TW414934B - Transfer apparatus and vertical heat-processing system using the same - Google Patents

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經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 414934 a7 B7 五、發明説明（i ) 「發明之背景」 本發明係有關為了搬運半導體晶圓片等平坦的基板與 為了儲存該等基板之容器的搬運裝置及該裝置所使用之處 理系統。 於半導體裝置之製造上，為了於作為被處理基板之半 導體晶圓片上實施氧化、擴散、CVD等各種之處理，而 使用縱型熱處理系統等的處理系統。而於如此的處理系統 上，為儲存著複數片之晶圓片的搬運容器之卡匣（亦稱為 搬運器），係由搬運機器人或作業者通過搬入/搬出部而被 搬出搬入。且儲存著新晶片之卡匣，係被放置於系統内之 架子上，並從該架子上之卡匣内將晶圓片移載於承載皿》 而裝載著晶圓片之承載皿係被裝入於熱處理爐，並對晶圓 片施以預定之處理。如預定之熱處理結束後，則從熱處理 爐將承載孤搬出，並從承載皿將處理完了之晶圓片以與上 述相反之順序搬回卡匣。 對於該種之處理系統内被知有將卡匣之搬運構件安裝 於晶圓片之移載構件之驅動系統的搬運裝置（參照特開平 3-48439號公報）。該搬運裝置，係有一可升降及旋轉之基 座，及一加於晶圊片搬運構件上且被安裝於基座的卡匣搬 運構件。而卡匣搬運構件，係呈背對於晶圓片搬運構件之 狀態的配設，藉著氣壓缸於與晶圓片搬運構件之相反方向 上做進出及退避移動。依此，削減搬運機構之佔有空間， 而可謀求使處理系統小型化。 而該搬運裝置，係以使用空壓缸及卡匣搬運構件之配 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2I0X297公釐） (請先鬩讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 414934 A7 B7 五、發明説明（ 請 先 閎 讀 背 之 注 意 事 項 再 填 寫 本 頁 置為起因，而於搬運卡匣時使旋轉半徑變大。因此，於搬 運裝置之周圍上，係有必要賦與某一程度之餘裕空間，故 在謀求水平方向之省空間化上係有一定之界限。該問題係 特別是隨著晶圓片之大徑化而使卡匣之大型化變得更顯著 Ο 「發明之摘要」 因而，本發明之目的，係在於提供：一有搬運被處理 基板及其容器之機能同時可在比習知更窄的空間上於水平 方向上設置搬運裝置，及一該搬運裝置所使用的縱型熱處 理系統。本發明特別是，在構成搬運裝置上，係考慮了原 本於縱型熱處理系統上之垂直方向上就必須有大的設置空 間之點〇 本發明之第1觀點，係於一種搬運裝置上，包含：. 一呈可於上下方向移動且可於水平面内旋轉地配設著 的基座； 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 一用以在接觸於一屬於實質上有相同輪廓尺寸之基板 群的單一基板之狀態下搬運前述基板而配設於前述基座的 基板移動臂，該前述基板移動臂具有一安裝於前述基座上 的根部與一為了支持前述基板而從前述根部延伸出的支持 部； 一用以使前述基板移動臂於前述基座上水平的往.返移 動於待機位置與進出位置之間的第1驅動機構； 一用以在接觸於為了儲存屬於前述群之複數基板的容 器之狀態下搬運前述容器而配設於前述基座上的容器移動 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2ί〇Χ297·公釐} 414934 A7 B7 五、發明説明（3 ) 臂，該前述容器移動臂具有一安裝於前述基座的基端部與 一為了固持前述容器而從前述基端部延伸出的固持部；及 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 一用以使前述容器移動臂於前述基座上水平的往返移 動於退避位置與突出位置之間的第2驅動機構； 而，從前述基板移動臂之前述待機位置朝向前述進出 位置之方向與從前述容器移動臂之前述退避位置朝向前述 突出位置之方向實質上是相反的，且在前述基板移動臂與 前述容器移動臂分別位於前述待機位置與前述退避位置之 狀態時，前述容器移動臂之前述固持部係存在於前述基板 移動臂之正上方。 本發明之第2觀點，係於一種縱型熱處理系统上，包 含： (a) 用以儲存屬於實質上有相同輪廓尺寸基板之群的 複數基板並一齊施以熱處理的熱處理爐，於該熱 處理爐内，前述基板係以互相間隔堆積之狀態而 被支持於承載皿上； 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (b) 用以將前述基板與前述承載孤，一起搬運於前述 熱處理爐内之位置與前述熱處理爐外之移動裝載 部間的承載麗搬運機構； (c) 用以將儲存屬於前述群之複數基板的容器向前述 系統搬出搬入的搬入/搬出部； (d) 用以在前述系統内配置前述容器的容器配置部； 及， 7 本紙張凡度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 414934 A7 B7 五、發明説明（4 ) (e)為了在前述搬入/搬出部與前述容器配置部之間 搬運前述容器以及為了在配置於前述容器配置部 之容器與配置於前述移動裝載部之承載皿間搬運 前述基板的搬運裝置； 而前述搬運裝置則包含：一呈可於上下方向移動且可 於水平面内旋轉地配設著的基座；一用以在接觸於屬於前 述群的單一基板之狀態下搬運前述基板而配設於前述基座 上的基板移動臂，該前述基板移動臂具有：一安裝於前述 基座的根部與一為了支持前述基板而從前述根部延伸出的 支持部；及， 一用以使前述基板移動臂於前述基座上水平的往返移 動於待機位置與進出位置之間的第1驅動機構； 一用以在接觸於前述容器之狀態下搬運前述容器而配 設於前述基座上的容器移動臂，該前述容器移動臂具有一 安裝於前述基座的基端部與一為了固持前述容器而從前述 基端部延伸出的固持部；及， 一用以使前述容器移動臂於前述基座上水平的往返移 動於退避位置與突出位置之間的第2驅動機構； 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ^n- Kt ^^^1 i-i -- - --i In HI ------ '-L- 一 (請先鬩讀背面之注意事項再填寫本頁) 而，從前述基板移動臂之前述待機位置朝向前述進出 位置之方向實質上是與從前述容器移動臂之前述退避位置 朝向前述突出位置之方向相反，且在前述基板移動臂與前 述容器移動臂分別位於前述待機位置與前述退避位置之狀 態時，前述容器移動臂之固持部係存在於前述基板移動臂 之正上方。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS) A4規格（210X297公釐） 414934 A7 B7 經濟部中央標準局舅工消費合作社印製 五、發明説明（5 ) 「簡單的圖面說明」 第1圖係顯示有關本發明之實施形態之搬運裝置的重 要部位側面圖。 第2圖係顯示使用第1圖所示之搬運裝置的縱型熱處理 系統之概略構成的側面截面圖。 第3圖係第2圖所示之處理系統的平面截面圓》 第4圖係沿著第3圖之IV-IV線的擴大截面圖》 第5圖係第1圖所示之搬運裝置基座之概略平面圖 第6圖係沿著第5圖之VI - VI線的截面圖。 第7圖係沿著第5圖之VII-VII線的截面圖》 第8圖係沿著第5圖之VIII-VIII線的截面圖。 第9圖係第7圖的IX部擴大圖。 第10圖係第8圖的X部擴大圖。 「發明之詳細說明」 如第2圖及第3圖所示，於縱型熱處理系統之外殼 前方部上’為了將搬運作為被處理基板之半導體晶圓片w 的搬運用容器亦即是卡匣C搬入搬出系統而配設著搬入/搬 出部3。而搬入/搬出部3係有一配設於外殼1之側壁且附有 開閉門之搬出入〇4，及一配設於搬出入口 4附近為了裝载 卡匣C的承載台5。而於卡匣C内，相同尺寸之晶圓片例如 8英吋之晶圓片W，係可複數片例如25片左右以垂直立起 之狀態並以預定之節距予以儲存。 於承載台5上，係配置著將卡匣C從前後壓住的推壓 住部6、7 ’而進行卡匣c内之晶圓片W的邊緣對齊的邊緣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------------訂 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 414934 、 A7 ________ B7 五、發明説明（6 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 對齊整合機等（圖示省略）。且承載台5,係呈可垂直搖動 的配設，可使卡匣C内之晶圓片W從垂直狀態成為應有的 水平狀態而做大約90度的旋轉。 而於外殼1内，有一搬運裝置9,係配設著有一呈可升 降及旋轉之基座8。於基座8之周圍上，使為了儲存配置承 載台5及卡匣C的卡匣配置部亦即是架子10與成為晶圓片 之移動裝載部的第1運載區隔室11呈大概同心圓狀的配置 。且架子10係於高度方向上設有複數層水平器12,而可裝 載複數個卡匣C，於圖示例上則有4層。 存在有承載台5、搬運裝置9及架子10等的外殼1内之 空間2,係藉著第1運載區隔室11與第2運載區隔室Π，而 被連接於後述之縱型熱處理爐13。而第1運載區隔室11係 有當作預備真空室之機能，同時有一將晶圓片對熱處理用. 石英製承載孤14搬出搬入的移動裝載機能。於承載皿η上 ’係使相同尺寸之晶圓片例如8英吋之晶圓片W且複數晶 圓片例如30片，係以互相間隔重疊堆積之狀態而被支持著 。且承載皿14係積載著複數之晶圓片W之狀態對縱型熱處 理爐13運入及運出。 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 而第1運載區隔室11，係被配置於挾著基座8而與承載 台5相對之位置。且於第1運載區隔室11之面臨基座8侧之 前方部，係配設著一附有運載區隔門15的開口。另外，於 第1運載區隔室11之後方部，係隔著閛門16並連續設置著 第2運載區隔室17。 於外殼1之後部上側，配設著一縱形熱處理爐13，而 10 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（2l〇X297公釐） 414934 A7 __·_B7_ 五、發明説明（7 ) 於其下部係有一裝入口（爐口）18。第2運載區隔室17係構 成為熱處理爐13之下方的運送區域（作業區域而第1及 第2運載區隔室11、17，係可減壓設定至與例如熱處理爐I〗 之熱處理時之真空度（例如1托氏真空）大約相同之真空度 〇 而第1運載區隔室11，係為了打開閘門16而與第2運載 區隔室17連通的設於前頭’並設定成與第2運載區隔室π 相同的壓力。且第1運載區隔室11，係另外為了在閘門16 關閉之狀態將第1運載區隔室11之運載區隔門15打開並與 外殼1内連通的設於前頭，並設定成外殼1内空間2的壓力（ 大氣壓力）。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 ---------0¾.------.1T (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 於熱處理爐13之下方，有一開閉該裝入口 18之遮蓋體 19 ’係呈可藉升降機構之升降臂2〇升降的配置。且於遮蓋 體19之上部，係藉著石英製之保溫筒21運載著承載孤14。 而於第2運載區隔室17’係配設著為了從保溫筒21將承載 皿14搬運至第1運載區隔室11或是做相反方向動作的搬運 臂機構22 〇且保溫筒21，係依照洗淨等之需要，而可藉搬 運臂機構22 ’從遮蓋體19上經過第1運載區隔室11將其搬 出外殼1。 而搬運裝置9係也如第4圖所示，配置有一升降台23， 係藉使用球螺絲等的升降機構而可升降，且於升降台23上 使基座8呈可水平旋轉的安裝著。而於升降台23内，如第1 圖所示’係配設著一為了使棊座8做定位地旋轉驅動的旋 轉驅動部24。 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS > A4規格（2!0X297公董） 11 A7 B7 414934 五、發明説明（8 ) 且於基座8上，配設著分別為了使例如8英吋之晶圓片 W一片一片的裝載並搬運的5支晶圓片移動臂25、26,及 為了裝載一個卡匣C並予以搬運的一支卡匣搬運臂27。並 藉晶圓臂25、26，使晶圓片被搬運於架子1〇上之卡匣c與 為晶圓片移動裝載部之第1運載區隔室Η内的承載孤之間 。另外，藉卡匣搬運臂27,使卡匣C被搬運在搬入/搬出部 3之承載台5與為卡匣配置部之架子1〇之間。 且各晶圓片移動臂25、26係具有被安裝於基座8之根 部25a、26a，及為了支持片晶圓片w而從根部水平延伸出 的支持部25b、26b。晶圓片移動臂25、26係可於待機位置 (第1圖所示之位置）與進出位置之間做水平的往返移動。 而卡匣搬運臂27係具有一安裝於基座上之基端部27a，及 一為了固持卡匣而從基端部27a水平延伸出的固持部27b ». 且卡匣搬運臂27係可於退避位置（第1圖所示之位置）與突 出位置之間做水平的往返移動。 而從晶圓片移動臂25、26之待機位置朝進出位置之方 向’係與蜱卡匣搬運臂27之退避位置朝向突出位置之方向 相反。如第1圖所示，於晶圓片移動臂25、26及卡匣搬運 臂27係分別位於待機位置及退避位置的狀態上，晶圓片移 動臂25、26之根部25a、26a與卡匣搬運臂27之基端部27a ，是在挾持著基座8之旋轉轴的位置。另外，於該狀態上 ，卡匣搬運臂27之固持部27b，係存在於晶圓片移動臂25 、26之根部25a、26a的正上方。又，於該狀態上，固持於 卡匣搬運臂27之固持部27b的卡匣C，係存在於支持於晶 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I--------AW-------ΐτ------i^JY (请先閲請背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局员工消費合作社印聚 414934 A7 B7 五、發明説明（9 ) 圓片移動臂25、26之支持部25b、26b的晶圓片W之平面輪 廓之範圍（參照第1圖之W)外。又，於該狀態上，固持於 卡匣搬運臂27之固持部27b的卡匣C，係存在於基座8之平 面輪廓之範圍内。依此，可縮小搬運裝置之實際有效的旋 轉半徑R，同時可防止由於從卡匣C之外面落下之微粒所 造成晶圓片W之污染。 於更具體上，基座8係如第5圖及第6圊所示，形成橫 長形之箱狀，其4個角係為使旋轉半徑R變小而呈被切斷 之形狀。且於基座8之上面，沿著其長形方向並為了使晶 圓片移動臂25、26做往返移動的隙縫29是靠中央的被形成 2列》另外，於基座8之上面，為了使卡匣搬運臂27做往返 移動的隙縫30是靠基座8之單邊而被1列形成。 經濟部中夬標準局員工消費合作社印製 而各晶圓片移動臂25、26之支持部25b、26b，係沿著 往返移動方向而由向水平延伸出的薄板所構成，並為使可 將晶圓月W運載於預定位置而於上面設有凹部（未示於圖） 。因晶圓片移動臂25、26係被配設成5層，故可同時一次 搬運5片之晶圓片W。另外，中層之晶圓片移動臂（副晶圓 片移動臂）26，係從上方2層及下方2層的晶圓片移動臂（主 晶圓片移動臂）25獨立出並可做往返移動》因此，也可藉 副晶圓片移動臂26，而將晶圓片W—片一片的裝載移動。 上方2層及下方2層之主晶圓片移動臂25之根部25a係被一 體化，並藉2列之隙缝29之一方，而被連接於基座8内之驅 動機構。中層之副晶圓片移動臂26之根部26a係藉2列之隙 缝29的另一方，而被連接於基座8内之另外一驅動機構。 13 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210><297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 414934 A7 B7 五、發明説明（10 ) 主晶圓片移動臂25之驅動機構及副晶圓片移動臂26之 驅動機構，分別如第7圖所示的構成。亦即是，於各隙缝 之長形方向兩端位置上，配設著以馬達（步進馬達）3 1旋轉 驅動的驅動滑輪32及從動滑輪33。且於兩滑輪32、33上繞 掛著皮帶（時機皮帶）34。而皮帶34係由有端環帶所作成， 其長度方向之兩端部係如第9圖所示，於移動塊35之兩端 部藉壓板36並用以螺絲37固定。且於移動塊35上，固定著 主晶圓月移動臂25之根部25a或副晶圓片移動臂26之根部 26a。而移動塊35係呈可滑動地支持於配設在基座8内朝長 形方向的導軌38(參照第6圖）。 而卡匣搬運臂27之固持部27b，係在比晶圓片移動臂25 、26的更上方，且與該等支持部25b、26b之延伸方向相反 的向水平延伸。於固持部27b之前端上部上，配設著一為 了將卡匣C裝載且制止的制止裝置39。而卡匣搬運臂27之 根部27a，係藉著一隙縫30而連接在基座8内的另外一驅動 機構，此機構是別於晶圓片移動臂用之2個驅動機構。 而卡匣搬運臂27之驅動機構，係如第8圖所示之構成 。亦即是，於隙縫30之長形方向兩端位置上，分別配設著 從動滑輪40。且於兩從動滑輪40間，配設著用以馬達（步 進馬達）41旋轉驅動的驅動滑輪42。且於從動滑輪40及驅 動滑輪42繞掛著皮帶（時機皮帶）43。而皮帶43之下侧部分 係藉一導滑輪44而繞掛於驅動滑輪42上》 且皮帶43係由無端環帶所構成，於其上側部分之上面 ，也如第10圖所示，為了固定卡匣臂27而於移動方向突出 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（no'〆297公釐） 14 ----------- (請先閱讀背面之注意事頃再填寫本瓦) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 414934 A7 __B7_ 五、發明説明（U ) 設置著一寬度狹窄的構件45。而構件45在圖示例上係溶接 於皮帶43之上面，但一體成形於皮帶43之上面亦可。於卡 匣搬運臂27之根部27a之下端部，係在壓接於構件45移動 方向一端的移動方向上突出設置著一寬度狹窄的構件46 » 且構件45、46係用以螺栓47及螺帽48互相的鎖緊固定住。 以該等之構件45〜48所構成的皮帶43與卡匣移動臂27之間 的連接器，係於皮帶43之旋轉方向（移動方向）上，使其不 超過根部27a之兩端而成為十分短的長度。 更且，卡匣移動臂27，係呈可滑動地支持於配設在基 座8内之長形方向的導軌（線性導軌）49。另外，於基座8之 兩侧上，立設著支柱50，且於兩支柱50之上端安裝著一由 發光元件51a與接光元件51b所構成之光感知器。並藉該光 感知器，以檢出卡匣C是否在卡匣搬運臂27之固持部27b 上。 接下來，陳述從以上之構造所構成的縱型熱處理器系 統之作用。 首先，使將晶圓月垂直立起地儲存著的卡匣C，從搬 出入口 4搬入於處理系統之外殼1内並裝載於承載台5上》 接著，藉壓制部6、7從卡匣C前後將其推壓住，並在邊緣 對齊及算出晶圓片片數後，卡匣C係與應使晶圓片成為水 平的承載台5—起轉動約90度》接著，藉升降台23之升降 、基座8之旋轉及卡匣搬運臂27之移動，而使卡匣搬運臂27 之固持部27b插入於卡匣C之下部。並且，藉卡匣搬運臂27 之固持部27b使卡匣C從承載台5被搬運至架子10。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 15 (請先閱讀背面之注意事頃再填寫本頁)

A7 B7 12 414934 五、發明説明（ 如此的使預定數量之卡匣C被裝載於架子1〇上後’則 藉升降台23之升降、基座8之旋轉及晶圓片移動臂25、26 之移動，而使晶圓片移動臂25、26之支持部25b、26b插入 架子10上之卡匣C内。並從卡匣C將晶圓片W抽出，且移 載至預先配置於第1運載區隔室11内的承載皿14上。此時 ，第1運載區隔室11與第2運載區隔室17之間的閘閥16是關 閉著，而第1運載區隔室11之運載區隔門15是打開著。 如此的使預定片數之晶圓片W移載至承載皿14上後， 關閉運載區隔門15,並將第1運載區隔室11抽至預定之真 空度。接著，打開第1運載區隔室11與第2運載區隔室17之 間的閘閥16，並藉搬運臂機構22將承載皿14從第1運載區 隔室11内移載至第2運載區隔室17内的保溫筒21上"而閘 閥16係將承載皿14從第1運載區隔室11運出後即關閉。於 移動裝載承載孤14後，承載孤14係藉升降臂20而與遮蓋體 19上的保溫筒21同時移動上升而被運送入熱處理爐13内》 接著，用以遮蓋體19關閉裝入口 18，並開始預定之熱處理 〇 熱處理結束後，以與上述相反之動作將承載皿14從熱 處理爐13内搬出至第2運載區隔室17内並移動裝載至第1運 載區隔室11内《並且，從承載班14將處理完畢之晶囷片w 移動裝載入架子10上之空卡匣C内。而儲存處理完畢之晶 圓片W的卡匣C，係從架子10被搬運至承載台5上並從搬 出入口 4搬運出β 如依上述縱型熱處理系統的話，則藉使用一具有特殊 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4说格（2丨0X297公釐） ---------— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本買) -訂_ 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 Ϊ6 - 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（13) 構造的搬運裝置9，而可謀求設置空間的小型化及在移動 裝載作業時防止微粒的污染。亦即是，如上所述，於搬運 裝置9上，係於一呈可升降及旋轉地配設的基座8上，具有 用以支持晶圓片W的支持部25b、26b的晶圓片移動臂25、 26與具有一用以固持卡匣C之固持部27b.的卡匣搬運臂27 係配設呈相對往返移動之狀態。而於晶圓片移動臂25、26 及卡匣搬運臂27分別位於待機位置及退避位置之狀態時， 晶圓片移動臂25、26之根部25a、26a與卡匣搬運臂27之基 端部27a是在挾持著基座8之旋轉軸的位置。另外，於該狀 態上，卡匣搬運臂27之固持部27b，係存在於晶圓片移動 臂25、26之根部25a、26a的正上方。又，於該狀態上，被 固持於卡g搬運臂27之固持部27b的卡匣C，係存在於支 持在晶圓片移動臂25、26之支持部25b、26b的晶圓片W之 平面輪廓之範圍外。又，钤該狀態上，固持於卡匣搬運臂 27之固持部27b的卡匣C，係存在於基座8之平面輪廓的範 圍内。依此，可縮小搬運裝置之實際有效的旋轉半徑R， 同時可防止由於從卡匣C之外面落下之微粒所造成晶圓片 W之污染。 另外，如第8圖所示，為卡匣移動臂27之驅動機構的 皮帶43與卡匣移動臂27之間的連接器，係於皮帶43之旋轉 方向上使其不超過根部27a之兩端而成為十分短的長度。 因此’與如第7圖所示之驅動機構相比，則變成在基座8之 有限空間内可取到較長的卡匣移動臂27移動行程。依此， 可使基座8小型化，另外，可謀求其旋轉半徑R之縮小化 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公董） ---------— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •11 17 414934 Α7 Β7 五、發明説明（14) 及省空間化。特別是，基座8係應使其旋轉半徑R變小的 切斷4個角，而因於基座8 一側之有限空間内必需配置作為 卡匣移動臂27之移動裝置的皮帶43，故長度短的連接器構 造變成非常的有效果>另外，有一第8圖所示長度短之連 接器構造的驅動機構，係也可原封不動的適用於晶圓片移 動臂25、26之驅動機構β 以上，依照圖面詳述了本發明之實施形態，但本發明 並非限定使用於上述之實施形態者，可在不超過本發明之 主旨的範圍内做種種之設計變更。例如，本發明亦可適用 在不具有第1及第2運載區隔室11、17,且於常壓之外殼1 内進行承載JEL14之搬運移動裝載的處理系統。此時，代替 第1運載區隔室11而於移動裝載部設置承載jut 14之裝載台 °另外，架子10係於基座8之旋轉方向上配置複數個亦可 ---------II (.請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 18 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐} 經濟部中央標準扃員工消費合作社印製 414934 a? B7 五、發明説明（15 ) 文件標號對照表 1 外殼 25a ' 26a 根部 2 外殼1内之空間 25b ' 26b 支持部 3 搬入/搬出部 27 卡匣搬運臂 3a 27a 基端部 4 搬出入口 27b 固持部 5 襞載台 29、30 隙缝 6、7 壓住部 31 馬達（步進馬達） 8 基座 32 驅動滑輪 9 搬運裝置 33 從動滑輪 10 架子 34 皮帶（時機皮帶） 11 第1運載區隔室 35 移動塊 12 水平器 36 壓板 13 縱型熱處理爐 37 螺絲 14 石英製承載1 38 導執 15 運载區隔門 39 制止裝置 16 閘門 40 從動滑輪 17 第2運載區隔室 41 馬達（步進馬達） 18 裝入σ 42 軀動滑輪 19 遮盖體 43 皮帶 20 升降臂 44 導滑輪 21 保溫筒 45、46 構件 22 搬運臂機構 47 螺检 23 升降台 48 螺帽 24 旋轉驅動部 49 導轨（線性導轨) 25、26 晶圓片移動臂 50 支柱 ---------— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度細t目贼轉（CNS ) Α4· (21()χ297公褒） 19

Claims (1)

1. 414934 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 六、申請專利範園 1. 一種搬運裝置，包含： 一呈可於上下方向移動且可於水平面内旋轉地配 設著的基座； 一用以在接觸於一屬於實質上有相同輪廓尺寸之 基板群的單一基板之狀態下搬運前述基板而配設於前 述基座的基板移動臂，該前述基板移動臂具有—安裝 於前述基座上的根部與一為了支持前述基板而從前述 根部延伸出的支持部： 一用以使前述基板移動臂於前述基座上水平的往 返移動於待機位置與進出位置之間的第i驅動機構； 一用以在接觸於為了儲存屬於前述群之複數基板 的容器之狀態下搬運前述容器而配設於前述基座上的 容器移動臂，該前述容器移動臂具有一安裝於前述基 座的基端部與一為了固持前述容器而從前述基端部延 伸出的固持部；及， 一用以使前述容器移動臂於前述基座上水乎的往 返移動於退避位置與突出位置之間的第2驅動機構； 而，從前述基板移動臂之前述待機位置朝向前述 進出位置之方向與從前述容器移動臂之前述退避位置 朝向前述突出位置之方向實質上是相反的，且在前述 基板移動臂與前述容器移動臂分別位於前述待機位置 與前述退避位置之狀態時，前述容器移動臂之前述固 持部係存在於前述基板移動臂之正上方。 2. 如申請專利範圍第i項之搬運裝置，其中前述基板移動 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇><297公逢） 20 ------；—0-^------,玎------^ W (請先閎绩背面之注項再填寫本頁) 414934 ABCD 、申請專利範園 經濟部中央檢準局負工消費合作社印裝 臂是在裝載著前述基板之狀態下搬運基板。 3·如申請專利範圍第2項之搬運裝置，其中前述容器移動 臂是在裝載著前述容器之狀態下搬運容器。 4. 如申請專利範圍第〗項之搬運裝置，於前述基板移動臂 及前述容器搬運臂分別位於前述待機位置及前述退避 位置之狀態時，前述基板移動臂之前述根部與前述容 器搬運臂之前述基端部，是在挾持著基座之旋轉軸的 位置® 5. 如申請專利範圍第1項之搬運裝置，於前述基板移動臂 及則述容器搬運臂分別位於前述待機位置及前述退避 位置之狀態時’固持於前述容器搬運臂之前述容器係 存在於支持在前述基板搬運臂之前述支持部上的前述 基板之平面輪廓的範園外。 6. 如申請專利範圍第i項之搬運裝置’於前述容器移動臂 位於前述退避位置之狀態時，固持於前述容器搬運臂 之前述容器係存在於前述基座之平面輪廓之範圍内。 7. 如申請專利範圍第1項之搬運裝置，其中前述第1搬運 機構具有：一配設於前述基座内且可兩方向旋轉的無 端環帶；及，一為連接前述無端環帶之上面與前述基 板移動臂之前述根部，而由前述根部沿著前述兩方向 延伸一狹窄長度的連接器。 8. 如申請專利範圍第1項之搬運裝置，其中前述第2搬運 機構具有：一配設於前述基座内且可兩方向旋轉的無 端環帶；及’一為連接前述無端環帶之上面與前述容 本紙張尺度適用t國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） 21 .—_φ·^ II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂- 經濟部中央榇準局員工消費合作社印製 414934 as BS ' C8 ^^__ ___DS___ 申請專利範圍 器移動臂之前述基端部，而由前述基端部沿著前述兩 方向延伸一狹窄長度的連接器。 9. 如申請專利範圍第1項之搬運裝置，具有一與前述基板 移動臂同等效果的第2基板移動臂，且第2基板移動臂 係與前述基板移動臂呈一體的移動。 10. 如申請專利範園第1項之搬運裝置，具有一與前述基板 移動臂同等效果的第2基板移動臂’且第2基板移動臂 係與前述基板移^^開的單獨移動。 U，一種縱型熱處理菸包含： (a) 用以儲存屬；^ 上有相同輪廓尺寸基板之 群的複數基板並一齊施以熱處理的熱處理爐 ，於該熱處理爐内，前述基板係以互相間隔 堆積之狀態而被支持於承載班·上； (b) 用以將前述基板與前述承載m，一起搬運於 前述熱處理爐内之位置與前述熱處理爐外之 移動裝載部間的承載血搬運機構； (c) 用以將儲存屬於前述群之複數基板的容器向 ' 前述系統搬出搬入的搬入/搬出部； (d) 用以在前述系統内配置前述容器的容器配置 部；及， (e) 為了在前述搬入/搬出部與前述容器配置部之 間搬運前述容器以及為了在配置於前述容器 配置部之容器與配置於前述移動裝載部之承 載JDL間搬運前述基板的搬運裝置； 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公瘦） 22 裝 訂！ — I— ^ )^, (請先聞讀背面之注$項再1^本頁) ABCD 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 414934 六、申請專利Ιε*圍 而前述搬運裝置則包含：一呈可於上下方向移動 且可於水平面内旋轉地配設著的基座；一用以在接觸 於屬於前述群的單一基板之狀態下搬運前述基板而配 設於前述基座上的基板移動臂，該前述基板移動臂具 有：一安裝於前述基座的根部與一為了支持前述基板 而從前述根部延伸出的支持部；及， 一用以使前述基板移動臂於前述基座上水平的往 返移動於待機位置與進出位置之間的第1驅動機構； 一用以在接觸於前述容器之狀態下搬運前述容器 而配設於前述基座上的容器移動臂，該前述容器移動 臂具有一安裝於前述基座的基端部與一為了固持前述 容器而從前述基端部延伸出的固持部；及， 一用以使前述容器移動臂於前述基座上水平的往 返移動於退避位置與突出乜置之間的第2驅動機構； 而’從前述基板移動臂之前述待機俾置朝向前述 進出位置之方向實質上是與從前述容器移動臂之前述 退避位置朝向前述突出位置之方向相反，且在前述基 板移動臂與前述容器移動臂分別位於前述待機位置與 前述退避位置之狀態時，前述容器移動臂之固持部係 存在於前述基板移動臂之正上方β 12_如申請專利範圍第11項之縱型熱處理系統，其中前 述基板移動臂是在裝载著前述基板之狀態下搬運前 述基板。 13·如申請專利範圍第12項之縱型熱處理系統，其中前 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇χ297公釐） .23 -' (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

   414934 Α8 Β8 C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 申請專利範圍 述基板移動臂是在裝載著前述基板之狀態下搬運前 述容器0 14·如申請專利範圍第11項之縱型熱處理系統，其中前 述基板移動臂及前述容器移動臂分別位於前述待機 位置及前述退避位置之狀態時，前述基板移動臂之 前述根部與前述容器搬運臂之前述基端部是在挾持著 基座之旋轉轴的位置β 15. 如申請專利範圍第11項之縱型熱處理系統，於前述 基板移動臂及前述容器搬運臂係分別位於前述待機位 置及前述退避位置之狀態時，固持於前述容器搬運臂 之前述容器係存在於支持在前述基板搬運臂之前述支 持部的前述基板之平面輪廓的範圍外。 16. 如申請專利範圍第u項之縱型熱處理系統，於前述 容器移動臂位於前述退避位置之狀態時，使被固持於 前述容器搬運臂之前述容器係存在於前述基座之平面 17輪廊之範㈣。铖 17. 如申請專利範圍第^項^搬運每^，其中前述第i搬運 機構具有：一配設於前述基座内且可兩方向旋轉的無 端環帶；及，一為連接前述無端環帶之上面與前述基 板移動臂之前述根部，而由前述根部沿著前述兩方向 延伸一狹窄長度的連接器。 18. 如申請專利範圍第11項之縱型熱處理系統，其中前 述第2搬運機構具有：一配設於前述基座内且可兩方向 旋轉的無端環帶；及* 一為連接前述無端環帶之上面 本紙張又度逋用中國国家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐} 24 ------；—ο·#^.------tr------u (請先閔讀背面之注意事項再填寫本頁) 414934 A8 BS C8 D8 申請專利範圍 與前述容器移動臂之前述基端部，而由前述基端部沿 著前述兩方向延伸一狹窄長、 19.如申請專利範圍第11項 爲 動臂與同等效果的第2基板移動> 且第2基板移動臂

   具有前述基板移 係與前述基板移動臂呈一體 20.如申請專利範圍第11項 m 有前述基板移 動臂與同等效果的第2基板移第2基板移動臂 係與前述基板移動臂分開的單獨^動。 ^^1 ^^1 In iai 1ϋ —ϋ «ϋ— ^^1 1 m Εϋ ^^1 (請先聞讀背面之注f項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐> 25