TW322449B - - Google Patents

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經濟部中央樣準局貝Η消費合作社印製 322449

AT _B7_ _ 五、發明説明（1 ) 發明背景 發明範圍 本發明係關於在結構中有薄膜延伸的薄皮，更特定地 說，係關於在結構的一個端面有薄膜延伸且在另一端面有 膠黏劑層形成的薄皮，在這種方式下，可免除通常與膠黏 劑層連接之襯墊》 先前技藝 根據目前半導體元件朝向更高密度及積體之趨勢，樣 式變成非常細小，所以任何細微的外來物質沈積在光罩上 都可造成缺陷，因此共同的努力就是在光罩上添加薄皮使 防止任何細微的$來物質沈積在光罩上。 薄皮通常包括一個金屬或樹脂的結構及薄膜，用黏著 法將薄膜連接至結構的一個端面而使薄膜延伸在結構中， 在結構的另一端面形成膠黏劑層供隨後與網線連接，並用 可撕開的襯墊或分離層覆蓋加以保護。 使用時，經由撕開襯墊而暴露膠黏劑層，將薄皮放在 光罩上的預先決定位置，加壓暴露的膠黏劑層使其與光罩 黏接而將薄皮固定在光罩或網線上。 運送上述結構的薄皮時，檢查薄皮膜確定不含外來物 質後，將薄皮放在特殊的容器內，密封使防止外來物質進 入，然後將容器输送至從包裝中取出薄皮之目的地，此時 當再度檢查薄皮膜時，外來物質通常是在膜上發現。 產生外來物質的沈積有下列原因，因爲震動及衝擊發 本紙張尺度壌用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意^項再填寫本頁)

.1T -4 一 322449 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印裝 A7 _B7_ _五、發明説明（2) 生在使用卡車、貨運火車及飛機之交通工具的輸送及在各 種場合的裝載與卸貨過程中，主要落在元件而不是在薄皮 膜上的外來物質離開那裡並沈積在薄皮膜上，外來物質可 潛伏的其他地方爲薄皮膜側邊的外襯及內襯及用來保護膠 黏劑層的襯墊表面，尤其是包覆脫離劑的塑膠膜之襯墊溶 液帶有電荷，因此微細粒子容易吸附在襯墊表面，此種微 細粒子將從襯墊轉移至薄皮膜，此外，因爲襯墊是用打孔 機在薄片上打孔使符合結構的幾何形狀，經打孔的襯墊之 切割部份通常帶有碎片。 發明概述 本發朋的目均是提供一種新穎且經改進的薄皮，可消 除外來物質潛在來源之襯墊。 根據本發明，提供一種薄皮，其中含一個端面及另外 —個端面之結構，且在結構的一個端面上延伸一種薄膜， 在結構的另外一個端面形成一條溝槽，溝槽中填滿在加熱 及/或光線照射下可膨脹的膠黏劑層，使得膠黏劑層在不 膨脹的狀態下不會向外突出超過結構的另一端面，但在膨 脹時向外突出超過結構的另一端面，膨脹的膠黏劑層作爲 薄皮與網線之連結，膠黏劑層上沒有連接襯墊。 因爲可膨脹的膠黏劑層是在溝槽中形成，不需要用襯 墊保護膠黏劑層，當需要將薄皮黏接在網線上時，可將膠 黏劑層加熱及/或用光線照射，然後使膠黏劑層膨脹而增 加體積，同時使溝槽內的膠黏劑層脹大而向外突出超過結 本紙張尺度適用中國國家揲率（CNS > A4規格（210X297公釐） (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -5 - 經濟部中央橾準局男工消费合作社印製 A7 _B7_ 五、發明説明（3) 構的另一端面，脹大的膠黏劑層作爲將薄皮黏接至網線上 ,因爲本發明消除襯墊之需求，因此不存在伴隨襯墊之外 來物質，本發明可防止薄皮膜因爲受到外來物質汙染而減 損其性能，物質成本及襯墊所需的打孔、清潔及檢査步驟 與費用都不需要。 附圖簡述 本發明的這些及其他特點，經由下列說明及附圖可更 加明顯，其中： 圖1爲根據本發明的一個較佳具體實施例的薄皮側邊 之截面圖，顯示膨脹前的膠黏劑層· 圖2類似於圖1之觀察，但顯示膨脹後的膠黏劑層。 較佳具體實施例之敘述 如圖1所示，本發明之薄皮包括通常爲四方形截面的 薄皮結構1,及一對端面與一對側面，黏附層2位於薄皮 結構1的一個端面或頂面上，薄皮膜3用膜的外圍連接至 黏附層2而在結構上延伸，在另一端面或底面的薄皮結構 1含有一條溝槽或凹槽4,溝槽4內填滿在加熱及/或光 線照射下可膨脹的膠黏劑層5,使得膠黏劑層5在不膨脹 的狀態下不會向外突出超過結構1的另一端面，但在膨脹 時向外突出超過結構1的另一端面，如圖2所示。 本文所使用的膠黏劑層並不嚴格限制爲在加熱及/或 光線照射下可膨脹或起泡，橡膠基質的膠黏組成物及丙烯 本纸張尺度逋用中國_家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐) (請先H-讀背面之注意事項再填寫本頁) 1T. 疼！ —〇 ~ 經濟部中央橾準局工消费合作杜印裝 A7 _B7五、發明説明（4) 酸系的膠黏組成物都可使用，雖然從抗光性及抗化學性的 觀點，以矽酮基質的膠黏組成物較佳。在加熱及/或光線 照射下使基質樹脂膨脹的方法可爲氮氣、氫氣或二氧化碳 氣體，其中膠黏劑必須交聯化，加熱使膨脹前先用uv照 射使膠黏劑交聯化。 可在本文中使用的可膨脹矽酮膠黏劑組成物包括習知 的矽酮膠黏劑及含可汽化的發泡劑之樹脂（例如N i ρροη Ferrite Κ. Κ.製造的Expancell)及含終端爲砂院醇 基的二甲基聚矽氧烷、含SiH基的二甲基氫矽氧烷及鉑觸 媒之矽酮膠黏劑組成物，其中I觸媒可促進脫氫反應使釋出 氫氣而膨脹。 薄皮結構中考滿膠黏劑的溝槽之幾何形狀、寬度及深 度沒有特殊的限制，例如對於另一端面的寬度爲2毫米之 薄皮結構，沿著整個薄皮結構的外圍可連續或間斷地形成 直線或曲折的約0 . 5至1 . 5毫米寬度的溝槽，溝槽的 深度可爲約0 . 5至5毫米，溝槽可有合適'的截面形狀例 如四面形、半圓形、U—及V—形。 發泡前的膠黏劑量及發泡放大率較宜定爲使膠黏劑層 膨脹向外突出超過薄皮結構的另一端面約0 . 1至3毫米 ，特別是約0.3至1毫米。 本發明之薄皮中，在起泡前，膠黏劑層5填在薄皮結 構另一端面之凹槽或溝槽4內而沒有突出超過另一端面， 沒有襯墊使得當薄皮放在或從容器取出時沒有處理的問題 ，當膠黏劑層膨脹時，增加其體稹使得膠黏劑層脹大突出 表纸强·尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公簸） ： {請先¾讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 A7 B7 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印装 五、發明説明（） 薄皮結構的另一端面，此狀態與先前技藝的薄皮在撕去襯 墊時相同，然後本發明的薄皮可如同先前技藝的薄皮在相 同方式下，於加壓下黏接至光罩或網線》 曾例 下列所提供的本發明實例是用來說明而不是限制其範 圍0 使用的薄皮結構爲一般的四面形鋁結構，外圍大小爲 1 2 2 X 1 4 9毫米且寬度爲2毫米及高度爲5毫米之一 般四面形截面（參見圖1 ),薄皮結構的下（或另一）端 面在中間有一條寬度爲1.2毫米且深度爲3毫米之溝槽 ，溝槽沿著四面形結構的四邊連續性地延伸》 MS 溝槽中填滿膠黏劑，膠黏劑不會向外突出超過端面， 此處所用的膠黏劑爲含矽烷醇基端基的二甲基聚矽氧烷、 含S i Η基的二甲基氫矽氧烷及鉑一二甲基聚矽氧烷錯合 物形式的觸媒之沒有溶劑的矽酮膠黏劑組成物。 施加黏著劑至薄皮結構之上端面，氟聚合物之薄膜延 伸在薄皮結構上，經由黏接其外圍至上端面而成爲薄皮膜 ，製備成沒有襯墊的薄皮。 將薄皮放置在密封的特殊容器中，將容器放在卡車上 並行駛500公里而進行薄皮之運送試驗，試驗後，從容 器內取出薄皮，在暗室中用聚焦燈觀察薄皮膜上的外來物 質，發現外來物質沒有增加。 接著用紅外線加熱器將膠黏劑在8 0°C下加熱歷時5 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1T-

^22449 a? B7 五、發明説明（） 分鐘，膠黏劑在發泡放大率1 . 4下膨脹至增加其體積， 膠黏劑之外表面突出超過結構之另一端面0.5毫米，發 泡結束後，在15公斤的壓力下用合成石英的玻璃物質加 壓結構歷時3分鐘，使膠黏劑層與玻璃物質間形成均勻的 連結。 因爲本發明之薄皮不需要襯墊，不會有來自襯墊的外 來物質，本發明可防止薄皮膜因爲受到外來物質汙染而減 損其性能，並免除襯墊所需的額外步驟及費用。 雖然已經說明部份較佳的具體實施例，經由上述的教 導可進行許多的修改及變化，因此在申請專利範圍的範圍 內，本發明可在不同於特定欽述之下進行。 (請先¾讀背面之注意事項再填寫本頁) iT- 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） π iiiiiiwlrr: - r 1 ητι^ nr'ίιιι rrf ^ ^ 心二

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 322449 六、申請專利範圍 1 . 一種薄皮，其中含 一個端面及另外一個端面之結構， 在該結構的一個端面延伸一種薄膜， 在該結構的另外一個端面形成一條溝槽，且 在該溝槽中填滿在加熱及/或光線照射下可膨脹的膠 黏劑層，使得膠黏劑層在不膨脹的狀態下不會向外突出超 過結構的另一端面，但在膨脹時向外突出超過結構的另一 端面， 膠黏劑層上沒有連接襯墊。 2.如申請專利範圍第1項之薄皮，其中該膠黏劑爲 可膨脹的矽酮膠黏劑。 ------------- (請先·閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂- 經濟部中央標率局貞工消费合作社印装 本纸永尺A埴用中_國家樣率（CNS > A4«UM 210>5297命H v