TW394717B - Apparatus for shaping liquid portions of solder in soft soldering semiconductor chips - Google Patents
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Description
394717 A7 B7
五、發明說明(9 ) 主要元件符號說明: 6 基底 8 焊料液態部分 10,11 立軸 14 預加應力之彈簧 16 運動軸 20,20a 衝模 ' 22 下方表面 24,25 距離保持裝置 28 空洞之空間 29 孔穴 30,30b 支持部件 32 球形表面 34 球形頭 35 部件 12 凸緣 18 加熱機構件 24’ 邊緣 26 位置 40 平衡環配置 -11- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 ------訂------I--· A7 B7 - - ί:
五、發明説明 ( r ) 1 1 發 明 背 景 1 1 當 以 軟 焊 將 半 導 體 晶 片 固 定 於 基 底 時 > 所 需 部 份 焊 料 t 1 在 將 晶 Η 定 位 之 刖 已 被 置 於 基 底 上 〇 為 此 目 的 所 常 用 之 V 請 4 t 先 1 方 法 為 以 焊 線 之 __- 端 觸 著 於 基 底 之 特 定 點 - 通 常 是 銅 合 閱 ik .1.. 金 製 成 之 導 框 —> 於基底被熱至高於焊料熔點之溫度, 背 面 1 1 之 1 熔 出 小 Η 之 焊 線 Ο 另 已 知 方 法 是 將 分 開 的 固 體 焊 料 注 意 1 I 部 份 置 於 受 熱 之 基 底 上 0 在 此 兩 者 之 中 9 液 態 焊 料 部 份 拳 項 1 I 再 或 多 或 少 形 成 圖 頂 形 9 熔 融 焊 料 滴 之 形 狀 和 位 置 與 基 底 填 寫 φ 本 表 面 在 該 處 之 濕 潤 特 性 關 偽 9 較 之 其 他 因 素 遠 為 密 切 〇 頁 1 為 求 晶 片 在 基 底 上 之 無 缺 點 焊 接 ) 稍 後 總 須 使 在 整 個 1 1 晶 體 表 面 之 下 分 佈 出 平 坦 之 焊 料 層 9 並 儘 可 能 使 厚 度 均 1 1 勻 〇 所 述 圓 頂 形 和 個 別 滴 點 位 置 之 可 能 側 向 變 移 曰 疋 使 其 1 訂 難 以 可 靠 符 合 這 些 需 求 以 具 充 份 精 度 Ο 而 且 須 要 考 慮 各 1 晶 Η 之 組 裝 是 在 高 速 中 進 行 9 其 指 各 晶 Η —* 般 是 以 局 速 1 | 率 而 被 置 於 基 底 上 i 亦 即 在 液 態 焊 料 上 〇 1 1 先 ^ 1-刖 技 術 1 1 因 此 有 種 種 裝 置 曽 被 提 出 以 改 變 焊 料 滴 形 狀 在 晶 Η 定 w 位 之 ,w. 刖 使 成 薄 而 展 開 之 焊 料 層 0 一 種 已 知 之 此 類 設 備 1 I 基 本 上 包 含 一 可 以 對 於 基 底 升 降 之 軸 > 和 與 軸 連 接 且 以 1 1 衝 模 表 面 向 下 而 面 向 基 底 〇 用 此 設 備 對 所 期 望 之 效 果 就 1 1 多 方 觀 點 而 尚 難 令 人 滿 意 > 有 —·. 缺 點 是 衝 模 必 須 在 基 \ 底 上 降 至 預 定 的 極 低 距 離 , 此 需 相 當 精 密 之 Μ 微 構 和 適 切 1 1 之 低 末 速 〇 基 底 厚 度 和 位 置 的 變‘ 異 以 及 基 底 偏 斜 的 位 1 I 置 無 從 列 入 考 慮 J 因 而 直 接 3 影 m 焊 料 厚 度 和 側 向 分 佈 Ο 1 1 1 1 I 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) A7 B7 五、發明説明 ( ) 甚 至 基 底 表 面 和 衝 模 表 面 間 之 白 取 小 變 異 可 以 導 致 焊 點 相 當 大 的 側 移 〇 此 外 9 採 用 此 項 設 備 以 使 焊 滴 平 舖 f 所 得 焊 點 將 或 多 或 少 為 圓 形 而 不 符 晶 體 之 長 方 或 正 方 形 Ο 發 明 百 的 和 概 述 本 發 明 之 主 要 困 的 在 於 克 服 上 述 之 缺 點 9 並 創 作 一 種 實 用 之 取 向 裝 置 > 以 供 液 態 焊 料 部 份 之 預 先 定 形 〇 尤 其 5 所 形 成 之 焊 料 部 份 所 需 形 狀 與 位 置 也 應 被 維 持 於 各 種 程 序 參 數 和 所 用 材 料 特 性 Q 本 發 明 是 以 與 上 述 相 似 之 一 種 設 備 為 基 礎 Ο 為 逹 成 上 逑 及 其 他 巨 的 9 根 據 本 發 明 設 備 之 特 徽 在 於 該 衝 模 是 以 5P 簧 裝 於 該 立 軸 並 沿 該 軸 垂 直 導 引 可 對 該 立 軸 蓮 動 軸 扭 轉 方 向 > 並 以 摩 擦 力 嚙 合 i 在 其 中 設 置 保 持 距 離 機 構 於 該 衝 模 1 凸 出 於 該 衝 模 之 下 表 面 而 使 得 向 下 觸 箸 於 該 ,基 底 上 0 由 於 相 當 於 本 發 明 設 備 之 設 計 9 當 降 下 立 軸 時 不 再 需 要 觀 察 衝 打 表 面 的 預 定 精 密 高 度 或 距 離 9 只 須 調 整 立 軸 的 衝 程 使 保 持 距 離 之 機 構 向 下 安 定 觸 著 基 底 〇 得 力 於 保 持 距 離 機 構 和 裝 於 衝 模 而 繫 於 立 軸 之 簧 9 以 及 衝 模 之 全 方 向 可 扭 轉 性 5 使 能 永 遠 在 衝 模 表 面 平 行 於 基 底 表 面 之 間 有 一 正 確 之 距 離 9 雛 關 於 基 底 等 之 厚 度 或 位 置 的 變 異 〇 由 於 以 摩 擦 力 嚙 合 繫 住 衝 模 1 在 提 離 基 底 時 仍 保 持 値 別 對 準 > 然 而 9 衝 模 之 白 動 再 調 整 在 再 向 下 移 置 時 將 出 現 〇 因 為 衝 模 的 白 身 調 整 功 能 使 機 具 對 新 産 品 而 調 整 之 所 花 費 將 大 為 減 少 9 4 而 旦 安 裝 時 也 少 依 賴 値 人 之 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS > A4規格(210X 297公釐)
經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明(々) 技術。 另一優點為由於衝模表面之取向平行於基底,所施用 焊料滴之位置側面偏移將對形成平舖擴散之焊料的重心 變動較無影響。然而特別根據本發明之較佳具體例,保 持距離之機構可以環繞衝模表面週邊突出形狀。如此之 邊緣在焊料擴開於基底時將主動限制並集中焊料。依靠 此項邊緣之部署,界定一個(低)而空心和空間予焊料, 配合各待焊晶片之格式於側面延伸之處。 本發明整體上使能在短週期内預先形成焊料部份,配 合隨後晶體組裝之需要,可靠而且適合不同之程序條件。 / ' .. 圖式簡單説明 本發明將參考各典型具體例及附圖詳細說明於後: 第1圖為根據本發明一設備直立段之一般簡化表示; 第2圖表示第1圖相關於基底和焊料之設備下部,從 i至i循環操作之各階段; 第3至5圖以類似之表逹表示衝模之可扭轉軸承,用 第5圖繞轉直立軸90°而與第3及4圖比較; 第6圖表示衝模在根據第5圖之位置中之側視圖; 第7和8圖為設備之另一具體例,在此情形中衝模扣 合(Snap-on)於一球頭,在第7圖為釋放而在第8圖為扣 上之位置; 第9 , 10和11圖為衝模所附距離保持機構之不同實例 在由下向上之視圖。 發明詳細說明 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Φ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明(4 ) 在此應予說明,在各圖中距離保持機構之高度(第1, 2圖)以及衝模的側傾或偏斜(第2 a , 2 b,3,8圔)或基底 之傾斜(第2e画)均經誇張以便瞭解。在實際上衝模表面 和基底間的距離(相當於所需焊料層之厚度)將僅為1毫 米之百分之幾,而角度之變異將為若干度或僅只一度之 分數。因此距離保持機構並未表示,亦即在第3, 4, 5 ,7和8圖中各段中未能看見。 根據第1圖之設備包含一直立軸含構件1D和11。較低 件10為套筒狀而具一螺絲接合至在頂上之支持管11, 一 凸緣1 2接至支持管1 1供連接此設備至自動晶Η組裝機之 驅動機構(未示),如直立箭頭所示,立軸-舆附有立軸 之整個設備-於是可以提昇或降下。在設備之下為基底 6 ,通常為一被導行框帶,在各步驟中可水平行動,亦 即在圖之平面中移動。在設備前方之一位置中(參考基 底蓮動方向),分開的軟焊料部份8 (第2 a圖)被施於已加 熱之基底6上。然後液態之焊料部份被設備的機構形成 ,然後位於設備後方之晶片被置於已備妥之焊料擴散物 上而被焊至基底上。這些程序步驟為半導體組裝技術中 所公知因而在此不另詳逑。 根據第1圖設備之一部份為一衝模2Q舆一較低表面22, 指向基底6。衝模2Q被支持部件30所持有,並可在所有 方向相對於立軸之直立蓮動軸16扭轉;可以以摩擦嚙合 並輕易更換,如將説明於後之若·干實施例。支持部件30 為在立軸之套管10中直立被導引滑動;一相對向上之移 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS〉Α4規格(210X 297公釐) Μ Β7 r3i - ~ 五、發明説明 ( r ) 位 是 由 包 夾 於 支 持 部 件 3 0和 立 軸 之 支 持 管 1 1 間 的 壓 力 彈 簧 之 力 量 所 逹 成 〇 衝 模 2 0和 支 持 部 件 30 是 相 互 嚙 合 於 一 球 形 表 面 3 2 〇 在 支 持 部 件 中 9 最 好 裝 置 一 電 熱 筒 18 (附電源線1 9) 9 從 而 經 由 球 形 表 面 3 2加 熱 於 衝 模 20 0 衝 模 2 0附 有 距 離 保 持 機 構 * 從 衝 模 表 面 2 2向 下 突 出 > 並 謀 使 向 下 以 設 備 之 降 落 位 置 觸 箸 於 基 底 6 〇 例如, 在 第 1 和 2 圖 中 所 示 週 圍 邊 緣 從 衝 模 表 面 突 出 9 在 衝 模 之 下 予 以 界 定 並 側 向 限 制 一 空 洞 之 空 間 28 〇 關 於 距 離 保 持. 機 構 之 各 種 可 能 變 化 , 參 考 第 9 至 1 1 圖 及 以 下 之 説 明 〇 在 第 2 圖 中 於 _a_ 至 e 各 不 同 階 段 説 明 設 備 之 功 能 〇 在 操 作 循 環 之 初 階. A 中 9 是 在 上 方 位 置 而 有 一 液 態 圓 頂 形 之 焊 料 部 份 8 位 於 衝 模 2 0 之 下 和 基 底 之 上 〇 因 為 焊 料 部 之 不 正 確 位 置 使 其 可 能 相 對 於 直 立 之 軸 1 6如 所 示 被 移 位 〇 另 又 假 定 衝 模 j 亦 即 衝 模 表 面 » 曰 疋 在 相 對 於 基 底 的 傾 斜 位 置 上 (例如如同先前定位在傾斜的基底上之結果). f 由 於 以 摩 擦 嚙 合 衝 模 之 軸 承 > 而 將 隨 時 保 持 其 位 置 〇 現 將 設 備 降 向 基 底 〇 在 第 2_b 圔 中 此 時 表 示 其 中 一 邊 緣 24 (假定為長方形) 觸 及 基 底 〇 液 態 焊 料 部 份 8 ' 已 局 部 扁 平 而 在 空 間 2 8之 内 散 開 〇 設 備 之 較 低 端 部 位 置 見 於 第 2c 圖 〇 現 在 衝 模 之 邊 線 24完 全 落 在 基 底 上 〇 以 立 軸 稍 作 厂 過 \ 量 進 程 J (其也將補償基底厚度之可能變異), 支 持 部 件 3 0相 對 於 套 管 1 0 將 被 稍 予 提 起 9 因 而 確 實 衝 模 與 基 底 平 穩 定 位 〇 於 是 衝 模 已 白 動 7 調 整 至 基 底 之 表 面 9 而 衝 模 讀 先 閱 讀 背 項 填 寫 本 頁 I 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 訂 A7 B7 五、發明説明( y ) i 1 之 表 面 2 2現 在 與 之 平 行 〇 敗 後 此 設 備 再 被 提 起 (第2兰圔) 1 1 〇 在 基 底 上 留 下 已 形 成 之 焊 料 部 份 8 π 於 所 希 望 之 位 置 ( 1 相 對 於 軸 1 6之 中 央 )〇 由於衝模之對準和對邊緣2 4之相 「請 1 當 高 度 9 焊 料 在 整 痼 表 面 上 之 分 佈 表 現 實 際 上 的 均 勻 厚 閲 I I 讀 1 f 度 > 而 由 於 液 體 焊 料 的 表 面 張 力 使 在 中 央 之 厚 度 稍 增 〇 背 1¾ 1 1 之 I 在 此 情 形 表 示 (¾ 琶圍邊緣2 4) 表 面 也 被 界 定 於 其 形 狀 之 内 注 意 I I > 亦 即 適 合 將 被 焊 接 之 晶 Η 之 格 式 〇 如 此 當 然 是 預 先 假 事 項 1 I 再 1 論、、 設 焊 料 部 份 8 之 給 予 量 使 其 體 積 相 當 於 空 洞 空 間 28 〇 % 寫 此 外 也 預 知 衝 模 不 被 液 態 焊 料 濕 潤 〇 用 作 衝 模 之 適 當 頁 1 I 材 料 > 或 至 少 在 其 衝 模 表 面 22之 下 部 特 別 用 石 墨 或 銷。 1 1 現 在 新 的 f»S» m 作 循 環 開 始 9 只 要 基 底 表 面 的 位 置 在 次 —‘ 1 I 循 璟 不 變 f 衝 模 將 保 持 其 相 對 於 軸 1 6 之 位 置 f 亦 即 在 降 1 1 訂 1 低 落 於 基 底 時 £ 調 整 角 度 〇 若 須 傾 斜 基 底 之 位 置 (第2 .圖 ), 無論如何, 衝模將立即並自動調整其本身而予因 1 I 應 〇 I 1 以 下 9 若 干 特 殊 具 體 例 說 明 種 可 扭 轉 並 可 換 裝 之 衝 1 1 模 〇 例 如 9 根 據 第 3 至 6 圖 設 置 •- 具 球 形 指 向 之 水 平 蠢 I 平 衡 環 配 置 40 (第3 圖)以 m 此 巨 的 之 需 要 〇 平 衡 環 安 置 1 1 於 與 球 形 表 面 3 2 同 心 9 用 兩 値 軸 栓 42使 置 於 從 套 管 1 0伸 1 1 出 之 兩 耳 Η 13上 (第5 圖) 〇 在 平 衡 環 直 徑 上 對 應 於 軸 1 1 栓 4 2轉 移 90 〇 其 間 有 另 兩 軸 栓 4 4 緊 固 於 平 衡 環 4 1 0 這 1 !/ 構 造 形 成 供 給 衝 模 20 a之兩値側肩2 3所用之支撐, 各 1 1 於 其 下 側 有 一 中 心 穴 2 7 〇 1 如 所 示 平 衡 環 軸 承 9 衝 模 8 2 0 a為可扭轉且可傾斜於任 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4現格(2丨OX297公釐) 厂 A7 B7五、發明説明(?) 何方向。其間對球形表面3 2有一摩擦嚙合件,部件3 0被 用壓縮彈簧14向下偏壓(第1圖);於是任何軸承蓮作均 被消除。以此平衡環之配置,衝模20a也緊抵於對應套 管10之轉動。衝模可以容易被更換,在提起之後轉90° 以後栓軸4 4脱離肩部2 3。 另一可脫離而安裝衝模之實例見於第7和8画,顯示 一種於衝模20上之扣合(Snap-on)或「壓扣」(Press Stud)方式緊固。在支持部件3 G上下方為一球形頭3 4 ,其 一部件3 5可作徑向蓮動。部件35沿一固定銷36被引導, 並被一繞於銷上之壓力彈簧所偏壓。球頭34在兩側被削 平而平行於圖面(在圖上未能看見)。衝模2Q旦有一球形 穴21開於頂上,當裝上衝模之時包圍球頭。如所可見, 衝模2 可以輕易從球頭卸下,或分別裝上,而仍保持 可以杻轉於所有之方向。以銷36之兩端延伸進入衝模之 溝槽37,後者被固裝以抵抗在球頭上之轉動。支持部件 30b與套管10之聯鎖是設置一銷31固定於部件30 b,其兩 端在套管直立溝13中滑動。溝槽13下端也決定支持部件 3 0上之底端位置(受壓力彈簧14之壓力)。 以下,若干其他保持距離機構以第9至11圖配合說明 。第9圖表示之實例已見上述,有一週邊,例如長方形 邊緣24,從衝模表面22突出。,如所說明,此邊緣決定空+ 洞之空間2 8所包容之體積以及所成焊料擴<散之形狀與高 度。 根據笫10画在衝模表面22與基底間之距離之保持,可 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T ♦ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐)
A7 B7五、發明説明(厂) 以從衝模表面於可適合之處突出(至少)三個分別之高起 物25之機構為主而取得·,如果焊料擴散所界定之形狀或 格式之精確並不很需要時,這種形式可被施用。 第11圖表示根據第9圖之距離保持構形式之一種變體 。邊緣24在個別位置26之高度被減低,亦即這些位置至 基底表面之距離將比較短。因此在降下衝模時,空洞空 間28有出氣孔,此對焊料快速向邊緣24擴張表面者可能 較為適合。其間有多種選擇可獲如此之出氣口,例如減 低之位置26之位置與大小可以改變,或可於邊緣2 4設置 小溝,延伟毁邊緣的整値高度。 在第11圖中,設置穴29或結構於衝模表面22内之選擇 是用劃點線指示,如此將影響在基底上液態焊料的側向 擴散或散開,例如,為求有助於焊料之流向進入邊緣的 角落。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) "_ 訂 f -10- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4ϋ格(210X297公釐) 394717 A7 B7
五、發明說明(9 ) 主要元件符號說明: 6 基底 8 焊料液態部分 10,11 立軸 14 預加應力之彈簧 16 運動軸 20,20a 衝模 ' 22 下方表面 24,25 距離保持裝置 28 空洞之空間 29 孔穴 30,30b 支持部件 32 球形表面 34 球形頭 35 部件 12 凸緣 18 加熱機構件 24’ 邊緣 26 位置 40 平衡環配置 -11- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 ------訂------I--·
Claims (1)
- 394717六、申請專利範圍 第86118751號「用於在軟焊半導體晶片時將焊料液態部份 成形的設備j專利案 (89年3月修正) 六、申請專利範圍: 1. 一種用於在軟焊半導體晶片時將焊料液態部分(8)成形的 設備,係成形至一基底(6),該設備包含一立軸(10, 11), 可以相對於基底而上昇或降落,一衝模(20)連接於該立 軸而備有一下方表面(22)指向基底,其特徵在於該衝模 (20)是用彈簧按裝並垂直沿該立軸(10,11)導行,相對 於該立軸之運動軸(16)可在所有方向扭轉,以及以摩擦 力嚙合,且其中在該衝模設置距離保持機構(24, 25), 突出於衝模之下方表面(22)而朝向觸落於該基底(6)。 么如申請專利範圍第1項之設備,其中該衝模(20)爲可更 換而安裝於一支持部件(3 0)上,其又沿該立軸抵向預加 應力之彈簧(14)而垂直滑行。 3. 如申請專利範第2項之設備,其中該衝模(2〇)及該支 持部件(30)是用一球形表面(32)互相嚙合。 4. 如申請專利範圍第3項之設備,其中該衝模(20)設有一 球形穴(21)包納一球形頭(34)於該支持部件(30b)上’用 球形頭之部件(3 5)爲有彈性以扣合緊固衝模。 5. 如申請專利範圍第3項之設備,其中該衝模(2〇a)爲用 一平衡環配置(40)之機構附於該支持部件(30)上。 6. 如申請專利範圍第3項之設備,其中加熱機構件(18)設 於支持部件(30)以供經由該球形表面(32)加熱於該衝 (請先閱讀嘴面之注意事項再填寫本頁) -裝·丨丨丨丨丨t丨訂-丨丨丨丨I丨! · 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)394717六、申請專利範圍 第86118751號「用於在軟焊半導體晶片時將焊料液態部份 成形的設備j專利案 (89年3月修正) 六、申請專利範圍: 1. 一種用於在軟焊半導體晶片時將焊料液態部分(8)成形的 設備,係成形至一基底(6),該設備包含一立軸(10, 11), 可以相對於基底而上昇或降落,一衝模(20)連接於該立 軸而備有一下方表面(22)指向基底,其特徵在於該衝模 (20)是用彈簧按裝並垂直沿該立軸(10,11)導行,相對 於該立軸之運動軸(16)可在所有方向扭轉,以及以摩擦 力嚙合,且其中在該衝模設置距離保持機構(24, 25), 突出於衝模之下方表面(22)而朝向觸落於該基底(6)。 么如申請專利範圍第1項之設備,其中該衝模(20)爲可更 換而安裝於一支持部件(3 0)上,其又沿該立軸抵向預加 應力之彈簧(14)而垂直滑行。 3. 如申請專利範第2項之設備,其中該衝模(2〇)及該支 持部件(30)是用一球形表面(32)互相嚙合。 4. 如申請專利範圍第3項之設備,其中該衝模(20)設有一 球形穴(21)包納一球形頭(34)於該支持部件(30b)上’用 球形頭之部件(3 5)爲有彈性以扣合緊固衝模。 5. 如申請專利範圍第3項之設備,其中該衝模(2〇a)爲用 一平衡環配置(40)之機構附於該支持部件(30)上。 6. 如申請專利範圍第3項之設備,其中加熱機構件(18)設 於支持部件(30)以供經由該球形表面(32)加熱於該衝 (請先閱讀嘴面之注意事項再填寫本頁) -裝·丨丨丨丨丨t丨訂-丨丨丨丨I丨! · 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)394717 六、申請專利範圍 模。 7. 如申請專利範圍第1項之設備,其中該距離保持機構 以自該衝模表面(22)延伸一邊緣而形成,並形成一空洞 之空間(28)供容焊料分份。 8. 如申請專利範圍第7項之設備,其中該邊緣(24〇在在 某些位置(26)具有較低之高度,或設置溝槽。 9. 如申請專利範圍第1項之設備,其中該距離保持機構 以此至少三個凸起物(25)從該衝模表面U2)之邊界延伸 而形成。 ία如申請專利範圍第1項之設備’其中該衝樓表面(22)備 有孔穴(29)或若干其他結構以干預基底上焊料的擴散。 (請先閱讀嘴面之注意事項再填寫本頁) CV ——訂---------線. -2. 本紙張尺度適用_國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)394717 六、申請專利範圍 模。 7. 如申請專利範圍第1項之設備,其中該距離保持機構 以自該衝模表面(22)延伸一邊緣而形成,並形成一空洞 之空間(28)供容焊料分份。 8. 如申請專利範圍第7項之設備,其中該邊緣(24〇在在 某些位置(26)具有較低之高度,或設置溝槽。 9. 如申請專利範圍第1項之設備,其中該距離保持機構 以此至少三個凸起物(25)從該衝模表面U2)之邊界延伸 而形成。 ία如申請專利範圍第1項之設備’其中該衝樓表面(22)備 有孔穴(29)或若干其他結構以干預基底上焊料的擴散。 (請先閱讀嘴面之注意事項再填寫本頁) CV ——訂---------線. -2. 本紙張尺度適用_國國家標準(CNS)A4規格(210 X 297公釐)
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