經濟部中央標準局員工消费合作杜印装 4 1703 9 A7 -_B7_ 五、發明説明（） 兹明铕域 本發明係有關聚矽烷型感光性樹脂組合物及使用此組 合物形成圖形之方法。 發明背量 最近，基於開發出用以形成高準確度超細圖形的阻劑 (resist)之目的已廣泛地進行了有關使用聚矽烷的兩層式 阻層之研究。另外· Tsushima et al.已發現經由將聚砂 烷薄膜暴露到紫外光並將暴光後的薄膜浸到含有染料或色 素的金觸氣化樹溶朦内所得到的箸色圔形可以甩於有色濾 光器上（U.S. Se「. No. 08/004,613或歐洲專利申請第 93,300,228.9號 >。 不過，因為其所具低反應速率和低敏感性，所以箱要 長期暴光使聚矽烷進行光分解β因此，即有損及産率之問 題。 之前己發現将敏感劑（如，三阱等）或過氣化物加到 聚矽烷中可以有效地改良聚矽烷對光降解的敏感度（曰本 公開專利公告第61-189533號；G.M. Wal丨raff et al., Ρ ο I y b . M a t · S c i. E n g · Ν ο. 6 6, p a g e 10 5 (19 9 2))。不過 ，在這些先前技藝中，暴光時間仍為太長且需要加入大fi 的敏感剤才能縮短暴光時間。大童添加劑會損及聚矽烷本 身的物理性質，因此，有需要經由以最小可能的童蔺配添 加劑來改良聚矽烷對光降解的敏感性。 發明槪沭 上述傳統問題可用本發明予以解決。因此，本發明的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） ---------:襞-------.訂------Μ (請先W讀背面之注項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 ' * A7 B7 五、發明説明（) 一項目的為提出聚矽烷樹脂組合物，其中可在短時間内完 成暴光。 本發明的另一目的為提出利用聚矽烷樹脂組合物形成 圖形之方法。 本發明提出一種感光性樹脂組合物，其包含： (a)具下示構造式的聚矽烷：
[式中Rlf Rs，R3和R*可相同或柑異，傺鋰自含取代基或 不含取代基的脂烴基，脂璟烴基和芳烴基等之中者；且a 和η皆為整數], (b) 光基産生劑；及 (c) 氣化劑。 本發明也提出形成金臑氣化物薄膜圖形之方法，包含 下列步驟： 在基材上形成由申請專利範圍第1項所述感光性樹脂 組合物所構成之感光層； 根據圖形選擇性地將感光層暴光以形成具圔形的潛像 ;及 將具有潛像的感光層浸在金靥氣化物溶膠内。 本發明的這些目的及其他目的和優點對於諳於此技者 可經由下面的説配合附圖而變得明顯。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210 X 297公釐） ----------^-------,玎------M (請先閏讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 1703 9 丨A7 :¾ Μ 五、發明説明（） 第83109813«專利申1«案說明窨修正頁修正日期：86年10月 經濟部中央標準局貝工消资合作杜印製 式:夕ffi霣説明 第1U)至<d)匾的示意圖偽爲鼸明用本發明形成圔形 方法形成薄蹼匾形的各步《之實施例。 η轤銳明 101 基材 104 層板 102 感光層 104'靥板 102’感光雇 104"牖板 103 鼷形罩 U0 紫外光或可見光 明 可用於本發明中的聚矽烷，於膳族烴或磨環族垤的情 況中，其磧原子數為1至10,較佳者為1至6。於芳垤的 情況中，IU至IU取代基的類別及和η的值籌不具特殊重要 性且該聚矽烷可具有檐溶»可溶性且可塗被形成均勻膜（ _摩度0.1至10微米）。 可用於本發明中的光基產生劑為可在光照下產生曲索 基的化合物。本發明人發現Si-Si鍵可被鹵素基有效地切 蹰，將光基產生贿加到本發明感光性樹膳组合物内可增高 聚矽烷對光的敏想性。 經由將氧化琍調配到本發明感光性樹臞组合物内*即 可將氧β易地揷到Si-Si鍵内》且經由光基產生爾舆氧化 «之間的交互作用可以得到協合效«。因而可Μ改良聚矽 烷對光降解的敏®性。可用於本發明中的氧化_爲可作為 氧供铪薰之化合物》 光基產生_可爲在光照下能產生鹵素基的任何化合物 而未特別地限«。其例子包括下式所表的2,4,6-三-(三鹵 甲基卜1，3,5~三拼：
本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) -* O', A7 B7 五、發明説明（） [式中X為Cl或Br];下式所表的2-取代基-4,6-二-(三鹵甲 基）-1,3,5-三畊；
[式中X為C1或Br,且R為含取代基或不含取代基的脂烴基 ，脂琛烴基和芳烴基];下式所表的2,4-取代基-6-三鹵甲 基-1,3,5-三阱： Ri々Nk .r2 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局員工消費合作社印袋 CX3 [式中X為Cl或Br,且1^和!^分別為含取代基或不含取代基 的脂烴基，脂琛烴基和芳烴基]等。， 氣化劑可為能作為氣供給源的任何化合物而無待殊限 制者。其例子包括過氣化物（如，3,3',4,4'-四-(第三丁 基過氣羰基）二苯甲酮）·胺氣化物（如，氣化三甲胺）， 膝氧化物（如，氣化三苯膦）等。 當光基産生劑和氣化剤分別以100份重量的聚矽烷為 基計之1至30份重置加入時，所得感光性樹脂組合物即可 付諸寅用》另外，除了光基産生劑和氣化劑之外，加入適 當感光性染料，也可因為染料的光榭發而産生鹵素基。 本發明最佳組合物包含1至30份重量的光基産生爾， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 8 A17039 A7 B7______ 五、發明说明（） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1至30份重量的氧化劑和1至20份重童的染料，且傈以100 份重童的聚矽烷為基質譌配成的。可用的染料，例如，各 種可溶性染料，例如，薰草素染料，花青染料，部花青染 料等都有這種效果。 根據本發明形成薄膜圖形的方法，傜先在適當基材上 形成本發明感光性樹脂組合物的感光層。基材的形狀和材 料未受特殊限制。玻璃板，金屬板，塑膠板等都可以使用 0 感光層係在這種基材上形成的，其形成方法可為能夠 形成具有均勻厚度的感光層之任何方法，而無特殊限制。 將上述聚矽烷，光基産生劑和氣化劑及，需要時，染料等 溶解在能夠痼別成份的溶劑，例如，甲苯，THF等之中形 成溶液，其可用旋轉塗被器塗被該溶液。溶液的濃度適當 者為5至15S；。感光層的乾膜厚度最好是在0.1至10微米範 圍内。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 形成薄膜圖形的諸步驟之實施例示於第1(a)至（d)圔 中。如第1(a)圔所示者，利用紫外光源，例如汞蒸氣灯， 將紫外光照到層板104上以形成包含基材101和感光層102 的圔形薄膜。紫外光或可視光110通常是照射經過圖形單 103到層板104上以形成薄膜。 本發明所用光源的波長為可使光基産生劑或感光性染 料暴光者。較佳者，傜以0.2至5焦/平方公分每1徹米感 光層厚度的光量進行照射。
感光靥中所含S卜Si鍵可用光照射切斷而形成Si-0H 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7_ 五、發明説明（） (矽醇基）。因此，在欲形成圖形薄膜的受照射層板中卽 形成含矽醇基的潛像。 然後，將用以形成其中會形成含矽醇潛侏的薄膜之層 板浸在金屬氣化物溶膠溶液中，即在該欲形成薄膜的層板 之圖形部份吸收入該溶膠。為了經由將感光層膨腥以增加 吸收速率，可在金靥氣化物溶膠中加入水溶生有機溶劑， 例如乙腈，二氣陸圜，四氳呋喃等。這種水溶性有機溶劑 可以1至30重量％調配到該溶膠溶液中。當溶劑的含量超 過30重童涔時；會使感光層發生部份再溶解而引起所得薄 膜表面的擾動。於本發明中，適當地是經由将薄膜形成材 料浸在該溶醪溶液内，保持在20至40TC1至40分鐘而進行 溶膠吸收。 有闋金屬氣化物溶膠物質，通常可以使用溶膠一凝膠 程序中所用的物質。金羼類別傜依標的功能而變異，不過 ,可用材料的例子包括金屬有機物質（如，烷氧化物，乙 醯丙酮化物，2酸鹽，胺等），可溶性無機鹽（如，硝酸 鹽等）或金靥（例如 Si, Zr, Pb, Ti, Ba, Sr, Nb, K, Li ,Ta, In, Sn, Zn, Y, Cu, Ca, Hn, Fe, Co, La, Al. Mg 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ，V等）的細氣化物粒分散物等。將這些溶解在溶劑，如 醇之中而製備成溶液，其再經由使用觸媒，如酸或鹾等進 行縮合聚合反應而予以溶剤化。此外，金屬的所有取代基 可能不會全部轉化成可縮合聚合的官能基，而有部份有機 宫能基可能殘留。此外可加入能溶解或分散在該溶膠溶液 中的物質。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS >A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 417Π39 A7 B7 五、發明说明（） 使用Si的烷氧化物時，俗將四乙氣基矽烷水解並脱水 縮合，包括將其溶解於乙酵/水混合溶液内t於所得混合 物中加入鹽酸，接著在室溫下攢拌2小時而得均勻氣化的 溶瞟。 有關氣化矽溶膠的組成，其較佳者包含以100份重量 的四乙«基矽烷計之50至200份重童的乙醇，1至200份重 童的水和0.1至3份重量的鹽酸。必要時，可更加入水溶性 有機溶劑，例如乙腈，二氧陸園，四鑣呋喃（THF)等。 拫據金屬氧化物是在感光層的紫外光照射部份被吸牧 而摻合到感光層的内部。一般認為該趿收僳經由存在於感 光層被紫外光照射的部份中的細孔洞進展到内部。溶膠粒 子的直徑為幾nm到幾十πιο且可經由擴散黏滯住。可確定者 ,與溶瞟粒子共同存在，具適當大小之粒狀物可以與溶膠 粒子一起擴散到内部，類似只有溶膠粒單獨存在之情形。 因此，在經由溶膠粒子吸收發展一項功能時，可以有 下面諸情況： 0)溶膘粒子本身含有官能性原子或官能基； (2) 有可與溶腠粒子一起吸收到感光靥内的粒狀物共同 存在； (3) 有可溶解在該溶膠内的化合物或聚合物物質共同存 在；及 ⑷溶瞎粒子本身偽被吸收在感光層的紫外光照射部份 並將未吸收部份脱除以形成不平的表面形狀，因而發展成 一功能。當然，可以將其中兩種或多種組合使用以發展出 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐） 11 ----------^裝-------ΪΤ------^ (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 五、發明説明（） 一功能。 官能性原子的例子包括氣等。可以經由形成含有許多 氣原子的溶膠並將該溶膠趿收在感光層上而賦予感光廇來 自《的排水性。這種方法所用官能基的例子包括疏水基（ 如，烷基等），離子交換基（如.羧基，磺酸基，酸性羥 基，胺基等）等。 粒狀物的例子包括銅和銀等的粒子。經由製備其中共 存箸粒狀物的溶膠並將溶膠和溶膠粒子吸收在感光層内， 卽可將銅和銀包含在惑光層内成為圖形。 使用氧化矽溶膠時，可用該氣化矽溶膠分散該粒狀物 ，或先用非離子界面活性劑分散該粒狀物，然後在製備氣 化矽溶膠時混合在一起。於這種情況中，需要將粒狀物的 粒度調整到不大於500na,較佳者不超過200nm。當粒度超 過500nn時，卽使將感光層浸到溶膠溶液中，粒子也可能 不會擴散到該層的受紫外光照射過部份，因而，使其不能 黏滞。粒度可以用普通的離心沈降方法來测量。氣化矽溶 睡粒子被認為是吸附在粒狀物的表面上。氣化矽凝_在粒 子表面上的吸附可以經由測量ε (zeta)電位而容易地確定 。例如，用非離子界面活性劑予以分散的物質會因為氣化 矽凝膠的吸收使矽醇基出現在表面上而使其S電位在-5至 -25 mV處變得穩定。 可以溶解在溶膠溶液中的物質可為能夠溶解在水中或 醇中的任何物質且其可與氣化矽凝膠的矽醇基交互作用並 可與溶膠粒子一起擴散到感光層的紫外光照射部份之内而 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） 12 A7 B7 經濟部中央橾隼局員工消費合作社印製 五、發明説明（） 使其膠黏。適當的聚合物材料例子包括含醇羥基的聚合物 (如.聚乙烯醇，聚乙二醇，餓維素等），含醯胺基聚合 物（如，聚（2-甲基-2-皞唑啉），聚（H-乙醯基毗咯烷酮） ，聚（Ν,Ν-二甲基丙烯醅胺，等）等。可以經由將上述物 質諝配到感光層内並在該物質不會分解的低溫下膠凝而賦 予機能，如撓性等。此外，也可以經由在高於該物質分解 溫度以上的溫度進行膠凝並利用該物質分解後所得孔洞而 賦予另一機能，例如，多孔性等。於要取得顔色之情況中 ,可以將染料溶解在溶膠中或將色素分散在溶顧中商彩成 塗被画形。 在取掉溶瞜溶液後，將已使溶膠吸附在圖形部份的薄 膜形成層板予以乾燥。脱除溶膠溶液的方法可為用水洗之 方法或用空氣吹除之方法等。 為了使吸收在感光層暴光部份内的溶膠粒子更進一步 醪凝，偽在高於100Ό之下乾燥30分鐘至2小時，在基材 和溶腠溶液所内官能物質的允許範圍内，乾燥溫度越高， 可以得到具有優良抗性的更硬膜。在使用玻璃基材和使用 氧化矽溶膠作為溶瞜時，像在不低於400 υ之下加熱消除 有機取代基以産生金屬氣化物薄膜。 利用如第1(b)圖所示的薄膜圖形形成步驟，可以形成 其中形成所要圖形的薄膜形成用層析104’。 有需要在玻璃表面形成不平現象，如光碟基材的前溝 (pre-groove)之時，可以將整値表面如第1(c)圖所示暴露 於紫外光下並使殘留感光層分解以去除之，而形成第1(d) 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） 13 ----------------訂------ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 团所示不平圖形薄膜。去除非所要感光層的方法可以使用 如加熱揮發法和溶劑脱除法等。以加熱脱除感光層時，在 不低於2001的溫度加熱10至60分鐘即足夠。於這種情況 中，溶腠粒子可不具機能特性。 另外，經由改變要暴露於紫外光的部份並用具有不同 配方的溶膠溶液重複第1(a)和（b)圔之步驟，即可在相同 基材上容易地形成具有不同機能的薄膜圖形。 經由這種簡單的操作，可以解決利用溶膠-凝膠處理 的薄膜形成技術中的圖形形成大問題。另外，闬本發明感 光性樹脂組合物，可以在短時間内完成暴光。 如上所述者，在本發明形成薄膜圔形所用方法中不需 要採用使用圖形形成所需的阻劑之影印石販術。此外，因 為可以形成不具不平性的平坦層直到去除未暴光部份的感 光層為止，或者可以將未暴光部份的感光層脫除而形成具 有不平性的圖形薄膜等方式可以選擇利用本發明方法形成 的圖形薄膜。 另外，因為本發明感光層的光組合物具有高鑑別率， 所以該圖形形成步驟可以形成細圖形薄膜，使其適合用於 具有比打印法更高密度的不平表面之處理。 該技術可應用的領域頗廣泛，且經由選擇基材和溶膠 物質的類別可以製成具有各種掸能之薄膜圖形。 根據本發明，提出其中聚矽烷對光降解的感光性獲得 改良且光降解所需時間獲得縮短之感光性樹脂組合物，以 及提出使用該組合物形成圖形之方法。 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210/297公釐） ----------^-------ΤΓ------Μ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 14 4t7039 經濟部中央榡準局員工消費合作社印製 A7 _B7__五、發明説明（） 下面的製備例，實施例和比較例偽用以進一步詳細閭 述本發明而非意圖限制其範圍者。於諸實施例和比較例中 ,除非另外提及，否則所有的"％ "皆為以重量計者。 魁備例1 聚矽烷之製備 於裝著搜拌器的1000-毫升燒瓶中，給入400毫升的甲 苯和13.3克的鈉。經由激烈攪拌將鈉細分散到甲苯中之後 ，加入61.6克的苯基甲基氣矽烷。然後將燒瓶内容物置於 截掉紫外光的黃色房間内，邡熱到mt：，接箸攪拌5小時 予以聚合。之後，於所得反應混合物中加入乙醇以抑活化 超童的納並用水萃洗該混合物以分離出有機層。將有機層 倒到乙醇内以沈澱出聚矽烷。用甲苯-乙醇將所得粗聚甲 基苯基矽烷重複沈澱三次而得到具有重量平均分子童為 200,000的聚甲基苯基矽烷。 謇掄例1 將100份重里的製備例1所得聚甲基苯基矽烷，10份 重量的2,-4-二-(三氣甲基）-6-(對-甲氣基苯基乙烯基）-1 ,3,5-三阱（TAZ-110, Midori Kagaku Co., Ltd.的製品） 及15份重童的3,3’，4,4’-四-(第三丁基過氧羰基）二苯甲 酮（BTTB, NOF Corporation的製品）等溶解在甲苯中以形 成10¾甲苯溶液。用旋轉塗被器將該溶液塗在石英基材上 以形成具有膜厚度為0.2徹米之薄膜。以該薄膜，測定聚 矽烷對光降解的敏感性。 用 Ohtsuka Electronics Co., Ltd 所製 MCPD-1000 測 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（2丨0乂297公釐） 15
經濟部中央標準局員工消费合作社印製 五、發明説明（） 量紫外光吸收光譜，並測量聚矽烷λ max吸收減少至一半 的紫外光照射時間作為敏感度。紫外光照射是用Japan Storage Batery Co., Ltd.所製超高壓亲燈（CL-50-200A， 500W)進行的。其結果列於表1中。 竇掄俐2 根據實施例1所述之相同方式，但使用1〇〇份重量與 實施例1相同的聚矽烷，10份重霣的TAZ-100和10份重最 的氣化三苯膦（TPPO, Tokyo Chemical Industry Co.，
Ud.的製品），而測量其敏感度。其結果列於表1中。 比較例1 根據實施例1中所述相同方式，但只使用100份重量 與實施例1所用者相同的聚矽烷，而測量其敏感度。其結 果列於表1中。 比較例2和3 根據實施例1中所述相同方式，但只使用100份重量 與實施例1所用者相同的聚矽烷及10或20份重量的TAZ-110 ，而測量其敏感度。其结果列於表1中。 比較例4至7 根據實施例1所述之相同方式，但使用100份重量與 實施例1所用者相同的聚矽烷，及15或30份重置的BTTB,或 10或20份重量的ΤΡΡ0,而測量其敏感度。其結果列於表1 中。 富掄例3 將100份重量與實施例1相同的聚矽烷，10份重里的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNSM4規格（ 210X297公釐） 16 ------------- (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 AU039 A7 ____ B7 五、發明説明（） 2,4,6-三（三氮甲基）-1,3,5-三阱（TCMT, Midori Kagaku Co., Ltd.的製品），15份重量的BTTB和5份重量的香豆素 色素，3,3'-羰基二-(7-二乙胺基香豆素）^831；1113111(〇<^1{ Co.的製品）等溶解於THF中形成105K THF溶液。根據實施例 1中所述的相同方式，用該溶液製備成樣品。 測量聚矽烷λ 吸收減低至一半的可視光照射時間 作為其敏感度。可視光照射是用Japan Storage Battery Co., Ltd.所製超高壓汞燈（CL-50-200A，500W)及用濾光 器截止成具有低於440nm波長的光而進行的。其結果列於 表2中。 比較例8和9 一 根據實施例3所述相同方式，但使用100份重量與實 施例1相同的聚矽烷，10份重量的TCMT和15份重量的BTTB 或5份重童與實施例3相同的番豆素色素等，測其敏感度 。其結果列於表2中。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 17 經濟部中央標準局員工消费合作社印m A7 B7 五、發明説明（） 表 1 添加劑（以100份重量的聚矽烷計算之量） 實施例编號 TAZ-110 BTTB TPP0 暴光時間（秒） 實施例1 10 15 0 12 實施例2 10 0 10 19 比較例1 〇 0 〇 6 2 比較例2 10 0 0 5 0 比較例3 2 0 0 0 2 5 比較例4 0 1 5 0 4 3 比較例5 0 3 0 0 4 2 比較例6 0 0 10 5 8 比較例7 0 0 2 0 5 6 表 2 添加劑（以100份重量的聚矽烷計算之量） 實施例编號 TCHT BTTB 香豆素 暴光時間（秒） 實施例3 10 1 5 5 12 0 比較例8 10 15 0 4 4 0 比較例9 10 0 5 6 3 0 ----------^裝-------訂------M (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 18 αΠ〇39 A7 B7 五、發明説明（） 製備例2 將13克的四乙氣基矽烷，20克的乙醇和13克的水铪到 一燒杯内，Μ拌下加入0.1克的濃鹽酸，並將該混合物在 30C下攪拌2小時，水解並脱水縮合而製成溶膠。於其中 加入43克的水和10克的乙腈而得到供浸塗用的氣化矽溶膠 經濟邰中央標隼局員工消費合阼杜印裂 窨旃例4· 將具有與實施例1相同配方的甲苯溶液用旋轉塗被器 ， uynapart uo. aj sii ffi J M ft «e s W _t Ιΰά； x 5公分x〇.11公分厚）使其乾膜厚度為2徼米。在所得層 板加上一石英光罩用以形_成薄膜圖形，將其用超高壓汞燈 平行暴光設備（CL-50-200A, Japan Storage Battery Co., Ltd.的製品）以0.5焦耳/平方公分的光量之紫外光進行暴 光。於拿開光罩後，將其中已形成涫像的層板浸在製備例 2所得溶_内2至5分鐘。於浸潰後，用水洗該層板並在 2001C乾燥30分鐘以製成氣化矽凝膠圖形薄膜。 此外，用上述設備以0.5 J/平方公分光量的紫外光 照射要形成薄膜圖形的該靥板總表面後，將該層板置於 200t：乾燥30分鐘。其結果為使得除了氣化矽凝膠圖形以 外的感光靥揮發掉而在玻璃基材上形成不平的氣化矽凝膠 薄膜圃形。接著，在600¾煅燒30分鐘將該不平圖形完全 改變成氧化矽玻璃，並用表面輪廊測量設備（Dektak 3ST, ULVAC Co., Ltd.的製品）測量該不平輪廓。結果發現形成 了高度0.5微米的預浸物。因此，可以不必使用打印方法 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) ΑΊ規格（210X297公釐） 19 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7 _B7____ 五、發明説明（） 或蝕刻法即可在玻璃表面上進行精細不平加工。 hh齩锎10 用製備例1的10¾聚矽烷/甲苯溶液進行與實施例4 所述相同的操作。其結果為因為沒有形成清晰潛像而未能 使溶膠固定。所以，不能得到足夠不平的圖形。 製備例3 於含有25克的四乙氣基矽烷，25克的乙醇和17克的水 等的溶液中，每種顔色加入10克的色素和100克的玻璃珠 。在201C分散2小時後，加入0.3克的鹽酸，接著在2〇υ 下分散2小時以製備著色溶膠。另外，製備成未加著色料 ，具有相同配方的溶膠溶液。然後，將30克所得溶_溶液 和10克的著色溶膠温合並加入30克的水以製成供箸色用之 溶膠溶液。 分別使用” Microlith Red 2BWA"· ”Mic「olith Blue 4GWA"和"Irgalite Green GLN Hew” （Ciba Geigey Co.的 製品）等作為紅色色素，藍色色素和錄色色素。 謇掄例5 將具有與實施例1相同的配方之甲苯溶液用旋轉塗被 器塗在玻璁基材（5公分X5公分x〇.11公分厚）之上。然後 ，將該濕膜乾燥形成具有2微米厚度的感光層。 將其中已形成紅色濾光片透射圖形的銀鹽負片放置在 所得濾光材料上，並將如此所得層板用超高壓汞燈以0.5J /平方公分光量的紫外光照射。於除去銀鹽負Η後，將其 中已形成潛像的濾光材料浸在製備例3所得供紅色著色用 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) :- 20 4、ί Ο 3 5 Α7 Β7 五、發明説明（） 的溶膠溶液内。 此外，用其内已形成藍色濾光片透射画形的銀鹽負片 取代其中已形成紅色濾光片透射圖形的銀鹽負片放到濾光 片材料上，並將所得層板暴光得到潛像。接著，用供藍色 箸色用的溶膠進行第二次著色。 以上述相同方式，但用其中已形成綠色濾光片透射圖 形之銀豔負片及供綠色著色用之溶膠進行第三次著色而得 到著色濾光片。
—ί_» CT -Λτ* -rifcr rAr ·>!/ τΑτ Γ3 "It? H9S h- HJ 所待藤7C h兴月问反J2S兀华·&个己itb 5ΙΦ Ci。/1]
Ohtsuka Electronics Co., Ltd 所製 MCPD-1000 測量箸色 濾光M的光譜透光率。其結果為：在最大吸光波長部份， R ： 3¾, G ： 6¾. B : 4尤0 屮龄例11 以實施例5所述相同操作，用製備例1所得10SS聚矽 烷/甲苯溶液進行。其結果為暴光下未形成清晰顯像，因 而，即使將濾光材料浸在溶膠中也不能得到足夠的箸色。 ----------裝--- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 21