TW315310B - - Google Patents

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TW315310B TW085107267A TW85107267A TW315310B TW 315310 B TW315310 B TW 315310B TW 085107267 A TW085107267 A TW 085107267A TW 85107267 A TW85107267 A TW 85107267A TW 315310 B TW315310 B TW 315310B
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Description

經濟部中央梂準局貝工消费合作杜印装
A7五、發明説明(1 ) 發明領域 本發明涉及變歷吸附裝置和進行變壓吸附的方法。更 詳細地說’本發明涉及在變壓吸附中至少使用三張平行的 吸附劑床以把這種裝置的產品流量的變化減至最小和/或 減少轉換損失。 發明背景 .近來變壓吸附(PSA)作爲一種用於從氣體混合物中去 除一種或多種不合需要的氣體組分的技術已被廣泛地使 用。它廣泛地用於淸除低溫空氣分離設備的原料空氣中的 空氣污染物包括水和二氧化碳。在PSA系統中,要淨化的 氣體被送去通過固體吸附劑床,這種床要定期性進行再生 以除去污染組分或已從該氣流中提取的組分。通常平行設 置和使用二張吸附床,一張床在線工作而另一張床進行再 生。每張床均應經過各個階段的循環,在該循環中該床首 先在線從氣流中吸附一組分,然後被減壓,再後進行再 生,並在放回在線工作以前被重新加壓。 US —A-47 1 1 645 和 0£-八一3 702 1 90公開了雙床 吸附PSA系統的使用。這就是說,所述PSA系統的兩個平 行部分的每一個均順序含有兩種不同的吸附劑。所述的吸 附劑系統在床的空氣進料端和產品端分別爲活性鋁土和分 子篩。水被活性鋁土部分吸附而二氧化碳和碳水化合物被 分子篩吸附。短的循環時間可保證<部分吸附熱在氣流在 線階段貯存於床中以有助於隨後的脫附步驟時的再生。 315310 (請先閲讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4洗格(210X297公釐) 經濟部中央橾準局属工消費合作社印製 3i53j〇 A7 _^_B7_ 五、發明説明(2 ) 日本專利說明書63107720、EP — A-453202和 Skarstrom,CW的“固體吸附劑上氣體的不加熱分離” (“Heatless Fractionation of Gases Over Solid Adsorbents” )Volume II,95,N. N . L i ( E d ). CRC Press, Cleveland, Ohio 1972 中,均公開了在' 空氣分離裝置的前端用活性鋁土雙床PS A系統將空氣中的 水和二氧化碳去除到所要求的限度。這些參考文獻的頭兩 篇敘述了爲去除碳氫化合物,需要使用一層13x分子篩。 在PS A吸附劑中高百分比鋁土的好處是不象1 3x分子篩, 鋁土對空氣的吸附量很小。結果,在快速轉換情況下,出 現少很多的床溫起伏現象。床溫起伏將對PSA生產能力和 產品空氣的溫度穩定性產生不利影響。 在減壓時,已通入吸附床並且被純化的原料氣被作爲 廢氣排掉。這樣損失的氣體量被稱爲轉換損失。 曰本專利說明書55 — 27034公開了平行操作三個吸附 柱的C02吸附系統。在任何時候兩根柱以PSA方式運行, 而另一個被熱再生。第三根柱在熱再生後被交換用來在流 吸附而取代另外兩柱中的一根。因爲在雙床系統中水逐渐 積聚的已知的影響,這基本上是種考慮到週期性熱再生的 雙平行床PS A系統。 發明要旨 在上述參考文獻中,沒有一個述及:當使用短循環雙 床PSA系統時,在短的再加壓步驟中,一部分送到設備的 -4 - 本紙張又度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注^^項再填寫本頁) 訂. 經濟部中央揉準局工消費合作社印製 A7 __::_B7_ 五、發明説明(3 ) 產品空氣將在再加壓所述床時被消耗掉,從而引起從該 PS A純化系統送到低溫蒸餾系統的空氣流的減少,並引起 蒸餾過程的嚴重動態擾動。在對吸附器減壓時,在沖洗步 驟前,昂貴的壓縮空氣被排空,以便讓一般爲來自低溫設 備的富氮廢氣的低壓沖洗氣在再生階段時通過該床。前已 指出,這種方式的壓縮空氣的損失構成了 PS A系統的轉換 損失。以這種方式由PS A系統純化的氣體的產量的變化和 不必要髙的轉換損失在許多PSA系統原料氣體不必爲空氣 以及產品氣體用在非低溫空氣分離過程的其它場合中也同 樣是不利的。 本發明致力於減少已知的雙床PS A轉換方式對來自 PSA系統的產品流的連續性和由其引起的對下游處理諸如 空氣分離裝置的穩定性帶來的不利影響的問題。另外,本 發明也致力於減小轉換損失的需求。 在第一方面,本發明提供了用於對氣流的一種氣體組 分進行變壓吸附的變壓吸附裝置,所述裝置包括至少三張 平行的吸附劑床和用來調節氣流通過所述床的機構,從而 使每張床均經歷其各個週期爲在線、減壓、再生和再加壓 的重復的工作循環,並使各床的循環彼此間相對分階段進 行,使得在一個工作循環中,有一張床有至少50%,更好 有至少80%,最好至少有90%的時間處於再加壓階段。 對每張床來說再加壓所佔的時間可取爲每個循環中在 線時間長度的至少40%。 更可取的是再加壓時間爲在線時間的至少75%,最可 本紙張尺度逍用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 装. ,ιτ 鯉濟部中央揉準局負工消費合作社印製 A7 _^'_B7_ 五、發明説明(4 ) 取的是爲在線時間的至少90%。 在第二方面,本發明提供了對氣流的氣體組分進行變 壓吸附的變壓吸附裝置,所述裝置包括至少三張平行的吸 附床和調節氣流通過所述床的機構,使每張床均經歷其各 個週期爲在線、減壓、再生、和再加壓的重復的工作循 環,並使各床的循環彼此間相對分階段進行,使得至少在 一部分週期內,一張床在線、另一線床被再生,第三張床 被再加壓,最終使每張床在每個循環中的加壓時間爲在線 時間長度的至少40 % 〇 本發明的第一方面的裝置最好也按第二方面操作。 最好,在一張床在線另一張床被減壓和第三張床被再 加壓的部分週期和每個循環期內,氣體被從該被減壓·的床 送到該被加壓的床中。 所述的用來調節氣流的機構可能包括氣體流入的管道 或連接所述各床的管道,和連接每張所述床與氣體源的管 道,以及連接每張所述床與用於通過去除該組分而使氣體 淨化的裝置的出口的管道,可用來打開或關閉所述管道的 在所述管道中的閥裝置,按程序操縱所述閥裝置以順序產 生所述工作循環的閥控制裝置。 所述閥裝置最好程序控制,從而在每一循環中,關閉 將被減壓的床與將被淨化的氣源及經淨化後的氣體出口兩 者的聯繫,保持將被再加壓的床與將被淨化的氣體源及淨 後氣體出口兩者的緊密聯繫,建立將被減壓的床和將被再 加壓的床的聯繫從而讓氣體從將被減壓的床流到將被加壓 本紙張尺度逍用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 袈_ 訂 經濟部中央揉準局員工消費合作社印S.
Sl53l 〇 A7 二. Β7 五、發明説明(5 ) 的床。這被稱爲平衡步驟。 最好將閥裝置程序控制而保持將被減壓的床和將被加 壓的床之間的聯繫直到在所述床中的壓力基本平衡。 當各床間的壓差不大於最初壓差的20%時就可認爲所 述床在壓力上已基本平衡。但是,將平衡過程持續到所述 壓差不大於最初壓差的10%時則更好。 本赛明也提供一種用來對氣流的氣體組分進行變壓吸 附的方法,包括將所述氣體通過至少三張平行的吸附床並 調節通過所述床的氣流從而使每張床均經歷其各個週期爲 在線、減壓、再生和再加壓的重復的工作循環,並使各床 的循環彼此間相對分階段進行,使得至少部分週期裡一張 床在線,另一張床被再生而第三床被再加壓,最終使每張 床在每個循環中的再加壓時間爲在線時間長度的至少40 本發明還提供一種用來對氣流的氣體組分進行變壓吸 附的方法,包括將所述氣體通過至少三張平行吸附劑床並 調節通過所述床的氣流從而使每張床均經歷其各個週期爲 在線、減壓、再生和再加壓的重復的工作循環,並使各床 的循環彼此間相對分階段進行,使得在一個工作循環中有 —張床的再加壓時間佔至少50%。 按照兩種方法中的任一方法,各床的循環最好彼此間 相對分階段進行,使得在部分週期內一張床在線、另一張 床被減壓而第三張被再加壓,並且,在每個循環中氣體從 被減壓的床送到被再加壓的床。 本紙张尺度適用中國國家揉準(CNS > A4规格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -策 訂 經濟部中"標毕局員工消费合作社印裝 A7 :.. B7 五、發明説明(6 ) 圖示之簡單說明 圖1顯示了 Skarstrom所述的先有技術雙床psa系統 操作的常規循環,其中在線(On-Line) =吸附步驟,D = 脫附步驟,沖洗(Purge) =沖洗步驟,再加壓=再加壓步 驟; 圖2是按照本發明的裝置的示意圖,其中主要元件的 代表圖無爲 10、12、14 吸附床 24 進料氣源 16、18、20、46、48、50 進口閥 28、30、32 排氣閥 70 排氣消聲器 3 4 ' 3 6 ' 3 8 出口閥 52、54、58 平衡閥 60、62、64、66、68 ; 圖3顯示了圖2的裝置的工作循環,其中進料(Feed) =吸附步驟,E =均衡步驟,D =脫附步驟,沖洗(Purge) =沖洗步驟,再加壓=再加壓步驟: 圖4顯示了圖2的裝置修改型的工作循環,包括使用同 樣名稱的四張吸附床。 圖5是顯示了使用同樣名稱的使用包括5張吸附床的圖 2的修改型裝置的可能用的工作循環;和 圖6顯示了使用同樣名稱的使用具有六張吸附床的圖2 的修改型裝置的可能用的工作循環。 發明之詳細說明 本發明的優點方面將根據參照附圖進行的非限定性實 -8 ·* 本紙张尺度適用中國國( CNS ) Λ4^έ- ( 210 X 297^¾ ) ~ " (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁 " 訂 A7 A7 經濟部中央橾準局貞工消费合作社印裝 _,____ 五、發明説明(7 ) 施例在下面描述。 應當指出,上面所指的平行布置的吸附床的每一張均 可被分成許多順序布置的相同或不同的吸附劑層。本發明 所用的優選的吸附劑是鋁土。變壓吸附法所用的眾多不同 級的鋁土和不同處理的鋁土在本領域中是已知的。但是使 用其它吸附劑包括分子篩或吸附劑的混合床也在本發明的 範圍內,例如在進料端具有鋁土層而在產品端具有分子篩 層或矽膠層的床。當然混合床也可以裝有各種置於單獨容 器中的吸附劑,各容器順序地相連接。 正如圖1所示,常規的先有技術裝置是按照某一循環 工作的,在該循環中,第一張吸附床處於在線階段,接收 原料氣的輸入,並從中吸附至少一種污染組分,輸出淨化 後原料氣供後面使用。在第一張床處於在線或進料階段期 間,第二張床被減壓而將從該床去除的氣體做爲廢氣排 掉,然後通過低污染物(它應被從該床上去除)含量的氣體 的反向流動進行沖洗。最後,在第一張床處於在線階段期 間,第二張床通過來自第一張床出口的氣流再加壓。然後 第二張床經歷在線,第一張床經歷減壓、再生、淨化和再 加壓的過程。在每張床再加壓期間,產生加壓作用的來自 在線床出口氣流的轉向將引起到下游設備的原料氣的流動 出現大的波動。 按圖2所示的本發明所使用的裝置包括平行安置的三 張吸附床10、12和14。每張床均經各自的進口閥16、18 和20與連接到進料氣源24的進口岐管22相連接。每張床 本紙张尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(210X297公釐) —.1 (於 I II —訂— I 1^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 315310 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印装 A7 B7五、發明説明(8 ) 10、12、14的進口端也通過各自的排氣閥28、30、32 和第一排氣岐管26相連。每張床10、12、14的出口通過 各自的出口閥34、36、38和連接到下游處理設備如空氣 分離裝置42的冷箱的出口岐管40相連接。來自空氣分離 裝置的廢氮氣在進口 44處供應到圖2的裝置中並通過各自 的進口閥46、48、50和每張床10、12、14的出口端相 連以通過反向流動沖洗氣流。床10、12、14的各出口本 身之間通過平衡閥5 2、54和58互相連接。最後,床1〇、 12、14的進口端和出口端均通過閥60、62、64、66和 68和排氣消聲器70相連接。控制閥的操作以已知的方式 由適當的沒示出的控制裝置加以控制。 床10、12、14的分階段操作示於圖3中,其中可以看 到在每張床處於在線或進料階段(Feed)時,另一張床首 先被平衡(E),然後減壓(D),再然後沖洗(Purge)再 生,而第三張床經歷平衡和再加壓(Rep)步驟。在平衡階 段,將被減壓和沖洗的床和已被減壓和沖洗的的床相連接 以便讓氣體從高壓床流動到低壓床。這降低了再加壓所需 的氣體的實際量,同時具有降低轉換損失的附加效應,因 爲在圖1的流程中作爲廢氣排出的氣體被用來部分地再加 壓第三張床。 在圖3所示的工作循環的其它値得注意的特點是每張 床的再加壓階段和圖1所示的流程相比得到大的延長。這 當然是可能的,因爲有兩張以上的床的存在,它的好處是 再加壓過程可以成爲更平緩和恆定的速率過程,它可以幾 -1 〇 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 衣·
'1.T 本紙張尺度適用中國國家梂率(CNS ) A4規格(210X297公釐) A7 二__B7 _ 五、發明説明(9 ) 乎持績於整個裝置的工作時間內,這樣就極大地降低或淸 除了輸出置的波動。實際上,可以注意到在任何一張床的 整個在線時間內,另二床中的一床正在被再加壓或被平 衡,並加在此整個工作循環內當平衡不在進行時,有一床 在所有時間均處於再加壓狀態。 爲獲得圖3所示的工作循環,通過將水飽和並含環境 量的二氧化碳如300至600ppm和烴類的進口空氣在進口 24供應到PSA設備來操作圖2的裝置。所述氣流可首先經 閥16流過床10,此時床10處於較高的壓力下。 當床10的在線階段開始時,床12剛好離線,將與處 於低壓並剛再生的床14平衡。因此閥16和34是打開的, 同時所有其它的閥是關閉的。爲平衡床12和14,閥54和 58被打開。當壓力達到足夠平衡時,閥54被關閉,閥64 被打開以使床12經消聲器70被減壓。同時伴隨著閥58保 持敞開,閥68也被打開,從而使床14減壓,以恆定且較 低的流速流出產品氣體。 通過關閉閥64並打開閥48和30,床12現通過用干燥 無C02的氮氣沖洗而被再生。 經濟部中央梂準局負工消费合作社印装 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 當床12被再生時,伴隨著閥16和34的關閉,床1〇進 入離線狀態。床12的再生由閥48和30的關閉而結束,床 10和12通過打開閥52和54而進行平衡,再加壓後的床14 通過關閉閥58和打開閥20和38而進入在線狀態》 伴隨著床10接著是床14如所述的床12那樣^減壓和 再生,所述循環可以不斷地進行下去。 本紙張尺度速用中國國家標準(CNS ) Μ说格(210X297公釐) 經濟部中央揉準局負工消費合作社印装 A7 __^____B7_五、發明説明(10 ) 在所述循環的各階段裡,當沒有床用經閥68和來自 52,54和58的產品氣體再加壓時,產品氣體可經閥60排 放’或者不那麼可取地,通過降低通過在線床的流速,原 料氣可經閥62、64和66中的一個排放以維持純化後氣體 的恆定的輸出速度。或者,產品氣體可以適當的流速排 出。 可逡地,所述循環可設計成使各床的在線階段有所重 叠。在這種重叠階段中,也可進行排出以保持純化氣體的 恆定輸出。 容易理解,在圖2所示裝置的修改型中,也可以包括 平行的另外的床。這些另外床的加入使得工作循環以圖3 至6所示的情況進行》 在各圖中所述的各種工作循環的一個固定特徵是在兩 床之一被減壓前該兩張床應先被平衡,第二個固定特徵是 再加壓過程總是一被延長和逐漸進行的工作過程》但是隨 著更多床被採用,在任何給定的在線或進料階段期間,可 能有一張以上的床處於再加壓狀態。因此在圖5中,可以 看到在床1的進料階段中,床4和床5正處於再加壓狀態。 在任一張床的整個循環過程中,至少有另一張床在幾乎整 個循環時間內處於再加壓狀態,在所述循環的其餘時間, 至少有一張床正經歷平衡過程。 圖2所示的三床系統在平緩輸到,後面的低溫蒸餾系統 的氣流波動的效果由下列實施例加以展示。 Γ. · (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 本纸張尺度適用中國國家標牟(〇呢)八4規格(210父297公釐> A7 B7 五、發明説明(11 ) 實施例1 和常規的雙床系統相比,圖2所示的三床系統的效果 在下列工作條件下進行評價:在6巴壓力下輸送原料空 氣,作爲空氣流量的函數的淨化氣流量爲0.45,·進氣溫度 爲33°C,原料中’含C〇2 400ppm,吸附劑爲活性銘土, 淨化氣壓爲2 8 °C下1.1巴。循環順序分別如圖1和圖3所 示β空氣流量是2000Nm3/h,沖洗氣流量是 900Nm3/h »雙床系統的床體積是0.2m3。三床系統的床 體積是0.16m3,並假定80%的容積是空容積。下表顯示 了所述裝置輸出的空氣流量變化和轉換損失的計算結果。 表1 ---------_^笨-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印装 2床 PSA 3 床 P S A 減壓 S 3 0 3 0 淨化 S 925 775 平衡 S ΝΑ 3 0 再加壓 S 12 0 8 0 5 平行在線 S 5 5 在線 S 10 8 0 840 至冷箱的平均流量 N m 3 / h 1972 1988 至冷箱流量的最大下降率 % 13 0.7 至冷箱流量的最大下降率 (帶排空) % 13 零 轉換損失 % 1.4 0.7 訂 -13- 本纸張尺度適用中國鬮家揉準(CNS ) A4規格(210X297公釐) A7B7 315310 五、發明説明(12 ) 在表1所示的比較中,對二床和三床PSA系統來說., 其循環時間均已分別達到最佳。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 可以觀察到在PSA工作的任何平行在線階段時和平衡 時輸送到隨裝置後的空氣分離裝置的冷箱的產品流量的變 化可通過排出過剩流量被降至零從而可以以如上所述的和 再加壓時的同樣流速從在線床取出空氣。然而,轉換損失 被減半。 還可觀察到再加壓過程進行的時間佔循環時間的比例 爲:805/(805 + 3 0 )% = 96%,與此相反,雙床系統中 再加壓時間只佔整個循環的1 1 %。 三床PSA系統的工作的其它可能的循環時間顯示於下 面的表2中。 表2 2床最小 2床最大 3床最小 3床最大 在線 S 3 00 18 00 3 00 1800 平衡 S 10 12 0 10 12 0 再加壓 S 60 4 8 0 290 16 8 0 淨化 S 205 10 7 5 265 15 5 0 平行 S 5 5 5 5 減壓 S 20 12 0 2 0 12 0 經濟部中央輮準局負工消费合作社印装 儘管已參照其優選的實施例描述了本發明的情況,但 在本發明的範圔內仍可以進行許多變化和修改。 -14· 本紙張尺度適用中國國家揉率(CNS ) A4規格(210X297公釐)

Claims (1)

  1. A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1. —種用於對氣流的氣體組分進行變壓吸附的多床變 壓吸附裝置,所述裝置包括至少三張平行吸附床和調節通 過所述床的氣流從而P每張床經歷其各個週期爲在線、減 壓、再生和再加壓的重復的工作循環的機構,並使各床的 循環彼此間相對分階段進行,使得在一個工作循環中有一 張床再加壓時間佔至少5 0 %的時間。 2. 如申請專利範圍第1項的裝置,其中在一所述的工 作循環中有一張床的再加壓時間佔至少8 0 %的時間。 3. 如申請專利範圍第2項的裝置,其中在一所述的工 作循環中有一張床的再加壓時間佔至少9 0 %的時間^ 4. 一種用於對氣流的氣體組分進行變壓吸附的多床變 擊吸附裝置,所述裝置包括至少三張平行吸附床和調節通 過所述床的氣流從而使每張床經歷其各個週期爲在線、減 壓、再生和再加壓的重復的工作循環的機構,並使各床的 循環彼此間相對分階段進行,\使得至少在部分週期的一張 床處於在線狀態、另一張床處於被再生狀態、第三床處於 被再加壓狀態,從而使每張床在每一循環中再加壓所佔時 間爲在線時間長度的至少40% -。 5.如申請專利範圍第1項的裝置,其中所述調節氣流 的機構的運行可使每個循環內氣體從被減壓的床送到被再 本紙張尺度逍用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 笨. 訂 經濟部中央標準局月工消費合作社印装 315310 .六、申請專利範圍 加壓的床。 A8 B8 C8 D8 6. 如申請專利範圍第1項的裝置,其中所述調節氣體 流動的機構包括用來相互連接所述各床的氣流管道、.連接 每張所述床與所述氣體源和通過去除所述組分而得到純化 後的所述氣體的該裝置的出口的管道、可用來打開或關閉 各個所述管道的在所述管道中的閥裝置,按程序操縱所述 閥裝置以順序產生所述工作循環的閥控制裝置。 7. 如申請專利範圍第6項的裝.置,其中所述閥裝置被 程序控制,從而在每一循環中,關閉將被減壓的床與將被 純化的氣源及經純化的氣體的出口兩者之間的聯繫,保持 將被再加壓的床與將被純化的氣體源及純化後氣體出口兩 者的緊密聯繫,建立將被減壓的床和將被再加壓床之間的 聯繫從而讓氣體從將被減壓的床流到將被再加壓的床。 8. 如申請專利範圍第7項的裝置,其中所述閥裝置被 程序控制以保持將被減壓的床和將被再加壓的床之間的所 述聯繫直到在所述床中的壓力至少基本平衡。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 9. 一種用來對氣流的氣體組分進行多床變壓吸附的方 法,包括將所述氣體通過至少三張平行吸附床並調節通過 所述床的氣流從而使每張床均經歷其各個週期爲在線、減 壓、再生和再加壓的重復的工作循環,並使各床的循環彼 本紙張尺度逋用中國國家梂隼(CNS > A4说格(210><297公釐) 經濟部中央梂準局貝工消費合作社印«. A8 B8 , C8 : D8 六、申請專利範圍 此間相對分階段進行,使得在一個操作環中有一張床的再 加壓時間佔至少5 0 %的時間。 10.如申請專利範圍第9項的方法,其中有一張床經歷 至少8 0 %時間的再加壓階段。 1 Γ.如申請專利範圍第1 0項的方法,其中有一床經歷 至少90%時間的再加壓階段·> 12. —種用來對氣流的氣體組分進行多床變壓吸附的 方法,包括將所述氣體通過具有至少三張平行吸附床的變 壓吸附裝置,以使每張床均經歷其各個週期爲在線、減 壓、再生和再加壓的重復的工作循環,並使各床的循環彼 此間相對分階段進行,使得至少在部分時間週期裡一張床 在線、另一張床被復原而第三張床被再加壓、最終使每張 床在每個循環中的再加壓時間爲在線時間長度的至少40 %。 13. 如申請專利範圍第9項的方法,其中各床的循環彼 此間相對分階段進行,使得在部分週期裡一張床在線、另 一張床被減壓而第三張床被再加壓,並且在每個循環中氣 體從被減壓的床送到被再加壓的床。 14. 如申請專利範圍第13項的方法,其中氣體從被減 本紙浪尺度適用中國國家揉準(CNS ) A4况格(210X297公釐) (請先閲請背面之注意事項再填寫本頁) 訂 315310 鉍 C8 二 D8 六、申請專利範圍 壓的床输送到被加壓的床的過程一直延續到所述床中的壓 力至少基本上達到平衡爲止。 經濟部中央梂準局工消費合作社印製 --------A衣— (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 本紙张尺度遑用中國國家標率(CNS > A4泥格(210X297公釐〉
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