TW307052B - - Google Patents

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經濟部f央橾準局員工消費合作社印裝 3〇^〇52 Λ7 B7 五、發明説明（I ) 【發明背景】 1 .發明領域 本發明是有關一種壓®陶瓷及其製造方法，而該壓霣 陶瓷是用於其必需具有抗熱性之表面安装型式的壓電元件 〇 2 .相關技》之敘述 當壓電陶瓷被用於陶瓷濾波器及類似者時，廣泛 被使用的壓霣陶瓷材料為由給鈦錯酸邇（lead zirconate titanate) (PZT 或 pb(TixZri-x) 03 )或類似之材料為 主所組成。用於陶瓷濾波器的材料所具有良好的特性之一 為組群延羥時間（G D T ).其待性為平滑且相失輿很小 ，而該陶瓷材料之機械僳數Q m必須很小才能達到上述恃 性。為了改進該陶瓷之蹏電待性.不同的少量的注入物已 注入該材料内。已知的材料包含那些由注入鈮氱化物、銻 氧化物、妲氣化物或其它類似之材料進入鉛鈦誥酸鹽所製 成的材料及那些由稀有土元素如锶、鋇、鈣及钃去取代結 酸鹽及鈦的鉛化物中的部分鉛原子所製成的材料。 然而，壓電陶瓷具有上述之低Qm值有一缺點，為雖 然該陶瓷具有一高的居褚點當溫度升高時在共振及反共振 頻率時仍會承受偏移，其原因為當在該臛電陶瓷兩端所形 成的電極開路時會造成霉氣機娀結合係數K的降低。而此 一現象己造成一問題即是該陶瓷被用於表面安装型式之濾 波器之元件時，當安装材料流動而暴露於离溫（約2 5 0 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公雄） (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 30705^ 經濟部中夬樣準局員工消费合作社印裝 A7 B7_五、發明説明（2) °c )時，其濾波待性會降低。 將具有小的Qm偽數及高居播黏的壓霣陶瓷结晶邊界 内待定的阻抗降低可改善該壓電陶瓷材料的抗熱性的解決 之道己被提出，而該方法為將錳化合物由壓電陶瓷的表面 熱擴散進入其内以造成錳氣化物的不平均分佈而以高密度 集中在结晶邊界層内。例如參考J P — A — 6 — 1 655 ,JP — A — 1656 及 JP — A—1657 等案。 然而，從製迪的覼點來看，有些問題存在。其一為從 壓電陶瓷的表面將錳化合物熱擴散進入其内，造成了已被 燒結過的壓電陶瓷内结晶邊界結携的改變，其二為如果在 製程中蒸發的關傣造成壓電陶瓷内鉛原子之量的變動，或 是如果熱孃散爐内的溫度分配太高的話.則會造成待性上 巨大的改變。因此，要想以很穩定的方法做大量的熱擴嫌 非常因難，造成了在結晶邊界部分内持定阻抗的減少量不 足以改善抗熱性。 因此，本發明之目的為提供一種壓霄陶瓷以解決上述 之問題，其係具有一很小的機械傺數Qm和良好的抗熱特 性，例如，一種壓電陶瓷用於其適用於表面安装之濾波元 件，且本發明之目的偽提供一種可大董及棰定地製作該壓 霣陶瓷的方法。 【發明槪述】 一値相關申請案（申請案號為_ .1996 ;P/107- 213)掲示了 一種壓霄陶瓷 -4- 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Λ4規格(210X 297公筇) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) B7 \)/ λ/ /V 明説 明發五 氱改 鉛對 種態 1 狀 了 瓖 含玻 包 一 邐成 内形 層内 界層 邊界 晶邊 結晶 在结 , 在 外現 物發 化者 氣明 錳發 了此 除 C 其物 , 化 少 至 瓷 陶 霣 壓 種 1 了 供 提 點 0 觀 效傾 有一 亦第 性的 持明 的發 瓷此 陶據 電依 壓 善 層密 界的 邊物 晶化 结氣 於錳 在内 激粒 待晶 其之 , 瓷 物陶 化電 氣壓 之在 鈦比 及度 鎔密 、 的 鉛物 種化 一 氣 了錳 含的 包内 瓷在 陶積 霣沉 Is料 。造材 内製璃 層種玻 界 一 一 邊了及 晶供物 结提合 該，化 於黏的 態觀鐙 狀個種 璃二 -玻第於 一 之在 在明激 存發持 且本其 .據 高根法 為 方 度 的 陶些 霣這 壓將 之程 物過 化的 氧理 的處 成熱 組種 鈦一 及行 錯執 鉛著 由接 種 ， 1 上 了面 含表 包的 少物 至合 種化 1 瓷 壓 在 較 〇 度 分密 部的 界物 邊化 晶氯 結錳 的的 内佈 瓷分 陶所 壓層 到界 散邊 擴晶 料結 材在 的為 積因 沉 被 晶 的 結熱 該抗 於了 態善 狀改 璃而 玻低 一 降 在被 存以 且可 . 抗 高 阻 為定 度待 密内 的瓷 内陶 粒電 晶壓 内 ， 瓷内 。 陶界性 電邊待 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央樣準局貝工消费合作杜印製 程時 過的 的行 Wilt 朝 處上 熱料 當材 .’ 璃 法玻 方及 産物 生合 之化 明錳 發的 本面 據表 依瓷 ,陶 步電 _ 壓 進在 更後 沉 在 〇 移 上的 面分 表部 的界 瓷邊 陶及 電晶 S 結 在内 化瓷 熔陶 時電 度壓 溫向 散物 擴合 在化 料錳 材得 璃使 玻象 此現 , 述 候上 擴 地時 均少 平很 許鉛 允的 也分 内部 圍界 範邊 度晶 溫结 的内 大瓷 I 陶 在霣 , 壓 此 當 因使 .gil 易 -容外 得此 爱 。 動散 物 合 化 錳 的 内 0T or·- 邊 晶 结 至 散 擴 許 允 料 材 璃 玻 的 面 表 在 化 熔 5 本紙浪尺度適用中國國家標牟（CNS ) Λ4規格（2丨0 χ π?公廣） A7 B7 經濟部中央橾隼局員工消费合作社印製 五、發明说明 ( «V ) 1 1 被 提 升 0 1 1 | 相 對 的 9 P Z T 型 式 壓 霣 陶 瓷 内 的 待 定 阻 抗 可 以 被 降 1 1 低 以 改 善 其 抗 熱 待 性 9 且 一 種 錳 的 化 合 物 可 以 以 一 種 大 量 請 先 1 1 且 穩 定 的 方 式 熱 擴 散 至 壓 霣 陶 瓷 内 而 不 被 擴 散 瀘 内 變 動 的 閱 背 1 | 溫 度 • 壓 η 陶 瓷 内 給 原 子 之 量 的 曼 動 及 结 晶 邊 界 结 構 及 歷 面 之 1 注 1 霉 陶 瓷 元 件 改 變 的 影 〇 意 事 1 項 I 因 此 t 一 種 壓 霣 陶 瓷 係 可 被 提 供 參 其 具 有 —· 小 的 機 械 填 % 數 Q m 、 大 的 霣 氣 機 械 结 合係 數 K 、 及 因 為 降 低 待 定 阻 寫 本 頁 Γ 抗 而 來 的 良 好 抗 熱 待 性 • 譬 如 一 種 用 於 濾 波 元 件 的 壓 電 陶 1 | 瓷 > 其 適 合 用 於 表 面 安 装 其 可 以 以 一 種 穩 定 的 方 法 生 産 〇 1 I C 圖 式 之 藺 單 說 明 ] 1 1 訂 1 圖 一 顯 示 根 據 本 發 明 第 値 實 例 中 特 定 阻 抗 P 相 對 於 擴 散 溫 度 的 變 化 〇 1 1 圖 二 顯 示 根 據 本 發 明 第 — 個 實 例 中 電 氣 機 械 结 合 偽 數 1 I K 相 對 於 擴 散 溫 度 的 變 化 〇 1 1 圖 三 顯 示 根 據 本 發 明 第 二 値 實 例 中 待 定 阻 抗 P 相 對 於 1 擴 散 溫 度 的 變 化 0 1 1 圖四 顯 示 根 據 本 發 明 第 二 個 資 例 中 霣 氣 機 械 結 合 數 1 I K 相 對 於 擴 散 溫 度 的 變 化 〇 1 1 C 較 佳 實 施 例 之 詳 細 説 明 ] I 1 現 在 開 始 說 明 本 發 明 之 第 一 倾 較 佳 實 施 例 〇 1 1 首 先 ， 一 種 錳 化 合 物 及 玻 调 材 料 沉 積 在 壓 電 陶 瓷 組 合 1 I 表 面 上 且 將 此 沉 積 物 熱 擴 散 至 6 - 结 晶 部 分 的 壓 電 陶 瓷 被 製 造 1 1 I 1 本纸張尺度適用t國國家橾孪（CNS ) Λ4規格（210X29?公趫）

經濟部中央橾隼局貝工消费合作杜印$L A7 B7 五、發明说明（s) 出來。 持別地，PbO, s Γ 0 . L a 2 〇 3 , Ti02 及 Zr〇2的粉末被準備當作起始材料，而這些材料為構成 一種具有小的機械像數Q m的®霣陶瓷的材料。那些材料 被量測重量以得到表示為（P b 0 . 3 5 S r 〇 .。3 La〇 ·〇 2 ) (Zr〇 .5 1 T i〇 .4 9 ) O3 的陶瓷 ，並與水混合後用球型的磨子進行乾式的混合。 形成的混合物乾了之後，以8 0 Ot：至9 0 Ot的溫 度煅燒兩小時。此煅燒過^材料與少置的乙烯聚合物酒精 與水混合後以1 000kg/cm2的壓力進行鏞樓。形 成的鏞模元件以1 1 00至1 250 °C的通度範困進行燒 烤兩小時以得到尺寸大小為2 0 X 3 0 m m且厚度為1 m m 之形狀為矩形薄片的陶瓷。 同時，MnCOs的粉末及硼矽酸塩的鉛玻璃被置测 重置而分別得到滿足重量比例為3 : 7及5 : 5的預設量 ，並與漆混合後産生兩種形式之塗謬以進行熱攘散。 接著，這兩種形式的塗暖以網板印刷的方式分別加於 如上述陶瓷的表面上。將它們乾燥後，在溫度範園7 50 /lOOC内擴散鍤化合物的熱處理過程執行兩小時。這 些陶瓷然後經過刨光至〇. 3至0· 8mm範園的厚度。 銀的電極被加至陶瓷兩端的表面上而加以烘乾。接著，在 绝緣油内應用在2至3 k v/mm的電場的極化過程被執 行以得到壓霣陶瓷，（溫度範圍為室溫至1 〇 〇 t )。 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210x297公釐） ---------(II (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -5 B7 經濟部中夬橾隼局貝工消費合作杜印策 五、發明説明 ( y ) 1 1 1 這 形 成 的 霄 壓 陶 瓷 被 切 割 成 5 X 5 m m 的 方 形 板 • 且 1 I | 其 特 定 阻 抗 P 和 霣 氣 機 械 結 合 偽 數 K 在 展 開 振 動 的 狀 態 下 1 1 1 被 量 潮 〇 讀 先 1 1 接 著 說 明 本 發 明 之 第 二 傾 實 施 例 〇 閱 讀 背 1 I - 種 壓 電 陶 瓷 可 藉 由 將 對 鏟 化 合 物 及 鉛 形 式 之 玻 逋 執 面 之 1 注 1 行 熱 處 理 而 播 得 的 混 合 物 放 在 壓 電 陶 瓷 化 合 物 的 表 面 » 並 意 事 1 項 I 加 以 熱 處 理 以 將 此 被 沉 積 物 霣 擴 散 至 结 晶 邊 界 部 分 而 製 成 A X % 本 1 頁 1 待 別 地 < 一 種 陶 瓷 具 有 矩 形 薄 板 的 形 狀 * 尺 寸 為 2 0 1 I X 3 0 m m 厚 度 為 1 m m > 事 先 以 與 第 一 種 實 例 相 同 的 方 1 1 | 式 準 備 好 0 1 1 訂 1 此 時 % 藉 由 量 取 Μ η C 〇 3 和 鉛 型 式 的 玻 璃 之 重 量 • 再 對 它 們 以 熱 處 理 的 方 式 在 世墒 内 加 以 熔 化 和 烊 火 以 獲 得 1 1 一 種 包 含 錳 混 合 物 的 玻 Trtr 嫌 0 此 混 合 物 以 與 上 述 第 一 種 實 例 1 1 相 同 的 方 法 和 漆 結 合 以 得 到 用 於 熱 擴 散 的 塗 睡 〇 本 質 上 經 1 1 過 碎 火 的 混 合 物 不 是 均 勻 無 结 晶 的 • 且 > 例 如 • 它 可 能 已 1 含 錳 化 合 物 和 矽 化 猛 或 類 似 之 物 η > 例 如 — 棰 矽 化 合 物 其 1 I 為 玻 璃 材 料 的 組 成 分 子 〇 1 1 I 其 次 » 将 以 此 方 式 m 得 用 於 m 熱 擴 散 的 塗 m 以 網 板 印 1 1 刷 的 方 式 加 至 陶 瓷 的 表 面 » 其 後 以 與 第 — 種 寶 例 相 同 之 方 1 1 式 可 以 得 到 — 種 壓 電 陶 瓷 〇 1 I 此 形 成 的 m 電 陶 瓷 被 切 割 成 5 X 5 m m 方 形 薄 板 的 形 1 I 狀 且 將 持 定 阻 抗 P 和 電 氣 機 槭 8 - 結 合 數 K 被 加 以 量 測 0 1 1 1 1 1 本纸浪尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨0:<297公韙） A7 B7 經濟部中央標隼局員工消费合作社印裝 五、發明説明（ 1 ) 1 1 現 在 將 說 明 — 個 用 於 比 較 的 例 子 0 1 1 —* 種 壓 電 陶 瓷 是 藉 由 將 錳 化 合 物 放 在 不 包 含 玻 璃 的 1 1 壓 電 陶 瓷 化 合 物 的 表 面 » 並 對 其 加 以 熱 處 理 以 擴 散 此 被 放 請 先 1 1 置 的 物 質 進 入 结 晶 邊 界 部 分 内 而 製 成 〇 閱 讀 背 1 1 特 別 地 • 一 種 陶 瓷 具 有 矩 形 薄 板 的 形 狀 * 尺 寸 為 2 〇 面 之 1 注 1 X 3 0 m m 厚 度 為 1 m m 9 事 先 以 與 第 一 種 實 例 相 同 的 方 意 事 1 式 準 備 好 〇 項 再 填 1 -丄 此 時 i 只 將 Μ η C 0 3 與- 漆 混 合 以 製 成 塗 謬 〇 其 次 該 寫 本 頁 丨· 塗膠以網板印刷的方式加至陶瓷的表面 > 其 後 以 與 第 一 種 1 I 實 例 相 同 之 方 式 可 以 得 到 一 種 壓 霣 陶 瓷 0 1 1 I 此 形 成 的 壓 電 陶 瓷 被 切 割 成 5 X 5 m m 方 形 薄 板 的 形 1 1 狀 > 且 其 持 定 阻 抗 Ρ 和 電 氣 機 械 結 合 偽 數 K 被 加 以 量 測 0 訂 1 依 據 上 述 之 置 測 結 果 * 圖 —* 及 圖 二 分 別 顯 示 在 第 一 痼 1 | 實 例 與 甩 於 bb 較 的 例 子 内 持 定 阻 抗 P 及 電 氣 械 結 合 偽 數 1 I K 相 對 擴 散 溫 度 的 變 化 〇 rsi 圖 三 及 圖 四 分 別 顯 示 在 第 二 個 實 1 1 例 與 用 於 比 較 的 例 子 内 待 定 阻 抗 0 及 罨 氣 an Wi 械 结 合 偽 數 K 1 相 對 擴 散 溫 度 的 變 化 0 1 | 很顯然的 t 在 圖 一 及 CHET _ 三 中 的 第 及 第 二 實 例 » 有 錳 1 I 化 物 及 玻 璃 材 料 熱 擴 散 壓 其 内 的 壓 電 陶 瓷 在 擴 散 溫 度 時 表 1 1 現 待 定 阻 抗 的 降 低 bb 在 th 較 例 子 中 較 小 ( 比 較 例 中 只 有 錳 1 1 化 合 物 被 熱 擴 散 進 入 其 内 ) 0 相 反 的 t 在 比 較 例 中 t 待 定 1 1 阻 抗 P 在 提 高 溫 度 時 太 低 0 11 種 現 象 使 得 應 用 — 極 化 電 場 1 1 不 可 能 1 其 結 果 造 成 電 氣 機 减 结 合 % 數 K 的 急 速 降 低 > 可 1 1 1 - 9- 1 1 1 本纸張尺度適用中國國家標準（€阳）,\4規格（210';<：!97公埯） A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 五、發明説明 (? ) 1 1 從 圖 二 及 圖 四 中 明 顥 地 看 出 r. 1 1 更 進 — 步 t 在 其 内 有 執 行 熱 處 理 的 壓 電 陶 瓷 的 特 定 電 1 1 阻 9 所 受 因 熱 處 理 過 程 中 溫 度 變 化 而 産 生 的 變 動 fcb 在 比 較 /«—S. 請 1 先 1 例 中 為 小 0 因 此 t 當 熱 菡 理 過 程 以 很 大 的 置 執 行 時 kb 較 閲 if 1 脊 1 不 會 受 到 為 了 熱 處 理 過 程 分 佈 在 爐 内 溫 度 變 化 及 陶 瓷 化 合 之 1 I 物 内 結 晶 邊 界 狀 態 的 影 辍 〇 意 事 1 此 外 t 在 匾 二 及 臞 四 中 也 可 明 顯 看 出 % 雖 妖 熱 擴 散 溫 項 再 1 1 填 Λ 度 有 爱 化 » 在 — 宽 的 溫 度 範 圍 内 » 霣 氣 機 械 結 合 % 數 K 也 寫 本 頁 1 kb 在 比 較 例 中 為 高 〇 * ^ 1 I 如 上 所 述 參 依 據 本 發 明 9 * — 種 錳 的 化 合 物 及 玻 璃 材 料 1 1 被 沉 積 於 一 壓 電 陶 瓷 的 表 面 上 9 而 該 壓 霣 陶 瓷 至 少 應 包 含 1 1 鉛 結 及 钛 所 組 成 化 物 • 然 後 1 熱 m 理 過 程 被 執 行 將 此 訂 1 被 沉 積 的 物 質 擴 散 至 壓 霣 陶 瓷 内 的 结 晶 邊 界 部 分 0 其 結 果 1 I 為 * 如 此 被 製 成 的 m 電 陶 瓷 ， 在 結 晶 邊 界 1 内 的 錳 氣 化 物 1 1 的 密 度 比 在 壓 電 陶 瓷 内 晶 粒 内 的 密 度 為 高 9 且 在 結 晶 邊 界 1 1 1 内 存 在 一 玻 χώτ tn 狀 態 0 因 此 9 在 攘 散 溫 度 範 醒 内 壓 霄 陶 瓷 1 所 需 要 的 待 性 可 以 播 得 » 其 内 之 恃 定 阻 抗 P 係 低 的 且 電 子 1 I Mi VK 減 結 合 數 K % 非 常 大 〇 1 1 在 上 述 之 實 施 例 中 * 雖 妖 塗 m 是 應 用 印 刷 之 方 法 將 其 1 1 加 至 陶 瓷 的 表 面 t 本 發 明 並 不 侷 限 於 此 方 法 * 例 如 < 粉 刷 1 1 及 哦 灑 的 應 用 方 法 亦 可 以 被 使 用 0 1 | 更 進 一 步 » 雖 妖 具 有 化 合 物 ( P b 0 * 9 5 S Γ 0 * 〇 3 1 I L a 0 • 0 Z ) Z r 0 • 5 1 T 1 0 * 4 9 ) 0 3 的 壓 電 1 1 - 10 - 1 1 1 本紙张尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X]97公趦） 經濟部中央橾隼局負工消费合作社印製 〇Q7G52 A7 _B7_五、發明説明（1 ) 陶瓷被使用到上述實例中，本發明並不只限制於此，例如 ，具有其它组合的PZT雙元件或三元件型式的陶瓷或是 那些將Sr, B a , C a , La或類似元素取代如此材料 中鉛部分而獲得的材料亦可被應用。 甚者.雖然在上述實例中•兩種用於熱鑛散的糊狀物 ，其内包含錳化合物及玻瓌材料的重量比例分別為3 : 7 及5 : 5,此重量比例並不僅只限於此數值.如有需要可 以任意調整。 錳碩酸塩被使用於在上述*例中，但本發明並不僅限 於此化合物。其它錳的化合物，或不同的組合經由加熬而 産生的氣化物皆可被使用。加熱的溫度通常是750 — 1 10 0C,但本發明並不僅限於此範匾。加熱較佳地約重 9 0 0至9 6 0 t的範画内被執行。在上述中所用的錳化 合物及漆在加入適當的玻瓖後亦可被應用於本發明。相同 的.玻璃的本質並不僅限於上述特定的例子。錳化合物或 是錳氱化物以二氣化錳的量被計算通常為〇· 005至 0. 5wt%相對於陶瓷的重量，而0. 005至0. 3 w t %較佳。所存在玻逋的量通常為〇. 00 1至〇· 5 相對於陶瓷的重量，而〇. 001至0. 3wt%為較佳 。錳化合物及玻瑭附著於壓電陶瓷表面之方式也不一定侷 限於上述之方式。 雖然，本發明之持殊實例已被説明及顯示，對那些熟 知此技猛者而言，很明顯地一些改變及修正仍不偏離本發 -1卜 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公雄) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明（/叫 A7 B7 請 這申 有此 所於 將含 是包 匾均 範正 利修 專及 請變 申改 之的 附醻 所範 , 及 此神 因精 , 明 圍發 。 範本内 之離圍 廣偏範 較不利 明些專 m m m I m n^i m d^i 一一 l. .··#0 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局員工消费合作社印氧 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐）

Claims (1)

1. 申請專利範圍 A8 B8 C8 D8

   經濟部中央揉準局貝工消费合作社印製 1. —種壓電陶瓷，包含至少由鉛、箱、及鈦之組成 物.於其在结晶邊界蘑内錳氣化物的密度比在鼴電霣 胃瓷之晶粒内錳氣化物的密度為高，且存在一玻瓖狀態於 结晶邊界層内。 2. 如申請專利範醒第1項所述之壓電陶瓷，其内之 陶瓷為P Z T陶瓷。 3. 如申請專利範圍第2項所述之壓霄陶瓷，其内之 S氣化物以二氣化錳的量被計算約為〇. 005至0. 3 w t %相對於所述氣化物之重量。 4. 如申請專利範圔第3項所述之壓霄陶瓷，其内之 玻璃量約為0. 001至0. 3wt%相對於所述氣化物 的重置。 5. 如申請專利範_第1項所述之壓霣陶瓷，其内之 S氣化物以二氣化錳的量被計算約為〇. 005至0. 3 w t %相對於所述氣化物之重置。 6. 如申請專利範園第5項所述之壓霄陶瓷，其内之 玻璃置約為0. 001至0. 3wt%相對於所述氛化物 的重量。 7. 如申請專利範匾第6項所述之壓«陶瓷，其内之 陶瓷為一種PZT陶瓷。 8. 如申請專利範圖第1項所逑之壓電陶瓷，其内之 玻璃量約為0. 001至0. 3wt%相對於所逑之氣化 物的重量。 本紙伕尺度適用中國國家樣準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） --------<表-- (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 订 A8 88 C8 -----^ '申請專利範圍 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 9. 如申請專利範圍第8項所述之歷霄陶瓷，其内之 $化@的氳约為〇. 〇〇5至0. 3wt%相對於所述氣 化物的重最。 10. —種製造匯霣陶瓷的方法，其包含對一至少由 $、結、及鈦所组成氯化物，且具有錳化合物及玻璃附著 在其表面上.以一足夠擴散錳氯化物及玻璃至該壓電陶瓷 &結晶邊界部分的溫度加熱。 11. 如申請專利範圔第1〇項所述之製造壓霣陶瓷 的方法，其内的陶瓷為ΡΖ“Τ陶瓷。 12. 如申請專利範圍第1〇項所述之製迪壓霣陶瓷 的方法，其中所述之氣化物以（Pbo .9 5 Sr〇 .0 3 L a ο .〇 2 ) ( Z r 0 .5 1 T i 〇 .4 9 ) 0 3 之式子 表示。 13. 如申請專利範圍第1〇項所述之製造壓電陶瓷 的方法，其中所述附在表面上的錳化合物為MnC〇3 。 經濟部中央樣準局員工消费合作社印製 14. 如申請專利範圍第1〇項所述之製造壓電陶瓷 的方法，其中所述之氣化物是以约750 t至1 100TC 的溫度被加熱。 1 5.如申請專利範_第1 〇項所逑之製造蹏霣陶瓷 的方法，包含將錳化合物及玻璃附著在該氧化合物表面的 步驟。 16.如申請專利範圍第15項所述之製造壓電陶瓷 的方法，其内所附著的鏟化合物的置以錳為計算約為〇 . 本纸張尺度適用中國國家楳車（CNS ) A4洗格（210X297公釐）

   經濟部t央揉李局貞工消♦合作社印製 0〇5至o. 3wt%.而所附著的玻瓖的量約為ο 0〇1至0. 6wt96相對於該氣化物的重量。 17·如申謓專利範匾第16項所述之製造壓霄陶瓷 的方法，其中該組成氣化物披以約7 5 〇 1C至1 1 0 0 °C 的溫度加熱。 18. 如申請專利範圍第17項所述之製造壓電陶瓷 的方法，其中所述附著於表面的錳化合物為MnC〇3 。 19. 如申請專利範酈第i 8項所述之製造壓電陶瓷 @方法，其中該組成氣化物是以（Pbo .9 s Sr〇 .〇 L a ° ·〇 2 ) (Zr〇 .5 i Ti〇 .49) 〇3 之式子 所表示。 2 0.如申誚專利範園第18項所述之製造壓電陶瓷 的方法，其内的陶瓷為PZT陶瓷。 2 1 .如申請專利範園第20項所述之製造壓霣陶瓷 的方法.其中所述之氣化物以（Pb〇 .9 5 Sr〇 .〇 3 ·〇2) (Zr〇 .5 1 Ti〇 .49) 〇3 之式子 所表示。 本紙張尺度適用《I»國國家揉準（CNS M4規格（2丨0X297公釐） (請先鬩讀背面之注意事項再填寫本頁) C· Γ