TW394717B - Apparatus for shaping liquid portions of solder in soft soldering semiconductor chips - Google Patents

Description

394717 A7 B7

五、發明說明（9 ) 主要元件符號說明： 6 基底 8 焊料液態部分 10,11 立軸 14 預加應力之彈簧 16 運動軸 20,20a 衝模 ' 22 下方表面 24,25 距離保持裝置 28 空洞之空間 29 孔穴 30,30b 支持部件 32 球形表面 34 球形頭 35 部件 12 凸緣 18 加熱機構件 24’ 邊緣 26 位置 40 平衡環配置 -11- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 ------訂------I--· A7 B7 - - ί:

五、發明説明 ( r ) 1 1 發 明 背 景 1 1 當 以 軟 焊 將 半 導 體 晶 片 固 定 於 基 底 時 > 所 需 部 份 焊 料 t 1 在 將 晶 Η 定 位 之 刖 已 被 置 於 基 底 上 〇 為 此 目 的 所 常 用 之 V 請 4 t 先 1 方 法 為 以 焊 線 之 __- 端 觸 著 於 基 底 之 特 定 點 - 通 常 是 銅 合 閱 ik .1.. 金 製 成 之 導 框 —> 於基底被熱至高於焊料熔點之溫度， 背 面 1 1 之 1 熔 出 小 Η 之 焊 線 Ο 另 已 知 方 法 是 將 分 開 的 固 體 焊 料 注 意 1 I 部 份 置 於 受 熱 之 基 底 上 0 在 此 兩 者 之 中 9 液 態 焊 料 部 份 拳 項 1 I 再 或 多 或 少 形 成 圖 頂 形 9 熔 融 焊 料 滴 之 形 狀 和 位 置 與 基 底 填 寫 φ 本 表 面 在 該 處 之 濕 潤 特 性 關 偽 9 較 之 其 他 因 素 遠 為 密 切 〇 頁 1 為 求 晶 片 在 基 底 上 之 無 缺 點 焊 接 ) 稍 後 總 須 使 在 整 個 1 1 晶 體 表 面 之 下 分 佈 出 平 坦 之 焊 料 層 9 並 儘 可 能 使 厚 度 均 1 1 勻 〇 所 述 圓 頂 形 和 個 別 滴 點 位 置 之 可 能 側 向 變 移 曰 疋 使 其 1 訂 難 以 可 靠 符 合 這 些 需 求 以 具 充 份 精 度 Ο 而 且 須 要 考 慮 各 1 晶 Η 之 組 裝 是 在 高 速 中 進 行 9 其 指 各 晶 Η —* 般 是 以 局 速 1 | 率 而 被 置 於 基 底 上 i 亦 即 在 液 態 焊 料 上 〇 1 1 先 ^ 1-刖 技 術 1 1 因 此 有 種 種 裝 置 曽 被 提 出 以 改 變 焊 料 滴 形 狀 在 晶 Η 定 w 位 之 ,w. 刖 使 成 薄 而 展 開 之 焊 料 層 0 一 種 已 知 之 此 類 設 備 1 I 基 本 上 包 含 一 可 以 對 於 基 底 升 降 之 軸 > 和 與 軸 連 接 且 以 1 1 衝 模 表 面 向 下 而 面 向 基 底 〇 用 此 設 備 對 所 期 望 之 效 果 就 1 1 多 方 觀 點 而 尚 難 令 人 滿 意 > 有 —·. 缺 點 是 衝 模 必 須 在 基 \ 底 上 降 至 預 定 的 極 低 距 離 ， 此 需 相 當 精 密 之 Μ 微 構 和 適 切 1 1 之 低 末 速 〇 基 底 厚 度 和 位 置 的 變‘ 異 以 及 基 底 偏 斜 的 位 1 I 置 無 從 列 入 考 慮 J 因 而 直 接 3 影 m 焊 料 厚 度 和 側 向 分 佈 Ο 1 1 1 1 I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明 ( ) 甚 至 基 底 表 面 和 衝 模 表 面 間 之 白 取 小 變 異 可 以 導 致 焊 點 相 當 大 的 側 移 〇 此 外 9 採 用 此 項 設 備 以 使 焊 滴 平 舖 f 所 得 焊 點 將 或 多 或 少 為 圓 形 而 不 符 晶 體 之 長 方 或 正 方 形 Ο 發 明 百 的 和 概 述 本 發 明 之 主 要 困 的 在 於 克 服 上 述 之 缺 點 9 並 創 作 一 種 實 用 之 取 向 裝 置 > 以 供 液 態 焊 料 部 份 之 預 先 定 形 〇 尤 其 5 所 形 成 之 焊 料 部 份 所 需 形 狀 與 位 置 也 應 被 維 持 於 各 種 程 序 參 數 和 所 用 材 料 特 性 Q 本 發 明 是 以 與 上 述 相 似 之 一 種 設 備 為 基 礎 Ο 為 逹 成 上 逑 及 其 他 巨 的 9 根 據 本 發 明 設 備 之 特 徽 在 於 該 衝 模 是 以 5P 簧 裝 於 該 立 軸 並 沿 該 軸 垂 直 導 引 可 對 該 立 軸 蓮 動 軸 扭 轉 方 向 > 並 以 摩 擦 力 嚙 合 i 在 其 中 設 置 保 持 距 離 機 構 於 該 衝 模 1 凸 出 於 該 衝 模 之 下 表 面 而 使 得 向 下 觸 箸 於 該 ，基 底 上 0 由 於 相 當 於 本 發 明 設 備 之 設 計 9 當 降 下 立 軸 時 不 再 需 要 觀 察 衝 打 表 面 的 預 定 精 密 高 度 或 距 離 9 只 須 調 整 立 軸 的 衝 程 使 保 持 距 離 之 機 構 向 下 安 定 觸 著 基 底 〇 得 力 於 保 持 距 離 機 構 和 裝 於 衝 模 而 繫 於 立 軸 之 簧 9 以 及 衝 模 之 全 方 向 可 扭 轉 性 5 使 能 永 遠 在 衝 模 表 面 平 行 於 基 底 表 面 之 間 有 一 正 確 之 距 離 9 雛 關 於 基 底 等 之 厚 度 或 位 置 的 變 異 〇 由 於 以 摩 擦 力 嚙 合 繫 住 衝 模 1 在 提 離 基 底 時 仍 保 持 値 別 對 準 > 然 而 9 衝 模 之 白 動 再 調 整 在 再 向 下 移 置 時 將 出 現 〇 因 為 衝 模 的 白 身 調 整 功 能 使 機 具 對 新 産 品 而 調 整 之 所 花 費 將 大 為 減 少 9 4 而 旦 安 裝 時 也 少 依 賴 値 人 之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X 297公釐）

經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（々） 技術。 另一優點為由於衝模表面之取向平行於基底，所施用 焊料滴之位置側面偏移將對形成平舖擴散之焊料的重心 變動較無影響。然而特別根據本發明之較佳具體例，保 持距離之機構可以環繞衝模表面週邊突出形狀。如此之 邊緣在焊料擴開於基底時將主動限制並集中焊料。依靠 此項邊緣之部署，界定一個（低）而空心和空間予焊料， 配合各待焊晶片之格式於側面延伸之處。 本發明整體上使能在短週期内預先形成焊料部份，配 合隨後晶體組裝之需要，可靠而且適合不同之程序條件。 / ' .. 圖式簡單説明 本發明將參考各典型具體例及附圖詳細說明於後： 第1圖為根據本發明一設備直立段之一般簡化表示； 第2圖表示第1圖相關於基底和焊料之設備下部，從 i至i循環操作之各階段； 第3至5圖以類似之表逹表示衝模之可扭轉軸承，用 第5圖繞轉直立軸90°而與第3及4圖比較； 第6圖表示衝模在根據第5圖之位置中之側視圖； 第7和8圖為設備之另一具體例，在此情形中衝模扣 合（Snap-on)於一球頭，在第7圖為釋放而在第8圖為扣 上之位置； 第9 ， 10和11圖為衝模所附距離保持機構之不同實例 在由下向上之視圖。 發明詳細說明 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Φ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（4 ) 在此應予說明，在各圖中距離保持機構之高度（第1, 2圖）以及衝模的側傾或偏斜（第2 a , 2 b，3，8圔）或基底 之傾斜（第2e画）均經誇張以便瞭解。在實際上衝模表面 和基底間的距離（相當於所需焊料層之厚度）將僅為1毫 米之百分之幾，而角度之變異將為若干度或僅只一度之 分數。因此距離保持機構並未表示，亦即在第3, 4, 5 ,7和8圖中各段中未能看見。 根據第1圖之設備包含一直立軸含構件1D和11。較低 件10為套筒狀而具一螺絲接合至在頂上之支持管11, 一 凸緣1 2接至支持管1 1供連接此設備至自動晶Η組裝機之 驅動機構（未示），如直立箭頭所示，立軸-舆附有立軸 之整個設備-於是可以提昇或降下。在設備之下為基底 6 ,通常為一被導行框帶，在各步驟中可水平行動，亦 即在圖之平面中移動。在設備前方之一位置中（參考基 底蓮動方向），分開的軟焊料部份8 (第2 a圖）被施於已加 熱之基底6上。然後液態之焊料部份被設備的機構形成 ，然後位於設備後方之晶片被置於已備妥之焊料擴散物 上而被焊至基底上。這些程序步驟為半導體組裝技術中 所公知因而在此不另詳逑。 根據第1圖設備之一部份為一衝模2Q舆一較低表面22, 指向基底6。衝模2Q被支持部件30所持有，並可在所有 方向相對於立軸之直立蓮動軸16扭轉；可以以摩擦嚙合 並輕易更換，如將説明於後之若·干實施例。支持部件30 為在立軸之套管10中直立被導引滑動；一相對向上之移 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉Α4規格（210X 297公釐） Μ Β7 r3i - ~ 五、發明説明 ( r ) 位 是 由 包 夾 於 支 持 部 件 3 0和 立 軸 之 支 持 管 1 1 間 的 壓 力 彈 簧 之 力 量 所 逹 成 〇 衝 模 2 0和 支 持 部 件 30 是 相 互 嚙 合 於 一 球 形 表 面 3 2 〇 在 支 持 部 件 中 9 最 好 裝 置 一 電 熱 筒 18 (附電源線1 9) 9 從 而 經 由 球 形 表 面 3 2加 熱 於 衝 模 20 0 衝 模 2 0附 有 距 離 保 持 機 構 * 從 衝 模 表 面 2 2向 下 突 出 > 並 謀 使 向 下 以 設 備 之 降 落 位 置 觸 箸 於 基 底 6 〇 例如， 在 第 1 和 2 圖 中 所 示 週 圍 邊 緣 從 衝 模 表 面 突 出 9 在 衝 模 之 下 予 以 界 定 並 側 向 限 制 一 空 洞 之 空 間 28 〇 關 於 距 離 保 持. 機 構 之 各 種 可 能 變 化 ， 參 考 第 9 至 1 1 圖 及 以 下 之 説 明 〇 在 第 2 圖 中 於 _a_ 至 e 各 不 同 階 段 説 明 設 備 之 功 能 〇 在 操 作 循 環 之 初 階. A 中 9 是 在 上 方 位 置 而 有 一 液 態 圓 頂 形 之 焊 料 部 份 8 位 於 衝 模 2 0 之 下 和 基 底 之 上 〇 因 為 焊 料 部 之 不 正 確 位 置 使 其 可 能 相 對 於 直 立 之 軸 1 6如 所 示 被 移 位 〇 另 又 假 定 衝 模 j 亦 即 衝 模 表 面 » 曰 疋 在 相 對 於 基 底 的 傾 斜 位 置 上 (例如如同先前定位在傾斜的基底上之結果）. f 由 於 以 摩 擦 嚙 合 衝 模 之 軸 承 > 而 將 隨 時 保 持 其 位 置 〇 現 將 設 備 降 向 基 底 〇 在 第 2_b 圔 中 此 時 表 示 其 中 一 邊 緣 24 (假定為長方形） 觸 及 基 底 〇 液 態 焊 料 部 份 8 ' 已 局 部 扁 平 而 在 空 間 2 8之 内 散 開 〇 設 備 之 較 低 端 部 位 置 見 於 第 2c 圖 〇 現 在 衝 模 之 邊 線 24完 全 落 在 基 底 上 〇 以 立 軸 稍 作 厂 過 \ 量 進 程 J (其也將補償基底厚度之可能變異）， 支 持 部 件 3 0相 對 於 套 管 1 0 將 被 稍 予 提 起 9 因 而 確 實 衝 模 與 基 底 平 穩 定 位 〇 於 是 衝 模 已 白 動 7 調 整 至 基 底 之 表 面 9 而 衝 模 讀 先 閱 讀 背 項 填 寫 本 頁 I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 訂 A7 B7 五、發明説明（ y ) i 1 之 表 面 2 2現 在 與 之 平 行 〇 敗 後 此 設 備 再 被 提 起 (第2兰圔） 1 1 〇 在 基 底 上 留 下 已 形 成 之 焊 料 部 份 8 π 於 所 希 望 之 位 置 ( 1 相 對 於 軸 1 6之 中 央 )〇 由於衝模之對準和對邊緣2 4之相 「請 1 當 高 度 9 焊 料 在 整 痼 表 面 上 之 分 佈 表 現 實 際 上 的 均 勻 厚 閲 I I 讀 1 f 度 > 而 由 於 液 體 焊 料 的 表 面 張 力 使 在 中 央 之 厚 度 稍 增 〇 背 1¾ 1 1 之 I 在 此 情 形 表 示 (¾ 琶圍邊緣2 4) 表 面 也 被 界 定 於 其 形 狀 之 内 注 意 I I > 亦 即 適 合 將 被 焊 接 之 晶 Η 之 格 式 〇 如 此 當 然 是 預 先 假 事 項 1 I 再 1 論、、 設 焊 料 部 份 8 之 給 予 量 使 其 體 積 相 當 於 空 洞 空 間 28 〇 % 寫 此 外 也 預 知 衝 模 不 被 液 態 焊 料 濕 潤 〇 用 作 衝 模 之 適 當 頁 1 I 材 料 > 或 至 少 在 其 衝 模 表 面 22之 下 部 特 別 用 石 墨 或 銷。 1 1 現 在 新 的 f»S» m 作 循 環 開 始 9 只 要 基 底 表 面 的 位 置 在 次 —‘ 1 I 循 璟 不 變 f 衝 模 將 保 持 其 相 對 於 軸 1 6 之 位 置 f 亦 即 在 降 1 1 訂 1 低 落 於 基 底 時 £ 調 整 角 度 〇 若 須 傾 斜 基 底 之 位 置 (第2 .圖 )， 無論如何， 衝模將立即並自動調整其本身而予因 1 I 應 〇 I 1 以 下 9 若 干 特 殊 具 體 例 說 明 種 可 扭 轉 並 可 換 裝 之 衝 1 1 模 〇 例 如 9 根 據 第 3 至 6 圖 設 置 •- 具 球 形 指 向 之 水 平 蠢 I 平 衡 環 配 置 40 (第3 圖）以 m 此 巨 的 之 需 要 〇 平 衡 環 安 置 1 1 於 與 球 形 表 面 3 2 同 心 9 用 兩 値 軸 栓 42使 置 於 從 套 管 1 0伸 1 1 出 之 兩 耳 Η 13上 (第5 圖） 〇 在 平 衡 環 直 徑 上 對 應 於 軸 1 1 栓 4 2轉 移 90 〇 其 間 有 另 兩 軸 栓 4 4 緊 固 於 平 衡 環 4 1 0 這 1 !/ 構 造 形 成 供 給 衝 模 20 a之兩値側肩2 3所用之支撐， 各 1 1 於 其 下 側 有 一 中 心 穴 2 7 〇 1 如 所 示 平 衡 環 軸 承 9 衝 模 8 2 0 a為可扭轉且可傾斜於任 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現格（2丨OX297公釐） 厂 A7 B7五、發明説明（？） 何方向。其間對球形表面3 2有一摩擦嚙合件，部件3 0被 用壓縮彈簧14向下偏壓（第1圖）；於是任何軸承蓮作均 被消除。以此平衡環之配置，衝模20a也緊抵於對應套 管10之轉動。衝模可以容易被更換，在提起之後轉90° 以後栓軸4 4脱離肩部2 3。 另一可脫離而安裝衝模之實例見於第7和8画，顯示 一種於衝模20上之扣合（Snap-on)或「壓扣」（Press Stud)方式緊固。在支持部件3 G上下方為一球形頭3 4 ,其 一部件3 5可作徑向蓮動。部件35沿一固定銷36被引導， 並被一繞於銷上之壓力彈簧所偏壓。球頭34在兩側被削 平而平行於圖面（在圖上未能看見）。衝模2Q旦有一球形 穴21開於頂上，當裝上衝模之時包圍球頭。如所可見， 衝模2 可以輕易從球頭卸下，或分別裝上，而仍保持 可以杻轉於所有之方向。以銷36之兩端延伸進入衝模之 溝槽37,後者被固裝以抵抗在球頭上之轉動。支持部件 30b與套管10之聯鎖是設置一銷31固定於部件30 b,其兩 端在套管直立溝13中滑動。溝槽13下端也決定支持部件 3 0上之底端位置（受壓力彈簧14之壓力）。 以下，若干其他保持距離機構以第9至11圖配合說明 。第9圖表示之實例已見上述，有一週邊，例如長方形 邊緣24,從衝模表面22突出。，如所說明，此邊緣決定空+ 洞之空間2 8所包容之體積以及所成焊料擴<散之形狀與高 度。 根據笫10画在衝模表面22與基底間之距離之保持，可 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T ♦ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）

A7 B7五、發明説明（厂） 以從衝模表面於可適合之處突出（至少）三個分別之高起 物25之機構為主而取得·，如果焊料擴散所界定之形狀或 格式之精確並不很需要時，這種形式可被施用。 第11圖表示根據第9圖之距離保持構形式之一種變體 。邊緣24在個別位置26之高度被減低，亦即這些位置至 基底表面之距離將比較短。因此在降下衝模時，空洞空 間28有出氣孔，此對焊料快速向邊緣24擴張表面者可能 較為適合。其間有多種選擇可獲如此之出氣口，例如減 低之位置26之位置與大小可以改變，或可於邊緣2 4設置 小溝，延伟毁邊緣的整値高度。 在第11圖中，設置穴29或結構於衝模表面22内之選擇 是用劃點線指示，如此將影響在基底上液態焊料的側向 擴散或散開，例如，為求有助於焊料之流向進入邊緣的 角落。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) "_ 訂 f -10- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4ϋ格（210X297公釐） 394717 A7 B7

五、發明說明（9 ) 主要元件符號說明： 6 基底 8 焊料液態部分 10,11 立軸 14 預加應力之彈簧 16 運動軸 20,20a 衝模 ' 22 下方表面 24,25 距離保持裝置 28 空洞之空間 29 孔穴 30,30b 支持部件 32 球形表面 34 球形頭 35 部件 12 凸緣 18 加熱機構件 24’ 邊緣 26 位置 40 平衡環配置 -11- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 ------訂------I--·

Claims (1)

1. 394717

   六、申請專利範圍 第86118751號「用於在軟焊半導體晶片時將焊料液態部份 成形的設備j專利案 （89年3月修正） 六、申請專利範圍： 1. 一種用於在軟焊半導體晶片時將焊料液態部分（8)成形的 設備，係成形至一基底（6)，該設備包含一立軸（10, 11)， 可以相對於基底而上昇或降落，一衝模（20)連接於該立 軸而備有一下方表面（22)指向基底，其特徵在於該衝模 (20)是用彈簧按裝並垂直沿該立軸（10，11)導行，相對 於該立軸之運動軸（16)可在所有方向扭轉，以及以摩擦 力嚙合，且其中在該衝模設置距離保持機構（24, 25)， 突出於衝模之下方表面（22)而朝向觸落於該基底（6)。 么如申請專利範圍第1項之設備，其中該衝模（20)爲可更 換而安裝於一支持部件（3 0)上，其又沿該立軸抵向預加 應力之彈簧（14)而垂直滑行。 3. 如申請專利範第2項之設備，其中該衝模（2〇)及該支 持部件（30)是用一球形表面（32)互相嚙合。 4. 如申請專利範圍第3項之設備，其中該衝模（20)設有一 球形穴（21)包納一球形頭（34)於該支持部件（30b)上’用 球形頭之部件（3 5)爲有彈性以扣合緊固衝模。 5. 如申請專利範圍第3項之設備，其中該衝模（2〇a)爲用 一平衡環配置（40)之機構附於該支持部件（30)上。 6. 如申請專利範圍第3項之設備，其中加熱機構件（18)設 於支持部件（30)以供經由該球形表面（32)加熱於該衝 (請先閱讀嘴面之注意事項再填寫本頁) -裝·丨丨丨丨丨t丨訂-丨丨丨丨I丨！ · 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

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   六、申請專利範圍 第86118751號「用於在軟焊半導體晶片時將焊料液態部份 成形的設備j專利案 （89年3月修正） 六、申請專利範圍： 1. 一種用於在軟焊半導體晶片時將焊料液態部分（8)成形的 設備，係成形至一基底（6)，該設備包含一立軸（10, 11)， 可以相對於基底而上昇或降落，一衝模（20)連接於該立 軸而備有一下方表面（22)指向基底，其特徵在於該衝模 (20)是用彈簧按裝並垂直沿該立軸（10，11)導行，相對 於該立軸之運動軸（16)可在所有方向扭轉，以及以摩擦 力嚙合，且其中在該衝模設置距離保持機構（24, 25)， 突出於衝模之下方表面（22)而朝向觸落於該基底（6)。 么如申請專利範圍第1項之設備，其中該衝模（20)爲可更 換而安裝於一支持部件（3 0)上，其又沿該立軸抵向預加 應力之彈簧（14)而垂直滑行。 3. 如申請專利範第2項之設備，其中該衝模（2〇)及該支 持部件（30)是用一球形表面（32)互相嚙合。 4. 如申請專利範圍第3項之設備，其中該衝模（20)設有一 球形穴（21)包納一球形頭（34)於該支持部件（30b)上’用 球形頭之部件（3 5)爲有彈性以扣合緊固衝模。 5. 如申請專利範圍第3項之設備，其中該衝模（2〇a)爲用 一平衡環配置（40)之機構附於該支持部件（30)上。 6. 如申請專利範圍第3項之設備，其中加熱機構件（18)設 於支持部件（30)以供經由該球形表面（32)加熱於該衝 (請先閱讀嘴面之注意事項再填寫本頁) -裝·丨丨丨丨丨t丨訂-丨丨丨丨I丨！ · 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

   394717 六、申請專利範圍 模。 7. 如申請專利範圍第1項之設備，其中該距離保持機構 以自該衝模表面（22)延伸一邊緣而形成，並形成一空洞 之空間（28)供容焊料分份。 8. 如申請專利範圍第7項之設備，其中該邊緣（24〇在在 某些位置（26)具有較低之高度，或設置溝槽。 9. 如申請專利範圍第1項之設備，其中該距離保持機構 以此至少三個凸起物（25)從該衝模表面U2)之邊界延伸 而形成。 ία如申請專利範圍第1項之設備’其中該衝樓表面（22)備 有孔穴（29)或若干其他結構以干預基底上焊料的擴散。 (請先閱讀嘴面之注意事項再填寫本頁) CV ——訂---------線. -2. 本紙張尺度適用_國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

   394717 六、申請專利範圍 模。 7. 如申請專利範圍第1項之設備，其中該距離保持機構 以自該衝模表面（22)延伸一邊緣而形成，並形成一空洞 之空間（28)供容焊料分份。 8. 如申請專利範圍第7項之設備，其中該邊緣（24〇在在 某些位置（26)具有較低之高度，或設置溝槽。 9. 如申請專利範圍第1項之設備，其中該距離保持機構 以此至少三個凸起物（25)從該衝模表面U2)之邊界延伸 而形成。 ία如申請專利範圍第1項之設備’其中該衝樓表面（22)備 有孔穴（29)或若干其他結構以干預基底上焊料的擴散。 (請先閱讀嘴面之注意事項再填寫本頁) CV ——訂---------線. -2. 本紙張尺度適用_國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）