311106 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7 五、發明説明（3 ) 〔技術領域〕 本發明係有闋在基材上形成粒子層之方法.使基材凹 凸面之凹部上形成粒子層以使基材凹凸面平坦之方法及形 成有粒子層之基材，進一步詳細言之傜有關於基材上形成 附著性優越的粒子層之方法，於基材凹凸面平坦之方法及 附有著性優越的粒子層之基材。 〔背景技術〕 於基材上形成單分子膜之方法己知有籃牟耳投影（ Landmuir Project)法〇 在此方法，傺利用將於氣液界面上展開的單分子膜轉 印主基材上使單分膜形成於基材上，惟至於形成單分子膜 之化合物，則可用表示表面活性之化合物，例如分子内具 有親水性基及疏水性基之化合物。 相對於此，至於由一般並不表示活性之固體粒子於棊 材上形成粒子層之方法，則有下述方法為眾所周知的。 (1) 將固體粒子分散於分散媒體中而成的分散液，例 如聚苯乙烯球懸浮液（乳膠）展開於基板上之後，使分散媒 體蒸發以形成二次元結晶層，例如單粒子層之方法（表面， Vol.31，No. 5, 1993, P. 11-18)及 (2) 使固體粒子分散於分散媒體中而成的分散液，與 此分散媒體不互溶的液體相接觸，令分散液中之固體粒子 附箸於此二液界面以形成單粒子層，其次將此單粒子層移 至基材上，藉此於基材上形成單粒子層之方法（日本持開 平2-307571號公報）。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3 A7 3111Q6 B7 五、發明説明（4 ) 然而，以上述方法於基材上形成粒子層之情形.所得 的粒子層會有與基材間之附著性低劣等的問題。 另一方面，於具有積層構造之半導體元件、電子零件 等，以各自的製造過程會於基材上形成凹凸面，有需使此 凹凸面平坦之情形。 例如，具有多層配線構造之半導體元件，於各層之配 線部與非配線部之間有階段差，於形成上層配線層之前， 即有使此階段差予以平坦之必要。進一步，在使用於液晶 顯示裝置等之附有TFT之透明電極板，於其製造過程，則 基材表面與正突出的TF T間之階段差即有必要予以平坦化 〇 本發明之目的，有鑑於上述情形，乃提供出於基材上 形成與基材間之附著性優越的粒子層之方法，使基材凹凸 面平坦之方法及形成有附著性優越的粒子層之附有粒子層 的基材。 〔發明之掲示〕 與本發明有關的粒子層之形成方法，其特徵在於將經 以可形成黏合劑之化合物表面處理的固體粒子分散於分散 媒體中而成之分散液（I),展開於比重較前述分散媒體為 大且於與前述分散媒體不相溶的液體（H)上，其次自前述 分散液（I )去除前述分散媒體並使前述固體粒子配列於前 述液體（I)上形成粒子層後，經由將前述粒子層轉印至基 材上步驟以於基材上形成粒子層而成。 與本發明有關的基材之平坦化方法，其特徵在於將經 I I I I I - n I « 士 f 丁 Λ^、-α (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） A Λ7 B7 散 分 於 散 分 子 粒 體 固 的 m: 理 處 面 表 物 合 化 之 劑 合 { 黏 明成 說M/ly «>可 4 以 、 五 5 展溶 ， 相 I)不 (I體 液媒 散散 分分 述述 前 前 自與 次於 其且 ， 大 上為 }體 Π 丨媒 液散 散分 分述 之 前 成較 而重 中 比 體於 媒開 前基 於至 列印 配轉 子 層 粒子 體粒 固述 述前 前將 使由 並經 體 ， 媒後 散層 分子 述粒 前 成 除形 去上 I Η /IV /(V 液液 的述 子面 粒凸 的凹 成材 形基 所使 上以 面上 凸部 之凹 材材 基基 於 於 除層 去子 由粒 經成 , 形 後用 之利 上 ， 面 驟 凸步 凹之 材層 材 基 於 在 徵 待 其 材 。 基層 之子 層粒 子的 粒得 有而 附法 的方 關述 有上 明以 α 發 有 成本具 而與上 坦 面 平 表 方 成 形 之 層 子 粒 的 關 有 明 發 本 與 明 說 8]為32 明 } 圖 説(C, 單 ~ 面 簡a)圖 之 1 的 式圖用 圖 而 C 法 層 子 粒 有 附 示 表 為 粒 單 之 板 基 璃 玻 體 媒劑 散 合 分黏 1 4 ο tBV) 照(I層 微體子 顯液粒 子 ； 一 電 E 3 之 造I) 構(I子 子液粒 粒散體 之分固 分 一 一 部 I 2 層 子 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 體 經散為 具 將分體 以 於於媒 予 在散散 法 徵分分 方 特子述 成 其粒前 形 ，體較 之 法固重 層 方的bb 子 成理於 粒 形處開 J 的 之面展 態 關 層表， 形 有 子物I) 佳 } 明 粒合(I 最法發 的化液 的方本 關之散 採成與 有劑分 材而形就 明合之 基明之 ， 發黏成 ; 發層先 。本成而 5 施子首明與形中 實粒 説 可體 c C 的 以媒 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X29·/公釐） 5 311106 a7 A7 B7 五、發明説明（6 ) 大且於與前述分散媒體不相溶的液體（H)上，其次自前述 分散液（I )去除前述分散媒體並使前述固體粒子配列於前 述液體（I)上形成粒子層後，經由將前述粒子層轉印至基 材凹凸面上之步驟以於基材層上形成粒子層而成。 於形成上述分散液（I)之際，至於固體粒子可採用 Si〇2、Ti〇2、Zr〇2、Sic等之無機化合物粒子、聚苯乙烯 等之合成樹脂粒子。 此等粒子之粒徑，偽因應於基材上形成粒子層之目的 及形成有粒子層之基材之用途等而異，惟以約100A〜約 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
宜 為 m U 子 粒 有 成 形 及 的 巨 之 層 子 粒 成 形 上 材 基 於 應 因 外 此 棒採 、 » 狀子 球粒 如定 例 固 , 於 子至 粒其 體 尤 固 〇 之用 態 採 形予 種可 各子 , 粒 等體 途固 用之 之狀 材維 基纖 之或 層狀 粒 液體 散固 分將 的可 成 Si 而 ， 中層 體子 媒粒 散成 分形 於上 散材 分基 子於 粒法 狀方 球明 的發 備本 齊以 徑若 粒} I—一 用 V—- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 之 〇 等} I 此 ί 理液 。 處 散 上面分 材表配 基物調 於合可 成化中 形之體 層劑媒 子合散 粒黏分 單成於 勻形散 均可分 的以由 列 ，藉 排明 ， 性發後 則本子 規於粒 呈 體 子 固 形下 作用 用使 使可 可如 為例 物物 合 合 lb^ 之之 劑分 合 成 黏成 成形 形膜 可被 用之 所液 時布 此塗 於用 至膜 被 成 式 η - 4 内 式
為 R R 子 原 氫 為 數 可基 均烯 者乙 同或 不基 或香 .同芳 相 、 間基 互烷 機 有 的 示 表 \)/ 數 整 之 物 合 匕 相之彳 8矽 自 各 示 表 3 ο 為 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X29*7公釐） 6 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（7 ) 至於此種有機矽化合物，具體而言可列舉出計有四甲 氣基矽烷、四乙氧基矽烷、四異丙氧基矽烷、四辛基矽烷 、甲基三甲氣基矽烷、甲基三乙氧基矽烷、乙基三乙氣基 矽烷、甲基三異丙氧基矽烷、二甲基二甲氧基矽烷、甲基 三丁氣基矽烷、辛基三乙氣基矽烷、苯基三甲氧基矽烷、 乙烯基三甲氣基矽烷、二乙氧基矽烷、三乙氧基矽烷等。 除上述有機矽化合物以外，本發明之可形成黏合劑之 化合物，亦可採用二丁氣基雙乙醯基乙醯錯塩、三丁氧基 單乙醯基乙酮醯基結塩、二丁氧基雙乙醯基乙酮醯基鈦塩 等之/3 -二酮化合物、辛酸錫、辛酸鋁、月桂酸錫等之羰 酸金屬塩等。 進一步，本發明之可形成黏合劑之化合物，自與固體 粒子間之反應性較高之點觀之，較宜採用聚矽氨烷（
Si 1 a z a n e) 〇 利用此種可形成黏合劑之化合物作固體粒子之表面處 理，例如可以下述方法施行： a)於使固體粒子分散於適當的分散媒髏，例如醇類之 有機溶劑中而成的分散液中，添加上述可形成黏合劑之化 合物後，在分散媒體之沸點以下的溫度使與可形成黏合劑 之化合物反應的方法， b )使固體粒子分散於含有可形成黏合劑之化合物之分 散媒體中之方法，或 c )固體粒子之分散液為的矽溶膠（S丨1 i c a s ο 1 )等之膠 體粒子分散液時，直接或視必要以有機溶劑取代分散媒體 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210 X 297公釐） 7 --------- ^------'玎 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（8 ) 後，於此膠體粒子分散液内添加可形成黏合劑之化合物之 方法。 於上述表面處理之際，可形成黏合劑之化合物，以黏 合劑換算，對每1重量分固體粒子以採用0.01〜0.5重量分 之量為宜。可形成黏合劑之化合物之量在未滿0.01重量分 之情形，使分散液（I)展開於液（Π)上之際，分散液 (I )中之固體粒子有凝集現象或於液（E)中沈降的現象。 反之，若超過0.5重量分之情形，由於過量之黏合劑形成 被膜，會妨礙粒子層之形成。 將於以本發明之上述方法對固髏粒子以可形成黏合劑 之化合物予以表面處理之際而得的分散液在保持原有狀態 下亦可使用作分散液（I),惟自固體粒子之分散性，使分 散液（I )展開於液（1 )上之後之分散媒體之揮發性、蒸發 性等觀點觀之，以酮条、醚条，或芳香族条之有機溶劑取 代分散媒體後，採用作分散液（I)較宜。 至於取代此種分散媒體較佳的有機溶劑，具體的可列 舉出計有甲乙酮、甲異丁基酮、環已烷、二甲基醚、二乙 基醚、乙烷、辛烷、甲苯、二甲苯等。 分散液（I)之固體粒子之濃度，以在5〜40重量％之 範圍為宜。此濃度若未滿5重量％之情形，則自展開於液（ H )之刀分散液（I )為去除分散媒體所需的時間卽有變長 的傾向，反之若超過4 0重量％之情形，則分散液（I )較難 順利的展開於液（H )上，或厚度方向之粒子層之粒子數會 有局部性變化且於粒子層上形成階段差之情形。
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） R , 装 訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 311106 A7 B7 五、發明説明（9 ) 於本發明則使用比重較上述分散液（I )之分散媒體為 大且與此分散媒體不相溶的液體（I)。 至於此種液體（H),若為比重較上述分散媒體為大且 與此分散媒體不相溶的液體並未予待別限制，惟自容易處 理方面觀之，則以水為宜。 本發明傜經由下述步驟而於基材上形成粒子層。 (i )例如利用徐徐滴落分散液（I )於液（H )上等之方 法，如圖1 ( a )所示般使分散液（I )展開於液（I )上。 (ii )其次以使於分散液（I )與液（E )間之界面上不生 成混亂的方法去除分散液（I)中之分散媒體1。至於此種 分散媒體1之去除方法，則採用在常壓下或減壓下使分散 液（I)中之分散媒體1揮發等之方法。如此若自液（E)上 之分散液（I )去除分散媒體1，則開始去除分散媒體1至去 除分散媒體1結束為止之間使固體粒子2排列於液（I )上， 如圖1 ( b )所示般形成粒子層了。 (ili)經由將此液（E)上之粒子層轉印至基材上，如圖 1 ( c )所示般於基材5上形成粒子層了。 如此將粒子層轉印至基材上之方法，若為不破壞粒子 層之方法時並未予特別限制，可採用例如事先將基材沈置 於己數收容有液（H )之液槽底部，於上述步驟（ίί )結束後 拉起基材之方法，事先將基材沈置於己收容液（I )之液槽 底部，於上述步驟（U )結束後自液槽徐徐抽拉液（Ε )之方 法等等。 (iv )進一步，經由將己形成此一粒子層之基材予以乾 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） --------- 裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 9 A7 B7 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 五、發明説明 ( 10) 1 I 燥 ，視必要時進- -步予以燒結， 在正形成粒子層之固體粒 1 1 | 子 間 利 用 黏 合 劑 予 以 黏 合 之 同 時 » 使 黏 合 劑 及 基 材 結 合 ) 1 1 粒 子 層 與 基 材 間 之 附 著 性 即 變 成 良 好 .0 S. 1 1 請 I C 使 基 材 凹 凸 面 平 坦 之 方 法 ] 先 閱 1 I 讀 1 1 其 :k 1 就 與 本 發 明 有 關 的 基 材 凹 凸 面 之 平 坦 化 方 法 予 背 ιέ 1 1 之 1 1 以 具 體 的 説 明 0 注 意 1 1 事 1 與 本 發 明 有 關 的 基 材 凹 凸 面 之 平 坦 化 方 法 > 偽 以 與 上 項 再 填 述 方 法 同 法 於 基 材 之 凹 凸 面 之 形 成 粒 子 層 ， 其 次 經 由 去 除 寫 本 裝 頁 1 基 材 之 凸 部 形 成 的 粒 子 層 之 步 驟 使 基 材 凹 凸 面 平 坦 為 待 徵 1 1 0 其 中 > 基 材 之 凸 部 上 形 成 的 粒 子 層 t 可 用 研 磨 等 手 段 1 1 1 予 以 去 除 〇 訂 1 如 此 於 基 材 之 凹 凸 面 上 形 成 粒 子 層 其 次 若 去 除 於 基 1 I 材 之 凸 部 上 形 成 的 粒 子 層 時 > 則 以 僅 於 基 材 凹 部 以 黏 合 劑 1 1 I 黏 合 的 粒 子 層 被 埋 入 的 狀 態 殘 存 著 ) 使 基 材 凹 凸 面 平 坦 〇 1 » C 附 有 粒 子 層 之 基 材 ) V- * > 1 與 本 發 明 有 關 的 附 有 粒 子 層 之 基 材 偽 以 於 基 材 表 面 1 J 上 具 有 以 上 述 方 法 而 得 的 粒 子 層 為 特 徵 0 1 1 於 本 發 明 9 至 於 基 材 雖 然 可 採 用 以 上 述 方 法 在 表 面 上 1 I 可 形 成 粒 子 層 之 任 基 材 惟 具 體 而 —\ . » 若 予 具 體 的 例 示 1 1 I 出 與 本 發 明 有 關 的 附 有 粒 子 層 之 基 材 時 9 則 如 下 所 述 ，計 1 1 I 有 : 1 1 以 上 述 方 法 例 如 於 表 面 上 具 有 由 氣 化 矽 形 成 的 粒 子 層 1 1 之 局 密 度 記 錄 光 碟 或 磁 碟 > 1 1 本纸張尺度適用中國國家標準（CMS ) Λ4規格（210X297公釐） 1 〇 A7 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7 五、發明説明（1 } 以上述方法例如具有以氣化鈦而成的粒子層所形成的 徹透鏡之CCD元件， 以上述方法例如於表面上具有由氧化矽形成的粒子層 之CRT、液晶顯示裝置等之顯示部前面板， 以上述方法於各層之非配線部上例如形成由氣化矽而 成的絶緣性粒子層，具有使配線部與非配線部間之階段差 予以平坦化的多層配線構造之半導體元件， 以上述方法於彩色護鏡突出的基材表面上例如形成由 氧化矽而成的絶緣性粒子層，附有使基材表面與彩色護鏡 部位間之階段差予以平坦化的彩色顯示用液晶顯示元件之 彩色護鏡之透明電極板，及 以上述方法於薄膜電晶體T F T ( T h i n F i 1 tn T r a in s i s t o r*)突出的基材表面上例如形成由氣化矽而成的 絶緣性粒子層，附有使基材表面與T F T部位間之階段差予 以平坦化的液晶顯示裝置用TFT透明電極板等， 與上述之本發明有闋的附有粒子層之基材，不論何者 粒子層與基材間之附箸性均優越。 進一步，於表面上具有上述粒子層之高密度紀綠用光 碟或磁碟，偽組織（featuring)特性方面優越，於表面上 具有上述粒子層之顯示部前面板在防止反射性能方面優越 0 〔發明之功效〕 依本發明，偽提供具有附著性優越的粒子層之附有粒 子層之基材，亦可於基材上形成固體粒子呈現規則性排列 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 11 I 1 - I n n m I —— I —. . I I 丁 -¾ 、T (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) S111Q6 A7 B7 五、發明説明（l2) 的單粒子層。 此外，依本發明，可以各種固體粒子形成粒子層，採 用適當的固體粒子，例如氧化矽、氣化鈦、氧化鋁等，以 於基材上形成粒子層，可得霧濁度小、透光率大且防止反 射性能等優越的附有粒子層之基材。 進一步，若依本發明，可將粒子層僅埋入於基材凹凸 面之凹部内，由此可使基材凹凸面予以平坦化。 〔實施例〕 以下利用實施例説明本發明，惟本發明並非受此等實 施例所限定者。 ， 〔實施例1 〕 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 於市售之機矽溶膠（觸媒化成工業（株）製造，商品名·· Oscar,平均粒徑300um,濃度10重量％，溶劑乙醇）l〇〇g 内添加聚矽氨烷（東燃（株）製，商品名：PHPS,濃度10重 量％，溶劑二甲苯）20g,在50°C進行氣化矽粒子之表面處 理。其次以Μ 1 B 1(取代液中之溶劑調配成2 0重量％之氣化矽 粒子分散液。將抽拉裝置及於其上載放的玻璃基板浸漬於 水槽内部之水中。將上述20重量％氧化矽粒子分散液滴lg 落於此水面上並靜置2分鐘。於其間使M1BK揮發，於永面 上形成氧化矽單粒子層。其後，徐徐地以抽拉裝置拉取玻 璃基板將氧化矽單粒子層轉印至玻璃基板上，在300¾對 此一附有粒子層之玻璃基板燒成30分鐘。 其次，對此一附有粒子層之玻璃基板，如下法所示評 估粒子層之單層性，對基板之附著性、附有粒子層之玻璃 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 12 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 13) 1 I 基 板 之 透 光 率 % 光 反 射 率 及 濁度 。此 外， 在 一 附 有 粒子 1 I 層 之 玻 璃 基 板 之 aa 早 粒 子 層 部 分 之電 子顯 微鏡 昭 相 (1 5， 000 1 1 1 1 倍 )如圖2 所示。 1 I 請 1 I C 粒 子 層 之 DD 早 層 性 3 先 閱 1 I 1 I 以 掃 瞄 型 電 子 顯 微 鏡 及 顯 微鏡 觀察 氣化 矽 粒 子 層 是否 背 ίδ 1 1 之 1 為 早 層 或 多 層 f 對 多 層 部 分 較 少者 即判 斷成 良 好 0 意 1 事 1 C 粒 子 層 對 基 板 之 附 著 性 ] 項 再 ! 填 利 用 膠 帶 剝 離 試 龄 *SEv*> 以 百 視 方式 觀察 氧化 矽 粒 子 層 之剝 寫 本 裝 頁 1 離 狀 態 0 1 C 附 有 粒 子 層 之 玻 璃 基 板 之 透 光率 1 1 以 霧 濁 度 電 腦 (日本S u g e試驗機（株 )製造） 測 定 在 1 1 5 5 0 u tn之透光率。 訂 1 ( 附 有 粒 子 層 之 玻 璃 基 板 之 光 反射 率] 1 1 以 分 光 光 度 計 (曰立製作所（株 )製造）测 定 在 5 5 0 u m之 1 I 光 反 射 率 0 1 > C 附 有 粒 子 層 之 玻 璃 基 板 之 霧 濁度 3 1 以 霧 濁 度 電 腦 (日本S u g a試驗機（株 )製造） 測 定 在 1 1 5 5 0 u m之擴散透光率及平行透光率， 依下式予以計算。 1 I (擴散透光率/ 平 行 透 光 率 )X 1 0 0, 結果 如 表 1 所 7P 〇 1 I C 實 施 例 2 ] 1 1 1 於 市 隹 口 之 有 機 矽 溶 膠 (觸媒化场 艺工業（株 )製造， 商品 1 1 名 ：0 S C a r 1 平 均 粒 徑 3 0 0 u ID , 濃度1 0重量％ , 溶劑乙醇 1 1 1 OOg 内 添 加 四 乙 氧 基 矽 烷 (多摩化學工業（株 )製造， 商品 1 1 名 ： e t hy I Si 1 i c a t e 2 8 , 濃度10重量％，溶劑乙醇） 2 0 g , 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 1 3 A7 B7 經濟部中央標準局目〈工消費合作社印製 五、發明説明 ( 14) 1 I 3 0 重 量 % 氨 水 Is 作 為 水 分 解 觸 媒 > 在 50 進 行 氣 化 矽 粒 子 1 1 I 之 表 面 處 理 1 0小 時 t 其 次 除 以 Ml 取 代 液 中 之 溶 劑 調 配 成 1 1 I 20 重 量 % 之 氣 化 矽 粒 子 分 散 液 體 外 餘 與 實 施 例 1 同 法 製 造 1 | 請 1 I 附 有 粒 子 層 之 玻 璃 基 板 對 此 一 附 有 粒 子 層 之 玻 璃 基 板 » 先 閱 1 I 讀 I 評 估 粒 子 層 之 aa 早 層 性 i 對 基 板 之 附 著 性 附 有 粒 子 層 之 玻 背 1¾ 1 | 之 1 璃 基 板 之 透 光 率 光 反 射 率 及 霧 濁 度 0 注 意 1 1 事 1 其 結 果 如 表 1 所 示 〇 項 再 ! 填 C 實 施 例 3 ] 寫 本 装 頁 1 於 市 售 之 有 機 矽 m (觸媒化成工業（株 )製造， 商品名： 1 0 s c a r , 平均粒徑300 u m t 濃 度 1 0 重 量 % i 溶 劑 乙 醇 )1 00 g 1 1 内 t 添 加 二 丁 氧 基 雙 乙 酿 基 乙 酮 醯 基 鈦 塩 (松本交商《株 ) 1 1 製 造 t 商 品 名 TC -1 00 f 濃 度 1 0 重 量 % t 溶 劑 乙 醇 )20g 贵 訂 1 在 50 V 進 行 氧 化 矽 粒 子 之 表 面 處 理 1小時， 其次除以Μ 1 BK 1 I 取 代 液 中 之 溶 劑 調 配 成 20 重 量 % 之 氧 化 矽 粒 子 分 散 液 外 餘 I I 與 實 施 例 1 同 法 製 造 附 有 粒 子 層 之 玻 璃 基 板 9 對 此 一 附 有 1 I 粒 子 層 之 玻 璃 基 板 評 估 粒 子 層 之 ats 卑 層 性 對 基 板 之 附 著 V ,-1 性 > 附 有 粒 子 層 之 玻 璃 基 板 之 透 光 率 光 反 射 率 及 霧 濁 度 1 1 1 0 其 結 果 如 表 1 所 示 〇 1 1 | C 實 施 例 5 3 1 I 於 市 售 之 氣 化 鋁 溶 膠 (觸媒化成工業（株 )製造， 商品 1 1 名 C a t a 11 0 1 d - AS 9 平 均 粒 徑 10 X 1 00 A 1 '/Ά m 度 1 0 重 量 % 1 溶 1 1 劑 乙 醇 )1 00 g , 添加硬脂酸鋁（ ΙΆ m 度 10 重 量 % 溶 劑 乙 醇 ) 1 1 20 g， 在5 o°c進行氣化鋁粒子之表面處理1 小時， 其次除 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 14 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（l5) 以M1BK取代液中之溶劑調配成10重量％之氣化鋁粒子分散 液外餘與實施例1同法製造附有粒子層之玻璃基板，對此 一附有粒子層之玻璃基板，評估粒子層之單層性，對基板 之附著性，附有粒子層之玻璃基板之透光率，光反射率及 霧濁度。 其結果如表1所示。 〔實施例6 〕 於市售之乳膠分散液（日本paint (株）製造，商品名： microgel,平均粒徑300um，濃度10重量％，溶劑乙醇） 1 0 0 g内，添加聚矽氨烷（東燃（株）製造，商品名：Ρ Η P S , 濃度10重量％，溶劑二甲苯）20g,在50 °C進行乳膠粒子之 表面處理5小時，其次除以Μ 1 B K取代液中之溶液調配成1 〇 重量％之乳膠粒子分散液外餘與實施例1同法製造附有粒 子層之玻璃基板，對此一附有粒子層之玻璃基板，評估粒 子層之單層性，對基板之附著性，附有粒子層之玻璃基板 之透光率，光反射率及霧濁度。 其結果如表1所示。 〔比較例1 〕 除以Μ 1 Β Κ取代市售之有機溶矽_(觸媒化成工業（株） 製造，商品名：Oscar,平均粒徑300um,濃度10重量％， 溶劑乙醇）之溶劑以諏配2 0重量％之氧化矽粒子分散液以 外，餘與實施例1同法製造附有粒子層之玻璃基板，對此 一附有粒子層之玻璃基板，評估粒子層之單層性，對基板 之附著性，附有粒子層之玻璃基板之透光率，光反射率及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 15 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
Siiioe五、發明説明（1句 霧濁度。 其結果如表1所示。 A7 B7 例以名 較除品 比 商 Ρ 度 本濃 曰 ， ( m 液OU 散 3 分徑 0 粒 乳均 之平 售 ， 市el 代OS 取cr 造 製 \—/ 株 % 量 重 外 一 以此 液對 散 ， 分板 子基 粒璃 膠玻 乳之 之 層 %子 量粒 重有 20附 配造 調製 以法 劑同 溶 1 之例 }施 ¥ ί 乙與 __- ®餘 溶 附度 之濁 板霧 基及 對率 I 射 性光 層 ， 單 率 之光 層透 子之 粒板 估基 評璃 , 玻 板之 璃層 玻子 之粒 層 有 子附 粒 ， 有性 附著 表 如 果 結 其 示 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-、1T 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨Ο X 297公釐） 經濟部中央標準局f〈工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（Μ 表1 粒 子 靥 單層性 對單板之 附著性 透光率 {%) 反射率 (96) 霧濁度 (96) 賁施例1 良 良 95 0.8 0.9 賁施例2 良 良 94 0.9 1.0 實施例3 良 良 95 0.9 0.9 賁施例4 良 良 90 7.5 0.3 實施例5 良 良 92 4.8 0.0 實施例6 良 良 92 5.3 1.4 比較例1 不良 不良 93 1.5 1.4 比較例2 良 不良 90 5.5 1.9 I n n i I n n ! « 士 h I I I 丁 5 、va (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210 X 297公釐） 17 S11106 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（1》 由表1可得知，與本發明有關的附有粒子層之基材， 係與基材間之附箸性方面優越，具有粒子呈規則性排列均 勻之的單層之粒子層。 此外，可知具有較高的光學性能，適合用作高密度記 錄用光碟、磁碟、CCD元件、光學元件、CRT或液晶顯示元 件之顯示前面板。 〔實施例7 〕 於市售之有機矽溶膠（觸媒化成工業（株）製造，商品 名：oSCAR,平均粒徑300um,濃度10重量％，溶劑乙醇， 100g内添加聚矽氨烷（東燃（株）製造，商品名：PHPS,濃 度10重量％，溶劑二甲苯）20g,在50t進行氧化矽粒子之 表面處理5小時。其次以Μ 1 B 1(取代液中之溶劑以調配2 0重 量％之氧化矽粒子分散液。採用典型的形成10.6u有之配 線階段差之半導體元件作為基材，與實施例1同法在300 。0經30分鐘之燒成步驟，以得附有氧化矽單粒子層之半導 體元件。 將此一附有氧化矽單粒子層之半導體元件固定於研磨 裝置，選擇性的研磨去除配線上之氧化矽粒子後，以形成 氣化矽条層間絶緣膜及上層配線。 以掃瞄型電子顯撤鏡觀察如此形成的多層配線構 造物之截面時，上述氧化矽糸層間絶緣膜顯示出優越的平 坦性。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 18