를 투영시킬 수 있도록 배치되어 있는 조명수단과; 패널의 페이스 안쪽에서 조명수단의 조명에 의하여 투영되는 기포의 이미지를 촬영하여 이미지데이터를 출력할 수 있도록 배치되어 있는 카메라와; 패널에 대하여 조명수단과 카메라를 같이 직교좌표운동시키는 직교좌표운동수단과; 카메라로부터의 이미지데이터를 프로그램에 의하여 처리하는 컴퓨터로 이루어지는 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치에 있다.

이하, 본 발명에 따른 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치에 대한 바람직한 실시예를 첨부된 도면들에 의거하여 상세하게 설명한다.

먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명의 검사장치는 음극선관용 패널(1)을 검사하기 위한 검사위치를 제공하는 테이블(10)을 구비한다. 테이블(10)의 상면에 패널 (1)을 직립상태로 고정시킬 수 있는 고정기구(Fixture: 12)가 구성되어 있다.

도 1과 도 2를 참조하면, 본 발명의 검사장치는 테이블(10)의 고정기구(12)에 의하여 직립되어 있는 패널(1)의 페이스(2) 바깥쪽에서 패널(1)을 조명하여 패널(1)에 존재하고 있는 기포(3)의 이미지를 투영시킬 수 있도록 배치되어 있는 조명장치(Illuminator: 20)와, 패널(1)의 페이스(2)의 안쪽에서 조명장치(20)의 조명에 의하여 투영되는 기포(3)의 이미지를 촬영하여 이미지데이터를 출력할 수 있도록 배치되어 있는 카메라(30)를 구비한다.

또한, 조명장치(20)와 카메라(30)는 서로 대응하여 서로 정렬되도록 배치되 어 있다. 조명장치(20)는 높은 조도를 일정하게 유지할 수 있는 백색발광소자 (White light emitting diode)로 구성하는 것이 바람직하며, 수은등, 형광등 등을 사용할 수도 있다. 카메라(30)는 CCD카메라(Charge coupled device camera)로 구성되어 있고, 카메라(30)의 렌즈(32)는 포커싱을 정확하게 맞출 수 있도록 심도가 높은 텔레센트릭 렌즈(Telecentric lens)로 구성할 수 있다.

한편, 본 발명의 검사장치는 패널(1)에 대하여 조명장치(20)와 카메라(30)를 같이 직교좌표운동시킬 수 있는 직교좌표운동장치(40)를 구비한다. 직교좌표운동장치(40)는 테이블(10)의 상부에 X축방향으로 배치되어 있는 제1 리니어모션액츄에이터(Linear motion actuator: 42)와, 제1 리니어모션액츄에이터(42)를 따라 직선운동할 수 있도록 Y축방향으로 배치되어 있는 제2 리니어모션액츄에이터(44)로 구성되어 있다.

제1 리니어모션액츄에이터(42)는 X축방향의 제1 가이드레일(Guide rail: 42a)과, 이 제1 가이드레일(42a)을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되어 있는 제1 슬라이드(Slide: 42b)와, 제1 슬라이드(42b)에 내장되어 제1 가이드레일(42a)을 따라 제1 슬라이드(42b)를 슬라이딩운동시키는 제1 리니어모터(Linear motor: 42c)로 구성되어 있다. 제2 리니어모션액츄에이터(44)는 제1 리니어모션액츄에이터 (42)의 제1 슬라이드(42b)에 일단이 Y축방향으로 고정되어 있는 제2 가이드레일 (44a)과, 이 제2 가이드레일(44a)을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되어 있는 제2 슬라이드(44b)와, 제2 슬라이드(44b)에 내장되어 제2 가이드레일(44a)을 따라 제2 슬라이드(44b)를 슬라이딩운동시키는 제2 리니어모터(44c)로 구성되어 있다.

본 실시예에 있어서 제1 및 제2 리니어모션액츄에이터(44)는 제1 및 제2 리니어모터(42c, 44c)를 배제하고 제1 및 제2 가이드레일(42a, 44a)과 제1 및 제2 슬라이드(42b, 44b)로 구성되는 리니어모션가이드(Linear motion guide)로 대신할 수 있다. 이 경우, 직교좌표운동장치(40)의 X축방향과 Y축방향 운동은 검사자의 수동조작에 의하여 실시한다.

또한, 제2 리니어모션액츄에이터(44)의 제2 슬라이드(44b)에는 캐리지 (Carriage: 46)가 장착되어 있다. 캐리지(46)는 그 몸체(46a)의 좌우로부터 테이블 (10)의 검사위치에 직립되어 있는 패널(1)의 전후방으로 제1 아암(Arm: 46b)과 제2 아암(46c)이 연장되어 있는 대략 "ㄷ"자 형상으로 구성되어 있다. 제1 아암(46b)의 하단에는 카메라(30)를 수용하여 보호하는 케이싱(Casing: 48)이 설치되어 있고, 제2 아암(46c)의 하단 내면에는 카메라(30)와 서로 정렬되도록 조명장치(20)가 설치되어 있다.

직교좌표운동장치(40)의 케이싱(48)에는 카메라(30)를 Z축방향, 즉 패널(1)에 대하여 직선운동시키는 제3 리니어모션액츄에이터(50)가 구비되어 있다. 제3 리니어모션액츄에이터(50)는 케이싱(48)에 Z축방향으로 장착되어 있는 제3 가이드레일(50a)과, 이 제3 가이드레일(50a)을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되어 있는 제3 슬라이드(50b)와, 제3 슬라이드(50b)에 내장되어 제3 가이드레일(50a)을 따라 제3 슬라이드(50b)를 슬라이딩운동시키는 제3 리니어모터(50c)로 구성되어 있다. 본 실시예에 있어서 직교좌표운동장치(40)의 제1, 제2 및 제3 리니어모션액츄에이터(42, 44, 50)는 서보모터(Servo motor)의 구동에 의하여 회전하는 볼스크루(Ball screw)와, 이 볼스크루를 따라 나사운동하는 너트와, 너트와 결합되어 있는 슬라이드의 운동을 안내하는 리니어모션가이드로 구성할 수도 있다. 그리고 제1, 제2 및 제3 리니어모션액츄에이터(42, 44, 50)는 제1, 제2 및 제3 슬라이드(42b, 44b, 50b)의 직선운동을 볼스크루와 너트 대신에 랙(Rack)과 피니언 (Pinion), 벨트와 풀리에 의하여 달성시킬 수 있도록 구성할 수도 있다.

도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 카메라(30)로부터 출력되는 기포(3)의 이미지데이터는 컴퓨터(60)에 실시간으로 입력된다. 컴퓨터(60)는 마이크로프로세서와, 모니터(62), 프린터 등의 출력장치와, 키보드 등의 입력장치를 갖추고 있다. 컴퓨터(60)는 카메라(30)로부터 입력되는 기포(3)의 이미지데이터를 프로그램에 의하여 처리하여 모니터(62)에 디스플레이하고 기포(3)의 크기에 따라 패널(1)의 양품과 불량품으로 선별한다. 컴퓨터(60)는 검사장치의 제어를 위하여 조명장치(20), 카메라(30), 그리고 제1, 제2 및 제3 리니어모션액츄에이터(42, 44, 50)의 리니어모터(42c, 44c, 50c)와 인터페이스되어 있다.

지금부터는 이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치에 대한 작용을 설명한다.

도 1과 도 3을 참조하면, 우선 검사자는 형광등의 빛에 의하여 패널(1)의 표면검사 또는 외관검사, 예를 들어 크랙, 피트, 오염, 얼룩, 핀홀(Pinhole), 색상불량 등을 검사하며, 패널(1)의 육안검사에 의하여 발견된 기포(3)의 크기로 패널(1)의 양품과 불량품을 선별하기 어려운 모호한 크기의 기포(3)에 대하여 기포(3)의 주위에 예를 들어 적색의 원을 그리는 마크(Mark: 4)를 표시한다. 마크(4)가 표시 되어 있는 패널(1)은 테이블(10)의 고정기구(12)에 의하여 페이스(2)의 전면이 조명장치(20)를 향하고 후면이 카메라(30)를 향하도록 직립시킨다.

도 1 내지 도 3을 모두 참조하면, 직교좌표운동기구(40)의 제1 및 제2 리니어모션액츄에이터(42, 44)에 의하여 캐리지(46)를 직교좌표운동시킴으로써, 마크가 표시되어 있는 기포(3)에 대하여 조명장치(20)와 카메라(30)를 정렬시킨다. 이때, 제1 리미어모션액츄에이터(42)의 제1 리니어모터(42c)가 구동되면, 제1 슬라이드 (42b)가 제1 가이드레일(42a)을 따라 좌우방향으로 슬라이딩운동되면서 제2 리니어모션액츄에이터(44)를 이동시킨다. 제2 리니어모션액츄에이터(44)의 제2 리니어모터(44c)가 구동되면, 제2 슬라이드(44b)가 제2 가이드레일(44a)을 따라 상하방향으로 슬라이딩운동되면서 캐리지(46)를 이동시킨다. 따라서, 패널(1)의 기포(3)에 대하여 카메라(30)의 포커싱이 정확하게 이루어진다. 그리고 직교좌표운동장치(40)의 제1 및 제2 리니어모터(42c, 44c)를 배제하고 검사자의 수동조작에 의하여 캐리지 (46)를 운동시킴으로써, 제1 및 제2 가이드레일(42a, 44a)을 따라 제1 및 제2 슬라이드(42b, 44b)를 운동시켜 캐리지(48)을 X축방향과 Y축방향으로 운동시킬 수도 있다. 이와 같이 캐리지(46)의 X축방향과 Y축방향 운동에 의하여 패널(1)의 기포(3)에 대하여 조명장치(20)와 카메라(30)를 같이 움직일 수 있으므로, 대형평면패널의 검사에 특히 적합한 장점을 보유한다.

또한, 패널(1)의 기포(3)에 대하여 카메라(30)를 포커싱한 후, 조명장치(20)의 작동에 의하여 패널(1)의 페이스(2) 바깥쪽에서 역광(Back-light)을 조명한다. 패널(1)의 검사는 패널(1)의 응력을 제거하기 위한 서냉로(Lehr)의 통과 후, 패널 (1)의 연마공정 후와 포장공정에서 실시하고 있으며, 패널(1)의 기포(3)에 대한 검사는 주로 서냉로의 통과 후에 실시하고 있다. 패널(1)의 기포(3)를 검사하기 위하여 페이스(2)의 바깥쪽에서 역광을 조명하는 이유를 살펴보면, 유리곱을 금형에 의하여 프레스성형할 때 패널(1)의 외면에는 유리곱의 유동으로 인하여 물결무늬가 남게 되며, 또한 미세요철 등의 형성으로 인하여 외면의 형상이 일정하지 못하다. 따라서, 패널(1)의 페이스(2) 안쪽에서 조명장치(20)에 의하여 패널(1)을 조명하면서 패널(1)의 페이스(2) 바깥쪽에 카메라(30)를 위치시켜 기포(3)를 촬영할 경우, 기포(3)를 투과하는 빛이 물결무늬 또는 요철에 의하여 불규칙적으로 굴절되면서 기포(3)의 투영이 변화되므로, 기포(3)의 정확한 투영을 기대할 수 없다.

본 발명의 검사장치에 있어서는 패널(1)의 페이스(2) 바깥쪽에서 조명장치 (20)에 의하여 패널(1)을 조명하고, 페이스(2)의 안쪽에서 카메라(30)에 의하여 기포(3)의 투영을 촬영하므로, 정확한 크기와 형상으로 투영되는 기포(3)의 이미지를 획득할 수 있다. 이 결과, 카메라(30)의 촬영에 의하여 획득되는 기포(3)의 이미지데이터에 대한 신뢰성과 재현성을 크게 증대시킬 수 있다. 그리고 기포(3)가 존재하는 위치만을 조명장치(20)에 의하여 국부적으로 조명하면서 카메라(30)에 의하여 촬영함으로써, 조명장치(20)의 작동에 필요한 전원의 소비를 감소시키고, 카메라 (30)의 촬영에 의하여 획득되는 이미지데이터의 크기를 감소시켜 컴퓨터(60)에 의한 데이터의 처리시간을 크게 단축시킬 수 있다.

도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 기포(3)는 페이스(2)의 내면, 외면과 중심 등 다양한 위치에 존재하게 된다. 기포(3)의 위치에 따라 카메라(30)의 포커싱이 맞지 않으면, 검사자는 컴퓨터(60)의 조작에 의하여 직교좌표운동장치(40)의 제3 리니어모션액츄에이터(50)를 작동시켜 기포(3)와 카메라(30)의 포커싱을 실시한다. 제3 리니어모션액츄에이터(50)의 제3 리니어모터(50c)가 작동되면, 제3 슬라이드 (50b)가 제3 가이드레일(50a)을 따라 패널(1)에 대하여 전후방향으로 슬라이딩운동되면서 캐리지(46)를 이동시킨다. 따라서, 패널(1)의 기포(3)에 대하여 카메라(30)의 포커싱이 정확하게 이루어진다.

한편, 카메라(30)의 촬영에 의하여 획득되는 기포(3)의 이미지데이터는 컴퓨터(60)에 실시간으로 입력된다. 컴퓨터(60)는 카메라(30)로부터의 이미지데이터를 프로그램에 의하여 처리하여 기포(3)의 크기를 산출하고, 산출되는 기포(3)의 크기에 따라 패널(1)을 양품과 불량품으로 선별하여 그 결과를 모니터(62)에 디스플레이한다. 이때, 컴퓨터(60)는 패널(1)의 선별결과를 수치데이터나 음성데이터로 출력할 수도 있다. 따라서, 검사자는 컴퓨터(60)에 의하여 출력되는 데이터에 의하여 패널(1)의 양품과 불량품을 객관적으로 매우 쉽고 정확하게 식별할 수 있다.

이상의 실시예는 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한 것에 불과하고, 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상과 특허청구범위내에서 이 분야의 당업자에 의하여 다양한 변경, 변형 또는 치환이 가능할 것이며, 그와 같은 실시예들은 본 발명의 범위에 속하는 것으로 이해되어야 한다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 음극선관용 패널의 기포 크기 검 사장치에 의하면, 패널의 크기와 기포의 위치에 구애받음이 없이 기포의 이미지를 정확하게 투영시키고, 기포와 카메라의 포커싱을 정확하게 유지시켜 기포의 이미지를 촬영함으로써, 기포의 이미지데이터에 대한 신뢰성과 재현성을 증대시킬 수 있다. 특히, 패널에 대하여 조명장치와 카메라를 같이 운동시킬 수 있는 구조에 의하여 대형평면패널을 간편하고 효율적으로 검사할 수 있다. 또한, 기포의 이미지데이터를 컴퓨터의 프로그램에 의하여 처리하여 기포에 의한 패널의 불량을 간편하고 정확하게 검사할 수 있는 효과가 있다. 이 결과, 검사자는 객관적인 기준에 따라 기포 불량을 선별할 수 있으므로, 검사결과의 신뢰성과 정확성을 향상시킬 수 있다고 하는 효과가 있다.

Claims (5)

1. 음극선관용 패널에 존재하는 기포의 크기를 검사하는 검사장치에 있어서,

   상기 패널의 검사위치를 제공하는 테이블과;

   상기 테이블의 검사위치에 직립되어 있는 상기 패널의 페이스 바깥쪽에서 상기 패널을 조명하여 상기 패널에 존재하는 상기 기포의 이미지를 투영시킬 수 있도록 배치되어 있는 조명수단과;

   상기 패널의 페이스 안쪽에서 상기 조명수단의 조명에 의하여 투영되는 상기 기포의 이미지를 촬영하여 이미지데이터를 출력할 수 있도록 배치되어 있는 카메라와;

   상기 패널에 대하여 상기 조명수단과 카메라를 같이 직교좌표운동시키는 직교좌표운동수단과;

   상기 카메라로부터의 이미지데이터를 프로그램에 의하여 처리하는 컴퓨터로 이루어지는 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 직교좌표운동수단은,

   상기 테이블의 상부에 X축방향으로 배치되어 있는 제1 리니어모션액츄에이터와;

   상기 제1 리니어모션액츄에이터를 따라 직선운동할 수 있도록 Y축방향으로 배치되어 있는 제2 리니어모션액츄에이터와;

   상기 제2 리니어모션액츄에이터에 의하여 상기 조명수단과 카메라를 같이 운 동시킬 수 있도록 설치되어 있는 캐리지로 구성되어 있는 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 캐리지는 몸체의 좌우에 상기 조명수단과 카메라를 서로 정렬시켜 설치할 수 있도록 상기 패널의 전후방으로 연장되는 제1 아암과 제2 아암을 구비하는 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치.
4. 제 2 항에 있어서, 상기 직교좌표운동수단은 상기 카메라를 상기 패널에 대하여 전후방으로 직선운동시키는 제3 리니어모션액츄에이터를 더 구비하는 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 직교좌표운동수단은,

   상기 테이블의 상부에 X축방향으로 배치되어 있는 제1 가이드레일과;

   상기 제1 가이드레일을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되어 있는 제1 슬라이드와;

   상기 제1 슬라이드에 일단이 Y축방향으로 고정되어 있는 제2 가이드레일과;

   상기 제2 가이드레일을 따라 슬라이딩운동할 수 있도록 장착되어 있는 제2 슬라이드와;

   상기 제2 슬라이드에 상기 조명수단과 카메라를 같이 운동시킬 수 있도록 설치되어 있는 캐리지로 구성되어 있는 음극선관용 패널의 기포 크기 검사장치.

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