301737 五、發明説明（/ ) 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 本發明大致有關於在真空處理機内用Μ夾緊電介質工 件之方法和裝置* Μ及更特別有關於此一方法和装置，其 中此電介質工件係藉一霣壓應用於自處理機內與離子電絕 緣之18極而靜電式地夾緊者。 〔背景技藝〕 真空電漿處理機包括一含有工件固定器之真空室，亦 即，夾頭，用以撝帶有一暴露表面之工件，此工件係經蝕 刻以及/或材料係澱積其上者。此蝕刻和澱積係藉一適當 氣體之引進入室內以及對該氣體一射頻磁場之應用所產生 之室內離子*連同其他事物的提供。 此工件溫度可以藉施加一惰性氣體，諸如氦者，至工 件之背面而予以控制。典型地，此工件係較薄基板Μ導電 材料（亦即金屬），半導體或電介質製成。要固定此一工件 於適當之位置以抗拒氣體在工作背而推動之壓力，此工件 必須要夾緊於夾頭內。 電介質基體工件之真空電漿處理，以具有較大體積（ Μ尺作計董）之屏之平坦型屏顯示之引進而已潛取更重要 之地位。過去，«介質屏工件曾經是利用金屬或陶瓷夾環 在工件之頂面上靠近邊緣處向下推而沿其邊緣機械式地固 定於適當位置。此一早期技藝之安排有若干缺點，亦即： 1，此夾環在屏之頂面上壓下時係很可能藉促使分子之自 屏移出並可能地造成屏之破碎或裂開而對屏之造成傷寄》 結果導致屏之破壊，以及釋放污染物進入室環境内，2， 屏邊緣之某些部分係由夾所覆蓋，由於電雔子不能應用於 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ----訂 Λ ! 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 4 A7 B7 經濟部中央樣準局負工消費合作社印製
五、發明説明（U 與夾接觸之表面區而減小了可使用之屏表面區；3，由於 屏係僅沿箸其邊緒被向下握住，而氣體係提供至屏之背面 *此屏係被推向上而推入真空室內，造成此屏在其中央係 被向上彎翹及麼胄，造成對基體固定器之不均勻之熱傳送 ，成反效果之處理操作和控制；Μ及4，邊緣夾緊對弄平 一彎翹屏並無幫肋。因此，使用靜電夾頭來緊握霣介質基 體於真空電漿處理機内之適當位置將是極為理想。不過， 就吾人所知，目前尚無夾緊霣介質基體於真空電漿處理機 內之一固定器之可用之裝置或方法而不使用某類機械夾鉗 者0 靜電夾頭業已成功地使用於早期技薜中來緊握半導體 及電導基體工件於真空處理機室内適當位置。為此一目的 而應用靜電夾頭之廣大範圍設計之範例係發現於To jo等人 之美國專利案第4,480,284號，Suzuki之美國專利案4,692,836 號，Lewin等人之美國專利案4,502,094號，Wicker等人之 美國專利案第4,724,510號，Abe之美國專利案第4,384,918 號Μ及Brig li a之美國專利案4, 184, 188號。所有這些早期 技IS之靜霣夾頭係Μ霄荷在被夾緊之基體内分離之原理為 根據。此一霄荷分離可Μ提供於導體工件内，例如，那些 Μ金羼和半導體材料製成者，但不能在基體工件之由電介 質材料組成者中逹成。姑勿論早期技蓊中用以靜電式地夾 緊一電介質於真空電漿處理機内之固定器之方法和裝置之 缺少，但要提供此一靜電夾頭卻羼棰理想。 如果一靜電夾頭可以開發來用以緊握平坦電介質屏基 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 5 ----'--^----------11·—^-----^ I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 301V87 at Β7
經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 體工件至一真空電漿處理機內之工件固定器時，那將能適 當地滿足下列檷準：1，高度均勻性之夾持力量；2，高 度通過靜電夾頭和横越屏之傳熱率；3，大《上對機械磨 耗之阻力；4，在自室溫至大約攝氏400度之較离溫度之 範圍内有效夾緊之能力；5，真空適用性，對甚多塑料並 不真實之一項饜性；以及6，與高化學有效腐蝕性之電漿 環境之適用性。 因此，本發明之目的係在提供一種新穎而改進之方法 和裝置，用Μ在一真空室内夾緊一電介質工件於室內之固 定器。 本發明之另一目的係在提供一種新穎而改進之方法和 裝置，用以固定一電介質基體於真空處理機室內適當之位 置而勿須機械式夾鉗之使用。 本發明之附加目的係在提供一棰新穎的改進之方法和 裝置，用以將物質係藉夾持裝置自工件被逐出之可能減至 最小之方式，夾持一霣介質工件於真空«漿處理機室內。 本發明之一附加目的係在提供一棰新穎而改進之方法 和裝置，用以將因握持和夾緊配置而對工件造成傷害之可 能減至最小之方式，來夾持一電介質工件於真空處理機室 内0 本發明之另一目的係在提供一棰新穎而改進之方法和 裝置，用Μ將因握持配置而使工件之破碎和裂開減壓最小 之方式，握持一電介質基體於真空處理機室内一適當之位 置。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -專丨· 經濟部中央標準局貝工消费合作杜印«. A7 B7 五、發明説明（) 本發明之另一目的係在提供一新穎而改進之方法和裝 置，用Μ夾待一玻璃介質基髅之一型應用於平坦式屏顯示 中者，Μ此一方式被握持於真空處理機室之一適當位置中 ，即基體之彎翹係減至最小，邸令是以用Μ控制基體溫度 之氣體之壓力係應用於基體之背面時亦然。 本發明之一附加目的係在提供一新穎而改進之方法和 裝置用以握緊一電介質基體，諸如應用於較大區域之平坦 屏顯示中者，Μ此一方式於真空處理機室之一適當位置中 ，即大體上整個基體之未暴露背面係被推向固定裝置*並 藉Μ減少原先被鬻翹基體之彎翹。 本發明之一附加目的係在提供一新穎而改進之靜電夾 頭供工件在一真空室内用者。 仍爲本發明之另一目的係在提供一新穎而改進之真空 室，包括一種改良之靜電夾頭特別適用於霣介質基體者。 〔本發明概述〕 依照本發明之一觀點，一霣介質工件係藉應用電漿對 暴露於電漿之工件之表面，在同一時間以應用一較高霄Κ 至固定器上之電極配置，而夾持於一真空電漿處理機室内 之一固定器上。此電極係實質地配置並緊密地靠近工件之 未暴露於電漿之部分，如此：1，此電極係有大體上不同 於電漿之電壓，2，靜電電荷係藉霣漿而應用於未暴露之 表面，Μ及3，一導電路線係經由霄漿自靜電電荷提供至 一端子，此端子Μ—電勢大體上不同於應用於電極之電壓 者。一靜電力悬係由是而在工件和固定器之間開展Μ夾緊 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 7 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 .4! 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 此工件於固定器。 在一較佳實施例中，有一單極電極之配置以及«壓係 直流。充足之靜電夾緊力董以緊握此基體在固定器上者係 箱應用於電極之直流電壓和因電漿對暴露表面所醮用之電 荷之直流電壓兩者間之電壓差通過工件之厚度而施加。 本發明之另一觀點係針對真空霣漿處理機室和靜電夾 之組合，此室係用Μ施加氣嫌離子之有一罨勢大體上相等 於對一電介質工件之表面之棟準電勢者，此靜霣夾在室内 係用Μ握持此工件於適當之位置者。此靜電夾有一電極保 持一電勢大體上不同於榡準電勢。此電棰所保持之電勢係 如此，即電極係以工件表面為準而定置，而同時電漿係應 用於此《介質工件表面，因此霣荷藉電漿而施加於表面， 形成經由霣漿以檷準電勢之自表面至一端子之一導霣線路 之一部分。由是而使在霣介質工件表面上之電荷係以一大 約相等於檷準電勢之霣勢，Μ及一基本電壓係建立於霣極 和表面上電荷之間。此基本電壓建立一靜電夾緊力量於電 極和基體之間，用Μ緊握此工件在夾上適當位置中。一流 體醮用於此夾以控制此夾和工件之溫度。本發明係特別地 可應用於工件之包含一玻班基«之有一大體上爲平坦之暴 露表面者。 在第一實施例中，此霄極包含一金羼板之有一大體上 為平坦表面面向基體之背面並位於平行於基龌暴露表面之 一平面中。一電絕緣體圍繞箸所有電極表面，除了面對工 件（亦即基體）之板之平坦面之部分外，用Μ防止電極之與 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 Μ !
五'發明説明（） 室内電離子之相接觸。 在一組態中，言及單體裝置者，此電極之平坦面係裸 體，因而緊靠之基體背面也是裸體。在一第二構形中，此 電極平坦面係由一層保護塗層所材料之覆蓋，此材料包含 電導體（亦即，此材料係半導體或一半金屬）Μ及有一面緊 靠著基體之背面之保護塗層。 因此，本發明在真空電漿處理機室內提供一靜電夾頭 供電介質基體所用，其中此夾頭利用靜電之吸引力量推動 基體工係在在固定器之表面上。此靜霣力量大致上是均匀 地横越基體的整個背面而施加而無須有任何正方或側邊機 械性接觸之須要。 本發明之上述及仍有進一步之目的，特性和優點，於 熟思下列其特殊實施例，特別是當聯同附圖所作之詳細說 明時，將變得益為顯明。 〔附圖之簡要說明〕 第1圖為一真空電漿處理機之示意圖，包括一靜電夾 須用Μ握持一玻琪，電介質工件片材於其適當位置； 第2圖爲特別適合使用於第1圖之處理機之單極靜霄 夾頭實施例之一側面剖視圖，此夾頭與此玻璃，電介其工 件片相組合； 第3圈為第2圖内所說明之結構之俯視圖，但無該玻 璃，電介質工件片於適當位置中；Μ及 第4圈為第2圖内所說明之結構之一變更之側視圖， 包括一半導體或半金屬層在單極電極上。 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -q - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 專！ 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 Α7 Β7 五、發明説明（） 〔較佳實施例之說明〕 現在參考附圖中之第1圖，其中一霣漿處理機可使用 以蝕刻、霣介質基體，或用以澱積薄膜在電介質基體上者 係經說明如包括真空室10,此室可Μ構形爲圓筒形之有一 接地金屬壁和端面者，但適當地係構形成一正平行六面體 之有一由長方形金羼之邊壁12所形成之電接地之密封外表 面，此金鼷以陽極化鋁爲宜。真空室10亦包括長方形金屬 ，適當者為陽極化鋁，底端板16和矩形頂端板18，包括霣 窗结構19。室10之此等外部表面之密封係由傳統式密合墊 片所提供（圔中未顯示）。 可Μ激勵成電漿之一種適當氣體係自一氣體源（圖中 未顯示）經由邊壁12内一口 20而供輪至室10之內部。室10 之内部係保持於一真空狀況中，Μ—氣整典型地由一真空 泵（圖中未顙示）連接至邊壁12内之口 22保持在0.5至100 毫托爾之範圍。在真空室10内之氣體係被藉一適當II源而 激励至電漿狀態，諸如平面線圈24,緊接在窗口 19之上面 裝置並自射頻源26經由匹配網路28而予Μ激勵，而此網络 係對頻率26係共振者；不過，應予瞭解者，即任何電漿產 生之適當方法均可應用。 靜電夾頭30係固定地安裝於室10內在一支承結構上， 包括接地金羼底座27,此底座係以一電絕緣片材29而自夾 頭解耦；底座27係固定於底端板16。夾頭30係經特別設計 以選擇性地握持工件32,此工件包含一非塑料電介質，典 型地為平面屏顯示之一平坦玻瑰基體片，例如*含緘之硼 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 為！ 經濟部中央梂準局負工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（) 鋇砂酸玻璃7059，或一硼鋁矽酸鹽玻瑰1733之有接近0含 緘量成份者，兩者内可自紐約，Corning市之精密平面玻 璃商業部之Corning玻瑰廠獲得。造些玻璃片有一 1.1毫米 之正常厚度，厚度公差為±0.1毫米且非常光滑，各有一 最大降對降粗造度0.02撤米。此玻璃基體片，如所生產者 ，可能些許地彎翹或呈波狀；上文提及之玻璃片有一最大 高度對長度彎翹比，於退火時，為0.00075毫米/毫米， 最大高度對波度比，當退火時/為0.002-0.003毫米/毫 米，Μ及一室溫電介質常數為5.84。經過各棰處理步驟後 ，特別是澱積，這些參數可能變得更壊，其結果則使得在 室10内其電漿處理過程中更須要把基體片32弄平。 在一實施例中，工件32之溫度係藉自一適當來源（圖 中未顯示）經由導管34供輸氦氣至工件背面而控制在攝氏 25度至40度之間，亦即供輪氣體至玻璃基體之在處理室10 內未暴露於霣離子之一面，並藉自一適當來源（圖中未顯 示）供輪一冷卻液體，例如水與乙二醇之混合物，經由導 管37至夾頭30。典型地氣氣體之壓力之供輸至工件32之背 面者係在5至15托爾之範圍内，Μ及通過導管34之氣氣流 速係5至70Sccm範圍。夾頭30係經如此構造，即工件32之 背面緊抵箸夾頭之平坦平面，除了夾頭面中之槽部分除外 。夾頭30施加一力量至工件，因此工件之暴露表面係被弄 平並置於一大體上平行於夾頭之平坦平面之一平面内。卽 令是此工件32當放置在夾頭上時有酤彎翹或是波狀時此一 結果亦可建成，並可勿視於氦氣體流動通過導管34背離夾 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 11 <請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .上· 訂
五、 發明説明（） 頭30之平坦平面而彎折工件向上進入室10内之趨勢。夾頭 30係亦經如此構迨^即氦氣可接觸工件32背面大體上之部 分，即令是工件背面之那些緊靠箸夾頭平坦平面中之未置 有槽之部分亦然。夾頭30係亦經如此構造，即一高熱傳導 線路係自冷卻液體流動通過之導管37而通過夾頭提供至基 體32。 在第2和第3_之實施例中，靜電夾頭30爲一單極裝 置之僅有一値Μ金屬板36形成之霣極，此金屬板連接至直 流源38之高壓端子40 ;在端子40處之電壓典型地為數千伏 特，例如，5000伏特，Μ電壓源35在接地端子處，連/接至 外殻10之一金靥壁爲準。端子42，室10以及室内電漿均係 大約相同之直流檫準電位。霣壓源38可如此構造，即端子 40係Μ接地端子40處電壓為準之正抑或負電壓。典型地端 子40處子霄壓係Μ端子42處霣壓為準之負電壓-，Μ便能吸 收比較低機動性之正霣離子至工件32之未暴露一面；此係 甚為有利，冈為它減少了在電源38上有害效應之可能性。 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ,11· 板36,適當地Μ鋁製成者，係Μ電介質電絕緣體44所 包圍，Μ不吐氣材料（通常不是塑料而適當者為陶瓷）製成 。絕緣體44防止霣棰板36之與室10内之電離子作霄接觸， 因此而在霄極和室內電離子間有一大體上之直流電位差。 就此一端言，絕緣體44係Μ—板之有凹部4卩在其内而構形 。金屬板36係位於凹部46内，因此，板之周邊緊靠箸絕緣 醱44之輻緣48之内壁47,而工件基體32係以板52為準而決 定其大小，俾使基體完全地覆蓋板上部表面。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 12 -1 Ο _ 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 A 7 B7 五、發明説明（) 要能使氦氣流經導管34以接觸玻璃工件32之背面之大 體上部分，板36之光滑平坦上表面53係提供Μ間隔之互連 槽54 (第3圖〉，所有造些槽係呈相互間及導管34之流體流 動關係，由於夾頭包括中央内徑55導管與槽係與之相連， 故此導管可有效地伸展至夾頭30。當工件32係被夾緊在夾 頭30上之適當地置時，工件之暴露之平面上表面伸展於平 行於上表面53之一平面中。絕緣體44包括通道65，與導管 37呈流體流動關係，因此冷卻液體流動通過此通道。由於 絕緣體44和金羼板36有一高熱導率，以及通道和工件32之 間有極短之距離，故熱係易於自工件基體32轉移至通道65 内之冷卻劑。 操作時，一玻璃II介質基體工件32,如上文說明者， 係放置在電極板36上，當直流源38之電壓憑藉其係自其賦 能電源（圖中未顯示）拆開時與連接至電源36者係◦伏恃。 當工件32業已Μ此一形態放置在霉極板36上之後，即整個 電極係完全地由電介質體44或工件32所包圍時，電源38係 連接至其賦能霄源。電荷層58,接近於室10之接地電壓之 檷準電位者，係在玻璃工件32之暴露之頂部表面展開而作 為此暴露表面係與室10内標準電位之電離子枏接觸之結果 。當電源38係連接至其賦能電源時，自端子40和電極板36 之位移電流流至在工件32之暴露頂層上之電荷層58,隨後 通過室10内之霄漿而至室之壁，並至電源38之接地端子42 。此一位移電流促使電荷樓越基醱工件32之厚度而建立。 電源38之電壓係充分地高，使横越工件基體32之厚度 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 13 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7_ i、發明説明（） 之霣荷產生一横越工件之吸引力量Μ夾緊此基體於板36之 上表面53。此夾緊壓力” Ρ”應用於工件32者係： y_e^0Va P A' 2d4 其中： F係吸引力置 A係基體緊靠板36之上表面53之區域 €V楱工件32之介電係數（電容率〉， 係自由空間之霣容率， V係電源38之電壓，以及 d係基體工件32之厚度。 需要Μ夾緊玻璃電介質工作32之II壓源38之值典型地 係在5000伏特之範圍者，係較需要Μ夾緊一半導«或金羼 工件至一單體靜電夾之電壓非常地高。這是因為高霄壓需 要來建立自電極板36橫越工件32之厚度至工件暴露面上之 電荷層之夾緊壓力。通常應用於工件32之壓力應該大約是 由気氣流經導管34所施加於工件背面之壓力之兩倍。 說明於第2圖內之霣極包括一裸體上金羼面緊靠著基 醱板36之背面。此電極可Μ作變更Μ包括一保護餍59 (第 4圖），那可以是一層掻薄之電介質（例如0.1毫米厚〉， 或包括由半金靨製成之導電體材料，例如三氧化二鋁塗料 Μ二氧化銻，或者一半導體，Μ加強電極之機械耗損性能 ，以及減少由於板36係暴露於電漿而產生電故障及/或漏 電。如果此一塗層59是半金屬或半導體，電源38之霣壓改 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 301787五、發明説明（ A7 B7 經濟部中央棣準局員工消費合作社印製 變係不需要，但是如果此塗層係一薄片電介質時，電源38 之霣壓係因為塗層厚度和材料之鼋介質常數Μ及崩溃霣歷 之性能而增高，Μ提供所需之夾緊壓力。因為電荷最终地 要移動至緊靠工件基髏32背面之材料之頂表面，故為材料 之包括半導體者之電壓之改變係不需要。增加之移動時間 對人眼之觀察是不能注意，但如果適當時仍可Μ辯別。移 動時間耽視導體内霉阻之阻容時間常數和霣介質工件32之 電容量而定。 雖然吾人業已解釋和說明本發明之一特殊實施例，但 甚為明顯者，特別解釋和說明之實施例之細節中之變化在 不背離附列之申請專利範圍所界定之本發明範围和精神時 仍可達成。例如，吾人勿須為本發明之靜霉單極夾頭來包 括單一霄極。此電極可以有一任意之複雜之多電分隔之元 S之圖型，而所有這些元件連接至直流電源之單一電極。 例如，一整體之電極圖型包括兩個分隔之電極以取代霣極 38。兩者之整醱式電極可以是連接至同一霄壓，例如，單 一直流電源之4000伏特者。如此一構形仍保留爲一單一單 極靜電夾頭，當使用此霣漿感應電荷在電介質工件上以執 行夾緊時，但仍有一複雜之電極圖型。現用之交指形靜電 夾頭可由是而變換成為利用本發明原理之電介質工件之單 極夾頭。 本發明之理念亦可伸展至連接著不同直流電壓之複雜 電極配置，Μ提供値別之局部單極靜霣夾頭供電介質工件 用，其中各夾頭包括一不同之電極。在此一情況中每一局 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1Τ- 彳· 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 15 -1C _ A 7 B7 五、發明説明（） 部靜電夾頭均依賴電漿慼應電荷Μ夾緊«介質工件。電壓 可以均相同或不同極性。如果電極電壓係負極，則電漿中 正極電離子係累積在電極之有負極電S者上面之霣介質表 面上以提供夾緊力置。如果電極電歷是正極時，則電子及 /或電漿中之負電離子係累積在電極之有正極霣壓上面電 介質表面上Μ提供此夾緊力量。 因為工件為一電介質，故此夾緊機構係十分地不同於 早期技藝之供半導體或金屬工件用之雙極夾頭。對霣介質 工件言，電荷係自電槳累積在電介質表面上Μ提供此夾緊 力量。相反地，伸展於早期技藝雙極夾頭之相對極性電極 之間之霣磁場線係經由半導體和金屬工件之霣荷之載子而 聯結以爲此等工件提供夾緊力量。 經濟部中央揉準局員工消費合作社印製 Μ不同電壓之兩値電極之使用能使不同之夾緊力量施 加於電介質工件之不同區域。應用於不同電極之直流電壓 之值可Μ適當地控制以能使不同之，可變化之控制力董來 施加於電介質工件之不同之空間匾域。一種適當之電極構 形包括一中央圖形盤電極，它係與一平面環形電極共軸並 被其包圍且自其分隔，其中此環形電極係較中央霣極以較 高之直流電Ε。例如，此中央画盤電源可能是-2500或+2800 伏特，而邊緣環形電極則為-5000伏特。在此一情況下在 環形電極上面及鄰近之霄介質工件之邊緣可能是較在中央 電極上面和鄰近之工件中央部分更強固地被夾緊。應用一 正電壓於環形電極上是不切實際，因為要提供基本份置之 絕緣Μ圍繞此一電極之外周逋之需要，以防止正電壓®極 16 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（ A7 B7 對電漿之接觸或構成逆弧。保持此環形電極於一負直流電 壓實質上可免除此類絕類體之需要。 元件檫號對照 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 10.. ..真空室 36.. ..金屬板^ 12.. ..邊壁 37.. ..導管 16.. ..底端板 38.. ..直流源 18.. ..頂端板 40.. ..高壓端子 19.. ..窗結構 42.. ..接地端子 19.. • •窗口 44.. ..電絕緣體 20.. 46.. ..凹部 22.. ..P 47.. ..内壁 24.. ..平面線圈 48.. ..輪緣 26.. ..射頻源 52.. • •板 27.. ..金屬底座 53.. ..上表面 28.. ..匹配網路 54.. 槽 29.. ..電絕緣片材 55.. ..内徑 30.. ..靜電夾頭 58.. ..電荷層 32.. _ .工件 59.. ..保護層 34.. •.導管 65.. ..通道 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 17